JPH1182480A - 流体動圧軸受装置およびこれを用いたスピンドルモータ - Google Patents

流体動圧軸受装置およびこれを用いたスピンドルモータ

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JPH1182480A
JPH1182480A JP9247543A JP24754397A JPH1182480A JP H1182480 A JPH1182480 A JP H1182480A JP 9247543 A JP9247543 A JP 9247543A JP 24754397 A JP24754397 A JP 24754397A JP H1182480 A JPH1182480 A JP H1182480A
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JP
Japan
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bearing
thrust
dynamic pressure
face
shaft
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JP9247543A
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Ken Sato
建 佐藤
Sachio Hatori
早千雄 羽鳥
Shinichi Yodo
慎一 要藤
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Nidec Advanced Motor Corp
Original Assignee
Japan Servo Corp
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/02Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only
    • F16C17/028Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for radial load only with fixed wedges to generate hydrodynamic pressure, e.g. multi-lobe bearings
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16CSHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C17/00Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement
    • F16C17/04Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only
    • F16C17/047Sliding-contact bearings for exclusively rotary movement for axial load only with fixed wedges to generate hydrodynamic pressure

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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】軸受損失の低減を行い、安定した軸受性能を有
する流体動圧軸受装置と、該軸受装置を備えたスピンド
ルモータを提供する。 【解決手段】スピンドルハブに嵌合した軸を軸受ハウジ
ングに内設した軸受で回転自在に支持し、前記軸受ハウ
ジングの外周に固設したステータと該ステータに小空隙
を介して対向してロータマグネットを前記スピンドルハ
ブの内面に固設してモータを形成し、該モータにより前
記スピンドルハブを回転駆動するスピンドルモータの軸
受において、二つ以上の円弧形状から形成され動圧発生
機構を備えるラジアル軸受と、該ラジアル軸受の端面と
微小な隙間を介し対向するスラスト受けから成るスラス
ト軸受とを備え、前記スラスト受けとの動圧による浮上
量1に対し、スラスト受けの面粗さを0.1ないし0.
