JPH1162965A - 静圧案内装置及び移動体 - Google Patents
静圧案内装置及び移動体Info
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- JPH1162965A JPH1162965A JP9222480A JP22248097A JPH1162965A JP H1162965 A JPH1162965 A JP H1162965A JP 9222480 A JP9222480 A JP 9222480A JP 22248097 A JP22248097 A JP 22248097A JP H1162965 A JPH1162965 A JP H1162965A
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- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
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- F16C32/0618—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via porous material
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- F16C2300/40—Application independent of particular apparatuses related to environment, i.e. operating conditions
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 静電吸着手段を有する静圧案内装置、及びそ
れを構成する移動体を提供する。 【解決手段】 本発明の一つの形式は、移動体の少なく
とも表面の一部は導電性材料からなり、移動体は案内体
対向面に向かって加圧気体を噴出する気体噴出手段を有
し、案内体は移動体の導電性材料によって形成された部
分に作用する吸着力を発生させる静電吸着手段を有する
ことを特徴とする静圧案内装置、及びそれに用いる移動
体である。また、本発明の他の形式は、案内体の少なく
とも表面の一部は導電性材料からなり、移動体は案内体
対向面に向かって加圧気体を噴出する気体噴出手段と、
案内体の導電性材料によって形成された部分に作用する
吸着力を発生させる静電吸着手段とを有することを特徴
とする静圧案内装置、及びそれに用いる移動体である。
れを構成する移動体を提供する。 【解決手段】 本発明の一つの形式は、移動体の少なく
とも表面の一部は導電性材料からなり、移動体は案内体
対向面に向かって加圧気体を噴出する気体噴出手段を有
し、案内体は移動体の導電性材料によって形成された部
分に作用する吸着力を発生させる静電吸着手段を有する
ことを特徴とする静圧案内装置、及びそれに用いる移動
体である。また、本発明の他の形式は、案内体の少なく
とも表面の一部は導電性材料からなり、移動体は案内体
対向面に向かって加圧気体を噴出する気体噴出手段と、
案内体の導電性材料によって形成された部分に作用する
吸着力を発生させる静電吸着手段とを有することを特徴
とする静圧案内装置、及びそれに用いる移動体である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密工作機械や半
導体露光装置に用いられる静圧案内装置及びそれを構成
する移動体に関するものである。
導体露光装置に用いられる静圧案内装置及びそれを構成
する移動体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】精密工作機械や半導体露光装置において
は、加工工具、基板等の加工物を高精度で位置決めする
ことが要求される。このために、加工工具又は加工物を
置くテーブルの位置決め装置に摩擦のほとんどない静圧
案内装置が用いられる。
は、加工工具、基板等の加工物を高精度で位置決めする
ことが要求される。このために、加工工具又は加工物を
置くテーブルの位置決め装置に摩擦のほとんどない静圧
案内装置が用いられる。
【０００３】静圧案内装置は、互いに相対的に移動する
一対の対向面（例えば、被加工物のテーブルである移動
体とそれをある方向に案内する案内体の対向面）の間に
加圧気体を介在させることによって、その対向面を互い
