JPH1162955A - アクチュエータ - Google Patents
アクチュエータInfo
- Publication number
- JPH1162955A JPH1162955A JP23070897A JP23070897A JPH1162955A JP H1162955 A JPH1162955 A JP H1162955A JP 23070897 A JP23070897 A JP 23070897A JP 23070897 A JP23070897 A JP 23070897A JP H1162955 A JPH1162955 A JP H1162955A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slide table
- actuator
- load
- actuator body
- permanent magnet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】スライドテーブルに偏心荷重が付与されても、
ガイド部材に加えられる荷重を均一に保持することにあ
る。 【解決手段】スライドテーブル１６の下面部に永久磁石
２２を固定し、アクチュエータボデイ１２の上面部に磁
性体２４を固定し、前記スライドテーブル１６の変位方
向と略直交する方向に作用する力Ｆによって、偏心荷重
に影響されることがなくガイド部１４ａ、１４ｂに対し
て均一な荷重を付与することができる。
ガイド部材に加えられる荷重を均一に保持することにあ
る。 【解決手段】スライドテーブル１６の下面部に永久磁石
２２を固定し、アクチュエータボデイ１２の上面部に磁
性体２４を固定し、前記スライドテーブル１６の変位方
向と略直交する方向に作用する力Ｆによって、偏心荷重
に影響されることがなくガイド部１４ａ、１４ｂに対し
て均一な荷重を付与することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、駆動源の駆動作用
下にアクチュエータボデイの軸線方向に沿ってスライド
テーブルを往復動作させるアクチュエータに関する。
下にアクチュエータボデイの軸線方向に沿ってスライド
テーブルを往復動作させるアクチュエータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ワーク等の搬送手段としてア
クチュエータが用いられている。このアクチュエータ
は、ガイド部材の案内作用下にフレームに沿って移動テ
ーブルを直線状に往復運動させることにより、前記移動
テーブルに載置されたワークを搬送することができる。
クチュエータが用いられている。このアクチュエータ
は、ガイド部材の案内作用下にフレームに沿って移動テ
ーブルを直線状に往復運動させることにより、前記移動
テーブルに載置されたワークを搬送することができる。
【０００３】従来技術に係るアクチュエータでは、前記
ガイド部材として、例えば、フレームの内壁面に固設さ
れた略平行な一対のガイドレールが用いられ、スライド
テーブルに固定されたガイドブロックが前記ガイドレー
ルに沿って摺動変位する構成が採用されている。
ガイド部材として、例えば、フレームの内壁面に固設さ
れた略平行な一対のガイドレールが用いられ、スライド
テーブルに固定されたガイドブロックが前記ガイドレー
ルに沿って摺動変位する構成が採用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術に係るアクチュエータでは、スライドテーブル
に載置されるワークの重量、形状、または該アクチュエ
ータの取付姿勢等に起因して前記スライドテーブルに対
し偏心荷重が付与され、前記偏心荷重は一組のガイドレ
ールのみによって保持される。
従来技術に係るアクチュエータでは、スライドテーブル
に載置されるワークの重量、形状、または該アクチュエ
ータの取付姿勢等に起因して前記スライドテーブルに対
し偏心荷重が付与され、前記偏心荷重は一組のガイドレ
ールのみによって保持される。
【０００５】この場合、前記偏心荷重によってガイドレ
ールに負荷される荷重が不均一となってガタが発生し、
前記ガイドレール等を含むガイド部材の耐久性を劣化さ
せるという不都合がある。なお、前記「偏心荷重」と
は、スライドテーブルに付与される荷重の中、該スライ
ドテーブルの重心を通らない荷重をいう。
ールに負荷される荷重が不均一となってガタが発生し、
前記ガイドレール等を含むガイド部材の耐久性を劣化さ
せるという不都合がある。なお、前記「偏心荷重」と
は、スライドテーブルに付与される荷重の中、該スライ
ドテーブルの重心を通らない荷重をいう。
【０００６】本発明は、前記の不都合を克服するために
なされたものであり、スライドテーブルに偏心荷重が付
与されても、ガイド部材に加えられる荷重を均一に保持
して該ガイド部の耐久性を向上させることが可能なアク
チュエータを提供することを目的とする。
