KR20120059933A - 정지 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템 - Google Patents

정지 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR20120059933A
KR20120059933A KR1020100121443A KR20100121443A KR20120059933A KR 20120059933 A KR20120059933 A KR 20120059933A KR 1020100121443 A KR1020100121443 A KR 1020100121443A KR 20100121443 A KR20100121443 A KR 20100121443A KR 20120059933 A KR20120059933 A KR 20120059933A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
stopper
bogie
plate
magnetic levitation
electromagnet
Prior art date
Application number
KR1020100121443A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101197257B1 (ko
Inventor
한형석
이종민
김봉섭
김동성
김창현
Original Assignee
한국기계연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 한국기계연구원 filed Critical 한국기계연구원
Priority to KR1020100121443A priority Critical patent/KR101197257B1/ko
Publication of KR20120059933A publication Critical patent/KR20120059933A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101197257B1 publication Critical patent/KR101197257B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G54/02Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60VEHICLES IN GENERAL
    • B60LPROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L13/00Electric propulsion for monorail vehicles, suspension vehicles or rack railways; Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B60L13/04Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16HGEARING
    • F16H49/00Other gearings
    • F16H49/005Magnetic gearings with physical contact between gears
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67709Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템은 정지 성능을 향상시킬 수 있도록 이어져 설치된 궤도, 및 상기 궤도 상에 설치되어 상기 궤도에 대하여 부상 이동하며, 상기 궤도와 대향하는 차량측 부상용 전자석이 설치된 복수 개의 대차 프레임과 상기 대차 프레임 상에 설치된 대차 상판을 포함하는 대차를 포함하고, 상기 궤도는 설정된 위치에서 상기 대차를 끌어 당기는 스토퍼를 포함한다.