に非接触の状態に保つ装置である。加圧気体を噴出する
手段は一対の対向面の少なくとも一方に取り付けられ、
ノズル又は細孔から相対する面に向かって加圧気体が噴
出される。
一対の対向面（例えば、被加工物のテーブルである移動
体とそれをある方向に案内する案内体の対向面）の間に
加圧気体を介在させることによって、その対向面を互い
に非接触の状態に保つ装置である。加圧気体を噴出する
手段は一対の対向面の少なくとも一方に取り付けられ、
ノズル又は細孔から相対する面に向かって加圧気体が噴
出される。
【０００４】半導体露光装置等に用いられる軽負荷の静
圧案内装置においては、案内装置の剛性を高めるため
に、加圧気体によって互いに引き離された対向面を、加
圧気体の静圧に抗して何らかの手段で引き寄せる必要が
ある。すなわち、対向面隙間に予圧を与える必要があ
る。予圧を与える従来技術としては、磁気的吸着力もし
くは真空吸着力を利用する方法が開示されている。例え
ば、特開平5-71536 号公報においては、気体噴出手段と
して円環状の多孔体を用い、多孔体の内側に永久磁石も
しくは電磁石を配置して移動体となし、その移動体が磁
性材料からなる案内体に吸着される方式の静圧案内装置
が開示されている。また、特開平9-5463号公報において
は、真空吸着力を利用する技術が開示されている。真空
吸着方式の場合は、気体噴出部と真空吸引部とが別々に
なるので、反発力の重心と吸着力の重心位置を合わせる
のが困難である。
圧案内装置においては、案内装置の剛性を高めるため
に、加圧気体によって互いに引き離された対向面を、加
圧気体の静圧に抗して何らかの手段で引き寄せる必要が
ある。すなわち、対向面隙間に予圧を与える必要があ
る。予圧を与える従来技術としては、磁気的吸着力もし
くは真空吸着力を利用する方法が開示されている。例え
ば、特開平5-71536 号公報においては、気体噴出手段と
して円環状の多孔体を用い、多孔体の内側に永久磁石も
しくは電磁石を配置して移動体となし、その移動体が磁
性材料からなる案内体に吸着される方式の静圧案内装置
が開示されている。また、特開平9-5463号公報において
は、真空吸着力を利用する技術が開示されている。真空
吸着方式の場合は、気体噴出部と真空吸引部とが別々に
なるので、反発力の重心と吸着力の重心位置を合わせる
のが困難である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】対向面隙間に予圧を与
える手段として、磁気吸着方式は、移動体側に永久磁石
又は電磁石を配置し、案内体側も磁化される材料で構成
しなければならないので、装置が複雑になり、組立が困
難になる。また、真空吸着方式は、気体の噴出部に加え
て真空吸引部を設けなければならないので、移動体のサ
イズが大きくなり、静圧案内装置の小型化には不向きで
ある。加えて、真空吸着方式においては、気体噴出によ
る反発力の重心と真空吸引による吸着力の重心位置を合
わせるのが困難である。また、電子線描画装置等真空環
境で用いる静圧案内装置の場合には、原理的に真空吸着
方式によっては対向面隙間に予圧は与えられない。ま
た、電子線を使う装置にあっては、磁気吸着方式も、漏
れ磁界が電子線を曲げる等の悪影響を及ぼすので好まし
くない。
える手段として、磁気吸着方式は、移動体側に永久磁石
又は電磁石を配置し、案内体側も磁化される材料で構成
しなければならないので、装置が複雑になり、組立が困
難になる。また、真空吸着方式は、気体の噴出部に加え
て真空吸引部を設けなければならないので、移動体のサ
イズが大きくなり、静圧案内装置の小型化には不向きで
ある。加えて、真空吸着方式においては、気体噴出によ
る反発力の重心と真空吸引による吸着力の重心位置を合
わせるのが困難である。また、電子線描画装置等真空環
境で用いる静圧案内装置の場合には、原理的に真空吸着
方式によっては対向面隙間に予圧は与えられない。ま
た、電子線を使う装置にあっては、磁気吸着方式も、漏
れ磁界が電子線を曲げる等の悪影響を及ぼすので好まし
くない。
【０００６】本発明は、上記事情に鑑み、真空を含むよ
り広い環境で作動できる静圧案内装置であって、小型化
の可能な静圧案内装置及びそれに用いる移動体を提供す
ることを目的とする。
り広い環境で作動できる静圧案内装置であって、小型化
の可能な静圧案内装置及びそれに用いる移動体を提供す
ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の一つの形式は、
