JPH1184651A - 感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント - Google Patents

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

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JPH1184651A
JPH1184651A JP24921497A JP24921497A JPH1184651A JP H1184651 A JPH1184651 A JP H1184651A JP 24921497 A JP24921497 A JP 24921497A JP 24921497 A JP24921497 A JP 24921497A JP H1184651 A JPH1184651 A JP H1184651A
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photosensitive resin
group
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JP24921497A
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English (en)
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Masaki Endo
昌樹 遠藤
Yuichi Sekiguchi
雄一 関口
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Resonac Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 現像時間が速く、テント信頼性に優れ且つめ
っき浴汚染が少ない感光性樹脂組成物及びこれを用いた
感光性エレメントを提供する。 【解決手段】 （Ａ）アルカリ可溶なビニル系共重合化
合物を含むバインダーポリマー、（Ｂ）ビニルウレタン
化合物及びアクリレート化合物を含む光重合性化合物、
（Ｃ）ヘキサアリールビイミダゾールと芳香族ケトン及
びアリールグリシン化合物を含む光重合開始剤を含有し
てなる感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメ
ント。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成物
及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、印刷配線板の製造法にはテンティ
ング法とめっき法の２つがある。テンティング法はチッ
プ搭載のための銅スルーホールをレジストで保護し、エ
ッチング、レジストはく離を経て、電気回路形成を行う
のに対し、めっき法は電気めっきによってスルーホール
に銅を析出させ、はんだめっきで保護し、レジストはく
離、エッチングによって電気回路の形成を行う方法であ
る。そして、このレジストとして感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントが使用されており、未硬
化部をアルカリ性水溶液で除去するアルカリ現像型が主
流となっている。従って、使用する感光性樹脂組成物
は、優れた現像性を有することが必要であり、現像時間
の短縮は生産性の向上に大きく寄与する。しかし、現像
性の向上はレジストの耐水性の低下を伴うため、テンテ
ィング法における現像液や水洗のスプレー圧によって破
れないテンティング性、すなわちテント信頼性の悪化に
つながる。
【０００３】特公平８−２０７３５号公報にはバインダ
ポリマーに低分子量のバインダーポリマー成分と高分子
量のバインダーポリマー成分を組み合わせたはく離片を
細分化する感光性樹脂組成物が開示されているが、現像
時間の短縮については記載されていない。
【０００４】また、特開平７−１２８８５１号公報に
は、ビニルウレタン化合物成分を用いたテント信頼性及
び密着性が良好な感光性樹脂組成物が開示されている。
しかし、ウレタン結合を有するイソシアネート残基部分
が、現像性にあまり優れないことから、現像時間は従来
と同等であった。
【０００５】また、特開平１−２２４７４７号公報に
は、スチレンを共重合体成分としたバインダーポリマー
とビニルウレタン化合物とからなる耐薬品性に優れ、良
好な金めっき性を有する感光性樹脂組成物が開示されて
いる。しかし、耐水性が向上しているがゆえ、現像時間
は特に短くなっておらず、感度についても十分ではなか
った。
【０００６】さらに近年、印刷配線板は高密度化し、パ
ターンが細線化しているため、めっき法が主流になりつ
つある。このめっき法は、チップ搭載のためのスルーホ
ール及び電気回路を除いてレジストを被覆し、電気めっ
きによりスルーホール及び電気回路を作製し、その後、
レジストはく離、エッチングによって電気回路の作製を
行う方法である。めっき法におけるめっき液としては、
ピロリン酸銅、硫酸銅、半田、ニッケル、パラジウム、
金等が用いられるが、電気回路の作製に硫酸銅を用い、
その保護のため、半田を用いることが一般的である。
【０００７】このめっき法において問題となることは、
めっき液の継続使用により、徐々にめっきの析出不良に
なる現象が起きることである。特に、保護膜として用い
られる半田めっきにおいては、めっき液の継続使用によ
り、その合金比率が変化し、その後の工程、つまり、は
く離、エッチング時に半田がはく離したり、溶解したり
して不良の原因となる。この現象を抑制するためには、
通常、めっき液の濾過、特に活性炭を用いた濾過が行わ
れるが、この操作は手間がかかり、しかも、めっき液に
必要な他の有機物成分も吸着除去されるため、不経済で
ある。
【０００８】一方、活性光の露光時間を短縮できるとい
う点から、感光層の高感度化も行われているが、多核キ
ノン類（２−エチルアントラキノン等）、芳香族ケトン
（ベンゾフェノン等）、ベンゾイン誘導体（ベンゾイン
メチルエーテル等）などの光重合開始剤及び増感剤を使
用して得られる従来の感光性樹脂組成物の感度は、必ず
しも十分なものではなかった。
【０００９】さらに、アクリジン系化合物を用いた感光
性樹脂組成物は、高感度であるものの、めっき浴を汚染
するため、ファインパターン化に対応するために必要な
下地金属との密着性が十分ではなかった（特開平５−２
４９６５８号公報）。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記した従来
技術の問題点を解決し、現像時間が速く、テント信頼性
に優れ且つめっきよく汚染が少ない感光性樹脂組成物及
びこれを用いた感光性エレメントを提供するものであ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、
