JPH1163961A - 測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 空気消費量を押さえ、かつ調整が容易な測定
装置を提供する。 【解決手段】 測定装置１を、フィルター回路３と、フ
ィルター回路３からの空気を流入経路４より流入し、第
１及び第２の流出経路５，６より流出させる供給回路７
と、被測定物８の測定を行う第１及び第２の測定回路
９，１０と、被測定物８の測定台１１へのセット状態を
検知するセンサーノズル３１を有したセンサー回路１２
とにより構成する。第１及び第２の空気マイクロメータ
２３，２４に測定ノズル２７，２８を接続する。第２の
流出経路６に固定絞り４２を設ける。流入経路４と第１
の流出経路５の間に、通常時において両経路４，５を閉
鎖し、かつ第２の流出経路６の固定絞り４２より下流側
の背圧の上昇に伴って作動し、両経路４，５を開放する
空気制御弁４３を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非測定時における
測定用空気の無駄な消費を防止する測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５は、従来の測定装置を示すものであ
り、該測定装置には、空気マイクロメータから供給され
測定ノズルから噴出される測定用空気の消費量を非測定
時に自動的に低減させるための空気制御弁３０１が用い
られている（特公昭６１−３１４０４号公報参照）。

【０００３】すなわち、この空気制御弁３０１は、空気
マイクロメータ３０５と測定ノズル３０６との間に接続
されるものであって、空気マイクロメータ３０５からの
測定用空気を、図６にも示すように、流入路３０７から
導入するとともに、流出路３０８から前記測定ノズル３
０６へ供給する。前記空気制御弁３０１にあっては、流
入路３０７と流出路３０８とが第１圧力室３０９を介し
て連通されており、第１圧力室３０９には、第１弁座３
１０が形成されている。また、第１圧力室３０９と流入
路３０７とは、第１調整絞り３１１を有した第１バイパ
ス流路３１２を介して連通されている。

【０００４】さらに、前記第１圧力室３０９は、弁座３
１０を開閉する弁体であるダイヤフラム３２１によって
閉鎖されており、その裏面側には、第２圧力室３２２が
隔成されている。第２圧力室３２２は、第１固定絞り３
２３を有する第２バイパス流入路３２４を介して前記流
入路３０７の上流側に連通される一方、第２調整絞り３
２５及び第２の固定絞り３２６を介して大気に連通され
ている。そして、第２調整絞り３２５の入り口には、第
２弁座３２７が形成されている。

【０００５】これにより、前記空気制御弁３０１は、前
記測定ノズル３０６より被測定物が取り除かれた非測定
時において、その背圧の低下を受けて前記ダイヤフラム
３２１が閉作動することにより、測定ノズル３０６から
噴出される測定用空気の消費量を自動的に低減させるこ
とができるように構成されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記測
定装置にあっては、空気マイクロメータ３０５から測定
ノズル３０６へ流れる空気を空気制御弁３０１が遮断す
ることにより、測定ノズル３０６から噴出される測定用
空気の消費量を押さえるように構成されている。このた
め、測定ノズル３０６からの空気の噴出量を押さえた状
態であっても、前記空気マイクロメータ３０５における
ゼロ調整部３３１（図５参照）より大気放出される空気
の排出量を押さえることはできなかった。

【０００７】また、前記空気制御弁３０１は、空気マイ
クロメータ３０５と測定ノズル３０６との間に設けられ
ているため、被測定物の複数箇所を測定するために複数
の空気マイクロメータ３０５及び測定ノズル３０６を用
いた場合、空気マイクロメータ３０５及び測定ノズル３
０６の増加に伴い、前記空気制御弁３０１をその数だけ
増加しなければならないという問題点があった。

【０００８】さらに、前記空気制御弁３０１は、第２圧
力室３２２の圧力に基づき前記ダイヤフラム３２１へ加
わる閉弁方向への付勢力ｆと、第１圧力室３０９の背圧
に基づき前記ダイヤフラム３２１へ加わる開弁方向への
付勢力Ｆとの関係が、測定時にはｆ＜Ｆに、また非測定
時にはｆ＞Ｆになるように、第１調整絞り３１１と第２
調整絞り３２５との二箇所で調整する必要があった。つ
まり、測定ノズル３０６に被測定物をセットした状態
と、測定ノズル３０６より被測定物を取り除いた状態と
のそれぞれにおいて、前記第１及び第２調整絞り３１
１，３２５を調整する必要がある。また、この調整によ
って前記測定ノズル３０６からの噴出量が変化するた
め、前記空気マイクロメータ３０５を再調整しなければ
ならないという問題点があった。