互いに相対的に移動する移動体と案内体とが構成する対
向面の間に加圧気体を介在させることによって該対向面
を非接触に保つ静圧案内装置において、該移動体の少な
くとも表面の一部は導電性材料からなり、該移動体は該
案内体対向面に向かって加圧気体を噴出する気体噴出手
段を有し、該案内体は前記移動体の導電性材料によって
形成された部分に作用する吸着力を発生させる静電吸着
手段を有することを特徴とする静圧案内装置、及びそれ
に用いる移動体である。また、本発明の他の形式は、案
内体の少なくとも表面の一部は導電性材料からなり、移
動体は該案内体対向面に向かって加圧気体を噴出する気
体噴出手段と、前記案内体の導電性材料によって形成さ
れた部分に作用する吸着力を発生させる静電吸着手段と
を有することを特徴とする静圧案内装置、及びそれに用
いる移動体である。
互いに相対的に移動する移動体と案内体とが構成する対
向面の間に加圧気体を介在させることによって該対向面
を非接触に保つ静圧案内装置において、該移動体の少な
くとも表面の一部は導電性材料からなり、該移動体は該
案内体対向面に向かって加圧気体を噴出する気体噴出手
段を有し、該案内体は前記移動体の導電性材料によって
形成された部分に作用する吸着力を発生させる静電吸着
手段を有することを特徴とする静圧案内装置、及びそれ
に用いる移動体である。また、本発明の他の形式は、案
内体の少なくとも表面の一部は導電性材料からなり、移
動体は該案内体対向面に向かって加圧気体を噴出する気
体噴出手段と、前記案内体の導電性材料によって形成さ
れた部分に作用する吸着力を発生させる静電吸着手段と
を有することを特徴とする静圧案内装置、及びそれに用
いる移動体である。
【０００８】望ましい実施形態として、気体噴出を導電
性を有する多孔体から行い、多孔体と対向する絶縁性案
内体表面を下部に膜状電極を有する誘電体層で形成し、
多孔体と前記膜状電極間に直流電圧を印加する手段を提
供している。もうひとつの実施形態として、気体噴出を
微細孔を有するノズルから行い、気体噴出部と同一面に
膜状電極を介して誘電体層を設け、前記膜状電極と対向
する導電性案内体表面との間に直流電圧を印加する手段
を提供している。
性を有する多孔体から行い、多孔体と対向する絶縁性案
内体表面を下部に膜状電極を有する誘電体層で形成し、
多孔体と前記膜状電極間に直流電圧を印加する手段を提
供している。もうひとつの実施形態として、気体噴出を
微細孔を有するノズルから行い、気体噴出部と同一面に
膜状電極を介して誘電体層を設け、前記膜状電極と対向
する導電性案内体表面との間に直流電圧を印加する手段
を提供している。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明は、静圧案内装置の相対す
る一対の対向面の吸着手段として静電吸着手段（静電力
を発生させる手段）を用いる。静電吸着力は、電極上に
誘電体層を設けた静電吸着機能部と導電性材料との間に
直流電圧を印加することによって発生する。電圧印加に
よって形成される電場は対向面間に局所化されるので、
従来の磁気的吸着手段に比べて電子線等系外への影響は
少ない。また、気体噴出孔となる多孔体に導電性セラミ
ックスを用い、その多孔体に直接電圧を印加する方式、
もしくは気体噴出面と同一面に静電吸着機能部を設ける
等の方式により、反発と吸着を同一場所で行うことがで
き、装置の小型化が可能である。構造的には、浮上力の
重心と吸着力の重心を一致させることができるので、部
材の変形が少なく、高精度の案内装置が提供可能であ
る。さらに、静電力を吸着手段として用いる案内装置
は、印加電圧を変えることにより容易に吸着力を変える
ことができ、対向面隙間の調整が容易である。
る一対の対向面の吸着手段として静電吸着手段（静電力
を発生させる手段）を用いる。静電吸着力は、電極上に
誘電体層を設けた静電吸着機能部と導電性材料との間に
直流電圧を印加することによって発生する。電圧印加に
よって形成される電場は対向面間に局所化されるので、
従来の磁気的吸着手段に比べて電子線等系外への影響は
少ない。また、気体噴出孔となる多孔体に導電性セラミ
ックスを用い、その多孔体に直接電圧を印加する方式、
もしくは気体噴出面と同一面に静電吸着機能部を設ける
等の方式により、反発と吸着を同一場所で行うことがで
き、装置の小型化が可能である。構造的には、浮上力の
重心と吸着力の重心を一致させることができるので、部
