JPH1177885A - 表面改質プラスチック材料 - Google Patents
表面改質プラスチック材料Info
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- JPH1177885A JPH1177885A JP25204397A JP25204397A JPH1177885A JP H1177885 A JPH1177885 A JP H1177885A JP 25204397 A JP25204397 A JP 25204397A JP 25204397 A JP25204397 A JP 25204397A JP H1177885 A JPH1177885 A JP H1177885A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】優れた耐擦傷性、耐薬品性、耐候性等を有し、
しかも、簡単な工程で形成さできる密着性に優れた保護
膜を有するプラスチック材料を提供する。 【解決手段】プラスチック基材上に窒化アルミニウム又
は酸窒化アルミニウムからなるセラミック膜が形成され
た表面改質されたプラスチック材料。
しかも、簡単な工程で形成さできる密着性に優れた保護
膜を有するプラスチック材料を提供する。 【解決手段】プラスチック基材上に窒化アルミニウム又
は酸窒化アルミニウムからなるセラミック膜が形成され
た表面改質されたプラスチック材料。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面改質されたプ
ラスチック材料に関する。
ラスチック材料に関する。
【０００２】
【従来の技術】ポリカーボネート、ポリメチルメタクリ
レート等のプラスチックは、透明性、軽量性、耐衝撃性
などに優れた材料であり、安全用保護眼鏡レンズ、安全
用保護ゴーグルレンズ等の他、集光レンズ、ミラー、プ
リズム等各種の光学製品として応用されている。しかし
ながら、これらのプラスチック材料は、耐摩耗性に乏し
いために表面が傷つきやすく、また、有機溶剤等により
膨潤し易く、紫外線などの光により劣化するなどの欠点
がある。
レート等のプラスチックは、透明性、軽量性、耐衝撃性
などに優れた材料であり、安全用保護眼鏡レンズ、安全
用保護ゴーグルレンズ等の他、集光レンズ、ミラー、プ
リズム等各種の光学製品として応用されている。しかし
ながら、これらのプラスチック材料は、耐摩耗性に乏し
いために表面が傷つきやすく、また、有機溶剤等により
膨潤し易く、紫外線などの光により劣化するなどの欠点
がある。
【０００３】これらの欠点を改良する方法として、有機
樹脂をバインダー成分とする各種の塗料をプラスチック
表面に塗布し、これを熱、紫外線等によって硬化させて
保護皮膜を形成する方法があるが、形成される皮膜は、
有機樹脂皮膜であるために、耐擦傷性、耐薬品性等の点
では、十分な特性を有するものではない。また、紫外線
等による劣化を改善する方法としては、紫外線吸収剤、
抗酸化剤等をプラスチック自身に練り込む方法がある
が、製造工程が複雑であり、又、耐擦傷性、耐薬品性等
の点では満足のいくものとはならない。
樹脂をバインダー成分とする各種の塗料をプラスチック
表面に塗布し、これを熱、紫外線等によって硬化させて
保護皮膜を形成する方法があるが、形成される皮膜は、
有機樹脂皮膜であるために、耐擦傷性、耐薬品性等の点
では、十分な特性を有するものではない。また、紫外線
等による劣化を改善する方法としては、紫外線吸収剤、
抗酸化剤等をプラスチック自身に練り込む方法がある
が、製造工程が複雑であり、又、耐擦傷性、耐薬品性等
の点では満足のいくものとはならない。
【０００４】耐擦傷性を有する皮膜としては、Ａｌ2Ｏ3
等の酸化物の薄膜が知られているが、ポリカーボネート
等の上に直接Ａｌ2Ｏ3膜を形成する場合には、密着性が
きわめて悪く、密着性を改善するために、プラスチック
材料の上に何らかのバッファー層をコーティングして形
成する必要があり、２層以上の多層構造となるために、
工程が煩雑となり、生産性が悪いという問題点がある。
等の酸化物の薄膜が知られているが、ポリカーボネート
等の上に直接Ａｌ2Ｏ3膜を形成する場合には、密着性が
きわめて悪く、密着性を改善するために、プラスチック
材料の上に何らかのバッファー層をコーティングして形
成する必要があり、２層以上の多層構造となるために、
工程が煩雑となり、生産性が悪いという問題点がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の主な目的は、
耐擦傷性、耐薬品性、耐候性等が良好で、しかも、簡単
な工程で形成できる密着性に優れた保護膜を形成したプ
ラスチック材料を提供することである。
耐擦傷性、耐薬品性、耐候性等が良好で、しかも、簡単
な工程で形成できる密着性に優れた保護膜を形成したプ
ラスチック材料を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上述した如
き課題に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、窒化アルミニウ
ム皮膜又は酸窒化アルミニウム皮膜は、各種のプラスチ
ック材料に対して優れた密着性を有すると共に、耐擦傷
性、耐薬品性、耐光性等に優れたものであり、しかも、
透明性が良好であることから、特に、ポリカーボネー
ト、ポリメチルメタクリレート等の光学製品として用い
られるプラスチック材料の保護皮膜として、極めて有用
性が高いものであることを見出し、ここに本発明を完成
するに至った。
き課題に鑑みて鋭意研究を重ねた結果、窒化アルミニウ
ム皮膜又は酸窒化アルミニウム皮膜は、各種のプラスチ
