JPH11506194A - 新規なセラミック点火器とその使用方法 - Google Patents

新規なセラミック点火器とその使用方法

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Abstract

(57)【要約】 本発明は、(i)ペアの導電性端部、及び(ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物からなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、(b)炭化ケイ素と炭化ホウ素からなる群より選択された約10〜約45体積%の半導電性材料、及び(c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、窒化チタン、及びこれらの混合物からなる群より選択された約5〜約25体積%の金属系導体、を含んでなり、理論密度の少なくとも約95%の密度を有し、導電性端部の間に配置されたホットゾーン、(iii)ホットゾーンがその上に配置された支持体、を備え、ホットゾーンの少なくとも一部が0.019インチ以下の厚さを有するセラミック点火器に関する。

Description

【発明の詳細な説明】 新規なセラミック点火器とその使用方法 発明の背景 セラミック材料は、ガス燃焼炉、ストーブ、衣類ドライヤーの点火器として大 きな成功を収めている。セラミック点火器は、一般に、導電性の端部と高抵抗性 の中央部を含んでなるU形を有する。点火器の端部が、電源リード線に接続され ると、高抵抗性部分(又は「ホットゾーン」)が加熱する。 一つの通常の点火器のMini−IgniterTM(ニューハンプシャー州の ミルホールドにあるノートン社から入手可能)は、8ボルトから48ボルトの印 加用に設計されており、窒化アルミニウム(AlN)、二ケイ化モリブデン(M oSi2)、及び炭化ケイ素(SiC)を含むホットゾーン組成と0.060イ ンチ×0.030インチのホットゾーン横断面を有する。Mini−Ignit erTMの評判が高まると、通常の24ボルトを上回る定格電圧の小型点火器を必 要とする多くの用途が出現してきた。しかしながら、このような用途に使用する と、24VのMini−IgniterTMは温度の暴走を来たし、このため、コ ントロールシステムの中に通常の経路電圧(即ち、120ボルト)を降圧する変 圧器が必要となる。したがって、高価な変圧器を必要とせず、しかも、経路電圧 の変動が予想される用途や加熱工業によって提示される下記の要件を有する、約 240Vまでの印加電圧として定格された点火器に対するニーズが存在している 。 設計温度までの時間 5秒未満 設計電圧の85%における最低温度 1100℃ 設計電圧の100%における設計温度 1350℃ 設計電圧の110%における最高温度 1500℃ ホットゾーンの長さ 1.5インチ未満 パワー(W) 65〜100 これらの高電圧の印加に対して用いられるアンペア数は、24ボルトにおいて 用いられるもの(即ち、約1.0アンペア)と同等であろうため、高められた電 圧で機能し得ることは、点火器の抵抗を高めることによって与えられるはずであ る。 Mini−IgniterTMのホットゾーンは、高い抵抗性の材料(AlN) 、中位の抵抗性の材料(SiC)、及び高い導電性の材料(MoSi2)を含む ため、ホットゾーンの抵抗率を高めるための一つの自明な仕方は、AlNの含有 率を増やしながらMoSi2とSiCの含有率を減らすことである。この目的に 関し、約76体積%のAlN、9体積%のMoSi2、及び15体積%のSiC を含む試験的組成物の粉末成形体が作成され、割合い高い温度(即ち、約181 5C)でHIP処理された。得られたセラミックは、設計温度に到達するのが遅 いだけでなく、比較的高いHIP温度が比較的粗いグレインを生じさせ、これが その組成材料に顕著な負の温度抵抗係数(NTCR)を与え、わずか1350℃ を超えると温度の暴走をもたらすといった点で不満足であることが分った。負の 温度抵抗係数は、点火器の温度が高くなるとその抵抗が減少することを意味する 。この減少は、仮に抵抗が一定な場合よりも点火器を高温にする。負の温度抵抗 係数が極端であると、点火器は定格電圧の85%で昇温が遅くて低温であり、1 10%で不安定である。実際問題として、このような点火器は定格の110%未 満で暴走することがあり、その場合、一定電圧であっても、破損(焼き切れ)が 生じるまで、電流と温度が増加し続ける。これとは逆に、点火器は 、正の温度抵抗係数(PTCR)又は中位のみの負の温度抵抗係数を有すること が好ましい。正の抵抗温度係数を有するセラミックは、その温度が1000Cか ら1350Cまで高められると抵抗率が増加するのに対し、中位の負の温度抵抗 係数を有するセラミックは、その温度が1000Cから1350Cまで高められ ると、その抵抗率の減少は25%を下回る。正の温度抵抗係数又は中位の負の温 度抵抗係数のいずれも、電圧の増加に伴ってより漸増的な昇温を可能にするであ ろうが、このことは、先に説明したように、高電圧の印加のためには重要であり 、点火器は広い電圧範囲にわたって安定に動作しなければならないからである。 米国特許第5085804号(以降、「Washburn特許」又は「Was hburn」と称する)とその関連の米国特許第5405237号は、 (a)5〜50体積%のMoSi2、 (b)50〜95体積%の炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホ ウ素、酸化アルミニウム、マグネシウムアルミネート、酸窒化ケイ素アルミニウ ム、及びそれらの混合物からなる群より選択された材料、 を含んでなるセラミック点火器のホットゾーンに適する組成物を開示している。 Washburn特許は、0.06インチ×0.024インチの横断面を有し、 50体積%のAlN、42.2体積%のSiC、及び7.8体積%のMoSi2 からなるホットゾーンを備えた220V点火器を開示しているが、ホットゾーン の低いMoSi2のレベルが、この点火器がその設計温度に到達する速度を大き く制約するだけでなく、253ボルト(定格電圧230Vの110%)でその点 火器を不安定にする顕著な負の温度抵抗係数をもたらす。 したがって、上記に説明した高電圧での性能要件を満たすセラミック点火器の 材料に対してニーズが存在している。 発明の要旨 本発明にしたがうと、 (i)ペアの導電性端部、及び (ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物か らなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素、炭化ホウ素、及びこれらの混合物からなる群より選択さ れた約10〜約45体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、炭化タングステン、窒 化チタン、及びこれらの混合物からなる群より選択された約5〜約25体積%の 金属系導体、を含んでなるホットゾーン、 を備えたセラミック点火器が提供され、ホットゾーンの少なくとも一部は0.0 19インチ以下の厚さを有する。好ましくは、本点火器は、ホットゾーンがその 上に配置された支持体をさらに備え、その支持体は、支持体とその上に配置され たホットゾーンの合計の厚さで少なくとも0.020インチの厚さを有する。 また、本発明にしたがうと、 (A)(i)ペアの導電性端部(32,33)、及び (ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物か らなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素、炭化ホウ素、及びこれらの混合物からなる群より選択された 約10〜約45体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、炭化タングステン、窒化チ タン、及びこれらの混合物からなる群より選択された約9〜約14体積%の金属 系導体、 を含んでなる点火器を提供し、 ここで、ホットゾーンの少なくとも一部が0.00015〜0.00090平方 インチの横断面を有し、 (B)点火器の導電性端部の間に200V〜240Vの電圧を印加し、それによ って、5秒間未満で抵抗性部分を約1350Cまで加熱させ、同時に、ホットゾ ーンの温度が1000Cから1350Cまで昇温するときにホットゾーンの抵抗 率が25%を超えて増加しない、 各工程を含む加熱方法が提供される。 図面の説明 図1と2は、本発明の好ましい態様のそれぞれ正面図と斜視図である。 図3は、本発明の好ましい態様の分解図である。 図4は、比較例1と実施例1の電気的性能を抵抗と温度に関して示す。 発明の説明 通常のWashburn点火器のホットゾーンに支持を与えることが、その厚 さを安全に低減することを可能にするのに十分な構造的支持をホットゾーンに与 え、それによって、220〜240Vの定格印加の要件を満たす電気特性をホッ トゾーンにもたらすことが予想外に見出された。即ち、高電圧点火器に必要な速 度、抵抗、及び構造的完全性を提供する狭い組成/横断面の範囲が見出された。 本発明の構成は、Washburnに照して予想外である。Washburn は、ホットゾーンの厚さの実際上の下限は0.020インチであると教示してい るが、本発明の構成はその下限をも下回る厚さを有する。 また、本発明の実施に係る方法も、Washburnに照して予想外である。 Washburnは「電気抵抗率(Washburn組成物の)が数桁のオーダ ーで変化し得るため、電圧の印加を受け入れるには、構造よりも、材料の電気特 性が設計されることができる」(Washburn特許の7欄50〜52行を参 照されたい)と教示している。このように、Washburnは、高電圧点火器 に望まれる電気特性を提供するために、横断面ではなく組成が変化されるべきで あると教示している。