JPH11505797A - インラインセンサーを有するオゾン生成器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 酸素供給からオゾンを生成する装置。この装置は、閉鎖容器内に固定されたグリッドおよびこのグリッドに接続された高電圧回路を含んで、電場を生成する。高電圧回路はAC電力を受け制御回路を有し、AC給電から線形的に制御された高電圧出力を生成し、グリッドを付勢するようになっている。この装置はまた、インラインでセンサーを設けているので、オゾン濃度に影響を与えることなく製造されたオゾンのレベルを決定する。高電圧回路はまたほかに、正確に制御された高電圧信号が必要となる場合の応用にも適している。

Description

【発明の詳細な説明】 インラインセンサーを有するオゾン生成器 本発明はオゾンガスを生成する装置に関し、特にオゾンガスの濃度を慎重に制 御する必要がある場合の応用に適したインラインでセンサーを設けた装置に関す る。 本技術分野においてオゾン生成器はよく知られている。バインライト（Wainwr ight）による１９９１年１０月１日発行の、米国特許５、０５２、３８２号によ れば、オゾンガスに対する制御された生成および管理のための装置について述べ ている。バインライト（Wainwright）によればこの装置は、オゾンを生成する生 成器；オゾンを監視するモニター；ある量のオゾンを提供するための供給機器； そしてこの装置の制御演算用コンピュータを有する。 バインライト（Wainwright）は、医療機器への応用に適したオゾン生成装置に ついて述べているが、この装置はいくつかの態様においてその性能と正確さが影 響を受ける。バインライト（Wainwright）が示唆したモニターすなわちセンサー は、紫外線光源と放電閃光検知器を含む。検知器は、ゼオン光源によって放電閃 光されるようになっているが、バインライト（Wainwright）によれば、別の光源 によって放電閃光されてもよいとのことである。本技術分野の当業者であれば理 解できるように、この管理には、貫入型測定技法（intrusive measurement tech nique）が使用される。この技法では、オゾンおよび酸素ガス流が紫外線に曝さ れている。紫外線はオゾンと相互関係を有し、センサーによって測定された紫外 線の量はオゾンガスの濃度に依存する。紫外線とオゾンガスが相互関係を有する のであるから、紫外線はこの生成器によってできたオゾンガスの濃度に影響を与 えるということになる。したがって、バインライト（Wainwright）が示唆したオ ゾン生成器は、オゾン濃度が非常に正確に制御される必要のある場合の応用には 適していない。さらにまた、このバインライト（Wainwright）の生成器は、オゾ ンセンサーが処理とインライン上に設けられている場合の応用にも適していない 。 本発明の目的は、オゾン生成装置で、生成オゾン量を慎重に制御できる電子回 路を有したものを提供することである。本発明の他の目的は、オゾン生成装置で 、生成されたオゾンの濃度を感知するための非貫入型センサーを備えたものを提 供することである。本発明のさらに他の目的は、処理経路（treatment path）と 「インライン」に設けられるオゾンセンサーを提供することである。 本発明の一つの態様によれば、酸素供給からオゾンを生成するための装置が提 供され、該装置は（a）前記酸素供給を受けるための入口、および前記オゾンお よび前記酸素を放出させるための出口を有する閉鎖容器；（b）前記閉鎖容器の 内部に固定された複数のグリッドで、プレートで隔てられている該グリッド；（ c）前記グリッドを付勢するための付勢手段で、制御信号を受けるための制御入 力と電源に接続するための入力ポートを有する該付勢手段；を有し、さらに（d ）前記付勢手段が、前記グリッドに接続される高電圧出力を生成し、前記グリッ ドを付勢し電場を作る生成器手段を含み、さらにまた、この生成器手段が前記制 御信号に応答することを特徴とする。 本発明の他の実施態様によれば、AC信号を線形的に制御するためのブリッジネ ットワークと制御回路が提供される。AC信号を線形的に制御する装置は、（a）A C信号を受けるための入力ポートを有するブリッジネットワークで、スイッチン グ制御入力およびブリッジ出力ポートを有する、該ブリッジネットワーク；（b ）制御信号を受けるための入力と前記ブリッジネットワークのスイッチング制御 入力に接続されている出力とを有する制御回路で、前記出力でスイッチング制御 信号を生成する手段を有して、前記ブリッジネットワークをスイッチングし、前 記ブリッジ出力ポートで制御される電源信号を作成するようになっている該制御 回路；および（c）出力ポートと前記ブリッジの出力ポートに接続された入力ポ ート、および前記制御された電源信号に応答する手段を含んで、前記出力ポート で高電圧出力信号を生成するようになっているトランスフォーマーを含む。 