ック材料に対して優れた密着性を有すると共に、耐擦傷
性、耐薬品性、耐光性等に優れたものであり、しかも、
透明性が良好であることから、特に、ポリカーボネー
ト、ポリメチルメタクリレート等の光学製品として用い
られるプラスチック材料の保護皮膜として、極めて有用
性が高いものであることを見出し、ここに本発明を完成
するに至った。
【０００７】即ち、本発明は、下記の改質されたプラス
チック材料を提供するものである。
チック材料を提供するものである。
【０００８】１．プラスチック基材上に、窒化アルミニ
ウム又は酸窒化アルミニウムからなるセラミック膜が形
成された表面改質プラスチック材料。
ウム又は酸窒化アルミニウムからなるセラミック膜が形
成された表面改質プラスチック材料。
【０００９】２．セラミック膜が、組成式：ＡｌＮ
X（式中、０．８≦Ｘ≦２．６である。）で表される窒
化アルミニウム、又は組成式：ＡｌＮYＯZ（式中、Ｙ≧
０．１３、Ｚ≦２．４７であって、０．８≦Ｙ＋Ｚ≦
２．６である。）で表される酸窒化アルミニウムである
項１に記載のプラスチック材料。
X（式中、０．８≦Ｘ≦２．６である。）で表される窒
化アルミニウム、又は組成式：ＡｌＮYＯZ（式中、Ｙ≧
０．１３、Ｚ≦２．４７であって、０．８≦Ｙ＋Ｚ≦
２．６である。）で表される酸窒化アルミニウムである
項１に記載のプラスチック材料。
【００１０】３．プラスチック基材上に、窒化アルミニ
ウム及び酸窒化アルミニウムから選ばれたセラミック膜
が形成されたプラスチック材料であって、該セラミック
膜は、連続的又は断続的に組成が変化する構造のもので
ある表面改質プラスチック材料。
ウム及び酸窒化アルミニウムから選ばれたセラミック膜
が形成されたプラスチック材料であって、該セラミック
膜は、連続的又は断続的に組成が変化する構造のもので
ある表面改質プラスチック材料。
【００１１】４．セラミック膜が、プラスチック基材と
の界面部分では、組成式：ＡｌＮXにおいて、Ｘが０．
８〜２．６の窒化アルミニウム、又は組成式：ＡｌＮY
ＯZにおいて、Ｙが０．１３以上、Ｚが２．４７以下で
あって、Ｙ＋Ｚが０．８〜２．６のの酸窒化アルミニウ
ムであり、プラスチック基材との界面部分から表面部分
に向かって、連続的又は断続的に組成が変化する構造の
ものである項３に記載のプラスチック材料。
の界面部分では、組成式：ＡｌＮXにおいて、Ｘが０．
８〜２．６の窒化アルミニウム、又は組成式：ＡｌＮY
ＯZにおいて、Ｙが０．１３以上、Ｚが２．４７以下で
あって、Ｙ＋Ｚが０．８〜２．６のの酸窒化アルミニウ
ムであり、プラスチック基材との界面部分から表面部分
に向かって、連続的又は断続的に組成が変化する構造の
ものである項３に記載のプラスチック材料。
【００１２】５．セラミック膜が、更に、酸化アルミニ
ウム層を含むものである項１〜４のいずれかに記載のプ
ラスチック材料。
ウム層を含むものである項１〜４のいずれかに記載のプ
ラスチック材料。
【００１３】６．セラミック膜が、物理蒸着法によって
形成されたものである項１〜５のいずれかに記載のプラ
スチック材料。
形成されたものである項１〜５のいずれかに記載のプラ
スチック材料。
【００１４】７．プラスチック基材が、光学製品用プラ
スチックである項１〜６のいずれかに記載のプラスチッ
ク材料。
スチックである項１〜６のいずれかに記載のプラスチッ
ク材料。
【００１５】８．プラスチック基材が、ポリカーボネー
ト、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリ塩
化ビニル、及びポリジエチレングリコールビスアリルカ
ーボネートから選ばれたものである項７に記載のプラス
チック材料。
ト、ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリ塩
化ビニル、及びポリジエチレングリコールビスアリルカ
ーボネートから選ばれたものである項７に記載のプラス
チック材料。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明において、基材とするプラ
スチックスについては、その種類は特に限定されるもの
ではなく、各種の公知のプラスチックスを適用対象とす
ることができる。その形状も限定されず、各種の成型
品、シート状等とすることができる。
スチックスについては、その種類は特に限定されるもの
ではなく、各種の公知のプラスチックスを適用対象とす
ることができる。その形状も限定されず、各種の成型
品、シート状等とすることができる。
【００１７】特に、本発明では、保護膜とする窒化アル
ミニウム及び酸窒化アルミニウムが良好な透明性を有す
ることから、光学製品として用いられるプラスチックス
を基材とする場合には、透明性等の光学特性を阻害する
ことなく、保護皮膜を形成できるので、極めて有用性の
高いプラスチック材料となる。
ミニウム及び酸窒化アルミニウムが良好な透明性を有す
ることから、光学製品として用いられるプラスチックス
を基材とする場合には、透明性等の光学特性を阻害する
ことなく、保護皮膜を形成できるので、極めて有用性の
高いプラスチック材料となる。
【００１８】光学製品として用いられるプラスチックス
は、透明性、成形性、加工性、機械的強度、耐衝撃性等
の各種の特性に優れていることが望ましい。これらの要
求特性を満足し、本発明における基材として適したプラ
スチックスとしては、熱可塑性の材料として、ポリカー
ボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭ
Ａ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶ
Ｃ）等を例示でき、熱硬化性の材料として、ポリジエチ