Washburn組成の限定範囲と組み合わされた割合に 薄いホットゾーン(即ち、0.00015〜0.00090平方インチ)が所望 の高電圧特性をもたらすとの示唆は全くない。事実として、Washburnは 、提案(6欄3〜6行を参照されたい)と実施例(7欄41,59,64行、1 0欄61行、12欄3行)によって割合に厚い形状が望ましいことを教示してい る。これに対し、本発明は、主として、Washburn特許の下限の近く又は それを下回るホットゾーン横断面を用いることによって高電圧性能の要件を達成 した。また、220V点火器についてのWashburnの組成変化は不都合に 遅い速度をもたらすため、単に抵抗を高める(例えば、薄いホットゾーンを提供 することにより)ことが、許容できる速度の高電圧点火器を生み出すとの示唆も 全くない。また、薄いホットゾーン横断面を有するその他のセラミック点火器に 係る刊行物(例えば、米国特許第4804823号)も200〜240Vの印加 におけるそれらの適性について示唆をしていない。 図1に示したように、本発明の1つの好ましい点火器は、ブリッジ11によって 電気接続された2つの脚10を備えたヘアピン形状を有し、ここで、2つの脚の各 々は、内側部分12、中央部分13、外側部分14を有し、ブリッジから同じ方向に延 び、中央部分13がブリッジに電気接続してホットゾーン組成を有し、内側部分と 外側部分が支持体を構成する。 図2に示したように、この設計の好ましい点火器は、電気リード線に取り付け るためのペアの導電性端部32と33、ホットゾーン34と35と36、電気絶縁性支持セ クション37と38と39を有する。ペアのリード線がそれぞれの導電性端部に取り付 けられ、それらに電圧が印加されると、第1リード線から第1導電性部分32とさ らにホットゾーン34〜36のそれぞれを順次に電流が走り(それによってホットゾ ーンの温度が高くなる)、最後に第2導電性端33を通って第2リード線に出る。 薄い横断面を有するホットゾーンの部分(例えば、図2のホットゾーン34と36 )は、約0.005インチ〜0.030インチ、好ましくは約0.010インチ 〜0.019インチの厚さを有する。これらの部分の幅は、一般に、0.020 インチ〜0.050インチ、好ましくは0.025インチ〜0.030インチ、 より好ましくは約0.030インチである。2つの脚のヘアピン設計を採用する 1つの好ましい態様において、ホットゾーンが、各脚の中に配置され、一般に、 長さが約0.5インチ〜1.2インチ(1つの脚で)、好ましくは長さが約0. 75インチ〜1.0インチ(1つの脚で)、幅が約0.020インチ〜0.05 0インチ、奥行が約0.030インチである。高電圧の印加のため(即ち、20 0V〜240V、より一般には220V〜240V)、これらのホットゾーンの 各々は、0.00015〜0.00090平方インチ、好ましくは 0.00030〜0.00057平方インチ、より好ましくは0.00045〜 0.00051平方インチの横断面を有する。 図2に示された部分34と35と36は抵抗性と説明されるが、これらのセクション の1つだけが必要な横断面を有する抵抗部分であることを必要とすることが明ら かなはずである。例えば、ある態様において、部分35(「ブリッジ」とも称され る)は、ブリッジ35を火炎センサーとして機能するのを可能にする、導電性端部 32と33に同じ組成を有することができる。別な態様において、ブリッジ35は、同 様な抵抗性の又はより高い抵抗性の材料であり、点火器の温度プロフィルをコン トロールするのを助長する。 ホットゾーン34〜36は、ガス点火のための機能的加熱を与える。好ましい態様 において、米国特許第5045237号(この特許は全体にわたって本願でも参 考にして取り入れられている)に開示の窒化アルミニウム、二ケイ化モリブデン 、炭化ケイ素の成分割合が使用される。Washburn特許に指摘があるよう に、AlN−SiC−MoSi2系は、約0.001〜約100Ω・cmの抵抗 率を有する点火器を生成し得る変動性のあるものである。これらのホットゾーン は、一般に、1000〜1500℃の温度範囲で0.04Ω・cm〜100Ω・ cm、好ましくは0.2Ω・cm〜100Ω・cmの抵抗率を有する。200〜 240Vの電圧を用いる用途において、ホットゾーンは、好ましくは、約50〜 80体積%の窒化アルミニウム、約9〜14体積%のMoSi2、10〜45体 積%のSiCを含んでなり、0.00015〜0.00090平方インチの横断 面を有する。より好ましくは、約60〜70体積%の窒化アルミニウム、約10 〜12体積%のMoSi2、約20〜25体積%のSiCを含んでなり、0.0 0030〜0.00057平方インチの横断面を有する。最も好ましくは、約6 4体積%のA lN、11体積%のMoSi2、25体積%のSiCを含んでなり、0.000 45〜0.00051平方インチの横断面を有する。割合に低い電圧の印加がこ れらのホットゾーンが使用されるときも、それぞれが許容できる程度で機能した 。しかしながら、13〜14体積%の二ケイ化モリブデンの含有率と0.000 21〜0.00042平方インチの横断面を有するホットゾーンは、わずか10 0Vで1350Cに到達し、このため230Vでは焼き切れると思われ、9体積 %の二ケイ化モリブデン含有率と0.00060平方インチを有するホットゾー ンは230Vで1000Cに到達することができず、11〜12体積%の二ケイ 化モリブデン含有率と0.00045〜0.00051平方インチの横断面を有 するホットゾーンは良好な230Vでの性能を示した。 好ましくは、最初の粉末の粒子サイズと緻密化後のホットゾーンのグレインサ イズ(d50)の双方が、Washburn特許に記載のものと同等である。ある 態様において、緻密体のホットゾーン構成部分の平均グレインサイズは次の通り であり、即ち、a)電気絶縁性材料(即ち、AlN)は約2〜10μm、b)半 導電性材料(即ち、SiC)は約1〜10μm、c)金属導体(即ち、MoSi2 )は約1〜10μmである。 導電性端部32と33は、リード線の取り付けを可能にする。好ましくは、それら もまたAlN,SiC,MoSi2を含んでなる。ここで、それらはホットゾー ンよりもかなり高い割合の導電性と半導電性材料(即ち、SiCとMoSi2) を含む。したがって、それらは、一般に、ホットゾーン組成物の抵抗率の約1/ 5〜1/20を有するに過ぎなく、ホットゾーンで期待されるレベルまでは昇温 しない。それらは、好ましくは、約20〜60体積%の窒化アルミニウム、約2 0〜70体積%のMoSi2、及び特に1:1〜約1 :3の体積比のSiCを含んでなる。より好ましくは、導電性端部は、約60体 積%のAlN、20体積%のSiC、20体積%のMoSi2を含んでなる。好 ましい態様において、導電性端部32と33の寸法は0.5インチ(1つの脚の長さ )×0.030インチ(幅)×0.030インチ(厚さ)である。 支持体37〜39の役割は、抵抗性部分34〜36に機械的支持を与えることである。 薄いホットゾーン部分を支持する支持体37と39は、一般に、ホットゾーン部分34 と36と同様な長さと幅、及び0.015インチ〜0.020インチの厚さを有し 、ホットゾーンとそれを支える支持体の合計厚さは0.020インチ〜0.05 0インチである。好ましくは、支持体は、少なくとも10E+8オームの抵抗と 少なくとも約150MPaの強度を有する電気絶縁性セラミックからなる。支持 体に適するセラミック組成には、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素の 少なくとも1種を少なくとも90体積%含む組成が挙げられる。支持体が使用さ れる場合、支持体とそれに隣接するホットゾーンの熱膨張と緻密化の速度がマッ チするように注意する必要がある。例えば、91体積%の窒化アルミニウム、6 体積%のイットリア、2体積%のアルミナ、及び1体積%のシリカからなる支持 体に通常のWashburnホットゾーン組成を組み合わせると相容れない緻密 化速度をもたらし、クラックを発生させることが経験された。また、アルミナを 支持用材料の主成分として選択すると、ホットゾーン組成物を熱間静水圧プレス する際に使用されるガラス媒体と反応し、また、熱膨張の不一致から引き起こす クラックを生じさせることが経験された。AlN−MoSi2−SiC系を用い る態様において、少なくとも90体積%の窒化アルミニウムと10体積%以下の アルミナを含む支持体が、適合性のある熱膨張と緻密化特性を呈した。したがっ て、窒化アルミニウム、窒 化ホウ系、及び窒化ケイ素の少なくとも1種を少なくとも90体積%と、アルミ ナ、イットリア、マグネシア、シリカ、及びカルシアからなる群より選択された 焼結助剤を1〜10体積%で含んでなる支持体が、本発明で採用するのに適する と考えられる。好ましい態様において、支持体37〜39の寸法は長さ1.00イン チ×幅0.030インチ×厚さ0.030インチである。 また、支持体はホットゾーンを酸化から防ぐのに役立つことが分かっている。 ある態様において、図1に示したように、各脚のホットゾーンは、1)隣接する ホットゾーンと実質的に同じ幅と長さを有する外側支持体、及び2)ブリッジま で延びて隣接するホットゾーンと実質的に同じ幅を有する内側支持体、によって 支持され、それによって、脚の間に含められたホットゾーンの表面積の少なくと も約60%について酸化抵抗性バリヤを提供する。このような酸化抵抗性点火器 は、30000サイクルを超えても1%未満のアンペア数の増加を示すに過ぎな いことが見出されている。これに対し、同じ組成を有するが支持体を有しない通 常の点火器は、30000サイクルを超えると約15%のアンペア数の増加を示 すことが経験されている。 本発明の好ましい点火器の導電性端部にリード線が取り付けられ、220V〜 240Vの電圧がリード線を介して印加され、高抵抗性部分が、約5秒間以内で 約1350Cまで昇温し、図2にAと表示した点火器の上側部分に白熱の輝きを 生じさせる。