KR102578858B1 - 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치 - Google Patents

영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치는 가이드레일; 상기 가이드레일 상에 이동가능하게 설치되고, 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 스테이지; 상기 웨이퍼 스테이지에 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지의 이동 시에 전류가 인가되어 상기 웨이퍼 스테이지가 상방으로 이격되게 하는 영전자석; 및 상기 웨이퍼 스테이지에 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지가 상기 가이드레일 상에서 이동되게 동력을 제공하는 구동부를 포함할 수 있다.

Description

영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치{MAGNETIC LEVITATION WAFER TRANSFER APPARATUS USING ELECTRO PERMANENT MAGNET}
본 발명은 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 공정과 같이 클린룸에서 수행하는 운동은 마찰에 의한 먼지 발생이 최소화되도록 요구된다. 특히, 웨이퍼의 이송은 먼지 입자가 웨이퍼 상의 회로의 불량을 좌우하기 때문에, 이송 장치의 구동부는 먼지 발생을 최소화하기 위해 보호막으로 외부와 차단하고 있다. 그러나, 근본적인 해결책은 웨이퍼를 구동하는 부분을 비접촉화 하여 마찰을 원천봉쇄하는 것이다.
기존의 자기부상 방식에는 반발력과 흡인력을 이용하는 시스템이 있다. 영구자석형 반발력 시스템은 부상을 위한 에너지가 필요 없는 장점이 있으나, 이송거리가 긴 시스템에서는 안정성 유지가 어렵다. 또한, 흡인력 시스템은 전자석에 시스템의 무게를 상쇄하기 위한 에너지를 투입해야 하는 단점은 있으나, 빠른 응답성을 갖는 제어 시스템을 설계할 수 있는 장점이 있다.
이상에서 설명한 자기부상식 반발력과 흡인력을 이용하는 시스템은 각각 장단점을 가지고 있기 때문에 2개의 시스템의 장점을 극대화하고 단점을 보완할 수 있는 자기부상식 웨이퍼 이송 장치를 개발할 필요가 있다.
또한, 기존의 자기부상식 이송 장치는 선형모터의 원리를 이용하여 설계되고 있다. 그러나, 자기부상식 이송 장치의 경우 트랙의 중간에서는 위치제어가 필요하지 않기 때문에 기존의 선형모터 원리를 그대로 적용할 필요가 없고, 보다 간단한 모터원리를 적용하여 개발할 필요가 있다.
본 발명은 흡인력을 이용한 웨이퍼 이송 장치에 비하여 영전자석과 웨이퍼 스테이지의 무게 차이에 상당하는 힘만 발생시켜 에너지 소모를 최소화할 수 있는 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명은 선형 모터용 장치가 필요하지 않고 간단한 구조를 가진 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치는 가이드레일; 상기 가이드레일 상에 이동가능하게 설치되고, 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 스테이지; 상기 웨이퍼 스테이지에 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지의 이동 시에 전류가 인가되어 상기 웨이퍼 스테이지가 상방으로 이격되게 하는 영전자석; 및 상기 웨이퍼 스테이지에 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지가 상기 가이드레일 상에서 이동되게 동력을 제공하는 구동부를 포함할 수 있다.
상기 가이드레일은, 상기 웨이퍼 스테이지의 하면을 가이드하는 하부 가이드레일; 및 상기 하부 가이드레일의 상단에 연결되고, 상기 웨이퍼 스테이지의 상면을 가이드하는 상부 가이드레일을 포함하고, 상기 하부 가이드레일은 비자성체로 만들어지고, 상기 상부 가이드레일은 자성체로 만들어질 수 있다.
상기 웨이퍼 스테이지는, 몸체부; 상기 몸체부의 하부에서 양측으로 연장되게 구비되고, 상기 가이드레일의 하부면에 가이드되는 하부 플레이트; 및 상기 몸체부의 상부에서 양측으로 연장되게 구비되고, 상기 가이드레일의 상부면에 가이드되며, 상면에 상기 웨이퍼가 안착되는 상부 플레이트를 포함할 수 있다.
상기 영전자석은 상기 하부 플레이트의 상면에 복수개가 설치되어 상기 상부 가이드레일과 소정의 간격을 가질 수 있다.