レングリコールビスアリルカーボネート（商標：ＣＲ−
３９、ＰＰＧインダストリーズ社（米国）製）等を例示
できる。
は、透明性、成形性、加工性、機械的強度、耐衝撃性等
の各種の特性に優れていることが望ましい。これらの要
求特性を満足し、本発明における基材として適したプラ
スチックスとしては、熱可塑性の材料として、ポリカー
ボネート（ＰＣ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭ
Ａ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶ
Ｃ）等を例示でき、熱硬化性の材料として、ポリジエチ
レングリコールビスアリルカーボネート（商標：ＣＲ−
３９、ＰＰＧインダストリーズ社（米国）製）等を例示
できる。
【００１９】本発明において、保護皮膜として用いるセ
ラミック皮膜は、窒化アルミニウム又は酸窒化アルミニ
ウムである。窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウム
は、いずれも、プラスチック基材との密着性に優れ、良
好な透明性を有し、耐擦傷性、耐薬品性、耐候性等の各
特性に優れたものである。
ラミック皮膜は、窒化アルミニウム又は酸窒化アルミニ
ウムである。窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウム
は、いずれも、プラスチック基材との密着性に優れ、良
好な透明性を有し、耐擦傷性、耐薬品性、耐候性等の各
特性に優れたものである。
【００２０】本発明では、窒化アルミニウムと酸窒化ア
ルミニウムは、いずれも、化学量論組成のものに限定さ
れることはなく、組成比が化学量論組成以外のものであ
っても良い。窒化アルミニウムとしては、組成式：Ａｌ
ＮXにおいて、Ｘが０．８〜２．６程度の範囲内にある
ものが好ましく、酸窒化アルミニウムは、組成式：Ａｌ
ＮYＯZにおいて、Ｙが０．１３以上、Ｚが２．４７以下
であって、Ｙ＋Ｚが０．８〜２．６程度の範囲内にある
ものが好ましい。窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニ
ウムは、それぞれ、上記組成範囲にあることによって、
特に、透明性、密着性、化学的安定性等に優れたものと
なる。化学量論組成以外のセラミック膜は、例えば、ス
パッタ法等によって容易に得ることができる。
ルミニウムは、いずれも、化学量論組成のものに限定さ
れることはなく、組成比が化学量論組成以外のものであ
っても良い。窒化アルミニウムとしては、組成式：Ａｌ
ＮXにおいて、Ｘが０．８〜２．６程度の範囲内にある
ものが好ましく、酸窒化アルミニウムは、組成式：Ａｌ
ＮYＯZにおいて、Ｙが０．１３以上、Ｚが２．４７以下
であって、Ｙ＋Ｚが０．８〜２．６程度の範囲内にある
ものが好ましい。窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニ
ウムは、それぞれ、上記組成範囲にあることによって、
特に、透明性、密着性、化学的安定性等に優れたものと
なる。化学量論組成以外のセラミック膜は、例えば、ス
パッタ法等によって容易に得ることができる。
【００２１】本発明では、保護皮膜として形成する窒化
アルミニウム又は酸窒化アルミニウムからなるセラミッ
ク膜は、必ずしも全体が均一な組成である必要はなく、
連続的又は断続的に組成が変化する構造であっても良
い。断続的に組成が変化する構造の場合には、２層以上
の多層構造のセラミック膜となる。この様な連続的又は
断続的に組成が変化するセラミック膜は、同一種類のセ
ラミックスの組成が変化する場合だけではなく、窒化ア
ルミニウムの上に酸窒化アルミニウムを積層した構造、
酸窒化アルミニウムの上に窒化アルミニウムを積層した
構造、窒化アルミニウムと酸窒化アルミニウムを適宜３
層以上積層した構造等の異なる種類のセラミックスを積
層した構造であっても良い。
アルミニウム又は酸窒化アルミニウムからなるセラミッ
ク膜は、必ずしも全体が均一な組成である必要はなく、
連続的又は断続的に組成が変化する構造であっても良
い。断続的に組成が変化する構造の場合には、２層以上
の多層構造のセラミック膜となる。この様な連続的又は
断続的に組成が変化するセラミック膜は、同一種類のセ
ラミックスの組成が変化する場合だけではなく、窒化ア
ルミニウムの上に酸窒化アルミニウムを積層した構造、
酸窒化アルミニウムの上に窒化アルミニウムを積層した
構造、窒化アルミニウムと酸窒化アルミニウムを適宜３
層以上積層した構造等の異なる種類のセラミックスを積
層した構造であっても良い。
【００２２】組成が変化する構造のセラミック膜を形成
する場合には、プラスチック基材とセラミック膜との界
面部分のセラミック膜は、組成式：ＡｌＮXにおいて、
Ｘが０．８〜２．６窒化アルミニウム、又は組成式：Ａ
ｌＮYＯZにおいて、Ｙが０．１３以上、Ｚが２．４７以
下であって、Ｙ＋Ｚが０．８〜２．６の酸窒化アルミニ
ウムであることが好ましく、この様な組成範囲とするこ
とによって、良好な密着性を有する皮膜となる。界面部
分以外では、窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウム
の組成は、上記各一般式の範囲に限定されるものではな
いが、窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムが、そ
れぞれ、セラミック皮膜の全体に亘って上記各一般式の
範囲内にある場合には、透明性、密着性、化学的安定性
等も含めた特性についても良好な皮膜が形成されるの
で、好適である。尚、プラスチック基材とセラミック膜
との界面部分とは、プラスチック基材の表面にセラミッ