ここで、ある態様において、この白熱が、領域Bと表示した下方の 領域に移動することがある。この移動の理由は、約1100Cを上回る温度で十 分な電流が、窒化アルミニウムを主成分とする支持体38を直接横切って流れ、設 計の電流路を短絡するためと考えられる。窒化アルミニウム粉末(室温で約10 E+6Ω・cmの抵抗率を有する電気絶 縁材)が比類なく高いレベルの金属不純物を含んでいたか、ガラスによるHIP プロセスが窒化アルミニウムを主成分とする支持体に不純物を導入したかが不明 であった。この現象の理由の如何によらず、図2に破線で示したように、支持体 38に厚さ約0.020インチ〜0.050インチのスロット40を設けることが、 本発明の点火器に有意な短絡が生成するのを首尾よく防ぐことが見出された。図 1に示したように、ある態様において、スロット15はブリッジ11まで延びる。 また、本発明によると、本発明を実施する好ましい方法が提供され、タイルの 横断面が電気回路を表わすように、所定の組成を有するタイルが配置される。本 発明を実施する1つの好ましいプロセスにおいて(図3に示すように)、導電性 部分22と絶縁性部分23を有する第1タイル21が、平坦な表面(図示せず)の上に 載置され、抵抗性部分のみを有する第2タイル24が第1タイルの上に載置される 。次いで絶縁性部分26と抵抗性部分27を有する第3タイル25が、抵抗性セクショ ン27が絶縁性セクション23の上に位置するように、第2タイル24の上に載置され る。次いで抵抗性部分のみを有する第4タイル28が第3タイル25の上に載置され る。最後に、絶縁性部分30と導電性部分31を有する第4タイル29が、絶縁性部分 30が抵抗性部分27の上に位置するように、第4タイルの上に載置される。次いで 個々のタイルが接合するようにこのラミネートが緻密化される。次いで緻密化し たラミネートが、その奥行にそってスライスされ、複数の個々のセラミック点火 器が生成する。 本発明の実施において、図3に示した個々の未焼結(グリーン)タイルは、セ ラミックラミネートの全部の層を有する(例えば、タイル25は絶縁性部分26と抵 抗性部分27を有する)。あるいは、タイルは一部の層のみからなることもできる 。後者の場合、層の一部を 含むタイルは、特性の付随的低下を何ら伴うことなく一体に接合され得ることが 見出されている。 図3は、硬いグリーンタイルとして高抵抗性部分24と28を示しているが、この 他に、これらの部分は、テープキャスティング、ロール圧縮、スライス後の中温 プレス、又はスクリーン印刷によっても作成可能である。 セラミック構成部分の加工(即ち、グリーン体の作成と焼結条件)と、緻密化 したセラミックからの点火器の調製は、任意の通常方法によって行うことができ る。一般に、このような方法は、Washburn特許に実質的にしたがって行 われる。好ましい態様において、グリーンのラミネートは、Washburn特 許に開示されているように、ガラス媒体中の熱間静水圧プレス(HIP)によっ て緻密化される。この緻密化は、ホットゾーンが理論密度の少なくとも95%、 好ましくは少なくとも99%の密度を有するセラミック体を生成する。 本発明の点火器は、炉や調理器具のようなガス燃料の点火用、ベースボードヒ ーター、ボイラー、ストーブ上部などの多くの用途に使用することができる。 以下、本発明の実施態様を、限定されない実施例と比較例によってさらに説明 する。本発明の目的に関し、「安定な」点火器とは、所定の電圧で一定の抵抗率 と一定の温度を維持するものである。 比較例1 この比較例は、ホットゾーンが通常のWashburn組成と通常の(即ち、 厚過ぎる)横断面を有する点火器の230Vにおける挙動を説明する。 約66〜71体積%のAlN、8.5〜9体積%のMoSi2、 及び20.5〜25体積%のSiCを含むホットゾーン組成物を高剪断ミキサー 中で配合した。また、約20体積%のAlN、約20体積%のMoSi2、及び 約60体積%のSiCを含む低温ゾーン組成物を同様にして配合した。これらの 粉末配合物を、ホットプレスの空間の中に隣接させて充填し、ホットプレスに供 し、理論密度の約60%のビレットを作成した。次いでこのビレットを機械加工 し、約3.00インチ×2.00インチ×0.20インチの2ゾーンのタイルを 作成した。次いでこの機械加工したタイルを熱間静水圧プレスに供し、タイルを 1790Cの30000psiに1時間保持した。このHIP処理の後、緻密な タイルをヘアピン形状(即ち、1つの脚の長さ1.5インチ×厚さ0.030イ ンチ×脚の幅0.05インチ、スロットの幅0.060インチ)で、約0.05 0インチ×0.030インチのホットゾーン横断面と1つの脚につき約1.0イ ンチのホットゾーン長さを有する点火器に機械加工した。 得られた点火器の230Vにおける電気性能を抵抗と温度について図4に示す 。約230Vにおいて点火器の温度が上り続け(即ち、暴走)、点火器が焼き切 れを生じた。 例1 図2に示した設計に実質的にしたがってグリーンのラミネートを作成した。ホ ットゾーンは66体積%のAlN、25体積%のSiC、及び11体積%のMo Si2からなった。支持体部分は96体積%の窒化アルミニウムと4体積%のア ルミナからなった。導電性端部は20体積%のAlN、60体積%のSiC、及 び20体積%のMoSi2からなった。次いでグリーンのラミネートを約180 0℃で約1時間にわたってガラス式HIP処理をすることによって緻密化させ、 セラミックブロックを作成した。次いでそのブロック をその幅にそってスライスし、寸法が1.5インチ×0.050×0.030イ ンチの複数の加熱面エレメントを作成した。ホットゾーンは、約0.015イン チ×0.030インチの横断面と約1.0インチの1つの脚の長さを有した。0 .050インチ×0.030インチ×1.40インチのスロットを、中央の絶縁 性支持体部分に機械加工した。 適当なリード線を、加熱面エレメントの導電性部分に取り付け、約230Vの 電圧を印加した。得られた点火器の230Vにおける電気性能を、抵抗と温度に ついて図4に示す。この点火器は、安定な加熱性能を示し、約4秒間で1100 Cの設計温度に到達した。 例2 この例は、ホットゾーンが過度に多い二ケイ化モリブデンを有する点火器の2 30Vにおける挙動を示す。 ホットゾーンが15体積%のモリブデン含有率を有する以外は例1に実質的に したがって点火器を作成した。この点火器は、わずか24Vで約1300Cの動 作温度に到達した。この性能は24V点火器としては許容できるが、この点火器 は230Vでは焼き切れるであろうと考えられる。 例3 この例は、ホットゾーンが不十分な二ケイ化モリブデンを有する点火器の23 0Vにおける挙動を示す。 ホットゾーンがわずか6体積%のモリブデン含有率を有した以外は例1に実質 的にしたがって点火器を作成した。 この点火器は約12秒後に動作温度に到達したが240Vで暴走の挙動を呈し た。 例4 この例は、脚の間にスロットを有しない点火器の230Vにおけ る挙動を示す。 中央の窒化アルミニウムのセクションにスロットを設けない以外は例1に実質 的にしたがって点火器を作成した。 この点火器は、定格電圧の85%で所定の温度まで迅速に昇温した(即ち、1 100Cまで5秒間)。しかしながら、電圧をさらに高めると、点火器の最高温 度部分が導電性領域の方へと下方に移動することが観察され、点火器の破損が生 じた。
【手続補正書】特許法第184条の8第1項 【提出日】1997年12月10日 【補正内容】 明細書 新規なセラミック点火器とその使用方法 発明の背景 セラミック材料は、ガス燃焼炉、ストーブ、衣類ドライヤーの点火器として大 きな成功を収めている。セラミック点火器は、一般に、導電性の端部と高抵抗性 の中央部を含んでなるU形を有する。点火器の端部が、電源リード線に接続され ると、高抵抗性部分(又は「ホットゾーン」)が加熱する。 一つの通常の点火器のMini−IgniterTM(ニューハンプシャー州の ミルホールドにあるノートン社から入手可能)は、8ボルトから48ボルトの印 加用に設計されており、窒化アルミニウム(AlN)、二ケイ化モリブデン(M oSi2)、及び炭化ケイ素(SiC)を含むホットゾーン組成と1.524m m×0.762mm(0.060インチ×0.030インチ)のホットゾーン横 断面を有する。Mini−IgniterTMの評判が高まると、通常の24ボル トを上回る定格電圧の小型点火器を必要とする多くの用途が出現してきた。しか しながら、このような用途に使用すると、24VのMini−IgniterTM は温度の暴走を来たし、このため、コントロールシステムの中に通常の経路電圧 (即ち、120ボルト)を降圧する変圧器が必要となる。したがって、高価な変 圧器を必要とせず、しかも、経路電圧の変動が予想される用途や加熱工業によっ て提示される下記の要件を有する、約240Vまでの印加電圧として定格された 点火器に対するニーズが存在している。 設計温度までの時間 5秒未満 設計電圧の85%における最低温度 1100℃ 設計電圧の100%における設計温度 1350℃ 設計電圧の110%における最高温度 1500℃ ホットゾーンの長さ 38.1mm(1.5インチ)未満 パワー(W) 65〜100 これらの高電圧の印加に対して用いられるアンペア数は、24ボルトにおいて 用いられるもの(即ち、約1.0アンペア)と同等であろうため、高められた電 圧で機能し得ることは、点火器の抵抗を高めることによって与えられるはずであ る。 Mini−IgniterTMのホットゾーンは、高い抵抗性の材料(AlN) 、中位の抵抗性の材料(SiC)、及び高い導電性の材料(MoSi2)を含む ため、ホットゾーンの抵抗率を高めるための一つの自明な仕方は、AlNの含有 率を増やしながらMoSi2とSiCの含有率を減らすことである。この目的に 関し、約76体積%のAlN、9体積%のMoSi2、及び15体積%のSiC を含む試験的組成物の粉末成形体が作成され、割合い高い温度(即ち、約181 5℃)でHIP処理された。