なされたものであり、スライドテーブルに偏心荷重が付
与されても、ガイド部材に加えられる荷重を均一に保持
して該ガイド部の耐久性を向上させることが可能なアク
チュエータを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、本発明は、アクチュエータボデイと、前記アクチ
ュエータボデイの内部または外部に固設された駆動源
と、駆動力伝達手段を介して前記駆動源の駆動力が伝達
され、前記アクチュエータボデイの長手方向に沿って変
位自在に設けられたスライドテーブルと、前記スライド
テーブルがアクチュエータボデイの長手方向に沿って変
位する際、該スライドテーブルを案内するとともに該ス
ライドテーブルに付与される荷重を保持するガイド手段
と、前記スライドテーブルと前記アクチュエータボデイ
との間に設けられ、前記スライドテーブルの変位方向と
略直交する方向に作用する力によって前記ガイド手段に
対し所定の荷重を付加する荷重付加手段と、を備えるこ
とを特徴とする。
めに、本発明は、アクチュエータボデイと、前記アクチ
ュエータボデイの内部または外部に固設された駆動源
と、駆動力伝達手段を介して前記駆動源の駆動力が伝達
され、前記アクチュエータボデイの長手方向に沿って変
位自在に設けられたスライドテーブルと、前記スライド
テーブルがアクチュエータボデイの長手方向に沿って変
位する際、該スライドテーブルを案内するとともに該ス
ライドテーブルに付与される荷重を保持するガイド手段
と、前記スライドテーブルと前記アクチュエータボデイ
との間に設けられ、前記スライドテーブルの変位方向と
略直交する方向に作用する力によって前記ガイド手段に
対し所定の荷重を付加する荷重付加手段と、を備えるこ
とを特徴とする。
【０００８】この場合、前記荷重付加手段は、スライド
テーブルまたはアクチュエータボデイのいずれか一方に
固定される永久磁石と、他方に固定される磁性体とから
なり、前記永久磁石と磁性体との間に所定のクリアラン
スを設けると好適である。
テーブルまたはアクチュエータボデイのいずれか一方に
固定される永久磁石と、他方に固定される磁性体とから
なり、前記永久磁石と磁性体との間に所定のクリアラン
スを設けると好適である。
【０００９】本発明によれば、ワークの重量等に起因し
てスライドテーブルに偏心荷重が加えられた場合、荷重
付加手段の作用下に予めガイド手段に所定の荷重が付与
されている。このため、前記ガイド手段は、偏心荷重の
影響を受けることがなく均一な荷重が加えられ、前記ガ
イド手段の劣化を阻止することができる。
てスライドテーブルに偏心荷重が加えられた場合、荷重
付加手段の作用下に予めガイド手段に所定の荷重が付与
されている。このため、前記ガイド手段は、偏心荷重の
影響を受けることがなく均一な荷重が加えられ、前記ガ
イド手段の劣化を阻止することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明に係るアクチュエータにつ
いて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。
いて好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら以下詳細に説明する。
【００１１】図１および図２において、参照数字１０
は、本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエータを
示す。このアクチュエータ１０は、アルミニウム等の非
磁性体材料によって形成されたアクチュエータボデイ１
２と、前記アクチュエータボデイ１２の上面部に膨出し
て一体的に形成された一組のガイド部（ガイド手段）１
４ａ、１４ｂに沿って直線状に往復動作するスライドテ
ーブル１６とを有する。
は、本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエータを
示す。このアクチュエータ１０は、アルミニウム等の非
磁性体材料によって形成されたアクチュエータボデイ１
２と、前記アクチュエータボデイ１２の上面部に膨出し
て一体的に形成された一組のガイド部（ガイド手段）１
４ａ、１４ｂに沿って直線状に往復動作するスライドテ
ーブル１６とを有する。
【００１２】前記アクチュエータボデイ１２の内部に
は、連結ブロック１７を介して回転駆動源１９が固設さ
れ、前記回転駆動源１９の駆動軸と同軸に連結されたボ
ールねじ（駆動力伝達手段）１８の螺回作用下にスライ
ドテーブル１６が直線状に往復動作する。
は、連結ブロック１７を介して回転駆動源１９が固設さ
れ、前記回転駆動源１９の駆動軸と同軸に連結されたボ
ールねじ（駆動力伝達手段）１８の螺回作用下にスライ
ドテーブル１６が直線状に往復動作する。
【００１３】ガイド部１４ａ、１４ｂの一端部には相互
に直交する一組の傾斜面が形成され、前記一組の傾斜面
には、それぞれ摺動部材２０ａ、２０ｂが設けられる。