상기 하부 플레이트에는 상기 상부 가이드레일을 향하여 광을 조사하고 반사된 광을 감지하여 상기 웨이퍼 스테이지의 자기부상 위치를 감지하는 자기부상 위치 감지수단이 구비될 수 있다.
상기 자기부상 위치 감지수단은, 상기 상부 가이드레일을 향하여 광을 조사하는 레이저 다이오드; 및 반사된 상기 광을 감지하여 상기 웨이퍼 스테이지의 자기부상 위치를 감지하는 변위센서를 포함할 수 있다.
상기 가이드레일의 이송방향 전단 및 후단에는 엔드 프레임이 구비되고, 상기 엔드 프레임에는 상기 웨이퍼 스테이지의 이송방향 위치를 감지하는 이송 위치 감지수단이 구비될 수 있다.
상기 이송 위치 감지수단은, 상기 웨이퍼 스테이지를 향하여 광을 조사하는 레이저 다이오드; 및 반사된 상기 광을 감지하여 상기 웨이퍼 스테이지의 이송 위치를 감지하는 변위센서를 포함할 수 있다.
상기 구동부는 보이스 코일 모터일 수 있다.
상기 보이스 코일 모터는 상기 웨이퍼 스테이지의 전면 및 후면에 각각 설치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상식 웨이퍼 이송 장치는 흡인력을 이용한 웨이퍼 이송 장치에 비하여 영전자석과 웨이퍼 스테이지의 무게 차이에 상당하는 힘만 발생시키므로, 에너지 소모를 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상식 웨이퍼 이송 장치는 트랙 구동을 위한 액추에이터나 영구자석과 같은 선형모터용 장치가 필요하지 않으며, 시작점과 종료점에 웨이퍼 스테이지의 정지를 위한 위치센서만 존재하기 때문에 전체적으로 장치 구성이 간단한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치의 웨이퍼 스테이지를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치의 가이드레일을 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치의 엔드 프레임을 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따라 웨이퍼 스테이지가 자기부상되는 것을 도시한 도면이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따라 구동부인 보이스 코일 모터의 구동을 도시한 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 명세서 전체에서, "연결된다"라고 할 때, 이는 둘 이상의 구성요소가 직접적으로 연결되는 것만을 의미하는 것이 아니고, 둘 이상의 구성요소가 다른 구성요소를 통하여 간접적으로 연결되는 것, 물리적으로 연결되는 것뿐만 아니라 전기적으로 연결되는 것, 또는 위치나 기능에 따라 상이한 명칭들로 지칭되었으나 일체인 것을 의미할 수 있다.
이하, 본 발명에 의한 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치의 일 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치의 웨이퍼 스테이지를 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치의 가이드레일을 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치의 엔드 프레임을 도시한 사시도이다.
이에 도시된 바에 따르면, 본 발명의 일 실시예에 따른 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치는 가이드레일(10); 상기 가이드레일(10) 상에 이동가능하게 설치되고, 웨이퍼(28)가 안착되는 웨이퍼 스테이지(20); 상기 웨이퍼 스테이지(20)에 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지(20)의 이동 시에 전류가 인가되어 상기 웨이퍼 스테이지(20)가 상방으로 이격되게 하는 영전자석(30); 및 상기 웨이퍼 스테이지(20)에 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지(20)가 상기 가이드레일(10) 상에서 이동되게 동력을 제공하는 구동부(40)를 포함할 수 있다.
가이드레일(10)은 웨이퍼 이송의 이동 경로를 제공하는 역할을 하는 것으로서, 일방으로 긴 레일 형상으로 만들어진다. 본 실시예에서 가이드레일(10)은, 상기 웨이퍼 스테이지(20)의 하면을 가이드하는 하부 가이드레일(12), 및 상기 하부 가이드레일(12)의 상단에 연결되고, 상기 웨이퍼 스테이지(20)의 상면을 가이드하는 상부 가이드레일(14)을 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 가이드레일(10)은 한 쌍이 나란하게 배치되어 웨이퍼 스테이지(20)의 양측을 지지하면서 이동이 가능하게 한다. 가이드레일(10)은 대략 'ㄷ'자 형상의 단면을 가지도록 만들어지고 그 사이에 웨이퍼 스테이지(20)가 전후방으로 이동가능하게 설치될 수 있다.
