JPH1172929A - 真空フレームおよびワークの位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】上焼枠は劣化の際に取り替えを容易にし、下焼
枠はワークの吸着および離脱を適切にでき、動作制御お
よびメンテナンスが容易であると共に、真空フレームの
構成およびワークの位置決めが能率よくかつ正確にでき
る真空フレームおよびワークの位置決め方法を提供する
ことを目的とする。 【解決手段】搬入ステージＡと、アライメントステージ
Ｂと、露光ステージＣとを備え、真空フレームＶは、分
離合体可能な二基の下焼枠２４，２４と一基の上焼枠２
３から構成され、上下焼枠のそれぞれにワークの真空吸
着手段を備え、ワークＷの位置決め確認作業、および、
露光作業中は、上下上焼枠がそのいずれかの真空吸着手
段によりワークを挟持し合体して真空フレームとなり、
ワークの位置決め作業、および、露光済みワークの搬送
は、真空フレームが分離し、下焼枠にワークを保持して
行われる真空フレームとして構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、紫外線の照射により
プリント配線基板などのワークを露光する露光装置に使
用される真空フレームに係り、特に、真空フレームを構
成する上焼枠および下焼枠が分離合体して作動する真空
フレームおよびワークの位置決め方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、紫外線によりワークに所定パタ
ーンを焼き付ける露光装置として種々の露光装置が提案
されている。図１２に示すように、従来の露光装置１０
０は、直線上に搬入ステージ１０１と、アライメントス
テージ１０２と、露光ステージ１０３および搬出ステー
ジ１０４とからなる上流機１０５と、この上流機１０５
の搬出ステージ１０４の後方に設置したワークＷの反転
ステージ１０６と、この反転ステージ１０６の後方に、
前記搬入ステージ１０７、アライメントステージ１０
８、露光ステージ１０９、搬出ステージ１１０までを設
置した下流機１１１とから構成されている。

【０００３】また、ワークＷを各ステージに搬送する上
流機１０５の搬送装置１１２は、中心に設置した一方の
焼枠１１３と、この一方の焼枠１１３の両側に設置した
ハンドラ１１４、１１５とを備えている。そして、下流
機１１１の搬送装置１２０は、その中心に設置した一方
の焼枠１２１と、この焼枠１２１の両側に設置したハン
ドラ１２２、１２３とを備えている。

【０００４】そして、各々のアライメントステージ１０
２、１０８および露光ステージ１０３、１０９間には、
それぞれ他方の焼枠１１６、１２４を保持して移動する
移動テーブル１１７、１２５を備えている。

【０００５】さらに、図１３（ｂ）で示すように、前記
一方の焼枠（上焼枠）１１３（１２１）には、ワークお
よび他方の焼枠（下焼枠）１１６（１２４）を真空吸着
する吸引機構１３０が設けられており、この吸引機構１
３０は、透光板１３１の四隅に取り付けた吸引支持部１
３３ａ〜１３３ｄと、前記透光板１３１のワーク当接側
に取り付けた枠状のシールゴム１３４と、前記吸引支持
部１３３ａ〜１３３ｄに支持された吸引ホース１３５か
ら構成されている。なお、透光板１３１は、真空吸着用
の開閉自在のフレーム１３２に挟持されており、透光板
１３１は、支持部１３３ａ〜１３３ｂの各位置に、貫通
孔（図示せず）が形成されている。

【０００６】また、図１３（ａ）で示すように、下焼枠
１１６（１２４）は、複数の貫通孔１１６ａを設けた透
光板１１６ｂと、この透光板１１６ｂを支持するフレー
ム体１１６ｃと、このフレーム体１１６ｃに設けられた
吸引ホース１１６ｅの取付部１１６ｄとから構成されて
いる。そして、透光板１１６ｂの各貫通孔１１６ａが真
空吸着した際に、各貫通孔１１６ａから真空吸引できる
ように、真空溝１１６ｆを介して連通している。

【０００７】したがって、上記したように構成された露
光装置１００は、つぎのようにワークの搬送、位置決
め、露光、反転を行っている。はじめに、ワークＷは、
上流機１０５の搬入ステージ１０１から搬送装置１１２
のハンドラ１１５で，アライメントステージ１０２に搬
送され、アライメントステージ１０２で上下の焼枠１１
３，１１６に挟持された状態でアライメントされる。

【０００８】そして、搬送装置１１２の上焼枠１１３が
アライメント済ワークＷおよび下焼枠１１６を吸着して
露光ステージ１０３に搬送し露光する。一面の露光が終
了したワークＷは、搬送装置１１２のハンドラ１１４に
より搬出ステージ１０４に搬送され、反転ステージ１０
６でワークが表裏反転される。さらに、下流機１１１側
に図示しない搬送装置により搬送され、上流機１０５で
行った作業を繰り返し行うことでワークＷの他面を露光
してワークを搬出する。そのため、ワークは、正確なア
ライメントが行えると共に、生産性の向上を図ることが
できるものである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の露光装
置の真空フレームの構成では、次のような改良する余地
が残されていた。 露光作業により透光板が劣化した際、マスク付透光
板またはマスク透光板の交換をする必要があるが、ワー
クを保持する上焼枠は、ワークを真空吸着するための吸
引ホースおよび吸着パッド等の吸引機構を透光板の所定
箇所に取り付けているため、その吸引機構の脱着作業が
面倒であった。また、透光板の交換作業のため、全工程
の作業を数時間休止させるこになった。

【００１０】 ワークを吸引して搬送する下焼枠は、
真空吸着によりワークと下焼枠の透光板が密着した場
合、透光板からワークを取り外せないため、作業を中断
することも発生した。また、下焼枠には、吸引ホースが
接続されているが、真空フレームとなる上下の焼枠が将
来複数化（２基以上）されつつある方向のため、その複
数化に対応できる構造が望まれている。

【００１１】 ワークを保持する真空フレームは、上
下の焼枠が分離合体してワークを挟持してアライメント
作業および露光作業を行っている。しかし、ハンドラと
上焼枠が一体になっているため大型となり、動作制御が
大変であり、メンテナンス作業も困難であった。また、
下焼枠または上焼枠がそれぞれ単独で移動できないた
め、作業能率が向上できなかった。

【００１２】 露光装置のアライメント位置および露
光作業位置の設置位置に係わらず、ワークのより効率的
な露光作業が行えるように真空フレームおよびワークの
位置合わせの改善が望まれていた。 露光装置の下焼枠に載置されたワークが、各ステー
ジに移動される際にその位置がズレることがあり、次工
程位置でワークの位置がズレない構成が望まれている。