05にすると共に、前記ラジアル軸受と軸との微小隙間
量1に対し、該軸の表面粗さを0.1ないし0.05に
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、小型磁気記憶装置等の
用いられるスピンドルモータの軸受構造に関する。モー
タが小型化、且つ高速化、高回転精度が要求されてきて
いる中、従来使用されていた玉軸受では、回転精度及び
高速回転の要求を満足させることが困難になってきてい
る。そこでその要求を満足させるべく考え出されたの
が、流体動圧軸受け装置である。本発明の利用分野は、
小型磁気記憶装置等に用いられるスピンドルモータ以外
にもレーザビームプリンタ用ポリゴンミラーモータ、光
磁気記憶装置用スピンドルモータ、VTR用シリンダモ
ータ等にも利用できる。
【0002】
【従来の技術】小型磁気記憶装置の高密度化・高速化に
伴い円板媒体を回転させるスピンドルモータの回転精度
及び高速回転の要求が高まっている。従来のスピンドル
モータでは、玉軸受が一般的に利用されてきたが、玉軸
受の構造から回転精度及び高速回転の限界域があり、そ
の要求を満足させることが困難になってきている。そこ
でその要求を満足させるべく考え出されたのが、流体動
圧軸受装置である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上述の如き流体動圧軸
受装置を用いたスピンドルモータは、回転精度・高速回
転の分野では、非常に優れている一方、すべり軸受であ
るため摩擦による軸受損失が大きい。小型磁気記憶装置
を搭載するデスクトップ型パーソナルコンピュータやノ
ートブック型パーソナルコンピュータでは省力化の要求
が強く軸受損失の改善は必至である。
【0004】軸受損失の低減策として、軸受幅を狭くし
たり軸経を細くしたりすることが考えられる。つまり軸
受剛性を犠牲にし軸受損失を改善することが一般的であ
るが軸受剛性を損なうことなく、これらの問題点を改善
・改良する流体動圧軸受装置を備えたスピンドルモータ
を提供するのが課題である。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の動圧軸受機構
は、スピンドルハブに嵌合した軸を軸受ハウジングに内
設した軸受で回転自在に支持し、前記軸受ハウジングの
外周に固設したステータと該ステータに小空隙を介して
対向してロータマグネットを前記スピンドルハブの内面
に固設してモータを形成し、該モータにより前記スピン
ドルハブを回転駆動するスピンドルモータに設けられる
軸受において、二つ以上の円弧形状から形成され動圧発
生機構を備えるラジアル軸受と、前記ラジアル軸受の端
面にはスラスト動圧を発生させる機構を設けて、該ラジ
アル軸受の端面と微小な隙間を介し対向するスラスト受
けから成るスラスト軸受と、に潤滑剤を封入した動圧軸
受装置において、前記ラジアル軸受の端面と微小な隙間
を介し対向するスラスト受けとの動圧による浮上量1に
対し、前記ラジアル軸受の端面と微小な隙間を介し対向
するスラスト受けの面粗さを0.1以下で0.05以上
にすると共に前記ラジアル軸受と動圧による微小な隙間
を介し対向する軸との微小隙間量1に対し、該軸の表面
粗さを0.1以下で0.05以上にするように構成す
る。
【0006】
【作 用】本発明に成る流体動圧軸受装置の摩擦係数
は、軸受とある微小隙間を介して軸受に対向して滑動す
る部材の面粗さにより摩擦係数が決定されると考えられ
る。軸受に対向して滑動する部材の面粗さを一定と仮定
すると、軸受隙間が狭くなると境界潤滑又は混合潤滑に
移行し摩擦係数を増加させることは周知である。一方軸
受隙間が一定とすると軸受に対向し滑動する部材の面粗
さが小さい方が摩擦係数が低下すると思われる。つまり
軸受剛性を確保すべく軸受隙間が決定されると軸受に対
向して滑動する部材の面粗さを抑えることにより流体潤
滑領域に移行し軸受損失を低減させることができる。し
かし、むやみに面粗さを上げることは経済的に不利であ
り、軸受に対向する部材の面粗さを軸受隙間量比の0.
1以下で0.05以上に確保することが最も効果的であ
る。
【0007】
【実施例】以下図面によって本発明の実施例を説明す
る。図1は、本発明の流体動圧軸受装置を備えた磁気記
憶装置用スピンドルモータに利用した一実施例の断面図
である。図1は、スピンドルハブ7に嵌合した軸2を軸
受ハウジング8に内設した軸受1で回転自在に支持し、
