JPH1162941A - ガス供給ユニットのボルト脱落防止構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ボルト穴に挿入されたボルトの脱落を防止す
ることにより、ガス供給ユニットの組立やメンテナンス
等の作業効率を向上させるガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造を提供すること。 【解決手段】 複数のモジュールブロック１０をボルト
１２で固定するために、各モジュールブロック１０にボ
ルト穴１１が設けられているが、かかるボルト穴１１に
は、その内面にＯリング１４が埋め込まれている。この
ように、ボルト穴１１の内面にＯリング１４を埋め込め
ば、ボルト穴１１に挿入されたボルト１２にＯリング１
４が接触するので、ボルト１２がボルト穴１１に狭着す
る。従って、ボルト穴１１に挿入されたボルト１２の脱
落を防止することができるので、ガス供給ユニットの組
立やメンテナンス等の作業効率を向上させることができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
で使用されるガス供給ユニットに関し、特に、モジュー
ルブロック固定用のボルトに対するボルト脱落防止構造
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体等の製造工程においては数
種類の腐食性ガスが使用されており、このような数種類
の腐食性ガスを供給するガス供給ラインの一部を構成す
るものとして、本出願人は、特願平８−１８０３８３号
に記載されたガス供給ユニットを開発した。ここで、か
かるガス供給ユニットの一例を図１４に示して、簡単に
説明する。尚、詳細な説明については、特願平８−１８
０３８３号に記載されているので省略する。

【０００３】図１４のガス供給ユニットは、ガス機器用
のモジュールブロックである手動弁１０１、レギュレー
タ１０２、入口開閉弁１０４、パージ弁１０７、フィル
タ１０８、マスフローコントローラ１０５、出口開閉弁
１０６と、ガス補助機器である圧力計１０３とが、ガス
流路用のモジュールブロックである配管ブロック１１
１、１１２、１１３、１１６、１１７、１１８、１１９
に接続され、さらに、配管ブロック１０９、１１１、１
１２、１１３、１１６、１１７、１１８、１１９が互い
に接続されることによって、数種類の腐食性ガスを供給
するガス供給ラインの一部を構成している。

【０００４】こうしたガス供給ユニットにおいては、ガ
ス機器用のモジュールブロックである手動弁１０１、レ
ギュレータ１０２等や、ガス流路用のモジュールブロッ
クである配管ブロック１１１、１１２等の接続にはボル
ト１００を使用しているので、ガス供給ユニットのメン
テナンス等を簡便に行うことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ガス供給ユニットにおいては、例えば、フィルタ１０
８、配管ブロック１１２、１１７、１１８等のモジュー
ルブロックのように、組立終了時に垂直位置にあるモジ
ュールブロック面のボルト穴に対して、ボルト１００を
挿入する箇所が多く存在するので、ガス供給ユニットの
組立やメンテナンス等の際において、かかるボルト穴に
挿入されているボルト１００が床に脱落しやすく、作業
効率の低下を招いていた。特に、ガス供給ユニットを半
導体の製造工程で使用する場合には、ガス供給ユニット
はクリーンルームに設置されており、グレーティング構
造のクリーンルームの床に脱落したボルト１００を拾う
ことは容易ではない。

【０００６】このような問題点に対しては、例えば、実
開平２−３１９１３号公報に記載された考案のような、
蓋などを固定するねじに対するねじ脱落防止構造を、ガ
ス供給ユニットのボルト脱落防止構造として適用するこ
とが考えられる。かかるねじ脱落防止構造は、図１５に
示すように、ねじ１３０によって被取付部材１３５に取
付ける蓋１３１に、ねじ１３０を通す通し穴１３２と座
ぐり穴１３３を設け、この座ぐり穴１３３にねじ１３０
を通しそのねじ径に密着する内径を有し座ぐり穴１３３
の内壁に密着する外径の環状の弾性部材１３４を入れた
ものであり、確かにねじ１３０を通し穴１３２から脱落
することを防止できる。