（Ａ）メタクリル酸１５〜４０重量％及び一般式（Ｉ）
で表わされる単量体６０〜８５重量％を共重合成分とし
て得られる重量平均分子量１０，０００〜４０，０００
のアルカリ可溶なビニル系共重合化合物（ａ１） ＣＨ2＝Ｃ（Ｒ1）−ＣＯＯＲ2 （Ｉ） （式中、Ｒ1は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ2は炭素
数１〜１２のアルキル基を示す。）とメタクリル酸１５
〜４０重量％、スチレン１〜５重量％及び一般式（Ｉ）
で表わされる単量体５５〜８４重量％を共重合成分とし
て得られる重量平均分子量５０，０００〜１５０，００
０のアルカリ可溶なビニル系共重合化合物（ａ２）を含
むバインダーポリマーを４０〜８０重量部、（Ｂ）一般
式（ＩＩ）で表わされるビニルウレタン化合物（ｂ１） ＣＨ2＝Ｃ（Ｒ3）ＣＯＯ（Ｘ）l（Ｙ）pＣＯ−ＮＨ− −Ｚ−ＮＨ−ＣＯＯ（Ｙ）q（Ｘ）mＣＯＣ（Ｒ3）＝ＣＨ2 （ＩＩ） （式中、Ｒ3は水素原子又はアルキル基を示し、２つの
Ｒ3は同一でも異なっていてもよく、Ｘは −ＣＨ2ＣＨ2Ｏ− を示し、Ｙは−ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）−Ｏ−、−ＣＨ（Ｃ
Ｈ3）−ＣＨ2−Ｏ−、−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−、
−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−、−ＣＨ2−ＣＨ2
−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−又は−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｃ
Ｈ2−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−を示し、Ｚは２価の炭
化水素基を示し、ｌ、ｍ、ｐ及びｑは各々独立に１〜１
４の整数である。）及び一般式（ＩＩＩ）で表わされる
アクリレート化合物（ｂ２） ＣＨ2＝ＣＲ4ＣＯＯ（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）n（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）r− −ＣＯＣＲ4＝ＣＨ2 （ＩＩＩ） （式中、Ｒ4は水素原子又はアルキル基を示し、ｎ及び
ｒは各々１〜３０の整数である。）を含む分子内に重合
可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を２
０〜６０重量部（但し（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量は
１００重量部）、（Ｃ）ヘキサアリールビイミダゾール
（ｃ１）と一般式（ＩＶ）で表わされる芳香族ケトン
（ｃ２）
【００１２】
【化２】 （式中、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7及びＲ8はそれぞれ独立に水素原
子又は炭素数１〜４のアルキル基を示す。）及び一般式
（Ｖ）で表わされるアリールグリシン化合物（ｃ３） Ｒ9−ＮＨＣＨ2ＣＯＯ−Ｒ10 （Ｖ） （式中、Ｒ9はアリール基又はアルキル基置換アリール
基を示し、Ｒ10は水素原子又はアルキル基を示す。）を
含む光重合開始剤を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１０
０重量部に対して１．０２〜１１重量部含有してなり、
（Ａ）成分のバインダーポリマー中の（ａ１）成分及び
（ａ２）成分の配合量が、（Ａ）成分１００重量部に対
して、（ａ１）成分が１０〜６０重量部及び（ａ２）成
分が４０〜９０重量部であり、（Ｂ）成分の光重合性化
合物中の（ｂ１）成分及び（ｂ２）成分の配合量が、
（Ｂ）成分１００重量部に対して、（ｂ１）成分が２５
〜７５重量部及び（ｂ２）成分が２５〜７５重量部であ
り、（Ｃ）成分の光重合開始剤中の（ｃ１）成分、（ｃ
２）成分及び（ｃ３）成分の配合量が、（Ａ）成分と
（Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、（ｃ１）成分
が１〜５重量部、（ｃ２）成分が０．０１〜５重量部及
び（ｃ３）成分が０．０１〜１重量部であることを特徴
とする感光性樹脂組成物を提供するものである。
【００１３】本発明においては、バインダーポリマーに
低分子量のバインダーポリマー（ａ１）成分と高分子量
のバインダーポリマー（ａ２）成分を組み合わせること
により、現像時間を短縮化することができた。
【００１４】そして、（ａ２）成分に耐水性のあるスチ
レンを共重合すること、光重合性化合物にビニルウレタ
ン化合物（ｂ１）成分及び一般式（ＩＩＩ）で表わされ
るアクリレート化合物（ｂ２）成分を組み合わせて使用
することにより、耐水性、すなわちテント信頼性の低下
を防ぐとともに感度も向上させた。
【００１５】また、めっき浴をほとんど汚染しないヘキ
サアリールビイミダゾール（ｃ１）成分、紫外線吸収剤
である一般式（ＩＶ）で表わされる芳香族ケトン（ｃ
２）成分及びアクリジン系化合物よりめっき浴汚染が少
なく高感度である一般式（Ｖ）で表わされるアリールグ
リシン化合物（ｃ３）成分を組み合わせて使用すること
により、めっき浴の汚染を防止し、下地金属との密着性
を改善した。
【００１６】また、本発明は、前記感光性樹脂組成物の
層を支持体上に積層してなる感光性エレメントを提供す
るものである。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明について詳述する。
【００１８】本発明における（Ａ）成分の製造に用いら
れる一般式（Ｉ） ＣＨ2＝Ｃ（Ｒ1）−ＣＯＯＲ2 （Ｉ） （式中、Ｒ1は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ2は炭素
数１〜１２のアルキル基を示す。）で表わされる単量体
は、アクリル酸のエステル又はメタクリル酸のエステル
であり、例えば、アクリル酸メチルエステル、アクリル
酸エチルエステル、アクリル酸ブチルエステル、アクリ
ル酸２−エチルヘキシエステル、メタクリル酸ブチルエ
ステル等が挙げられる。
【００１９】上記共重合体は、前記の各成分を混合し、
公知の重合法（溶液重合法等）に従って合成することが
できる。
【００２０】（Ａ）成分の（ａ１）成分及び（ａ２）成
分の重量平均分子量は、それぞれ、機械強度とアルカリ
現像性の点から、（ａ１）は、１０，０００〜４０，０
００とすることが好ましく、２５，０００〜３５，００
０とすることがより好ましく、２８，０００〜３２，０
００とすることが特に好ましい。また、（ａ２）は、５
０，０００〜１５０，０００とすることが好ましく、６
０，０００〜１００，０００とすることがより好まし
