JPH11503812A - 動圧型流体膜スラスト軸受け用トップフォイルプレート - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 動圧型流体膜スラスト軸受け（１０）のトップフォイル（１２）が、単一の平坦な環状のディスクから形成される。この環状ディスクはその外径から内径へと延在し且つフォイルプレート（１６）へと向かって突出する半径方向窪み（３０）を有し、これらの隣接する窪みの間にフォイルプレートに取着されたフォイルバンパ（１４）を補完するように構成された作用面（３９）が画定される。上側フォイルプレートの緩衝用フォイルと下側フォイルプレートの緩衝用フォイルは、軸方向に整合させて配置するか、または互いにずらして配置することもできる。これら２セットの緩衝用フォイルをずらして配置する場合、上側緩衝用フォイルの前縁（３１）は下側緩衝用フォイルの前縁（３３）の（緩衝用フォイルに流入する空気流の方向に関して）上流側に位置する。

Description

【発明の詳細な説明】 動圧型流体膜スラスト軸受け用トップフォイルプレート相互参照 本特許出願の内容は、同じ発明者により同日に出願され、ユナイテッドテクノ ロジーズコーポレイションに譲渡された“Ｈydrodynamic Ａir Ｔhrust Ｂearin g with Ｏffset Ｂump Ｆoils”というタイトルの米国特許出願（代理人整理番 号Ｎ413）に関連がある。技術分野 本発明は動圧型流体膜スラスト軸受け(hydrodynamic fluid film thrust bear ing)に関する。特に、トップフォイルプレート(top foil plate)の構造に関する 。背景技術 本発明は、１９８４年７月３１日にＧ．Ｌ．Ａｇｒａｗａｌに付与されユナイ テッド・テクノロジーズ・コーポレイションに譲渡された“Ｈydrodynamic Flui d Film Ｔhrust Ｂearing”というタイトルの、米国特許第４，４６２，７００ 号に対し改良をなすものである。この技術ではよく知られているように、スラス ト軸受けは複数のトップフォイルプレートセグメント及びくさび形に形成された 複数のセグメント化された緩衝用フォイル即ち複数のパッドからなる。トップフ ォイルプレートセグメントはセグメント化された緩衝用フォイル上に適合され、 これらのセグメントの各々はフォイルプレートの上面に取り付けられる。従って 、トップフォイルプレートセグメントの数は、緩衝用フォイルセグメントの数に 等しい。これらのセグメント（すなわちトップフォイルプレート及び緩衝用フォ イル）の前縁は、フォイルプレートに個々に溶接され、フォイルプレートの周囲 回りに均等な間隔で配置される。後縁は取着されず、軸方向に自由に動ける状態 のままとされる。フォイルプレートは トロイダル形のディスクまたはワッシャー状の部材であり、その内径は回転機の 回転軸にちょうど嵌合するサイズとなっている。スラスト軸受けはスラストラン ナ(thrust runner)とスラストプレート(thrust plate)との間に挟まれて配置さ れる。 この従来知られているスラスト軸受けの設計では、セグメントの各々がフォイ ルプレートに溶接され、従って、７パッドの緩衝用フォイルと７パッドのトップ フォイルとを使用するような設計では、フォイルプレートに溶接される前縁の数 は１４となる。このような数の溶接は、スラスト軸受けに望ましくない反りを発 生させ、軸受けの許容荷重に悪影響を与える。また、回転機の始動及びコースト ダウン（coast down）における摩擦を低減するため、各トップフォイルパッドの 上面を乾燥フィルム潤滑コーティングで被覆し、この面がスラストランナと接触 するようにすることが通常的になされている。これは、そのような回転速度は空 気膜を維持するのに十分でないからである。各トップフォイルパッドをコーティ ングするため、各パッド上のコーティングの厚さ及び特質がばらつく傾向があり 、不均一となることがわかっている。 トップフォイルをフォイルプレートと同じような形状の比較的平坦なディスク であり且つ半径方向に窪みをつけてくさび形の弓形セグメントをなすように押圧 成形された単一の部材に形成することによって、このようなタイプの流体式フォ イルベアリングを改善できることがわかった。このディスクはフォイルプレート に溶接された緩衝用フォイル上に適合され、そのようなディスク形に押圧成形さ れたトップフォイルはこれらの緩衝用フォイルの上に配置される。