JPH1170484A

JPH1170484A - クリーンルーム用操作架台

Info

Publication number: JPH1170484A
Application number: JP23427897A
Authority: JP
Inventors: Yukihiro Noguchi; 幸廣野口; Fumihisa Ootsuka; 史久大塚
Original assignee: Taisei Corp
Current assignee: Taisei Corp
Priority date: 1997-08-29
Filing date: 1997-08-29
Publication date: 1999-03-16

Abstract

(57)【要約】【課題】クリーンルーム内の空気清浄度を低下させず、
洗浄性を良好とし、架台下に作業空間を設けることがで
きるクリーンルーム用操作架台を提供する。【解決手段】角柱構成したステンレス製の複数本の柱脚
６と、上面を作業床とし、下面を平坦面として柱脚６の
上部に固定したステンレス製の床部８と、この床部８の
作業床とクリーンルーム２の床との間に延在するステン
レス製の階段１０とを備えた操作架台４である。そし
て、床部８は、上部に床板１６を配設し、下部に天板２
２を配設し、これら床板１６及び天板２２の外周間に幕
板２０を配設して内部空間２４を設けた箱形状として形
成し、床板１６、天板２２及び幕板２０の接続部にコー
キング処理を施して内部空間２４の液密性、気密性を保
持しているとともに、内部空間２４に、配管４０、電気
供給装置４２、照明装置４４等が収納されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、クリーンルーム
内に設置した装置を高所位置で操作する際に使用するク
リーンルーム用操作架台に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体製造工場、製薬工場等のよ
うに空気清浄度の高い環境を必要とする施設では、クリ
ーンルーム内に種々の装置を設置して一連の製造工程を
行う。そして、装置の中には高所位置で操作を必要とす
る装置があるので、その装置の近くには操作架台が設置
されている。

【０００３】前記操作架台は、通常、Ｈ型やチャネル型
の柱材からなる複数本の柱脚と、これら柱脚の上部に固
定した作業床板と、この作業床板からクリーンルームの
床まで延在する階段とで構成されている。そして、これ
ら構成部材は、材質を全て鉄製とし、表面に耐酸性塗料
仕上げを施して製作している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した従
来の操作架台は、柱脚を構成しているＨ型やチャネル型
柱材の凹部（例えば、Ｈ型の柱材ではフランジ及びウエ
ッジの交叉部分、チャネル型の柱材ではコ字形状の内
部）に埃が溜まりやすく、クリーンルーム内の空気清浄
度が低下するおそれがある。また、根太材などが水平方
向に延在している作業床板の下面にも埃が溜まりやす
く、クリーンルーム内の空気清浄度が低下するおそれが
あるとともに、作業床板の下方を作業空間として利用す
ることができない。

【０００５】また、クリーンルーム内を洗浄する際に
も、前述した操作架台の柱脚の凹部や作業床板の下面か
ら埃を容易に除去することができず、洗浄性の面でも問
題がある。

【０００６】さらに、各構成部材の表面に施した耐酸性
塗料が劣化すると、微細な錆びや塗料がクリーンルーム
内を浮遊し、製品の品質に悪影響を与えるおそれがあ
る。本発明は、このような従来の問題点に着目してなさ
れたものであり、クリーンルーム内の空気清浄度を低下
させず、洗浄性を良好とし、架台下に作業空間を設ける
ことができるとともに、製品の品質に悪影響を与えるこ
とがないクリーンルーム用操作架台を提供することを目
的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するこ
の発明の請求項１のクリーンルーム用操作架台は、角柱
又は円柱により構成したステンレス製の複数本の柱脚
と、上面を作業床とし、下面を平坦面として前記柱脚の
上部に固定したステンレス製の床部と、この床部の前記
作業床とクリーンルームの床との間に延在するステンレ
ス製の階段とを備えた架台である。