く、７０，０００〜８０，０００とすることが特に好ま
しい。この重量平均分子量が、それぞれ、１０，０００
及び５０，０００未満であると、機械強度が劣る傾向が
あり、４０，０００及び１５０，０００を超えるとアル
カリ現像性が劣る傾向がある。
【００２１】なお、ここで言う重量平均分子量は、ゲル
パーミエーションクロマトグラフィー法により測定さ
れ、標準ポリスチレンを用いて作成した検量線により換
算された値である。
【００２２】本発明における（Ｂ）成分の分子内に重合
可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物は
（ｂ１）成分及び（ｂ２）成分を含有するものである。
【００２３】（ｂ１）成分である一般式（ＩＩ）で表わ
されるビニルウレタン化合物 ＣＨ2＝Ｃ（Ｒ3）ＣＯＯ（Ｘ）l（Ｙ）pＣＯ−ＮＨ− −Ｚ−ＮＨ−ＣＯＯ（Ｙ）q（Ｘ）mＣＯＣ（Ｒ3）＝ＣＨ2 （ＩＩ） （式中、Ｒ3は水素原子又はアルキル基を示し、２つの
Ｒ3は同一でも異なっていてもよく、Ｘは −ＣＨ2ＣＨ2Ｏ− を示し、Ｙは−ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）−Ｏ−、−ＣＨ（Ｃ
Ｈ3）−ＣＨ2−Ｏ−、−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−、
−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−、−ＣＨ2−ＣＨ2
−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−又は−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｃ
Ｈ2−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−を示し、Ｚは２価の炭
化水素基を示し、ｌ、ｍ、ｐ及びｑは各々独立に１〜１
４の整数である。）において、Ｒ3のアルキル基は好ま
しく炭素数１〜３のアルキル基である。Ｚは好ましくは
炭素数２〜１６の２価の炭化水素基であり、例えば、エ
チレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、
ヘキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基等が挙げら
れる。炭素数１７以上の炭化水素基を用いると、得られ
る感光性樹脂組成物の感度が低下する傾向がある。ま
た、一般式（ＩＩ）中、ｌ、ｍ、ｐ又はｑが１５以上の
整数の場合、得られるレジストが脆くなる。
【００２４】（ｂ１）成分の具体例としては、例えば、
２つのＲ1がメチル基、Ｙが、−ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）−
Ｏ−、ｌ及びｍが１、ｐ及びｑが９、Ｚがヘキシレン基
であるビニルウレタン化合物（新中村化学社製、商品名
ＵΑ−１３）、２つのＲ1がメチル基、Ｙが、−ＣＨ2Ｃ
Ｈ（ＣＨ3）−Ｏ−、ｌ及びｍが１、ｐ及びｑが３、５
又は１２、Ｚがヘキシレン基であるビニルウレタン化合
物、２つのＲ1が水素原子、Ｙが、−ＣＨ2ＣＨ（Ｃ
Ｈ3）−Ｏ−、ｌ及びｍが１、ｐ及びｑが９、Ｚがヘキ
シレン基であるビニルウレタン化合物等が挙げられる。
【００２５】（ｂ２）成分である一般式（ＩＩＩ）で表
わされるアクリレート化合物 ＣＨ2＝ＣＲ4ＣＯＯ（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）n（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）r− −ＣＯＣＲ4＝ＣＨ2 （ＩＩＩ） （式中、Ｒ4は水素原子又はアルキル基を示し、ｎ及び
ｒは各々１〜３０の整数である。）において、Ｒ4のア
ルキル基は炭素数１〜３びアルキル基が好ましい。ｎ及
びｒが３０を超える整数の場合、得られるレジストが脆
くなる。
【００２６】（ｂ２）成分の具体例としては、例えば、
２つのＲ2が水素原子、ｎが７、ｒが１、３、５、１０
であるアクリレート化合物（新中村化学社製、商品名、
ΑＰＧ−４００−１Ｅ、３Ｅ、５Ｅ、１０Ｅ）等が挙げ
られる。
【００２７】本発明における（Ｂ）成分の分子内に重合
可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物は、
必ず（ｂ１）成分及び（ｂ２）成分を各々１種類以上を
組み合わせて使用する。また、本発明における（Ｂ）成
分の光重合性化合物は、必ず（ｂ１）成分及び（ｂ２）
成分を含有していれば、それ以外の分子内に重合可能な
エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を含有させ
てもよい。
【００２８】このような光重合性化合物としては、例え
ば、多価アルコールに、α，β−不飽和カルボン酸を反
応させて得られる化合物、ビスフェノールΑビス（ポリ
オキシエチレンジアクリレート）、ビスフェノールΑビ
ス（ポリオキシエチレンジメタクリレート）、グリシジ
ル基含有化合物にα，β−不飽和カルボン酸を反応させ
て得られる化合物、アクリル酸アルキルエステル、メタ
クリル酸アルキルエステル等が挙げられる。
【００２９】多価アルコールとしては、例えば、エチレ
ン基の数が２〜１４であるポリエチレングリコールジア
クリレート、エチレン基の数が２〜１４であるポリエチ
レングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロ
パンジアクリレート、トリメチロールプロパンジメタク
リレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、
トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメ
チロールメタントリアクリレート、テトラメチロールメ
タントリメタクリレート、テトラメチロールメタンテト
ラアクリレート、テトラメチロールメタンテトラメタク
リレート、プロピレン基の数が２〜１４であるポリプロ
ピレングリコールジアクリレート、プロピレン基の数が
２〜１４であるポリプロピレングリコールジメタクリレ
ート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジ
ペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリ
トールヘキサメタクリレート等が挙げられる。
【００３０】α，β−不飽和カルボン酸としては、例え
ば、アクリル酸やメタクリル酸等が挙げられる。
【００３１】ビスフェノールΑビス（ポリオキシエチレ
ンジアクリレート）としては、例えば、ビスフェノール
Αビス（ジオキシエチレンジアクリレート）、ビスフェ
ノールΑビス（トリオキシエチレンジアクリレート）、