가이드레일(10)은 상술한 바와 같이 하부 가이드레일(12) 및 상부 가이드레일(14)을 포함하는데, 본 실시예에서 하부 가이드레일(12)은 대략 'ㄴ'자 형상으로 만들어져 하판 및 측판을 형성하게 되고, 상부 가이드레일(14)은 하부 가이드레일(12)의 상단에 연결되어 서로 마주보는 방향으로 연장된다.
이때, 하부 가이드레일(12)은 비자성체로 만들어지고 상부 가이드레일(14)은 자성체로 만들어질 수 있다. 이는 실질적으로 웨이퍼 스테이지(20)의 자기부상에 관여하는 상부 가이드레일(14)만 자성체로 만들고 그렇지 않은 하부 가이드레일(12)은 비자성체로 만들어 웨이퍼 스테이지(20)의 자기부상 시 영향을 끼치지 않도록 한 것이다.
다시 도 1 및 도 2를 참조하면, 웨이퍼 스테이지(20)는 몸체부(22), 상기 몸체부(22)의 하부에서 양측으로 연장되게 구비되고, 상기 가이드레일(10)의 하부면에 가이드되는 하부 플레이트(24), 및 상기 몸체부(22)의 상부에서 양측으로 연장되게 구비되고, 상기 가이드레일(10)의 상부면에 가이드되며, 상면에 상기 웨이퍼(28)가 안착되는 상부 플레이트(26)를 포함할 수 있다. 즉, 웨이퍼 스테이지(20)는 대략 '工' 형상으로 만들어질 수 있다.
이와 같은 형상을 가진 하부 플레이트(24) 및 상부 플레이트(26)를 가진 웨이퍼 스테이지(20)는 하부 가이드레일(12) 및 상부 가이드레일(14)에 안착된 상태로 전후방으로 이동될 수 있다. 한편, 상부 플레이트(26)의 상면에는 이송을 위한 웨이퍼(28)가 안착된다.
영전자석(30)은 하부 플레이트(24)의 상면에 복수개가 설치될 수 있다. 본 도면에서 영전자석(30)은 총 4개가 몸체부(22)를 중심으로 양측에 각각 2개씩 설치된다. 물론, 영전자석(30)의 개수 및 배치는 일 예를 제시한 것에 불과하고 영전자석(30)은 3개가 양측에 각각 배치되는 등 웨이퍼 스테이지(20)의 중량에 따라 다양하게 설치될 수 있다. 또한, 영전자석(30)은 상부 가이드레일(14)과 소정의 간격을 가지게 된다.
영전자석(30, Electro-Permanent Magnet)은 NdFeB 자석과 코일을 감은 AlNiCo 자석을 병렬로 배치한 후 요크로 연결하여 자로를 형성한 것이다. 영전자석(30)의 특징은 전류가 흐르지 않을 때에는 영구자석과 같이 거동하며, 전류가 인가될 때에는 자로가 변경되어 폐회로 자석과 같이 거동한다. 따라서, 영전자석(30)에 흐르는 전류의 양을 조절하면 영전자석(30)의 힘을 조절 가능하다.
본 실시예에서는 이와 같이 영전자석(30)을 이용하여 웨이퍼 스테이지(20)를 부상시킨 상태에서 이송시키기 때문에, 영전자석(30)의 힘과 웨이퍼 스테이지(20)의 무게와의 차이에 상당하는 힘만 발생시키면 되는 장점이 있다.
한편, 하부 플레이트(24)의 상면에는 자기부상 위치 감지수단이 구비되는데, 상기 자기부상 위치 감지수단은 상부 가이드레일(14)을 향하여 광을 조사하는 레이저 다이오드(40), 및 반사된 상기 광을 감지하여 웨이퍼 스테이지(20)의 자기부상 위치를 감지하는 변위센서(42)를 포함할 수 있다. 변위센서(42)는 커패시턴스 타입(Capacitance type), 와전류 타입(Eddy current type) 등 초정밀 측정에 필요한 센서를 사용할 수 있으나, 자기력에 의한 영향이 있을 수 있기 때문에 광센서를 이용하는 것이 바람직하다.