【０００８】また、請求項２記載の発明は、請求項１記
載のクリーンルーム用操作架台において、上部に床板を
配設し、下部に天板を配設し、これら床板及び天板の外
周間に幕板を配設して内部空間を設けた箱形状の前記床
部を形成し、前記床板、前記天板及び前記幕板の接続部
にコーキング処理を施して前記内部空間の液密性、気密
性を保持するとともに、前記内部空間に、機器類、配管
類を収納した。

【０００９】さらに、請求項３記載の発明は、請求項２
記載のクリーンルーム用操作架台において、前記床板の
上面外周を囲むように止水壁を設け、前記床板に排水孔
を形成するとともに、前記内部空間に、前記排水孔に流
れてきた水を排水処理部まで導く排水管を配設した。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を図面
を参照して説明する。図１は、クリーンルーム２内に設
置した操作架台４の側面図であり、図２は操作架台４の
平面図であり、図３は、図１の○印の符号Ａで示す位置
の拡大断面図を示し、図４は、図１の○印の符号Ｂで示
す位置の拡大断面図を示すものである。

【００１１】この操作架台４は、複数本の柱脚６と、こ
れら柱脚６の上部に固定した床部８と、床部８の床面か
らクリーンルーム２の床２ａまで延在する階段１０とを
備えている。なお、符号１２で示す部材は手摺である。

【００１２】前記柱脚６は、横断面四角形のステンレス
鋼管によって構成されている。また、階段１０、手摺１
２もステンレス製の板材、管材により形成されている。
前記床部８は、図３に示すように、柱脚６の上端に接続
するＨ型鋼からなる梁材１４と、梁材１４の上面を覆う
矩形状の床板１６と、床板１６の四方の外周から立ち上
がる幅木部材（止水壁）１８と、床板１６の四方の外周
から下方に延在する幕板２０と、梁材１４の下方に位置
して柱脚６及び幕板２０の下端部に接続している天板２
２とを備えた構成とし、箱型に配置した前記床板１６、
幕板２０及び天板２２によりに内部空間２４を設け、こ
の内部空間に梁材１４が位置している。

【００１３】そして、床板１６、幅木部材１８、幕板２
０及び天板２２は、ステンレス製の板材により形成され
ており、床板１６の上面は、作業員の歩行時の滑りを防
止するために縞模様の凹凸を付けて作業床としている。

【００１４】また、図３に示すように、床部８の符号２
６、２８で示す部分にはコーキング処理を施しており、
床部８の接続部や柱脚６との接続部分の液密性、気密性
を保持した構造としている。

【００１５】ここで、前述した床板１６の中央部には排
水孔３０が形成されている。この排水孔３０は、図１に
示すように、前記床部８の内部空間２４に配設した排水
管３６の一端に接続している。そして、排水管３６は床
部８内から抜け出た後、所定の排水処理部に接続してい
る。

【００１６】また、図１の符号４０で示すものは配管で
あり、符号４２は電気供給装置であり、符号４４は、電
気供給装置４２と接続する照明装置である。照明装置４
４は、図４に示すように、天板２２に形成した開口孔２
２ａから装置本体４４ａを内部空間２４に配設し、照明
部４４ｂが下方を向くように配置している。この際、照
明部４４ｂと開口孔２２ａとの接続部には、パッキン４
６を介在して内部空間２４への液密製、気密製を保持し
た構造としている。

【００１７】上記構成の操作架台４によると、柱脚６は
横断面四角形の柱材により構成されているので埃が溜ま
りにくい。また、床部８の下面も平坦な天板２２により
構成されているので埃が溜まりにくい。また、配管４
０、電気供給装置４２、照明設備４４等も床部８の内部
空間２４に収納されており、埃が溜まりやすい部分が操
作架台４の外側に無い。したがって、本実施形態の操作
架台４は、クリーンルーム２に設置しても空気清浄度を
低下させるおそれがない。