【００１３】この発明は、前述の問題点を解決すべく創
案されたもので、上焼枠は劣化の際に取り替えを容易に
し、下焼枠はワークの吸着および離脱を適切にでき、動
作制御およびメンテナンスが容易であると共に、真空フ
レームの構成およびワークの位置決めが能率よくかつ正
確にできる真空フレームおよびワークの位置決め方法を
提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記の課題を解決するた
め、この発明は、ワークを搬入する搬入ステージと、下
焼枠に保持したワークを適正位置に移動させ位置決めす
るアライメント整合台、および、適正位置を確認する撮
像カメラを備えるアライメントステージと、下焼枠に保
持され位置決め済みワークを上焼枠と合体して形成され
る真空フレームにより露光する露光ステージとを備え、
前記真空フレームは、分離合体可能な二基の下焼枠と一
基の上焼枠から構成され、上下焼枠のそれぞれにワーク
の真空吸着手段を備え、ワークの位置決め確認作業、お
よび、露光作業中は、上下上焼枠がそのいずれかの真空
吸着手段によりワークを挟持し合体して真空フレームと
なり、ワークの位置決め作業、および、露光済みワーク
の搬送は、真空フレームが分離し、下焼枠にワークを保
持して行われる真空フレームとして構成した。

【００１５】また、前記真空フレームは、分離合体可能
な一基の上焼枠と二基の下焼枠とからなり、前記下焼枠
は、アライメント作業位置および次作業位置に、それぞ
れ移転可能に設置されており、前記アライメント作業位
置および次作業位置に設置された下焼枠は、アライメン
ト作業位置では作業終了後上昇し、搬送手段により次作
業位置側に搬送され、次作業位置では、前記搬送手段に
より搬送されて来た位置より降下して搬送手段によりア
ライメント作業位置に搬送される真空フレームとして構
成しても良い。

【００１６】さらに、前記真空フレームは、分離合体可
能な下焼枠と上焼枠から構成され、それら上下焼枠のそ
れぞれにワークの真空吸着手段を備えており、前記下焼
枠は、その表面側に設けたワークの真空吸着用の吸着口
から連通して裏面に開口した供給口に、前記真空吸着手
段のホース接続部が設けられ、前記ホース接続部は、接
続部本体と、この接続部本体内を遊動するボール弁とか
らなり、前記接続部本体は、前記下焼枠の供給口に当接
する位置に前記ボール弁の直径より小さく形成した一側
開口部と、この一側開口部の他側に前記ボール弁の直径
より小さく形成した他側開口部を備えるエアポンプのホ
ース接続部構造を有する真空フレームとして構成すると
都合が良い。

【００１７】そして、前記下焼枠は、ワーク当接面のワ
ーク吸着用孔に連通する少なくとも２ヵ所に形成した接
続部を備え、前記下焼枠の一方の移動端部に設置したア
ライメント整合台に、前記下焼枠の接続部の到来する位
置に接合部を設けると共に、下焼枠の下面側に吸着保持
する保持手段を備え、前記下焼枠の他方の移動端部に設
置した昇降保持台に、前記下焼枠の接続部の到来する位
置に接合部を設け、前記下焼枠を両移動端部に搬送する
移動手段に、前記下焼枠の接続部の到来する位置に接合
部を設け、前記各接合部は、エアの吸引・排出用のエア
ポンプにそれぞれ接続され、前記下焼枠の接続部は、昇
降保持台、移動手段、アライメント整合台の各位置で
は、各接合部と合致してポンプの吸引排出動作を可能に
した真空フレームとして構成した。

【００１８】また、前記上焼枠は、枠状のフレームと、
このフレームに保持される真空吸着用の貫通孔および枠
状のシールゴムを有する透光板とから構成され、前記透
光板の貫通孔位置に接続する真空吸引用の接続パットを
前記フレームに設けた真空フレームとした。

【００１９】さらに、真空フレームの下焼枠をアライメ
ント整合台の上にアライメント整合台側の保持手段によ
り保持する第１工程と、前記下焼枠の上にワークを下焼
枠側の保持手段で保持すると共に、ワークを撮像制御手
段により認識し、予め記憶しているマスクフィルムの位
置情報と比較し適正位置にアライメント整合台を作動さ
せワークを位置決めする第２工程と、前記第２工程が終
了した後、アライメント整合台上の下焼枠は、アライメ
ント整合台の上昇により上焼枠と合体して真空フレーム
となり、下焼枠はアライメント整合台側と分離した状態
で再び撮像制御手段によりマスクフィルムとワークの位
置ズレの確認を行う第３工程と、前記第３工程で撮像制
御手段がワーク位置の適正、不適正を認識し、適正であ
れば次工程に、不適正であれば逆戻りして第２工程から
作業を行う第４工程からなるワークの位置決め方法とし
て構成した。

【００２０】

【作用】この発明は上記のように構成したので以下のよ
うな作用を有している。 (1) 上下の焼枠で構成される真空フレームは、２基の下
焼枠と、１基の上焼枠からなり、上下の焼枠でワークを
挟持して真空フレームとしてワークの露光作業を行って
いる際、他の下焼枠は、アライメント整合台上でアライ
メント作業を行っている。そして、露光作業が終了した
後は、上下の焼枠は分離して、上焼枠は移動し、アライ
メント整合台上の他の下焼枠と合体し、適正位置の確認
が行われる。一方、露光位置で分離した下焼枠は、露光
済みワークを載置して次工程側に搬送手段により搬送さ
れる。

【００２１】(2) 真空フレームの下焼枠は、アライメン
ト整合台と、次作業位置に設置されており、両下焼枠
は、アライメント整合台および次作業位置を循環すると
共に、上焼枠と合体して真空フレームとなり位置決め確
認、露光作業を行う。

【００２２】(3) 露光装置の下焼枠は、その透光板の真
空吸着用のボール弁を備えたエアポンプのホース接合部
と当接合致する接続部を備えている。そのため、ワーク
を下焼枠に保持するために、真空吸引動作を行うと、接
続部本体内のボール弁は、接続部本体の他方の開口部近
傍に位置して接続部の吸引動作を行う邪魔になることは
ない。また、ワークを下焼枠から離間させるため、エア
の排出動作を行った場合も同様にボール弁は、他方の開
口部側に位置し、一方の開口部を塞ぐことがない。そし
て、上下の焼枠が合致して上焼枠の真空吸引動作が行わ
れると下焼枠の接続部本体の一方の開口部をボール弁が
塞ぎ、ワークを間に挟んだ状態で上下の焼枠を真空密着
させることができる状態にする。

【００２３】(4) 下焼枠に載置しているワークは、下焼
枠のワーク当接面の吸着孔に連通する接続部が、昇降保
持台、搬送手段、アライメント整合台の各接合部に合致
してエアポンプの吸引排気動作を可能とすることで、下
焼枠に保持される。そして、昇降保持台から搬送手段に
下焼枠を受け渡すとき、および、搬送手段からアライメ
ント整合台に下焼枠を受け渡すときに、下焼枠の一方の
接続部側と合致している接合部からエアを吸引してワー
クを下焼枠に保持した後、下焼枠の他方の接続部側と合
致している接合部のエアの吸引を停止する。また、アラ
イメント整合台上に到来した下焼枠は、アライメント整
合台の保持手段により保持され、この時、下焼枠の接合
部と、アライメント整合台の接合部が合致しており、ポ
ンプからのエアの排出を行うことで、下焼枠からワーク
を離脱させることができる。