【０００７】しかし、かかるねじ脱落防止構造をガス供
給ユニットのボルト脱落防止構造として適用すると、モ
ジュールブロックの下面に設けられる座ぐり穴によっ
て、モジュールブロック間の密着面積が減少するので、
モジュールブロック間のシール性や安定性の低下を招く
おそれがある。また、モジュールブロックの設計仕様は
全体として既に確立しているので、座ぐり穴のスペース
をモジュールブロックの下面に新たに確保することは難
しい。従って、実開平２−３１９１３号公報に記載され
たねじ脱落防止構造を、ガス供給ユニットのボルト脱落
防止構造として適用することは困難である。

【０００８】そこで、本発明は、上述した問題点を解決
するためになされたものであり、ボルト穴に挿入された
ボルトの脱落を防止することにより、ガス供給ユニット
の組立やメンテナンス等の作業効率を向上させるガス供
給ユニットのボルト脱落防止構造を提供することを目的
とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に成された請求項１に係るガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造は、複数のモジュールブロックをボルトで固
定してガス供給ラインの一部を構成するガス供給ユニッ
トのボルト脱落防止構造であって、前記モジュールブロ
ックのボルト穴の内面に保持部材が埋め込まれたことを
特徴とする。

【００１０】また、請求項２に係るガス供給ユニットの
ボルト脱落防止構造は、請求項１に記載するガス供給ユ
ニットのボルト脱落防止構造であって、前記モジュール
ブロックのボルト穴の表面に圧入された座金部材の下
に、前記保持部材が埋め込まれたことを特徴とする。

【００１１】また、請求項３に係るガス供給ユニットの
ボルト脱落防止構造は、請求項１又は請求項２に記載す
るガス供給ユニットのボルト脱落防止構造であって、前
記保持部材が磁石であることを特徴とする。また、請求
項４に係るガス供給ユニットのボルト脱落防止構造は、
請求項１又は請求項２に記載するガス供給ユニットのボ
ルト脱落防止構造であって、前記保持部材であるシール
部材が、前記モジュールブロックのボルト穴に挿入され
たボルトと接触することを特徴とする。

【００１２】また、請求項５に係るガス供給ユニットの
ボルト脱落防止構造は、請求項１又は請求項２に記載す
るガス供給ユニットのボルト脱落防止構造であって、樹
脂からなる前記保持部材が、前記モジュールブロックの
ボルト穴に挿入されたボルトと接触することを特徴とす
る。

【００１３】また、請求項６に係るガス供給ユニットの
ボルト脱落防止構造は、複数のモジュールブロックをボ
ルトで固定してガス供給ラインの一部を構成するガス供
給ユニットのボルト脱落防止構造であって、前記モジュ
ールブロックの一部が磁石からなることを特徴とする。

【００１４】また、請求項７に係るガス供給ユニットの
ボルト脱落防止構造は、複数のモジュールブロックをボ
ルトで固定してガス供給ラインの一部を構成するガス供
給ユニットのボルト脱落防止構造であって、保持部材を
挿着させたボルトを前記モジュールブロックのボルト穴
に挿入することによって、前記ボルトと前記モジュール
ブロックのボルト穴との間に、前記保持部材が狭入され
ることを特徴とする。

【００１５】また、請求項８に係るガス供給ユニットの
ボルト脱落防止構造は、請求項７に記載するガス供給ユ
ニットのボルト脱落防止構造であって、前記保持部材の
形状が円筒状であることを特徴とする。

【００１６】また、請求項９に係るガス供給ユニットの
ボルト脱落防止構造は、請求項７に記載するガス供給ユ
ニットのボルト脱落防止構造であって、前記保持部材の
形状が円錐状であることを特徴とする。

【００１７】このような構成を有する本発明のガス供給
ユニットのボルト脱落防止構造では、複数のモジュール
ブロックをボルトで固定するために、各モジュールブロ
ックにボルト穴が設けられている。そして、ボルト穴に
は、その内面に保持部材が埋め込まれている。また、ボ
ルト穴の内面に埋め込まれた保持部材の上に座金部材を
圧入し、かかる座金部材でモジュールブロックのボルト
穴の表面を形成する。