軸受ハウジング8の外周に固設したステータ9と該ステ
ータ9の外周に小空隙を介して対向してロータマグネッ
ト10をスピンドルハブ7の内周面に固設してモータを
形成し、該モータによりスピンドルハブ7を回転駆動す
るスピンドルモータの一例を示している。
【0008】図2は図1に示した軸受ハウジング8と軸
受1と軸2を含む軸受装置の関係を示す部分拡大図で、
軸受1は、焼結金属で形成され其の端面1ー1は図3及
び図4に示すように三つのテーパランドa、b、cを有
し、その内周面は、図5に示すようにサイジングにより
形成した3個の円弧形状の軸受面1ー2となっている。
つまりラジアル軸受及びスラスト軸受を一体に設けた
軸受である。軸受1の内周には、微小な隙間を介して回
転自在に支持される軸2が配置され、軸受1の端面1ー
1は、微小なる隙間を介し軸2と固設するスピンドルハ
ブ7の内周部7ー1の端面とが対向し、軸受1の他の端
面1ー3は微小なる隙間を介し軸2に固設するスラスト
プレート3が対向して配置されている。軸受1と、該軸
受1と滑動する部材、即ち軸2の外周面、スピンドルハ
ブ7の内周部7ー1の端面、スラストプレート3の端面
の夫々との間に潤滑油に磁性流体を混入した潤滑剤13
が挿入され、この潤滑剤13を封止するよう軸受けハウ
ジング8の一方の端面に軸方向に磁化されたシールマグ
ネット6をはさみ込むように薄い磁性体からなるポール
ピース15a、15bで構成するシールを固設する。また、軸
受ハウジング8のスピンドルハブ7と反対の側には、潤
滑剤13を注入する注入孔を有するキャップ12が軸受
ハウジング8と固設しており、その注入孔は、潤滑剤1
3を注入後にシール等により封止される。
【0009】以上の様な構成において、モータが回転す
ると軸2に固着されたスピンドルハブ7とスラストプレ
ート3が軸受1の内周面及び端面に設けられた動圧発生
機構により動圧が発生し、軸受1の内周面に対し軸2が
ラジアル方向に、又軸受1の端面1ー1及び1ー3に対
しスピンドルハブ7の内周部7ー1の端面とスラストプ
レート3の端面とがスラスト方向に夫々浮上し、微小な
る隙間を介し回転するようになる。そこで軸2と固設す
るスピンドルハブ7の内周部7ー1の端面と、軸受1の
他の一方の端面1ー3に微小なる隙間を介し対向するス
ラストプレート3の面粗さを変化させ試作した。試作し
た流体動圧軸受装置は、スピンドルハブ7が回転するこ
とにより発生するスラスト浮上量を指数1とし、スピン
ドルハブ7の内周部7ー1の端面の面粗さ比を0.2,
0.06,0.03と変化させ各々の軸受損失を測定し
た。軸受損失は、スピンドルハブ7の内周部7ー1の端
面の面粗さ比を0.2の時の軸受損失を指数100とし
曲線Aに、又その表面粗さを得るために要する工数の指
数を曲線Bに表現して図4にその結果を示した。図4に
示す通りスピンドルハブ7が回転することにより発生す
るスラスト浮上量に対し、面粗さの影響は大きく、A曲
線のように面粗さ比で0.1以下にすることにより軸受
損失を低減することができることが分かるが、一方所望
の表面粗さを得るために要する工数の指数はB曲線に示
すように面粗さ比を0.2とするための工数指数を1と
すると、面粗さ比を0.1とするには工数指数は5程度
であるが0.1より更に小さくしようとすると工数指数
が急激に増加し0.05とするには工数指数が18以上
となるから、面粗さ比を0.1以下で0.05以上の範
囲となるようにするのが経済的である。上記の試作検討
はスピンドルハブ7の内周部7ー1の端面について行っ
たものであるが、スラストプレート3の軸受1の端面1
ー3との対向面の面粗さ比及び、軸2と軸受1との浮上
による隙間量に対する軸2の面粗さ比でも同様のことが
いえる。
【0010】本発明に成る流体動圧軸受装置の第1の実
施例としては、スピンドルハブ7の内周部7ー1の軸受
1の端面1ー1と対向する端面と、スラストプレート3
の軸受1と端面と対向する面とスラストプレート3の軸
受1と端面1ー3と対向する面と、の夫々の面粗さをス
ピンドルハブ7が回転することにより発生するスラスト
浮上量を指数1とし面粗さ比を0.1以下で0.05以
上の範囲となるようにする構成である。
【0011】本発明に成る流体動圧軸受装置の第2の実
施例としては、軸1のラジアル軸受と対向する面の面粗
さをスピンドルハブ7が回転することにより発生するス
ラスト浮上量を指数1とし面粗さ比を0.1以下で0.