Description

정지 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템{MAGNETIC LEVITATION CONVEYANCE SYSTEM HAVING ENHANCED STOP PERFORMANCE}
본 발명은 자기부상 이송 시스템에 관한 것으로서 보다 상세하게는 정지 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼, PDP 패널, 또는 LCD 패널의 운반에 사용되던 종래의 자동화용 운반시스템은 벨트 컨베이어나 롤러 컨베이어, 진동 컨베이어 등 주로 컨베이어 시스템을 활용하였다. 이러한 시스템은 전기 모터에 의해 회전력을 얻고 중간에 감속 시스템을 적용하여 회전 운동을 직선운동으로 변환하여 원자재 및 제품을 이송한다.
그러나 이러한 기존 시스템은 구성 기기들의 메커니즘 상 속도 증가 및 조절에 한계가 있고 기계장치들의 적용에 따라 구성품이 바뀌는 부분마다 마찰이 발생하므로 소음과 진동, 분진 발생이 필연적일 수 밖에 없다. 이러한 소음과 진동, 분진의 감소와 마모에 의한 고장을 예방하기 위해서는 수시로 해당 구성품의 점검과 부품교체, 수리 등을 주기적으로 수행해야만 하며, 유지 보수비의 증가로 이어질 수 밖에 없다. 특히 제품을 적재한 상태에서 분기를 수행하면 제품이 회전하거나 교차되며 마찰에 의해 제품에 흠집 등이 발생할 수 있다.
자기부상 추진은 전기 자기력을 이용하여, 궤도로부터 일정한 높이로 부상하여 추진하는 것을 말한다. 자기부상 반송장치는 궤도와 궤도 상에서 비접촉으로 부상 및 추진하는 대차를 포함한다.
자기부상 시스템은 대차와 궤도 사이에서 전자석에 의한 인력 또는 반발력을 응용하여, 대차를 궤도로부터 이격시킨 상태로 추진한다. 이와 같이 자기 부상 시스템은 궤도와 비접촉 상태로 추진하므로 소음 및 진동이 적고 고속 추진이 가능하다.
자기 부상 방법에는 자석의 인력을 이용하는 흡인식과, 자석의 반발력을 이용하는 반발식이 있다. 또한, 자기 부상의 부상 방법에는 전자석의 원리에 따라, 초전도 방식과 상전도 방식이 있다. 초전도 방식은 전기 저항이 없고 강한 자력을 얻을 수 있으므로 고속 열차에 적용하고, 상전도 방식은 중속도의 중단거리용 열차에 적용하고 있다.
자기부상 이송 시스템을 구성하는 주요 힘 성분은 부상력, 안내력 그리고 추진력이며, 자기부상용 전자석이 부상력과 안내력을 담당하고, 선형전동기가 추진력을 부담한다.
자동화 설비가 갖추어진 공장 내부의 반송 장치로서 자기부상 이송 시스템을 적용할 경우, 적재기, 로봇 등에 의하여 제품을 싣거나 내리고 운반하기 위해서는 정확한 위치에 대차를 정지시키는 것은 매우 중요하다. 그러나 자기부상 이송 시스템에서 대차는 마찰력 없이 진행하므로 대차를 일정 위치에 정지시키는 것은 매우 어려우며 화물의 적재, 조작을 위해 외력이 가해지는 경우에는 이를 보상해주는 힘이 필요하다. 또한 작업자 또는 프로그램에 의하여 대차가 정지할 때에는 오차가 발생할 수 밖에 없다. 따라서, 부상 상태에서 정지하는 경우에는 설정된 위치에 정확하게 정지시키는 것은 매우 어려우며 이를 위해서는 정밀한 센서와 미세한 컨트롤이 필요하여 고가의 장비가 설치되어야 하는 문제가 있다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 대차를 정확한 위치에 정지시킬 수 있는 자기부상 이송 시스템을 제공함에 있다.
본 발명의 일 측면에 따른 자기부상 이송 시스템은 이어져 설치된 궤도, 및 상기 궤도 상에 설치되어 상기 궤도에 대하여 부상 이동하며, 상기 궤도와 대향하는 차량측 부상용 전자석이 설치된 복수 개의 대차 프레임과 상기 대차 프레임 상에 설치된 대차 상판을 포함하는 대차를 포함하고, 상기 궤도는 설정된 위치에서 상기 대차를 끌어 당기는 스토퍼를 포함한다.
상기 스토퍼는 상기 대차와의 사이에서 폐루프 자기력선을 형성할 수 있으며, 상기 스토퍼는 상기 부상용 강자성체판과 대향하도록 설치될 수 있다. 또한, 상기 궤도에는 상기 차량측 부상용 전자석과 대향하는 부상용 강자성체판이 고정 설치되고, 상기 부상용 강자성체판에는 상기 차량측 부상용 전자석을 향하여 돌출된 돌기가 형성되며, 상기 스토퍼는 상기 돌기의 단부에 설치될 수 있다.
상기 스토퍼는 불연속적으로 설치될 수 있으며, 상기 궤도는 기둥 위에 설치된 지지판을 포함하고, 상기 지지판의 측단에 상기 스토퍼가 설치될 수 있다.
상기 대차에는 상기 스토퍼와 대향 설치되어 상기 스토퍼를 끌어 당기는 정지용 전자석이 설치될 수 있으며, 상기 스토퍼는 정지용 전자석으로 이루어지고, 상기 대차에는 상기 스토퍼와 대향 설치되어 상기 스토퍼를 끌어 당기는 정지용 강자성체판이 설치될 수 있다.
상기 궤도는 상기 대차 상판의 측단과 대향하는 가이드 벽을 더 포함하고, 상기 가이드 벽에 상기 스토퍼가 설치될 수 있으며, 상기 대차 상판의 측단에는 정지용 강자성체판이 설치되고, 상기 스토퍼는 상기 정지용 강자성체판을 끌어당기는 정지용 전자석으로 이루어질 수 있다.