材の変形が少なく、高精度の案内装置が提供可能であ
る。さらに、静電力を吸着手段として用いる案内装置
は、印加電圧を変えることにより容易に吸着力を変える
ことができ、対向面隙間の調整が容易である。
【００１０】また、本発明の案内装置は、真空中で動作
可能であるので、電子線描画装置等への応用が可能であ
る。真空装置内で使う場合には、装置内の真空度の低下
を避けるために、多孔体を取り囲む気体の排出溝を一つ
以上設け、排出溝から集められれた気体を排出孔を通じ
て装置外に放出する機構を設けると良い。
可能であるので、電子線描画装置等への応用が可能であ
る。真空装置内で使う場合には、装置内の真空度の低下
を避けるために、多孔体を取り囲む気体の排出溝を一つ
以上設け、排出溝から集められれた気体を排出孔を通じ
て装置外に放出する機構を設けると良い。
【００１１】本発明の静圧案内装置の実施形態として
は、案内体に静電吸着機能部を設ける場合と移動体に静
電吸着機能部を設ける場合とがある。
は、案内体に静電吸着機能部を設ける場合と移動体に静
電吸着機能部を設ける場合とがある。
【００１２】案内体に静電吸着機能部を設ける場合に
は、吸着力の作用する移動体の一部又は全部に導電性材
料を用いる。移動体からの気体噴出は、微細孔を有する
ノズル又は多孔質セラミックスから行うことができる。
絶縁性セラミックス移動体の表面のみを導電性にする場
合には、スパッタ、めっき、溶射などの公知の手段でメ
タライズすることができる。導電性多孔質セラミックス
（導電性多孔体）を用い、その多孔体に直接電圧を印加
することにより、気体噴出部そのものを被吸着部とする
ことができる。多孔体としては、グラファイト質多孔体
が10-3〜10-2Ωcm程度の電気抵抗を持つ良導電体であ
り、加工目詰まりが少なく、本発明に好適である。本発
明の多孔体材料としてはグラファイトに限るものではな
く、 Si 、SiC 等の半導電性又は導電性の他の材質の多
孔体を用いてもよい。移動体基体への多孔体の装着はエ
ポキシ等の有機接着剤により行うことができる。
は、吸着力の作用する移動体の一部又は全部に導電性材
料を用いる。移動体からの気体噴出は、微細孔を有する
ノズル又は多孔質セラミックスから行うことができる。
絶縁性セラミックス移動体の表面のみを導電性にする場
合には、スパッタ、めっき、溶射などの公知の手段でメ
タライズすることができる。導電性多孔質セラミックス
（導電性多孔体）を用い、その多孔体に直接電圧を印加
することにより、気体噴出部そのものを被吸着部とする
ことができる。多孔体としては、グラファイト質多孔体
が10-3〜10-2Ωcm程度の電気抵抗を持つ良導電体であ
り、加工目詰まりが少なく、本発明に好適である。本発
明の多孔体材料としてはグラファイトに限るものではな
く、 Si 、SiC 等の半導電性又は導電性の他の材質の多
孔体を用いてもよい。移動体基体への多孔体の装着はエ
ポキシ等の有機接着剤により行うことができる。
【００１３】上記の移動体と対向する案内体に静電吸着
機能部を設ける。その構造は、絶縁性セラミックス基体
の表面に膜状電極を形成し、それを覆うように誘電体層
を設ける構造とするのが一般的である。従来、シリコン
ウェーハを吸着保持するウェーハ保治具として、クーロ
ン力又はジョンセンーラーベック力に基づく静電力を利
用した静電チャックが開示されているが、案内体として
静電力を応用した例はない。セラミックス基体はアルミ
ナセラミックスで作るのが一般的であるが、天然石を原
料とする石定盤を用いることにより、大面積の平盤上の
案内体を提供することができる。大面積への静電吸着機
能の付与は、溶射法により電極層、誘電体層を順次設け
ることにより可能である。誘電体材料としては、代表的
にはAl2O3 、TiO2、Ta2O3 又はそれらの複合酸化物セラ
ミックスを用いることができ、電極材料はCu、Mo、W な
どの金属を用いることができる。
機能部を設ける。その構造は、絶縁性セラミックス基体
の表面に膜状電極を形成し、それを覆うように誘電体層
を設ける構造とするのが一般的である。従来、シリコン
ウェーハを吸着保持するウェーハ保治具として、クーロ
ン力又はジョンセンーラーベック力に基づく静電力を利
用した静電チャックが開示されているが、案内体として
静電力を応用した例はない。セラミックス基体はアルミ
ナセラミックスで作るのが一般的であるが、天然石を原
料とする石定盤を用いることにより、大面積の平盤上の
