JPH1173678A - 偏光板調整方法及びその装置 - Google Patents

偏光板調整方法及びその装置

Info

Publication number
JPH1173678A
JPH1173678A JP17298698A JP17298698A JPH1173678A JP H1173678 A JPH1173678 A JP H1173678A JP 17298698 A JP17298698 A JP 17298698A JP 17298698 A JP17298698 A JP 17298698A JP H1173678 A JPH1173678 A JP H1173678A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
polarizing plate
light
divided
ratio
bright
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP17298698A
Other languages
English (en)
Inventor
Riyuuhachirou Douro
隆八郎 堂路
Tomoyo Ogawa
智代 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP17298698A priority Critical patent/JPH1173678A/ja
Publication of JPH1173678A publication Critical patent/JPH1173678A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Recording Or Reproduction (AREA)
  • Optical Head (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、偏光板の位置調整を熟練を要するこ
となく非熟練者でも効率的に調整する。 【解決手段】光ディスク駆動装置１の偏光板１４の位置
調整を行う場合、偏光板１４により複数に分割された戻
り光をＣＣＤカメラ３２により撮像し、画像処理装置４
０においてこの撮像された戻り光のうちｎ次光の略２分
割された各輝点を抽出して、これら輝点の占める面積比
及び各輝点の光量比を求め、これら面積比及び各輝点の
光量比が略均等になるように偏光板１４の位置を調整す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばレーザ光を
対物レンズを通して光ディスク記録に照射してその戻り
光を偏光板で複数に分割し、光ディスク記録に対する対
物レンズの合焦点の状態に、偏光板により分割された各
光が均等になるように偏光板の位置を調整する偏光板調
整方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１０は調整対象である光ディスク駆動
装置及び調整用撮像カメラの構成図である。光ディスク
駆動装置１は、大別して固定光学系２と移動光学系３と
に分かれている。このうち固定光学系２は、レーザダイ
オード（以下、ＬＤと称する）４からの出射光を平行光
に変換して移動光学系３に伝達し、かつこの移動光学系
３から光ディスク５の情報を含む戻り光を分割して２つ
の信号、すなわちトラッキング合わせ信号と、光ディス
ク５と移動光学系３の対物レンズ６との間のフォーカス
調整用信号とに分割する機能を有している。
【０００３】移動光学系３は、固定光学系２からの出射
光を対物レンズ６を介して光ディスク５に照射し、かつ
光ディスク５からの反射光を戻り光として対物レンズ６
で捕らえて固定光学系２に伝達する機能を有している。
【０００４】具体的に説明すると、固定光学系２のＬＤ
４の出射光路上には、偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）
７が配置され、この偏光ビームスプリッタ７の分岐方向
にコリメートレンズ８、４分の１波長板９、アナモプリ
ズム１０及びガルバノミラー１１が配置されている。
【０００５】従って、ＬＤ４から出射されたレーザ光
（以下、ＬＤ光と称する）は、偏光ビームスプリッタ７
により偏光分岐され、コリメートレンズ８により略平行
光に変換されて４分の１波長板９を透過し、次のアナモ
プリズム１０により楕円状の形状から円形状に成型さ
れ、次のガルバノミラー１１を経て移動光学系３に入射
する。
【０００６】そして、ＬＤ光は、移動光学系３の対物レ
ンズ６を通して光ディスク５に照射される。一方、光デ
ィスク５から反射した戻り光は、同経路を逆進、すなわ
ち対物レンズ６からガルバノミラー１１、アナモプリズ
ム１０、４分の１波長板９、コリメートレンズ８を通っ
て再び偏光ビームスプリッタ７に入射する。
【０００７】この偏光ビームスプリッタ７では、戻り光
が４分の１波長板９で偏光方向が変化していることか
ら、戻り光は直進する。この偏光ビームスプリッタ７の
戻り光の直進側には、ホルダー１２に取り付けられたビ
ームスプリッタ（ＢＳ）１３及び偏光板１４が配置され
ている。このホルダー１２には、位置決め用の各ガイド
穴１２ａ、１２ｂ及びネジ閉め固定用の各長穴１２ｃ、
１２ｄが設けられている。
【０００８】なお、ビームスプリッタ１３の分岐光路
上、すなわち実際上、図面裏側には、トラッキングエラ
ー検出用の２分割光検出器１５が配置され、かつビーム
スプリッタ１３の透過光路上に偏光板１４が配置されて
いる。
【０００９】このうち偏光板１４には、図１１の光軸方
向から見た形状に示すように表面に加工された各回折格
子１４ａ〜１４ｄが形成されている。従って、ビームス
プリッタ１３を透過した戻り光は、偏光板１４の各回折
格子１４ａ〜１４ｄにより回折現象を起こし、幾つかに
分割される。上記図１１には偏光板１４上での光ディス
ク５の表面で回折した光を含んだ戻り光の照射の状態が
示されている。
【００１０】この偏光板１４の各回折格子１４ａ〜１４
ｄにより幾つかに分割された戻り光は、フォーカッシン
グエラー検出用の４分割光検出器（ＰＤ）１６に入射す