得られたセラミックは、設計温度に到達するのが遅 いだけでなく、比較的高いHIP温度が比較的粗いグレインを生じさせ、これが その組成材料に顕著な負の温度抵抗係数(NTCR)を与え、わずか1350℃ を超えると温度の暴走をもたらすといった点で不満足であることが分った。負の 温度抵抗係数は、点火器の温度が高くなるとその抵抗が減少することを意味する 。この減少は、仮に抵抗が一定な場合よりも点火器を高温にする。負の温度抵抗 係数が極端であると、点火器は定格電圧の85%で昇温が遅くて低温であり、1 10%で不安定である。実際問題として、このような点火器は定格の110%未 満で暴走することがあり、その場合、一定電圧であっても、破損(焼き切れ)が 生じるまで、電流と温度が増加し続ける。これとは逆に、点火器は 、正の温度抵抗係数(PTCR)又は中位のみの負の温度抵抗係数を有すること が好ましい。正の抵抗温度係数を有するセラミックは、その温度が1000℃か ら1350℃まで高められると抵抗率が増加するのに対し、中位の負の温度抵抗 係数を有するセラミックは、その温度が1000℃から1350℃まで高められ ると、その抵抗率の減少は25%を下回る。正の温度抵抗係数又は中位の負の温 度抵抗係数のいずれも、電圧の増加に伴ってより漸増的な昇温を可能にするであ ろうが、このことは、先に説明したように、高電圧の印加のためには重要であり 、点火器は広い電圧範囲にわたって安定に動作しなければならないからである。 米国特許第5085804号(以降、「Washburn特許」又は「Was hburn」と称する)とその関連の米国特許第5405237号は、 (a)5〜50体積%のMoSi2、 (b)50〜95体積%の炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化ホ ウ素、酸化アルミニウム、マグネシウムアルミネート、酸窒化ケイ素アルミニウ ム、及びそれらの混合物からなる群より選択された材料、 を含んでなるセラミック点火器のホットゾーンに適する組成物を開示している。 Washburn特許は、1.524mm×0.6096mm(0.06インチ ×0.024インチ)の横断面を有し、50体積%のAlN、42.2体積%の SiC、及び7.8体積%のMoSi2からなるホットゾーンを備えた220V 点火器を開示しているが、ホットゾーンの低いMoSi2のレベルが、この点火 器がその設計温度に到達する速度を大きく制約するだけでなく、253ボルト( 定格電圧230Vの110%)でその点火器を不安定にする顕著な負の温度抵抗 係数をもたらす。 したがって、上記に説明した高電圧での性能要件を満たすセラミック点火器の 材料に対してニーズが存在している。 発明の要旨 本発明にしたがうと、 (i)ペアの導電性端部、及び (ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物か らなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素、炭化ホウ素、及びこれらの混合物からなる群より選択さ れた約10〜約45体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、炭化タングステン、窒 化チタン、及びこれらの混合物からなる群より選択された約5〜約25体積%の 金属系導体、を含んでなるホットゾーン、 を備えたセラミック点火器が提供され、ホットゾーンの少なくとも一部は0.4 826mm(0.019インチ)以下の厚さを有する。好ましくは、本点火器は 、ホットゾーンがその上に配置された支持体をさらに備え、その支持体は、支持 体とその上に配置されたホットゾーンの合計の厚さで少なくとも0.508mm (0.020インチ)の厚さを有する。 また、本発明にしたがうと、 (A)(i)ペアの導電性端部(32,33)、及び (ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物か らなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素、炭化ホウ素、及びこれらの混合物からなる群よ り選択された約10〜約45体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、炭化タングステン、窒化チ タン、及びこれらの混合物からなる群より選択された約9〜約14体積%の金属 系導体、 を含んでなる点火器を提供し、 ここで、ホットゾーンの少なくとも一部が0.0967〜0.5806mm2( 0.00015〜0.00090平方インチ)の横断面を有し、 (B)点火器の導電性端部の間に200V〜240Vの電圧を印加し、それによ って、5秒間未満で抵抗性部分を約1350℃まで加熱させ、同時に、ホットゾ ーンの温度が1000℃から1350℃まで昇温するときにホットゾーンの抵抗 率が25%を超えて増加しない、 各工程を含む加熱方法が提供される。 図面の説明 図1と2は、本発明の好ましい態様のそれぞれ正面図と斜視図である。 図3は、本発明の好ましい態様の分解図である。 図4は、比較例1と実施例1の電気的性能を抵抗と温度に関して示す。 発明の説明 通常のWashburn点火器のホットゾーンに支持を与えることが、その厚 さを安全に低減することを可能にするのに十分な構造的支持をホットゾーンに与 え、それによって、220〜240Vの定格印加の要件を満たす電気特性をホッ トゾーンにもたらすことが 予想外に見出された。即ち、高電圧点火器に必要な速度、抵抗、及び構造的完全 性を提供する狭い組成/横断面の範囲が見出された。 本発明の構成は、Washburnに照して予想外である。Washburn は、ホットゾーンの厚さの実際上の下限は0.508mm(0.020インチ) であると教示しているが、本発明の構成はその下限をも下回る厚さを有する。 また、本発明の実施に係る方法も、Washburnに照して予想外である。 Washburnは「電気抵抗率(Washburn組成物の)が数桁のオーダ ーで変化し得るため、電圧の印加を受け入れるには、構造よりも、材料の電気特 性が設計されることができる」(Washburn特許の7欄50〜52行を参 照されたい)と教示している。このように、Washburnは、高電圧点火器 に望まれる電気特性を提供するために、横断面ではなく組成が変化されるべきで あると教示している。Washburn組成の限定範囲と組み合わされた割合に 薄いホットゾーン(即ち、0.0967〜0.5806mm2(0.00015〜 0.00090平方インチ))が所望の高電圧特性をもたらすとの示唆は全くない 。事実として、Washburnは、提案(6欄3〜6行を参照されたい)と実 施例(7欄41,59,64行、10欄61行、12欄3行)によって割合に厚 い形状が望ましいことを教示している。これに対し、本発明は、主として、Wa shburn特許の下限の近く又はそれを下回るホットゾーン横断面を用いるこ とによって高電圧性能の要件を達成した。また、220V点火器についてのWa shburnの組成変化は不都合に遅い速度をもたらすため、単に抵抗を高める (例えば、薄いホットゾーンを提供することにより)ことが、許容できる速度の 高電圧点火器を生み出すとの示唆も全くない。また、薄いホットゾーン横断面を 有するその他のセラミック点火器に係 る刊行物(例えば、米国特許第4804823号)も200〜240Vの印加に おけるそれらの適性について示唆をしていない。 図1に示したように、本発明の1つの好ましい点火器は、ブリッジ11によって 電気接続された2つの脚10を備えたヘアピン形状を有し、ここで、2つの脚の各 々は、内側部分12、中央部分13、外側部分14を有し、ブリッジから同じ方向に延 び、中央部分13がブリッジに電気接続してホットゾーン組成を有し、内側部分と 外側部分が支持体を構成する。 図2に示したように、この設計の好ましい点火器は、電気リード線に取り付け るためのペアの導電性端部32と33、ホットゾーン34と35と36、電気絶縁性支持セ クション37と38と39を有する。ペアのリード線がそれぞれの導電性端部に取り付 けられ、それらに電圧が印加されると、第1リード線から第1導電性部分32とさ らにホットゾーン34〜36のそれぞれを順次に電流が走り(それによってホットゾ ーンの温度が高くなる)、最後に第2導電性端33を通って第2リード線に出る。 薄い横断面を有するホットゾーンの部分(例えば、図2のホットゾーン34と36 )は、約0.127mm〜0.762mm(0.005インチ〜0.030イン チ)、好ましくは約0.254mm〜0.48mm(0.010インチ〜0.0 19インチ)の厚さを有する。これらの部分の幅は、一般に、0.51mm〜1 .27mm(0.020インチ〜0.050インチ)、好ましくは0.635m m〜0.762mm(0.025インチ〜0.030インチ)、より好ましくは 約0.762mm(0.30インチ)である。2つの脚のヘアピン設計を採用す る1つの好ましい態様において、ホットゾーンが、各脚の中に配置され、一般に 、長さが約12.7mm〜30.5mm(0.5インチ〜1.2インチ)(1つ の脚で)、 好ましくは長さが約19.1mm〜25.4mm(0.75インチ〜1.0イン チ)(1つの脚で)、幅が約0.508mm〜1.27mm(0.020インチ 〜0.050インチ)、奥行が約0.762mm(0.030インチ)である。 高電圧の印加のため(即ち、200V〜240V、より一般には220V〜24 0V)、これらのホットゾーンの各々は、0.0967〜0.5806mm2( 0.00015〜0.00090平方インチ)、好ましくは0.1934〜0. 3677mm2(0.00030〜0.00057平方インチ)、より好ましく は0.2903〜0.3290mm2(0.00045〜0.00051平方イ ンチ)の横断面を有する。 