ビスフェノールΑビス（ペンタエチレンオキシアクリレ
ート）、ビスフェノールΑビス（デカオキシエチレンジ
アクリレート）等が挙げられる。
【００３２】ビスフェノールΑビス（ポリオキシエチレ
ンジメタクリレート）としては、例えば、ビスフェノー
ルΑビス（ジオキシエチレンジメタクリレート）、ビス
フェノールΑビス（トリオキシエチレンジメタクリレー
ト）、ビスフェノールΑビス（ペンタエチレンオキシメ
タクリレート）、ビスフェノールΑビス（デカオキシエ
チレンジメタクリレート）等が挙げられ、ビスフェノー
ルΑビス（ペンタエチレンオキシメタクリレート）とし
ては、ＢＰＥ−１０（新中村化学社製、商品名）等が挙
げられる。
【００３３】グリシジル基含有化合物としては、例え
ば、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルト
リアクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジ
ルエーテルトリメタクリレート、ビスフェノールΑビス
（ジグリシジルエーテルアクリレート）、ビスフェノー
ルΑビス（ジグリシジルエーテルメタクリレート）等が
挙げられる。
【００３４】アクリル酸アルキルエステルとしては、例
えば、アクリル酸メチルエステル、アクリル酸エチルエ
ステル、アクリル酸ブチルエステル、アクリル酸２−エ
チルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００３５】メタクリル酸アルキルエステルとしては、
例えば、メタクリル酸メチルエステル、メタクリル酸エ
チルエステル、メタクリル酸ブチルエステル、メタクリ
ル酸２−エチルヘキシルエステル等が挙げられる。
【００３６】これらは単独で又は２種類以上を組み合わ
せて使用される。
【００３７】本発明における（Ｃ）光重合開始剤は（ｃ
１）成分、（ｃ２）成分及び（ｃ３）成分を含有するも
のである。
【００３８】（ｃ１）成分であるヘキサアリールビイミ
ダゾールとしては、例えば、２，２′−ビス（ｏ−クロ
ロフェニル）−４，５，４′，５′−テトラフェニル−
１，２′−ビイミダゾール、２−（ｏ−クロロフェニ
ル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−クロロフェニル）−４，５−ジ（ｍ−メトキシフ
ェニル）イミダゾール二量体、２−（ｏ−フルオロフェ
ニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体、２−
（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダ
ゾール二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５
−ジフェニルイミダゾール二量体、２，４−ジ（ｐ−メ
トキシフェニル）−５−フェニルイミダゾール二量体、
２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェ
ニルイミダゾール二量体、２−（ｐ−メチルメルカプト
フェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾール二量体等
の２，４，５−トリアリールイミダゾール二量体等が挙
げられる。これらは、単独で又は２種類以上を組み合わ
せて使用される。
【００３９】（ｃ２）成分は、一般式（ＩＶ）
【００４０】
【化３】 （式中、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7及びＲ8はそれぞれ独立に水素原
子又はアルキル基を示す。）で表わされる芳香族ケトン
である。
【００４１】一般式（ＩＶ）中、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7及びＲ8
のアルキル基としては、炭素数１〜３のアルキル基が好
ましく、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プ
ロピル基等が挙げられる。炭素数４以上のアルキル基を
用いると、得られる感光性樹脂組成物の感度が低下する
傾向がある。一般式（ＩＶ）で表わされる芳香族ケトン
のベンゼン環の水素原子は、炭素数１〜３のアルキル
（メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル
基）等で置換されてもよい。
【００４２】（ｃ２）成分の具体例としては、例えば、
Ｎ，Ｎ−テトラメチル−４，４′−ジアミノベンゾフェ
ノン（ミヒラーズケトン）、Ｎ，Ｎ−テトラエチル−
４，４′−ジアミノベンゾフェノン、４−メトキシ−
４′−ジメチルアミノベンゾフェノン、２−エチルアン
トラキノン、フェナントレキノン等が挙げられる。これ
らは、単独で又は２種類以上を組み合わせて使用され
る。
【００４３】（ｃ３）成分は、一般式（Ｖ） Ｒ9−ＮＨＣＨ2ＣＯＯ−Ｒ10 （Ｖ） （式中、Ｒ9はアリール基又はアルキル基置換アリール
基を示し、Ｒ10は水素原子又はアルキル基を示す。）で
表わされるアリールグリシン化合物である。
【００４４】一般式（Ｖ）中、Ｒ9のアリール基として
は、例えば、炭素数６〜１４のアリール基（フェニル
基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基等）
が挙げられる。
【００４５】一般式（Ｖ）中、Ｒ9のアルキル基置換ア
リール基において、アルキル基としては、炭素数１〜８
のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル
基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、
ｉ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｉ−ペンチル基、ｎ−
ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基等が挙げ
られ、アリール基としては前記したものが挙げられる。
【００４６】一般式（Ｖ）中、Ｒ10のアルキル基として
は、炭素数１〜８のアルキル基が好ましく、例えば、メ
チル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、
ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｉ−ペ
ンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オク
チル基、２−エチルヘキシル基等が挙げられる。炭素数
９以上のアルキル基を用いると、得られる感光性樹脂組
成物の感度が低下する傾向がある。
【００４７】（ｃ３）成分の具体例としては、例えば、
Ｎ−フェニルグリシン、Ｎ−フェニルグリシンエチルエ