案内体を提供することができる。大面積への静電吸着機
能の付与は、溶射法により電極層、誘電体層を順次設け
ることにより可能である。誘電体材料としては、代表的
にはAl2O3 、TiO2、Ta2O3 又はそれらの複合酸化物セラ
ミックスを用いることができ、電極材料はCu、Mo、W な
どの金属を用いることができる。
【００１４】移動体に静電吸着機能部を設ける場合に
は、吸着力の作用する案内体の表面が導電性材料で形成
される必要がある。この場合には、移動体の気体噴出部
と同一平面に静電吸着機能部が設けられる。気体噴出部
はオリフィスタイプでも良く、多孔体でも良い。オリフ
ィスタイプの場合は、より簡便に静電吸着機能部内に微
細孔を有するノズルを設けることにより、気体噴出によ
る反発と静電吸着による吸引とを同一領域内で行わせる
ことができる。その場合のノズルの材質としては、電気
絶縁性を確保するために、アルミナセラミックス等の絶
縁材料が好ましい。対向する案内体の導電性材料として
は、鋳鉄等の鉄鋼材料を用いることができるが、SiC
系、Al2O3-TiC 系などの導電性セラミックスを用いても
良い。また、絶縁性案内体の表面のみに導電層を設け、
その導電層に電圧を印加してもよい。
は、吸着力の作用する案内体の表面が導電性材料で形成
される必要がある。この場合には、移動体の気体噴出部
と同一平面に静電吸着機能部が設けられる。気体噴出部
はオリフィスタイプでも良く、多孔体でも良い。オリフ
ィスタイプの場合は、より簡便に静電吸着機能部内に微
細孔を有するノズルを設けることにより、気体噴出によ
る反発と静電吸着による吸引とを同一領域内で行わせる
ことができる。その場合のノズルの材質としては、電気
絶縁性を確保するために、アルミナセラミックス等の絶
縁材料が好ましい。対向する案内体の導電性材料として
は、鋳鉄等の鉄鋼材料を用いることができるが、SiC
系、Al2O3-TiC 系などの導電性セラミックスを用いても
良い。また、絶縁性案内体の表面のみに導電層を設け、
その導電層に電圧を印加してもよい。
【００１５】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図１は第一実施例をしめし、(a)は移動体の模式底面
図、(b) は断面図で示す説明図である。本実施例の静圧
案内装置は、移動体１、案内体２、及び図示しない駆動
装置とからなる。移動体１は、移動体基体３、移動体基
体に埋設された多孔体４、及び棒状電極９とからなる。
案内体は、案内体基体１２、誘電体層に設けられた膜状
電極１１、及び誘電体層１０とからなる。移動体基体及
び案内体基体には電気絶縁性のアルミナセラミックスを
用いている。
図１は第一実施例をしめし、(a)は移動体の模式底面
図、(b) は断面図で示す説明図である。本実施例の静圧
案内装置は、移動体１、案内体２、及び図示しない駆動
装置とからなる。移動体１は、移動体基体３、移動体基
体に埋設された多孔体４、及び棒状電極９とからなる。
案内体は、案内体基体１２、誘電体層に設けられた膜状
電極１１、及び誘電体層１０とからなる。移動体基体及
び案内体基体には電気絶縁性のアルミナセラミックスを
用いている。
【００１６】加圧気体は、図示しない給気源と給気配管
とを経て給気孔５から供給され、多孔体給気面に設けら
れた一周する通気溝６から多孔体に供給される。多孔体
はグラファイト質の多孔体である。加圧気体は、多孔体
で絞られ、圧力降下して案内体の対向面に向かって噴出
する。噴出した気体は、そのほとんどは気体排出溝７を
通って、排気孔８に集められ、そこから図示しない排出
管を通って装置外に放出される。これによって、真空装
置内での使用が可能になる。
とを経て給気孔５から供給され、多孔体給気面に設けら
れた一周する通気溝６から多孔体に供給される。多孔体
はグラファイト質の多孔体である。加圧気体は、多孔体
で絞られ、圧力降下して案内体の対向面に向かって噴出
する。噴出した気体は、そのほとんどは気体排出溝７を
通って、排気孔８に集められ、そこから図示しない排出
管を通って装置外に放出される。これによって、真空装
置内での使用が可能になる。
【００１７】加圧気体により離れようとする対向面を引
き寄せる力は案内装置の予圧として静電力によって与え
られる。予圧が与えられることにより、対向面隙間を適
正に保つことができ、気体膜の剛性があげられ、静圧案
内装置の位置決め精度が向上する。静電力は、案内体２
より与えられる。案内体基体１２の表面には厚さ50μm