【０００９】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、調整作業が容易で、かつ効率的に
空気消費量の低減化を図ることができる測定装置を提供
することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明の測定装置にあっては、所定位置にセットされ
た被測定物の測定部位へ空気を噴出させる測定ノズル、
及び該測定ノズルへ空気を送出し、かつ当該空気の流量
又は背圧を測定する空気マイクロメータを有した測定回
路と、所定位置にセットされた被測定物へ空気を噴出さ
せるセンサーノズルを有したセンサー回路と、流入経路
より流入した空気供給源からの空気を、第１の流出経路
を介して前記測定回路へ流出するとともに、第２の流出
経路を介して前記センサー回路へ流出する供給回路と、
からなり、該供給回路の前記第２の流出経路に絞りを設
ける一方、前記流入経路と前記第１の流出経路との間
に、前記流入経路から前記第１の流出経路への通流を閉
鎖するとともに、前記第２の流出経路における前記絞り
より下流側の背圧の上昇に伴って作動し、前記流入経路
から前記第１の流出経路への通流を開放する開閉手段を
設けた。

【００１１】すなわち、被測定物のセット状態を検知す
るセンサー回路と、測定を行う測定回路とが独立されて
いるので、センサー回路における空気の通流量と、測定
回路における空気の通流量とは、独立している。また、
非測定時には、空気マイクロメータを備えてなる測定回
路への空気の通流が開閉手段により閉鎖されるので、非
測定時において空気マイクロメータより大気放出される
空気の排出量が押さえられる。さらに、非測定時におい
て空気の消費量を押さえる前記開閉手段は、供給回路の
流入経路と第１の流出経路との間に設けられているの
で、空気マイクロメータを備えた測定回路を、前記第１
の流出経路に複数接続するだけで、被測定物の複数箇所
を測定することができる。

【００１２】また、前記供給回路の前記流入経路と前記
第２の流出経路との間に、空気圧の変化を抑制するレギ
ュレーターを設けた。

【００１３】これにより、供給空気圧変動の影響を受け
にくくなる。

【００１４】さらに、前記流入経路における前記第１の
流出経路と前記第２の流出経路との分岐点より上流に、
空気圧の変化を抑制するレギュレーターを設けた。

【００１５】これにより、第１の流出経路を介して測定
回路へ流出される空気と、第２の流出経路を介してセン
サー回路へ流出される空気との安定化が図られる。

【００１６】

【実施の形態】

（第１の実施の形態）以下、本発明の第１の実施の形態
を図面にしたがって説明する。図１は、本実施の形態に
係る測定装置１の空気回路を示す回路図であり、該測定
装置１は、空気供給源２より供給される空気を濾過する
フィルター回路３と、該フィルター回路３からの空気を
流入経路４より流入するとともに、第１及び第２の流出
経路５，６へ分岐して流出させる供給回路７と、該供給
回路７の第１の流出路５から流出された空気を用いて被
測定物８の測定を行う第１及び第２の測定回路９，１０
と、前記供給回路７の第２の流出路６から流出された空
気を用いて被測定物８が測定台１１にセットされている
か否かを検知するセンサー回路１２とにより構成されて
いる。

【００１７】前記第１の測定回路９と第２の測定回路１
０とは、前記供給回路７の第１の流出経路５に接続され
ているとともに、第１及び第２のレギュレータ２１，２
２をそれぞれ有している。各々のレギュレータ２１，２
２の下流には、第１及び第２の空気マイクロメータ２
３，２４が接続されており、各空気マイクロメータ２
３，２４には、前記測定台１１にセットされた被測定物
８の第１及び第２の測定部位２５，２６のそれぞれに空
気を噴出させる第１及び第２の測定ノズル２７，２８が
接続されている。これにより、第１及び第２の測定ノズ
ル２７，２８へ送出される空気の流量を、前記各空気マ
イクロメータ２３，２４により測定することによって、
前記第１及び第２の測定部位２５，２６における測定が
行えるように構成されている。