なお、前記ボールねじ１８並びに摺動部材２０ａ、２０
ｂを超高分子ポリエチレンまたはポリイミド樹脂で形成
すると好適である。
に直交する一組の傾斜面が形成され、前記一組の傾斜面
には、それぞれ摺動部材２０ａ、２０ｂが設けられる。
なお、前記ボールねじ１８並びに摺動部材２０ａ、２０
ｂを超高分子ポリエチレンまたはポリイミド樹脂で形成
すると好適である。
【００１４】また、前記スライドテーブル１６の下面の
中央部には、該スライドテーブル１６の長手方向に沿っ
て延在するプレート状の永久磁石２２が固定され、一
方、アクチュエータボデイ１２の上面の中央部には、該
アクチュエータボデイ１２の長手方向に沿って延在する
プレート状の磁性体２４が固定される。前記永久磁石２
２および磁性体２４は、荷重付加手段として機能するも
のであり、該永久磁石２２と磁性体２４との間には、所
定のクリアランスが設けられる。
中央部には、該スライドテーブル１６の長手方向に沿っ
て延在するプレート状の永久磁石２２が固定され、一
方、アクチュエータボデイ１２の上面の中央部には、該
アクチュエータボデイ１２の長手方向に沿って延在する
プレート状の磁性体２４が固定される。前記永久磁石２
２および磁性体２４は、荷重付加手段として機能するも
のであり、該永久磁石２２と磁性体２４との間には、所
定のクリアランスが設けられる。
【００１５】前記永久磁石２２から発生する磁界の作用
下に前記磁性体２４が吸引されることにより、アクチュ
エータボデイ１２に対して上向きの力Ｆ（図２参照）が
作用する。この結果、アクチュエータボデイ１２とスラ
イドテーブル１６とは、相互に引きつけ合うように設け
られる。
下に前記磁性体２４が吸引されることにより、アクチュ
エータボデイ１２に対して上向きの力Ｆ（図２参照）が
作用する。この結果、アクチュエータボデイ１２とスラ
イドテーブル１６とは、相互に引きつけ合うように設け
られる。
【００１６】第１の実施の形態に係るアクチュエータ１
０は基本的には以上のように構成されるものであり、次
にその動作並びに作用効果について説明する。
０は基本的には以上のように構成されるものであり、次
にその動作並びに作用効果について説明する。
【００１７】図示しない電源に接続された回転駆動源１
９を付勢し、前記回転駆動源１９の回転駆動力がボール
ねじ１８に伝達される。前記ボールねじ１８の螺回作用
下にスライドテーブル１６は、ガイド部１４ａ、１４ｂ
に案内されながらアクチュエータボデイ１２の長手方向
に沿って直線状に変位する。従って、スライドテーブル
１６に載置された図示しないワークが該スライドテーブ
ル１６と一体的に変位することにより、該ワークが所定
位置に搬送される。
９を付勢し、前記回転駆動源１９の回転駆動力がボール
ねじ１８に伝達される。前記ボールねじ１８の螺回作用
下にスライドテーブル１６は、ガイド部１４ａ、１４ｂ
に案内されながらアクチュエータボデイ１２の長手方向
に沿って直線状に変位する。従って、スライドテーブル
１６に載置された図示しないワークが該スライドテーブ
ル１６と一体的に変位することにより、該ワークが所定
位置に搬送される。
【００１８】ワークの重量等に起因して前記スライドテ
ーブル１６に偏心荷重が加えられた場合、磁性体２４に
対する永久磁石２２の吸引作用下にアクチュエータボデ
イ１２をスライドテーブル１６側に向かって吸引する力
Ｆ、すなわち、アクチュエータボデイ１２とスライドテ
ーブル１６とを相互に引きつけ合う力Ｆが、予め、スラ
イドテーブル１６の変位方向と略直交する方向にガイド
部１４ａ、１４ｂに付与されている。従って、前記ガイ
ド部１４ａ、１４ｂには、偏心荷重の影響を受けること
がなく均一な荷重が付与される。この結果、前記ガイド
部１４ａ、１４ｂを劣化させることがなく、耐久性の向
上を図ることができる。
ーブル１６に偏心荷重が加えられた場合、磁性体２４に
対する永久磁石２２の吸引作用下にアクチュエータボデ
イ１２をスライドテーブル１６側に向かって吸引する力
Ｆ、すなわち、アクチュエータボデイ１２とスライドテ
ーブル１６とを相互に引きつけ合う力Ｆが、予め、スラ
イドテーブル１６の変位方向と略直交する方向にガイド
部１４ａ、１４ｂに付与されている。従って、前記ガイ
ド部１４ａ、１４ｂには、偏心荷重の影響を受けること
がなく均一な荷重が付与される。この結果、前記ガイド
部１４ａ、１４ｂを劣化させることがなく、耐久性の向
上を図ることができる。
【００１９】このように、第１の実施の形態に係るアク
チュエータ１０では、略鉛直方向（矢印Ａ方向）に作用
する偏心荷重を好適に吸収することが可能となる。
チュエータ１０では、略鉛直方向（矢印Ａ方向）に作用
する偏心荷重を好適に吸収することが可能となる。
【００２０】次に、第２の実施の形態に係るアクチュエ
ータ３０を図３に示す。なお、以下の実施の形態におい
て、図１に示すアクチュエータ１０と同一の構成要素に