程度のCuの膜状電極１１が設けられ、膜状電極を覆うよ
うに厚さ300 μm のAl2O3-TiO2系セラミックスの誘電体
層１０が設けられている。直流電圧は、多孔体側の棒状
電極９と誘電体側の膜状電極１１の間に高圧電源１３を
用いて印加される。これにより、対向面隙間に静電力に
よる吸引力が発生する。
き寄せる力は案内装置の予圧として静電力によって与え
られる。予圧が与えられることにより、対向面隙間を適
正に保つことができ、気体膜の剛性があげられ、静圧案
内装置の位置決め精度が向上する。静電力は、案内体２
より与えられる。案内体基体１２の表面には厚さ50μm
程度のCuの膜状電極１１が設けられ、膜状電極を覆うよ
うに厚さ300 μm のAl2O3-TiO2系セラミックスの誘電体
層１０が設けられている。直流電圧は、多孔体側の棒状
電極９と誘電体側の膜状電極１１の間に高圧電源１３を
用いて印加される。これにより、対向面隙間に静電力に
よる吸引力が発生する。
【００１８】移動体側のグラファイト質多孔体の通気特
性を適正化し、案内体側の誘電体層の電気抵抗を適正化
することにより、案内装置として十分な予荷重を得るこ
とができ、高剛性案内装置とすることができる。
性を適正化し、案内体側の誘電体層の電気抵抗を適正化
することにより、案内装置として十分な予荷重を得るこ
とができ、高剛性案内装置とすることができる。
【００１９】図２は第二実施例を示し、(a) は移動体の
模式底面図、(b) は断面図で示す説明図である。本実施
例においては、静電吸着機能は移動体側に設けられてい
る。この場合には、移動体基体３はアルミナセラミック
ス等の電気絶縁性材料で形成し、案内体基体１２は鋳鉄
等の電気伝導性の材料で形成する。移動体表面には、膜
状電極１１を介して誘電体層１０が設けられている。電
極１１と誘電体膜１０は実施例１と同じものを用いるこ
とができる。移動体側からの気体噴出は、静電吸着部領
域内に装着した微細孔を有するアルミナ質のノズル１４
から行われる。電圧は、誘電体層の下面に設けた膜状電
極１１と案内体基体１２の間に印加される。これによ
り、対向面隙間に吸引力が発生する。本実施例において
も、第一実施例と同様に、気体噴出による反発と静電吸
着による吸引とが同一領域で行われ、部材の変形の少な
い高剛性の案内装置とすることができる。
模式底面図、(b) は断面図で示す説明図である。本実施
例においては、静電吸着機能は移動体側に設けられてい
る。この場合には、移動体基体３はアルミナセラミック
ス等の電気絶縁性材料で形成し、案内体基体１２は鋳鉄
等の電気伝導性の材料で形成する。移動体表面には、膜
状電極１１を介して誘電体層１０が設けられている。電
極１１と誘電体膜１０は実施例１と同じものを用いるこ
とができる。移動体側からの気体噴出は、静電吸着部領
域内に装着した微細孔を有するアルミナ質のノズル１４
から行われる。電圧は、誘電体層の下面に設けた膜状電
極１１と案内体基体１２の間に印加される。これによ
り、対向面隙間に吸引力が発生する。本実施例において
も、第一実施例と同様に、気体噴出による反発と静電吸
着による吸引とが同一領域で行われ、部材の変形の少な
い高剛性の案内装置とすることができる。
【００２０】
【発明の効果】静圧案内装置の相対する一対の対向面の
吸着手段として静電力を用い、気体噴出体である多孔体
に直接電圧を印加する等により、反発と吸着を同一場所
で行うことができ、装置構成が単純になり、装置の小型
化が可能となる。また、静電力を吸着手段として用いる
案内装置は真空中で動作可能であり、真空装置への適用
も可能となる。
吸着手段として静電力を用い、気体噴出体である多孔体
に直接電圧を印加する等により、反発と吸着を同一場所
で行うことができ、装置構成が単純になり、装置の小型
化が可能となる。また、静電力を吸着手段として用いる
案内装置は真空中で動作可能であり、真空装置への適用
も可能となる。
【図１】本発明の第一実施例を示し、(a) は移動体の模
式底面図、(b) は案内装置の断面図で示す説明図ある。
式底面図、(b) は案内装置の断面図で示す説明図ある。
【図２】本発明の第二実施例を示し、同じく(a) は模式
底面図、(b) は断面図である。
底面図、(b) は断面図である。
１ 移動体 ２ 案内体 ３ 移動体基体 ４ 多孔体 ５ 給気孔 ６ 通気溝 ７ 気体排出溝 ８ 排気孔 ９ 棒状電極 １０ 誘電体層 １１ 膜状電極 １２ 案内体基体 １３ 高圧電源 １４ ノズル