상기 대차 상판의 측단에는 정지용 전자석이 설치되고, 상기 스토퍼는 상기 정지용 전자석을 끌어당기는 정지용 강자성체판으로 이루어질 수 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템에 의하면 대차가 설정된 위치에 정확하게 정지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템의 평면도이다.
도 2는 도 1에서 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 잘라 본 단면도이다.
도 3은 도 2에서 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 잘라 본 단면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템의 평면도이다.
도 5는 도 4에서 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 잘라 본 단면도이다.
도 6은 도 5에서 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 잘라 본 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예의 변형예에 따른 자기부상 이송 시스템의 단면도이다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템의 평면도이다.
도 9는 도 8에서 Ⅸ-Ⅸ선을 따라 잘라 본 단면도이다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예의 변형예에 따른 자기부상 이송 시스템의 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기부상 반송 시스템의 평면도이고, 도 2는 도 1에서 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 잘라 본 단면도이며, 도 3은 도 2에서 Ⅲ-Ⅲ선을 따라 잘라 본 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하여 설명하면, 본 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템(100)은 대차(130)와 대차(130)가 이동하는 궤도(120)를 포함한다.
본 실시예에 따른 대차(130)는 궤도(120) 상에 놓이거나 궤도(120)로부터 부상하여 추진한다. 궤도(120)는 일방향으로 길게 이어져 형성되며, 상부에 형성된 거더(122)와 거더(122)의 아래에 배치되어 지면으로부터 거더(122)을 지지하는 기둥(121)을 포함한다. 거더(122) 상에는 지지판(123)이 설치되며 지지판(123)의 양쪽 측단에는 부상용 강자성체판(127)이 고정 설치된다. 부상용 강자성체판(127)의 양쪽 가장자리에는 아래로 돌출된 돌기(127a)가 형성되며, 돌기(127a)는 아래에서 상술하는 차량측 부상 전자석(114)의 코어(114a)에 형성된 돌기와 마주하도록 배치된다.
또한 거더(122)의 상면에는 추진용 강자성체판(171)이 설치되는 바, 추진용 강자성체판(171) 상에는 도체판(172)이 추진용 강자성체판(171)을 덮도록 설치된다. 이 때, 도체판(172)은 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어진다. 본 실시예와 같이 추진용 강자성체판(171)을 알루미늄 또는 알루미늄 합금으로 이루어진 도체판(172)이 감싸고 있으면, 도체판(172)에 더욱 큰 와전류를 형성할 수 있으며, 이에 따라 더 큰 추진력이 발생하게 된다. 도 3에 도시된 바와 같이 추진용 강자성체판(171)과 도체판(172)은 차량측 추진 전자석(160)과 대향 배치된다.
대차(130)는 대차 상판(150)과 대차 상판(150)의 아래에 배치된 대차 프레임(110)을 포함하며, 복수 개의 대차 프레임(110)이 대차 상판(150)을 지지하도록 설치된다. 4개의 대차 프레임(110)이 대차 상판(150)의 아래에서 대차 상판(150)을 지지하는 바, 대차 프레임(110)은 대차 바디(112)와 대차 바디(112)에 고정된 부상용 브라켓(113)을 포함한다.
부상용 브라켓(113)은 대차 프레임(110)의 하부에서 기둥(121)을 향하여 돌출 설치되며, 부상용 브라켓(113)에는 차량측 부상 전자석(114)이 부상용 강자성체판(127)과 대향하도록 설치된다.
차량측 부상 전자석(114)은 코어(114a)와 코어(114a)의 외주를 감싸도록 설치된 코일(114b)을 포함한다. 코어(114a)는 홈을 사이에 두고 두 개의 돌기들이 이격 형성된 구조로 이루어지며 이 돌기들에 코일이 감겨진다. 차량측 부상 전자석(114)은 부상용 강자성체판(127)와 마주하여 배치되며, 차량측 부상 전자석(114)이 부상용 강자성체판(127)를 끌어당겨서 부상력이 발생한다.
부상용 강자성체판(127)의 하부에는 불연속적으로 배치된 스토퍼(180)가 설치되는 바, 스토퍼(180)는 궤도(120)에서 대차(130)가 정지할 위치에 설치된다. 즉, 스토퍼(180)는 궤도에 설치된 다른 구조물들과는 달리 정지 위치에만 설치되며 연속적으로 이어져 배치되지 않는다.
스토퍼(180)는 부상용 강자성체판(127)의 하면에 고정되는 바, 특히 돌기(127a)의 하면에 고정되며 차량측 부상 전자석(114)을 대향하도록 배치된다.