は同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
ータ３０を図３に示す。なお、以下の実施の形態におい
て、図１に示すアクチュエータ１０と同一の構成要素に
は同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
【００２１】本実施の形態に係るアクチュエータ３０
は、プレート状の永久磁石２２をスライドテーブル３２
の凹部３４に挿入して該永久磁石２２とスライドテーブ
ル３２の下面をそれぞれ面一に形成し、一方、プレート
状の磁性体２４をアクチュエータボデイ３６の凹部３８
に挿入して該磁性体２４とアクチュエータボデイ３６の
上面をそれぞれ面一に形成している点で図１に示すアク
チュエータ１０と異なる。
は、プレート状の永久磁石２２をスライドテーブル３２
の凹部３４に挿入して該永久磁石２２とスライドテーブ
ル３２の下面をそれぞれ面一に形成し、一方、プレート
状の磁性体２４をアクチュエータボデイ３６の凹部３８
に挿入して該磁性体２４とアクチュエータボデイ３６の
上面をそれぞれ面一に形成している点で図１に示すアク
チュエータ１０と異なる。
【００２２】また、スライドテーブル３２とガイド部４
０ａ、４０ｂと摺動部位には、平板状の第１摺動部材４
２および第２摺動部材４４が略直交した状態で介装され
る。なお、参照数字４６は、前記第１摺動部材４２およ
び第２摺動部材４４の摺動具合を調整する調整用手段で
あり、参照数字４８ａ、４８ｂは、一組のガイド部をそ
れぞれ示す。
０ａ、４０ｂと摺動部位には、平板状の第１摺動部材４
２および第２摺動部材４４が略直交した状態で介装され
る。なお、参照数字４６は、前記第１摺動部材４２およ
び第２摺動部材４４の摺動具合を調整する調整用手段で
あり、参照数字４８ａ、４８ｂは、一組のガイド部をそ
れぞれ示す。
【００２３】前記調整手段４６は、ねじ込み量の増減作
用下に第１摺動部材４２および第２摺動部材４４に対し
て略水平方向に予圧（押圧力）を付与する止めねじ４７
と、前記止めねじ４７を所定位置で固定するナット４９
とから構成される。
用下に第１摺動部材４２および第２摺動部材４４に対し
て略水平方向に予圧（押圧力）を付与する止めねじ４７
と、前記止めねじ４７を所定位置で固定するナット４９
とから構成される。
【００２４】第２の実施の形態に係るアクチュエータ３
０では、略鉛直方向（矢印Ａ方向）に付与される偏心荷
重の他に、ボールねじを中心として円周方向（矢印Ｂ方
向）に付与される偏心荷重をも吸収することができる。
０では、略鉛直方向（矢印Ａ方向）に付与される偏心荷
重の他に、ボールねじを中心として円周方向（矢印Ｂ方
向）に付与される偏心荷重をも吸収することができる。
【００２５】続いて、第３の実施の形態に係るアクチュ
エータ５０を図４に示す。
エータ５０を図４に示す。
【００２６】本実施の形態に係るアクチュエータ５０で
は、第１永久磁石５２および第１磁性体５４の他に、ス
ライドテーブル５６の鉛直方向に沿った内壁面にプレー
ト状の第２永久磁石５８が固定され、前記第２永久磁石
５８と所定間隔離間して第２磁性体６０がアクチュエー
タボデイ６２の鉛直方向に沿った内壁面に固定されてい
る点で異なる。
は、第１永久磁石５２および第１磁性体５４の他に、ス
ライドテーブル５６の鉛直方向に沿った内壁面にプレー
ト状の第２永久磁石５８が固定され、前記第２永久磁石
５８と所定間隔離間して第２磁性体６０がアクチュエー
タボデイ６２の鉛直方向に沿った内壁面に固定されてい
る点で異なる。
【００２７】従って、一組のガイド部６４ａ、６４ｂに
は、アクチュエータボデイ６２をスライドテーブル５６
の上下方向に向かって吸引する力Ｆ1 と、前記力Ｆ1 と
略直交し該アクチュエータボデイ６２をスライドテーブ
ル５６の水平方向に向かって吸引する力Ｆ2 とが作用す
ることにより、略鉛直方向（矢印Ａ方向）並びに円周方
向（矢印Ｂ方向）に作用する偏心荷重を好適に吸収する
ことができる。なお、スライドテーブル５６とガイド部
６４ａ、６４ｂとの摺動部位には、それぞれ略直交する
方向に第１〜第３摺動部材６６ａ〜６６ｃが介装され
る。
は、アクチュエータボデイ６２をスライドテーブル５６
の上下方向に向かって吸引する力Ｆ1 と、前記力Ｆ1 と
略直交し該アクチュエータボデイ６２をスライドテーブ
ル５６の水平方向に向かって吸引する力Ｆ2 とが作用す
ることにより、略鉛直方向（矢印Ａ方向）並びに円周方
向（矢印Ｂ方向）に作用する偏心荷重を好適に吸収する
ことができる。なお、スライドテーブル５６とガイド部
６４ａ、６４ｂとの摺動部位には、それぞれ略直交する
方向に第１〜第３摺動部材６６ａ〜６６ｃが介装され
る。
【００２８】さらに、第４の実施の形態に係るアクチュ
エータ７０を図５に示す。
エータ７０を図５に示す。
【００２９】本実施の形態に係るアクチュエータ７０で
は、プレート状の磁性体７２をアクチュエータボデイ７
４の内部に埋設するとともに、スライドテーブル７６の