ステル、Ｎ−フェニルグリシンメチルエステル、Ｎ−フ
ェニルグリシンブチルエステル、Ｎ−メチルフェニルグ
リシンエチルエステル等が挙げられる。これらは、単独
で又は２種類以上を組み合わせて使用される。
【００４８】本発明における（Ｃ）光重合開始剤には、
（ｃ１）成分、（ｃ２）成分及び（ｃ３）成分以外の成
分（例えば、ベンゾフェノン、２−エチルアントラキノ
ン、９，１０−フェナンスレンキノン、１，７−ビス
（９−アクリジニル）ペンタン等）をさらに含有させて
もよいが、めっき浴汚染を少なくする点から、（ｃ１）
成分、（ｃ２）成分及び（ｃ３）成分のみからなること
が好ましい。
【００４９】本発明の感光性樹脂組成物において、
（Ａ）成分の配合量は、塗膜性と光硬化性のバランスの
点から、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量部
に対して、４０〜８０重量部とすることが好ましく、５
０〜７０重量部とすることがより好ましく、５５〜６５
重量部とすることが特に好ましい。
【００５０】この配合量が、４０重量部未満では、得ら
れる感光性エレメントが塗膜性に劣る傾向がある。ま
た、８０重量部を超えると、光硬化性が不十分となる傾
向がある。
【００５１】本発明の感光性樹脂組成物における（Ａ）
成分中（ａ１）成分の配合量は、（Α）成分の１００重
量部に対して、１０〜６０重量部であり、１５〜５０重
量部とすることが好ましく、２０〜４５重量部とするこ
とがより好ましい。この配合量が、１０重量部未満で
は、現像時間が遅くな、６０重量部を超えると、テント
信頼性が悪化する。
【００５２】本発明の感光性樹脂組成物における（Ａ）
成分中（ａ２）成分の配合量は、（Ａ）成分の１００重
量部に対して、４０〜９０重量部であり、５０〜８５重
量部とすることが好ましく、５５〜８０重量部とするこ
とがより好ましい。この配合量が、４０重量部未満で
は、テント信頼性が悪化し、９０重量部を超えると、現
像時間が遅くなる。
【００５３】本発明の感光性樹脂組成物における（Ｂ）
成分の配合量は、（Α）成分と（Ｂ）成分の総量１００
重量部に対して、２０〜６０重量部であり、３０〜５０
重量部とすることが好ましく、３５〜４５重量部とする
ことがより好ましい。この配合量が、２０重量部未満で
は、光硬化性が不十分となり、６０重量部を超えると、
塗膜性が悪化する。
【００５４】本発明の感光性樹脂組成物における（Ｂ）
成分中（ｂ１）成分の配合量は、（Ｂ）成分の総量１０
０重量部に対して、２５〜７５重量部であり、３５〜６
５重量部とすることが好ましく、４５〜５５重量部とす
ることがより好ましい。この配合量が、２５重量部未満
では、テント信頼性が不十分となり、７５重量部を超え
ると、解像度が悪化する。
【００５５】本発明の感光性樹脂組成物における（Ｂ）
成分中（ｂ２）成分の配合量は、（Ｂ）成分の１００重
量部に対して、２５〜７５重量部であり、３５〜６５重
量部とすることが好ましく、４５〜５５重量部とするこ
とがより好ましい。この配合量が、２５重量部未満で
は、解像度が不十分とな、７５重量部を超えると、テン
ト信頼性が悪化する。
【００５６】本発明の感光性樹脂組成物における（Ｃ）
成分の配合量は、（Ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１０
０重量部に対して、１．０２〜１１重量部であり、２〜
８重量部とすることが好ましく、３〜５重量部とするこ
とより好ましい。この配合量が、１．０２重量部未満で
は、感度が不十分となり、１１重量部を超えると、めっ
き浴汚染性が悪化する。
【００５７】本発明の感光性樹脂組成物における（Ｃ）
成分中（ｃ１）成分の配合量は、感度、めっき浴汚染性
の点から、（ａ）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量
部に対して、１〜５重量部であり、２〜４重量部とする
ことが好ましく、２．５〜３．５重量部とすることがよ
り好ましい。この配合量が、１重量部未満では、感度が
不十分となり、５重量部を超えると、めっき浴汚染性が
悪化する。
【００５８】本発明の感光性樹脂組成物における（Ｃ）
成分中（ｃ２）成分の配合量は、感度、めっき浴汚染性
の点から、（Α）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量
部に対して、０．０１〜５重量部であり、０．０５〜１
重量部とすることが好ましく、０．０８〜０．２重量部
とすることがより好ましい。この配合量が、０．０１重
量部未満では、感度が不十分となり、５重量部を超える
と、めっき浴汚染性が悪化する。
【００５９】本発明の感光性樹脂組成物における（Ｃ）
成分中（ｃ３）成分の配合量は、感度、めっき浴汚染性
の点から、（Α）成分及び（Ｂ）成分の総量１００重量
部に対して、０．０１〜１重量部であり、０．０２〜
０．３重量部とすることが好ましく、０．０４〜０．１
重量部とすることがより好ましい。
【００６０】この配合量が、０．０１重量部未満では、
感度が不十分となり、１重量部を超えると、めっき浴汚
染性が悪化する。
【００６１】本発明の感光性樹脂組成物には、上記
（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分以外に、必要に
応じて、染料、顔料、発色剤、可塑剤、燃焼剤、安定
剤、密着性付与剤等の添加剤を含有させてもよい。
【００６２】染料、顔料、発色剤としては、例えば、ロ
イコクリスタルバイオレット、マラカイトグリーン等が
挙げられる。可塑剤としては、例えば、ｐ−トルエンス
ルホン酸アミド等が挙げられる。安定剤としては、例え
ば、アンテージ５００（川口化学工業社製、商品名、熱
重合禁止剤、２，２′−メチレンビス（４−エチル−６
−ｔ−ブチルフェノール）等が挙げられる。密着性付与
剤としては、例えば、ベンゾトリアゾール等が挙げられ
る。これらの添加剤は、単独で又は２種類以上を組合わ
せて使用することができる。
【００６３】本発明の感光性エレメントは、前記本発明
の感光性樹脂組成物の層を支持体上に積層したものであ
る。
【００６４】本発明の感光性樹脂組成物の層を支持体上
に積層する方法としては、例えば、前記本発明の感光性
樹脂組成物を有機溶剤に溶解させ、支持体上に塗布し、
乾燥させる方法が挙げられる。
【００６５】有機溶剤としては、例えば、トルエン、ア
セトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケト
ン、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、クロロホル
ム、塩化メチレン、ジメチルホルムアミド、メタノー
ル、エタノール等が挙げられ、これらは、単独で又は２
種類以上を組み合わせて使用される。
【００６６】支持体としては、感光性エレメントの製造
時に必要な耐熱性、耐溶剤性を有しているものであれば