스토퍼(180)는 차량측 부상 전자석(114)과 폐루프 자기력선을 형성할 수 있는 물질로 이루어지는 바, 여기서 스토퍼(180)는 철, 니켈, 코발트 등으로 이루어진 정지용 강자성체판이 된다. 스토퍼(180)는 일방향으로 이어진 직사각형 판 형상으로 이루어진다.
이러한 스토퍼(180)는 대차(130)와 직접 접촉하지 않고 정지 시에 대차(130)에서 이격되도록 배치된다. 스토퍼(180)는 안내력을 발생시켜서 대차(130)가 정지할 때, 정지 위치로 대차(130)를 끌어당겨서 대차(130)가 설정된 위치에 안정적으로 정지할 수 있도록 한다. 즉, 대차(130)가 정지 위치보다 더 진행하거나 덜 진행한 경우에 스토퍼(180)와 차량측 부상 전자석(114)의 인력으로 대차(130)가 정지위치로 이동할 수 있다. 공극센서나 가속도 센서는 스토퍼(180)의 부착과 상관없이 작동하며 일반적으로 이용되는 공극 제어 방법을 사용하면 부상 특성을 변화시키지 않고 스토퍼(180)를 이용할 수 있다.
본 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템(100)이 반도체 공장 등의 물류 운송에 사용될 경우, 로봇 등의 장치로 제품을 운반하기 위해서는 대차(130)가 정확한 위치에 정지하는 것은 매우 중요하다. 그러나 작업자 또는 프로그램에 의하여 대차를 정지시키더라도 정확한 위치에 대차를 정지시키는 것은 매우 어려운 실정이다. 본 실시예와 같이 정지 위치에 흡인력을 형성하는 스토퍼(180)를 설치하면 작업자 또는 프로그램에 의하여 대차(130)가 정지위치를 벗어나더라도 폐루프 자기력선이 대차를 끌어 당겨서 미세한 오차까지 보정할 수 있다. 반도체 웨이퍼, LCD 패널 등의 전자 부품의 운반에 사용되는 자기부상 이송 시스템의 경우에는 적재된 화물에 가해지는 충격을 최소화해야 운반 중에 화물이 파손되는 것을 방지할 수 있는 바, 본 실시예에 따르면 비접촉 방식으로 대차(130)를 정지시키므로 대차에 가해지는 충격을 최소화할 수 있다.
특히 대차(130)가 부상한 상태에서 정지하는 경우에는 마찰력이 작용하지 아니하므로 정확한 위치에 정지하는 것은 더욱 어려운 바, 본 실시예에 따른 스토퍼(180)를 적용하면 정확한 위치에 대차(130)를 정지시킬 수 있다.
대차 바디(112)의 상단에는 내측으로 돌출된 돌기(112a)가 형성되어 있는 바, 돌기의 하면에 차량측 추진 전자석(160)이 고정 설치된다.
차량측 추진 전자석(160)에는 복수 개의 돌기(161a)가 궤도(120)의 길이 방향으로 이격 형성되고 이 돌기(161a) 사이의 홈에는 코일(165)이 삽입 설치된다. 코일(165)은 3개가 설치되며 3개의 코일들(165)이 서로 번갈아 홈에 삽입되어, 사행 형상을 이룬다. 차량측 추진 전자석(160)는 도체판(172)과 마주하도록 설치되므로 차량측 추진 전자석(160)가 이동할 때, 시간적 공간적으로 이동하는 자속이 발생하여 도체판(172)에 와전류가 발생한다. 이 와전류와 공극 자속이 로렌츠의 힘 방정식으로 표현되는 상호 작용에 의하여 추진력이 발생한다. 본 실시예와 같이 선형 유도 전동기를 적용하면 궤도의 상면에 궤도 상에 평판 형태의 도체판을 설치할 수 있으며 이에 따라 궤도의 설계가 자유로워 진다. 또한 교류기와 같은 제어가 가능하며 대출력 대기동력 발생이 용이하고 유지보수가 간편하다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템의 평면도이고, 도 5는 도 4에서 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 잘라 본 단면도이며, 도 6은 도 5에서 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 잘라 본 단면도이다.
도 4 내지 도 6을 참조하여 설명하면, 본 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템(200)은 지지판(123)의 측단에 설치된 스토퍼(230)와 대차에서 스토퍼(230)와 대향 설치되어 스토퍼(230)를 끌어 당기는 정지용 전자석(210)을 포함한다. 본 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템(200)은 스토퍼(230)와 정지용 전자석(210)의 구성을 제외하고는 상기한 제1 실시예에 다른 자기부상 이송 시스템과 동일한 구조로 이루어지므로 동일한 구조에 대한 중복 설명은 생략한다.
스토퍼(230)는 기둥(121) 위에 설치된 지지판(123)의 측단면에 고정 설치되는 바, 지지판(123)과 기둥(121) 사이에는 거더(122)가 위치한다. 도 6에 도시된 바와 같이 스토퍼(230)는 궤도(120)에서 설정된 정지 위치에 불연속적으로 설치되며, 정지용 전자석(210)을 끌어당길 수 있도록 정지용 강자성체판으로 이루어진다.
정지용 전자석(210)은 대차(130)에 고정 설치되는 바, 정지용 전자석(210)은 대차 상판(150)에 고정된 지지부재(240)에 고정되어 있다. 지지부재(240)는 대차 프레임(110) 사이에 위치하며, 하단이 절곡되어 정지용 전자석(210)을 지지한다.
스토퍼(230)와 정지용 전자석(210) 사이에는 폐루프 자기력선이 형성되며 이에 따라 스토퍼(230)와 정지용 전자석(210)이 상호 끌어 당겨서 대차를 설정된 위치에 정지시킬 수 있다.