【００１８】前記センサー回路１２は、前記供給回路７
の第２の流出経路６に接続されており、第２の流出経路
６より流出された空気を、前記測定台１１にセットされ
た被測定物８における前記各測定部位２５，２６と異な
る部位へ噴出させるセンサーノズル３１を備えている。

【００１９】前記供給回路７の前記第２の流出経路６に
は、空気圧の変動を抑制する第３のレギュレータ４１と
固定絞り４２とが上流側より順に設けられており、第２
の流出経路６は、前記固定絞り４２によって、空気供給
源２側の上流側と前記センサーノズル３１側の下流側と
に区画されている。また、前記流入経路４と前記第１の
流出経路５との間には、前記流入経路４から前記第１の
流出経路５への通流を通常時において閉鎖するととも
に、前記第２の流出経路６における前記固定絞り４２よ
り下流側の背圧の上昇に伴って作動し、前記流入経路４
から前記第１の流出経路５への通流を開放する開閉手段
としての空気制御弁４３が設けられている。

【００２０】一方、図２は、前記供給回路７を構成する
エアカットバルブ５１を示す断面図であり、該エアカッ
トバルブ５１のケーシング５２には、前記フィルター回
路３に接続される前記流入経路４を形成する流入路５３
と、前記各測定回路９，１０が並列に接続される前記第
１の流出経路５を形成する第１の流出路５４と、前記セ
ンサー回路１２に接続される前記第２の流出経路６を形
成する第２の流出路５５とが設けられている。

【００２１】前記流入路５３と前記第１の流出路５４と
の間には、上下方向に延在する下部縦穴６１が形成され
ており、該下部縦穴６１の下方には、弁室６２が形成さ
れている。前記下部縦穴６１には、前記空気制御弁４３
を構成するバルブ６３が上下動可能に内嵌されており、
該バルブ６３の下端部に形成された弁部６４が、ボトム
ネジ６５に保持されたスプリング６６によって上方へ付
勢されている。これにより、前記弁部６４に設けられた
Ｏリング６４ａが、前記下部縦穴６１の周縁部に密着さ
れ、前記流入路５３と前記第１の流出路５４とが閉鎖さ
れた状態に保たれている。前記下部縦穴６１の上部に
は、下部ケーシング５２−１内に形成された空間を大気
開放状の下部室６７と上部室６８とに隔成する下部ダイ
ヤフラム６９が配設されており、該下部ダイヤフラム６
９の中央部には、前記バルブ６３の上端に当接するとと
もに、前記下部ダイヤフラム６９の変位に伴い前記バル
ブ６３を下方へ付勢するプッシュロッド７０が設けられ
ている。

【００２２】前記下部ダイヤフラム６９の上部には、上
部縦穴８１が形成されており、該上部縦穴８１の下部
は、シールネジ８２により閉鎖されている。前記上部縦
穴８１は、中部ケーシング５２−２に形成されたバイパ
ス路８３を介して、前記流入路５３に接続されていると
ともに、小径穴を備えてなる弁座８４が形成されてい
る。また、前記上部縦穴８１には、前記第３のレギュレ
ータ４１を形成するパイロットプランジャー８５が上下
動自在に内嵌されており、該パイロットプランジャー８
５は、前記シールネジ８２に保持されたスプリング８６
によって上方へ付勢されている。前記パイロットプラン
ジャー８５の上部には、上部ダイヤフラム８７によって
調圧室８８が形成されており、該調圧室８８には、前記
流入路５３より流入された空気が前記バイパス路８３及
び前記弁座８４を介して流入されるように構成されてい
る。

【００２３】前記パイロットプランジャー８５の上端
は、前記上部ダイヤフラム８７の中央部に当接されてお
り、該上部ダイヤフラム８７は、当該上部ダイヤフラム
８７と、上部ケーシング５２−３の上端部に設けられた
アジャストスクリュー９１との間に配設されたスプリン
グ９２により下方へ付勢されている。前記調圧室８８
は、固定絞り９３を介して前記上部室６８に連通されて
おり、該上部室６８には、前記第２の流出路５５を介し
て円筒状のホース継ぎ手９４が接続されている。