ク膜の連続膜が形成される最小の厚さの部分をいい、こ
れはセラミック膜の形成方法によって異なるが、スパッ
タ法や真空蒸着法でセラミック膜を形成する場合には、
通常、プラスチック基材の表面から１０ｎｍ程度の厚さ
の範囲である。
する場合には、プラスチック基材とセラミック膜との界
面部分のセラミック膜は、組成式：ＡｌＮXにおいて、
Ｘが０．８〜２．６窒化アルミニウム、又は組成式：Ａ
ｌＮYＯZにおいて、Ｙが０．１３以上、Ｚが２．４７以
下であって、Ｙ＋Ｚが０．８〜２．６の酸窒化アルミニ
ウムであることが好ましく、この様な組成範囲とするこ
とによって、良好な密着性を有する皮膜となる。界面部
分以外では、窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウム
の組成は、上記各一般式の範囲に限定されるものではな
いが、窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムが、そ
れぞれ、セラミック皮膜の全体に亘って上記各一般式の
範囲内にある場合には、透明性、密着性、化学的安定性
等も含めた特性についても良好な皮膜が形成されるの
で、好適である。尚、プラスチック基材とセラミック膜
との界面部分とは、プラスチック基材の表面にセラミッ
ク膜の連続膜が形成される最小の厚さの部分をいい、こ
れはセラミック膜の形成方法によって異なるが、スパッ
タ法や真空蒸着法でセラミック膜を形成する場合には、
通常、プラスチック基材の表面から１０ｎｍ程度の厚さ
の範囲である。
【００２３】又、本発明では、プラスチック基材とセラ
ミック膜との界面部分が窒化アルミニウム又は酸窒化ア
ルミニウムであれば、界面部分以外には、必要に応じ
て、酸化アルミニウム層を形成することもできる。界面
部分以外とは、例えば、積層した構造のセラミック膜に
おいて、セラミックス層に挟まれた中間層又は最上層を
意味する。酸化アルミニウムは、良好な透明性を有し、
窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムと良好な密着
性を有することから、セラミック膜の中間層又は最上層
として酸化アルミニウムを用いた場合にも、透明性、密
着性等が阻害されることは無い。特に、酸化アルミニウ
ム皮膜は、表面硬度が高いことから、酸化アルミニウム
を最上層とする場合には、高硬度の皮膜を形成できる点
で有利である。
ミック膜との界面部分が窒化アルミニウム又は酸窒化ア
ルミニウムであれば、界面部分以外には、必要に応じ
て、酸化アルミニウム層を形成することもできる。界面
部分以外とは、例えば、積層した構造のセラミック膜に
おいて、セラミックス層に挟まれた中間層又は最上層を
意味する。酸化アルミニウムは、良好な透明性を有し、
窒化アルミニウム及び酸窒化アルミニウムと良好な密着
性を有することから、セラミック膜の中間層又は最上層
として酸化アルミニウムを用いた場合にも、透明性、密
着性等が阻害されることは無い。特に、酸化アルミニウ
ム皮膜は、表面硬度が高いことから、酸化アルミニウム
を最上層とする場合には、高硬度の皮膜を形成できる点
で有利である。
【００２４】本発明において、プラスチック基材上にセ
ラミック膜を形成する方法については特に限定はなく、
公知のセラミック薄膜の形成方法を適宜適用すればよ
い。例えば、物理蒸着法（ＰＶＤ法）、化学蒸着法（Ｃ
ＶＤ法）等の気相薄膜形成法によって目的とするセラミ
ック膜を形成できるが、特に、基材のプラスチックの特
性を損なわない程度の温度で窒化物や酸化物等の化合物
を制御性よく形成できる点で、スパッタ法、真空蒸着
法、イオンプレーティング法、イオンビームディポジシ
ョン法等のＰＶＤ法が好ましい。
ラミック膜を形成する方法については特に限定はなく、
公知のセラミック薄膜の形成方法を適宜適用すればよ
い。例えば、物理蒸着法（ＰＶＤ法）、化学蒸着法（Ｃ
ＶＤ法）等の気相薄膜形成法によって目的とするセラミ
ック膜を形成できるが、特に、基材のプラスチックの特
性を損なわない程度の温度で窒化物や酸化物等の化合物
を制御性よく形成できる点で、スパッタ法、真空蒸着
法、イオンプレーティング法、イオンビームディポジシ
ョン法等のＰＶＤ法が好ましい。
【００２５】これらの方法では、公知の条件に従って、
セラミック薄膜を形成することができる。以下に、反応
性スパッタリング法でセラミック膜を形成する方法の一
例をより具体的に説明する。
セラミック薄膜を形成することができる。以下に、反応
性スパッタリング法でセラミック膜を形成する方法の一
例をより具体的に説明する。
【００２６】図１は、スパッタ法による薄膜作製装置の
一種であるマグネトロンスパッタ装置の一例の概略図で
ある。マグネトロンスパッタ法は、特に、基材温度の上
昇が少なく、成膜速度が速い点で優れた方法である。
一種であるマグネトロンスパッタ装置の一例の概略図で
ある。マグネトロンスパッタ法は、特に、基材温度の上
昇が少なく、成膜速度が速い点で優れた方法である。
【００２７】図１の装置において、中央にある基板ホル
ダー１は、例えば、正１２面体構造であり、長時間成膜
した場合に、熱により基板に反りが生じることを防止す
るために、基板ホルダ−が回転して、基板を冷却できる
構造となっている。又、この様な基板ホルダーが回転す
る構造とすることなく、断続的にスパッタを休止して基
板を冷却してもよい。
ダー１は、例えば、正１２面体構造であり、長時間成膜
した場合に、熱により基板に反りが生じることを防止す
るために、基板ホルダ−が回転して、基板を冷却できる
構造となっている。又、この様な基板ホルダーが回転す
る構造とすることなく、断続的にスパッタを休止して基
板を冷却してもよい。
【００２８】チャンバー２内はロータリーポンプ３と、