実例を用いて本発明の好適な態様を描いた図面を参照する。 第１図は、本発明の特定の態様による装置を線図的に説明した図である。 第２図は、第１図に示された態様に対する制御回路の略図である。 先ず第１図を参照する。この図は、本発明によるオゾン生成器１を示している 。オゾン生成器１は、オゾンガス量を慎重に測定しながら生成するのに適してお り、決して限定されるものではないが医療機器への応用に特に適している。この 装置、特にこの制御回路は、慎重に高電圧制御が必要な場合など、広い応用範囲 をもっている。 第１図に示したように、オゾン生成器１は、ハウジングすなわち閉鎖容器１０ を含む。このハウジング１０は、テフロン（登録商標）として通常知られた、PT FE材から成形されている。医療グレードのテフロンであると特に好ましい。テフ ロンが好適であるのは、これが不活性材質でオゾンを透過しないからである。さ らにハウジング１０が、テフロン（登録商標）の固形ブロックを粉砕したものか ら製造されていると好ましい。ハウジング１０はまた、ペンバルト（Pennwalt） 社から入手できるキナール（Kynar、登録商標）や、CPCVCやシリコンのような他 の組成物で、医療グレードのものから製造することもできる。図からわかるよう に、ハウジング１０は、これもやはり医療グレードのテフロン（登録商標）から 製造される蓋１２を有する。この蓋は、たとえば精密ねじのような固定留め具１ ４によって、閉鎖容器に固着されている。閉鎖容器はさらに、入口ポート１６と 出口ポート１８を含む。入口１６から酸素ガス２４が入力し、この入口１６はま た、ガス流量制御バルブ２２を介して酸素供給タンク２０に接続されている。ガ ス流量制御バルブ２２は、ステッパーモータ２３あるいは他の適切な作動器を介 して、制御回路３２に接続されている。ここで流量メーター２５も配されている が、これは閉鎖容器１０に入る酸素ガス２４の流量速度を表示する。出力ポート １８から、生成器１で作られた酸素とオゾンとを含むガス２６が出力する。また 第１図に示されたように、温度センサー１９が設けられ閉鎖容器１０内の温度を 感知する。制御回路３２は、この読み取った温度を用いてオゾン製造を制御する 。 オゾン生成器１はグリッド列、すなわち電極列２８a、２８b、２８cを含む。 これらは第１図に示されたように、密閉容器１０によって形成されたチャンバー １１の内部で、相互に間隔を置いて固定されている。グリッド、すなわち電極２ ８a、２８b、２８cが、ハイグレードなステンレス鋼製であると好ましい。１対 の雲母シート３０a、３０bが、グリッド列２８を隔てている。オゾン生成器１は 、制御回路と電源供給モジュール３２を有する。この制御回路３２は、従来のAC 電源、すなわちメンズサプライ（mains supply）から給電される。制御回路３２ は高電圧出力３６を有するが、これはグリッド２８a、２８b、２８cにつなげら れている。制御回路３２は、バイアスをかけて、グリッド２８a、２８b、２８c を高電圧レベルにして、電場を生成し、入口ポート１６を介してチャンバー１１ 内に入って電極２８を通過している酸素２４の流れのなかに、オゾンガス0３を 生成させる。回路３２は、流量制御弁２２を用いて、チャンバー１１に入る酸素 ２４の量を調整する。このオゾン生成器１にはまた、リレー３３（第２図）が、 電極２８に高電圧給電してもよいように、制御回路３２によって作動される安全 機構として含まれていてもよい。 第２図の説明を行う。この図は制御回路３２をさらに詳しく示したものである 。制御回路３２は、ガス流量バルブ２２およびオゾン生成器１を操作するために 適切にプログラミングされた、マイクロプロセッサーをベースにした回路である と好ましい。 第２図に示されたように制御回路３２は、マイクロコントローラー３８、高電 圧駆動回路４０、高電圧トランスフオーマー４２、そして検知（sensing）回路 ４４を含む。高電圧駆動回路４０は、グリッド２８を付勢するための高電圧出力 を生成するトランスフオーマー４２に、接続されている。検出回路４４をトラン スフォーマー４２の出力に接続しさらにマイクロコントローラー３８に使用して 、 後述のように生成オゾンガス0３量を決定する。 