JPH1158365A - ワイヤソ−およびインゴット切断方法 - Google Patents
ワイヤソ−およびインゴット切断方法Info
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- JPH1158365A JPH1158365A JP24472997A JP24472997A JPH1158365A JP H1158365 A JPH1158365 A JP H1158365A JP 24472997 A JP24472997 A JP 24472997A JP 24472997 A JP24472997 A JP 24472997A JP H1158365 A JPH1158365 A JP H1158365A
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- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0076—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for removing dust, e.g. by spraying liquids; for lubricating, cooling or cleaning tool or work
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- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 切断時に発生するインゴットの熱膨張を抑
え、切断直後のウェーハの反りを低減できるワイヤソー
およびインゴット切断方法を提供する。 【解決手段】 往復走行するワイヤ列１１に、インゴッ
トＩを相対的に押し付けて、砥粒の研削作用によって、
インゴットＩを多数枚のウェーハ１９に切断する。この
際、冷却手段１９により昇降板１５が冷却され、さらに
インゴットＩが冷やされる。これにより、インゴットＩ
の切断時に発生する摩擦熱を原因として、インゴットＩ
がバイメタル状に軸線方向へ熱膨張することを抑制でき
る。この結果、得られた多数枚のウェーハ２０、特にイ
ンゴットＩの両端部にあるウェーハ２０の反りを低減で
きる。
え、切断直後のウェーハの反りを低減できるワイヤソー
およびインゴット切断方法を提供する。 【解決手段】 往復走行するワイヤ列１１に、インゴッ
トＩを相対的に押し付けて、砥粒の研削作用によって、
インゴットＩを多数枚のウェーハ１９に切断する。この
際、冷却手段１９により昇降板１５が冷却され、さらに
インゴットＩが冷やされる。これにより、インゴットＩ
の切断時に発生する摩擦熱を原因として、インゴットＩ
がバイメタル状に軸線方向へ熱膨張することを抑制でき
る。この結果、得られた多数枚のウェーハ２０、特にイ
ンゴットＩの両端部にあるウェーハ２０の反りを低減で
きる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明はワイヤソーおよび
インゴット切断方法、詳しくは切断時に発生するインゴ
ットの熱膨張を抑制することができるワイヤソーおよび
インゴット切断方法に関する。
インゴット切断方法、詳しくは切断時に発生するインゴ
ットの熱膨張を抑制することができるワイヤソーおよび
インゴット切断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソーとは、ラッピングオイルに遊
離砥粒（以下、単に砥粒という場合がある）を混入した
スラリー状の砥液を、単結晶シリコンなどのインゴット
に供給しながら、往復走行するワイヤ列にインゴットを
相対的に押し付けて、遊離砥粒の研削作用により、多数
枚のウェーハにスライス・切断する機械である。具体的
には、ワイヤ列の往復走行時に、供給された砥液中の遊
離砥粒を、各ワイヤによりワイヤ溝（切断溝）の奥部に
押し付けながら溝底部のインゴットを削り取ることによ
って切断する。
離砥粒（以下、単に砥粒という場合がある）を混入した
スラリー状の砥液を、単結晶シリコンなどのインゴット
に供給しながら、往復走行するワイヤ列にインゴットを
相対的に押し付けて、遊離砥粒の研削作用により、多数