【００２４】これにより、被測定物８が測定台１１にセ
ットされていない非測定時においては、前記バルブ６３
が流入路５３と第１の流出路５４とを閉鎖することによ
り、各測定回路９，１０へ供給される測定用の空気を遮
断するように構成されている。また、被測定物８が測定
台１１にセットされた状態においては、ホース継ぎ手９
４に接続されたセンサーノズル３１からの空気が被測定
物８に噴出されることによって、前記固定絞り９３より
下流に形成された上部室６８の圧力が上昇するととも
に、これに伴い下部ダイヤフラム６９が押し下げられ、
流入路５３と第１の流出路５４とを閉鎖するバルブ６３
が開作動されるように構成されている。

【００２５】以上の構成からなる本実施の形態におい
て、測定台１１への被測定物８のセット状態を検知する
センサー回路１２と、被測定物８の測定を行う各測定回
路９，１０とが独立されているので、センサー回路１２
での通流量を可変する第３のレギュレータ４１と、各測
定回路９，１０での通流量を可変する第１または第２の
レギュレータ２１，２２とを独立的に調整することがで
きる。このため、被測定物８の測定を行う測定ノズル
と、該測定ノズルから噴出される空気の消費量を低減さ
せる空気制御弁とが直列に配置され、該空気制御弁を通
流する空気の通流量を調整した際に、測定ノズルからの
噴出量が変化してしまう従来と比較して、調整作業が容
易となるとともに、前記測定ノズルと直列に配置される
空気制御弁に起因した測定値への悪影響を確実に排除す
ることができる。

【００２６】また、非測定時には、空気マイクロメータ
２３，２４を備えてなる各測定回路９，１０への空気の
通流が、空気制御弁４３により閉鎖されるので、図１に
示したように、非測定時において各空気マイクロメータ
２３，２４におけるゼロ調整部１０１，１０２より大気
放出されてしまう無駄な空気の排出を防止することがで
きる。

【００２７】さらに、非測定時において空気の通流を遮
断する前記空気制御弁４３は、供給回路７の流入経路４
と第１の流出経路５との間に設けられているので、空気
マイクロメータ２３，２４を備えた各測定回路９，１０
を、本実施の形態のように、前記第１の流出経路５に複
数接続するだけで、被測定物８の複数箇所を測定するこ
とができる。したがって、空気マイクロメータ２３，２
４と各測定ノズル２７，２８との間に、該測定ノズル２
７，２８から噴出される空気の消費量を低減させる空気
制御弁が設けられ、測定ノズルの数の増加に伴い、空気
制御弁の数が増加してしまう従来と比較して、コストの
増大を防止することができる。

【００２８】加えて、前記供給回路７の前記流入経路４
と前記第２の流出経路６との間に、空気圧の変化を抑制
する第３のレギュレータ４１が設けられているので、セ
ンサー回路１２のセンサーノズル３１より噴出される空
気、及び該空気の背圧を安定化させることができる。こ
れにより、前記空気の背圧により開作動する空気制御弁
４３の誤作動を未然に防止することができる。

【００２９】なお、第３のレギュレータ４１は、センサ
ー回路１２専用のため、小型・小流量型でよい。

【００３０】（第２の実施の形態）図３は、本発明の第
２の実施の形態の空気回路を示す回路図であり、第１の
実施の形態と異なる部分のみを説明する。

【００３１】すなわち、本実施の形態に係る測定装置２
０１にあっては、供給回路７の流入経路４において第１
の流出経路５と前記第２の流出経路６との分岐点より上
流に、空気圧の変化を抑制する第３のレギュレーター４
１が設けられている。

【００３２】この供給回路７を構成するエアカットバル
ブ２１１の中部ケーシング２１２−２には、図４に示す
ように、前記フィルター回路３に接続される前記流入経
路４を形成する流入路２１３と、前記各測定回路９，１
０が並列に接続される前記第１の流出経路５を形成する
第１の流出路２１４と、前記センサー回路１２に接続さ
れる前記第２の流出経路６を形成する第２の流出路２１
５とが設けられている。