る。この４分割光検出器１６は、偏光板１４によって分
割された戻り光が、コリメートレンズ８の作用によって
幾つかの輝点を結ぶ位置に配置されている。図１２は４
分割光検出器１６に入射する偏光板１４によって分割さ
れた戻り光の輝点を示している。
【００１１】この４分割光検出器１６は、光ディスク５
表面からの回折パターンを含んだ戻り光と偏光板１４を
使って、いわゆるダブルナイフエッジ方式によりフォー
カシングエラーを検出し、かつ対物レンズ６が光ディス
ク５に対して焦点が合っているとジャストフォーカス状
態として検出する。
【００１２】すなわち、図１３は４分割光検出器１６上
の各輝点の状態を示し、同図(a) が例えば光ディスク５
が接近したデフォーカスの状態、同図(b) がジャストフ
ォーカスの状態、同図(c) が例えば光ディスク５が遠ざ
かったデフォーカスの状態を示している。
【００１３】ところで、図１２に４分割光検出器１６面
上の戻り光の各輝点の位置を示すが、このうちのＡ、Ｃ
輝点は、予め光ディスク５に対して対物レンズ６の焦点
が合っている状態で均等の形状に設定しておく必要があ
る。
【００１４】このように各輝点の形状の調整は、偏光板
１４の横方向取り付け位置、つまり図１１に示す偏光板
１４の中央ＣＣが楕円状の輝点の矢印ＣＣp で示す横方
向の中央に配置されるように、ホルダー１２の各ネジ閉
め固定用の各長穴１２ｃ、１２ｄを用いた固定位置調整
で決定する。
【００１５】次に、かかる偏光板１４の位置調整につい
て図１４に示す偏光板１４の位置調整装置の構成図を参
照して説明する。ベース２０上には光ディスク駆動装置
１が固定され、この光ディスク駆動装置１に偏光板１４
を搭載するホルダー１２が取り付けられている。
【００１６】又、ベース２０上には、ホルダー１２を移
動調整するための駆動治具２１が設けられている。この
駆動治具２１は、架台２２上に四角柱状の摺動部材２３
をＹ軸方向に摺動自在に設け、この摺動部材２３の一側
面に摺動片２４をＸ軸方向に摺動自在に設け、さらにこ
の摺動片２４の面上に摺動片２５をＺ軸方向に摺動自在
に設けられている。摺動部材２３は回転部２６の駆動に
よりＹ軸方向に摺動し、摺動片２４は回転部２７の駆動
によりＸ軸方向に駆動し、摺動片２５は回転部２８の駆
動によりＺ軸方向に駆動する構成となっている。
【００１７】そして、摺動片２５には、ホルダー１２の
各ガイド穴１２ａ、１２ｂに挿入するための各ピン２９
ａ、２９ｂが取り付けられた金具３０が設けられてい
る。一方、図１０に示すように偏光板１４の透過光路上
には、４分割光検出器１６の位置から例えば１０ｍｍ程
度離れた位置に、４分割光検出器１６に代わって複数の
ＣＣＤ素子３１を配列したＣＣＤカメラ３２が配置され
ている。
【００１８】このＣＣＤカメラ３２の先端には、ＮＤフ
ィルタ３３が配置され、戻り光の強い光を減光してい
る。又、ＣＣＤカメラ３２は、Ａ、Ｃ輝点が作業者に水
平に観察できるように９０度回転させて取り付けられて
いる。
【００１９】このＣＣＤカメラ３２には、ＣＣＤカメラ
駆動装置３４を介してモニター３５が接続されている。
このような装置を用いた作業者による調整手順は次の通
り行われる。
【００２０】先ず、駆動治具２１に光ディスク駆動装置
１がセットされ、この光ディスク駆動装置１におけるホ
ルダ１２の各ガイド穴１２ａ、１２ｂに金具３０の各ピ
ン２９ａ、２９ｂが挿入される。
【００２１】次に、ＬＤ４が発光される。次に、対物レ
ンズ６を上下移動させてデフォーカス状態つまり図１５
のモニタ３５の状態の画像にする。
【００２２】次に、駆動治具２１を駆動し、偏光板１４
が搭載されているホルダー１２をＹ軸方向に移動し、こ
のときにＣＣＤカメラ３２によりコリメートレンズ８及
び偏光板１４によって分割された戻り光の各輝点を撮像
し、モニター３５の画面に表示する。そして、このモニ
ター３５の画面に表示されている各輝点、例えば図１５
(a) に示すモニター３５の画面上の各輝点ｅ、ｆの形状
が同図(b) に示すようにバランスのとれた形状の各輝点
ｅ1 、ｆ1 になるように偏光板１４の位置を調整し、ホ
ルダー１２の各ネジ閉め固定用の長穴１２ｃ、１２ｄに
ネジを入れて固定する。
【００２３】次に、再びモニター３５の画面上に映し出
されている各輝点ｅ1 、ｆ1 を観察し、これら輝点ｅ
1 、ｆ1 の形状のバランスが変化していないか又は同じ
であるかを確認する。次に、駆動治具２１を取り外して
偏光板１４の位置調整を終了する。
【００２４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記偏
光板１４の位置調整作業では、ＣＣＤカメラ３２で捕ら
えた各輝点ｅ、ｆの像をモニター画像を観察しながら、
ベテランの作業者がその形状や明暗を見て官能判断しな
がら、２つの輝点ｅ、ｆの形状バランスという非定量的
な目標に向かって偏光板１４の位置を調整するので、こ
の位置調整に時間を要し、かつその調整に作業者の個人
差が出てしまい、量産化に不向きである。
【００２５】そこで、上記調整手順に従って自動化を図
ると、光ディスク駆動装置１の位置決め固定、この駆動
装置１と偏光板１４のセッティング把持、ネジ挿入位置
決めなどの機械的な部分の機能が増加し、大掛かりな装
置となってしまう。そして、このような装置であれば、
セッティングに時間を要する自動化装置となってしま
う。
【００２６】又、自動計測する観点から、偏光板１４で
分割された戻り光の各輝点像を見ると、偏光板１４の回
折などによる像の劣化が見られ、特にモアレ像が存在す
るため、これに影響されない画像処理が必要となる。そ
こで本発明は、偏光板の位置調整を熟練を要することな
く非熟練者でも効率的に調整できる偏光板調整方法及び
その装置を提供することを目的とする。
【００２７】
【課題を解決するための手段】請求項１によれば、光を
対物レンズを通して対象物に照射てその戻り光を偏光板
で複数に分割し、対象物に対する対物レンズの合焦点の
状態に分割された各光が均等になるように偏光板の位置
を調整する偏光板調整方法において、偏光板により複数
に分割された戻り光を撮像し、この撮像された戻り光の