下面の凹部に電磁石７８を固設している。なお、参照数
字８０は、前記電磁石７８を構成するコイルを示す。
は、プレート状の磁性体７２をアクチュエータボデイ７
４の内部に埋設するとともに、スライドテーブル７６の
下面の凹部に電磁石７８を固設している。なお、参照数
字８０は、前記電磁石７８を構成するコイルを示す。
【００３０】この場合、スライドテーブル７６がアクチ
ュエータボデイ７４に沿って変位する際、前記電磁石７
８の通電作用下に磁性体７２に対する吸引力が作用する
とともに、前記電磁石７８から発生する磁束が変化し、
アクチュエータボデイ７４の内壁面に矢印方向に回転す
る渦電流Ｉが生じる。前記渦電流Ｉの磁界と電磁石７８
の磁界との間に作用する電磁力によって渦電流ブレーキ
（eddy current brake）が発生する。この結果、前記電
磁石７８の磁性体７２に対する吸引力と渦電流ブレーキ
による制動力との相乗作用下に粘性的負荷が働き、前記
スライドテーブル７６を変位させるボールねじの振動を
抑制し、良好なサーボ特性を得ることが可能となる。
ュエータボデイ７４に沿って変位する際、前記電磁石７
８の通電作用下に磁性体７２に対する吸引力が作用する
とともに、前記電磁石７８から発生する磁束が変化し、
アクチュエータボデイ７４の内壁面に矢印方向に回転す
る渦電流Ｉが生じる。前記渦電流Ｉの磁界と電磁石７８
の磁界との間に作用する電磁力によって渦電流ブレーキ
（eddy current brake）が発生する。この結果、前記電
磁石７８の磁性体７２に対する吸引力と渦電流ブレーキ
による制動力との相乗作用下に粘性的負荷が働き、前記
スライドテーブル７６を変位させるボールねじの振動を
抑制し、良好なサーボ特性を得ることが可能となる。
【００３１】なお、前記第２〜第４の実施の形態に係る
アクチュエータ３０、５０、７０においても、第１の実
施の形態に係るアクチュエータ１０と同様に、偏心荷重
の影響を受けることがなく、ガイド部４８ａ、４８ｂ、
６４ａ、６４ｂの耐久性の向上を図ることができること
は勿論である。
アクチュエータ３０、５０、７０においても、第１の実
施の形態に係るアクチュエータ１０と同様に、偏心荷重
の影響を受けることがなく、ガイド部４８ａ、４８ｂ、
６４ａ、６４ｂの耐久性の向上を図ることができること
は勿論である。
【００３２】加えて、前記摺動部材２０ａ、２０ｂ、４
２、４４、６６ａ〜６６ｃに代替して、公知の図示しな
いリニアガイドを用いてもよい。
２、４４、６６ａ〜６６ｃに代替して、公知の図示しな
いリニアガイドを用いてもよい。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、以下の効果が得られ
る。
る。
【００３４】すなわち、ワークの重量等に起因してスラ
イドテーブルに偏心荷重が加えられた場合、荷重付加手
段の作用下に前記スライドテーブルの変位方向と略直交
する方向に作用する力によって予めガイド手段に所定の
荷重が付与されている。この結果、前記ガイド手段は、
偏心荷重の影響を受けることがなく均一な荷重が付与さ
れ、該ガイド手段の劣化を防止して耐久性の向上を図る
ことができる。
イドテーブルに偏心荷重が加えられた場合、荷重付加手
段の作用下に前記スライドテーブルの変位方向と略直交
する方向に作用する力によって予めガイド手段に所定の
荷重が付与されている。この結果、前記ガイド手段は、
偏心荷重の影響を受けることがなく均一な荷重が付与さ
れ、該ガイド手段の劣化を防止して耐久性の向上を図る
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るアクチュエー
タを示す斜視図である。
タを示す斜視図である。
【図２】図１に示すアクチュエータのＩＩ−ＩＩ線に沿
った断面図である。
った断面図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係るアクチュエー
タの断面図である。
タの断面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態に係るアクチュエー
タの断面図である。
タの断面図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態に係るアクチュエー
タの断面図である。
タの断面図である。
１０、３０、５０、７０…アクチュエータ １２、３６、６２、７４…アクチュエータボデイ １４ａ、１４ｂ、４８ａ、４８ｂ、６４ａ、６４ｂ…ガ
イド部 １６、３２、５６、７６…スライドテーブル １８…ボールねじ ２２、５２…永久磁
石 ２４、５４、７２…磁性体 ２０ａ、２０ｂ、４２、４４、６６ａ〜６６ｃ…摺動部
材 ７８…電磁石
イド部 １６、３２、５６、７６…スライドテーブル １８…ボールねじ ２２、５２…永久磁
石 ２４、５４、７２…磁性体 ２０ａ、２０ｂ、４２、４４、６６ａ〜６６ｃ…摺動部
材 ７８…電磁石
Claims (4)