ターボ分子ポンプ４の組み合わせによる排気装置によ
り、必要な圧力に減圧できる構造となっている。
ターボ分子ポンプ４の組み合わせによる排気装置によ
り、必要な圧力に減圧できる構造となっている。
【００２９】スパッタ用ガスとしては、Ａｒ、Ｈｅ、Ｎ
ｅ、Ｋｒ、Ｘｅ等の不活性ガスを用いることができ、反
応ガスとしては、窒化アルミニウムを形成する場合には
Ｎ2を用い、酸窒化アルミニウムを形成する場合にはＮ2
とＯ2を用いればよい。スパッタ用ガスと反応ガスは、
マスフローコントローラーによって、一定流量がチヤン
バー２内に導入されるようになっている。
ｅ、Ｋｒ、Ｘｅ等の不活性ガスを用いることができ、反
応ガスとしては、窒化アルミニウムを形成する場合には
Ｎ2を用い、酸窒化アルミニウムを形成する場合にはＮ2
とＯ2を用いればよい。スパッタ用ガスと反応ガスは、
マスフローコントローラーによって、一定流量がチヤン
バー２内に導入されるようになっている。
【００３０】スパッタを行うための電源としては、高周
波電源（ＲＦ）あるいは直流電源（ＤＣ）のいずれも用
いることができるが、成膜レートは直流電源の方が高
く、生産性の点で有利である。
波電源（ＲＦ）あるいは直流電源（ＤＣ）のいずれも用
いることができるが、成膜レートは直流電源の方が高
く、生産性の点で有利である。
【００３１】ターゲツト５としてはアルミニウム、窒化
アルミニウム、酸窒化アルミニウム等を使用することが
できる。
アルミニウム、酸窒化アルミニウム等を使用することが
できる。
【００３２】形成される皮膜の特性は、ターゲット５に
印加するパワーとチャンバー内に導入するガス流量等に
よって、大きく影響されるので、実用的な透明なセラミ
ック膜を形成するためには、それぞれの作製条件により
適切な値を選択する必要がある。図２及び図３に、窒化
アルミニウム膜作製時の成膜レートとＮ2導入量及び印
加パワーの関係の一例のグラフを示す。図２は、電力５
００Ｗ、ＡｒとＮ2の合計流量が標準状態での流量（温
度０℃、圧力１気圧での流量（ｃｍ3））（ＳＣＣＭ）
として、６ＳＣＣＭの場合の成膜レートを示し、図３
は、電力１０００Ｗ、ＡｒとＮ2の合計流量６ＳＣＣＭ
の場合の成膜レートを示す。各図中、○印が本発明の目
的に合う透明な窒化アルミニウム膜である。
印加するパワーとチャンバー内に導入するガス流量等に
よって、大きく影響されるので、実用的な透明なセラミ
ック膜を形成するためには、それぞれの作製条件により
適切な値を選択する必要がある。図２及び図３に、窒化
アルミニウム膜作製時の成膜レートとＮ2導入量及び印
加パワーの関係の一例のグラフを示す。図２は、電力５
００Ｗ、ＡｒとＮ2の合計流量が標準状態での流量（温
度０℃、圧力１気圧での流量（ｃｍ3））（ＳＣＣＭ）
として、６ＳＣＣＭの場合の成膜レートを示し、図３
は、電力１０００Ｗ、ＡｒとＮ2の合計流量６ＳＣＣＭ
の場合の成膜レートを示す。各図中、○印が本発明の目
的に合う透明な窒化アルミニウム膜である。
【００３３】窒化アルミニウム又は酸窒化アルミニウム
の組成を変えるには、スパッタ室に供給するＡｒガス、
Ｎ2ガス、Ｏ2ガス等の流量比を調整すると共に、ターゲ
ツトに印加するパワー等を適宜変更すればよい。又、反
応ガスとして、Ｏ2ガスだけを用いることによって、酸
化アルミニウムを形成することもできる。この方法によ
れば、組成が変化する構造のセラミック膜を簡単に形成
できる。
の組成を変えるには、スパッタ室に供給するＡｒガス、
Ｎ2ガス、Ｏ2ガス等の流量比を調整すると共に、ターゲ
ツトに印加するパワー等を適宜変更すればよい。又、反
応ガスとして、Ｏ2ガスだけを用いることによって、酸
化アルミニウムを形成することもできる。この方法によ
れば、組成が変化する構造のセラミック膜を簡単に形成
できる。
【００３４】形成するセラミック膜の膜厚については特
に限定はないが、良好な保護機能を発揮するためには、
通常、０．１μｍ程度以上の膜厚とすることが好まし
い。膜厚の上限についても特に限定はなく、作業性、コ
スト等を考慮して適宜膜厚を決めればよい。
に限定はないが、良好な保護機能を発揮するためには、
通常、０．１μｍ程度以上の膜厚とすることが好まし
い。膜厚の上限についても特に限定はなく、作業性、コ
スト等を考慮して適宜膜厚を決めればよい。
【００３５】
【発明の効果】本発明によるプラスチック材料は、耐擦
傷性、耐薬品性、耐光性等に優れ、しかも密着性の良好
な保護皮膜を有するものであり、各種の用途に有効に用
いることができる。
傷性、耐薬品性、耐光性等に優れ、しかも密着性の良好
な保護皮膜を有するものであり、各種の用途に有効に用
いることができる。
【００３６】特に、この保護皮膜は、上記特性に加えて
透明性も良好であることから、プラスチック基材の光学
特性を阻害することが少なく、この保護皮膜を形成した
プラスチック材料は、安全用保護眼鏡レンズ、安全用保
護ゴーグルレンズ、集光レンズ、ミラー、プリズム等の
光学製品として極めて有用性が高いものである。
透明性も良好であることから、プラスチック基材の光学
特性を阻害することが少なく、この保護皮膜を形成した
プラスチック材料は、安全用保護眼鏡レンズ、安全用保
護ゴーグルレンズ、集光レンズ、ミラー、プリズム等の
光学製品として極めて有用性が高いものである。
【００３７】
実施例１ 図１に示すマグネトロンスパッタ装置を用いて、以下の
方法で、Ａｌをターゲットとして用いて、反応性スパッ
タリング法により、窒化アルミニウム膜を形成した。
方法で、Ａｌをターゲットとして用いて、反応性スパッ
タリング法により、窒化アルミニウム膜を形成した。
【００３８】プラスチック基材としては、５０×５０×
１ｍｍのポリカーボネート板を用い、中性洗剤及び純水