うちｎ次光の略２分割された各輝点を抽出して、これら
輝点の特徴量のバランスを求め、これら輝点の特徴量が
略均等になるように偏光板の位置を調整する偏光板調整
方法である。
【００２８】請求項２によれば、光を対物レンズを通し
て対象物に照射てその戻り光を偏光板で複数に分割し、
対象物に対する対物レンズの合焦点の状態に分割された
各光が均等になるように偏光板の位置を調整する偏光板
調整装置において、偏光板により複数に分割された戻り
光を撮像する撮像手段と、この撮像装置により撮像され
た戻り光のうちｎ次光の略２分割された各輝点を抽出す
る輝点抽出手段と、この輝点抽出手段により抽出された
各輝点の特徴量のバランスを求め、これら輝点のバラン
スの違いを偏光板の調整量として報知する調整量報知手
段と、を備えた偏光板調整装置である。
【００２９】請求項３によれば、請求項２記載の偏光板
調整装置において、調整量報知手段は、略２分割された
各輝点の占める面積比を求める。請求項４によれば、請
求項２記載の偏光板調整装置において、調整量報知手段
は、略２分割された各輝点の占める面積比を少なくとも
１種類の比率で拡大した拡大面積比を求める。
【００３０】請求項５によれば、請求項２記載の偏光板
調整装置において、調整量報知手段は、各輝点の占める
各面積をＳt 、Ｓb としたとき、通常の面積比ＰＳt 、
ＰＳb を ＰＳt ＝｛Ｓt ／（Ｓt ＋Ｓb ）｝×１００（％） ＰＳb ＝｛Ｓb ／（Ｓt ＋Ｓb ）｝×１００（％） により求めるとともに拡大面積比をＷＳt 、ＷＳb を ＷＳt ＝［ (Ｓt −Ａ) ／{(Ｓt −Ａ) ＋( Ｓb −
Ａ)}］×１００（％） ＷＳb ＝［ (Ｓb −Ａ) ／{(Ｓt −Ａ) ＋( Ｓb −
Ａ)}］×１００（％） 但し、Ａ＝（Ｓt ＋Ｓb ）×ｎ、 ｎ＜０．５ により求める。
【００３１】請求項６によれば、請求項２記載の偏光板
調整装置において、調整量報知手段は、略２分割された
各輝点の光量比を求める。請求項７によれば、請求項２
記載の偏光板調整装置において、調整量報知手段は、略
２分割された各輝点の占める光量比を少なくとも１種類
の比率で拡大した拡大光量比を求める。
【００３２】請求項８によれば、請求項２記載の偏光板
調整装置において、調整量報知手段は、各輝点の占める
各光量をＶt 、Ｖb としたとき、通常の光量比ＰＶt 、
ＰＶb を ＰＶt ＝｛Ｖt ／（Ｖt ＋Ｖb ）｝×１００（％） ＰＶb ＝｛Ｖb ／（Ｖt ＋Ｖb ）｝×１００（％） により求めるとともに拡大光量比をＷＶt 、ＷＶb を ＷＶt ＝［ (Ｖt −Ｂ) ／{(Ｖt −Ｂ) ＋( Ｖb −
Ｂ)}］×１００（％） ＷＶb ＝［ (Ｖb −Ｂ) ／{(Ｖt −Ｂ) ＋( Ｖb −
Ｂ)}］×１００（％） 但し、Ｂ＝（Ｖt ＋Ｖb ）×ｎ、 ｎ＜０．５ により求める。
【００３３】請求項９によれば、光を対物レンズを通し
て対象物に照射してその戻り光を偏光板で複数に分割
し、対象物に対する対物レンズの合焦点の状態に分割さ
れた各光が均等になるように偏光板の位置を調整する偏
光板調整装置において、偏光板の位置を戻り光の光軸位
置に移動する駆動手段と、偏光板により複数に分割され
た戻り光を撮像する撮像手段と、この撮像装置により撮
像された戻り光のうちｎ次光の略２分割された各輝点を
抽出する輝点抽出手段と、この輝点抽出手段により抽出
された各輝点の特徴量のバランスを求め、これら輝点の
バランスの違いを偏光板の調整量として得る調整量算出
手段と、調整量算出手段により算出された偏光板の調整
量に基づいて駆動手段に対して駆動量を与える駆動量供
給手段とを具備し、偏光板の位置を自動的に駆動して各
輝点の特徴量のバランスを調整して戻り光の光軸に対し
て偏光板の位置を自動調整する偏光板調整装置である。
【００３４】
【発明の実施の形態】
(1) 以下、本発明の第１の実施の形態について図面を参
照して説明する。なお、上記図１０及び図１４と同一部
分には同一符号を付してその詳しい説明は省略する。
【００３５】図１は、図１０に示す光ディスク駆動装置
１の偏光板１４の位置調整に適用した偏光板調整装置の
構成図である。この装置に適用する偏光板調整方法は、
偏光板１４により複数に分割された戻り光をＣＣＤカメ
ラ３２により撮像し、画像処理装置４０においてこの撮
像された戻り光のうちｎ次光の略２分割された各輝点を
抽出して、これら輝点の特徴量のバランスを求め、これ
ら輝点の特徴量が略均等になるように偏光板１４の位置
を調整するものである。
【００３６】画像処理装置４０は、ＣＣＤカメラ駆動装
置３４を介してＣＣＤカメラ３２から出力される画像信
号を入力し、図２に示す計測アルゴリズムに従って画像
信号を画像処理し、ｎ次光例えば１次光の略２分割され
た各輝点を抽出して、これら輝点の特徴量、例えば各輝
点の占める面積比及び各輝点の光量比を求め、これら面
積比及び光量比を偏光板１４の位置調整量としてモニタ
ー４１の画面に表示するもので、輝点抽出手段４２及び
調整量報知手段４３の各機能を有している。
【００３７】輝点抽出手段４２は、ＣＣＤカメラ３２に
より撮像された戻り光のうち１次光の略２分割された各
輝点を抽出する機能を有している。調整量報知手段４３
は、輝点抽出手段４２により抽出された各輝点の特徴
量、すなわち各輝点の占める面積比及び各輝点の光量比
のバランスを求め、これら各輝点の占める面積比及び各
輝点の光量比のバランスの違いを偏光板１４の調整量と
してモニター４１に画面に表示する機能を有している。
【００３８】次に上記装置を適用しての偏光板１４の位
置調整について図２に示す計測アルゴリズムに従って具
体的に説明する。先ず、駆動治具２１に光ディスク駆動
装置１がセットされ、この光ディスク駆動装置１におけ
るホルダ１２の各ガイド穴１２ａ、１２ｂに金具３０の
各ピン２９ａ、２９ｂが挿入される。
【００３９】次に、ＬＤ４が発光される。次に、対物レ
ンズ６を上下移動させてデフォーカス状態つまり図１５
のモニタ３５の状態の画像にする。
【００４０】ＬＤ４から出射されたＬＤ光は、図１０に
示すように偏光ビームスプリッタ７により偏光分岐さ