【００３３】前記中部ケーシング２１２−２の中心部に
は、上下方向に延在する上部縦穴２２１が形成されてお
り、該上部縦穴２２１の下方には、当該上部縦穴２２１
と前記流入路２１３とを連通するとともに、下方がシー
ルネジ２２２によって閉鎖された上部弁室２２３が形成
されている。前記上部縦穴２２１には、前記第３のレギ
ュレータ４１を構成するプランジャー２２４が上下動可
能に内嵌されており、該プランジャー２２４は、その弁
部２２５が前記シールネジ２２２に保持されたスプリン
グ２２６によって上方へ付勢されている。また、前記プ
ランジャー２２４は、該プランジャー２２４の上方に配
設されるとともに、調圧室２２７を隔成する上部ダイヤ
フラム２２８に当接されており、このプランジャー２２
４は、該上部ダイヤフラム２２８と、上部ケーシング２
１２−３の上端部に設けられたアジャストスクリュー２
２９との間に配設されたスプリング２３０によって下方
へ付勢されている。これにより、前記調圧室２２７に連
通した前記上部縦穴２２１内の圧力を、前記アジャスト
スクリュー２２９によって調整できるように構成されて
いる。

【００３４】また、前記上部縦穴２２１は、第１のバイ
パス路２４１を介して、前記上部縦穴２２１の下方に形
成された下部縦穴２４２に接続されており、該下部縦穴
２４２の下方には、前記第１の流出路２１４に連通した
下部弁室２４３が形成されている。前記下部縦穴２４２
には、前記空気制御弁４３を構成するバルブ２４４が上
下動可能に内嵌されており、該バルブ２４４は、その弁
部２４５がボトムネジ２４６に保持されたスプリング２
４７によって上方へ付勢されている。

【００３５】これにより、前記弁部２４５に設けられた
Ｏリング２４８が、前記下部縦穴２４２の周縁部に密着
され、前記第１のバイパス路２４１と前記第１の流出路
２１４とが閉鎖された状態に保たれている。前記下部縦
穴２４２の上部には、下部室２５１と上部室２５２とを
隔成する下部ダイヤフラム２５３が配設されており、該
下部ダイヤフラム２５３の中央部には、該下部ダイヤフ
ラム２５３の変位に伴い前記バルブ２４４を下方へ付勢
するプッシュロッド２５４が設けられている。

【００３６】さらに、前記上部縦穴２２１は、可変絞り
２６１を備えた第２のバイパス路２６２を介して、前記
上部室２５２に連通されており、該上部室２５２には、
前記第２の流出路２１５を介して円筒状のホース継ぎ手
２６３が接続されている。

【００３７】これにより、被測定物８が測定台１１にセ
ットされていない非測定時においては、前記バルブ２４
４が第１のバイパス路２４１と第１の流出路２１４とを
閉鎖することにより、各測定回路９，１０へ供給される
測定用の空気を遮断するように構成されている。また、
被測定物８が測定台１１にセットされた状態において
は、ホース継ぎ手２６３に接続されたセンサーノズル３
１からの空気が被測定物８に噴出されることによって、
前記可変絞り２６１より下流に形成された前記上部室２
５２の圧力が上昇するとともに、これに伴い下部ダイヤ
フラム２５３が押し下げられ、第１のバイパス路２４１
と第１の流出路２１４とを閉鎖するバルブ２４４が開作
動されるように構成されている。

【００３８】以上の構成からなる本実施の形態にあって
も、前述した第１の実施の形態と同様の効果を得ること
ができる。また、本実施の形態に係る測定装置２０１に
あっては、図３にも示したように、供給回路７におい
て、各測定回路９，１０が接続された第１の流出経路５
と、センサー回路１２が接続された前記第２の流出経路
との分岐点より上流に、空気圧の変化を抑制する第３の
レギュレーター４１が設けられているので、第１の流出
経路５を介して各測定回路９，１０へ流出される空気
と、第２の流出経路６を介してセンサー回路１２へ流出
される空気との安定化を図ることができる。これによ
り、被測定物８のセット状態を検知して作動する空気制
御弁４３の誤作動を未然に防止しつつ、前記各測定回路
９，１０における測定精度を、さらに向上させることが
できる。

【００３９】なお、第３のレギュレータ４１は、測定回
路及びセンサー回路用のため大型・大流量型になる。

【００４０】また、第３のレギュレータ４１を設けるこ
とにより、測定回路のレギュレータを省略し、小型・廉
価にすることもできる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明にあっては、
被測定物のセット状態を検知するセンサー回路と、測定
を行う測定回路とが独立されているので、センサー回路
における空気の通流量と、測定回路における空気の通流
量とを個別に流すことがことができる。このため、被測
定物の測定を行う測定ノズルと、該測定ノズルから噴出
される空気の消費量を低減させる空気制御弁とが直列に
配置され、該空気制御弁を通流する空気の通流量を調整
した際に、測定ノズルからの噴出量が変化してしまう従
来と比較して、調整作業が容易となるとともに、前記測
定ノズルと直列に配置された空気制御弁に起因する測定
値への悪影響を確実に排除することができる。