一部材構成で あるこの平坦なディスクによって溶接の必要がなくなり、また、上面全体がコー ティングされるためパッドを個々にコーティングする必要もなくなる。その結果 、より均一な厚さ及び特質を有する乾燥潤滑剤コーティングが得られる。発明の要約 本発明の目的は、改善された動圧型空気膜スラスト軸受けを提供することであ る。 本発明の特徴は、トップフォイルプレートが単一のシート状金属素材から、緩 衝用フォイルを補完するフォイルパッドが押圧形成されたワッシャー形のディス クの形態に形成されることであり、それによって個々のパッドをトップフォイル プレートに溶接する必要がなくなり、単一の面を乾燥潤滑剤コーティングで被覆 すればよく、コーティングの厚さ及び特質における不均一性を最小化または排除 することができる。 本発明の上述の特徴及び他の特徴は、以下の説明及び添付の図面からより明ら かとなるだろう。図面の簡単な説明 第１図は、動圧型流体膜スラスト軸受けに使用される本発明の詳細を示す、分 解組立斜視図である。 第２図は、第１図に示したスラスト軸受けの半径方向面を通るように取った断 面図である。 第３図は、緩衝用フォイルがずらされて配置（offset）された、第２図に示し たのと同様の図面である。好適実施例の詳細な説明 本発明を実施する様々な実施例について開示するが、当業者には理解されるよ うに、本発明は他の型の動圧型流体スラスト軸受けにも適用可能であり、特に、 トップフォイルを分割されたパッドとして製造する必要をなくすことが望まれる 場合に適用可能であることを理解されたい。 本発明は、第１図乃至第３図を参照することにより最もよく理解される。これ らの図に開示される全体的に参照符号１０で示されたスラスト軸受け１０は、ト ップフォイルプレート１２、緩衝用フォイル１４、フ ォイルプレート１６、フォイルプレート１８、及び緩衝用フォイル２０を含んで いる。分解組立斜視図である第１図に示すように、９つの緩衝用フォイル１４は 、くさび形または頂部の切り落とされた扇形の波形パッド２２をなし、それらの 波形はフォイルプレート１６の平坦な外面２４の周りに周方向に間隔をおいて径 方向に向いている。 バッキングスプリング（backing spring）を構成する下側フォイルプレート１ ８にも、９つの緩衝用フォイルが取りつけられており、これらは波形のくさび形 状パッド２６を形成し、波形はパッド２２の向きと同様の向きに向けられている 。くさび形状パッド２６はフォイルプレート１８の平坦な下面２８周りに周方向 に間隔をおいて配置されている。 高い弾性を有するばね金属材料から形成されるくさび形状緩衝用フォイル１４ 及び２０は、適切な空気膜の形成に必要とされるコンプライアンスをスラスト軸 受けに与える。またそれらは、スラストランナのそれが使用される回転機（例え ば、空気サイクルマシン）内における軸方向位置を定めるべく、スラストランナ の相対する側にシムとして設置されたとき、スラスト軸受けによって常に所定の 最小負荷が維持されるようにばねとしても働く。くさび形状のパッド及びフォイ ルプレートのばね定数は、それらが使用されるべき用途の特定のパラメータに依 存する。同様に、当業者には理解されるように、緩衝用フォイルの数も特定の用 途に応じて決定される。緩衝用フォイルの上側及び下側フォイルプレートへの取 り付けは、任意の適切な手段によりなされる。よく知られているように、前縁ま たは後縁のいずれかが、溶接、鑞付けなどの適切な方法でフォイルプレートに取 着され、他方の端部（即ち、前縁または後縁）は軸方向に自由に動けるように非 取着状態のままとされる。本発明のこの側面は公知であり、その詳細については 上記の米国特許第４，４６２，７００号を参照されたい。 本発明に基づき、トップフォイルプレート１２は、フォイルプレート１６の平 坦面２４へと下向きに向いた突起２９をなす径方向の窪み３０を形成するよう押 圧成形された単一の平坦なトロイダル形ばね金属材料から形成されている。隣接 する窪み３０はそれらの間に複数のくさび形または扇形の隆起部３２を、緩衝用 フォイル２２の各々の大きさ及び形状と概ね同じように且つ同じ数だけ形成し、 運転状態時、それらとともに協動し補完する作用面３９を画定する。第１図乃至 第３図に示すように、扇形部分は緩衝用フォイル１４の上に位置し、従来知られ ている個々のトップフォイルと同じ目的を果たす。米国特許第４，４６２，７０ ０号には、従来知られているトップフォイルの一例が開示されている。 