【００２４】(5) アライメント整合台は、ワークを載置
した下焼枠を保持手段により保持して、各Ｘ，Ｙ，θテ
ーブルを作動させ、ワークの位置合わせ作業を行う。そ
して、昇降機構により下焼枠ごとワークを上焼枠側に上
昇させ当接させる。また、露光済みワークを下焼枠ごと
移動手段から受け取る場合は、下焼枠を保持している移
動手段がアライメント整合台上に到来した後、昇降機構
によりワーク当接面を上昇させ、ワークを保持している
下焼枠ごと保持手段で保持する。それと共に、接合部を
下焼枠の接続部と合致させ、エアポンプのエア排出によ
り、ワークを下焼枠から離脱する。

【００２５】(6) 露光装置の上焼枠は、その透光板を支
持するフレームに真空吸着する吸引パットを設けている
ため、このフレームを透光板から離間させるフレームお
よび真空吸着パットが容易に透光板から取り外すことが
できる。

【００２６】(7) 下焼枠は、アライメント整合台上に一
基が配置され、次作業位置（露光装置の構成により露光
位置、あるいは搬出位置）に他の一基が配置されてい
る。また、アライメント整合台上の下焼枠は、ワークを
保持した状態でアライメント整合台に保持される。そし
て、アライメント作業が行われた後、アライメント整合
台の上昇に伴って上昇し、ワークを保持した状態で下焼
枠がアライメント整合台から離脱し、搬送手段によって
次作業位置に搬送される。一方、次作業位置の下焼枠
は、移動手段によってアライメント整合台側に搬送され
る。したがって、二基の下焼枠が、アライメント整合台
および次作業位置を循環している。

【００２７】(8) 真空フレームの下焼枠をアライメント
整合台の上にアライメント整合台側の保持手段により保
持させる。そして、前記下焼枠の上にワークを下焼枠側
の保持手段で保持すると共に、ワークを撮像制御手段に
より認識し、予め記憶しているマスクフィルムの位置情
報と比較し適正位置にアライメント整合台を作動させワ
ークを位置決めする。前記工程が終了した後、アライメ
ント整合台上の下焼枠は、アライメント整合台の上昇に
より上焼枠と合体して真空フレームとなり、下焼枠はア
ライメント整合台側と分離した状態で再び撮像制御手段
によりマスクフィルムとワークの位置ズレの確認を行
う。さらに、前記工程で撮像制御手段がワーク位置の適
正、不適正を認識し、適正であれば次工程に、不適正で
あれば逆戻りして第２工程から作業を行う構成としてい
る。

【００２８】

【実施例】以下、この発明の実施例を図面に基づいて説
明する。図１は、真空フレームを使用する一例の露光装
置の全体の構成を示す原理図。図２は、真空フレームを
使用した露光装置全体を示す平面図、図３は、真空フレ
ームの上焼枠および下焼枠の移動状態を示す側面図、図
４は、アライメント位置および露光位置での上焼枠およ
び下焼枠の状態を示す平面図、図５は、露光ステージ位
置での真空フレーム、移動テーブルおのおのの搬送手段
を示す断面図、図６は、上焼枠を示す斜視図、図７
（ａ）は、上下焼枠でワークを保持する状態を示す断面
図、（ｂ）は、下焼枠でワークを保持する状態を示す断
面図、（ｃ）は、下焼枠からワークを離脱する状態を示
す断面図、図８は、他の露光装置に対応させた場合の真
空フレームを示す原理図、図９は、他の構成を示す上焼
枠の分解斜視図、図１０（ａ）（ｂ）は、接続部の他の
構成を示す断面図である。

【００２９】真空フレームＶを図１および図２で示すよ
うな露光装置に使用する場合について説明する。露光装
置１は、搬入ステージＡ、第１アライメントステージ
Ｂ，反転ステージＤ、第２アライメントステージＥおよ
び搬出ステージＧを直線状に配設している。そして、搬
入ステージＡから搬出ステージＧまでの直線状の配置に
対して直交する方向で、第１露光ステージＣを、第１ア
ライメントステージに隣接して配置し、第２露光ステー
ジＦを、前記第２アライメントステージＥに隣接して配
設している。なお、紫外線照射ステージＨは、第１露光
ステージＣと第２露光ステージＦの間に隣接して配設し
ている。

【００３０】図１および図２で示すように、前記搬入ス
テージＡには、ワークの予備位置決めを行うプリアライ
メント機構３および載置ローラ２が設置されている。そ
して、第１アライメントステージＢ（第２アライメント
ステージＥ）には、アライメント整合台１０（６０）お
よび一方の下焼枠２４（４４）が設置されている。ま
た、露光ステージＣには、大反射鏡２０ａ（７０ａ）
と、上焼枠２３（４３）と、他方の下焼枠２４（４４）
と、この他方の下焼枠２４（２４）を載置している移動
手段としての移動テーブル２６（４６）と、昇降保持台
２１（２１）とが配置されている。さらに、反転ステー
ジＤには、反転装置５０と、昇降テーブル５１と、予備
位置決めを行うプリアライメント機構６３とを備えてい
る。そして、紫外線照射ステージは、光源装置３３およ
び紫外線を所定方向に導く光学系を備えている。

【００３１】また、図１で示すように、各ステージにワ
ークＷを移動する手段は、搬入ステージＡから直線状に
設けた搬出ステージＧに沿って設けた複数（図面では４
ヵ所）のハンドラ１５、２５、６５、７５と、第１・第
２アライメントステージＢ・Ｅおよび第１・第２露光ス
テージＣ・Ｆ間のそれぞれに設置した２基の下焼枠２
４、２４・４４、４４および上焼枠２３・４６と、前記
上下の焼枠を搬送する搬送手段としての移動機構２８
（４８）および移動機構２７（４７）とを備えている。
なお、真空フレームＶは、下焼枠２４、２４（４４、４
４）と上焼枠２３（４６）と合体して構成される。

【００３２】図１で示すように、第１アライメントステ
ージＢおよび第２アライメントステージＥには、共にア
ライメント整合台１０（６０）（図３参照）およびワー
クＷの位置確認を行う撮像手段（撮像カメラ）としての
ＣＣＤカメラ２２（８２）とを備えている。

【００３３】アライメント整合台１０（６０）の構成
は、図３および図４で示すように、平面上の直交する一
方向に移動させるＸテーブル１１と、平面上の直交する
他方向に移動させるＹテーブル１２と、垂直線の周りを
回動するθテーブル１３および垂直方向に上下動できる
昇降機構としてのＺ軸部１４とからなる。そして、図４
で示すように、前記Ｘテーブル１１には、下焼枠２４を
Ｘテーブル上に保持できるように、真空吸着用の保持手
段９および、下焼枠２４の一方の接続部４５（図５参
照）に合致する接合部９ａを有している。なお、アライ
メント整合台１０は、Ｚ軸部１４を作動させない場合の
ワークＷの当接面位置は、後述する移動テーブル２６の
ワーク当接面位置よりレベルが低くなるように構成され
ている。

【００３４】前記保持手段９は、図４で示すように、テ
ーブルの上側に設けた吸着溝７と、この吸着溝７を取り
囲む位置で枠状に設けたシールゴム８とを備えている。
そして、図示しないエアーの吸引・排出を行うエアーポ
ンプに接続ホース（図示せず）を介して前記吸着溝７に
連通されている。なお、保持手段９の吸着溝７は、その
代わりに複数の開口孔としても構わない。