図2に示された部分34と35と36は抵抗性と説明されるが、これらのセクション の1つだけが必要な横断面を有する抵抗部分であることを必要とすることが明ら かなはずである。例えば、ある態様において、部分35(「ブリッジ」とも称され る)は、ブリッジ35を火炎センサーとして機能するのを可能にする、導電性端部 32と33に同じ組成を有することができる。別な態様において、ブリッジ35は、同 様な抵抗性の又はより高い抵抗性の材料であり、点火器の温度プロフィルをコン トロールするのを助長する。 ホットゾーン34〜36は、ガス点火のための機能的加熱を与える。好ましい態様 において、米国特許第5045237号(この特許は全体にわたって本願でも参 考にして取り入れられている)に開示の窒化アルミニウム、二ケイ化モリブデン 、炭化ケイ素の成分割合が使用される。Washburn特許に指摘があるよう に、AlN−SiC−MoSi2系は、約0.001〜約100Ω・cmの抵抗 率を有する点火器を生成し得る変動性のあるものである。これらのホットゾーン は、一般に、1000〜1500℃の温度範囲で0.04Ω・cm〜100Ω・ cm、好ましくは0.2Ω・cm〜10 0Ω・cmの抵抗率を有する。200〜240Vの電圧を用いる用途において、 ホットゾーンは、好ましくは、約50〜80体積%の窒化アルミニウム、約9〜 14体積%のMoSi2、10〜45体積%のSiCを含んでなり、0.096 7〜0.5806mm2(0.00015〜0.00090平方インチ)の横断 面を有する。より好ましくは、約60〜70体積%の窒化アルミニウム、約10 〜12体積%のMoSi2、約20〜25体積%のSiCを含んでなり、0.1 934〜0.3677mm2(0.00030〜0.00057平方インチ)の 横断面を有する。最も好ましくは、約64体積%のAlN、11体積%のMoS i2、25体積%のSiCを含んでなり、0.2903〜0.3290mm2(0 .00045〜0.00051平方インチ)の横断面を有する。割合に低い電圧 の印加がこれらのホットゾーンが使用されるときも、それぞれが許容できる程度 で機能した。しかしながら、13〜14体積%の二ケイ化モリブデンの含有率と 0.1355〜0.2709mm2(0.00021〜0.00042平方イン チ)の横断面を有するホットゾーンは、わずか100Vで1350℃に到達し、 このため230Vでは焼き切れると思われ、9体積%の二ケイ化モリブデン含有 率と0.3868mm2(0.00060平方インチ)を有するホットゾーンは 230Vで1000℃に到達することができず、11〜12体積%の二ケイ化モ リブデン含有率と0.2903〜0.3290mm2(0.00045〜0.0 0051平方インチ)の横断面を有するホットゾーンは良好な230Vでの性能 を示した。 好ましくは、最初の粉末の粒子サイズと緻密化後のホットゾーンのグレインサ イズ(d50)の双方が、Washburn特許に記載のものと同等である。ある 態様において、緻密体のホットゾーン構成部分の平均グレインサイズは次の通り であり、即ち、a)電気絶 縁性材料(即ち、AlN)は約2〜10μm、b)半導電性材料(即ち、SiC )は約1〜10μm、c)金属導体(即ち、MoSi2)は約1〜10μmであ る。 導電性端部32と33は、リード線の取り付けを可能にする。好ましくは、それら もまたAlN,SiC,MoSi2を含んでなる。ここで、それらはホットゾー ンよりもかなり高い割合の導電性と半導電性材料(即ち、SiCとMoSi2) を含む。したがって、それらは、一般に、ホットゾーン組成物の抵抗率の約1/ 5〜1/20を有するに過ぎなく、ホットゾーンで期待されるレベルまでは昇温 しない。それらは、好ましくは、約20〜60体積%の窒化アルミニウム、約2 0〜70体積%のMoSi2、及び特に1:1〜約1:3の体積比のSiCを含 んでなる。より好ましくは、導電性端部は、約60体積%のAlN、20体積% のSiC、20体積%のMoSi2を含んでなる。好ましい態様において、導電 性端部32と33の寸法は12.7mm(0.5インチ)(1つの脚の長さ)×0. 762mm(0.030インチ)(幅)×0.762mm(0.030インチ) (厚さ)である。 支持体37〜39の役割は、抵抗性部分34〜36に機械的支持を与えることである。 薄いホットゾーン部分を支持する支持体37と39は、一般に、ホットゾーン部分34 と36と同様な長さと幅、及び0.381mm〜0.51mm(0.015インチ 〜0.020インチ)の厚さを有し、ホットゾーンとそれを支える支持体の合計 厚さは0.51mm〜1.27mm(0.020インチ〜0.050インチ)で ある。好ましくは、支持体は、少なくとも108(10E+8)オームの抵抗と 少なくとも約150MPaの強度を有する電気絶縁性セラミックからなる。支持 体に適するセラミック組成には、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素の 少なくとも1種を少なくと も90体積%含む組成が挙げられる。支持体が使用される場合、支持体とそれに 隣接するホットゾーンの熱膨張と緻密化の速度がマッチするように注意する必要 がある。例えば、91体積%の窒化アルミニウム、6体積%のイットリア、2体 積%のアルミナ、及び1体積%のシリカからなる支持体に通常のWashbur nホットゾーン組成を組み合わせると相容れない緻密化速度をもたらし、クラッ クを発生させることが経験された。また、アルミナを支持用材料の主成分として 選択すると、ホットゾーン組成物を熱間静水圧プレスする際に使用されるガラス 媒体と反応し、また、熱膨張の不一致から引き起こすクラックを生じさせること が経験された。AlN−MoSi2−SiC系を用いる態様において、少なくと も90体積%の窒化アルミニウムと10体積%以下のアルミナを含む支持体が、 適合性のある熱膨張と緻密化特性を呈した。したがって、窒化アルミニウム、窒 化ホウ系、及び窒化ケイ素の少なくとも1種を少なくとも90体積%と、アルミ ナ、イットリア、マグネシア、シリカ、及びカルシアからなる群より選択された 焼結助剤を1〜10体積%で含んでなる支持体が、本発明で採用するのに適する と考えられる。好ましい態様において、支持体37〜39の寸法は長さ25.4mm (1.00インチ)×幅0.762mm(0.030インチ)×厚さ0.762 mm(0.030インチ)である。 また、支持体はホットゾーンを酸化から防ぐのに役立つことが分かっている。 ある態様において、図1に示したように、各脚のホットゾーンは、1)隣接する ホットゾーンと実質的に同じ幅と長さを有する外側支持体、及び2)ブリッジま で延びて隣接するホットゾーンと実質的に同じ幅を有する内側支持体、によって 支持され、それによって、脚の間に含められたホットゾーンの表面積の少なくと も約60%について酸化抵抗性バリヤを提供する。このような酸化 抵抗性点火器は、30000サイクルを超えても1%未満のアンペア数の増加を 示すに過ぎないことが見出されている。これに対し、同じ組成を有するが支持体 を有しない通常の点火器は、30000サイクルを超えると約15%のアンペア 数の増加を示すことが経験されている。 本発明の好ましい点火器の導電性端部にリード線が取り付けられ、220V〜 240Vの電圧がリード線を介して印加され、高抵抗性部分が、約5秒間以内で 約1350℃まで昇温し、図2にAと表示した点火器の上側部分に白熱の輝きを 生じさせる。ここで、ある態様において、この白熱が、領域Bと表示した下方の 領域に移動することがある。この移動の理由は、約1100℃を上回る温度で十 分な電流が、窒化アルミニウムを主成分とする支持体38を直接横切って流れ、設 計の電流路を短絡するためと考えられる。窒化アルミニウム粉末(室温で約106 (10E+6)Ω・cmの抵抗率を有する電気絶縁材)が比類なく高いレベル の金属不純物を含んでいたか、ガラスによるHIPプロセスが窒化アルミニウム を主成分とする支持体に不純物を導入したかが不明であった。この現象の理由の 如何によらず、図2に破線で示したように、支持体38に厚さ約0.51mm〜1 .27mm(0.020インチ〜0.050インチ)のスロット40を設けること が、本発明の点火器に有意な短絡が生成するのを首尾よく防ぐことが見出された 。図1に示したように、ある態様において、スロット15はブリッジ11まで延びる 。 また、本発明によると、本発明を実施する好ましい方法が提供され、タイルの 横断面が電気回路を表わすように、所定の組成を有するタイルが配置される。本 発明を実施する1つの好ましいプロセスにおいて(図3に示すように)、導電性 部分22と絶縁性部分23を有する第1タイル21が、平坦な表面(図示せず)の上に 載置され、抵 抗性部分のみを有する第2タイル24が第1タイルの上に載置される。次いで絶縁 性部分26と抵抗性部分27を有する第3タイル25が、抵抗性セクション27が絶縁性 セクション23の上に位置するように、第2タイル24の上に載置される。次いで抵 抗性部分のみを有する第4タイル28が第3タイル25の上に載置される。最後に、 絶縁性部分30と導電性部分31を有する第4タイル29が、絶縁性部分30が抵抗性部 分27の上に位置するように、第4タイルの上に載置される。次いで個々のタイル が接合するようにこのラミネートが緻密化される。次いで緻密化したラミネート が、その奥行にそってスライスされ、複数の個々のセラミック点火器が生成する 。 本発明の実施において、図3に示した個々の未焼結(グリーン)タイルは、セ ラミックラミネートの全部の層を有する(例えば、タイル25は絶縁性部分26と抵 抗性部分27を有する)。あるいは、タイルは一部の層のみからなることもできる 。後者の場合、層の一部を含むタイルは、特性の付随的低下を何ら伴うことなく 一体に接合され得ることが見出されている。 図3は、硬いグリーンタイルとして高抵抗性部分24と28を示しているが、この 他に、これらの部分は、テープキャスティング、ロール圧縮、スライス後の中温 プレス、又はスクリーン印刷によっても作成可能である。 