れ、コリメートレンズ８により略平行光に変換されて４
分の１波長板９を透過し、次のアナモプリズム１０によ
り楕円状の形状から円形状に成型され、次のガルバノミ
ラー１１を経て移動光学系３に入射する。
【００４１】そして、ＬＤ光は、移動光学系３の対物レ
ンズ６を通して光ディスク５に照射される。一方、光デ
ィスク５から反射した戻り光は、対物レンズ６からガル
バノミラー１１、アナモプリズム１０、４分の１波長板
９、コリメートレンズ８を通って再び偏光ビームスプリ
ッタ７に入射する。
【００４２】この偏光ビームスプリッタ７では、戻り光
が４分の１波長板９で偏光方向が変化していることか
ら、戻り光は、直進してビームスプリッタ１３に入射
し、これを透過して偏光板１４に入射する。
【００４３】このように偏光板１４に入射した戻り光
は、図１１に示す各回折格子１４ａ〜１４ｄにより回折
現象を起こし、幾つかに分割され、ＮＤフィルター３３
を通ってＣＣＤカメラ３２に入射する。
【００４４】このＣＣＤカメラ３２は、偏光板１４の各
回折格子１４ａ〜１４ｄにより回折されて分割された戻
り光の各輝点を撮像し、その画像信号を出力する。画像
処理装置４０は、操作卓４４からの計測開始指示を受け
て、ステップ＃１において、ＣＣＤカメラ３２から出力
された画像信号を取り込んで例えば５１２×４８０画素
の濃淡画像データとして画像メモリに記憶し、次のステ
ップ＃２において例えば３×３画素の平滑化フィルタを
用いてフィルタリング画像処理を施す。
【００４５】このようにフィルタリング画像処理を施す
のは、取り込んだ画像データにモアレ等の画像ノイズが
多く含まれているため、この画像ノイズを抑制するため
にフィルタリング処理し、画像ノイズを低減し、画像デ
ータの凹凸を修正する。
【００４６】次に画像処理装置４０の輝点抽出手段４２
は、画像データから図３に示すように戻り光のうち１次
光の略２分割された各輝点ｅ、ｆ（以下、上下輝点ｅ、
ｆと称する）を抽出する。
【００４７】先ず、輝点抽出手段４２は、ステップ＃３
において、図３に示すように画像データ上における上下
輝点ｅ、ｆの入るウィンドウ（Ｘ1 、Ｙ1 ）（Ｘ2 、Ｙ
2 ）を設定し、このウィンドウ内においてＹ方向に輝度
を加算し、Ｘプロファイル画像を得る。
【００４８】そして、このＸプロファイル画像におい
て、加算輝度のピークすなわち上下輝度ｅ、ｆの重なり
部ＸＣＯを検索し、予め決めておいたピークＸＣＯから
の割合であるピーク検出比率ｋ1 を基にＸ軸位置ＸＬ、
ＸＲを求め、さらにこれらＸ軸位置ＸＬ、ＸＲ間の等距
離となるＸプロファイルの中心ＸＣ、すなわち上下輝点
ｅ、ｆの重なる中央を求める。
【００４９】次に、輝点抽出手段４２は、ステップ＃４
において、上下輝点ｅ、ｆの分割点を検出する。すなわ
ち、図４中央に示すウィンドウ（Ｘ1 、Ｙ1 ）（Ｘ2 、
Ｙ2）内において、Ｘプロファイルの中心ＸＣから左右
にそれぞれ定距離ＸＨ1 、ＸＨ2 を設定し、かつ左側の
定距離ＸＨ1 に基づいて第１の縦長ウィンドウ（Ｘ3、
Ｙ1 ）（Ｘ4 、Ｙ2 ）を作成し、右側の定距離ＸＨ2 に
基づいて第２の縦長ウィンドウ（Ｘ5 、Ｙ1 ）（Ｘ6 、
Ｙ2 ）を作成する。
【００５０】これら第１及び第２のウィンドウを作成す
ると、輝点抽出手段４２は、各ウィンドウ内の輝度をそ
れぞれＸ方向に加算し、各Ｙプロファイル画像を得る。
なお、図４左側が第１のウィンドウ内のＹプロファイル
画像、同図右側が第２のウィンドウ内のＹプロファイル
画像である。
【００５１】そして、輝点抽出手段４２は、左側のＹプ
ロファイル画像において、加算輝度のピークＹＣＢＯを
検索し、予め決めておいたピークＹＣＢＯからの割合で
あるピーク検出比率ｋ2 を基にＹ軸位置ＹＢＴ、ＹＢＢ
を求める。
【００５２】同様に、輝点抽出手段４２は、右側のＹプ
ロファイル画像において、加算輝度のピークＹＣＯＴを
検索し、予め決めておいたピークＹＣＯＴからの割合で
あるピーク検出比率ｋ3 を基にＹ軸位置ＹＴＴ、ＹＴＢ
を求める。
【００５３】そして、輝点抽出手段４２は、Ｙ軸位置Ｙ
ＢＢとＹＴＴの平均値から上下輝点ｅ、ｆの境界である
分割点ＹＣを求める。次に、輝点抽出手段４２は、ステ
ップ＃５において、上下輝点ｅ、ｆの領域の縦幅を求め
る。すなわち、先に求めた分割点ＹＣから左側のＹプロ
ファイル画像のＹ軸位置ＹＢＢまでの距離ＷＬと、分割
点ＹＣから右側のＹプロファイル画像のＹ軸位置ＹＴＴ
までの距離ＷＲとを比較し、大きい方の距離ＷＬ又はＷ
Ｒを上下輝点ｅ、ｆの領域の各々の縦幅とする。
【００５４】このように距離ＷＬとＷＲとを比較し、大
きい方の距離ＷＬ又はＷＲを上下輝点ｅ、ｆの領域の各
縦幅とするのは、上下輝度ｅ、ｆの形状の変化が大きい
場合、これら輝度ｅ、ｆの各領域を確実にカバーできる
からであり、又、上下輝度ｅ、ｆの縦幅を同じにしたの
は、ノイズなどに影響されにくくするためである。
【００５５】次に、輝点抽出手段４２は、ステップ＃６
において、上下輝点ｅ、ｆの領域の横幅を求める。すな
わち、図５中央に示すように第１の横長ウィンドウ（Ｘ
1 、ＹＴＴ）（Ｘ2 、ＹＣ）と第２の横長ウィンドウ
（Ｘ1 、ＹＣ）（Ｘ2 、ＹＢＢ）Ｓとを設定し、このう
ち第１の横長ウィンドウ内の輝度をＸ軸方向に加算して
上輝度Ｘプロファイルを求め、同様に第２の横長ウィン
ドウ内の輝度をＸ軸方向に加算して下輝度Ｘプロファイ
ルを求める。
【００５６】輝点抽出手段４２は、上輝度Ｘプロファイ
ルにおいて加算輝度のピークＨＴに対して予め決められ
たピークＨＴからの割合であるピーク検出比率ｋ4 を基
にＸ軸位置ＸＴＬ、ＸＴＲを求め、これらＸ軸位置ＸＴ
Ｌ、ＸＴＲの中央位置ＸＴＣを求める。
【００５７】これと同様に、輝点抽出手段４２は、下輝
度Ｘプロファイルにおいて加算輝度のピークＨＢに対し
て予め決められたピークＨＢからの割合であるピーク検
出比率ｋ3 を基にＸ軸位置ＸＢＬ、ＸＢＲを求め、これ
らＸ軸位置ＸＢＬ、ＸＢＲの中央位置ＸＣＢを求める。
【００５８】そして、輝点抽出手段４２は、上輝度Ｘプ
ロファイルにおいて中央位置ＸＴＣから例えばＸ軸位置
ＸＴＬまでの距離ＷＴを求め、同様に下輝度Ｘプロファ
イルにおいて中央位置ＸＣＢから例えばＸ軸位置ＸＢＬ