【００１８】このように、ボルト穴の内面に保持部材を
埋め込めば、保持部材が磁石であるときは、ボルト穴に
挿入されたボルトにその磁力が作用するので、ボルトが
ボルト穴に磁着する。また、保持部材がシール部材や樹
脂からなるものであるときは、ボルト穴に挿入されたボ
ルトにそのシール部材や樹脂からなるものが接触するの
で、ボルトが保持部材を介してボルト穴に狭着する。

【００１９】また、モジュールブロックの一部が磁石か
らなれば、モジュールブロックを透磁して、ボルト穴に
挿入されたボルトにその磁力が作用するので、ボルトが
ボルト穴に磁着する。また、保持部材を挿着させたボル
トでモジュールブロックを固定すれば、保持部材を挿着
させたボルトがボルト穴に挿入されることによって、か
かるボルトとボルト穴との間に、ボルトに装着した保持
部材が狭入されるので、ボルトが保持部材を介してボル
ト穴に狭着する。

【００２０】すなわち、本発明のガス供給ユニットのボ
ルト脱落防止構造では、モジュールブロックのボルト穴
に挿入されたボルトが磁着又は狭着されることによっ
て、ボルト穴に挿入されたボルトの脱落を防止すること
ができるので、ガス供給ユニットの組立やメンテナンス
等の作業効率を向上させることができる。

【００２１】また、座ぐり穴をモジュールブロックの下
面に新たに設ける必要がなく、モジュールブロック間の
シール性や安定性の低下を招くこともないから、既存サ
イズのモジュールブロックに適用することができる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照にして説明する。先ず、第１実施の形態のガス供
給ユニットのボルト脱落防止構造を、図１と図２を用い
て説明する。第１実施の形態のガス供給ユニットのボル
ト脱落防止構造においては、モジュールブロック１０に
設けられたボルト穴１１の内面に、環状の溝１３が設け
られており、かかる溝１３に、Ｏリング１４（図１参
照）又はＹパッキン（図２参照）が埋込まれている。

【００２３】尚、図１と図２は、モジュールブロック１
０に設けられたボルト穴１１の断面を図示しており、後
述する図３、図４、図５、図９、図１１、図１３につい
ても同様である。また、モジュールブロック１０のボル
ト穴１１の内面にめねじは螺刻されておらず、図示しな
い相手方のモジュールブロックのボルト穴の内面にめね
じが螺刻されている。後述する図３〜図１３についても
同様である。さらに、ボルト１０の外周に螺刻されたお
ねじは図面では省略しており、図３〜図５についても同
様である。

【００２４】このようなボルト穴１１にボルト１２を挿
入して締結することによって、ガス供給ユニットが組立
られる。このとき、図１又は図２に示すように、ボルト
１２には、Ｏリング１４（図１参照）又はＹパッキン
（図２参照）が接触する。従って、ガス供給ユニットの
組立やメンテナンス等の際において、ボルト１２の締結
状態を解除しても、ボルト穴１１からボルト１２が脱落
することはない。

【００２５】次に、第２実施の形態のガス供給ユニット
のボルト脱落防止構造を、図３〜図５を用いて説明す
る。第２実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱落防
止構造においては、第１実施の形態のガス供給ユニット
のボルト脱落防止構造の溝１３の上（図面左側）に、座
金部材１６がモジュールブロック１０に圧入されてお
り、かかる座金部材１６でボルト穴１１の表面が形成さ
れている。

【００２６】このようなボルト穴１１にボルト１２を挿
入して締結することによって、ガス供給ユニットが組立
られる。このとき、図３又は図４に示すように、ボルト
１２には、Ｏリング１４（図３参照）又はＹパッキン
（図４参照）が接触する。また、図５に示すように、ボ
ルト１２には、磁石１７の磁力が作用する。従って、ガ
ス供給ユニットの組立やメンテナンス等の際において、
ボルト１２の締結状態を解除しても、ボルト穴１１から
ボルト１２が脱落することはない。