で洗浄して表面の脱脂を行い、脱水した後、基板ホルダ
ー１にセットした。次いで、チャンバー２内を３×１０
-4Ｐａ以下に真空排気し、マスフローコントローラーに
てスパッタガスであるＡｒと反応ガスであるＮ2の流量
を調節し、さらにコンダクタンスバルブ６の開度を調節
して成膜室内のガス圧力を調節した後、ターゲット５に
パワーを印加して、スパッタリングを行なった。この
際、スパッタ中の熱による基板の変形をさけるため基板
を回転させた。
１ｍｍのポリカーボネート板を用い、中性洗剤及び純水
で洗浄して表面の脱脂を行い、脱水した後、基板ホルダ
ー１にセットした。次いで、チャンバー２内を３×１０
-4Ｐａ以下に真空排気し、マスフローコントローラーに
てスパッタガスであるＡｒと反応ガスであるＮ2の流量
を調節し、さらにコンダクタンスバルブ６の開度を調節
して成膜室内のガス圧力を調節した後、ターゲット５に
パワーを印加して、スパッタリングを行なった。この
際、スパッタ中の熱による基板の変形をさけるため基板
を回転させた。
【００３９】この様にして、ポリカーボネートの表面に
窒化アルミニウムからなる保護皮膜を形成した後、下記
の方法で耐擦傷性試験を行った。
窒化アルミニウムからなる保護皮膜を形成した後、下記
の方法で耐擦傷性試験を行った。
【００４０】耐擦傷性試験方法：＃００００のスチール
ウールを用いて、約１ｋｇ／ｃｍ2の圧力をかけて基板
表面を１０回往復させた後、傷の付き具合を目視で観察
し、下記のＡからＧの７段階の基準で評価した。尚、評
価が「Ｄ」以上のものは実用上十分耐え得る耐擦傷性を
有するものである。
ウールを用いて、約１ｋｇ／ｃｍ2の圧力をかけて基板
表面を１０回往復させた後、傷の付き具合を目視で観察
し、下記のＡからＧの７段階の基準で評価した。尚、評
価が「Ｄ」以上のものは実用上十分耐え得る耐擦傷性を
有するものである。
【００４１】 Ａ：傷が認められないもの Ｂ：数本程度の傷 Ｃ：１０数本程度の傷 Ｄ：２０〜３０本の傷 Ｅ：３０〜５０本の傷 Ｆ：５０本以上の傷 Ｇ：白化、すりガラス状態 下記表１に、スパッタリング条件、形成された膜の外
観、膜厚、組成及び耐擦傷性試験結果を示す。尚、表
中、ＳＣＣＭとあるのは、標準状態（０℃、１気圧）に
おける流量（ｃｍ3）を意味する。
観、膜厚、組成及び耐擦傷性試験結果を示す。尚、表
中、ＳＣＣＭとあるのは、標準状態（０℃、１気圧）に
おける流量（ｃｍ3）を意味する。
【００４２】
【表１】
【００４３】以上の結果から、試料Ｎｏ．１では、Ｎ2
流量が少ないために、十分な窒化アルミニウム皮膜が形
成されておらず、不透明な皮膜が形成されたが、Ｎｏ．
２〜４の試料では、Ｎ2流量を増加させたことによっ
て、淡緑透明の窒化アルミニウム皮膜が形成され、耐擦
傷性も良好になったことが判る。
流量が少ないために、十分な窒化アルミニウム皮膜が形
成されておらず、不透明な皮膜が形成されたが、Ｎｏ．
２〜４の試料では、Ｎ2流量を増加させたことによっ
て、淡緑透明の窒化アルミニウム皮膜が形成され、耐擦
傷性も良好になったことが判る。
【００４４】次いで、窒化アルミニウム皮膜を形成した
Ｎｏ．４の試料について、往復摺動試験機を用いて、摩
擦係数の測定を行った。試験条件は、試験温度：２６
℃、試験荷重：１９６ｍＮ、ストローク：６．００ｍ
ｍ、周波数：１．００Ｈｚとした。図４に基材であるポ
リカーボネートについての測定結果を示し、図５に窒化
アルミニウム皮膜を形成したＮｏ．４の試料についての
測定結果を示す。
Ｎｏ．４の試料について、往復摺動試験機を用いて、摩
擦係数の測定を行った。試験条件は、試験温度：２６
℃、試験荷重：１９６ｍＮ、ストローク：６．００ｍ
ｍ、周波数：１．００Ｈｚとした。図４に基材であるポ
リカーボネートについての測定結果を示し、図５に窒化
アルミニウム皮膜を形成したＮｏ．４の試料についての
測定結果を示す。
【００４５】これらの結果から、窒化アルミニウム膜を
形成した場合に、摩擦係数が小さくなり、８６０回摺動
を繰り返した後、ようやく窒化アルミニウム膜が剥離し
て、摩擦係数が上昇したことが判る。これから、窒化ア
ルミニウム膜は長期間の摺動試験に耐えることができ、
基材との密着性がよく、十分に実用化し得るものである
ことが判る。
形成した場合に、摩擦係数が小さくなり、８６０回摺動
を繰り返した後、ようやく窒化アルミニウム膜が剥離し
て、摩擦係数が上昇したことが判る。これから、窒化ア
ルミニウム膜は長期間の摺動試験に耐えることができ、
基材との密着性がよく、十分に実用化し得るものである
ことが判る。
【００４６】又、Ｎｏ．４の試料について、透過率スペ
クトルの測定結果を図６に示す。図６において、Ａ曲線
が基材についての測定結果であり、Ｂ曲線が窒化アルミ
ニウム膜を形成した試料についての測定結果である。こ
の結果から、窒化アルミニウム膜を形成した場合には、
膜厚に依存する干渉が観察されるが、可視光域では、十
分に実用的な光の透過率を持つことが判る。
クトルの測定結果を図６に示す。図６において、Ａ曲線
が基材についての測定結果であり、Ｂ曲線が窒化アルミ
ニウム膜を形成した試料についての測定結果である。こ
の結果から、窒化アルミニウム膜を形成した場合には、
膜厚に依存する干渉が観察されるが、可視光域では、十
分に実用的な光の透過率を持つことが判る。
【００４７】実施例２ 実施例１と同じマグネトロンスパッタ装置を使用し、反
応ガスとしてＮ2とＯ2を用いる以外は実施例１と同様の
方法で、実施例１と同じ基材上に酸窒化アルミニウム膜
を形成した。
応ガスとしてＮ2とＯ2を用いる以外は実施例１と同様の
方法で、実施例１と同じ基材上に酸窒化アルミニウム膜
を形成した。
【００４８】下記表２に、スパッタリング条件、形成さ