特に限定されず、公知のフィルムを使用できる。
【００６７】このような支持体としては、例えば、重合
体フィルム（ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポ
リプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム等）など
が挙げられ、これらの重合体フィルムの中では、透明性
の点からポリエチレンテレフタレートフィルムが好まし
い。
【００６８】これらの重合体フィルムは、後の工程で感
光層（感光性樹脂組成物層）から除去可能でなくてはな
らないため、使用される重合体フィルムは除去が不可能
となるような材質であったり、表面処理が施されていな
いことが必要である。
【００６９】塗布方法としては、特に制限はなく、公知
の方法が使用でき、例えば、ナイフコート法、ロールコ
ート法、スプレーコート法等が挙げられる。
【００７０】乾燥は、例えば、支持体上への塗布操作の
後、乾燥機を用いて加熱することによって行うことがで
きる。
【００７１】加熱温度は、５０〜１７５℃とすることが
好ましく、７０〜１１０℃とすることがより好ましい。
加熱温度が、５０℃未満では、感光層の中に多量の有機
溶剤が残存する傾向が有り、１７５℃を超えると、感光
層が変色する傾向がある。
【００７２】加熱時間は、３０〜９００秒とすることが
好ましく、３０〜６００秒とすることがより好ましい。
加熱時間が、３０秒未満では、感光層の中に残存する有
機溶剤量が多くなる傾向があり、９００秒を超えると感
光層が変色する傾向がある。
【００７３】感光層の厚さは、用途により適宜選択され
るが、乾燥後の厚さで、通常、１０〜１００μｍ程度と
される。
【００７４】また、感光層中の残存有機溶剤量は、後の
工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、２重量％以
下とすることが好ましい。
【００７５】本発明の感光性エレメントは、支持体上の
感光層に対する外部からの損傷や異物の付着等を防止す
るため、感光層が保護フィルム等で被覆されたものであ
ることが好ましい。
【００７６】保護フィルムとしては、感光層と支持体と
の接着力よりも、感光層と保護フィルムとの接着力の方
が小さいものであれば特に制限はなく、公知のものが使
用でき、例えば、ポリオレフィンフィルム（ポリエチレ
ンフィルム、ポリプロピレンフィルム等）、ポリエステ
ルフィルムなどが挙げられる。
【００７７】本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エレ
メントを用いることにより、本発明の感光性樹脂組成物
の層を基板上に積層することができる。
【００７８】本発明の感光性樹脂組成物の層を基板上に
積層する方法としては、本発明の感光性樹脂組成物を有
機溶剤に溶解させ、直接、基板に塗布し、乾燥させる方
法、本発明の感光性エレメントを用いて、保護フィルム
が存在する場合には、それを除去した後、感光層を加熱
しながら、基板に圧着させる方法等が挙げられる。基板
としては、例えば、銅基板、ニッケル基板、クロム基板
等が挙げられる。
【００７９】本発明の感光性樹脂組成物を有機溶剤に溶
解させ、直接、基板に塗布し、乾燥させる方法におい
て、使用される有機溶剤としては、前記感光性エレメン
ト作製時に使用される有機溶剤等が挙げられる。
【００８０】塗布方法としては、特に制限はなく、公知
の方法が使用でき、例えば、ディップコート法、フロー
コート法等が挙げられる。
【００８１】乾燥は、例えば、基板上への塗布操作の
後、乾燥機を用いて加熱することによって行うことがで
きる。加熱温度及び時間は、前記感光性エレメント作製
時の塗布操作後の乾燥操作での加熱温度及び時間に従う
ことができる。
【００８２】また、感光層の厚さや感光層中の残存有機
溶剤量も、前記感光性エレメント作製時の感光層の厚さ
や感光層中の残存有機溶剤量に従うことができる。
【００８３】さらに、得られた感光層には、前記感光性
エレメント作製の場合と同様に、感光層を保護フィルム
等で被覆することが好ましい。
【００８４】本発明の感光性エレメントを用いて、保護
フィルムが存在する場合には、それを除去した後、感光
層を加熱しながら、基板に圧着させる方法において、感
光層の加熱温度は、通常、９０〜１３０℃とされ、圧着
圧力は、通常、３ｋｇｆ／ｃｍ2とされるが、これらの
条件には特に制限はない。
【００８５】感光層を前記のように加熱すれば、予め基
板を予熱処理することは必要でないが、積層性をさらに
向上させるために、基板を予熱処理することが好まし
い。
【００８６】基板上に積層された感光層は、ネガフィル
ム又はポジフィルムを通して活性光線で画像的に露光さ
れる。その際、感光層上に存在する支持体が透明である
場合は、そのまま露光してもよいが、不透明である場合
は、露光前に支持体を除去することが必要である。な
お、感光層の保護という点からは、支持体は透明で、こ
の支持体を残存させたまま、それを通して感光層を露光
させることが好ましい。
【００８７】活性光線としては公知の活性光線が利用で
き、通常、波長３００〜４５０ｎｍの光が使用される。
光源としては、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気ア
ーク灯、キセノンアーク灯等が使用される。
【００８８】なお、感光層に含まれる光重合開始剤の感
受性は、通常、紫外線領域において最大であるので、紫
外線領域において感受性の高い光重合開始剤を用いる場
合は、活性光源として紫外線を有効に放射するものであ
ることが好ましい。これに対し、可視光線において感受
性の高い光重合開始剤を組み合わせて用いる場合（例え
ば、９，１０−フェナンスレンキノン等）は、活性光線
としては可視光が好ましく、その光源としては、前記の
もの以外に、写真用フラッド電球、太陽ランプ等が挙げ
られる。
【００８９】露光後、感光層上に支持体が存在している
場合には、これを除去したあと、現像する。現像液とし
ては、安全且つ安定であり、操作性が良好なものであれ
ば特に制限はないが、環境への影響が少ない点から、ア
ルカリ水溶液を使用することが好ましい。
【００９０】アルカリ性水溶液としては、例えば、水酸
化アルカリ（リチウムの水酸化物、ナトリウムの水酸化
物、カリウムの水酸化物等）、炭酸アルカリ（リチウム
の炭酸塩又は重炭酸塩、ナトリウムの炭酸塩又は重炭酸
塩、カリウムの炭酸塩又は重炭酸塩等）、アルカリ金属
リン酸塩（リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等）、ア
ルカリ金属ピロリン酸塩（ピロリン酸ナトリウム、ピロ
リン酸カリウム等）などが用いられ、その中でも炭酸ナ
トリウムが好ましい。
【００９１】アルカリ水溶液のｐＨは、未露光部の感光
層が除去され、露光部の感光層がレジストとして基板上
に残る適切なｐＨの範囲とする必要があることから、９