枚のウェーハにスライス・切断する機械である。具体的
には、ワイヤ列の往復走行時に、供給された砥液中の遊
離砥粒を、各ワイヤによりワイヤ溝（切断溝）の奥部に
押し付けながら溝底部のインゴットを削り取ることによ
って切断する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このようにインゴット
は、往復走行するワイヤによりワイヤ溝（切断溝）の奥
部に遊離砥粒が擦りつけられることにより、ウェーハ状
に切断される。この際、摩擦熱により切断部が発熱して
いた。例えば１０〜２０℃くらい昇温していた。よっ
て、これを原因として、インゴットがバイメタル状に変
形していた。例えば５〜３０μｍくらいその軸線方向へ
熱膨張していた。この結果、図３の（ａ）に示すよう
に、得られた多数枚のウェーハ２０′では、インゴット
Ｉ′の軸線方向の両端側のウェーハ２０Ａ′ほど、反り
（ワープ）が大きくなるという問題点があった。図３の
（ａ）は従来手段によりウェーハが切断されたインゴッ
トを拡大して示す正面図である。
は、往復走行するワイヤによりワイヤ溝（切断溝）の奥
部に遊離砥粒が擦りつけられることにより、ウェーハ状
に切断される。この際、摩擦熱により切断部が発熱して
いた。例えば１０〜２０℃くらい昇温していた。よっ
て、これを原因として、インゴットがバイメタル状に変
形していた。例えば５〜３０μｍくらいその軸線方向へ
熱膨張していた。この結果、図３の（ａ）に示すよう
に、得られた多数枚のウェーハ２０′では、インゴット
Ｉ′の軸線方向の両端側のウェーハ２０Ａ′ほど、反り
（ワープ）が大きくなるという問題点があった。図３の
（ａ）は従来手段によりウェーハが切断されたインゴッ
トを拡大して示す正面図である。
【０００４】そこで、発明者らは、鋭意研究を重ねた結
果、インゴットが固定されるワーク保持部材を冷却する
ことにより、間接的にインゴットを冷却して、切断時に
おけるインゴットの熱膨張を抑制可能なことを突き止
め、この発明を完成させた。
果、インゴットが固定されるワーク保持部材を冷却する
ことにより、間接的にインゴットを冷却して、切断時に
おけるインゴットの熱膨張を抑制可能なことを突き止
め、この発明を完成させた。
【０００５】
【発明の目的】この発明は、切断時に発生するインゴッ
トの熱膨張を抑制し、切断直後のウェーハの反りを低減
することができるワイヤソーおよびインゴット切断方法
を提供することを、その目的としている。また、この発
明は、比較的簡単な設備により切断時のインゴットの熱
膨張を抑制することができるワイヤソーおよびインゴッ
ト切断方法を提供することを、その目的としている。
トの熱膨張を抑制し、切断直後のウェーハの反りを低減
することができるワイヤソーおよびインゴット切断方法
を提供することを、その目的としている。また、この発
明は、比較的簡単な設備により切断時のインゴットの熱
膨張を抑制することができるワイヤソーおよびインゴッ
ト切断方法を提供することを、その目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、砥液を供給しながらワイヤ列を往復走行させて、ワ
ーク保持部材に固定されたインゴットを切断するワイヤ
ソーにおいて、上記ワーク保持部材に設けられ、切断中
の上記インゴットを冷却する冷却手段を備えたワイヤソ
ーである。
は、砥液を供給しながらワイヤ列を往復走行させて、ワ
ーク保持部材に固定されたインゴットを切断するワイヤ
ソーにおいて、上記ワーク保持部材に設けられ、切断中
の上記インゴットを冷却する冷却手段を備えたワイヤソ
ーである。
【０００７】なお、この発明が適用されるワイヤソーで
は品種の限定がない。例えば、ワイヤ列が掛け渡される
溝ローラは、３本の三角配置されるものでも、２本の直
線配置されるものであってもよい。インゴットを移動主
体として、ワイヤ列に押圧接触して切断するものでも、
反対にワイヤ列を移動主体として、インゴットに押接し
て切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上部にイン
ゴットを圧接するものでも、インゴットがワイヤ列の下
部に押し当てられるものでもよい。また、ワイヤ列が往
復走行することができるだけでなく、同時に揺動するこ
とができるものでもよい。