본 실시예와 같이 별도의 정지용 전자석(210)을 설치하면 측방향으로 대차(130)가 움직이는 것을 더욱 정밀하게 제어할 수 있다. 또한 정지 시에만 정지용 전자석(210)이 작동하고 대차(130)가 이동할 때에는 자력을 소멸시켜서 대차(130)가 용이하게 출발 할 수 있다.
한편, 대차 프레임(110) 사이에 정지용 전자석(210)을 설치하면 차량측 부상 전자석(114)과 차량측 추진 전자석(160)의 자기력에 의한 영향을 적게 받으므로 대차(130)를 안정적으로 정지시킬 수 있다.
도 7은 본 발명의 제2 실시예의 변형예에 따른 자기부상 이송 시스템의 단면도이다.
도 7을 참조하여 설명하면, 본 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템(200')은 지지판(123)의 측단에 설치된 스토퍼(260)와 대차(130)에서 스토퍼(260)와 대향 설치되어 스토퍼(260)를 끌어 당기는 정지용 강자성체판(250)을 포함한다. 본 실시예에 따른 스토퍼(260)는 정지용 전자석으로 이루어지며, 정지용 강자성체판(250)은 대차 상판(150)에 고정된 지지부재(270)에 설치된다.
본 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템(200')은 스토퍼(260)와 정지용 강자성체판(250)의 구성을 제외하고는 상기한 제2 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템과 동일한 구조로 이루어지므로 동일한 구조에 대한 중복 설명은 생략한다.
도 8은 본 발명의 제3 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템의 평면도이고, 도 9는 도 8에서 Ⅸ-Ⅸ선을 따라 잘라 본 단면도이다.
도 8 및 도 9를 참조하여 설명하면, 본 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템(300)은 궤도(120)와 궤도(120)에서 부상하여 이동하는 대차(130)를 포함한다.
궤도(120)는 대차 상판(150)의 측단과 대향하도록 설치된 가이드 벽(330)을 더 포함하는 바, 가이드 벽(330)에 대차를 끌어 당기는 스토퍼(320)가 설치된다.
본 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템(300)은 가이드 벽(330)과 스토퍼(320), 및 정지용 전자석(310)의 구성을 제외하고는 상기한 제1 실시예에 다른 자기부상 이송 시스템과 동일한 구조로 이루어지므로 동일한 구조에 대한 중복 설명은 생략한다.
가이드 벽(330)은 대차 상판(150)의 양쪽 측단과 대향하도록 설치되며, 정지 위치에만 설치된다. 스토퍼(320)는 대차 상판(150)의 측면과 대향하도록 배치되며, 흡인력을 발생시키는 정지용 전자석으로 이루어진다. 대차 상판에는 스토퍼(320)를 끌어 당길 수 있도록 정지용 강자성체판(310)이 설치된다. 본 실시예와 같이 정지 위치에 가이드 벽(330)을 설치하고 가이드 벽(330)에 스토퍼(320)가 설치되면 대차(130)를 정확한 위치에 정지시킬 수 있다.
도 10은 본 발명의 제3 실시예의 변형예에 따른 자기부상 이송 시스템의 단면도이다.
도 10을 참조하여 설명하면 본 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템(300')은 궤도(120)는 대차 상판(150)의 측면과 대향하도록 설치된 가이드 벽(370)을 더 포함하는 바, 가이드 벽(370)에 대차(130)를 끌어 당기는 스토퍼(360)가 설치된다.
본 실시예에 따른 자기부상 이송시스템(300')은 스토퍼(360)와 정지용 전자석(350)의 구성을 제외하고는 상기한 제3 실시예에 따른 자기부상 이송 시스템과 동일한 구조로 이루어지므로 동일한 구조에 대한 중복 설명은 생략한다.
스토퍼(360)는 정지용 강자성체판으로 이루어지며, 대차 상판(150)의 측면과 대향하도록 배치된다. 대차 상판(150)의 측단에는 스토퍼(320)를 끌어당기는 정지용 전자석(350)이 설치된다. 이에 따라 정지용 전자석(350)과 스토퍼(320) 사이에 폐루프 자기력선이 형성되어 스토퍼(320)와 정지용 전자석(350)이 상호 끌어당기므로 대차(130)를 설정된 위치에 정지시킬 수 있다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
100, 200, 200' 300, 300' 자기부상 이송 시스템
110: 대차 프레임 112: 대차 바디
112a, 127a, 161a: 돌기 113: 부상용 브라켓
114: 차량측 부상 전자석 114a: 코어
114b, 165: 코일 120: 궤도
121: 기둥 122: 거더
123: 지지판 127: 부상용 강자성체판
130: 대차 150: 대차 상판
160: 차량측 추진 전자석 171: 추진용 강자성체판
172: 도체판
180, 230, 260, 320, 360: 스토퍼
210, 310, 350: 정지용 전자석 240, 270: 지지부재
250, 310: 정지용 강자성체판 330, 370: 가이드 벽