〜１１とすることが好ましく、また、その温度は、感光
層の現像性に合わせて調節される。
【００９２】また、アルカリ水溶液中には、表面活性
剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等
を混入させてもよい。
【００９３】現像方法は、特に限定されるものではな
く、公知の現像方法が使用できる。このような現像方法
としては、例えば、ディップ方式、バトル方式、高圧ス
プレー方式、ブラッシング、スクラッビング等が挙げら
れるが、解像度が高くなるというという点から、高圧ス
プレー方式が好ましい。
【００９４】この現像操作により、未露光部の感光層が
除去され、露光部の感光層がレジストとして基板上に残
る。
【００９５】さらに、印刷配線板を製造する場合は、現
像後、エッチング、めっき等の公知方法で処理する。
【００９６】めっき法としては、例えば、銅めっき（硫
酸銅めっき、ピロリン酸銅めっき等）、はんだめっき
（ハイスローはんだめっき等）、ニッケルめっき（ワッ
ト浴（硫酸ニッケル−塩化ニッケル）めっき、スルファ
ミン酸ニッケルめっき等）、金めっき（ハード金めっ
き、金めっき等）などが挙げられる。
【００９７】ついで、レジストが残る基板からレジスト
をはく離させる。レジストをはく離させるためには、例
えば、この基板を、現像に用いたアルカリ水溶液よりさ
らに強アルカリ性の水溶液中に浸漬させればよい。この
ような強アルカリ性の水溶液としては、例えば、１〜５
重量％の水酸化ナトリウム水溶液等が挙げられる。
【００９８】
【実施例】以下、実施例により本発明を説明する。
【００９９】実施例１〜２及び比較例１〜７ 表１に示す材料（添加剤及び溶剤）を配合し、これに表
２に示す（Ａ）成分、（Ｂ）成分及び（Ｃ）成分を、表
３に示す配合量で溶解させ、感光性樹脂組成物の溶液を
得た。
【０１００】
【表１】
【０１０１】
【表２】 ＊１．新中村化学社製。 ＊２．新中村化学社製。 ＊３．保土谷化学工業社製。 ＊４．保土谷化学工業社製。 ＊５．三井東圧化学社製。
【０１０２】
【表３】 ＊表中の数字は、固形分の重量（ｇ）を表わす。
【０１０３】次いで、ナイフコート法を用い、感光性樹
脂組成物の溶液を２５μｍ厚のポリエチレンテレフタレ
ートフィルム（帝人社製、ＧＳタイプ）上に均一に塗布
し、１００℃の熱風対流式乾燥機で１０分間乾燥して感
光性エレメントを得た。感光性樹脂組成物層の乾燥後の
膜厚は、４０μｍであった。
【０１０４】次いで、銅箔（厚さ３５μｍ）を両面に積
層したガラスエポキシ材である銅張積層板（日立化成工
業社製、商品名ＭＣＬ−Ｅ−６１）の銅表面を♯６００
相当のブラシを持つ研磨機（三啓社製）を用いて研磨
し、水洗後、空気流で乾燥させ、得られた銅張積層板を
８０℃に加熱した後、上記で得られた感光性エレメント
を用いて、銅表面上に前記感光性樹脂組成物の層を１２
０℃、４ｋｇｆ／ｃｍ2でラミネートした。
【０１０５】ラミネート後、銅張積層板を冷却し、銅張
積層板の温度が２３℃になった時点で、ポリエチレンテ
レフタレート面にフォトツール（ストーファーの２１段
ステップタブレットを密着させ、オーク社製露光機（形
式ＨＭＷ−２０１Ｂ、３ｋＷ超高圧水銀灯）を用い、ス
トーファーの２１段ステップタブレットとライン／スペ
ースが３０／４００〜２５０／４００（密着性、単位：
μｍ）の配線パターンを有するフォトツールを密着さ
せ、ストーファーの２１段ステップタブレットの現像後
の残存ステップ段数が８．０となるエネルギー量で露光
した。
【０１０６】露光後、室温で１５分間放置し、続いて銅
張積層板からポリエチレンテレフタレートフィルムをは
がし、３０℃、１．０重量％の炭酸ナトリウム水溶液を
スプレーすることにより現像した。
【０１０７】この時の現像後の現存ステップ段数が８．
０段となる露光量（感度）を求め、結果を表４に示し
た。この露光量が小さいほど、感度が高い。
【０１０８】また、現像後にははく離せずに残存したレ
ジストのラインの幅を求め、結果を表４に示した。この
値が小さほど基板との密着性に優れる。
【０１０９】また、このときの未露光部の現像時間を最
少現像時間として求め、結果を表４に示した。この値が
小さい程現像時間が短い。
【０１１０】また、１．６ｍｍ厚の銅張積層板に直径４
ｍｍの穴が３個連なって空いてある基材（図１参照）に
感光性樹脂組成物の積層体を両面にラミネートし、上記
エネルギー量で露光を行い、６０秒の現像を２回行っ
た。
【０１１１】現像後、図１の１に示した箇所（合計１８
個の３連φ４ｍｍ穴）の穴破れ個数を測定し、（穴破れ
数／１８）×１００を異形テント破れ率として評価し、
これをテント信頼性と考えた。
【０１１２】一方、上記で得られた感光性エレメント
を、ステップタブレットで８．０段になるような露光量
で露光した後、ポリエチレンテレフタレートを除去し、
露光された感光性樹脂組成物を下記の半田めっき浴に
０．１ｍ2／ｌになるように入れ、２５℃で３日間放置
した。
【０１１３】半田めっき浴：４５％ホウフッ化錫６４ｍ
ｌ／ｌ、４５％ホウフッ化鉛２２ｍｌ／ｌ、４２％ホウ
フッ化水素酸２００ｍｌ／ｌ、プルティンＬΑコンダク
ティビティソルト（メルテックス社製、商品名）２０ｇ
／ｌ、プルティンＬΑスターター（メルテックス社製、
商品名）４０ｍｌ／ｌ。
【０１１４】その後、ハルセル槽（山本めっき試験器社
製）に、２５℃で３日間放置した後のめっき液を入れ、
１Αの電流を５分間流し、銅板上にめっきした。
【０１１５】換算表を用いて、電流密度を求め、銅板上
において、電流密度０．５Α／ｄｍ 2、１Α／ｄｍ2及び
２Α／ｄｍ2となる位置で、蛍光Ｘ線膜厚計（セイコー
電子工業社製、商品名ＳＦＴ−１５８）を用いてスズ比
（鉛と錫の総含有量に対する錫の含有量の重量比）を測
定した。この際、何の処理もしていない半田めっき浴に
ついても同様に測定し、これをブランクとした。
【０１１６】各測定値中、最もスズ比が近い測定値をブ
ランクの測定値で割った値を表４に示した。従って、こ
の値が１に近い方がめっき浴が汚染されていないことを
示す。
【０１１７】以上の結果をまとめて表４に示す。
【０１１８】
【表４】 ＊１．ブランクめっきのスズ比を１としたときの値。
【０１１９】表４から明らかなように、比較例１で使用
された感光性樹脂組成物は、最少現像時間が遅く、作業
効率が低下することが予想された。
【０１２０】また、比較例２で使用された感光性樹脂組
成物は、異形テントが破れており、テント信頼性が低か
った。
【０１２１】比較例３で使用された感光性樹脂組成物
は、現像後にはく離せずに残存したレジストのライン幅
が４０μｍであり、基板との密着性に劣っていた。その
上、異形テントが破れており、テント信頼性が低かっ
た。
【０１２２】比較例４で使用された感光性樹脂組成物
は、露光量が５０ｍＪ／ｃｍ2であり、感度が低かっ
た。その上、異形テントが破れており、テント信頼性が
低かった。
【０１２３】比較例５で使用された感光性樹脂組成物
