JPH11511904A - 蓄積キャパシタを用いる改良されたチャージポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 外部電源電圧を内部的に昇圧するよう、ＥＥＰＲＯＭ装置で使用するために蓄積キャパシタを用いるチャージポンプ回路は、複数個のＭＯＳトランジスタ（Ｔ１０１、Ｔ１０２；Ｔ２０１、Ｔ２０２）と蓄積キャパシタ（Ｎ２、Ｐ２）とを含む。複数個のＭＯＳトランジスタは第１の入力電圧端子およびより高い電圧出力端子の間で直列に接続される。第１の入力電圧端子は外部電源電圧を受取る。蓄積キャパシタは第１のプレートおよび第２のプレートを有する。蓄積キャパシタの第１のプレートの各々は隣接する複数個のＭＯＳトランジスタのそれぞれの間に接続される。蓄積キャパシタの第２のプレートの各々はクロック信号を受取るために第２の入力端子に接続される。その結果、ポンプ回路は効果的に動作されて消費電力を著しく下げることができる。

Description

【発明の詳細な説明】 蓄積キャパシタを用いる改良されたチャージポンプ 発明の背景 １．発明の分野 本発明は、一括電気的に消去可能なプログラマブルリードオンリーメモリ（Ｅ ＥＰＲＯＭ）装置のような半導体集積回路記憶装置に関し、特に、外部またはオ フチップ電源から供給される電源電圧をより効果的にかつ効率的に内部で昇圧す るよう、ＥＰＰＲＯＭ装置で使用するために蓄積キャパシタを用いる改良された チャージポンプに関する。 ２．先行技術の説明 一般に知られているように、記憶装置や他の半導体集積回路の分野において、 供給される外部またはオフチップ電源電位より大きい電圧が内部的に生成される 必要がある。たとえば、一括電気的に消去可能なプログラマブルリードオンリー メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）では、メモリセルの書込および消去動作モードのために は±１２Ｖのような高電圧を生成する必要がある。したがって、半導体記憶装置 は一般に外部電源電圧を内部的に昇圧するために、ある種の内部ブースタ回路を 含む。フラッシュＥＥＰＲＯＭで一般に用いられる内部ブースタ回路の１つのタ イプは「チャージポンプ」と呼ばれる。 このような記憶装置のユーザは動作のために高い電圧源を設けることは必要で はないが、これらの記憶装置はチャージポンプが記憶装置の総電力損の著しい割 合をなすという不利益を被る。さらに、半導体記憶装置の集積化の要求がさらに 高まるにつれ、記憶装置を形成する回路素子すべてを微細化する方向にある。こ うして、電力損を下げるためだけではなく、微細化された回路素子を守るために 、より低い電源電圧を使用することが必要となった。さらに、ポータブルな電子 用途のための電池電源に対する電圧を約３Ｖ以下に下げる傾向にある。しかし、 電池電源が下がるにつれ、反転キャパシタを用いる従来のチャージポンプは適切 な動作を行なえないようになってきた。 図１ａには、キャパシタに接続されるＮチャネルＭＯＳトランジスタＮ１の電 気記号が示される。ＮチャネルＭＯＳトランジスタＮ１の断面図は図１ｂに、お よび上面図が図１ｃに示される。図からわかるように、参照番号１０はｐ型基板 を示す。ｎ型ドレイン領域１２およびｎ型ソース領域１４は基板１０の表面で拡 散されている。基板の上面と導電性ポリシリコンゲート１８との間に薄いゲート 酸化物層１６がある。ドレイン領域１２およびソース領域１４は互いに接続され 、さらにキャパシタＮ１の一方のプレートを規定する金属コンタクト接続２０に 接続される。ゲート１８はさらにキャパシタＮ１の他方のプレートを規定する金 属コンタクト接続２２に接続される。 図２はポリシリコンゲートに与えられる電圧Ｖ_gに比例する、図１ｂのキャパ シタ接続ＭＯＳトランジスタＮ１の３つの動作領域（蓄積、空乏、および反転） の容量値を示す。キャパシタが反転領域で動作される場合、高い周波数で容量値 が低下するという欠点がある。電源電圧が小さい場合、チャージポンプから供給 される電流出力は非常に小さくなる。チャージポンプの出力電流は以下の式で表 わされる。 Ｉ∝Ｃ×Ｖ×Ｓ ここで、 Ｃ＝ポンプ容量の値 Ｖ＝切換電源の大きさ Ｆ＝電圧Ｖが切換えられる周波数 したがって、チャージポンプの出力電流は高い周波数で動作することにより高 くすることができる。図１ｄに示されるように、キャパシタ構造の中央に拡散コ ンタクト２４を加えることにより、反転領域で動作するキャパシタの動作周波数 を増やすことができる。拡散コンタクトは少数キャリアに近い供給を生成するよ う働き、それによりキャパシタの周波数応答を向上させる。したがって、より多 くの拡散コンタクト２４を加えて周波数応答をさらに向上させるために、キャパ シタ構造をさらに分けることができる。しかし、このアプローチの欠点は、寄生 容量が増加してチャージポンプの効率を下げることである。さらに、半導体チッ プ上でキャパシタが占める面積が著しく増大するという欠点もある。 図３ａにはキャパシタに接続されるＰチャネルＭＯＳトランジスタＰ１の電気 記号が示される。図３ｂはＰチャネルＭＯＳトランジスタＰ１の断面図である。 キャパシタはｐ型基板２６で形成される。ｎウェル領域２８が基板２６に形成さ れる。ｐ型ソース領域３０およびｐ型ドレイン領域３２はｎウェル領域２８の表 面で拡散される。ｎウェル領域２８の上面と導電性ポリシリコンゲート３６との 間に薄いゲート酸化物層３４がある。さらに、ｎウェルコンタクト領域３８がｎ ウェル領域２８に形成される。コンタクト領域３８、ソース領域３０、およびド レイン領域３２は互いに接続され、さらにキャパシタＰ１の一方プレートを規定 する金属コンタクト接続４０に接続される。ゲート３６はキャパシタＰ１の他方 プレートを規定する金属コンタクト接続４２にも接続される。 図４では、ポリシリコンゲートに与えられる電圧Ｖ_gに比例して、図３ｂのキ ャパシタ接続ＭＯＳトランジスタＰ１の３つの動作領域（蓄積、空乏、および反 転）における容量値が示される。キャパシタＰ１が反転領域で動作される場合、 容量値は高い周波数で低下するという不都合がある。 図７は先行技術の単一段正電圧チャージポンプ４４の概略回路図である。チャ ージポンプ４４は１対のＮチャネルＭＯＳトランジスタＴ１およびＴ２と反転キ ャパシタＮ１（図１ｂに類似）とを含む。トランジスタＴ１のドレインおよびゲ ートは互いに接続され、電源電圧ＶＣＣを受取る入力電圧端子４６に接続される 。トランジスタＴ２のゲートおよびドレインは互いに接続され、ノードＡにおい てトランジスタＴ１のソースおよびキャパシタＮ１の一方プレートに接続される 。キャパシタＮ１の他方プレートはクロック信号φを受取るため入力ノード４８ に接続される。トランジスタＴ２のソースはチャージポンプ４４の出力端子ＯＵ Ｔに接続される。 図２のグラフを再度参照すると、反転領域において十分な容量値を得るために は、ノードＡの最初の状態としては約１ボルトである、キャパシタ接続ＭＯＳト ランジスタＮ１のしきい値電圧より大きくなければならない。したがって、反転 キャパシタの動作電圧は１ボルト以下には下げられない。他方で、蓄積キャパシ タは図２に示されるように、０ボルトで初期化され得る。反転キャパシタのさら なる不都合は、実効しきい値が「ボディ効果」によって増加することであり、こ のボディ効果はトランジスタＮ１のソースと基板との間の差動電位によって引き 起こされる。 したがって、より低い電源電圧（すなわち３Ｖ以下）で確実にかつ有効に動作 することができるよう、先行技術の欠点を克服する改良されたチャージポンプを 提供することが望ましい。チャージポンプは、消費電力を著しく下げることがで きるよう有効に動作するのが得策である。本発明はより低い電圧でかつより効率 的に動作することができる蓄積キャパシタを用いることにより改良されたチャー ジポンプを提供する。 発明の概要 本発明の目的は、先行技術のチャージポンプのすべての欠点を克服する改良さ れたチャージポンプを提供することである。 本発明の１つの目的は、より効率的にかつ効果的に電源電圧を内部的に昇圧す ることができるよう、ＥＥＰＲＯＭ装置で使用するために蓄積キャパシタを用い る改良されたチャージポンプを提供することである。 本発明の別の目的は、より低い電源電圧で確実にかつ効果的に動作することが できる改良されたチャージポンプを提供することである。 本発明のさらに別の目的は、消費電力を著しく下げることができるよう、効率 的に動作することができる改良されたチャージポンプを提供することである。 上記の目的に従って、本発明は外部電源電圧を内部的に昇圧することができる よう、ＥＥＰＲＯＭ装置で使用するために蓄積キャパシタを用いるチャージポン プ回路を設けることに関する。チャージポンプ回路は第１の入力電圧端子および より高い電圧の出力端子の間で直列に接続される複数個のＭＯＳトランジスタを 含む。第１の入力電圧端子は外部電源電圧を受取る。 蓄積キャパシタは第１のプレートおよび第２のプレートを有する。蓄積キャパ シタの第１のプレートは、隣接するそれぞれの複数個のＭＯＳトランジスタ間に 接続される。蓄積キャパシタの第２のプレートは、第２の入力端子に接続されて クロック信号を受取る。 図面の簡単な説明 本発明の上記の目的および他の利点は添付の図面と関連して以下の詳細な説明 からより明らかとなり、図面においては同様の参照番号は対応する部分を示す。 図１ａは正チャージポンプで用いるための反転キャパシタを形成するよう接続 されるＮチャネルＭＯＳトランジスタＮ１の電気記号図を示す。 図１ｂは図１ａのキャパシタ接続ＮチャネルＭＯＳトランジスタＮ１の断面図 である。 図１ｃは図１ｂのキャパシタ接続ＮチャネルＭＯＳトランジスタＮ１の上面図 である。 図１ｄは図１ｃと類似して、向上した周波数応答を有する、キャパシタ接続Ｎ チャネルＭＯＳトランジスタＮ１の上面図である。 図２は、ゲート電圧Ｖ_gに比例して、図１ｂのキャパシタ接続ＮチャネルＭＯ ＳトランジスタＮ１の３つの動作領域の容量値を示すグラフである。 図３ａは負チャージポンプで用いるための反転キャパシタを形成するよう接続 されるＰチャネルＭＯＳトランジスタＰ１の電気記号図を示す。 図３ｂは図３ａのキャパシタ接続ＰチャネルＭＯＳトランジスタＰ１の断面図 である。 図４は、ゲート電圧Ｖ_gに比例して、図３ｂのキャパシタ接続ＰチャネルＭＯ ＳトランジスタＰ１の３つの動作領域の容量値を示すグラフである。 図５ａは正チャージポンプで蓄積キャパシタとして用いられるｎウェルキャパ シタの電気記号図である。 図５ｂは本発明の原理に従って構成される、図５ａのｎウェルキャパシタの断 面図である。 図６ａは負チャージポンプの蓄積キャパシタとして使用されるｐウェルキャパ シタの電気記号図である。 図６ｂは本発明の原理に従って構成される図６ａのｐウェルキャパシタの断面 図である。 図７は図１ｂに類似した反転キャパシタを用いて、先行技術の単一段正電圧チ ャージポンプの概略回路図である。 図８は図５ｂに類似した蓄積キャパシタを用いて、本発明の単一段正電圧チャ ージポンプの概略回路図である。 図９は図６ｂに類似した蓄積キャパシタを用いる、本発明の単一段負電圧チャ ージポンプの概略回路図である。 好ましい実施例の説明 図面を参照して、本発明の好ましい実施例を以下に記載する。図５ａでは、正 電圧チャージポンプにおいて蓄積キャパシタとして使用されるｎウェルキャパシ タＮ２の電気記号図が示される。図５ｂは、本発明の原理に従って構成される、 図５ａのｎウェルキャパシタの断面図である。参照番号１１０はｎウェル領域を 示す。ｎウェル領域１１０にはｎ型ウェル電極領域１１２および１１４が形成さ れる。ｎウェル領域の上面と導電性ポリシリコンゲート１１８との間に薄いゲー ト酸化物層１１６がある。ｎ型ウェル電極領域１１２および１１４は互いに接続 され、ｎウェルキャパシタＮ２の一方プレートを規定する金属コンタクト接続１ ２０に接続される。ゲート１１８はｎウェルキャパシタＮ２の他方プレートを規 定する金属コンタクト接続１２２に接続される。 図８では、本発明の原理に従って構成される、蓄積キャパシタを用いる、単一 段正電圧チャージポンプ１４４の概略回路図が示される。チャージポンプ１４４ は１対のＮチャネルＭＯＳトランジスタＴ１０１およびＴ１０２と蓄積キャパシ タＮ２（図５ｂと類似）とを含む。トランジスタＴ１０１のゲートおよびドレイ ンは互いに接続され、入力電圧端子１４６に接続されて電源電圧ＶＣＣを受取る 。トランジスタＴ１０２のゲートおよびドレインは互いに接続され、内部ノード ＢにおいてトランジスタＴ１０１のソースおよびｎウェルキャパシタＮ２の一方 プレート１２２に接続される。キャパシタＮ２の他方プレート１２０は入力端子 １４８に接続されてクロック信号φを受取る。トランジスタＴ１０２のソースは チャージポンプ１４４の出力ノードＯＵＴに接続される。図２のグラフを参照し て、前にも述べたように、ｎウェルキャパシタＮ２は蓄積領域で動作するので、 ゼロボルトで初期化できる。 さらに、典型的には＋３．０ボルトである電源電圧ＶＣＣは約２ボルトに減じ られて電池によって電力が供給される用途において適切動作することができ、そ れにより電力損を著しく減らす。その結果、チャージポンプ１４４の効率は、反 転キャパシタを用いる従来のチャージポンプ１４４に対して約２０％増加させる ことができる。さらに、このチャージポンプ１４４は切換電源電圧のより高い周 波数で動作することができる。なぜなら蓄積領域の容量値は反転領域と違って、 より高い周波数で低下しないからである。さらに、蓄積キャパシタは「ボディ効 果」を受けない。なぜなら、ソース−基板電圧差がないからである。 図６ａを参照して、負電圧チャージポンプにおける蓄積キャパシタとして用い られるｐウェルキャパシタＰ２の電気記号が示される。図６ｂには図６ａのｐウ ェルキャパシタの断面構造図が示され、これは本発明の原理に従って構成される 。参照番号２１０は中にｎウェル領域２１２が形成されるｐ型基板を示す。ｐウ ェル領域２１４がｎウェル領域２１２に形成される。ｐウェル領域２１４には１ 対のｐウェル電極領域２１６および２１８が形成される。薄いゲート酸化物領域 ２２０がｐウェル領域の上面と導電性ポリシリコンゲート２２２との間にある。 したがって、ｐウェル領域２１４はｐ型基板２１０と電気的に絶縁される。ｐ型 ウェル電極領域２１６および２１８は互いに接続され、ｐウェルキャパシタＰ２ の一方プレートを規定する金属コンタクト接続２２４に接続される。ゲート２２ ２はキャパシタＰ２の他方プレートを規定する金属コンタクト接続２２６にも接 続される。 図９では、本発明の原理に従って構成される、蓄積キャパシタを用いる単一段 負電圧チャージポンプ２４４の概略回路図が示される。チャージポンプ２４４は １対のＰチャネルＭＯＳトランジスタＴ２０１およびＴ２０２と蓄積キャパシタ Ｐ２（図６ｂと類似）とを含む。トランジスタＴ２０１のゲートおよびソースは 互いに接続され、入力電圧端子２４６に接続されて電源電圧ＶＳＳを受取る。電 源電圧ＶＳＳは典型的には接地電位である。トランジスタＴ２０２のゲートおよ びソースは互いに接続され、内部ノードＣにおいて、トランジスタＴ２０１のド レインおよびｐウェルキャパシタＰ２の一方プレート２２６に接続される。キャ パシタＰ２の他方プレート２２４は入力ノード２４８に接続されてクロック信号 φを受取る。トランジスタＴ２０２のドレインはチャージポンプの出力端子ＯＵ Ｔにも接続される。図４のグラフを参照して、ｐウェルキャパシタＰ２は蓄積領 域で動作されるので、同様にゼロボルトで初期化されることができ、ｎウェルキ ャパシタＮ２について記載した利点と同様の利点をすべて有する。 図８および図９は単一段チャージポンプを示すが、当業者にとって多段チャー ジポンプとして形成できることは明らかである。この場合、入力電圧端子および 出力電圧端子の間に複数個のＭＯＳトランジスタが縦続接続される。対応する複 数個のキャパシタの一方端は隣接するトランジスタの間のそれぞれの内部ノード に接続される。さらに、隣接キャパシタの他方端はオーバーラップしない二相ク ロック信号φ１およびφ２によって駆動される。 以上の詳細な説明により、本発明は電源電圧を内部的に昇圧するよう、ＥＥＰ ＲＯＭ装置で使用するために蓄積キャパシタを用いる改良されたチャージポンプ を提供する。本チャージポンプは先行技術の欠点を克服してより低い電源電圧で 確実におよび効果的に動作することができる。その結果、本発明のチャージポン プの効率は向上している。なぜなら消費電力が著しく減じられるからである。 本発明の好ましい実施例と現在考えられるものが図示および記載されているが 、当業者にとって種々の変更および変形がなされることは理解でき、本発明の真 の範囲から逸脱することなく均等物に置換えられることは理解できるであろう。 さらに、その範囲を逸脱することなく本発明の教示に対して特定の状態またはも のを適用するよう多くの変形を行なうことができる。したがって、本発明は実施 するのに最良のモードと考えられて開示される特定の実施例に限定されるのでは なく、本発明は添付の請求の範囲に入るすべての実施例を含むことが意図される 。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】１９９７年１０月１３日 【補正内容】請求の範囲 １．外部電源電圧を内部的に昇圧するのに、ＥＥＰＲＯＭ装置で使用するための チャージポンプ回路であって、前記回路は 第１の入力電圧端子およびより高い電圧出力端子の間で直列に接続される複数 個のＭＯＳトランジスタ（Ｔ１０１、Ｔ１０２）を含み、第１の入力電圧端子は 外部電源電圧を受取り、さらに 各々が第１のプレートおよび第２のプレートを有するキャパシタ（Ｎ２）を含 み、 前記第１のプレートの各々は隣接するそれぞれの複数個のＭＯＳトランジスタ の間に接続され、 前記第２のプレートの各々はクロック信号を受取るために第２の入力端子に接 続され、 前記外部電源電圧は＋３．０ボルト以下において、正電位（ＶＣＣ）であり、 前記キャパシタは、ｎウェル領域（１１０）に形成される１対のｎ＋電極領域 （１１２、１１４）と、前記ｎウェル領域の上面およびポリシリコンゲート（１ １８）の間に配置されるゲート酸化物層（１１６）とを含むｎウェル蓄積キャパ シタであることを特徴とする、チャージポンプ回路。 ２．前記ＭＯＳトランジスタはＮチャネルトランジスタ（Ｔ１０１、Ｔ１０２） である、請求項１に記載のチャージポンプ回路。 ３．外部電源電圧を内部的に昇圧するのにＥＥＰＲＯＭ装置で用いるためのチャ ージポンプ回路であって、前記回路は 第１の入力電圧端子およびより高い電圧出力端子間で直列に接続される複数個 のＭＯＳトランジスタ（Ｔ２０１、Ｔ２０２）を含み、第１の入力電圧端子は外 部電源電圧を受取り、さらに 各々が第１のプレートおよび第２のプレートを有するキャパシタ（Ｐ２）を含 み、 前記第１のプレートの各々は隣接するそれぞれの前記複数個のＭＯＳトランジ スタの間に接続され、 前記第２のプレートの各々はクロック信号を受取るために第２の入力端子に接 続され、 前記外部電源電圧は実質的にゼロボルトである接地電位（ＶＳＳ）であり、 前記キャパシタは、ｎウェル領域（２１２）内のｐウェル領域（２１４）に形 成される１対のｐ＋電極領域（２１６、２１８）と、ｐウェル領域の上面および ポリシリコンゲート（２２２）の間に配置されるゲート酸化物層（２２０）とを 含むｐウェル蓄積キャパシタであり、ｎウェル領域はｐ型基板（２１０）に配置 されることを特徴とする、チャージポンプ回路。 ４．前記ＭＯＳトランジスタはＰチャネルトランジスタ（Ｔ２０１、Ｔ２０２） である、請求項３に記載のチャージポンプ回路。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 キム，ヨン・ケイ アメリカ合衆国、95051 カリフォルニア 州、サンタ・クララ、フローラ・ビスタ・ アベニュ、3560、ナンバー・215 (72)発明者 チャン，チュン・ケイ アメリカ合衆国、94086 カリフォルニア 州、サニィベイル、サン・ジュアン・ドラ イブ、627、ナンバー・４ 【要約の続き】

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．外部電源電圧を内部的に昇圧するようＥＥＰＲＯＭ装置で使用するために蓄 積キャパシタを用いるチャージポンプ回路であって、 第１の入力電圧端子とより高い電圧出力端子との間で直列に接続される複数個 のＭＯＳトランジスタ（Ｔ１０１、Ｔ１０２；Ｔ２０１、Ｔ２０２）を含み、前 記第１の入力電圧端子は外部電源電圧を受取り、さらに 各々が第１のプレートおよび第２のプレートを含む蓄積キャパシタ（Ｎ２、Ｐ ２）を含み、 前記蓄積キャパシタの前記第１のプレートの各々は隣接するそれぞれの前記複 数個のＭＯＳトランジスタの間に接続され、 前記蓄積キャパシタの前記第２のプレートの各々はクロック信号を受取るため に第２の入力端子に接続される、チャージポンプ回路。 ２．前記複数個のＭＯＳトランジスタはＮチャネルトランジスタ（Ｔ１０１、Ｔ １０２）を含む、請求項１に記載のチャージポンプ回路。 ３．前記複数個のＭＯＳトランジスタはＰチャネルトランジスタ（Ｔ２０１、Ｔ ２０２）を含む、請求項１に記載のチャージポンプ回路。 ４．前記外部電源電圧は典型的に＋３．０Ｖ以下である、正電位（ＶＣＣ）を含 む、請求項２に記載のチャージポンプ回路。 ５．前記外部電源電圧は典型的にゼロボルトである、接地電位（ＶＳＳ）を含む 、請求項３に記載のチャージポンプ回路。 ６．前記蓄積キャパシタの各々はｎウェルキャパシタ（Ｎ２）を含む、請求項４ に記載のチャージポンプ回路。 ７．前記蓄積キャパシタの各々はｐウェルキャパシタ（Ｐ２）を含む、請求項５ に記載のチャージポンプ回路。 ８．前記ｎウェルキャパシタはｎウェル領域（１１０）に形成される１対のｎ＋ 電極領域（１１２、１１４）と、前記ｎウェル領域の上面およびポリシリコンゲ ート（１１８）の間に配置されるゲート酸化物層（１１６）とを含む、請求項６ に記載のチャージポンプ回路。 ９．前記ｐウェルキャパシタはｎウェル領域（２１２）の中のｐウェル領域（２ １４）に形成される１対のｐ＋電極領域（２１６、２１８）と、前記ｐウェル領 域の上面およびポリシリコンゲート（２２２）の間に配置されるゲート酸化物層 （２２０）とを含み、前記ｎウェル領域はｐ型基板（２１０）に配置される、請 求項７に記載のチャージポンプ回路。 １０．半導体記憶装置で使用するための正電圧チャージポンプ回路であって、 第１入力電圧端子およびより高い電圧出力端子の間で直列に接続される１対の ＮチャネルＭＯＳトランジスタ（Ｔ１０１、Ｔ１０２）を含み、前記Ｎチャネル ＭＯＳトランジスタ対の各々のゲートおよびドレインは互いに接続され、前記第 １入力電圧端子は外部電源電圧を受取り、さらに 第１のプレートおよび第２のプレートを有する、蓄積キャパシタとして機能す るｎウェルキャパシタ（Ｎ２）を含み、 前記ｎウェルキャパシタの前記第１のプレートは前記ＭＯＳトランジスタ対の 接合間に接続され、 前記ｎウェルキャパシタの前記第２のプレートは第２の入力端子に接続されて クロック信号を受取る、チャージポンプ回路。 １１．前記外部電源電圧は典型的に＋３．０ボルト以下である正電位（ＶＣＣ） を含む、請求項１０に記載のチャージポンプ回路。 １２．前記ｎウェルキャパシタはｎウェル領域（１１０）に形成される１対のｎ ＋電極領域（１１２、１１４）と、前記ｎウェル領域の上面およびポリシリコン ゲート（１１８）の間に配置されるゲート酸化物層（１１６）とを含む、請求項 １１に記載のチャージポンプ回路。 １３．外部電源電圧より高く昇圧される電圧を出力端子で生成するために、半導 体集積回路で使用するためのチャージポンプ回路であって、 外部電源電圧および前記出力端子の間に接続されて前記出力端子により高い電 圧を生成するためのトランジスタチャージ手段と、 前記トランジスタチャージ手段に接続され、クロック信号に応答して前記出力 端子でより高い電圧を生成するための蓄積キャパシタ手段とを含む、チャージポ ンプ回路。 １４．前記トランジスタチャージ手段は複数個のＮチャネルトランジスタ（Ｔ１ ０１、Ｔ１０２）を含む、請求項１３に記載のチャージポンプ回路。 １５．前記トランジスタチャージ手段は複数個のＰチャネルＭＯＳトランジスタ （Ｔ２０１、Ｔ２０２）を含む、請求項１３に記載のチャージポンプ回路。 １６．前記蓄積キャパシタ手段はｎウェルキャパシタ（Ｎ２）を含む、請求項１ ４に記載のチャージポンプ回路。 １７．前記蓄積キャパシタ手段はｐウェルキャパシタ（Ｐ２）を含む、請求項１ ５に記載のチャージポンプ回路。 １８．前記ｎウェルキャパシタはｎウェル領域（１１０）に形成される１対のｎ ＋電極領域（１１２、１１４）と、前記ｎウェル領域の上面およびポリシリコン ゲート（１１８）の間に配置されるゲート酸化物層（１１６）とを含む、請求項 １６に記載のチャージポンプ回路。 １９．前記ｐウェルキャパシタはｎウェル領域（２１２）の中のｐウェル領域（ ２１４）に形成される１対のｐ＋電極領域（２１６、２１８）と、前記ｐウェル 領域の上面およびポリシリコンゲート（２２２）の間に配置されるゲート酸化物 層（２２０）とを含み、前記ｎウェル領域はｐ型基板（２１０）に配置される、 請求項１７に記載のチャージポンプ回路。