Claims (10)
- 【請求項１】 互いに相対的に移動する移動体と案内体
とが構成する対向面の間に加圧気体を介在させることに
よって該対向面を非接触に保つ静圧案内装置において、
該移動体の少なくとも表面の一部は導電性材料からな
り、該移動体は該案内体対向面に向かって加圧気体を噴
出する気体噴出手段を有し、該案内体は前記移動体の導
電性材料によって形成された部分に作用する吸着力を発
生させる静電吸着手段を有することを特徴とする静圧案
内装置。 - 【請求項２】 互いに相対的に移動する移動体と案内体
とが構成する対向面の間に加圧気体を介在させることに
よって該対向面を非接触に保つ静圧案内装置において、
該案内体の少なくとも表面の一部は導電性材料からな
り、該移動体は該案内体対向面に向かって加圧気体を噴
出する気体噴出手段と、前記案内体の導電性材料によっ
て形成された部分に作用する吸着力を発生させる静電吸
着手段とを有することを特徴とする静圧案内装置。 - 【請求項３】 請求項１記載の静圧案内装置に用いられ
る移動体であって、該移動体の少なくとも表面の一部は
導電性材料からなり、該移動体は該案内体対向面に向か
って加圧気体を噴出する気体噴出手段を有することを特
徴とする移動体。 - 【請求項４】 気体噴出が微細孔を有する一つ以上のノ
ズルから行われることを特徴とする請求項３記載の移動
体。 - 【請求項５】 気体噴出が多孔質セラミックスから行わ
れることを特徴とする請求項３記載の移動体。 - 【請求項６】 気体噴出が導電性多孔質セラミックスか
ら行われることを特徴とする請求項３記載の移動体。 - 【請求項７】 気体噴出がグラファイト質多孔体から行
われることを特徴とする請求項３記載の移動体。 - 【請求項８】 請求項２記載の静圧案内装置に用いられ
る移動体であって、案内体対向面に向かって加圧気体を
噴出する気体噴出手段と、前記案内体の導電性材料によ
って形成された部分に作用する吸着力を発生させる静電
吸着手段とを有することを特徴とする移動体。 - 【請求項９】 気体噴出が微細孔を有する一つ以上のノ
ズルから行われることを特徴とする請求項８記載の移動
体。 - 【請求項１０】 気体噴出が多孔質セラミックスから行
われることを特徴とする請求項８記載の移動体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9222480A JPH1162965A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 静圧案内装置及び移動体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9222480A JPH1162965A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 静圧案内装置及び移動体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1162965A true JPH1162965A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16783093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9222480A Withdrawn JPH1162965A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 静圧案内装置及び移動体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1162965A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH116525A (ja) * | 1997-06-17 | 1999-01-12 | Mitsutoyo Corp | 流体軸受装置 |
| JP2002155938A (ja) * | 2000-02-01 | 2002-05-31 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