は品種の限定がない。例えば、ワイヤ列が掛け渡される
溝ローラは、３本の三角配置されるものでも、２本の直
線配置されるものであってもよい。インゴットを移動主
体として、ワイヤ列に押圧接触して切断するものでも、
反対にワイヤ列を移動主体として、インゴットに押接し
て切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上部にイン
ゴットを圧接するものでも、インゴットがワイヤ列の下
部に押し当てられるものでもよい。また、ワイヤ列が往
復走行することができるだけでなく、同時に揺動するこ
とができるものでもよい。
【０００８】ワーク保持部材としては、インゴットが移
動主体となる場合には、例えば各種の昇降装置により昇
降される昇降部材となり、またワイヤ列が移動主体の場
合には、固定側の取り付け部材となる。ワーク保持部材
へのインゴットの固定は、通常、カーボンベッドを介在
して行われるが、これに限定する必要はない。また、冷
却手段としては、例えば水冷式の他にも空冷式、フロン
ガスなどの冷媒を供給させるものなど、周知の各種装置
を使用することができる。
動主体となる場合には、例えば各種の昇降装置により昇
降される昇降部材となり、またワイヤ列が移動主体の場
合には、固定側の取り付け部材となる。ワーク保持部材
へのインゴットの固定は、通常、カーボンベッドを介在
して行われるが、これに限定する必要はない。また、冷
却手段としては、例えば水冷式の他にも空冷式、フロン
ガスなどの冷媒を供給させるものなど、周知の各種装置
を使用することができる。
【０００９】請求項２の発明は、上記冷却手段は、冷水
配管を有する水冷式である請求項１に記載のワイヤソー
である。ここでいう、水冷式の冷却手段には、周知の各
種水冷装置が採用することができる。冷水配管は、ワー
ク保持部材の内部に長い管体を折り返して配置したもの
でも、ワーク保持部材内に冷水タンクを内設したもので
もよい。冷水配管の素材は限定されないものの、例えば
ステンレスなどの金属や、塩化ビニール、ポリエチレン
などのプラスチックなどが好ましい。特に、耐水性、高
熱伝導性を有する素材が好ましい。
配管を有する水冷式である請求項１に記載のワイヤソー
である。ここでいう、水冷式の冷却手段には、周知の各
種水冷装置が採用することができる。冷水配管は、ワー
ク保持部材の内部に長い管体を折り返して配置したもの
でも、ワーク保持部材内に冷水タンクを内設したもので
もよい。冷水配管の素材は限定されないものの、例えば
ステンレスなどの金属や、塩化ビニール、ポリエチレン
などのプラスチックなどが好ましい。特に、耐水性、高
熱伝導性を有する素材が好ましい。
【００１０】請求項３の発明は、砥液を供給しながらワ
イヤ列を往復走行させて、ワーク保持部材に固定された
インゴットを切断するインゴット切断方法において、上
記ワーク保持部材に冷却手段を設け、この冷却手段によ
り切断中の上記インゴットを冷却するインゴット切断方
法である。
イヤ列を往復走行させて、ワーク保持部材に固定された
インゴットを切断するインゴット切断方法において、上
記ワーク保持部材に冷却手段を設け、この冷却手段によ
り切断中の上記インゴットを冷却するインゴット切断方
法である。
【００１１】請求項４に記載の発明は、上記冷却手段
が、冷水配管を有する水冷式である請求項３に記載のイ
ンゴット切断方法である。
が、冷水配管を有する水冷式である請求項３に記載のイ
ンゴット切断方法である。
【００１２】
【作用】この発明によれば、往復走行するワイヤ列に、
インゴットを相対的に押し付けて、遊離砥粒の研削作用
により、インゴットを多数枚のウェーハに切断する。こ
の際、冷却手段によりワーク保持部材が冷却され、この
冷却されたワーク保持部材によりインゴットが冷やされ
る。これにより、インゴット切断時に発生する摩擦熱に
より、このインゴットがバイメタル状に軸線方向へ熱膨
張することを抑制することができる。その結果、切断直
後の多数枚のウェーハ、特にインゴットの軸線方向の両
端部に位置するウェーハの反りを低減することができ
る。
インゴットを相対的に押し付けて、遊離砥粒の研削作用
により、インゴットを多数枚のウェーハに切断する。こ
の際、冷却手段によりワーク保持部材が冷却され、この
冷却されたワーク保持部材によりインゴットが冷やされ