【００１８】また、電気供給装置４２、照明設備４４
は、液密性を保持した床部８の内部空間２４に収納され
ているので、操作架台４の全体に洗浄水をかけて洗浄作
業を行うことができる。そして、床板１６の上面に洗浄
水をかけると、床板１６の上面外周から立ち上がる幅木
部材１８がクリーンルーム２の床に向けて洗浄水が流れ
落ちるのを堰止め、洗浄水は床板１６に形成した排水孔
３０から排水管３６を通過して排水処理部に順次排水さ
れていくので、床板１６のみの洗浄作業も容易に行うこ
とができる。

【００１９】また、操作架台４の構成部材をステンレス
製の部材で形成したので、従来装置のように微細な錆び
や塗料がクリーンルーム２内を浮遊することがなく、製
品の品質に悪影響を与えることがない。また、床部８の
下方空間は、埃、錆び等の浮遊物質等が発生しないの
で、製造工程を行う作業空間として有効に利用すること
ができる。

【００２０】なお、本実施形態では、横断面四角形のス
テンレス鋼管によって柱脚６を構成したが、横断面円形
のステンレス鋼管により柱脚６を構成しても、同様の作
用効果を得ることができる。

【００２１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
のクリーンルーム用操作架台によると、柱脚は埃の溜ま
りにくい角柱脚又は円柱により構成されており、床部の
下面も平坦面として埃が溜まりにくいので、クリーンル
ーム無いに設置しても空気清浄度を低下させるおそれが
ない。また、柱脚、床部、階段はステンレス製の部材に
より形成したので、従来装置のように微細な錆びや塗料
がクリーンルーム内を浮遊することがなく、製品の品質
に悪影響を与えることがない。さらに、床部の下方空間
は、埃、錆び等の浮遊物質等が発生しないので、製造工
程を行う作業空間として有効に利用することができる。

【００２２】一方、請求項２記載の発明によると、床部
を、内部空間を設けた箱形状に形成し、埃が溜まりやす
い機器類、配管類を内部空間に収納したので、さらに埃
が溜まりにくい操作架台を提供することができる。ま
た、床部は、内部空間の液密性、気密性を保持して形成
しているので、操作架台の全体に洗浄水をかけて洗浄作
業を容易に行うことができる。

【００２３】さらに、請求項３記載の発明では、床板の
上面に洗浄水をかけると、床板の上面外周に設けた止水
壁がクリーンルームの床に向けて洗浄水が流れ落ちるの
を堰止め、洗浄水は床板に形成した排水孔から排水処理
部に順次排水されていくので、床板のみの洗浄作業を容
易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】クリーンルーム内に設置した操作架を示す側面
図である。

【図２】操作架台を示す平面図である。

【図３】図１の○印の符号Ａで示す位置の拡大断面図で
ある。

【図４】図１の○印の符号Ｂで示す位置の拡大断面図で
ある。

【符号の説明】

２クリーンルーム４操作架台６柱脚８床部１０階段１６床板１８幅木部材（止水壁）２０幕板２２天板３０排水孔３６排水管４０配管４２電気供給装置４４照明装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】角柱又は円柱により構成したステンレス
製の複数本の柱脚と、上面を作業床とし、下面を平坦面
として前記柱脚の上部に固定したステンレス製の床部
と、この床部の前記作業床とクリーンルームの床との間
に延在するステンレス製の階段とを備えたことを特徴と
するクリーンルーム用操作架台。
【請求項２】上部に床板を配設し、下部に天板を配設
し、これら床板及び天板の外周間に幕板を配設して内部
空間を設けた箱形状の前記床部を形成し、前記床板、前
記天板及び前記幕板の接続部にコーキング処理を施して
前記内部空間の液密性、気密性を保持するとともに、前
記内部空間に、機器類、配管類を収納したことを特徴と
する請求項１記載のクリーンルーム用操作架台。
【請求項３】前記床板の上面外周位置を囲むように止
水壁を設け、前記床板に排水孔を形成するとともに、前
記内部空間に、前記排水孔に流れてきた水を排水処理部
まで導く排水管を配設したことを特徴とする請求項２記
載のクリーンルーム用操作架台。