| JP2004349576A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Canon Inc | ステージ装置、静圧軸受装置、位置決め方法、露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2010019425A (ja) * | 2009-10-21 | 2010-01-28 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体軸受装置 |
| JP2010065844A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Vistec Electron Beam Gmbh | 特に真空使用用の静圧気体軸受装置、及び、関連した静電予圧ユニット |
| JP2011519486A (ja) * | 2008-04-30 | 2011-07-07 | アクセリス テクノロジーズ， インコーポレイテッド | ガスベアリング静電チャック |
| JP5178507B2 (ja) * | 2006-03-22 | 2013-04-10 | 京セラ株式会社 | 静圧スライダ、これを備えた搬送装置および処理装置 |
| US20230069184A1 (en) * | 2021-08-24 | 2023-03-02 | New Way Machine Components, Inc. | Electrostatic dissipative externally pressurized porous bearings |
-
1997
- 1997-08-19 JP JP9222480A patent/JPH1162965A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH116525A (ja) * | 1997-06-17 | 1999-01-12 | Mitsutoyo Corp | 流体軸受装置 |
| JP2002155938A (ja) * | 2000-02-01 | 2002-05-31 | Toto Ltd | 静圧気体軸受 |
| JP2004349576A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Canon Inc | ステージ装置、静圧軸受装置、位置決め方法、露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP5178507B2 (ja) * | 2006-03-22 | 2013-04-10 | 京セラ株式会社 | 静圧スライダ、これを備えた搬送装置および処理装置 |
| JP2011519486A (ja) * | 2008-04-30 | 2011-07-07 | アクセリス テクノロジーズ， インコーポレイテッド | ガスベアリング静電チャック |
| JP2010065844A (ja) * | 2008-09-09 | 2010-03-25 | Vistec Electron Beam Gmbh | 特に真空使用用の静圧気体軸受装置、及び、関連した静電予圧ユニット |
| EP2161465A3 (de) * | 2008-09-09 | 2015-11-11 | Vistec Electron Beam GmbH | Aerostatische Lageranordnung mit zugeordneter elektrostatischer Vorspanneinheit, insbesondere für die Vakuumanwendung |
| JP2010019425A (ja) * | 2009-10-21 | 2010-01-28 | Oiles Ind Co Ltd | 静圧気体軸受装置 |
| US20230069184A1 (en) * | 2021-08-24 | 2023-03-02 | New Way Machine Components, Inc. | Electrostatic dissipative externally pressurized porous bearings |
| US11781593B2 (en) * | 2021-08-24 | 2023-10-10 | New Way Machine Components, Inc. | Electrostatic dissipative externally pressurized porous bearings |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041102 |