Claims (12)

  1. 이어져 설치된 궤도; 및
    상기 궤도 상에 설치되어 상기 궤도에 대하여 부상 이동하며, 상기 궤도와 대향하는 차량측 부상용 전자석이 설치된 복수 개의 대차 프레임과 상기 대차 프레임 상에 설치된 대차 상판을 포함하는 대차;
    를 포함하고,
    상기 궤도는 설정된 위치에서 상기 대차를 끌어 당기는 스토퍼를 포함하는 자기부상 이송 시스템.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 대차와의 사이에서 폐루프 자기력선을 형성하는 자기부상 이송 시스템.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 상기 부상용 강자성체판과 대향하도록 설치된 자기부상 이송 시스템.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 대차의 정지 시에 상기 대차에서 이격되도록 배치된 자기부상 이송 시스템.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 궤도에는 상기 차량측 부상용 전자석과 대향하는 부상용 강자성체판이 고정 설치되고, 상기 부상용 강자성체판에는 상기 차량측 부상용 전자석을 향하여 돌출된 돌기가 형성되며, 상기 스토퍼는 상기 돌기의 하면에 설치된 자기부상 이송 시스템.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 불연속적으로 설치된 자기부상 이송 시스템.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 궤도는 기둥 위에 설치된 지지판을 포함하고, 상기 지지판의 측단에 상기 스토퍼가 설치된 자기부상 이송 시스템.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 정지용 강자성체판으로 이루어지고, 상기 대차에는 상기 스토퍼와 대향 설치되어 상기 스토퍼를 끌어 당기는 정지용 전자석이 설치된 자기부상 이송 시스템.
  9. 제7 항에 있어서,
    상기 스토퍼는 정지용 전자석으로 이루어지고, 상기 대차에는 상기 스토퍼와 대향 설치되어 상기 스토퍼를 끌어 당기는 정지용 강자성체판이 설치된 자기부상 이송 시스템.
  10. 제1 항에 있어서,
    상기 궤도는 상기 대차 상판의 측단과 대향하는 가이드 벽을 더 포함하고, 상기 가이드 벽에 상기 스토퍼가 설치된 자기부상 이송 시스템.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 대차 상판의 측단에는 정지용 강자성체판이 설치되고, 상기 스토퍼는 상기 정지용 강자성체판을 끌어당기는 정지용 전자석으로 이루어진 자기부상 이송 시스템.
  12. 제10 항에 있어서,
    상기 대차 상판의 측단에는 정지용 전자석이 설치되고, 상기 스토퍼는 상기 정지용 전자석을 끌어당기는 정지용 강자성체판으로 이루어진 자기부상 이송 시스템.
KR1020100121443A 2010-12-01 2010-12-01 정지 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템 KR101197257B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100121443A KR101197257B1 (ko) 2010-12-01 2010-12-01 정지 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100121443A KR101197257B1 (ko) 2010-12-01 2010-12-01 정지 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120059933A true KR20120059933A (ko) 2012-06-11
KR101197257B1 KR101197257B1 (ko) 2012-11-05