れた膜の外観、膜厚、組成及び耐擦傷性試験結果を示
す。
れた膜の外観、膜厚、組成及び耐擦傷性試験結果を示
す。
【００４９】
【表２】
【００５０】この結果から、一定範囲の組成の酸窒化ア
ルミニウム皮膜は、プラスチック材料との密着性が良好
で、耐擦傷性に優れたものであることが判る。
ルミニウム皮膜は、プラスチック材料との密着性が良好
で、耐擦傷性に優れたものであることが判る。
【００５１】試験例１ 実施例１で得たＮｏ．４の試料、実施例２で得たＮｏ．
６の試料、及びポリカーボネート基材について、下記の
方法で耐薬品性試験及び耐候性試験を行った。結果を下
記表３及び表４に示す。
６の試料、及びポリカーボネート基材について、下記の
方法で耐薬品性試験及び耐候性試験を行った。結果を下
記表３及び表４に示す。
【００５２】耐薬品性試験：下記表３に示す各薬品を試
料表面に一滴滴下し、薬品が蒸発した後の試料表面の外
観を目視で観察した。
料表面に一滴滴下し、薬品が蒸発した後の試料表面の外
観を目視で観察した。
【００５３】耐候性：耐候性試験器（アトラス社製、Ｕ
ＶＣＯＮ）を用いて、１２０時間耐候性試験を行った
後、試料の外観を目視で観察した。
ＶＣＯＮ）を用いて、１２０時間耐候性試験を行った
後、試料の外観を目視で観察した。
【００５４】
【表３】
【００５５】
【表４】
【００５６】以上の結果から判るように、窒化アルミニ
ウム皮膜を形成した試料、及び酸窒化アルミニウムを形
成した試料は、いずれも、各有機溶剤によって侵される
ことがなく、耐候性も良好である。
ウム皮膜を形成した試料、及び酸窒化アルミニウムを形
成した試料は、いずれも、各有機溶剤によって侵される
ことがなく、耐候性も良好である。
【図１】マグネトロンスパッタ装置の概略図
【図２】窒化アルミニウム膜作製時の成膜レートとＮ2
導入量及び印加パワーの関係を示すグラフ
導入量及び印加パワーの関係を示すグラフ
【図３】窒化アルミニウム膜作製時の成膜レートとＮ2
導入量及び印加パワーの関係を示すグラフ
導入量及び印加パワーの関係を示すグラフ
【図４】ポリカーボネートについての摩擦係数測定結果
のグラフ
のグラフ
【図５】窒化アルミニウム皮膜を形成したポリカーボネ
ートについての摩擦係数測定結果のグラフ
ートについての摩擦係数測定結果のグラフ
【図６】透過率スペクトルの測定結果
１ 基板ホルダー ２ チャンバー ３ ロータリーポンプ ４ ターボ分子ポ
ンプ ５ ターゲット ６ コンダクタン
スバルブ
ンプ ５ ターゲット ６ コンダクタン
スバルブ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｃ０８Ｊ 7/06 ＣＥＶ Ｃ０８Ｊ 7/06 ＣＥＶＺ ＣＦＤ ＣＦＤＺ ＣＦＥ ＣＦＥＺ
Claims (8)
- 【請求項１】プラスチック基材上に、窒化アルミニウム
又は酸窒化アルミニウムからなるセラミック膜が形成さ
れた表面改質プラスチック材料。 - 【請求項２】セラミック膜が、組成式：ＡｌＮX（式
中、０．８≦Ｘ≦２．６である。）で表される窒化アル
ミニウム、又は組成式：ＡｌＮYＯZ（式中、Ｙ≧０．１
３、Ｚ≦２．４７であって、０．８≦Ｙ＋Ｚ≦２．６で
ある。）で表される酸窒化アルミニウムである請求項１
に記載のプラスチック材料。 - 【請求項３】プラスチック基材上に、窒化アルミニウム
及び酸窒化アルミニウムから選ばれたセラミック膜が形
成されたプラスチック材料であって、該セラミック膜
は、連続的又は断続的に組成が変化する構造のものであ
る表面改質プラスチック材料。 - 【請求項４】セラミック膜が、プラスチック基材との界
面部分では、組成式：ＡｌＮXにおいて、Ｘが０．８〜
２．６の窒化アルミニウム、又は組成式：ＡｌＮYＯZに
おいて、Ｙが０．１３以上、Ｚが２．４７以下であっ
て、Ｙ＋Ｚが０．８〜２．６の酸窒化アルミニウムであ
り、プラスチック基材との界面部分から表面部分に向か
って、連続的又は断続的に組成が変化する構造のもので
ある請求項３に記載のプラスチック材料。 - 【請求項５】セラミック膜が、更に、酸化アルミニウム
層を含むものである請求項１〜４のいずれかに記載のプ
ラスチック材料。 - 【請求項６】セラミック膜が、物理蒸着法によって形成
されたものである請求項１〜５のいずれかに記載のプラ
スチック材料。 - 【請求項７】プラスチック基材が、光学製品用プラスチ
ックである請求項１〜６のいずれかに記載のプラスチッ
ク材料。 - 【請求項８】プラスチック基材が、ポリカーボネート、
ポリメチルメタクリレート、ポリスチレン、ポリ塩化ビ
ニル、及びポリジエチレングリコールビスアリルカーボ
ネートから選ばれたものである請求項７に記載のプラス
チック材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25204397A JPH1177885A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 表面改質プラスチック材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25204397A JPH1177885A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 表面改質プラスチック材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1177885A true JPH1177885A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17231788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25204397A Pending JPH1177885A (ja) | 1997-09-17 | 1997-09-17 | 表面改質プラスチック材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1177885A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003115388A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-18 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置及び電子機器、及び有機偏光フィルム |