る。これにより、インゴット切断時に発生する摩擦熱に
より、このインゴットがバイメタル状に軸線方向へ熱膨
張することを抑制することができる。その結果、切断直
後の多数枚のウェーハ、特にインゴットの軸線方向の両
端部に位置するウェーハの反りを低減することができ
る。
【００１３】特に、請求項２，４の発明によれば、ワー
ク保持部材に設けられた冷水配管に水を流してワーク保
持部材を冷却するので、比較的簡単な設備により、切断
時のインゴットの熱膨張を抑制することができる。ま
た、切断直後のウェーハの反りを低減することができ
る。
ク保持部材に設けられた冷水配管に水を流してワーク保
持部材を冷却するので、比較的簡単な設備により、切断
時のインゴットの熱膨張を抑制することができる。ま
た、切断直後のウェーハの反りを低減することができ
る。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施例を図面を
参照して説明する。図１はこの発明の一実施例に係るワ
イヤソーの要部を模式的に示す正面図である。図２はそ
の冷却手段の要部を拡大して示す斜視図である。図３の
（ｂ）はこの発明により切断されたインゴットを拡大し
て示す正面図である。
参照して説明する。図１はこの発明の一実施例に係るワ
イヤソーの要部を模式的に示す正面図である。図２はそ
の冷却手段の要部を拡大して示す斜視図である。図３の
（ｂ）はこの発明により切断されたインゴットを拡大し
て示す正面図である。
【００１５】図１において、１０はワイヤソーであり、
このワイヤソー１０は、ＣＺ法により引き上げられた単
結晶シリコン製のインゴットＩを多数枚のウェーハにワ
イヤ切断する装置である。ワイヤソー１０は、多数本の
ワイヤが横一列に平行な状態で張設されたワイヤ列１１
を有している。ワイヤ列１１は、逆三角形状に配置され
た３本の溝ローラ１２間で、駆動モータなどにより往復
走行される。２本の溝ローラ１２の上方でインゴットＩ
の両側には、砥液をワイヤ列１１上に供給する一対の砥
液供給部１３が配設されている。砥液は、高粘度であ
り、これには例えばＳｉＣ製で平均粒径が１０〜３０μ
ｍの砥粒が混入されている。
このワイヤソー１０は、ＣＺ法により引き上げられた単
結晶シリコン製のインゴットＩを多数枚のウェーハにワ
イヤ切断する装置である。ワイヤソー１０は、多数本の
ワイヤが横一列に平行な状態で張設されたワイヤ列１１
を有している。ワイヤ列１１は、逆三角形状に配置され
た３本の溝ローラ１２間で、駆動モータなどにより往復
走行される。２本の溝ローラ１２の上方でインゴットＩ
の両側には、砥液をワイヤ列１１上に供給する一対の砥
液供給部１３が配設されている。砥液は、高粘度であ
り、これには例えばＳｉＣ製で平均粒径が１０〜３０μ
ｍの砥粒が混入されている。
【００１６】図２に示すように、インゴットＩは、カー
ボンベッド１４を介して、ワーク保持部材の一例である
昇降板１５の下面に、例えばエポキシ樹脂系接着剤を介
して接着・固定されている。平面視矩形のブロック体で
ある昇降板１５の内部には、ステンレス製の冷水配管１
６が配設されている。この冷水配管１６は、昇降板ブロ
ック１５の平面内全体に延在するように構成されてい
る。すなわち、１本のチューブを折り返すことにより、
ブロックの長手方向に沿って複数本を平行に延在させて
いる。チューブの各折り返し部分は１８０度折り返され
ることとなる。この冷水配管１６では冷却水の供給部１
６ａと排出部１６ｂとが、可撓性の連結管１７ａ、１７
ｂをそれぞれ介して、外設の冷却水供給装置１８に接続
されている。冷却水供給装置１８から吐出された冷却水
は、連結管１７ａから供給部１６ａを経て冷水配管１６
へ流れ込み、昇降板１５を冷やした後、排出部１６ｂか
ら連結管１７ｂを通って冷却水供給装置１８へ戻る。こ
れらの構成部品１６、１６ａ、１６ｂ、１７ａ、１７
ｂ、１８により、インゴットＩを間接的に冷却する冷却
手段１９が構成される。このように、冷却手段１９とし
て水冷式のものを採用したので、比較的簡単な設備で切
断時のインゴットＩの熱膨張を抑制することができると
ともに、これに伴うウェーハ２０の反りを低減すること
ができる。
ボンベッド１４を介して、ワーク保持部材の一例である
昇降板１５の下面に、例えばエポキシ樹脂系接着剤を介