【００２７】また、モジュールブロック１０のボルト穴
１１の内面に設けられた溝１３に、Ｏリング１４（図３
参照）、Ｙパッキン１５（図４参照）、磁石１７（図５
参照）を埋め込んだ後に、座金部材１６をモジュールブ
ロック１０に圧入すれば、第１実施の形態のガス供給ユ
ニットのボルト脱落防止構造と比べて、モジュールブロ
ック１０のボルト穴１１の内面に設けられた溝１３に、
Ｏリング１４やＹパッキン１５を埋め込むことを容易に
行うことができる。

【００２８】次に、第３実施の形態のガス供給ユニット
のボルト脱落防止構造を、図６〜図９を用いて説明す
る。第３実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱落防
止構造においては、モジュールブロック１０の平行六面
体の形状を維持しつつ、モジュールブロック１０の一部
を磁石で構成している。図６のモジュールブロック１０
においては、磁石１８を側面に接着することによって、
平行六面体の形状を維持している。また、図７、図８の
モジュールブロック１０においては、側面に形成された
溝に磁石１８を接着することによって、平行六面体の形
状を維持している。さらに、図９のモジュールブロック
１０においては、底面に磁石１８を圧入することによっ
て、平行六面体の形状を維持している。

【００２９】このようなボルト穴１１にボルト１２を挿
入して締結することによって、ガス供給ユニットが組立
られる。このとき、モジュールブロック１０は非磁性体
のスチール製（例えば、ＳＵＳ３１６Ｌ）であるもの
の、図６〜図８においては、モジュールブロック１０を
透磁して、ボルト１２に磁石１８の磁力が作用する。ま
た、図９においては、ボルト１２に磁石１８の磁力が直
接作用する。従って、ガス供給ユニットの組立やメンテ
ナンス等の際において、ボルト１２の締結状態を解除し
ても、ボルト穴１１からボルト１２が脱落することはな
い。

【００３０】次に、第４実施の形態のガス供給ユニット
のボルト脱落防止構造を、図１０〜図１３を用いて説明
する。第４実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱落
防止構造においては、図１０〜図１３に示すように、樹
脂からなる保持部材１９、２０がボルト１２に挿着され
ている。このようなボルト穴１１にボルト１２を挿入し
て締結することによって、ガス供給ユニットが組立られ
る。このとき、図１１又は図１２に示すように、ボルト
穴１１の内壁とボルト１２の外周との間に、保持部材１
９、２０が挟み込まれ、樹脂からなる保持部材１９、２
０に弾性力が発生する。従って、ガス供給ユニットの組
立やメンテナンス等の際において、ボルト１２の締結状
態を解除しても、ボルト穴１１からボルト１２が脱落す
ることはない。

【００３１】特に、図１０、図１１の保持部材１９は円
筒状の形状をしており、市販の樹脂チューブの流用が可
能である。また、図１２、図１３の保持部材２０は円錐
状の形状をしており、ボルト穴１１の内壁とボルト１２
の外周との間に挟み込まれた際に大きな弾性力を発生さ
せることができる。

【００３２】以上、詳細に説明したように、本実施の形
態のガス供給ユニットのボルト脱落防止構造では、複数
のモジュールブロック１０をボルト１２で固定するため
に、各モジュールブロック１０にボルト穴１１が設けら
れている。そして、第１実施の形態のガス供給ユニット
のボルト脱落防止構造においては、かかるボルト穴１１
には、その内面にＯリング１４（図１参照）又はＹパッ
キン１５（図２参照）が埋め込まれている。また、第２
実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱落防止構造に
おいては、ボルト穴１１の内面に埋め込まれたＯリング
１４（図３参照）、Ｙパッキン１５（図４参照）又は磁
石１７（図５参照）の上に座金部材１６を圧入し、かか
る座金部材１６でモジュールブロック１０のボルト穴１
１の表面を形成している。

【００３３】このように、ボルト穴１１の内面に磁石１
７（図５参照）を埋め込めば、ボルト穴１１に挿入され
たボルト１２にその磁力が作用するので、ボルト１２が
ボルト穴１１に磁着する。また、ボルト穴１１の内面に
Ｏリング１４（図１、図３参照）又はＹパッキン（図
２、図４参照）を埋め込めば、ボルト穴１１に挿入され
たボルト１２にＯリング１４又はＹパッキン１５が接触
するので、ボルト１２がＯリング１４又はＹパッキン１
５を介してボルト穴１１に狭着する。