までの距離ＷＢを求め、これら距離ＷＴ、ＷＢのうち大
きい方を上下輝点ｅ、ｆの領域の横幅とする。
【００５９】このように各距離ＷＴ、ＷＢのうち大きい
方を上下輝点ｅ、ｆの領域の横幅とするのは、上下輝度
ｅ、ｆの形状の変化が大きい場合、これら輝度ｅ、ｆの
各領域を確実にカバーできるからであり、又、上下輝度
ｅ、ｆの横幅を同じにしたのは、縦幅の場合と同様にノ
イズなどに影響されにくくするためである。
【００６０】以上により輝点抽出手段４２は、上輝点ｅ
をウィンドウ（ＸＴＬ、ＹＴＴ）（ＸＴＲ、ＹＣ）の領
域内で、下輝点ｆをウィンドウ（ＸＢＬ、ＹＣ）（ＸＢ
Ｒ、ＹＢＢ）の領域内とする。
【００６１】次に、調整量報知手段４３は、輝点抽出手
段４２により抽出された各輝点ｅ、ｆの占める面積比及
び各輝点の光量比のバランスを求め、これら面積比及び
各輝点の光量比のバランスの違いを偏光板１４の調整量
としてモニター４１に画面に表示する。
【００６２】すなわち、調整量報知手段４３は、ステッ
プ＃７において、第１及び第２の横長ウィンドウ（Ｘ
1 、ＹＴＴ）（Ｘ2 、ＹＢＢ）内の領域でヒストグラム
画像処理を行い、次のステップ＃８においてヒストグラ
ムの結果から濃淡の画像データを２値化するための閾値
Ｔを求める。
【００６３】この閾値Ｔは、濃淡の画像データの輝度の
明るい部分と暗い部分との頻度の山を利用した閾値決定
方式を採用し、安定的な閾値Ｔが得られる。次に、調整
量報知手段４３は、ステップ＃９において、上下輝点
ｅ、ｆの占める面積比及び各輝点の光量比を求める。す
なわち、閾値Ｔを用い、上輝点ｅについては輝度ウィン
ドウ（ＸＴＬ、ＹＴＴ）（ＸＴＲ、ＹＣ）の領域内で、
下輝点ｆについては輝度ウィンドウ（ＸＢＬ、ＹＣ）
（ＸＢＲ、ＹＢＢ）の領域内でそれぞれ画像処理を行っ
て面積比及び各輝点の光量比を求める。
【００６４】上下輝点ｅ、ｆの占める面積は、それぞれ
閾値Ｔを越える各輝度ウィンドウ内の画素数であって、
上輝点ｅの面積Ｓt 、下輝点ｆの面積Ｓb は、次式によ
り求められる。
【００６５】
【数１】 但し、Ｇx,y ＞Ｔ＝１、Ｇx,y ≦Ｔ＝０ Ｇx,y は、画素で０〜２５５の輝度、一方、上下輝点
ｅ、ｆの光量は、各輝度ウィンドウ内の閾値Ｔを越える
部分の画素の輝度体積であって、上輝点ｅの光量Ｖt 、
下輝点ｆの光量Ｖb は、次式により求められる。
【００６６】
【数２】 但し、Ｇx,y ＞Ｔ＝（Ｇx,y −Ｔ）、Ｇx,y ≦Ｔ＝０ 次に、調整量報知手段４３は、上下輝点ｅ、ｆの占める
面積Ｓt 、Ｓb の上下比（バランス）を求める。上輝点
ｅの占める面積比ＰＳt 、下輝点ｆの占める面積比ＰＳ
b は、それぞれ次式により求められる。
【００６７】 ＰＳt ＝｛Ｓt ／（Ｓt ＋Ｓb ）｝×１００（％） …(5) ＰＳb ＝｛Ｓb ／（Ｓt ＋Ｓb ）｝×１００（％） …(6) 又、調整量報知手段４３は、上下輝点ｅ、ｆの光量の上
下比（バランス）を求める。上輝点ｅの光量比ＰＶt 、
下輝点ｆの光量比ＰＶb は、それぞれ次式により求めら
れる。
【００６８】 ＰＶt ＝｛Ｖt ／（Ｖt ＋Ｖb ）｝×１００（％） …(7) ＰＶb ＝｛Ｖb ／（Ｖt ＋Ｖb ）｝×１００（％） …(8) 次に、調整量報知手段４３は、ステップ＃１０におい
て、上下輝点ｅ、ｆの面積比ＰＳt 、ＰＳb 及び光量比
ＰＶt 、ＰＶb の計測結果をモニター４１の画面上に表
示する。
【００６９】すなわち、図６に示すように上下輝度ｅ、
ｆの発光形状のバランス状態は、棒グラフ全長を１００
％とし、面積比ＰＳt 、ＰＳb をその割合で表示し、か
つ光量比ＰＶt 、ＰＶb の値も同様に棒グラフ全長を１
００％とし、光量比ＰＶt 、ＰＶb をその割合で表示す
る。
【００７０】ここで、面積比ＰＳt 、ＰＳb に対する調
整規格はＳk であり、光量比ＰＶt、ＰＶb に対する調
整規格はＶk として設定されている。従って、面積比Ｐ
Ｓt 、ＰＳb が調整規格Ｓk の範囲内であれば、かかる
棒グラフの下方に「ＯＫ」が表示され、範囲外であれば
「ＮＧ」が表示される。
【００７１】又、光量比ＰＶt 、ＰＶb についても同様
に、光量比ＰＶt 、ＰＶb が調整規格Ｖk の範囲内であ
れば、かかる棒グラフの下方に「ＯＫ」が表示され、範
囲外であれば「ＮＧ」が表示される。
【００７２】このようにモニター４１の画面上に上下輝
点ｅ、ｆの面積比ＰＳt 、ＰＳb 及び光量比ＰＶt 、Ｐ
Ｖb の計測結果が表示されると、作業者は、これら面積
比ＰＳt 、ＰＳb 又は光量比ＰＶt 、ＰＶb のうちいず
れか一方、例えば面積比ＰＳt 、ＰＳb を見て、偏光板
１４の位置を調整する。
【００７３】すなわち、駆動治具２１において、摺動部
材２３を回転部２６の駆動によりＹ軸方向に摺動し、摺
動片２４を回転部２７の駆動によりＸ軸方向に駆動し、
摺動片２５を回転部２８の駆動によりＺ軸方向に駆動す
る。このような駆動治具２１の駆動により、例えば偏光
板１４が搭載されているホルダー１２をＹ軸方向に移動
し、このときにモニター４１に表示されている面積比Ｐ
Ｓt 、ＰＳb の棒グラフで、面積比が調整規格Ｓk の範
囲内、例えば５０％でバランスするように偏光板１４を
位置調整する。
【００７４】このように調整して面積比が５０％でバラ
ンスすれば、戻り光の上下輝点ｅ、ｆは、上記図１２
(a) に示す形状から同図(b) に示す上下輝点ｅ1 、ｆ1
の形状のようにバランスのとれた形状となる。なお、モ
ニター４１に表示されている上下輝点ｅ、ｆは、あくま
でも調整用の参考画像である。
【００７５】この場合、対物レンズ６を光ディスク５に
対して上下させた状態でも、上下輝点ｅ、ｆの面積比Ｐ
Ｓt 、ＰＳb が例えば５０％でバランスするように偏光
板１４を位置調整する。
【００７６】なお、このように偏光板１４を位置調整し
て上下輝点ｅ、ｆの面積比ＰＳt 、ＰＳb を５０％にバ
ランスさせる作業時、画像処理装置４０は、操作卓４４
からの計測終了指示がなければ、連続してステップ＃１
〜＃１０の実行を繰り返し、上下輝点ｅ、ｆの面積比Ｐ
Ｓt 、ＰＳb 及び光量比ＰＶt 、ＰＶb を求めてモニタ
ー４１の画面に表示する。