05以上の範囲となるようにする構成である。
【0012】本発明に成る流体動圧軸受装置の第3の実
施例としては、スピンドルハブ7の内周部の軸受1の端
面と対向する端面と、スラストプレート3の軸受1と対
向する端面と、軸1のラジアル軸受と対向する面と、の
夫々の面粗さをスピンドルハブ7が回転することにより
発生するスラスト浮上量を指数1とし面粗さ比を0.1
以下で0.05以上の範囲となるようにする構成であ
る。
【0013】本発明に成る流体動圧軸受装置の第4の実
施例としては、図7、図8に示すように軸22と固定子
ブラケット28をモータベース11に固着し、軸受1を
軸受ハウジング27ー1と共にスピンドルハブ27の側
に設け、軸22が固定され軸受1が回転する構造のモー
タで、該軸受1は図3及び図5に示す第1の実施例と同
様な構造でラジアル軸受とスラスト軸受とを一体に形成
してあり、夫々に動圧発生機構が設けられている。そし
て固定子ブラケット28の軸受1の下側端面と対向する
位置にスラストプレート3aが固着され、軸受1の上側
端面と対向する位置にスラストプレート3bが軸1に固
着され、スラストプレート3aとスラストプレート3b
の軸受1と対向する端面と、を夫々動圧による浮上量1
に対し面粗さを面粗さ比を0.1以下で0.05以上の
範囲となるようにする構成である。
【0014】本発明に成る流体動圧軸受装置の第5の実
施例としては図7、図8に示すように軸22と固定子ブ
ラケット28をモータベース11に固着し、軸受1を軸
受ハウジング27ー1と共にスピンドルハブ27の側に
設け、軸22が固定され軸受1が回転する構造のモータ
で、該軸受1は図3及び図5に示す第1の実施例と同様
な構造でラジアル軸受とスラスト軸受とを一体に形成し
てあり、夫々に動圧発生機構が設けられている。そして
固定子ブラケット28の軸受1の下側端面と対向する位
置にスラストプレート3aが固着され、軸受1の上側端
面と対向する位置にスラストプレート3bが軸1に固着
され、軸22の軸受1と対向する面の面粗さを動圧によ
る浮上量1に対し面粗さ比を0.1以下で0.05以上
の範囲となるようにする構成である。
【0015】本発明に成る流体動圧軸受装置の第6の実
施例としては、図7、図8に示すように軸22と固定子
ブラケット28をモータベース11に固着し、軸受1を
軸受ハウジング27ー1と共にスピンドルハブ27の側
に設け、軸22が固定され軸受1が回転する構造のモー
タで、該軸受1は図3及び図5に示す第1の実施例と同
様な構造でラジアル軸受とスラスト軸受とを一体に形成
してあり、夫々に動圧発生機構が設けられている。そし
て固定子ブラケット28の軸受1の下側端面と対向する
位置にスラストプレート3aが固着され、軸受1の上側
端面と対向する位置にスラストプレート3bが軸1に固
着され、スラストプレート3aとスラストプレート3b
の軸受1と対向する端面と、を夫々動圧による浮上量1
に対し面粗さを面粗さ比を0.1以下で0.05以上の
範囲となるようにすると共に軸22と対向する軸受1の
動圧による浮上量1に対し軸22の軸受1と対向する面
の面粗さを面粗さ比を0.1以下で0.05以上の範囲
となるようにする構成である。
【0016】本発明に成る流体動圧軸受装置の第1より
第3の実施例の夫々の一つを備えたスピンドルモータ
と、第4より第6の実施例の夫々の一つを備えたシピン
ドルモータと、を夫々実施することができると共に、小
型磁気記憶装置等に用いられるスピンドルモータ以外に
もレーザビームプリンタ用ポリゴンミラーモータ、光磁
気記憶装置用スピンドルモータ、VTR用シリンダモー
タ等にも利用できる。
【0017】
【発明の効果】本発明による動圧軸受機構は、軸受剛性
を犠牲にすることなく経済的に軸受損失を低減でき安価
な安定した性能の動圧軸受スピンドルモータを提供でき
る。また低温時の潤滑剤の高粘度による軸受損失の増大
や高速回転による軸受損失の増大にも緩和させることが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に成る流体動圧軸受装置を設けた磁気記
憶装置用スピンドルモータに利用した一実施例の断面図
である。
【図2】図1の本発明に成る流体動圧軸受装置の部分拡
大図である。
【図3】本発明を実施する流体動圧軸受装置のスラスト
軸受正面図である。
