JP2010071701A - エアマイクロシステム - Google Patents
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- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 36
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 9
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 2
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】エアマイクロメータ13と測定具14の間に電磁弁41を設ける。空気源11に第二レギュレータ53を介して接続されたエアセンサ55は、通流するエアの変化を検出して電磁弁41へ伝達する。例えばエアセンサ55の通流量が所定値を超えた際に、その旨を電磁弁41へ出力すると、電磁弁41は閉弁して測定具14へのエアの供給を遮断する。測定具14の支持板上面にジェットノズル101を設け、エアセンサ55からのエアをジェットノズル101の吹出口102からワークの下端面へ吹き付ける。測定具14からワークが取り外されて吹出口102が開放されると、エアセンサ55のエア流量が増大するので、電磁弁41が測定ヘッドの噴出口84へのエアの供給を遮断する。
【選択図】図1
Description
2 ワーク
11 空気源
13 エアマイクロメータ
14 測定具
41 電磁弁
55 エアセンサ
74 測定ヘッド
75 内周面
84 噴出口
91 着座部
92 下端面
101 ジェットノズル
102 噴出口
D 内径寸法
Claims (3)
- 空気源からエアを、エアマイクロメータを介して測定具に供給し、該測定具に設けられた測定ヘッドの噴出口から当該測定ヘッドにセットされたワークの対象箇所に吹き付けるエアマイクロシステムにおいて、
前記測定ヘッドへの前記ワークのセット状態を検出する検出手段と、
該検出手段が前記ワークがセットされていないことを検出した際に前記エアマイクロメータから前記噴出口へのエアの供給を遮断する遮断手段と、
を備えたことを特徴とするエアマイクロシステム。 - 前記ワークを前記測定ヘッドにセットした状態で前記ワークの端面が着座する着座部を前記測定具に設け、前記着座部への前記ワークの着座状態を検出するセンサで前記検出手段を構成したことを特徴とする請求項1記載のエアマイクロシステム。
- 前記ワークが前記着座部に着座した状態で前記ワークの端面にエアを吹き付ける吹出口を前記測定具に設ける一方、
前記吹出口からのエアの吹き出し量を検出する流量センサや前記吹出口に供給するエア圧を検出する圧力センサ等のエアセンサで前記センサを構成したことを特徴とする請求項2記載のエアマイクロシステム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008237246A JP2010071701A (ja) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | エアマイクロシステム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008237246A JP2010071701A (ja) | 2008-09-17 | 2008-09-17 | エアマイクロシステム |
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2008
- 2008-09-17 JP JP2008237246A patent/JP2010071701A/ja not_active Withdrawn
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A621 | Written request for application examination |
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A521 | Written amendment |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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