高電圧駆動回路４０は、マイクロコントローラー３８の出力ポートに接続され ている入力４６を有して、制御信号４８を受ける。制御信号４８は、マイクロコ ントローラー３８によって生成されるパルス列を構成する。図２に示された高電 圧駆動回路４０は、ブリッジネットワーク５０とブリッジ制御回路５２を含む。 ブリッジネットワーク５０は、ブリッジ型に接続された４つのダイオード５０a 、５０b、５０c、５０dを有する。図２に示されたように、ブリッジネットワー ク５０は、「生き」AC電圧３４を、高電圧トランスフォーマー４２の１次巻線に 接続する。高電圧トランスフォーマー４２の１次巻線を流れる電流は、ブリッジ ５０の他のポート５４に接続されたブリッジ制御回路５２によって制御される。 ブリッジ５０および１次巻線を流れる電流は、高電圧トランスフォーマー４２の ２次巻線に電圧を誘導し、グリッドすなわち電極２８（第１図）にバイアスをか ける。 ブリッジネットワーク５０およびブリッジ制御回路５２の機能は、１次巻線を 流れる電流を調整し、ひいては、高電圧トランスフォーマー４２の２次巻線に誘 導されグリッド２８にかけられる電圧を調整することである。グリッド２８にか けられる電圧を調整することによって、生成オゾンガス0３量を慎重に制御でき るようになる。後述するように、ブリッジ制御回路５２は制御信号４８とともに 、電極２８にバイアスをかける高電圧信号の形状およびレベルを調整し、これに よってオゾン生成が正確に制御される。 ブリッジ制御回路５２は、入力トランジスタ５６、分離トランスフォーマー５ ８および出力トランジスタ６０を含む。分離トランスフォーマー５８は、ブリッ ジネットワーク５０が１１０VAC（あるいは２２０VAC）で「浮動」するため、必 要となる。トランジスタ５６のベースによって、マイクロコントローラー３８か らの制御信号４８を受けるための入力４６が形成される。制御信号４８は、マイ クロコントローラー３８によって生成されたパルス列を、有する。本発明によれ ば、制御信号４８のパルス幅もしくは周波数いずれかを変えることによって、ブ リッジ５０およびトランスフォーマー４２の１次巻線を通って流れる電流を制御 できる。制御信号４８のパルス幅（もしくは周波数）を、目的レベルのオゾンを 生成できるように選択し、生成された実際のオゾンの量を検出回路４４を介して 決定する。トランジスター５６のコレクターは、分離トランスフォーマー５８の １次巻線に接続され、信号４８によって生成されたパルス列が、トランスフォー マー５８の２次巻線に誘導されるようになっている。トランスフォーマー５８の ２次巻線は、ダイオード６２およびコンデンサー６４に接続されている。ダイオ ード６２は、分離トランスフォーマー５８の２次巻線からの出力を整流し、コン デンサー６４に蓄電しDC電圧を生成させる。出力トランジスター６０のベースは 、抵抗器６６、６８から形成された抵抗分割器を介して、コンデンサー６４に接 続されている。別の抵抗器７０が、トランジスタ６０のエミッタに接続され、ト ランジスタ６０を通って流れる電流を制限する。抵抗値は、出力トランジスター ６０を線形ですなわち活性領域で、操作できるような値を選択する。出力トラン ジスター６０を活性領域で操作することによって、ブリッジ５０から正弦出力が 生成される。それによって、グリッドすなわち電極２８にかかるトランスフォー マー４２の２次巻線からの電圧出力の正確な線形制御が可能になる。 検出回路４４は、高電圧トランスフォーマー４２の２次巻線に接続されていて 、生成されるオゾンガス0３量を決定するためのデータをマイクトコントローラ ー３８に提供する。マイクトコントローラー３８は、この情報を用いて、オゾン 生成器１の操作を制御する。マイクトコントローラー３８は、他のコンピュータ （図示せず）からの命令に応答するようにプログラミングされることも可能であ る。あるいはまた、マイクトコントローラー３８は、オゾンガスレベル目標値を 手動設定するための入力パネル（図示せず）を含んでいてもよい。 第２図はまた、検出回路４４をより詳細に示している。検出回路４４は、チャ ンバー１１内で起こる放電に対応し酸素２４からのオゾンガス0３生成にも関連 した出力信号７２を作成する。マイクトコントローラー３８は、検出回路４４か ら の出力７２を用いて、オゾン生成器１によって生成されたオゾンガス0３量を計 算する。チャンバー１１（第１図）内に固定された電極２８間に放電があるたび に、高電圧トランスフォーマー４２の巻線にパルスが形成される。