【００７７】そして、上下輝点ｅ、ｆの面積比ＰＳt 、
ＰＳb が５０％にバランスして偏光板１４の位置調整が
終了し、操作卓４４から計測終了指示が画像処理装置４
０に入力すると、次にホルダー１２の各ネジ閉め固定用
の長穴１２ｃ、１２ｄにネジが入れられて、ホルダー１
２が固定される。
【００７８】次に、再びモニター３５の画面上に映し出
されている各輝点ｅ1 、ｆ1 を観察し、これら輝点ｅ
1 、ｆ1 の形状のバランスが変化していないか又は同じ
であるかを確認する。
【００７９】次に、駆動治具２１が取り外されて、偏光
板１４の位置調整が終了する。このように上記第１の実
施の形態においては、偏光板１４により複数に分割され
た戻り光をＣＣＤカメラ３２により撮像し、画像処理装
置４０においてこの撮像された戻り光のうちｎ次光の略
２分割された各輝点を抽出して、これら輝点の特徴量と
して上下輝点ｅ、ｆの面積比ＰＳt 、ＰＳb 又は光量比
ＰＶt 、ＰＶbを求め、これらが略均等になるように偏
光板１４の位置を調整するので、作業者はモニター４１
に表示される上下輝点ｅ、ｆの面積比ＰＳt 、ＰＳb 又
は光量比ＰＶt 、ＰＶb の棒グラフのいずれか一方を見
ながらこれらの比が例えば５０％にバランスするように
偏光板１４の位置調整を行えばよく、上下輝点ｅ、ｆの
形状の読取り方に熟練を必要とすることなく、偏光板１
４の位置調整作業を定量的にかつ効率的にでき、作業者
の個人差に左右されない調整ができる。 (2) 次に本発明の第２の実施の形態について説明する。
なお、上記図１乃至図６と同一部分には同一符号を付し
てその詳しい説明は省略する。
【００８０】この第２の実施の形態は、作業者の作業効
率を向上させるために上記式(5) 乃至(8) に示す上下輝
点ｅ、ｆの面積比ＰＳt 、ＰＳb 及び光量比ＰＶb に加
えて、これら面積比ＰＳt 、ＰＳb 及び光量比ＰＶb を
それぞれ所定の比率で拡大した拡大面積比をＷＳt 、Ｗ
Ｓb 及び拡大光量比をＷＶt 、ＷＶb を求めるようにし
たものである。
【００８１】図７(a)(b)(c) はダブルナイフエッジ方式
による偏光板位置調整時の各上下輝点ｅ、ｆの形状を示
す。上記図１５(a) では台形状の輝点を示したが、戻り
光が偏光板１４の面上で絞り込まれた状態においては、
図７(a)(b)(c) に示すように半月状のビーム形状とな
る。同図(a) は各輝点ｅ、ｆのバランスのとれた状態を
示し、同図(b)(c)は各輝点ｅ、ｆのバランスのとれてい
ない状態を示しており、特に同図(c) は上記図１５(a)
と同じ方向に各輝点ｅ、ｆのバランスがずれた状態を示
している。
【００８２】通常の２つの輝点ｅ、ｆの面積比は、上記
同様に上記式(5)(6)に基づいて算出して上記図６に示す
ように面積比ＰＳt 、ＰＳb 及び光量比ＰＶt 、ＰＶb
を表示して偏光板１４の位置調整を行うが、この位置調
整よりも作業性よくかつより高精度（厳密）に偏光板１
４の位置調整を行うようにするには、面積比ＰＳt 、Ｐ
Ｓb 及び光量比ＰＶt 、ＰＶb だけでの表示では作業や
精度に無理が生じることがある。この理由は、調整量と
しての面積比ＰＳt 、ＰＳb 及び光量比ＰＶt、ＰＶb
を報知するモニタ４１の表示能力にもよるが報知手段に
よるところが大きい。
【００８３】しかるに、上記調整量報知手段４３は、各
輝点ｅ、ｆの占める上記面積比ＰＳt 、ＰＳb を求める
とともに、各輝点ｅ、ｆの占める面積比を少なくとも１
種類の比率で拡大した拡大面積比ＷＳt 、ＷＳb を求め
てモニタ４１に並べて表示する機能を有するものとな
る。
【００８４】この拡大面積比ＷＳt 、ＷＳb は、図７に
示すように各輝点ｅ、ｆの面積から次式(9) に示す領域
面積Ａ（図７に示す斜線部分）を削除し、残った領域で
次式(10)及び(11)を演算して拡大面積比ＷＳt 、ＷＳb
を求める。
【００８５】 Ａ＝（Ｓt ＋Ｓb ）×ｎ、 …(9) ここで、ｎは拡大係数でｎ＜０．５である。 ＷＳt ＝［ (Ｓt −Ａ) ／{(Ｓt −Ａ) ＋( Ｓb −Ａ)}］×１００（％） …(10) ＷＳb ＝［ (Ｓb −Ａ) ／{(Ｓt −Ａ) ＋( Ｓb −Ａ)}］×１００（％） …(11) 図８は調整量報知手段４３による面積比ＰＳt 、ＰＳb
と拡大光量比ＷＳt 、ＷＳb とを求めてモニタ４１に並
べて表示した一例を示す。同図で拡大比ＳＳkは拡大比
の調整規格として事前に設定し、偏光板１４の位置調整
のＯＫ、ＮＧ表示に使用する。
【００８６】又、調整量報知手段４３は、各輝点ｅ、ｆ
の占める上記光量比ＰＶt 、ＰＶbを求めるとともに、
各輝点ｅ、ｆの占める光量比を少なくとも１種類の比率
で拡大した拡大光量比ＷＶt 、ＷＶb を求めてモニタ４
１に並べて表示する機能を有するものとなる。
【００８７】この拡大光量比ＷＶt 、ＷＶb は、図７に
示すように各輝点ｅ、ｆの面積から次式(12)に示す領域
面積Ｂを削除し、残った領域で次式(13)及び(14)を演算
して拡大面積比ＷＶt 、ＷＶb を求める。
【００８８】 Ｂ＝（Ｖt ＋Ｖb ）×ｎ、 …(12) ここで、ｎは拡大係数でｎ＜０．５である。 ＷＶt ＝［ (Ｖt −Ｂ) ／{(Ｖt −Ｂ) ＋( Ｖb −Ｂ)}］×１００（％） …(13) ＷＶb ＝［ (Ｖb −Ａ) ／{(Ｖt −Ａ) ＋( Ｖb −Ａ)}］×１００（％） …(14) 図９は調整量報知手段４３による光量比ＰＶt 、ＰＶb
と拡大光量比ＷＶt 、ＷＶb とを求めてモニタ４１に並
べて表示した一例を示す。同図で拡大比ＳＶkは拡大比
の調整規格として事前に設定し、偏光板１４の位置調整
のＯＫ、ＮＧ表示に使用する。
【００８９】このように上記第２の実施の形態によれ
ば、調整量報知手段４３により上下輝点ｅ、ｆの面積比
ＰＳt 、ＰＳb 及び光量比ＰＶb に加えて、これら面積
比ＰＳt 、ＰＳb 及び光量比ＰＶb をそれぞれ所定の比
率で拡大した拡大面積比ＷＳt、ＷＳb 及び拡大光量比
をＷＶt 、ＷＶb を求めるようにしたので、上記第１の
実施の形態に加えて、最初作業者は、図８及び図９に示
す面積比ＰＳt 、ＰＳb又は光量比ＰＶb のグラフ表示