セラミック構成部分の加工(即ち、グリーン体の作成と焼結条件)と、緻密化 したセラミックからの点火器の調製は、任意の通常方法によって行うことができ る。一般に、このような方法は、Washburn特許に実質的にしたがって行 われる。好ましい態様において、グリーンのラミネートは、Washburn特 許に開示されているように、ガラス媒体中の熱間静水圧プレス(HIP)によっ て緻密化される。この緻密化は、ホットゾーンが理論密度の少なく とも95%、好ましくは少なくとも99%の密度を有するセラミック体を生成す る。 本発明の点火器は、炉や調理器具のようなガス燃料の点火用、ベースボードヒ ーター、ボイラー、ストーブ上部などの多くの用途に使用することができる。 以下、本発明の実施態様を、限定されない実施例と比較例によってさらに説明 する。本発明の目的に関し、「安定な」点火器とは、所定の電圧で一定の抵抗率 と一定の温度を維持するものである。 比較例1 この比較例は、ホットゾーンが通常のWashburn組成と通常の(即ち、 厚過ぎる)横断面を有する点火器の230Vにおける挙動を説明する。 約66〜71体積%のAlN、8.5〜9体積%のMoSi2、及び20.5 〜25体積%のSiCを含むホットゾーン組成物を高剪断ミキサー中で配合した 。また、約20体積%のAlN、約20体積%のMoSi2、及び約60体積% のSiCを含む低温ゾーン組成物を同様にして配合した。これらの粉末配合物を 、ホットプレスの空間の中に隣接させて充填し、ホットプレスに供し、理論密度 の約60%のビレットを作成した。次いでこのビレットを機械加工し、約76. 2mm×50.8mm×50.8mm(3.00インチ×2.00インチ×0. 20インチ)の2ゾーンのタイルを作成した。次いでこの機械加工したタイルを 熱間静水圧プレスに供し、タイルを1790℃の30000psiに1時間保持 した。このHIP処理の後、緻密なタイルをヘアピン形状(即ち、1つの脚の長 さ38.1mm(1.5インチ)×厚さ0.762mm(0.030インチ)× 脚の幅1.27mm(0.05インチ)、スロットの 幅1.524mm(0.060インチ))で、約1.27mm×0.762mm( 0.050インチ×0.030インチ)のホットゾーン横断面と1つの脚につき 約25.4mm(1.0インチ)のホットゾーン長さを有する点火器に機械加工 した。 得られた点火器の230Vにおける電気性能を抵抗と温度について図4に示す 。約230Vにおいて点火器の温度が上り続け(即ち、暴走)、点火器が焼き切 れを生じた。 例1 図2に示した設計に実質的にしたがってグリーンのラミネートを作成した。ホ ットゾーンは66体積%のAlN、25体積%のSiC、及び11体積%のMo Si2からなった。支持体部分は96体積%の窒化アルミニウムと4体積%のア ルミナからなった。導電性端部は20体積%のAlN、60体積%のSiC、及 び20体積%のMoSi2からなった。次いでグリーンのラミネートを約180 0℃で約1時間にわたってガラス式HIP処理をすることによって緻密化させ、 セラミックブロックを作成した。次いでそのブロックをその幅にそってスライス し、寸法が38.1mm×1.27mm×0.762mm(1.5インチ×0. 050×0.030インチ)の複数の加熱面エレメントを作成した。ホットゾー ンは、約0.381mm×0.762mm(0.015インチ×0.030イン チ)の横断面と約25.4mm(1.0インチ)の1つの脚の長さを有した。1 .27mm×0.762mm×35.56mm(0.050インチ×0.030 インチ×1.40インチ)のスロットを、中央の絶縁性支持体部分に機械加工し た。 適当なリード線を、加熱面エレメントの導電性部分に取り付け、約230Vの 電圧を印加した。得られた点火器の230Vにおける電気性能を、抵抗と温度に ついて図4に示す。この点火器は、安定 な加熱性能を示し、約4秒間で1100℃の設計温度に到達した。 例2 この例は、ホットゾーンが過度に多い二ケイ化モリブデンを有する点火器の2 30Vにおける挙動を示す。 ホットゾーンが15体積%のモリブデン含有率を有する以外は例1に実質的に したがって点火器を作成した。この点火器は、わずか24Vで約1300℃の動 作温度に到達した。この性能は24V点火器としては許容できるが、この点火器 は230Vでは焼き切れるであろうと考えられる。 例3 この例は、ホットゾーンが不十分な二ケイ化モリブデンを有する点火器の23 0Vにおける挙動を示す。 ホットゾーンがわずか6体積%のモリブデン含有率を有した以外は例1に実質 的にしたがって点火器を作成した。 この点火器は約12秒後に動作温度に到達したが240Vで暴走の挙動を呈し た。 例4 この例は、脚の間にスロットを有しない点火器の230Vにおける挙動を示す 。 中央の窒化アルミニウムのセクションにスロットを設けない以外は例1に実質 的にしたがって点火器を作成した。 この点火器は、定格電圧の85%で所定の温度まで迅速に昇温した(即ち、1 100℃まで5秒間)。しかしながら、電圧をさらに高めると、点火器の最高温 度部分が導電性領域の方へと下方に移動することが観察され、点火器の破損が生 じた。 請求の範囲 1.(i)ペアの導電性端部(32,33)、及び (ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合 物からなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素、炭化ホウ素、及びこれらの混合物からなる群より選 択された約10〜約45体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、炭化タングステン 、窒化チタン、及びこれらの混合物からなる群より選択された約5〜約25体積 %の金属系導体、 を含んでなるホットゾーン(34,35,36)であって、導電性端部(32,33)の 間に配置されたホットゾーン(34,35,36)、 を備え、ホットゾーンの少なくとも一部が0.4826mm(0.01 9インチ)以下の厚さを有するセラミック点火器。 2.(iii)ホットゾーン(34,35,36)がその上に配置された支持体(37,38,39)を さらに備え、 支持体(37,38,39)が、支持体(37,38,39)とその上に配置されたホットゾー ン(34,35,36)の合計の厚さで少なくとも0.51mm(0.020インチ)の厚 さを有する請求項1に記載の点火器。 3.支持体(37,38,39)が、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及び これらの混合物からなる群より選択された電気絶縁性セラミックから本質的にな る請求項2に記載の点火器。 4.支持体(37,38,39)が、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及び これらの混合物からなる群より選択された少なくとも90体積%の電気絶縁性セ ラミック、及びアルミナ、イットリア、マグネシア、カルシア、及びシリカから なる群より選択された1〜 10体積%の焼結助剤を含んでなる請求項3に記載の点火器。 5.ホットゾーン(34,35,36)の組成が10〜12体積%の二ケイ化モリブデン を含む請求項1に記載の点火器。 6.ホットゾーン(34,35,36)が0.254mm〜0.4826mm(0.01 0インチ〜0.019インチ)の厚さを有する請求項5に記載の点火器。 7.点火器がブリッジ(11)によって電気接続して配置された2つの脚(10)を備 えたヘアピン形状を有し、2つの脚(10)の各々がホットゾーン組成を有し、ブリ ッジ(11)が導電性組成を有する請求項1に記載の点火器。 8.ブリッジ(11)によって電気接続して配置された2つの脚(10)を備えたヘア ピン形状を有し、脚(10)がブリッジ(11)から同じ方向に延び、各脚が、内側部分 (12)、中央部分(13)、外側部分(14)を備え、中央部分(13)は、ブリッジ(11)によ って電気接続されてホットゾーン組成を有し、外側部分(14)と内側部分(12)が支 持を形成した請求項7に記載の点火器。 9.各脚の内側部分(12)が、脚(10)が互いに接触しない厚さを有し、それによ って、脚の間にスロット(15)を画定した請求項8に記載の点火器。 10.スロット(15)がブリッジ(11)まで延びた請求項9に記載の点火器。 11.各脚のホットゾーンが、 (i)隣接ホットゾーンと実質的に同じ奥行と長さを有する外側支持体(14)、 及び (ii)ブリッジまで延びて隣接ホットゾーンと実質的に同じ奥行を有する内側 支持体(12)、 によって支持され、それによって、脚の中に収められたホ ットゾーンの表面積の少なくとも60%について酸化抵抗性バリヤを提供した請 求項8に記載の点火器。 12.脚の間の1つの支持体(38)が、各脚の内側部分を画定した請求項8に記 載の点火器。 13.(A)(i)ペアの導電性端部(32,33)、及び (ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物 からなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素、炭化ホウ素、及びこれらの混合物からなる群より選択された 約10〜約45体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、炭化タングステン、窒化チ タン、及びこれらの混合物からなる群より選択された約9〜約14体積%の金属 系導体、 を含んでなる点火器を提供し、 ここで、ホットゾーン(34,35,36)の少なくとも一部が0.0967〜0.580 6mm2(0.00015〜0.00090平方インチ)の横断面を有し、 (B)点火器の導電性端部(32,33)の間に200V〜240Vの電圧を印加し、そ れによって、5秒間未満で抵抗性部分を約1350℃まで加熱させ、同時に、ホ ットゾーン(34,35,36)の温度が1000℃から1350℃まで昇温するときにホ ットゾーン(34,35,36)の抵抗率が25%を上回って増加しない、 各工程を含む加熱方法。 