| US7465482B2 (en) | 2001-10-10 | 2008-12-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Film, packaging material, container, lens, window, spectacles, recording medium, and deposition apparatus |
| WO2013073280A1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | 東海ゴム工業株式会社 | フィルム部材およびその製造方法 |
| JP2014512455A (ja) * | 2011-03-04 | 2014-05-22 | エルジー・ケム・リミテッド | 導電性構造体およびその製造方法 |
| JP2016087986A (ja) * | 2014-11-07 | 2016-05-23 | イビデン株式会社 | 樹脂基体及び樹脂基体の製造方法 |
| US9506142B2 (en) | 2011-04-28 | 2016-11-29 | Sumitomo Riko Company Limited | High density microwave plasma generation apparatus, and magnetron sputtering deposition system using the same |
| JP2016211057A (ja) * | 2015-05-12 | 2016-12-15 | イビデン株式会社 | 自動車用外板パネル及び自動車用外板パネルの製造方法 |
| JP2017529260A (ja) * | 2014-09-05 | 2017-10-05 | コーニング精密素材株式会社Corning Precision Materials Co., Ltd. | ディスプレイ装置用基板 |
| CN114195402A (zh) * | 2013-09-13 | 2022-03-18 | 康宁股份有限公司 | 耐破裂的多层式基材及包含所述多层式基材的制品 |
-
1997
- 1997-09-17 JP JP25204397A patent/JPH1177885A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003115388A (ja) * | 2001-10-01 | 2003-04-18 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 発光装置及び電子機器、及び有機偏光フィルム |
| US7465482B2 (en) | 2001-10-10 | 2008-12-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Film, packaging material, container, lens, window, spectacles, recording medium, and deposition apparatus |
| JP2014512455A (ja) * | 2011-03-04 | 2014-05-22 | エルジー・ケム・リミテッド | 導電性構造体およびその製造方法 |
| US9506142B2 (en) | 2011-04-28 | 2016-11-29 | Sumitomo Riko Company Limited | High density microwave plasma generation apparatus, and magnetron sputtering deposition system using the same |
| WO2013073280A1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | 東海ゴム工業株式会社 | フィルム部材およびその製造方法 |
| CN114195402A (zh) * | 2013-09-13 | 2022-03-18 | 康宁股份有限公司 | 耐破裂的多层式基材及包含所述多层式基材的制品 |
| JP2017529260A (ja) * | 2014-09-05 | 2017-10-05 | コーニング精密素材株式会社Corning Precision Materials Co., Ltd. | ディスプレイ装置用基板 |
| JP2016087986A (ja) * | 2014-11-07 | 2016-05-23 | イビデン株式会社 | 樹脂基体及び樹脂基体の製造方法 |
| JP2016211057A (ja) * | 2015-05-12 | 2016-12-15 | イビデン株式会社 | 自動車用外板パネル及び自動車用外板パネルの製造方法 |
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