【図4】本発明を実施する流体動圧軸受装置のスラスト
軸受の断面図である。
【図5】本発明を実施する流体動圧軸受装置のラジアル
軸受の断面図である。
【図6】本発明に成る流体動圧軸受装置のスラスト受け
部の面粗さと軸受損失との関係を示す試験データであ
る。
【図7】本発明になる流体動圧軸受装置を、軸を固定し
軸受を回転させる構造のモータに実施した例の断面図で
ある。
【図8】第7図の例の軸受部分を示す部分拡大図であ
る。
【符号の説明】
1 軸受 1ー1,1ー3 軸受の端面 1ー2 軸受の内周面 2 軸 3,3a,3b スラストプレート 4 スラスト隙間 5 ラジアル隙間 6 シールマグネット 7 スピンドルハブ 7ー1 スピンドルハブの内周部 8 軸受ハウジング 9 ステータ 10 ロータマグネット 11 モータベース 12 キャップ 13 磁性流体を混入した潤滑剤 14 ラジアル軸受 15a、15b ポールピース 16 スラスト軸受 22 固定軸 27 スピンドルハブ 27ー1 軸受ハウジング 28 固定子ブラケット

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 スピンドルハブに嵌合した軸をハウジン
    グに内設した軸受で回転自在に支持し、前記ハウジング
    に外設したステータと該ステータに小空隙を介して対向
    してロータマグネットを前記スピンドルハブの内周に固
    設してモータを形成し、該モータにより前記スピンドル
    ハブを回転駆動するスピンドルモータに設けられる軸受
    で、二つ以上の円弧形状から形成され動圧を発生させる
    機構を備えたラジアル軸受と、該ラジアル軸受の端面に
    はスラスト動圧を発生させる機構を設け、該ラジアル軸
    受の端面と微小な隙間を介し対向するスラスト受けから
    成るスラスト軸受と、に潤滑剤を封入した流体動圧軸受
    装置において、前記ラジアル軸受の端面と微小な隙間を
    介し対向するスラスト受けの動圧による浮上量1に対
    し、前記ラジアル軸受の端面と微小な隙間を介し対向す
    るスラスト受けの面粗さを0.1以下で0.05以上に
    することを特徴とする流体動圧軸受装置。
  2. 【請求項2】 スピンドルハブに嵌合した軸をハウジン
    グに内設した軸受で回転自在に支持し、前記ハウジング
    に外設したステータと該ステータに小空隙を介して対向
    してロータマグネットを前記スピンドルハブの内周に固
    設してモータを形成し、該モータにより前記ハブを回転
    駆動するスピンドルモータに設けられる軸受で、二つ以
    上の円弧形状から形成され動圧を発生させる機構を備え
    たラジアル軸受と、該ラジアル軸受の端面にはスラスト
    動圧を発生させる機構を設け、該ラジアル軸受の端面と
    微小な隙間を介し対向するスラスト受けから成るスラス
    ト軸受と、に潤滑剤を封入した流体動圧軸受装置におい
    て、前記ラジアル軸受と動圧による微小な隙間を介し対
    向する軸との微小隙間量1に対し、該軸の表面粗さを
    0.1以下で0.05以上にすることを特徴とする流体
    動圧軸受装置。
  3. 【請求項3】 スピンドルハブに嵌合した軸をハウジン
    グに内設した軸受で回転自在に支持し、前記ハウジング
    に外設したステータと該ステータに小空隙を介して対向
    してロータマグネットを前記スピンドルハブの内周に固
    設してモータを形成し、該モータにより前記スピンドル
    ハブを回転駆動するスピンドルモータに設けられる軸受
    で、二つ以上の円弧形状から形成され動圧を発生させる
    機構を備えたラジアル軸受と、該ラジアル軸受の端面に
    はスラスト動圧を発生させる機構を設け、該ラジアル軸
    受の端面と微小な隙間を介し対向するスラスト受けから
    成るスラスト軸受と、に潤滑剤を封入した流体動圧軸受
    装置において、前記ラジアル軸受の端面と微小な隙間を
    介し対向するスラスト受けとの動圧による浮上量1に対
    し、前記ラジアル軸受の端面と微小な隙間を介し対向す
    るスラスト受けの面粗さを0.1以下で0.05以上に
    すると共に前記ラジアル軸受と動圧による微小な隙間を
    介し対向する軸との微小隙間量1に対し、該軸の表面粗