Family

ID=46610982

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100121443A KR101197257B1 (ko) 2010-12-01 2010-12-01 정지 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101197257B1 (ko)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111170013A (zh) * 2020-03-04 2020-05-19 上海睿范自动化设备有限公司 一种气悬浮运输装置
WO2020192911A1 (en) * 2019-03-27 2020-10-01 Applied Materials, Inc. Magnetic levitation system and method of measuring a distance between at least one electromagnetic actuator and a ferromagnetic element
CN114600228A (zh) * 2019-11-27 2022-06-07 应用材料公司 磁悬浮系统、处理系统和运输载体的方法
US20220208426A1 (en) * 2019-04-29 2022-06-30 Applied Materials, Inc. Magnetic levitation system, base and carrier of a magnetic levitation system, and method of levitating a carrier
CN115110352A (zh) * 2022-07-01 2022-09-27 中铁二院工程集团有限责任公司 一种常导高速磁浮轨道系统及其安装方法
KR20220156163A (ko) * 2021-05-18 2022-11-25 주식회사 에이치씨씨 추락 방지 기능이 구비된 자기 추진 및 부상 일체형 주행장치
KR20240114259A (ko) 2023-01-16 2024-07-23 가부시키가이샤 신가와 본딩 장치, 본딩 방법 및 컴퓨터로 읽을 수 있는 매체