- 【請求項１】アクチュエータボデイと、 前記アクチュエータボデイの内部または外部に固設され
た駆動源と、 駆動力伝達手段を介して前記駆動源の駆動力が伝達さ
れ、前記アクチュエータボデイの長手方向に沿って変位
自在に設けられたスライドテーブルと、 前記スライドテーブルがアクチュエータボデイの長手方
向に沿って変位する際、該スライドテーブルを案内する
とともに該スライドテーブルに付与される荷重を保持す
るガイド手段と、 前記スライドテーブルと前記アクチュエータボデイとの
間に設けられ、前記スライドテーブルの変位方向と略直
交する方向に作用する力によって前記ガイド手段に対し
所定の荷重を付加する荷重付加手段と、 を備えることを特徴とするアクチュエータ。 - 【請求項２】請求項１記載のアクチュエータにおいて、
荷重付加手段は、スライドテーブルまたはアクチュエー
タボデイのいずれか一方に固定される永久磁石と、他方
に固定される磁性体とからなり、前記永久磁石と磁性体
との間には、所定のクリアランスが設けられることを特
徴とするアクチュエータ。 - 【請求項３】請求項２記載のアクチュエータにおいて、
荷重負荷手段は、スライドテーブルまたはアクチュエー
タボデイに対して略鉛直方向に作用する偏心荷重を吸収
する第１永久磁石および第１磁性体と、駆動力伝達手段
を中心として円周方向に作用する偏心荷重を吸収する第
２永久磁石および第２磁性体とを有することを特徴とす
るアクチュエータ。 - 【請求項４】請求項１記載のアクチュエータにおいて、
荷重負荷手段は、スライドテーブルまたはアクチュエー
タボデイのいずれか一方に固定される電磁石と、他方に
固定される磁性体とからなり、前記電磁石の磁性体に対
する吸引力と渦電流ブレーキによって作用する制動力と
の相乗作用下に、スライドテーブルまたはアクチュエー
タボデイに付与される偏心荷重を吸収することを特徴と
するアクチュエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23070897A JPH1162955A (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23070897A JPH1162955A (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | アクチュエータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1162955A true JPH1162955A (ja) | 1999-03-05 |
Family
ID=16912073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23070897A Pending JPH1162955A (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | アクチュエータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1162955A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE202004016094U1 (de) * | 2004-10-15 | 2006-02-23 | Igus Gmbh | Gleitlager und Linearführung |
| JP2011064461A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Kohzu Precision Co Ltd | 位置決めステージ |
| JP2012161874A (ja) * | 2011-02-07 | 2012-08-30 | Mitsubishi-Hitachi Metals Machinery Inc | サイドトリマー |
| KR200464570Y1 (ko) | 2007-11-30 | 2013-01-21 | 주식회사 케이씨텍 | 립 세정장치 이송유닛 |
| JP2014081036A (ja) * | 2012-10-17 | 2014-05-08 | Ntn Corp | 直動案内装置 |
| CN111156249A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-05-15 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种刚度可调的气浮导轨 |
-
1997
- 1997-08-27 JP JP23070897A patent/JPH1162955A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE202004016094U1 (de) * | 2004-10-15 | 2006-02-23 | Igus Gmbh | Gleitlager und Linearführung |