    さを0.1以下で0.05以上にすることことを特徴と
    する流体動圧軸受装置。
  4. 【請求項4】 モータベースに固着した固定子ブラケッ
    トと軸とを有し、該軸の外周に、内装された軸受により
    回転自在に支持されたスピンドルハブを装着し、前記固
    定子ブラケットの外周にステータを固着し、該ステータ
    の外周面に小空隙を介して対向したロータマグネットを
    前記スピンドルハブの内周に固着してモータを形成し、
    該モータにより前記スピンドルハブを回転駆動するスピ
    ンドルモータに設けられる軸受で、二つ以上の円弧形状
    から形成され動圧を発生させる機構を備えたラジアル軸
    受と、該ラジアル軸受の端面にはスラスト動圧を発生さ
    せる機構を設け、前記ラジアル軸受の端面と微小な隙間
    を介し対向するスラスト受けから成るスラスト軸受と、
    に潤滑剤を封入した流体動圧軸受装置において、前記ラ
    ジアル軸受の端面と微小な隙間を介し対向するスラスト
    受けの動圧による浮上量1に対し、前記ラジアル軸受の
    端面と微小な隙間を介し対向するスラスト受けの面粗さ
    を0.1以下で0.05以上にすることを特徴とする流
    体動圧軸受装置。
  5. 【請求項5】モータベースに固着した固定子ブラケット
    と軸とを有し、該軸の外周に、内装された軸受により回
    転自在に支持されたスピンドルハブを装着し、前記固定
    子ブラケットの外周にステータを固着し、該ステータの
    外周面に小空隙を介して対向したロータマグネットを前
    記スピンドルハブの内周に固着してモータを形成し、該
    モータにより前記スピンドルハブを回転駆動するスピン
    ドルモータに設けられる軸受で、二つ以上の円弧形状か
    ら形成され動圧を発生させる機構を備えたラジアル軸受
    と、該ラジアル軸受の端面にはスラスト動圧を発生させ
    る機構を設け、前記ラジアル軸受の端面と微小な隙間を
    介し対向するスラスト受けから成るスラスト軸受と、に
    潤滑剤を封入した流体動圧軸受装置において、前記ラジ
    アル軸受と動圧による微小な隙間を介し対向する軸との
    微小隙間量1に対し、該軸の表面粗さを0.1以下で
    0.05以上にすることを特徴とする流体動圧軸受装
    置。
  6. 【請求項6】モータベースに固着した固定子ブラケット
    と軸とを有し、該軸の外周に、内装された軸受により回
    転自在に支持されたスピンドルハブを装着し、前記固定
    子ブラケットの外周にステータを固着し、該ステータの
    外周面に小空隙を介して対向したロータマグネットを前
    記スピンドルハブの内周に固着してモータを形成し、該
    モータにより前記スピンドルハブを回転駆動するスピン
    ドルモータに設けられる軸受で、二つ以上の円弧形状か
    ら形成され動圧を発生させる機構を備えたラジアル軸受
    と、該ラジアル軸受の端面にはスラスト動圧を発生させ
    る機構を設け、該ラジアル軸受の端面と微小な隙間を介
    し対向するスラスト受けから成るスラスト軸受と、に潤
    滑剤を封入した流体動圧軸受装置において、前記ラジア
    ル軸受の端面と微小な隙間を介し対向するスラスト受け
    との動圧による浮上量1に対し、前記ラジアル軸受の端
    面と微小な隙間を介し対向するスラスト受けの面粗さを
    0.1以下で0.05以上にすると共に前記ラジアル軸
    受と動圧による微小な隙間を介し対向する軸との微小隙
    間量1に対し、該軸の表面粗さを0.1以下で0.05
    以上にすることことを特徴とする流体動圧軸受装置。
  7. 【請求項7】 上記請求項1〜3のいずれか1項に記載
    の流体動圧軸受装置を備えたこと、を特徴とするスピン
    ドルモータ。
  8. 【請求項8】 上記請求項4〜6のいずれか1項に記載
    の流体動圧軸受装置を備えたこと、を特徴とするスピン
    ドルモータ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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