トップフォイル１２は単一の部材から形成されているため、上述したような従 来知られている個々のトップフォイルをコーティングするのに付随する従来知ら れている問題を効果的に防ぐことができる。トップフォイルプレートの上面は、 回転機の回転部の始動及びコーストダウンにおいて摩擦を低減する働きをする公 知の乾燥フィルム低摩擦潤滑材料によってコーティングされる。始動及びコース トダウン時には、スラストランナの回転速度が空気膜を維持するのに不十分とな りスラストランナにこのコーティングが接触するため、このことは特に重要であ る。 第２図のスラスト軸受けの構成は、緩衝用フォイル１４と２６のそれぞれの前 縁３１と３３及び後縁３５と３７は、互いに重なるように配置されている。第３ 図に示したスラスト軸受けの構成では、緩衝用フォイル１４と２０のそれぞれの 前縁３１と３３及び後縁３５と３７は互いに図示されているように相対的にずら されて配置されている。（全ての図面において同様の要素には同様の参照符号が 付されている） 本発明は従来知られている動圧型流体膜スラスト軸受けに対し、限定するわけ ではないが、以下に示すような数々の利点を有している： １）トップフォイルが単一の部材から形成されるため、その製造が簡単である ； ２）部材の数が減少されており、従って在庫も同様に減少される； ３）トップフォイルはフォイルプレートに溶接されず、そのためそれらの組立 及び製造がより容易になる；（従来は、トップフォイルと緩衝用フォイルは両方 ともフォイルプレートに溶接されており、この複数の溶接のためしばしばスラス ト軸受けに反りが生じ、その許容荷重が低下することがあった）；及び ４）従来知られているスラスト軸受けの分割されたトップフォイル片と異なり 、トップフォイルのコーティングがトップフォイルの全面に一回で施されるため 、コーティングの厚さ及びその特質がより均一になる。 本発明をその詳細な実施例に関して示し、説明してきたが、当業者には理解さ れるように、本発明の思想及び請求の範囲を逸脱することなくその形態及び細部 を様々に変更することが可能である。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】１９９７年４月１４日 【補正内容】 明細書技術分野 本発明は動圧型流体膜スラスト軸受け（hydrodynamic fluid film thrust bea ring)に関する。特に、トップフォイルプレート(top foil plate)の構造に関す る。背景技術 本発明は、１９８４年７月３１日にＧ．Ｌ．Ａｇｒａｗａｌに付与された“Ｈ ydrodynamic Ｆluid Ｆilm Ｔhrust Ｂearing”というタイトルの、ＵＳ−Ａ− ４，４６２，７００に対し改良をなすものである（大きく２つの部分からなる独 立請求項１は、この特許出願に基づいている）。 この技術ではよく知られているように、スラスト軸受けは複数のトップフォイ ルプレートセグメント及びくさび形に形成された複数のセグメント化された緩衝 用フォイル即ち複数のパッドからなる。トップフォイルプレートセグメントはセ グメント化された緩衝用フォイル上に適合され、これらのセグメントの各々はフ ォイルプレートの上面に取り付けられる。従って、トップフォイルプレートセグ メントの数は、緩衝用フォイルセグメントの数に等しい。これらのセグメント( すなわちトップフォイルプレート及び緩衝用フォイル)の前縁は、フォイルプレ ートに個々に溶接され、フォイルプレートの周囲回りに均等な間隔で配置される 。後縁は取着されず、軸方向に自由に動ける状態のままとされる。フォイルプレ ートは環状のディスクまたはワッシャー状の部材であり、その内径は回転機の回 転軸にちょうど嵌合するサイズとなっている。スラスト軸受けはスラストランナ （thrust runner）とスラストプレート（thrust plate）との間に挟まれて配置 される。 この従来知られているスラスト軸受けの設計では、セグメントの各々がフォイ ルプレートに溶接され、従って、７パッドの緩衝用フォイルと７パッドのトップ フォイルとを使用するような設計では、フォイルプレートに溶接される前縁の数 は１４となる。このような数の溶接は、スラスト軸受けに望ましくない反りを発 生させ、軸受けの許容荷重に悪影響を与える。また、回転機の始動及びコースト ダウン（coast down）における摩擦を低減するため、各トップフォイルパッドの 上面を乾燥フィルム潤滑コーティングで被覆し、この面がスラストランナと接触 するようにすることが通常的になされている。