【００３５】また、図４で示すように、前記接合部９ａ
は、下焼枠２４が到来して、前記Ｘテーブル１１上に下
焼枠２４が保持できるように、Ｘテーブルの上面レベル
からやや下側位置で、Ｘテーブルの側面に設けられてい
る。そして、接合部９ａは、上面に環状のゴムパッドを
備え、図示しないエアーの吸引・排出動作を行うエアー
ポンプにホースなどで連結されている。

【００３６】また、図４で示すように、Ｘテーブル１１
の左右には、発光テーブル６、６が設置されている。こ
の発光テーブル６、６は、ワークに設けた位置合わせ孔
（図示せず）と、マスクフィルムＭの位置決めマークの
状態をＣＣＤカメラ２２（６２）で撮像するときの照明
用の光を発し、より確実に確認できるようにするもので
ある。

【００３７】なお、ＣＣＤカメラ２２で写すワークＷと
マスクフィルムＭとの整合状態は、図３で示すモニター
８４で写し出される。そして、図３で示すように、ワー
クＷの位置決めマーク（図示せず）の適正位置の判断
は、予め制御部８６に入力されている記憶データと、Ｃ
ＣＤカメラ２２で撮像したワークＷの位置決めマークの
位置ズレを比較することで行われる。さらに、位置ズレ
が存在する場合は、作動制御部８７からの信号により、
各Ｘ，Ｙ，θテーブル１１、１２、１３を作動させ位置
ズレを補正する構成としている。

【００３８】また、アライメント作業の終了後、上下焼
枠２３、２４でワークＷを保持した状態で、マスクフィ
ルムＭとワークＷの位置確認を再びＣＣＤカメラ２２に
より行う構成としている。したがって、真空フレームＶ
となった状態でワークＷは位置ズレがない状態で露光さ
れることになる。

【００３９】そして、図４および図５で示すように、前
記大反射鏡２０ａ（７０ａ）の直下に上焼枠２３（４
３）がアライメントステージＢ側に移動可能に配置され
ている。また、二基ある内の一基の下焼枠２４が、移動
手段としての移動テーブル２６（４６）に載置されてい
る。さらに、前記移動テーブル２６に露光済みワークＷ
を受け渡す昇降保持台２１（２１）が移動テーブルの直
下に設置されている。そして、この移動テーブル２６
は、図１および図４で示すように、アライメントステー
ジＢ（Ｅ）と露光ステージＣ（Ｆ）間を、移動機構２７
により移動自在に設置されている。

【００４０】図４および図５に示すように、前記移動テ
ーブル２６の構成は、コの字形の載置台２６ａと、この
載置台２６ａを支持する支持台２６ｃと、前記載置台２
６ａの内側位置に設けた、下焼枠２４の接続部４５に合
致する接合部２６ｅとからなる。そして、前記接合部２
６ｅは、環状のゴムパッドを上面側に備え、図示しない
エアーの吸引・排出動作を行うエアーポンプにホースな
どで連結されている。

【００４１】また、前記移動テーブル２６は、露光ステ
ージＢおよびアライメントステージＣ間に沿って設けた
エアーシリンダ２７ａおよびリニアガイド２７ｂ、支持
台２６ｃの車輪などの移動機構２７により両ステージ
Ｃ，Ｂ間を往復移動するよう構成されている。なお、前
記移動テーブル２６の移動に伴い、昇降保持台２１は、
降下した状態では、支持台２６ｃより低い位置になるよ
うに設置されているため、移動テーブル２６の移動を妨
げることはない。

【００４２】また、図３ないし図５で示すように、前記
昇降保持台２１の構成は、焼枠載置テーブル２１ａと、
この焼枠載置テーブル２１ａを昇降駆動するシリンダ装
置２１ｂと，前記焼枠載置テーブル２１ａの中央位置に
形成した一方の切欠部２１ｃから横方向に突設した接合
部２１ｄとを備えている。そして、前記接合部２１ｄ
は、上面に環状のゴムパッドを備え、図示しないエアー
の吸引・排出動作を行うエアーポンプにホースなどで連
結されている。また、この結合部２１ｄの設置位置は、
前記Ｘテーブル１１の接合部９ａの位置と離間した同位
置に設置されている。そのため、後述する下焼枠２４が
移動しても下焼枠２４の接続部４５と各接合部９ａ，２
１ｄが当接合致できるように構成されている。なお、各
接合部９ａ…は、下焼枠の当接部の突設寸法によって設
置高さを決めている。

【００４３】図７で示すように、前記下焼枠２４の構成
は、ワークＷを載置する複数の貫通孔２４ｂを備える透
光板２４ａと、この透光板２４ａに重ねて取り付けた給
出入孔２４ｄを形成した透光板２４ｅとから成る。そし
て、前記透光板２４ａには、各貫通孔２４ｂからの空気
の流出入ができるように溝部２４ｃが形成されている。
また、前記透光板２４ｅの給出入孔２４ｄの位置には、
前記接続部４５が複数（図面では２ヵ所、図５参照）に
設けられている。この接続部４５、４５は、前記した各
位置の接合部９ａ、２１ｄ，２６ｅと下焼枠が移動する
ごとに当接合致する。

【００４４】前記下焼枠２４の接続部４５の構成は、図
７（ａ）（ｂ）（ｃ）で示すように、ボール弁４５ｂが
自由に移動できる空間を備える接続部本体４５ａと、こ
の接続部本体４５ａの下部側に設けた前記ボール弁４５
ｂの直径より小さな径で形成された複数の開口孔４５ｃ
とからなる。そして、前記接続部本体２６ａの下部に
は、ボール弁４５ｂが納まる凹部４５ｄが形成されてい
る。

【００４５】一方、上焼枠２３は、図３および図５で示
すように、上焼枠２３の左右位置に、取り付け部２３
ｎ，２３ｎを介してエアーシリンダ２８ａおよびリニア
ガイド２８ｂなどの移動機構２８により接続されてアラ
イメントステージＢおよび露光ステージＣ間を移動する
ように設けられている。

【００４６】そして、上焼枠２３の構成は、図６で示す
ように、透光板２３ａと、この透光板２３ａを挟持する
上下の枠体２３ｂ，２３ｃとから成る。また、前記透光
板２３ａの縁側には、ワークＷを真空吸着するための貫
通孔２３ｅ、２３ｅが穿設されており、ワーク当接面に
は、枠状に取り付けたシールゴム２３ｄを有している。
なお、マスクフィルムＭを真空吸着するための吸着溝２
３ｆ（図７（ａ）参照）などの吸着機構をワーク当接面
の透光板２３ａおよび枠体２３ｂ側に備えている（ガラ
ス乾板を使用する場合は、マスクフィルムＭの吸着機構
は必要としない）。