레이저 다이오드(40)에서 레이저가 출력되면 상부 가이드레일(14)의 하면에서 반사된 후 변위센서(42)로 투사되어 웨이퍼 스테이지(20)의 부상 위치를 파악할 수 있게 된다. 변위센서(42)는 예를 들어, PSD 센서(Position Sensing Detector)가 사용될 수 있다.
도 4를 참조하면, 가이드레일(10)의 전단 및 후단에는 엔드 프레임(16)이 구비된다. 엔드 프레임(16)은 전단 및 후단에 배치되기 때문에 그 사이에서 웨이퍼 스테이지(20)가 이동되도록 이동구간을 규정하는 역할을 한다. 엔드 프레임(16)의 일면에는 웨이퍼 스테이지(20)의 이송방향 위치를 감지하는 이송 위치 감지수단이 구비된다. 이송 위치 감지수단은 상기 자기부상 위치 감지수단과 마찬가지로 레이저 다이오드(17) 및 변위센서(18)로 구성될 수 있다. 물론, 여기에서 설명한 감지수단인 레이저 다이오드 및 변위센서는 일 예로 제시한 것에 불과하고 웨이퍼 스테이지(20)의 자기부상 위치 및 이송 위치를 감지할 수 있는 구성이라면 어떠한 것이라도 채용될 수 있다.
도 5를 참조하면, 웨이퍼를 이송하기 전에 웨이퍼 스테이지(20)는 가이드레일(10)의 일단에 위치하게 된다. 이때, 영전자석(30)에는 전류가 흐르지 않기 때문에 영구자석의 성질을 가지므로 자성체로 만들어진 상부 가이드레일(14)에 (a)와 같이 달라붙게 된다. 이때 힘의 관계는 (a)에 도시된 바와 같이 Fm>mg/4 이다. 여기에서 Fm은 전자기력이고, mg를 4로 나눈 것은 영전자석(30)이 4개 사용되었기 때문이다. 영전자석(30)은 인력에 의해 상부 가이드레일(14)에 붙기 때문에 웨이퍼 스테이지(20)는 부상한 상태를 유지하게 된다.
이 상태에서 영전자석(30)에 전류를 인가시키면 영구자석의 성질을 점점 잃어가게 되고, 전자기력이 감소하게 된다. 이때, Fm<mg/4 가 되면 영전자석(30)은 상부 가이드레일(14)에서 분리되나, 하강하여 하부 가이드레일(12)에 붙는 것은 아니고 (b)에서와 같이 하부 가이드레일(12)의 상면으로부터 상방으로 부상한 상태를 유지하게 된다. 이는 영전자석(30)에 인가되는 전류제어를 통해 하부 가이드레일(12)과 소정의 간극을 유지하도록 하는 것이다. 이와 같이 영전자석(30)의 힘을 가변하기 위해서는 인가되는 전류를 조절해야 하며, 전류를 아날로그 식으로 직접 조절하기 보다는 온/오프 스위칭에 의한 펄스폭변조(PWM) 신호로 변환하여 사용한다.
다시 도 2를 참조하면, 웨이퍼 스테이지(20)의 이송방향 전면 및 후면에는 각각 구동부 역할을 하는 보이스 코일 모터(50)가 설치된다. 보이스 코일 모터(50)는 보이스 코일 모터(50)는 동전형 진동장치이고, 스피커의 원리를 응용한 구동부로서 리니어 모터로서 광범위하게 사용되고 있다. 보이스 코일 모터(50)는 영구자석(52)과 코일(54)을 이용하여 진동을 함으로써, 영구자석(52)의 자계 중에 코일(54)이 위치하면 코일(54)에 전류가 흘러 플레밍의 왼손법칙에 의해 자계와 전류에 수직방향으로 힘이 발생하여 웨이퍼 스테이지(20)를 이동시키게 된다. 보이스 코일 모터(50)에는 영구자석(52)이 지지 및 운동을 안내하기 위한 탄성힌지(56)가 구비된다. 탄성힌지(56)는 영구자석(52)을 지지함과 동시에 영구자석(52)의 축방향으로만 선형 운동을 할 수 있게 한다.