を見て偏光板１４の位置を粗調整し、次に拡大面積比Ｗ
Ｓt 、ＷＳb 又は拡大光量比をＷＶt 、ＷＶb のグラフ
表示を見て偏光板１４の位置を精調整すれば、早くかつ
高精度に偏光板１４の位置調整ができる。 (3) 次に本発明の第３の実施の形態について説明する。
【００９０】この第３の実施の形態は、自動的に偏光板
１４の位置調整を行うようにしたものである。すなわ
ち、上記第１及び第２の実施の形態における駆動治具２
１は、摺動部材２３を回転部２６の駆動によりＹ軸方向
に摺動し、摺動片２４を回転部２７の駆動によりＸ軸方
向に駆動し、摺動片２５を回転部２８の駆動によりＺ軸
方向に駆動するのを、それぞれの回転部２６〜２８をモ
ータ駆動に置き換え、偏光板１４の位置調整を自動的に
行うように構成してもよい。
【００９１】なお、本発明は、上記第１及び第２の実施
の形態に限定されるものでなく次の通り変形してもよ
い。例えば、偏光板１４の位置調整を行うためのモニタ
ー表示を上下輝点ｅ、ｆの面積比ＰＳt 、ＰＳb 及び光
量比ＰＶt 、ＰＶb の棒グラフに限らず、上下輝点ｅ、
ｆの面積又は光量のいずれか一方又は両方の平均値とし
てもよい。
【００９２】
【発明の効果】以上詳記したように本発明の請求項１に
よれば、偏光板の位置調整を熟練を要することなく非熟
練者でも効率的に調整できる偏光板調整方法を提供でき
る。又、本発明の請求項２〜８によれば、偏光板の位置
調整を熟練を要することなく非熟練者でも効率的に調整
できる偏光板調整装置を提供できる。又、本発明の請求
項９によれば、自動的に偏光板の位置調整ができる偏光
板調整装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる偏光板調整装置の第１の実施の
形態を示す構成図。
【図２】同装置における偏光板の位置調整を行う計測ア
ルゴリズムを示す図。
【図３】上下輝点の重なるＸプロファイルの中心を求め
る作用を示す模式図。
【図４】上下輝点の分割点及びこれら上下輝点の領域の
縦幅を検出する作用を示す模式図。
【図５】上下輝点の領域の横幅を検出する作用を示す模
式図。
【図６】上下輝点の面積比と光量比との計測結果の表示
を示す図。
【図７】ダブルナイフエッジ方式による偏光板位置調整
時の台形状の上下輝点の形状を示す図。
【図８】調整量報知手段による通常の面積比と拡大面積
比とを並べてモニタ上に表示した一例を示す図。
【図９】調整量報知手段による通常の光量比と拡大光量
比とを並べてモニタ上に表示した一例を示す図。
【図１０】調整対象の光ディスク記憶装置及び調整用撮
像カメラを示す構成図。
【図１１】同装置に用いられる偏光板の構成図。
【図１２】４分割光検出器に入射する偏光板によって分
割された戻り光の各輝点を示す図。
【図１３】４分割光検出器上の各輝点によるデフォーカ
スとジャストフォーカスの状態とを示す図。
【図１４】従来の偏光板の位置調整装置の構成図。
【図１５】ダブルナイフエッジ方式による偏光板の位置
調整時の各輝点の形状を示す図。
【符号の説明】
１…光ディスク駆動装置、 ２…固定光学系、 ３…移動光学系、 ４…レーザダイオード（ＬＤ）、 ５…光ディスク、 ６…対物レンズ、 ７…偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）、 ８…コリメートレンズ、 ９…４分の１波長板、 １０…アナモプリズム、 １１…ガルバノミラー、 １２…ホルダー、 １３…ビームスプリッタ、 １４…偏光板、 １６…４分割光検出器、 ２１…駆動治具、 ３２…ＣＣＤカメラ、 ３４…ＣＣＤカメラ駆動装置、 ３５，４１…モニター、 ４０…画像処理装置、 ４２…輝点抽出手段、 ４３…調整量報知手段。

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 光を対物レンズを通して対象物に照射し
    てその戻り光を偏光板で複数に分割し、前記対象物に対
    する前記対物レンズの合焦点の状態に前記分割された各
    光が均等になるように前記偏光板の位置を調整する偏光
    板調整方法において、 前記偏光板により複数に分割された前記戻り光を撮像
    し、この撮像された前記戻り光のうちｎ次光の略２分割
    された各輝点を抽出して、これら輝点の特徴量のバラン
    スを求め、これら輝点の特徴量が略均等になるように前
    記偏光板の位置を調整することを特徴とする偏光板調整
    方法。
  2. 【請求項２】 光を対物レンズを通して対象物に照射し
    てその戻り光を偏光板で複数に分割し、前記対象物に対
    する前記対物レンズの合焦点の状態に前記分割された各
    光が均等になるように前記偏光板の位置を調整する偏光
    板調整装置において、 前記偏光板により複数に分割された前記戻り光を撮像す
    る撮像手段と、 この撮像装置により撮像された前記戻り光のうちｎ次光
    の略２分割された各輝点を抽出する輝点抽出手段と、 この輝点抽出手段により抽出された前記各輝点の特徴量
    のバランスを求め、これら輝点のバランスの違いを前記
    偏光板の調整量として報知する調整量報知手段と、を具
    備したことを特徴とする偏光板調整装置。
  3. 【請求項３】 前記調整量報知手段は、前記略２分割さ
    れた各輝点の占める面積比を求めることを特徴とする請
    求項２記載の偏光板調整装置。
  4. 【請求項４】 前記調整量報知手段は、前記略２分割さ
    れた各輝点の占める面積比を少なくとも１種類の比率で
    拡大した拡大面積比を求めることを特徴とする請求項２
    記載の偏光板調整装置。
  5. 【請求項５】 前記調整量報知手段は、前記各輝点の占
    める各面積をＳt 、Ｓb としたとき、通常の面積比ＰＳ
    t 、ＰＳb を ＰＳt ＝｛Ｓt ／（Ｓt ＋Ｓb ）｝×１００（％） ＰＳb ＝｛Ｓb ／（Ｓt ＋Ｓb ）｝×１００（％） により求めるとともに拡大面積比をＷＳt 、ＷＳb を ＷＳt ＝［ (Ｓt −Ａ) ／{(Ｓt −Ａ) ＋( Ｓb −