【００４７】また、図６および図７（ａ）で示すよう
に、前記枠体２３ｂには、真空吸着用の接続パット４
０、４０が、取付アーム４０ａを介して取り付けられて
いる。この接続パット４０、４０は、枠体２３ｂで透光
板２３ａを挟持した際、前記透光板２３ａの貫通孔２３
ｅ，２３ｅに到来する位置に設置されている。そして、
接続パット４０、４０に連結されているホース４１、４
１は、前記枠体２３ｂ側に取付具（図６参照）を介して
取り付けられている。また、図７（ａ）で示すように、
接続パット４０は、透光板２３ａに当接するゴムなどの
弾性部材で形成した当接部と、この当接部４０ｂを支持
する部分にスプリング４０ｃが取り付けられている。な
お、上下の枠体２３ｂ、２３ｃは、図示しない蝶番とは
反対側端部に設けた手回しボルトなどで止め付けられて
いる。また、図６で示すホース４１、４１は、上枠体２
３ｂ内に収納される構成としても良い。

【００４８】したがって、透光板２３ａを取り替える場
合は、手回しボルトを外せば、上枠体２３ｂが蝶番を支
点に上昇して開口できるため、透光板２３ａをスライド
して外し、所望の透光板２３ａを入れ換えることがで
き、容易に交換可能である。なお、マスクフィルムＭ
は、透光板２３ａの吸着溝２３ｆにより吸着する構成と
しているが、透光板２３ａにテープなどで止め付ける構
成としても構わない。

【００４９】上記したように、上下焼枠２３、２４は、
その真空吸着手段の接続部４５などの構成により、次の
ように、ワークＷが位置ズレが最小限で各ステージ間を
移動し、上下焼枠２３、２４に保持でき、あるいは、強
制的にワークＷを離脱することができる。

【００５０】図４および図７（ａ）で示すように、アラ
イメント整合台１０側の接合部９ａからの吸引動作を停
止するとほぼ同時に、上焼枠２３の接続パッド４０を介
して真空吸引すると、矢印で示すように透光板２３ａお
よびシールゴム２３ｄ下焼枠２４で囲まれた空間の空気
が吸引される。このとき、下焼枠２４の接続部４５のボ
ール弁４５ｂが、透光板２４ｅの貫通穴２４ｄ側に吸い
上げられ、貫通穴２４ｄを塞ぐことで、前記空間の吸引
が達成でき、ワークＷを上焼枠２３と下焼枠２４間に挟
持可能とする（アライメントステージＢから露光ステー
ジＣに移動の際）。

【００５１】そして、露光ステージＣから移動テーブル
２６にワークＷが受け渡される場合は、つぎの手順によ
る。図３および図７（ｂ）で示すように、昇降保持台２
１が上昇し、その接合部２６ｅを下焼枠２４の一方の接
続部に当接合致させた後、上焼枠２３の真空吸着動作を
中止する。と同時に接合部２１ｄ側が吸引を開始する
と、図７（ｂ）で示すように、接続部４５のボール弁４
５ｂが透光板２４ｅの貫通穴２４ｄから解放され降下
し、矢印で示すように空気が、接続部本体４５ａの開口
孔４５ｃを介して吸引される。そして、ボール弁４５ｄ
は、接続部本体４５ａの凹部４５ｄに嵌合して吸引動作
を邪魔することがない。そのため、ワークＷは、矢印で
示す吸引動作により、下焼枠２４の透光板２４ｅに吸着
保持される。

【００５２】また、昇降保持台２１から移動テーブル２
６に下焼枠２４を受け渡す場合は、昇降保持台２１が降
下して移動テーブル２６の接合部２６ｅが下焼枠２４の
他方の接合部（図示せず）に当接合致した瞬間に接合部
２６ｅ側からエアーの吸引を行うと共に、今までエアー
の吸引を行っていた昇降保持台２１の接合部２１ｄのエ
アーの吸引を停止することによって行われる。

【００５３】さらに、移動テーブル２６が移動後、下焼
枠２４を再びアライメント整合台１０に引き渡すと共
に、下焼枠２４からワークＷを離脱させる場合は、図３
および図４に示すように、移動テーブルが下焼枠２４を
保持した状態でアライメント整合台１０の位置に到来す
る。そして、アライメント整合台１０のＺ軸部１４を上
昇させる。そして、Ｘテーブル１１の保持手段９にワー
クの下面側が当接すると共に、接合部９ａに下焼枠２４
の一方の接続部が当接合致したとき、移動テーブル２６
側の接合部２６ｅの吸引動作を停止するとほぼ同時に、
保持手段９の吸引動作を行い、さらに接合部９ｅからエ
アーの吹き出しを行う。

【００５４】したがって、図７（ｃ）の矢印で示すよう
に、送り込まれたエアーは、開口孔４５ｃから透光板２
４ｅの貫通穴２４ｄを経て、透光板２４ａの各貫通孔２
４ｂから噴出し、ワークＷを透光板２４ｅから強制的に
離脱させることができる。なお、上記エアーポンプのエ
アーの吸引・吹き出し動作、および、各位置での切換え
動作は、図示しない電磁弁の作動により行われる構成と
している。また、ステージＢ，Ｃ間とステージＥ，Ｆ間
のワークＷの移動、位置決め、露光するための構成は同
じであるため、ステージＥ，Ｆ間の説明は省略する。

【００５５】また、露光作業がクリーンルームで行われ
るため、常に除湿されている状態となり、乾燥しすぎる
と、マスクフィルムＭ上面が変形破損の原因になると共
に、静電気が発生し易くなり、露光装置にとって、ま
た、ワークの受け渡し時の不具合を起こす原因となる。
そのため、図示してはいないが、各露光ステージＣ，Ｆ
には、加湿器のノズルを突出させており、適切な湿度を
保つように構成されている。そして、露光位置では、光
源装置３３からの紫外線その他の光線（赤外線など）な
どにより、上焼枠側が熱を持つため、マスクフィルムＭ
の変形が起こり易い。そのため、上焼枠側を冷却するた
め、冷風を吹きつける構成としている。さらに、静電気
による弊害を除去するために、帯電防止の手段を備えて
いる。

【００５６】帯電防止手段としては、イオン化された空
気を吹きつける構成としている。すなわち、露光ステー
ジ側に向かって、ノズル（図示せず）を設置し、このノ
ズルからプラスとマイナスのイオン化された空気を吹き
つけることで、マスクフィルムＭおよびワークＷの密着
による静電気が帯電されているものを中和することがで
きる。

【００５７】なお、各ステージの作動開始・終了および
ワークＷの移動開始・終了、設置位置などは、図示しな
い各種センサにより行われており、また、各装置の動作
を制御する制御部は、予め入力された装置全体のプログ
ラムおよび加工データのプログラムなどを、図２で示す
キーボードから入力して記憶部に記憶している。

【００５８】つぎに、真空フレームＶおよび下焼枠２４
（４４）と上焼枠２３（４３）の作動を説明する。ワー
クＷの予備位置決めが終了すると、ハンドラ１５は、ワ
ークＷを、アライメント整合台１０上の一方の下焼枠２
４の上に載置する。下焼枠２４に載置されたワークＷ
は、下焼枠２４に真空吸着されて保持され（図７（ｂ）
参照）、ＣＣＤカメラ２２によりワークの位置決めマー
クは撮像され、制御部８６で確認される。