【００３４】また、第３実施の形態のガス供給ユニット
のボルト脱落防止構造においては、モジュールブロック
１０の一部が磁石１８からなっており（図６〜図８参
照）、モジュールブロック１０を透磁して、ボルト穴１
１に挿入されたボルト１２にその磁力が作用するので、
ボルト１２がボルト穴１１に磁着する。また、底面に圧
入された磁石１８（図９参照）の磁力が、ボルト穴１１
に挿入されたボルト１２に作用するので、ボルト１２が
ボルト穴１１に磁着する。

【００３５】また、第４実施の形態のガス供給ユニット
のボルト脱落防止構造においては、樹脂からなる保持部
材１９、２０を挿着させたボルト１２でモジュールブロ
ック１０を固定しており（図１０〜図１３参照）、保持
部材１９、２０を挿着させたボルト１２がボルト穴１１
に挿入されることによって、かかるボルト１２とボルト
穴１１との間に、ボルト１２に装着した保持部材１９、
２０が狭入されるので、ボルト１２が保持部材１９、２
０を介してボルト穴１１に狭着する。

【００３６】すなわち、本実施の形態のガス供給ユニッ
トのボルト脱落防止構造では、モジュールブロック１０
のボルト穴１１に挿入されたボルト１２が磁着又は狭着
されることによって、ボルト穴１１に挿入されたボルト
１２の脱落を防止することができるので、ガス供給ユニ
ットの組立やメンテナンス等の作業効率を向上させるこ
とができる。

【００３７】また、座ぐり穴をモジュールブロック１０
の下面に新たに設ける必要がなく、モジュールブロック
１０間のシール性や安定性の低下を招くこともないか
ら、既存サイズのモジュールブロック１０に適用するこ
とができる。

【００３８】特に、Ｏリング１４、Ｙパッキン１５、保
持部材１９、２０による狭着や、磁石１７、１８による
磁着を、おねじが螺刻されていないボルト１２の軸部で
行えば、かかる狭着や磁着が作用するボルト１２の面積
を大きく確保できるので、ボルト穴１１に挿入されたボ
ルト１２の脱落を防止する効果が大きい。

【００３９】尚、本発明は上記実施の形態に限定される
ものでなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が
可能である。例えば、第１実施の形態又は第２実施の形
態のガス供給ユニットのボルト脱落防止構造において
は、シール部材として、Ｏリング１４（図１、図３参
照）やＹパッキン１４（図２、図４参照）が使用されて
いるが、ボルト穴１１の内面に埋め込まれることによっ
て、ボルト穴１１に挿入されたボルト１２と接触して、
ボルト１２がボルト穴１１に狭着することができるもの
であるならば、どのようなシール部材でもよい。同様に
して、樹脂からなるものでもよい。

【００４０】また、第４実施の形態のガス供給ユニット
のボルト脱落防止構造においては、円筒状の保持部材１
９（図１０、図１１参照）又は円錐状の保持部材２０
（図１２、図１３参照）を使用しているが、ボルト１２
に挿着されるものであって、ボルト穴１１の内壁とボル
ト１２の外周との間に挟み込まれた際に弾性力が発生す
るものであれば、どのような形状を有していてもよい。

【００４１】

【発明の効果】本実施の形態のガス供給ユニットのボル
ト脱落防止構造では、モジュールブロックのボルト穴に
挿入されたボルトが磁着又は狭着されることによって、
ボルト穴に挿入されたボルトの脱落を防止することがで
きるので、ガス供給ユニットの組立やメンテナンス等の
作業効率を向上させることができる。

【００４２】また、座ぐり穴をモジュールブロックの下
面に新たに設ける必要がなく、モジュールブロック間の
シール性や安定性の低下を招くこともないから、既存サ
イズのモジュールブロックに適用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造であり、保持部材としてＯリングを使用した
ものの断面図である。