    Ａ)}］×１００（％） ＷＳb ＝［ (Ｓb −Ａ) ／{(Ｓt −Ａ) ＋( Ｓb −
    Ａ)}］×１００（％） 但し、Ａ＝（Ｓt ＋Ｓb ）×ｎ、 ｎ＜０．５ により求めることを特徴とする請求項２記載の偏光板調
    整装置。
  6. 【請求項６】 前記調整量報知手段は、前記略２分割さ
    れた各輝点の光量比を求めることを特徴とする請求項２
    記載の偏光板調整装置。
  7. 【請求項７】 前記調整量報知手段は、前記略２分割さ
    れた各輝点の占める光量比を少なくとも１種類の比率で
    拡大した拡大光量比を求めることを特徴とする請求項２
    記載の偏光板調整装置。
  8. 【請求項８】 前記調整量報知手段は、前記各輝点の占
    める各光量をＶt 、Ｖb としたとき、通常の光量比ＰＶ
    t 、ＰＶb を ＰＶt ＝｛Ｖt ／（Ｖt ＋Ｖb ）｝×１００（％） ＰＶb ＝｛Ｖb ／（Ｖt ＋Ｖb ）｝×１００（％） により求めるとともに拡大光量比をＷＶt 、ＷＶb を ＷＶt ＝［ (Ｖt −Ｂ) ／{(Ｖt −Ｂ) ＋( Ｖb −
    Ｂ)}］×１００（％） ＷＶb ＝［ (Ｖb −Ｂ) ／{(Ｖt −Ｂ) ＋( Ｖb −
    Ｂ)}］×１００（％） 但し、Ｂ＝（Ｖt ＋Ｖb ）×ｎ、 ｎ＜０．５ により求めることを特徴とする請求項２記載の偏光板調
    整装置。
  9. 【請求項９】 光を対物レンズを通して対象物に照射し
    てその戻り光を偏光板で複数に分割し、前記対象物に対
    する前記対物レンズの合焦点の状態に前記分割された各
    光が均等になるように前記偏光板の位置を調整する偏光
    板調整装置において、 前記偏光板の位置を戻り光の光軸位置に移動する駆動手
    段と、 前記偏光板により複数に分割された前記戻り光を撮像す
    る撮像手段と、 この撮像装置により撮像された前記戻り光のうちｎ次光
    の略２分割された各輝点を抽出する輝点抽出手段と、 この輝点抽出手段により抽出された前記各輝点の特徴量
    のバランスを求め、これら輝点のバランスの違いを前記
    偏光板の調整量として得る調整量算出手段と、 前記調整量算出手段により算出された前記偏光板の調整
    量に基づいて前記駆動手段に対して駆動量を与える駆動
    量供給手段とを具備し、 前記偏光板の位置を自動的に駆動して前記各輝点の特徴
    量のバランスを調整して前記戻り光の光軸に対して前記
    偏光板の位置を自動調整することを特徴とする偏光板調
    整装置。
JP17298698A 1997-06-27 1998-06-19 偏光板調整方法及びその装置 Pending JPH1173678A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP17298698A JPH1173678A (ja) 1997-06-27 1998-06-19 偏光板調整方法及びその装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9-171698 1997-06-27
JP17169897 1997-06-27
JP17298698A JPH1173678A (ja) 1997-06-27 1998-06-19 偏光板調整方法及びその装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1173678A true JPH1173678A (ja) 1999-03-16

Family

ID=26494335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP17298698A Pending JPH1173678A (ja) 1997-06-27 1998-06-19 偏光板調整方法及びその装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1173678A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10412311B2 (en) Focus adjustment for surface part inspection
US7813579B2 (en) Microscope system
US8180156B2 (en) Method and device for machine-cutting a plate-shaped workpiece
US20050258335A1 (en) Microscope system
CN105301865A (zh) 自动聚焦系统
JP5403458B2 (ja) 表面形状測定方法及び表面形状測定装置
JP4179790B2 (ja) 共焦点走査型光学顕微鏡
JP5065189B2 (ja) オートフォーカス装置
JPH1173678A (ja) 偏光板調整方法及びその装置
JP2009222449A (ja) レンズ系を用いた距離計測装置
JP4630004B2 (ja) 測量機
JP2004102032A (ja) 走査型共焦点顕微鏡装置
JP4790420B2 (ja) 自動焦点機構を備えた顕微鏡およびその調整方法
JP2001050862A (ja) 光ピックアップ対物レンズの収差測定装置
JP4406873B2 (ja) スキャン測定検査装置
JP2828145B2 (ja) 光切断顕微鏡装置及びその光学手段の位置合わせ方法
KR20190063027A (ko) 라인 스캐닝 방식의 공초점 현미경에서의 자동초점조절 방법 및 장치
JP3250537B2 (ja) 位置合わせ方法及びこれに使用する装置
JPH0359410A (ja) パターン検出装置
JP2008233041A (ja) 硬さ試験機
JPH11219528A (ja) 光ピックアップの出射光軸の調整方法及び出射光軸の調整装置
JPH10281732A (ja) 寸法測定装置
JP2010026212A (ja) オートフォーカス装置
JPH0495810A (ja) 焦点合わせ装置
JPH0495812A (ja) 焦点合わせ装置