| KR200464570Y1 (ko) | 2007-11-30 | 2013-01-21 | 주식회사 케이씨텍 | 립 세정장치 이송유닛 |
| JP2011064461A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Kohzu Precision Co Ltd | 位置決めステージ |
| JP2012161874A (ja) * | 2011-02-07 | 2012-08-30 | Mitsubishi-Hitachi Metals Machinery Inc | サイドトリマー |
| JP2014081036A (ja) * | 2012-10-17 | 2014-05-08 | Ntn Corp | 直動案内装置 |
| US20150260220A1 (en) * | 2012-10-17 | 2015-09-17 | Ntn Corporation | Linear motion guide device |
| US10294989B2 (en) | 2012-10-17 | 2019-05-21 | Ntn Corporation | Linear motion guide device |
| US10294990B2 (en) | 2012-10-17 | 2019-05-21 | Ntn Corporation | Linear motion guide device |
| CN111156249A (zh) * | 2020-02-26 | 2020-05-15 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种刚度可调的气浮导轨 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7456526B2 (en) | Linear motor actuator | |
| US4777398A (en) | Piezoelectric motor | |
| JP2006064162A (ja) | 電動アクチュエータ | |
| JP2000088070A (ja) | 電動アクチュエータ | |
| JPH1162955A (ja) | アクチュエータ | |
| JP2008067463A (ja) | リニアモータ式テーブル装置 | |
| KR101665044B1 (ko) | 자기 부상 모듈 및 자기 부상 모듈을 포함하는 리니어 모터 | |
| US20060119189A1 (en) | Driving unit | |
| JP4488929B2 (ja) | リニアモータアクチュエータ | |
| JPH1174115A (ja) | リニア電磁ソレノイド | |
| US6628435B1 (en) | Contact-less ballistic scanning method | |
| JPH01303361A (ja) | 移動体の送り装置 | |
| JPWO2009145112A1 (ja) | リニアモータ | |
| JP2000102237A (ja) | リニアスライド | |
| JP2655335B2 (ja) | 直動案内リニアモータ駆動テーブル | |
| KR100480938B1 (ko) | 공작기계 회전축의 자기 댐핑장치 | |
| KR101117764B1 (ko) | 공기 베어링을 구비한 리니어 모터. | |
| KR102578858B1 (ko) | 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치 | |
| JPS61131841A (ja) | テ−ブル装置 | |
| JP3270126B2 (ja) | 磁気軸受装置 | |
| JPH045769Y2 (ja) | ||
| JP3268101B2 (ja) | 位置決め装置 | |
| JP2004076899A (ja) | エレベータ巻上機のブレーキ装置 | |
| JP2562343Y2 (ja) | チャッキング用アクチュエータ | |
| JPH01306140A (ja) | 案内構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040709 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070223 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070227 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20070703 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |