JPH11510605A - 電解湿度計およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1.薄膜電極を備える電解セルのための検出ユニットを製造するプロセスであっ て、 (a)内面と、外面と、リムを備える端部とを有する、長く、細く、透明で、中 空のガラス管を与える工程と、 (b)該中空のガラス管の該内面に、薄い貴金属膜を堆積させる工程と、 (c)光源からのビームを該中空のガラス管を通るように照射して、該中空のガ ラス管の該内面から該貴金属膜の第1および第2の部分を取り除き、スペーサ領 域によって分離される第1および第2の薄膜電極を作る工程と、 (d)該中空のガラス管の該内面全体に吸湿性膜を堆積させ、該第1および第2 の電極と該スペーサ領域とを完全に覆う工程とを包含する、プロセス。 2.前記吸湿性膜は五酸化リンである、請求項1に記載のプロセス。 3.前記貴金属膜はプラチナである、請求項1に記載のプロセス。 4.前記ビームを照射する工程(c)と同時に、前記中空のガラス管に流体を通過 させる工程をさらに包含する、請求項1に記載のプロセス。 5.前記ビームを照射する工程(c)は、前記光源を、前記中空のガラス管に関し て回転させ、並進させる工程を包含する、請求項1に記載のプロセス。 6.前記中空のガラス管の前記端部の周りおよび前記リム上に貴金属コーティン グを堆積させる工程(e)をさらに包含する、請求項1に記載のプロセス。 7.前記光源はレーザである、請求項1に記載のプロセス。 8.前記中空のガラス管の内面上に貴金属膜を堆積させる工程(b)の前に、該中 空のガラス管の該内面上に中間層を堆積させ、該中空のガラス管のうち、前記第 1および第2の膜電極が形成される部分から該中間層の部分を取り除く工程をさ らに包含する、請求項1に記載のプロセス。 9.前記中間層はフォトレジストであり、前記光源は紫外光を放射する、請求項 8に記載のプロセス。 10.前記貴金属膜は、蒸着およびスパッタリングのうちの一方によって前記中空 のガラス管の前記内面上に堆積される、請求項1に記載のプロセス。 11.薄膜電極を備える電解セルのための検出ユニットを製造するプロセスであっ て、 (a)内面と、外面と、リムを備える端部とを有する、長く、細く、透明で、中 空のガラス管を与える工程と、 (b)該中空のガラス管の該内面に、薄い貴金属膜を堆積させる工程と、 (c)レーザ源からのレーザビームを該中空のガラス管を通して該貴金属の第1 および第2の部分に照射し、該中空のガラス管の該内面から該貴金属膜の該第1 および第2の部分を取り除き、スペーサ領域によって分離される第1および第2 の薄膜電極を作る工程と、 (d)該中空のガラス管の該内面全体に吸湿性膜を堆積させ、該第1および第2 の電極と該スペーサ領域とを完全に覆う工程とを包含する、プロセス。 12.前記貴金属膜を堆積させる工程(b)の前に、光を吸収する成分を貴金属に混 ぜる工程をさらに包含する、請求項11に記載のプロセス。 13.前記ビームを照射する工程(c)と同時に、前記中空のガラス管に流体を通過 させる工程をさらに包含する、請求項11に記載のプロセス。 14.前記ビームを照射する工程(c)は、前記レーザ源を、前記中空のガラス管に 関して回転させ、並進させる工程を包含する、請求項11に記載のプロセス。 15.前記中空のガラス管の前記端部の周りおよび前記リム上に貴金属コーティン グを堆積させる工程(e)をさらに包含する、請求項11に記載のプロセス。 16.薄膜電極を備える電解セルのための検出ユニットを製造するプロセスであっ て、 (a)内面と、外面と、リムを備える端部とを有する、長く、細く、透明で、中 空のガラス管を与える工程と、 (b)該中空のガラス管の該内面上に直接中間層を堆積させる工程と、 (c)光源からのビームを該中空のガラス管を通して該中間層の第1のセグメン トに照射し、該中空のガラス管の該内面から該中間層の該第1のセグメントを取 り除き、その一方で、該中空のガラス管の該内面に該中間層の残りのセグメント を残す工程と、 (d)該中空のガラス管の該内面上および該中間層の該残りのセグメントの上に 薄い貴金属膜を堆積させる工程と、 (e)該光源からのビームを該中空のガラス管を通して該中間層の該残りのセグ メントに再照射し、該中間層の該残りのセグメントと、該中間層の該残りのセグ メントの上の該貴金属膜とを取り除き、第1の薄膜電極と、スペーサ領域によっ て該第1の電極から分離される第2の薄膜電極とを作る工程と、 (f)該中空のガラス管の該内面全体に吸湿性膜を堆積させ、該第1および第2 の電極と該スペーサ領域とを完全に覆う工程とを包含する、プロセス。 17.前記ビームを照射する工程(c)および前記ビームを再照射する工程(e)と同時 に、前記中空のガラス管に流体を通過させる工程をさらに含む、請求項16に記載 のプロセス。 18.前記ビームを照射する工程(c)および前記ビームを再照射する工程(e)は、前 記光源を、前記中空のガラス管に関して回転させ、並進させる工程を包含する、 請求項16に記載のプロセス。 19.前記中空のガラス管の前記端部の周りおよび前記リムの上に貴金属コーティ ングを堆積させる工程(g)をさらに包含する、請求項16に記載のプロセス。 20.前記中間層はフォトレジストであり、前記光源は紫外光を放射する、請求項 16に記載のプロセス。 21.前記吸湿性膜は五酸化リンである、請求項16に記載のプロセス。 22.前記貴金属膜はプラチナである、請求項16に記載のプロセス。
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