【００４２】また、非測定時には、空気マイクロメータ
を備えてなる測定回路への空気の通流を開閉手段により
閉鎖されるので、非測定時において空気マイクロメータ
より大気放出されてしまう無駄な空気の排出を防止する
ことができる。

【００４３】さらに、非測定時において空気の通流を遮
断する前記開閉手段は、供給回路の流入経路と第１の流
出経路との間に設けられているので、空気マイクロメー
タを備えた測定回路を、前記第１の流出経路に複数接続
するだけで、被測定物の複数箇所の測定が可能となる。
したがって、空気マイクロメータと測定ノズルとの間
に、該測定ノズルから噴出される空気の消費量を低減さ
せる空気制御弁が個々に設けられ、測定ノズル数の増加
に伴い、空気制御弁の数が増加してしまう従来方式と比
較して、コストの増大を防止することができる。

【００４４】また、前記供給回路の前記流入経路と前記
第２の流出経路との間に、空気圧の変化を抑制するレギ
ュレーターを設けることにより、センサー回路のセンサ
ーノズルより噴出される空気、及び該空気の背圧を安定
化させることができる。これにより、開閉手段の誤作動
を未然に防止することができる。

【００４５】さらに、前記流入経路における第１の流出
経路と第２の流出経路との分岐点より上流にレギュレー
ターを設けることにより、第１の流出経路を介して測定
回路へ流出される空気と、第２の流出経路を介してセン
サー回路へ流出される空気との安定化を図ることができ
るので、開閉手段の誤作動を未然に防止しつつ、測定精
度を向上させることができる。

【００４６】なお、本実施例は、流量型空気マイクロメ
ータについて述べているが、他の方式の空気マイクロメ
ータも同様である。

【００４７】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の空気回路を示す回
路図である。

【図２】同実施の形態におけるエアカットバブルを示す
断面図である。

【図３】本発明の第２の実施の形態の空気回路を示す回
路図である。

【図４】同実施の形態におけるエアカットバブルを示す
断面図である。

【図５】従来の測定装置を示す模式図である。

【図６】同従来例における空気制御弁を示す断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 測定装置 ２ 空気供給源 ４ 流入経路 ５ 第１の流出路 ６ 第２の流出路 ７ 供給回路 ８ 被測定物 ９ 第１の測定回路 １０ 第２の測定回路 １１ 測定台 １２ センサー回路 ２３ 空気マイクロメータ ２５ 第１の測定部位 ２７ 第１の測定ノズル ３１ センサーノズル ４１ 第３のレギュレータ ４２ 固定絞り ２０１ 測定装置 ２１１ エアカットバルブ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定位置にセットされた被測定物の測定
   部位へ空気を噴出させる測定ノズル、及び該測定ノズル
   へ空気を送出し、かつ当該空気の流量又は背圧を測定す
   る空気マイクロメータを有した測定回路と、 所定位置にセットされた被測定物へ空気を噴出させるセ
   ンサーノズルを有したセンサー回路と、 流入経路より流入した空気供給源からの空気を、第１の
   流出経路を介して前記測定回路へ流出するとともに、第
   ２の流出経路を介して前記センサー回路へ流出する供給
   回路と、 からなり、 該供給回路の前記第２の流出経路に絞りを設ける一方、
   前記流入経路と前記第１の流出経路との間に、前記流入
   経路から前記第１の流出経路への通流を閉鎖するととも
   に、前記第２の流出経路における前記絞りより下流側の
   背圧の上昇に伴って作動し、前記流入経路から前記第１
   の流出経路への通流を開放する開閉手段を設けたことを
   特徴とする測定装置。
2. 【請求項２】 前記供給回路の前記流入経路と前記第２
   の流出経路との間の前記絞りの上流に、空気圧の変化を
   抑制するレギュレーターを設けたことを特徴とする請求
   項１記載の測定装置。
3. 【請求項３】 前記流入経路における前記第１の流出経
   路と前記第２の流出経路との分岐点より上流に、空気圧
   の変化を抑制するレギュレーターを設けたことを特徴と
   する請求項１記載の測定装置。