して接着・固定されている。平面視矩形のブロック体で
ある昇降板１５の内部には、ステンレス製の冷水配管１
６が配設されている。この冷水配管１６は、昇降板ブロ
ック１５の平面内全体に延在するように構成されてい
る。すなわち、１本のチューブを折り返すことにより、
ブロックの長手方向に沿って複数本を平行に延在させて
いる。チューブの各折り返し部分は１８０度折り返され
ることとなる。この冷水配管１６では冷却水の供給部１
６ａと排出部１６ｂとが、可撓性の連結管１７ａ、１７
ｂをそれぞれ介して、外設の冷却水供給装置１８に接続
されている。冷却水供給装置１８から吐出された冷却水
は、連結管１７ａから供給部１６ａを経て冷水配管１６
へ流れ込み、昇降板１５を冷やした後、排出部１６ｂか
ら連結管１７ｂを通って冷却水供給装置１８へ戻る。こ
れらの構成部品１６、１６ａ、１６ｂ、１７ａ、１７
ｂ、１８により、インゴットＩを間接的に冷却する冷却
手段１９が構成される。このように、冷却手段１９とし
て水冷式のものを採用したので、比較的簡単な設備で切
断時のインゴットＩの熱膨張を抑制することができると
ともに、これに伴うウェーハ２０の反りを低減すること
ができる。
【００１７】次に、このワイヤソー１０を用いたインゴ
ット切断方法を説明する。図１に示すように、ワイヤソ
ー１０は、砥液供給部（砥液パイプ）１３より砥液を供
給しながら、３本の溝ローラ１２間でワイヤ列１１を所
定速度で往復走行させる。この走行中に、図１，図２に
示すように、インゴットＩを上方からワイヤ列１１へ押
し付けることで、徐々にインゴットＩが切断される。す
なわち、ワイヤ列１１の往復走行時に、砥液中の砥粒が
ワイヤ列１１の各ワイヤにより、ワイヤ溝（ワイヤによ
る切断溝）の奥部に擦りつけられることで、溝底部のイ
ンゴットが削り取られ、最終的に、多数枚のウェーハ２
０に切断される（図３参照）。
ット切断方法を説明する。図１に示すように、ワイヤソ
ー１０は、砥液供給部（砥液パイプ）１３より砥液を供
給しながら、３本の溝ローラ１２間でワイヤ列１１を所
定速度で往復走行させる。この走行中に、図１，図２に
示すように、インゴットＩを上方からワイヤ列１１へ押
し付けることで、徐々にインゴットＩが切断される。す
なわち、ワイヤ列１１の往復走行時に、砥液中の砥粒が
ワイヤ列１１の各ワイヤにより、ワイヤ溝（ワイヤによ
る切断溝）の奥部に擦りつけられることで、溝底部のイ
ンゴットが削り取られ、最終的に、多数枚のウェーハ２
０に切断される（図３参照）。
【００１８】シリコン単結晶Ｉの温度による伸びは下記
のように小さいが、この切断中の摩擦熱によりインゴッ
トＩの切断部が発熱し、これを原因として、インゴット
Ｉがバイメタル状に軸線方向へ熱膨張しようとする。し
かしながら、この発明では、冷却手段１９の冷却水供給
装置１８から供給された冷却水が、冷水配管１６内を流
れることにより昇降板１５が冷却され、この昇降板１５
が冷却されることにより、カーボンベッド１４を介して
インゴットＩが適度に冷却される。実際に実験を行った
ところ、冷却前には切断時の摩擦熱により、インゴット
Ｉの切断部の温度が３０〜５０℃となって１０〜４０℃
だけ昇温するとともに、インゴットＩが熱膨張して、当
初は例えば３００ｍｍであったのが、３０℃上昇すると
３００．００４５ｍｍとなって０．００４５ｍｍだけ長
くなった（熱膨張率５×１０-7／℃）。そこで、冷却手
段１９により冷却したところ、冷却開始より５〜１０分
後にはこの切断部の温度が２０℃まで降温し、これによ
りインゴットＩの長さは切断開始前に近い３００．００
１ｍｍとなり、０．００３５ｍｍだけの膨張に抑制する
ことができた。固定されているワークプレート１５は、
通常銅で作製されており、熱膨脹係数は１１×１０-6／
℃と高いため、３００ｍｍの長さでは、１０℃の温度変
化で３３μｍの伸びを生じている。通常の温度上昇は、
２０〜３０℃あるので、この伸びはシリコンの伸びの２
０倍となる。シリコン単結晶の切断の初めは、シリコン
の断面積が大きいためワークプレート１５が伸びてもシ
リコン結晶の全長変化は少ないが、切り上り直前の断面
積は非常に小さくなり、数１０μｍの全長変化が起きる
ため、従来のように、インゴットは切断される。したが
って、このワイヤソー１０では、ワークを固定するワー