ピックアップ コイル７４は、高電圧トランスフォーマー４２の巻線に電磁的に接続されており 、放電によるパルスがこのピックアップコイル７４に電流を誘導するようになっ ている。検出回路４４は、これらのパルスを検知し、マイクトコントローラー３ ８の出力７２を生成する。 第２図を参照すると、検出回路４４は、ダイオード７６、コンデンサー７８、 抵抗器８０および演算増幅器８２を含む。演算増幅器（operational amplfier； op amp）８２は、電圧フォロワー（follower）あるいは単位ゲイン（gain）増幅 緩衝器として構成され、分離回路として機能する。コンデンサー７８は、ピック アップコイル７４に誘導された電圧によってダイオード７６を介して蓄電され、 op amp８２の入力電圧を提供する。op amp８２は対応出力パルス７２を生成する が、これはマイクロコントローラー３８に入力される。マイクロコントローラー ３８は、パルス領域を計算することによって放電で製造されたオゾン0３量を決 定するプログラムコードを含んでいる。流量メーター２５で読み取った値をこの 計算に用いる。閉鎖容器１１内の温度も考慮するのが好ましい。すなわち、閉鎖 容器１１内の温度が上昇するにつれ、グリッド２８にかかる電圧も増加させる必 要がある。酸素２４の流れが医療グレードの酸素から構成されている場合、入力 エネルギーと生成されるオゾン0３量は、直接的に対応する。一方、酸素２４の 流れが医療グレードの酸素つまり純粋酸素を含んでいない場合は、補正係数を計 算に導入しなければならない。 本発明による、検出回路４４とマイクロコントローラー３８の構成における、 重要な利点は、オゾンの測定を「インライン」で行えるということである。つま り、測定をインラインで組み込めるので測定技法によってオゾンガス0３が汚染 したり変わってしまったりという問題がなくなる。 マイクロコントローラー３８は、マイクロチップテクノロジース（Microchip Technologies）社から入手できる市販のPCT１６C７１を使用して作り上げること ができる。このPCT１６C７１は、本発明の方法による処理工程を実行するのに適 したプログラミングがされている。PCT１６C７１コントローラーは、シングルチ ップ装置で、マイクロプロセッサーと「オンチップ（on-chip）」プログラムメ モリー、データメモリー、入力／出力ポート、タイマー、および他のオンチップ リソースを含んでいる。 オゾン生成器１の操作を制御するためのコントロールループは、PID（Proport ional plus Integral plus Derivative；比例、積分、微分）制御モードを用い て実行される閉鎖系の制御ループとして作り上げられているのが好ましい。比例 制御システムは、先ず制御された実際の量の値と目標値すなわちセットポイント とを決定し、その差異に補正比例分を適用する。マイクロコントローラー３８は 、チャンバー１１に入る酸素２４の量および／またはグリッド２８にかかる電圧 を調整し監視することによって、生成オゾンガス0３量を制御する。伝達関数に 積分および微分項を加えると、コントロールループの性能が向上する。オゾンコ ントロールループに関しては、微分項は、電極２８からの出力とチャンバー１１ 内でのオゾンガス0３生成との間のシーケンシャルラグ（sequentiql lqg）を補 償するべく、選択される。ソフトウエアでコントロールループを作り上げるのは 、当業者にとって理解できる範囲であり、これ以上の説明は不要である。 本発明は、本発明の精神と必須要素から離れることなく他の特定の形式でも具 現化される。したがって、ここで議論した実施例は、説明のためのものであって 本発明を限定しようとするものではない。発明の範囲は、これまで述べた記載よ りむしろ添付の請求の範囲によって指示される。したがって、この請求の範囲と 均等の意味や範囲内の全ての変化は、この請求の範囲に包含されることになる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＤＥ， ＤＫ，ＥＳ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，Ｍ Ｃ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ， ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＫＥ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ)， ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，Ｃ Ｈ，ＣＮ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ ，ＧＥ，ＨＵ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ， ＬＫ，ＬＲ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＮ，Ｍ Ｗ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ ，ＳＥ，ＳＩ，ＳＫ，ＴＪ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＳ，ＵＺ， ＶＮ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．公知の濃度および測定可能な流量速度で、酸素供給から提供される酸素か らオゾンを生成する装置において、該装置が： （a）前記酸素供給からの酸素を受け取るための入口と、オゾンと酸素 を放出するための出口を有する閉鎖容器； （b）前記閉鎖容器内部に固定された複数の電極で、絶縁体によって隔 てられている該電極； （c）前記電極を付勢する付勢手段で、制御信号を受けるための制御入 力および電源に接続させるための入力ポートを有する該付勢手段；を有し （d）前記付勢手段が前記制御信号に応答する生成器手段を含み、前記 電極に接続されている出力で高電圧を生成させて、前記電極を付勢し電場を生成 することによって前記酸素よりオゾンを形成するようになっていて；そして （e）生成オゾン量を決定する手段を有し、これは、前記オゾンを形成 する際の前記酸素と前記電場との相互作用によって生成される放電電流を感知す るために、前記生成器手段の高電圧出力に接続されたセンサー手段、および、前 記放電電流におけるエネルギーおよび前記酸素供給からの酸素の濃度と流量速度 から、オゾンの量を計算する手段を含むことを特徴とする前記装置。 ２．前記密閉容器内の温度を表示する温度読み取り信号を作成する温度センサ ーをさらに含み、前記計算手段がその温度読み取りに応答する請求の範囲第１項 記載の装置。 ３．高電圧出力を生成するための前記生成器手段が、前記制御信号に応答する 制御されたAC出力を作成するための手段を含む請求の範囲第１項記載の装置。 ４．前記密閉容器が医療グレードのテフロン材から形成された請求の範囲第１ 項記載の装置。 ５．前記制御信号がパルス幅変調された信号を構成する請求の範囲第１または ３項記載の装置。 ６．オゾン生成装置のためのAC信号を線形制御する装置において、該装置が： （a）AC信号を受けるための入力ポートを有するブリッジネットワーク で、スイッチング制御入力およびブリッジ出力ポートを有する、該ブリッジネッ トワーク； （b）制御信号を受けるための入力と前記ブリッジネットワークのスイ ッチング制御入力に接続されている出力とを有する制御回路で、前記制御信号に 応答し前記出力でスイッチング制御信号を生成する手段を有して前記ブリッジネ ットワークをスイッチングし、前記ブリッジ出力ポートで制御される電源信号を 作成するようになっている該制御回路； （c）出力ポートと、前記ブリッジの出力ポートに接続された入力ポー ト、そして前記制御された電源信号に応答する手段を含み、前記出力ポートで高 電圧出力信号を作成するようになっている、トランスフォーマーを含むことを特 徴とする前記装置。 ７．スイッチング制御信号を生成するための前記手段がトランジスタを構成す る、請求の範囲第６項記載の装置。 ８．制御信号がパルス幅変調信号を構成する請求の範囲第６または７項記載の 装置。 ９．制御信号が周波数の変化する方形波を構成する請求の範囲第６または７項 記載の装置。 １０．前記制御信号に応答する制御されたAC出力信号を作成するための手段が 、入力ポートと、出力ポートと、ブリッジネットワークを含み、このブリッジネ ットワークが、前記電源に接続するための入力と、前記トランスフォーマーの入 力ポートに接続された出力と、ブリッジ制御入力を有し、制御されたAC出力を作 成する前記手段はさらに、このブリッジ制御入力に接続されたスイッチング回路 を含み、前記制御信号に応答して、前記ブリッジネットワークをスイッチングし 、前記トランスフォーマーの出力ポートで高電圧出力を作成するようになってい る請求の範囲第３項記載の装置。 １１．