は、露光量が９０ｍＪ／ｃｍ2であり、感度が著しく低
かった。その上、現像後にはく離せずに残存したレジス
トのラインの幅が５０μｍであり、基板との密着性が著
しく劣っていた。
【０１２４】比較例６で使用されていた感光性樹脂組成
物は、露光量が６０ｍＪ／ｃｍ2であり、感度が低かっ
た。その上、現像後にはく離せずに残存したレジストの
ラインの幅が５０μｍであり、基板との密着性が著しく
劣っていた。また、異形テントが破れており、テント信
頼性が低かった。
【０１２５】比較例７で使用された感光性樹脂組成物
は、現像後にはく離せずに残存したレジストのラインの
幅が４５μｍであり、基板との密着性に劣っていた。そ
の上、スズ比が０．７０であり、めっき浴が著しく汚染
されていた。このようにめっき浴が著しく汚染されてい
ると、めっき析出が不良となるおそれがある。
【０１２６】これに対し、実施例１〜２で使用された感
光性樹脂組成物は、感度が４５ｍＪ／ｃｍ2であること
から高感度であり、現像後にはく離せずに残存したレジ
ストのラインの幅が３５μｍであることから基板との密
着性に優れ、最少現像時間が１８秒であることから作業
性が良好であり、異形テントはいずれも破れが無くテン
ト信頼性に優れ、また、スズ比が０．９７であることか
らめっき浴の汚染が極めて少なかった。
【０１２７】
【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、高感度、
高密着性であり、最少現像時間が短く、テント信頼性、
めっき浴汚染性に優れるものである。
【０１２８】本発明の感光性エレメントは、高感度、高
密着性であり、最少現像時間が短く、テント信頼性及び
めっき浴汚染性に優れるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例で異形テント破れ率を評価した評価基板
の模式図であり、異形テント破れ率を評価した箇所の１
８個のうち、１箇所を拡大して示した。
【符号の説明】
１ 評価箇所
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 3/18 Ｈ０５Ｋ 3/18 Ｄ 3/28 3/28 Ｄ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 （Ａ）メタクリル酸１５〜４０重量％及
    び一般式（Ｉ）で表わされる単量体６０〜８５重量％を
    共重合成分として得られる重量平均分子量１０，０００
    〜４０，０００のアルカリ可溶なビニル系共重合化合物
    （ａ１） ＣＨ2＝Ｃ（Ｒ1）−ＣＯＯＲ2 （Ｉ） （式中、Ｒ1は水素原子又はメチル基を示し、Ｒ2は炭素
    数１〜１２のアルキル基を示す。）とメタクリル酸１５
    〜４０重量％、スチレン１〜５重量％及び一般式（Ｉ）
    で表わされる単量体５５〜８４重量％を共重合成分とし
    て得られる重量平均分子量５０，０００〜１５０，００
    ０のアルカリ可溶なビニル系共重合化合物（ａ２）を含
    むバインダーポリマーを４０〜８０重量部、 （Ｂ）一般式（ＩＩ）で表わされるビニルウレタン化合
    物（ｂ１） ＣＨ2＝Ｃ（Ｒ3）ＣＯＯ（Ｘ）l（Ｙ）pＣＯ−ＮＨ− −Ｚ−ＮＨ−ＣＯＯ（Ｙ）q（Ｘ）mＣＯＣ（Ｒ3）＝ＣＨ2 （ＩＩ） （式中、Ｒ3は水素原子又はアルキル基を示し、２つの
    Ｒ3は同一でも異なっていてもよく、Ｘは −ＣＨ2ＣＨ2Ｏ− を示し、Ｙは−ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）−Ｏ−、−ＣＨ（Ｃ
    Ｈ3）−ＣＨ2−Ｏ−、−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−、
    −ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−、−ＣＨ2−ＣＨ2
    −ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−又は−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｃ
    Ｈ2−ＣＨ2−ＣＨ2−ＣＨ2−Ｏ−を示し、Ｚは２価の炭
    化水素基を示し、ｌ、ｍ、ｐ及びｑは各々独立に１〜１
    ４の整数である。）及び一般式（ＩＩＩ）で表わされる
    アクリレート化合物（ｂ２） ＣＨ2＝ＣＲ4ＣＯＯ（ＣＨ2ＣＨ（ＣＨ3）Ｏ）n（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）r− −ＣＯＣＲ4＝ＣＨ2 （ＩＩＩ） （式中、Ｒ4は水素原子又はアルキル基を示し、ｎ及び
    ｒは各々１〜３０の整数である。）を含む分子内に重合
    可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を２
    ０〜６０重量部（但し（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量は
    １００重量部）、 （Ｃ）ヘキサアリールビイミダゾール（ｃ１）と一般式
    （ＩＶ）で表わされる芳香族ケトン（ｃ２） 【化１】 （式中、Ｒ5、Ｒ6、Ｒ7及びＲ8はそれぞれ独立に水素原
    子又は炭素数１〜４のアルキル基を示す。）及び一般式
    （Ｖ）で表わされるアリールグリシン化合物（ｃ３） Ｒ9−ＮＨＣＨ2ＣＯＯ−Ｒ10 （Ｖ） （式中、Ｒ9はアリール基又はアルキル基置換アリール
    基を示し、Ｒ10は水素原子又はアルキル基を示す。）を
    含む光重合開始剤を（Ａ）成分と（Ｂ）成分の総量１０
    ０重量部に対して１．０２〜１１重量部含有してなり、
    （Ａ）成分のバインダーポリマー中の（ａ１）成分及び
    （ａ２）成分の配合量が、（Ａ）成分１００重量部に対
    して、（ａ１）成分が１０〜６０重量部及び（ａ２）成
    分が４０〜９０重量部であり、（Ｂ）成分の光重合性化
    合物中の（ｂ１）成分及び（ｂ２）成分の配合量が、
    （Ｂ）成分１００重量部に対して、（ｂ１）成分が２５
    〜７５重量部及び（ｂ２）成分が２５〜７５重量部であ
    り、（Ｃ）成分の光重合開始剤中の（ｃ１）成分、（ｃ
    ２）成分及び（ｃ３）成分の配合量が、（Ａ）成分と
    （Ｂ）成分の総量１００重量部に対して、（ｃ１）成分
    が１〜５重量部、（ｃ２）成分が０．０１〜５重量部及
    び（ｃ３）成分が０．０１〜１重量部であることを特徴
    とする感光性樹脂組成物。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の感光性樹脂組成物の層を
    支持体上に積層してなる感光性エレメント。
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