14.印加電圧が220V〜240Vである請求項13に記載の方法。 15.点火器が、ブリッジ(11)によって電気接続して配置された2つの脚(10) を備えたヘアペン形状を有し、2つの脚(10)の各々が ホットゾーン組成を有し、ブリッジ(11)が導電性組成を有し、脚(10)がブリッジ (11)から同じ方向に延び、各脚が内側部分(12)、中央部分(13)、外側部分(14)を 備え、中央部分(13)は、ブリッジ(11)によって電気接続されてホットゾーン組成 を有し、外側部分(14)と内側部分(12)が支持を形成し、各脚(10)の内側部分(12) が、脚(10)が互いに接触しない厚さを有し、それによって、脚(10)の間にスロッ ト(15)を画定した請求項13に記載の方法。 16.ホットゾーン(34,35,36)がその上に配置された支持体(37,38,39)をさら に備え、ホットゾーン(34,35,36)が0.254mm〜0.4826mm(0.0 10インチ〜0.019インチ)の厚さを有し、支持体(37,38,39)が、ホットゾ ーン(34,35,36)と支持体(37,38,39)の合計厚さが少なくとも0.51mm(0. 020インチ)である厚さを有する請求項13に記載の方法。 17.ホットゾーン(34,35,36)の少なくとも一部が、10〜12体積%の二ケ イ化モリブデンを含み、0.2903mm2〜0.3290mm2(0.0004 5〜0.00051平方インチ)の横断面を有する請求項14に記載の方法。 18.ホットゾーン(34,35,36)の少なくとも一部が60〜70体積%の窒化ア ルミニウム、20〜25体積%の炭化ケイ素、10〜12体積%の二ケイ化モリ ブデンを含んでなり、0.1934mm2〜0.3677mm2(0.00030 〜0.0057平方インチ)の横断面を有する請求項14に記載の方法。 19.ホットゾーン(34,35,36)の少なくとも一部が64体積%の窒化アルミニ ウム、25体積%の炭化ケイ素、11体積%の二ケイ化モリブデンを含んでなり 、0.2903mm2〜0.3290mm2(0.00045〜0.00051平 方インチ)の横断面を有する請求項13に記載の方法。 20.(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物 からなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素と炭化ホウ素からなる群より選択された約10〜約45 体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、窒化チタン、及びこ れらの混合物からなる群より選択された約5〜約25体積%の金属系導体、 を含んでなるホットゾーンを有するセラミック点火器であって、 その点火器は、ブリッジ(11)によって電気接続して配置された2つの脚 (10)を備えたヘアペン形状を有し、2つの脚(10)の各々はブリッジ(11)から同じ 方向に延び、各脚が内側部分(12)、中央部分(13)、外側部分(14)を備え、中央部 分(13)は、ブリッジ(11)と電気接続されてホットゾーン組成を有し、外側部分(1 4)と内側部分(12)が支持体を形成し、外側支持(14)は隣接ホットゾーンと実質的 に同じ奥行と長さを有し、内側支持(12)はブリッジまで延びて隣接ホットゾーン と実質的に同じ奥行を有し、それによって、脚(10)の中に収められたホットゾー ンの表面積の少なくとも60%について酸化抵抗性バリヤを提供したセラミック 点火器。 【手続補正書】 【提出日】1998年9月17日 【補正内容】 請求の範囲 1.(i)ペアの導電性端部(32,33)、及び (ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合 物からなる群より選択された50〜80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素、炭化ホウ素、及びこれらの混合物からなる群より選 択された10〜45体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、炭化タングステン 、窒化チタン、及びこれらの混合物からなる群より選択された5〜25体積%の 金属系導体、 を含んでなるホットゾーン(34,35,36)であって、導電性端部(32,33)の 間に配置されたホットゾーン(34,35,36)、 を備え、ホットゾーン(34,35,36)の少なくとも一部が0.4826mm (0.019インチ)以下の厚さを有するセラミック点火器。 2.(iii)ホットゾーン(34,35,36)がその上に配置された支持体(37,38,39)を さらに備え、 支持体(37,38,39)が、支持体(37,38,39)とその上に配置されたホットゾー ン(34,35,36)の合計の厚さで少なくとも0.51mm(0.020インチ)の厚 さを有する請求項1に記載の点火器。 3.支持体(37,38,39)が、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及び これらの混合物からなる群より選択された電気絶縁性セラミックから本質的にな る請求項2に記載の点火器。 4.支持体(37,38,39)が、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及び これらの混合物からなる群より選択された少なくとも90体積%の電気絶縁性セ ラミック、及びアルミナ、イットリア、マグネシア、カルシア、及びシリカから なる群より選択された1〜10体積%の焼結助剤を含んでなる請求項3に記載の 点火器。 5.ホットゾーン(34,35,36)の組成が10〜12体積%の二ケイ化モリブデン を含む請求項1に記載の点火器。 6.ホットゾーン(34,35,36)が0.254mm〜0.4826mm(0.01 0インチ〜0.019インチ)の厚さを有する請求項5に記載の点火器。 7.点火器がブリッジ(11)によって電気接続して配置された2つの脚(10)を備 えたヘアピン形状を有し、2つの脚(10)の各々がホットゾーン組成を有し、ブリ ッジ(11)が導電性組成を有する請求項1に記載の点火器。 8.ブリッジ(11)によって電気接続して配置された2つの脚(10)を備えたヘア ピン形状を有し、脚(10)がブリッジ(11)から同じ方向に延び、各脚が、内側部分 (12)、中央部分(13)、外側部分(14)を備え、中央部分(13)は、ブリッジ(11)によ って電気接続されてホットゾーン組成を有し、外側部分(14)と内側部分(12)が支 持体を形成した請求項7に記載の点火器。 9.各脚の内側部分(12)が、脚(10)が互いに接触しない厚さを有し、それによ って、脚の間にスロット(15)を画定した請求項8に記載の点火器。 10.スロット(15)がブリッジ(11)まで延びた請求項9に記載の点火器。 11.各脚のホットゾーンが、 (i)隣接ホットゾーンと実質的に同じ奥行と長さを有する外側支持体(14)、 及び (ii)ブリッジまで延びて隣接ホットゾーンと実質的に同じ奥行を有する内側 支持体(12)、 によって支持され、それによって、脚の中に収められたホットゾーンの 表面積の少なくとも60%について酸化抵抗性バリヤを提供した請求項8に記載 の点火器。 12.脚の間の1つの支持体(38)が、各脚の内側部分を画定した請求項8に記 載の点火器。 13.(A)(i)ペアの導電性端部(32,33)、及び (ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物 からなる群より選択された50〜80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素、炭化ホウ素、及びこれらの混合物からなる群より選択された 10〜45体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、炭化タングステン、窒化チ タン、及びこれらの混合物からなる群より選択された9〜14体積%の金属系導 体、 を含んでなる点火器を提供し、 ここで、ホットゾーン(34,35,36)の少なくとも一部が0.0967〜0.58 06mm2(0.00015〜0.00090平方インチ)の横断面を有し、 (B)点火器の導電性端部(32,33)の間に200V〜240Vの電圧を印加し、そ れによって、5秒間未満で抵抗性部分を1350℃まで加熱させ、同時に、ホッ トゾーン(34,35,36)の温度が1000℃から1350℃まで昇温するときにホッ トゾーン(34,35,36)の抵抗率が25%を上回って増加しない、 各工程を含む加熱方法。 14.印加電圧が220V〜240Vである請求項13に記載の方法。 15.点火器が、ブリッジ(11)によって電気接続して配置された2つの脚(10) を備えたヘアペン形状を有し、2つの脚(10)の各々がホットゾーン組成を有し、 ブリッジ(11)が導電性組成を有し、脚(10)がブリッジ(11)から同じ方向に延び、 各脚が内側部分(12)、中央部分(13)、外側部分(14)を備え、中央部分(13)は、ブ リッジ(11)によって電気接続されてホットゾーン組成を有し、外側部分(14)と内 側部分(12)が支持を形成し、各脚(10)の内側部分(12)が、脚(10)が互いに接触し ない厚さを有し、それによって、脚(10)の間にスロット(15)を画定した請求項1 3に記載の方法。 16.ホットゾーン(34,35,36)がその上に配置された支持体(37,38,39)をさら に備え、ホットゾーン(34,35,36)が0.254mm〜0.4826mm(0.0 10インチ〜0.019インチ)の厚さを有し、支持体(37,38,39)が、ホットゾ ーン(34,35,36)と支持体(37,38,39)の合計厚さが少なくとも0.51mm(0. 