クプレート１５の温度管理が非常に重要である。
のように小さいが、この切断中の摩擦熱によりインゴッ
トＩの切断部が発熱し、これを原因として、インゴット
Ｉがバイメタル状に軸線方向へ熱膨張しようとする。し
かしながら、この発明では、冷却手段１９の冷却水供給
装置１８から供給された冷却水が、冷水配管１６内を流
れることにより昇降板１５が冷却され、この昇降板１５
が冷却されることにより、カーボンベッド１４を介して
インゴットＩが適度に冷却される。実際に実験を行った
ところ、冷却前には切断時の摩擦熱により、インゴット
Ｉの切断部の温度が３０〜５０℃となって１０〜４０℃
だけ昇温するとともに、インゴットＩが熱膨張して、当
初は例えば３００ｍｍであったのが、３０℃上昇すると
３００．００４５ｍｍとなって０．００４５ｍｍだけ長
くなった（熱膨張率５×１０-7／℃）。そこで、冷却手
段１９により冷却したところ、冷却開始より５〜１０分
後にはこの切断部の温度が２０℃まで降温し、これによ
りインゴットＩの長さは切断開始前に近い３００．００
１ｍｍとなり、０．００３５ｍｍだけの膨張に抑制する
ことができた。固定されているワークプレート１５は、
通常銅で作製されており、熱膨脹係数は１１×１０-6／
℃と高いため、３００ｍｍの長さでは、１０℃の温度変
化で３３μｍの伸びを生じている。通常の温度上昇は、
２０〜３０℃あるので、この伸びはシリコンの伸びの２
０倍となる。シリコン単結晶の切断の初めは、シリコン
の断面積が大きいためワークプレート１５が伸びてもシ
リコン結晶の全長変化は少ないが、切り上り直前の断面
積は非常に小さくなり、数１０μｍの全長変化が起きる
ため、従来のように、インゴットは切断される。したが
って、このワイヤソー１０では、ワークを固定するワー
クプレート１５の温度管理が非常に重要である。
【００１９】冷水配管１６の冷気は、図２において、イ
ンゴットＩのワイヤ切断されていない上部から冷却され
るので、順次切断が進行する切断残部の熱膨張を、効果
的に抑制することができる。この結果、図３の（ｂ）に
示すように、得られた多数枚のウェーハ２０、殊に従来
において熱膨張により変形量が大きかったインゴットＩ
の両端部にあるウェーハ２０Ａの反りを低減することが
できる（図３の（ａ）参照）。また、この発明はこの実
施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲
での設計変更などがあってもこの発明に含まれる。例え
ば、ワーク保持部材１５を今回は直接冷却しているが、
間接的に冷却する場合も含まれる。また、ワーク（イン
ゴット）の取付後、冷却配管の取付・取外しを行うこと
が必要になるので、直接インゴットを冷却するよりは、
その取付部分を冷却し、その伝熱でインゴットを冷却す
るほうが実用的でもある。
ンゴットＩのワイヤ切断されていない上部から冷却され
るので、順次切断が進行する切断残部の熱膨張を、効果
的に抑制することができる。この結果、図３の（ｂ）に
示すように、得られた多数枚のウェーハ２０、殊に従来
において熱膨張により変形量が大きかったインゴットＩ
の両端部にあるウェーハ２０Ａの反りを低減することが
できる（図３の（ａ）参照）。また、この発明はこの実
施例に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲
での設計変更などがあってもこの発明に含まれる。例え
ば、ワーク保持部材１５を今回は直接冷却しているが、
間接的に冷却する場合も含まれる。また、ワーク（イン
ゴット）の取付後、冷却配管の取付・取外しを行うこと
が必要になるので、直接インゴットを冷却するよりは、
その取付部分を冷却し、その伝熱でインゴットを冷却す
るほうが実用的でもある。
【００２０】
【発明の効果】この発明によれば、切断時の摩擦熱によ
り昇温したインゴットを、ワーク保持部材に設けられた
冷却手段により間接的に冷やすようにしたので、切断中
に、インゴットがバイメタル状に軸線方向へ熱膨張する
のを抑制することができる。この結果、得られた多数枚
のウェーハ、特にインゴットの両端部にあるウェーハの
反りを低減することができる。
り昇温したインゴットを、ワーク保持部材に設けられた
冷却手段により間接的に冷やすようにしたので、切断中
に、インゴットがバイメタル状に軸線方向へ熱膨張する