도 6을 참조하면, 웨이퍼 스테이지(20)에서 설치된 보이스 코일 모터(50) 중 어느 하나의 코일(54)에 전류가 삼각파 형태로 인가하여 임팩트 드라이브(Impact drive) 방식의 구동을 하면 급상승한 전류에 의해 (a)와 같이 영구자석(52)이 빠르게 운동하게 되고, 운동량 보존 법칙에 의해 웨이퍼 스테이지(20)의 운동을 유도하게 된다. 다음으로 전류를 천천히 감소시키면 (b)와 같이 영구자석(52)의 운동도 원래의 위치로 천천히 되돌아가면 웨이퍼 스테이지(20)는 이동된 위치에 정지하게 된다. 웨이퍼 스테이지(20)의 이상에서 설명한 임팩트 드라이브 방식의 구동에 의해 원하는 위치로 이동될 수 있다.
상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10: 가이드레일 12: 하부 가이드레일
14: 상부 가이드레일 16: 엔드 프레임
17: 레이저 다이오드 18: 변위센서
20: 웨이퍼 스테이지 22: 몸체부
24: 하부 플레이트 26: 상부 플레이트
28: 웨이퍼 30: 영전자석
40: 레이저 다이오드 42: 변위센서
50: 보이스 코일 모터 52: 영구자석
54: 코일 56: 탄성힌지

Claims (10)

  1. 가이드레일;
    상기 가이드레일 상에 이동가능하게 설치되고, 웨이퍼가 안착되는 웨이퍼 스테이지;
    상기 웨이퍼 스테이지에 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지의 이동 시에 전류가 인가되어 상기 웨이퍼 스테이지가 상방으로 이격되게 하는 영전자석; 및
    상기 웨이퍼 스테이지에 설치되고, 상기 웨이퍼 스테이지가 상기 가이드레일 상에서 이동되게 동력을 제공하는 구동부를 포함하고,
    상기 가이드레일은,
    상기 웨이퍼 스테이지의 하면을 가이드하는 하부 가이드레일; 및
    상기 하부 가이드레일의 상단에 연결되고, 상기 웨이퍼 스테이지의 상면을 가이드하는 상부 가이드레일을 포함하고,
    상기 하부 가이드레일은 비자성체로 만들어지고, 상기 상부 가이드레일은 자성체로 만들어지는 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 웨이퍼 스테이지는,
    몸체부;
    상기 몸체부의 하부에서 양측으로 연장되게 구비되고, 상기 가이드레일의 하부면에 가이드되는 하부 플레이트; 및
    상기 몸체부의 상부에서 양측으로 연장되게 구비되고, 상기 가이드레일의 상부면에 가이드되며, 상면에 상기 웨이퍼가 안착되는 상부 플레이트를 포함하는 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 영전자석은 상기 하부 플레이트의 상면에 복수개가 설치되어 상기 상부 가이드레일과 소정의 간격을 가지는 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 하부 플레이트에는 상기 상부 가이드레일을 향하여 광을 조사하고 반사된 광을 감지하여 상기 웨이퍼 스테이지의 자기부상 위치를 감지하는 자기부상 위치 감지수단이 구비되는 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 자기부상 위치 감지수단은,
    상기 상부 가이드레일을 향하여 광을 조사하는 레이저 다이오드; 및
    반사된 상기 광을 감지하여 상기 웨이퍼 스테이지의 자기부상 위치를 감지하는 변위센서를 포함하는 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 가이드레일의 이송방향 전단 및 후단에는 엔드 프레임이 구비되고, 상기 엔드 프레임에는 상기 웨이퍼 스테이지의 이송방향 위치를 감지하는 이송 위치 감지수단이 구비되는 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 이송 위치 감지수단은,
    상기 웨이퍼 스테이지를 향하여 광을 조사하는 레이저 다이오드; 및
    반사된 상기 광을 감지하여 상기 웨이퍼 스테이지의 이송 위치를 감지하는 변위센서를 포함하는 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 구동부는 보이스 코일 모터인 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 보이스 코일 모터는 상기 웨이퍼 스테이지의 전면 및 후면에 각각 설치되는 영전자석을 이용한 자기부상식 웨이퍼 이송 장치.
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