【図２】第１実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造であり、保持部材としてＹパッキンを使用し
たものの断面図である。

【図３】第２実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造であり、保持部材としてＯリングを使用した
ものの断面図である。

【図４】第２実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造であり、保持部材としてＹパッキンを使用し
たものの断面図である。

【図５】第２実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造であり、保持部材として磁石を使用したもの
の断面図である。

【図６】第３実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造の一例を示した斜視図である。

【図７】第３実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造の一例を示した斜視図である。

【図８】第３実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造の一例を示した斜視図である。

【図９】第３実施の形態のガス供給ユニットのボルト脱
落防止構造の一例を示した断面図である。

【図１０】第４実施の形態のガス供給ユニットのボルト
脱落防止構造の一例を示した斜視図である。

【図１１】図１０のガス供給ユニットのボルト脱落防止
構造の断面を示した図である。

【図１２】第４実施の形態のガス供給ユニットのボルト
脱落防止構造の一例を示した斜視図である。

【図１３】図１２のガス供給ユニットのボルト脱落防止
構造の断面を示した図である。

【図１４】ガス供給ユニットの一例を示した図である。

【図１５】従来技術のねじ脱落防止構造を示した断面図
である。

【符号の説明】

１０ モジュールブロック １１ ボルト穴 １２ ボルト １４ Ｏリング １５ Ｙパッキン １６ 座金部材 １７、１８ 磁石 １９、２０ 保持部材

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のモジュールブロックをボルトで固
   定してガス供給ラインの一部を構成するガス供給ユニッ
   トのボルト脱落防止構造において、 前記モジュールブロックのボルト穴の内面に保持部材が
   埋め込まれたことを特徴とするガス供給ユニットのボル
   ト脱落防止構造。
2. 【請求項２】 請求項１に記載するガス供給ユニットの
   ボルト脱落防止構造において、 前記モジュールブロックのボルト穴の表面に圧入された
   座金部材の下に、前記保持部材が埋め込まれたことを特
   徴とするガス供給ユニットのボルト脱落防止構造。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２に記載するガス供
   給ユニットのボルト脱落防止構造において、 前記保持部材が磁石であることを特徴とするガス供給ユ
   ニットのボルト脱落防止構造。
4. 【請求項４】 請求項１又は請求項２に記載するガス供
   給ユニットのボルト脱落防止構造において、 前記保持部材であるシール部材が、前記モジュールブロ
   ックのボルト穴に挿入されたボルトと接触することを特
   徴とするガス供給ユニットのボルト脱落防止構造。
5. 【請求項５】 請求項１又は請求項２に記載するガス供
   給ユニットのボルト脱落防止構造において、 樹脂からなる前記保持部材が、前記モジュールブロック
   のボルト穴に挿入されたボルトと接触することを特徴と
   するガス供給ユニットのボルト脱落防止構造。
6. 【請求項６】 複数のモジュールブロックをボルトで固
   定してガス供給ラインの一部を構成するガス供給ユニッ
   トのボルト脱落防止構造において、 前記モジュールブロックの一部が磁石からなることを特
   徴とするガス供給ユニットのボルト脱落防止構造。
7. 【請求項７】 複数のモジュールブロックをボルトで固
   定してガス供給ラインの一部を構成するガス供給ユニッ
   トのボルト脱落防止構造において、 保持部材を挿着させたボルトを前記モジュールブロック
   のボルト穴に挿入することによって、前記ボルトと前記
   モジュールブロックのボルト穴との間に、前記保持部材
   が狭入されることを特徴とするガス供給ユニットのボル
   ト脱落防止構造。
8. 【請求項８】 請求項７に記載するガス供給ユニットの
   ボルト脱落防止構造において、 前記保持部材の形状が円筒状であることを特徴とするガ
   ス供給ユニットのボルト脱落防止構造。
9. 【請求項９】 請求項７に記載するガス供給ユニットの
   ボルト脱落防止構造において、 前記保持部材の形状が円錐状であることを特徴とするガ
   ス供給ユニットのボルト脱落防止構造。