のを抑制することができる。この結果、得られた多数枚
のウェーハ、特にインゴットの両端部にあるウェーハの
反りを低減することができる。
【００２１】特に、請求項２，４の発明によれば、冷却
手段を冷水配管を有する水冷式としたので、比較的簡単
な設備により、切断時のインゴットの熱膨張を抑制する
ことができるとともに、切断直後のウェーハの反りを低
減することができる。
手段を冷水配管を有する水冷式としたので、比較的簡単
な設備により、切断時のインゴットの熱膨張を抑制する
ことができるとともに、切断直後のウェーハの反りを低
減することができる。
【図１】この発明の一実施例に係るワイヤソーの要部を
模式的に示す図である。
模式的に示す図である。
【図２】この発明の一実施例に係る冷却手段の要部を拡
大して示す斜視図である。
大して示す斜視図である。
【図３】（ａ）は従来手段により切断されたインゴット
を拡大して示す正面図である。（ｂ）はこの発明の一実
施例に係るワイヤソーで切断されたインゴットを拡大し
て示す正面図である。
を拡大して示す正面図である。（ｂ）はこの発明の一実
施例に係るワイヤソーで切断されたインゴットを拡大し
て示す正面図である。
１０ ワイヤソー、 １１ ワイヤ列、 １５ 昇降板（ワーク保持部材）、 １６ 冷水配管、 １９ 冷却手段、 Ｉ インゴット。
Claims (4)
- 【請求項１】 砥液を供給しながらワイヤ列を往復走行
させて、ワーク保持部材に固定されたインゴットを切断
するワイヤソーにおいて、 上記ワーク保持部材に設けられ、切断中の上記インゴッ
トを冷却する冷却手段を備えたワイヤソー。 - 【請求項２】 上記冷却手段は、冷水配管を有する水冷
式である請求項１に記載のワイヤソー。 - 【請求項３】 砥液を供給しながらワイヤ列を往復走行
させて、ワーク保持部材に固定されたインゴットを切断
するインゴット切断方法において、 上記ワーク保持部材に冷却手段を設け、この冷却手段に
より切断中の上記インゴットを冷却するインゴット切断
方法。 - 【請求項４】 上記冷却手段が、冷水配管を有する水冷
式である請求項３に記載のインゴット切断方法。
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|---|---|---|---|
| JP24472997A JP3637740B2 (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | ワイヤソーおよびインゴット切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP24472997A JP3637740B2 (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | ワイヤソーおよびインゴット切断方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
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| JP3637740B2 JP3637740B2 (ja) | 2005-04-13 |
Family
ID=17123035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP24472997A Expired - Fee Related JP3637740B2 (ja) | 1997-08-25 | 1997-08-25 | ワイヤソーおよびインゴット切断方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3637740B2 (ja) |
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-
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- 1997-08-25 JP JP24472997A patent/JP3637740B2/ja not_active Expired - Fee Related
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