オゾン生成器で製造されたオゾンの量を決定するセンサーにおいて、酸 素供給からの酸素を公知の濃度と測定可能な流量で受けるための入口と、オゾン と酸素を放出するための出口を有する閉鎖容器を含み、この生成器はさらに、前 記閉鎖容器内部に固定され絶縁体によって隔てられている複数の電極、そして制 御信号を受けるための制御入力、電源に接続するための入力ポート、および前記 電極に接続される出力を有する高電圧生成器を含み、制御信号に応答して電極を 付勢し、電場を形成し、酸素からオゾンを形成するようになっている該センサー が （a）高電圧生成器の出力に接続され、オゾン形成の際、酸素と電場と の相互作用によって作成された放電電流を感知するための感知手段； （b）前記放電電流から、オゾン生成器によって製造されたオゾン量を 決定する手段；を含み （c）前記オゾン量を決定する手段が、酸素供給によって供給された酸 素の濃度と流量速度に応答することを特徴とする前記センサー。 １２．前記感知手段が高電圧生成器の出力に電磁的に接続されているコイルを 構成する請求の範囲第１１項記載のセンサー。 １３．製造オゾン量を決定する前記手段が、前記放電される電流に対応する信 号と酸素の濃度と流量速度に対応するデータを受けるように接続され、プログラ ミングされたマイクロコントローラーを構成する請求の範囲第１２項記載のセン サー。 １４．前記感知手段が前記コイルの出力に接続された増幅器を含み、そして前 記マイクロコントローラーのために前記信号を作成する手段を有する請求の範囲 第１３項記載のセンサー。 １５．前記オゾン生成器が、前記閉鎖容器内の温度を表示する温度読み取り信 号を作成する温度センサーをさらに含み、前記マイクロコントローラーが前記温 度読取信号を受ける入力を有する請求の範囲第１４項記載のセンサー。 １６．前記オゾン生成器が、前記酸素供給に接続された流量速度メーターをさ らに含み、前記マイクロコントローラーのために流量速度読み取りを生成する手 段を有する請求の範囲第１５項記載のセンサー。 １７．前記制御信号がパルス幅変調信号を構成する請求の範囲第１６項記載の センサー。 １８．オゾン生成器で製造されたオゾン量を決定するセンサーにおいて、前記 酸素供給体からの酸素を、公知の濃度と測定可能な流量で受けるための入口と、 オゾンと酸素を放出するための出口を有する閉鎖容器を含み、この生成器はさら に、前記閉鎖容器内部に固定され絶縁体によって隔てられている複数の電極、そ して制御信号を受けるための制御入力、電源に接続するための入力ポート、およ び前記電極に接続される出力を有する高電圧生成器を有して、制御信号に応答さ せて電極を付勢し、電場を形成し、酸素からオゾンを形成するようになっている 該センサーが （a）高電圧生成器の出力に接続され、オゾン形成の際、酸素と電場と の相互作用によって作成された放電電流を感知するための感知手段で、高電圧生 成器の出力に電磁的に接続されたコイルと前記コイルの出力に接続された増幅器 を含んで、前記放電電流に対応する信号を生成するようになっている該感知手段 ；および （b）前記信号を受けるように接続されたマイクロコンピュータで、酸 素供給から供給される酸素の濃度と流量速度レベルを読み取るための手段、そし て 前記オゾン生成器で製造されるオゾン量を決定する手段を有する、該マイクロコ ントローラーを含むことを特徴とする前記センサー。 １９．酸素供給から提供される酸素からオゾンを生成する装置において、該装 置が： （a）前記酸素供給を受けるための入口と、オゾンと酸素を放出するた めの出口を有する閉鎖容器； （b）前記閉鎖容器内部に固定された複数の電極で、絶縁体によって隔 てられている該電極；および （c）前記電極を付勢する付勢手段で、制御信号を受けるための制御入 力および電源に接続させるための入力ポートを有する該付勢手段；を含み（d） 前記付勢手段が、前記制御信号に応答して、出力で、制御可能なAC電圧を生成す る生成器手段を含み、前記出力が前記電極に接続されて前記電極を付勢し電場を 製造し前記酸素からオゾンを形成するようになっており；そして （e）制御可能なAC電圧を生成するための前記生成器手段が、入力ポー トと出力ポートとを含むトランスフォーマー、および、前記電源に接続するため の入力と前記トランスフォーマーの入力ポートに接続される出力とを有するブリ ッジネットワーク、そして、ブリッジ制御入力を含み、前記生成器手段はブリッ ジ制御入力に接続されたスイッチング回路を含み、前記ブリッジネットワークを 前記制御信号に応答してスイッチングして、高電圧出力を前記トランスフォーマ ーの出力ポートで作成するようになっている前記装置。