020インチ)である厚さを有する請求項13に記載の方法。 17.ホットゾーン(34,35,36)の少なくとも一部が、10〜12体積%の二ケ イ化モリブデンを含み、0.2903mm2〜0.3290mm2(0.0004 5〜0.00051平方インチ)の横断面を有する請求項14に記載の方法。 18.ホットゾーン(34,35,36)の少なくとも一部が60〜70体積%の窒化ア ルミニウム、20〜25体積%の炭化ケイ素、10〜12体積%の二ケイ化モリ ブデンを含んでなり、0.1934mm2〜0.3677mm2(0.0003 0〜0.00057平方インチ)の横断面を有する請求項14に記載の方法。 19.ホットゾーン(34,35,36)の少なくとも一部が64体積%の窒化アルミニ ウム、25体積%の炭化ケイ素、11体積%の二ケイ化モリブデンを含んでなり 、0.2903mm2〜0.3290mm2(0.00045〜0.00051平 方インチ)の横断面を有する請求項13に記載の方法。 20.(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物 からなる群より選択された50〜80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素と炭化ホウ素からなる群より選択された10〜45体積 %の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、窒化チタン、及びこ れらの混合物からなる群より選択された5〜25体積%の金属系導体、 を含んでなるホットゾーンを有するセラミック点火器であって、 その点火器は、ブリッジ(11)によって電気接続して配置された2つの脚 (10)を備えたヘアペン形状を有し、2つの脚(10)の各々はブリッジ(11)から同じ 方向に延び、各脚が内側部分(12)、中央部分(13)、外側部分(14)を備え、中央部 分(13)は、ブリッジ(11)と電気接続されてホットゾーン組成を有し、外側部分(1 4)と内側部分(12)が支持体を形成し、外側支持(14)は隣接ホットゾーンと実質的 に同じ奥行と長さを有し、内側支持(12)はブリッジまで延びて隣接ホットゾーン と実質的に同じ奥行を有し、それによって、脚(10)の中に収められたホットゾー ンの表面積の少なくとも60%について酸化抵抗性バリヤを提供したセラミック 点火器。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ベイトマン,リンダ,エス. アメリカ合衆国,マサチューセッツ 01562,スペンサー,レッジ アベニュ 19

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1.(i)ペアの導電性端部、及び (ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合 物からなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素、炭化ホウ素、及びこれらの混合物からなる群より選 択された約10〜約45体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、炭化タングステン 、窒化チタン、及びこれらの混合物からなる群より選択された約5〜約25体積 %の金属系導体、 を含んでなるホットゾーンであって、導電性端部の間に配置されたホッ トゾーン、 を備え、ホットゾーンの少なくとも一部が0.019インチ以下の厚さ を有するセラミック点火器。 2.(iii)ホットゾーンがその上に配置された支持体をさらに備え、 支持体が、支持体とその上に配置されたホットゾーンの合計の厚さで少な くとも0.020インチの厚さを有する請求項1に記載の点火器。 3.支持体が、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混 合物からなる群より選択された電気絶縁性セラミックから本質的になる請求項2 に記載の点火器。 4.支持体が、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混 合物からなる群より選択された少なくとも90体積%の電気絶縁性セラミック、 及びアルミナ、イットリア、マグネシア、カルシア、及びシリカからなる群より 選択された1〜10体積% の焼結助剤を含んでなる請求項3に記載の点火器。 5.ホットゾーンの組成が10〜12体積%の二ケイ化モリブデンを含む請求 項1に記載の点火器。 6.ホットゾーンが0.010インチ〜0.019インチの厚さを有する請求 項5に記載の点火器。 7.点火器がブリッジによって電気接続して配置された2つの脚を備えたヘア ピン形状を有し、2つの脚の各々がホットゾーン組成を有し、ブリッジが導電性 組成を有する請求項1に記載の点火器。 8.ブリッジによって電気接続して配置された2つの脚を備えたヘアピン形状 を有し、脚がブリッジから同じ方向に延び、各脚が、内側部分、中央部分、外側 部分を備え、中央部分は、ブリッジによって電気接続されてホットゾーン組成を 有し、外側部分と内側部分が支持を形成した請求項7に記載の点火器。 9.各脚の内側部分が、脚が互いに接触しない厚さを有し、それによって、脚 の間にスロットを画定した請求項8に記載の点火器。 10.スロットがブリッジまで延びた請求項9に記載の点火器。 11.各脚のホットゾーンが、 (i)隣接ホットゾーンと実質的に同じ奥行と長さを有する外側支持体、及び (ii)ブリッジまで延びて隣接ホットゾーンと実質的に同じ奥行を有する内側 支持体、 によって支持され、それによって、脚の中に収められたホットゾーンの 表面積の少なくとも60%について酸化抵抗性バリヤを提供した請求項8に記載 の点火器。 12.脚の間の1つの支持体が、各脚の内側部分を画定した請求項8に記載の 点火器。 13.(A)(i)ペアの導電性端部、及び (ii)(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物 からなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素、炭化ホウ素、及びこれらの混合物からなる群より選択された 約10〜約45体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、炭化タングステン、窒化チ タン、及びこれらの混合物からなる群より選択された約9〜約14体積%の金属 系導体、 を含んでなる点火器を提供し、 ここで、ホットゾーンの少なくとも一部が0.00015〜0.00090平方 インチの横断面を有し、 (B)点火器の導電性端部の間に200V〜240Vの電圧を印加し、それによ って、5秒間未満で抵抗性部分を約1350Cまで加熱させ、同時に、ホットゾ ーンの温度が1000Cから1350Cまで昇温するときにホットゾーンの抵抗 率が25%を上回って増加しない、 各工程を含む加熱方法。 14.印加電圧が220V〜240Vである請求項13に記載の方法。 15.点火器が、ブリッジによって電気接続して配置された2つの脚を備えた ヘアペン形状を有し、2つの脚の各々がホットゾーン組成を有し、ブリッジが導 電性組成を有し、脚がブリッジから同じ方向に延び、各脚が内側部分、中央部分 、外側部分を備え、中央部分は、ブリッジによって電気接続されてホットゾーン 組成を有し、外側部分と内側部分が支持を形成し、各脚の内側部分が、脚が互い に接触しない厚さを有し、それによって、脚の間にスロットを画定した請求項1 3に記載の方法。 16.ホットゾーンがその上に配置された支持体をさらに備え、ホットゾーン が0.010インチ〜0.019インチの厚さを有し、支持体が、ホットゾーン と支持体の合計厚さが少なくとも0.020インチである厚さを有する請求項1 3に記載の方法。 17.ホットゾーンの少なくとも一部が、10〜12体積%の二ケイ化モリブ デンを含み、0.00045〜0.00051平方インチの横断面を有する請求 項14に記載の方法。 18.ホットゾーンの少なくとも一部が60〜70体積%の窒化アルミニウム 、20〜25体積%の炭化ケイ素、10〜12体積%の二ケイ化モリブデンを含 んでなり、0.00030〜0.00057平方インチの横断面を有する請求項 14に記載の方法。 19.ホットゾーンの少なくとも一部が64体積%の窒化アルミニウム、25 体積%の炭化ケイ素、11体積%の二ケイ化モリブデンを含んでなり、0.00 045〜0.00051平方インチの横断面を有する請求項13に記載の方法。 20.(a)窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、及びこれらの混合物 からなる群より選択された約50〜約80体積%の電気絶縁性材料、 (b)炭化ケイ素と炭化ホウ素からなる群より選択された約10〜約45 体積%の半導電性材料、及び (c)二ケイ化モリブデン、二ケイ化タングステン、窒化チタン、及びこ れらの混合物からなる群より選択された約5〜約25体積%の金属系導体、 を含んでなるホットゾーンを有するセラミック点火器であって、 その点火器は、ブリッジによって電気接続して配置された2つの脚を備 えたヘアペン形状を有し、2つの脚の各々はブリッジ から同じ方向に延び、各脚が内側部分、中央部分、外側部分を備え、中央部分は 、ブリッジと電気接続されてホットゾーン組成を有し、外側部分と内側部分が支 持体を形成し、外側支持は隣接ホットゾーンと実質的に同じ奥行と長さを有し、 内側支持はブリッジまで延びて隣接ホットゾーンと実質的に同じ奥行を有し、そ れによって、脚の中に収められたホットゾーンの表面積の少なくとも60%につ いて酸化抵抗性バリヤを提供したセラミック点火器。
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