【００５９】そして、位置ズレが無い場合は、露光ステ
ージＣに位置している上焼枠２３が、アライメント整合
台１０の位置に移動機構２８により搬送されて来る。上
焼枠２３がアライメント整合台１０上に到来すると、図
５で示すように、アライメント整合台１０のＺ軸部１４
が仮想線で示すように、下焼枠２４を上昇させて、上焼
枠２３とワークＷを当接させ、下焼枠２４側の真空吸着
を解除する。そこで、上焼枠２３の真空吸着作動によ
り、下焼枠２４およびワークＷを真空吸着する（図９の
状態）。

【００６０】ＣＣＤカメラ２２は、ワークＷが上下焼枠
２３、２４で固定された状態で再度位置ズレの確認を行
い、適正であれば、上焼枠２３の移動機構２８により露
光ステージＣにワークＷおよび下焼枠２４ごと搬送す
る。

【００６１】なお、上下焼枠２３、２４でワークＷを保
持した後に、位置ズレが生じた場合は、Ｚ軸部１４が上
昇して下焼枠２４を保持（ワークも保持）する。そし
て、上焼枠２３の真空吸着を解除すると共に、アライメ
ント整合台１０のＺ軸部１４を降下させ、上焼枠２３を
露光ステージＣに移動手段で移動させ、再びアライメン
ト作業をＣＣＤカメラ２２を介して行う。また、位置決
め作業が終了しワークＷを保持する真空フレームＶは、
移動機構２８により露光位置に移動する。

【００６２】一方、図３で示すように、露光ステージに
配置している移動テーブル２６は、他方の下焼枠２４を
載置台２６ａに載置しており、移動機構２７により第１
アライメントステージＢのアライメント整合台１０側
に、その他方の下焼枠２４を搬送する。そして、移動テ
ーブル２６は、再び、露光ステージＣ側に移動機構２７
により搬送される。

【００６３】なお、移動テーブル２６からアライメント
整合台１０に下焼枠２４を受け渡す場合は、移動テーブ
ル２６に載置されたワークＷの下面位置より、アライメ
ント整合台１０のワーク載置面位置のレベルが低く設置
されているため、移動テーブル２６に載置されたワーク
Ｗが、アライメント整合台１０の直上に移動された後、
アライメント整合台１０は、Ｚ軸部１４をやや上昇させ
ワークＷをＸテーブル１１の保持手段９などにより下焼
枠２４を吸着保持する。そして、アライメント整合台１
０がやや上昇している間に、移動テーブル２６は、再
び、露光ステージＣ側に搬送されて行く。移動テーブル
２６が移動すると、アライメント整合台１０は、Ｚ軸部
１４を降下させて次のワークＷの到来を待機している。

【００６４】つぎに、ワークＷがアライメントステージ
Ｂから露光ステージＣに移動すると、紫外線照射ステー
ジＨの光源装置３３（図２参照）から紫外線が照射さ
れ、上下焼枠２３、２４で挟持されているワークＷに照
射して露光作業が行われる。

【００６５】図３で示すように、ワークＷの一方面が露
光されると、露光ステージＣに位置している昇降保持台
２１の焼枠載置テーブル２１ａがシリンダ装置２１ｂの
作動により上昇して下焼枠２４の下面側に当接する。そ
して、上焼枠２３の真空吸着が解除され、ワークＷは、
下焼枠２４に真空吸着された状態で（図７（ａ）から図
７（ｂ）の状態）、焼枠載置テーブル２１ａがシリンダ
装置２１ｂの作動により降下し、移動テーブル２６の載
置台２６ａに受け渡される。さらに、移動テーブル２６
は、下焼枠２４を載置した状態で、移動機構２７により
再びアライメントステージＢに移動する。移動テーブル
２６により搬送されるワークＷを保持した下焼枠２４
は、移動機構２７により、アライメント整合台１０のＸ
テーブル１１上の所定位置に常に搬送される。

【００６６】Ｘテーブル１１上に到来した下焼枠２４
は、Ｘテーブル１１の保持手段９により保持される。そ
して、下焼枠２４に真空吸着されているワークＷは、下
焼枠２４の接続部４５と当接合致している接合部９ａ側
から、エアーを吹き出すことにより、（図７（ｃ）参
照）下焼枠２４の透光板２４ａから離脱する。その後、
ワークＷは、ハンドラ２５により反転ステージに搬送さ
れる。なお、ワークＷがズレることなく真空吸着された
状態での各ステージ間に受け渡される詳細は、前記した
ので省略している。

【００６７】つぎに、反転ステージＤに到来したワーク
Ｗは、反転装置５０によりその表裏が反転される。な
お、アライメント作業および露光作業は、前記第１アラ
イメントステージＢおよび第１露光ステージＣで説明し
た動作を繰り返し行いワークＷの裏面が露光される。し
たがって、下焼枠２４、２４（４４、４４）は、アライ
メントステージＢ（Ｅ）および露光ステージＣ（Ｆ）間
で鉛直矩形軌道（図１の矢印）を循環するように移動
し、上焼枠２３（４３）は、アライメントステージＢ
（Ｅ）および露光ステージＣ（Ｆ）間を往復移動する。
そして、両面が露光されたワークＷは、第２アライメン
トステージＥからハンドラ７５により搬出ステージＧに
搬出される。そのため、ワークＷの表裏が露光され、一
連の露光作業が終了する。

【００６８】そして、この発明は、上記した実施例に限
られるものではなく、例えば、二基の下焼枠と一基の上
焼枠の構成では、露光ステージとアライメントステージ
とが同一にある露光装置に使用することも可能である。
図８で示すように、露光装置１４０は、搬入ステージ１
４１と、露光アライメントステージ１４２と、搬出ステ
ージ１４３とから構成され、真空フレームの上焼枠１４
４ａと、下焼枠１４４ｂとが分離して設置され、アライ
メント整合台１４５の上昇により合体して真空フレーム
となる構成としている。そして、下焼枠１４４ｂ、１４
４ｂは、アライメント整合台１４５の上と、搬出側（次
作業位置）に配置されている。

【００６９】したがって、送りローラ１４６により搬入
ステージに到来したワークＷは、ハンドラ１４７により
吸着され、下焼枠１４４ｂ上に載置される。そして、撮
像カメラ１４８により位置決めマークが確認されると共
に、位置決めが行われる。さらに、アライメント整合台
１４５の上昇により、上下焼枠１４４ａ，１４４ｂが合
体した状態で再び撮像カメラ１４８により確認され、適
正であれば露光作業が行われる。

【００７０】一方、降下したアライメント整合台１４５
は、搬送側に設置されている他の下焼枠１４４ｂを載置
可能としている。そのため、搬送手段（図面では送りロ
ーラ１４９の駆動を図示しているが、下焼枠の両側を保
持して搬送する搬送ハンドラなどその他の構成でもよ
い）により搬出位置にある他の下焼枠１４４ｂを搬送し
てアライメント整合台１４５の上に載置する。そして、
ハンドラ１４７によりつぎのワークを下焼枠１４４ｂの
上に載置する。

【００７１】また、露光済みワークは、上焼枠１４４ａ
が搬送手段（図示せず）により搬出側に移動してワーク
Ｗを下焼枠１４４ｂに保持した状態で送りローラ１４９
上に昇降手段（図示せず）などを介して載置する（上焼
枠が移動しない場合は、上記搬送ハンドラなどの搬送手
段により、ワークと下焼枠が搬送される）。そして、搬
出口側に移動していたハンドラ１５０が到来してワーク
を吸着し、搬出搬送する。