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101544383B1 (ko) * 2012-12-31 2015-08-13 한국기계연구원 안내 전자석 변환 스위치부를 갖는 자기부상 시스템 및 이의 정지 방법
KR101544382B1 (ko) * 2012-12-31 2015-08-13 한국기계연구원 전류각 제어를 위한 인버터를 갖는 자기부상 시스템
KR101623475B1 (ko) * 2012-12-31 2016-06-07 한국기계연구원 높이방향으로 경사지게 배치된 추진용 영구자석을 갖는 자기부상 시스템

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020192911A1 (en) * 2019-03-27 2020-10-01 Applied Materials, Inc. Magnetic levitation system and method of measuring a distance between at least one electromagnetic actuator and a ferromagnetic element
US20220208426A1 (en) * 2019-04-29 2022-06-30 Applied Materials, Inc. Magnetic levitation system, base and carrier of a magnetic levitation system, and method of levitating a carrier
CN114600228A (zh) * 2019-11-27 2022-06-07 应用材料公司 磁悬浮系统、处理系统和运输载体的方法
CN111170013A (zh) * 2020-03-04 2020-05-19 上海睿范自动化设备有限公司 一种气悬浮运输装置
KR20220156163A (ko) * 2021-05-18 2022-11-25 주식회사 에이치씨씨 추락 방지 기능이 구비된 자기 추진 및 부상 일체형 주행장치
CN115110352A (zh) * 2022-07-01 2022-09-27 中铁二院工程集团有限责任公司 一种常导高速磁浮轨道系统及其安装方法
KR20240114259A (ko) 2023-01-16 2024-07-23 가부시키가이샤 신가와 본딩 장치, 본딩 방법 및 컴퓨터로 읽을 수 있는 매체

Also Published As

Publication number Publication date
KR101197257B1 (ko) 2012-11-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101197257B1 (ko) 정지 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템
KR101049222B1 (ko) 수직형 리니어모터를 이용한 자기부상 반송장치
KR101049221B1 (ko) 리니어 인덕션 모터를 이용한 자기부상 반송장치
KR101335643B1 (ko) 무동력 트레이를 갖는 자기부상 반송장치
KR101101917B1 (ko) 자기부상 반송 장치
KR101544383B1 (ko) 안내 전자석 변환 스위치부를 갖는 자기부상 시스템 및 이의 정지 방법
KR100699271B1 (ko) 이송장치
KR20150068092A (ko) 안내 기능을 갖는 추진 전자석을 포함하는 자기부상 시스템
EP3471996B1 (en) Magnetic suspension for a vehicle
KR101048056B1 (ko) 자기부상 및 자기베어링을 이용한 직선이송장치
KR101208660B1 (ko) 곡선 주행 성능이 향상된 자기부상 이송 시스템
KR101182354B1 (ko) 스프링을 갖는 자기부상 이송 시스템
KR20150068095A (ko) 공극 미세조정 전자석을 갖는 자기부상 시스템
KR100873660B1 (ko) 측면 lsrm을 구비한 자기부상열차 시스템
KR101534210B1 (ko) 방향 전환 기능을 갖는 자기부상 반송 장치
KR102232179B1 (ko) 자기 부상이송 장치
KR101203163B1 (ko) 가이드 구조를 갖는 자기부상 이송 시스템
KR102213655B1 (ko) 자기 부상이송 장치
KR100832587B1 (ko) Lsrm을 이용한 자기부상열차
KR101471092B1 (ko) 분할 인버터를 갖는 자기부상 시스템
KR101544382B1 (ko) 전류각 제어를 위한 인버터를 갖는 자기부상 시스템
KR101197258B1 (ko) 자기부상 스토커
KR101474975B1 (ko) 교차 연결된 코일을 갖는 자기부상 시스템
KR20150068133A (ko) 분사노즐을 갖는 자기부상열차
KR101721205B1 (ko) 보조 갭 센서를 갖는 자기부상 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150909

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160907

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170907

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190909

Year of fee payment: 8