【００７２】したがって、上焼枠と二基の下焼枠の構成
がワークの露光作業効率を向上することができる。ま
た、下焼枠の接続部４５は、開口孔４５ｃが、エアーの
送り込み、吸引動作の際、ボール弁でその開口孔４５ｃ
を塞ぐことがない構成であればよいため、例えば、開口
孔４５ｃの近傍に突起を設け、この突起が、ボール弁で
開口孔を塞ぐことができない構成とすることでも良い。

【００７３】また、図１０（ａ）に示すように、接続部
４５′の構成は、下焼枠の透光板に当接する側に、開口
部４５ｆを設けた取付板４５ｅを接続部本体４５′に設
け、他方の開口孔４５ｃ₁ を実線で示すように側面側に
設けた構成とすることや、他方の開口孔４５ｃ₂ を仮想
線で示すように傾斜させて側面側に設けることにしても
良い。この際、各位置の接続部４５′の構成は、垂直断
面形状がコ字形に形成され、接続部の開口孔４５ｃ₁ に
エアーの吸引・送り出し動作ができるように開口が形成
されている構成としている。

【００７４】さらに、図１０（ｂ）で示すように、接続
部を下焼枠の透光板２４ｅ′の板厚内に埋設する構成と
してもよく、接続部の各構成は、上記したようにボール
弁４５ｂ′と、接続部本体４５ａ′と、複数の開口孔４
５ｃ′と、傾斜面２４ｄ′を有する開口部などから成
る。

【００７５】また、図９に示すように、上焼枠の構成
は、上フレーム２３ｂ′と、透光板２３ａ′と、下フレ
ーム２３ｃ′とから成るようにしても良く。そして、上
フレーム２３ｂ′には、真空吸着用の接続パット４
０′、４０′が、上フレーム２３ｂ′を貫通するように
設けられている。なお、下フレーム２３ｃ′には、上フ
レーム２３ｂ′と嵌合する嵌合ピン２３ｇが設けられい
る。そして、このピン２３ｇの反対側端部に設けた止付
部分により、上下のフレーム２３ｃ′、２３ｂ′を透光
板２３ａ′を間にして一体に止め付けている。なお、接
続パット４０、その他の構成は、前記した上焼枠と同じ
構成としている。

【００７６】したがって、上下方向にフレームを移動さ
せることで、上焼枠の透光板が容易に取り外し可能とな
り、透光板を自動装置により取り替えする場合には最適
な構造とすることになる。なお，透光板は上フレームの
みで保持可能な構成，例えば，透光板の側面周囲に縁枠
を取り付け，この縁枠を上フレームに設けた爪部で着脱
自在に保持する構成にすることでも良い。したがって，
上焼枠の構成は，上フレームと透光板のみで構成でき
る。

【００７７】また、露光ステージＣ，Ｆに設けられてい
る昇降保持台２１は、移動テーブル２６の載置台２６ａ
と支持台２６ｃの間に一体に設けた構成とし、移動テー
ブル２６が、アライメント整合台１０側に移動した際、
邪魔にならない形状、例えばコ字形（載置台より小さな
形状）として構成しても良い。

【００７８】そして、図１１（ａ）（ｂ）で示すよう
に、上焼枠２３がアライメント終了後のワークＷおよび
下焼枠２４を吸着保持して露光ステージＣに搬送する場
合は、上焼枠２３側の真空吸着手段によりワークＷおよ
び下焼枠２４を保持するが、予期せぬ原因により（例え
ば停電、故障など）、真空吸着状態が解除されてワーク
Ｗごと下焼枠２４を落下させない構成としても良い。そ
のため、保持補助手段１９、１９を上焼枠２３側に設け
た構成としている。

【００７９】この保持補助手段１９は、上焼枠２３側に
設けた本体部１９ａと、この本体部１９ａから水平方向
に出没自在に設けた支持部１９ｂなどから構成されてい
る。そのため、下焼枠２４をワークＷごと上焼枠２３の
接続パット４０などの吸着手段で吸着保持すると、左右
の保持補助手段１９、１９の支持部１９ｂ．１９ｂが下
焼枠２４の中心方向に突出して、下焼枠２４の下面側を
当接支持する。したがって、上焼枠２３の吸着手段が途
中で停止しても、保持補助手段１９により下焼枠２４お
よびワークＷは、落下することはない。なお、上焼枠２
３が下焼枠２４およびワークＷを適切に搬送し、露光終
了後、保持補助手段１９の支持部１９ｂを没入して解除
し、下焼枠２４が上焼枠２３と分離可能な状態になる構
成としている。

【００８０】また、上焼枠は、ワークおよび下焼枠の保
持手段として上記した保持補助手段を複数取り付けて代
わりとしても構わない（この場合、下焼枠の構成は、ボ
ール弁を接続部に必要としない構成で足りる）こと等、
この発明の要旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変更
ができることは勿論である。

【００８１】

【発明の効果】以上に述べたごとく本発明は次の優れた
効果を発揮する。 (1) ワークを保持する上焼枠は、ワークを真空吸着する
ための吸引ホースおよび吸着パッド等の吸引機構を透光
板のフレームに取り付けているため、露光作業により透
光板が劣化した際、透光板の交換が容易にできる。

【００８２】(2) ワークを吸引して搬送する下焼枠は、
接続部を備えているためワークと下焼枠の透光板に吸引
保持すると共に、強制的に離脱することができ、作業性
の向上を可能とする。また、露光装置の構成上複数（二
基以上）の下焼枠を使用する場合となっても対応するこ
とができる。 (3) 一基の上焼枠と二基の下焼枠が各位置で分離・合体
を繰り返し、ワークを位置決め・搬送・露光などの作業
を行っても、下焼枠の接続部と、各位置に設置した接合
部が当接合体してエアーポンプの吸引・吹き出し作業を
可能にしているため、下焼枠上のワークは位置ズレをお
こすことが無い。

【００８３】(4) 上下焼枠で構成される真空フレーム
は、ワークの位置決め確認作業および露光作業中は、ワ
ークを挟持して真空フレームの状態で作業し、位置決め
作業および露光済みワークの搬送は、２基の下焼枠に載
置した状態で行われるため、ワークの位置決めおよび露
光作業が効率良く行える。さらに、２基の下焼枠と１基
の上焼枠から構成される真空フレームは、２基の下焼枠
が露光位置およびアライメント位置を順次往復するた
め、露光装置の露光ステージおよびアライメントステー
ジの位置にかからわず、作業効率を高めることができ
る。 (5) アライメント整合台は、下焼枠を分離保持自在と
し、下焼枠のワーク当接面から連通した接続部に合致す
る接合部を備えているため、下焼枠上ワークのアライメ
ント作業および露光済みワークを保持している下焼枠か
らワークの分離を容易にすることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の真空フレームを使用する一例の露光
装置の全体の構成を示す原理図である。

【図２】この発明の真空フレームを使用する露光装置の
全体を示す平面図である。

【図３】この発明の真空フレームの上焼枠および下焼枠
の移動状態を示す側面図である。

【図４】この発明のアライメントステージおよび露光ス
テージ間を移動する下焼枠を示す平面図である。

【図５】この発明の露光ステージ位置での上下の焼枠、
移動テーブルおよびおのおの搬送手段を示す一部断面図
である。

【図６】この発明の上焼枠の構成を示す斜視図である。

【図７】（ａ）は、この発明の上下焼枠の吸着状態を示
す一部の断面図、（ｂ）は、下焼枠の要部の断面図、
（ｃ）は、下焼枠の要部の断面図である。

【図８】この発明の上焼枠の応用例を示す分解斜視図で
ある。

【図９】この発明の上焼枠の接続部の応用例を示す要部
の断面図である。

【図１０】（ａ）（ｂ）は、この発明の下焼枠の接続部
の応用例を示す要部の断面図である。

【図１１】（ａ），（ｂ）は、この発明の上下の焼枠の
接続状態を現わす平面図および側面図である。

【図１２】従来の露光装置の全体を示す原理図である。

【図１３】（ａ）は、従来の下焼枠の一部を示す斜視
図、（ｂ）は、従来の上焼枠の全体を示す斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ 露光装置 Ａ 搬入ステージ Ｂ 第１アライメントステージ Ｃ 第１露光ステージ Ｄ 反転ステージ Ｅ 第２アライメントステージ Ｆ 第２露光ステージ Ｇ 搬出ステージ Ｈ 紫外線照射ステージ ３、６３ プリアライメント機構 ３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ，６１，６２ 押動装置 ９ 保持手段 ９ａ 接合部 １９ 保持補助手段 １０、６０ アライメント整合台 １５、２５、６５、７５ ハンドラ １５ｂ 吸着パッド １５ｆ 当接部 ２１ 昇降保持台 ２１ｄ 接合部 ２３ 上焼枠 ２３ａ 透光板 ２３ｂ，２３ｃ 上焼枠の上下のフレーム ２４ 下焼枠 ２６ 移動テーブル ２６ｅ 接合部 ２７、４７ 下焼枠の移動機構（搬送手段） ２８、４８ 上焼枠の移動機構（搬送手段） ３３ 光源装置 ４０ 接続パット ４５ 接続部 ４５ａ 接続部本体 ４５ｂ ボール弁 ４５ｆ 一側の開口孔 ４５ｃ，４５ｃ₁ ，４５ｃ₂ 他側の開口孔 ５０ 反転装置

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ワークを搬入する搬入ステージと、下焼枠
   に保持したワークを適正位置に移動させ位置決めするア
   ライメント整合台、および、適正位置を確認する撮像カ
   メラを備えるアライメントステージと、下焼枠に保持さ
   れ位置決め済みワークを上焼枠と合体して形成される真
   空フレームにより露光する露光ステージとを備え、 前記真空フレームは、分離合体可能な二基の下焼枠と一
   基の上焼枠から構成され、上下焼枠のそれぞれにワーク
   の真空吸着手段を備え、ワークの位置決め確認作業、お
   よび、露光作業中は、上下上焼枠がそのいずれかの真空
   吸着手段によりワークを挟持し合体して真空フレームと
   なり、 ワークの位置決め作業、および、露光済みワークの搬送
   は、真空フレームが分離し、下焼枠にワークを保持して
   行われることを特徴とする真空フレーム。
2. 【請求項２】前記真空フレームは、分離合体可能な一基
   の上焼枠と二基の下焼枠とからなり、前記下焼枠は、ア
   ライメント作業位置および次作業位置に、それぞれ移転
   可能に設置されており、 前記アライメント作業位置および次作業位置に設置され
   た下焼枠は、アライメント作業位置では作業終了後上昇
   し、搬送手段により次作業位置側に搬送され、次作業位
   置では、前記搬送手段により搬送されて来た位置より降
   下して搬送手段によりアライメント作業位置に搬送され
   ることを特徴とする請求項１に記載の真空フレーム。
3. 【請求項３】前記真空フレームは、分離合体可能な下焼
   枠と上焼枠から構成され、それら上下焼枠のそれぞれに
   ワークの真空吸着手段を備えており、 前記下焼枠は、その表面側に設けたワークの真空吸着用
   の吸着口から連通して裏面に開口した供給口に、前記真
   空吸着手段のホース接続部が設けられ、 前記ホース接続部は、接続部本体と、この接続部本体内
   を遊動するボール弁とからなり、前記接続部本体は、前
   記下焼枠の供給口に当接する位置に前記ボール弁の直径
   より小さく形成した一側開口部と、この一側開口部の他
   側に前記ボール弁の直径より小さく形成した他側開口部
   を備えるエアポンプのホース接続部構造を有することを
   特徴とする請求項１または２に記載の真空フレーム。
4. 【請求項４】前記下焼枠は、ワーク当接面のワーク吸着
   用孔に連通する少なくとも２ヵ所に形成した接続部を備
   え、 前記下焼枠の一方の移動端部に設置したアライメント整
   合台に、前記下焼枠の接続部の到来する位置に接合部を
   設けると共に、下焼枠の下面側に吸着保持する保持手段
   を備え、 前記下焼枠の他方の移動端部に設置した昇降保持台に、
   前記下焼枠の接続部の到来する位置に接合部を設け、 前記下焼枠を両移動端部に搬送する移動手段に、前記下
   焼枠の接続部の到来する位置に接合部を設け、 前記各接合部は、エアの吸引・排出用のエアポンプにそ
   れぞれ接続され、 前記下焼枠の接続部は、昇降保持台、移動手段、アライ
   メント整合台の各位置では、各接合部と合致してポンプ
   の吸引排出動作を可能にしたことを特徴とする請求項
   １、２または３に記載の真空フレーム。
5. 【請求項５】前記上焼枠は、枠状のフレームと、このフ
   レームに保持される真空吸着用の貫通孔および枠状のシ
   ールゴムを有する透光板とから構成され、前記透光板の
   貫通孔位置に接続する真空吸引用の接続パットを前記フ
   レームに設けたことを特徴とする上焼枠を備える請求項
   １または２に記載の真空フレーム。
6. 【請求項６】真空フレームの下焼枠をアライメント整合
   台の上にアライメント整合台側の保持手段により保持す
   る第１工程と、 前記下焼枠の上にワークを下焼枠側の保持手段で保持す
   ると共に、ワークを撮像制御手段により認識し、予め記
   憶しているマスクフィルムの位置情報と比較し適正位置
   にアライメント整合台を作動させワークを位置決めする
   第２工程と、 前記第２工程が終了した後、アライメント整合台上の下
   焼枠は、アライメント整合台の上昇により上焼枠と合体
   して真空フレームとなり、下焼枠はアライメント整合台
   側と分離した状態で再び撮像制御手段によりマスクフィ
   ルムとワークの位置ズレの確認を行う第３工程と、 前記第３工程で撮像制御手段がワーク位置の適正、不適
   正を認識し、適正であれば次工程に、不適正であれば逆
   戻りして第２工程から作業を行う第４工程からなるワー
   クの位置決め方法。