これは、そのような回転速度は空 気膜を維持するのに十分でないからである。各トップフォイルパッドをコーティ ングするため、各パッド上のコーティングの厚さ及び特質がばらつく傾向があり 、不均一となることがわかっている。 トップフォイルをフォイルプレートと同じような形状の比較的平坦なディスク であり且つ半径方向に窪みをつけてくさび形の弓形セグメントをなすように押圧 成形された単一の部材に形成することによって、このようなタイプの流体式フォ イルベアリングを改善できることがわかった。このディスクはフォイルプレート に溶接された緩衝用フォイル上に適合され、そのようなディスク形に押圧成形さ れたトップフォイルはこれらの緩衝用フォイルの上に配置される。一部材構成で あるこの平坦なディスクによって溶接の必要がなくなり、また、上面全体がコー ティングされるためパッドを個々にコーティングする必要もなくなる。その結果 、より均一な厚さ及び特質を有する乾燥潤滑剤コーティングが得られる。 ＦＲ−Ａ−２，４５８，７０７を参照されたい。それに開示された動圧型流体 膜スラスト軸受けでは、複数の緩衝用フォイルがベース部材に取り付けられ、単 一のフレキシブルな環状フォイルプレートがこれらの緩衝用フォイル上に配置さ れる。この環状フォイルプレートは、低回転においても動圧の生成を可能とする べく、前記した緩衝用フォイル間の間隔と整合した半径方向に延在する複数の窪 みを有している。発明の要約 本発明の目的は、上述した不都合を避けることのできる改善された動圧型流体 膜スラスト軸受けを提供することである。 それを達成するため、本発明に基づくと、動圧型流体膜スラスト軸受けであっ て、平坦な上面を有する環状部材に形成された単一の部材と、前記平坦面上に周 方向に間隔を置いて配置された相対する側縁を有する複数の上側緩衝用フォイル と、前記上側緩衝用フォイルの前記相対する側縁の一方を前記平坦な上面に取着 し且つ前記相対する側縁の他方が軸方向に動くのを可能とする手段とから形成さ れた上側フォイルプレートと、前記上側緩衝用フォイルの上に配置されたトップ フォイル手段と、 平坦な下面と、前記平坦な下面上に周方向に間隔を置いて配置された相対する側 縁を有する前記上側緩衝用フォイルと同数の下側緩衝用フォイルと、前記下側緩 衝用フォイルの前記相対する側縁の一方を前記平坦な下面に取着し且つ前記相対 する側縁の他方が軸方向に動くのを可能とする手段とを有する下側フォイルプレ ートとを有し、前記上側緩衝用フォイルと前記下側緩衝用フォイルとが周方向に 互いに実質的にずらされて配置され、前記トップフォイル手段が平坦なワッシャ ー形部材に形成された単一のトップフォイルを含んでおり、前記ワッシャー形部 材には前記上側フォイルプレートヘ向かって突出し且つ前記ワッシャー部材の内 径から前記ワッシャー部材の外径へと延在する周方向に間隔を置いて配置された 半径方向に延在する窪みが設けられており、前記単一のトップフォイルは上面と 下面とを有し且つ前記下面上の隣接する窪み間に平坦面部分が画定され、前記平 坦面部分は前記上側緩衝用フォイルの各々を補完してそれらの上に位置するよう 構成されており、そうして前記単一のトップフォイルの上面が一回の塗布により 乾燥低摩擦潤滑剤で被覆され得ることを特徴とする動圧型流体膜スラスト軸受け が提供される。 トップフォイルプレートを単一のシート状金属素材から、緩衝用フォイルを補 完するフォイルパッドが押圧形成されたワッシャー形のディスクの形態に形成す ることにより、個々のパッドをトップフォイルプレートに溶接する必要がなくな り、そのため単一の面を乾燥潤滑剤コーティングで被覆すればよく、コーティン グの厚さ及び特質における不均一性を最小化または排除することができる。 本発明の上述の特徴及び他の特徴は、以下の説明及び添付の図面からより明ら かとなるだろう。図面の簡単な説明 第１図は、動圧型流体膜スラスト軸受けに使用される本発明の詳細を 示す、分解組立斜視図である。 第２図は、第１図に示したスラスト軸受けの半径方向面を通るように取った断 面図であり、緩衝用フォイルがずらされて配置（offset）されている。好適実施例の詳細な説明 本発明を実施する様々な実施例について開示するが、当業者には理解されるよ うに、本発明は他の型の動圧型流体スラスト軸受けにも適用可能であり、特に、 トップフォイルを分割されたパッドとして製造する必要をなくすことが望まれる 場合に適用可能であることを理解されたい。 本発明は、第１図乃至第２図を参照することにより最もよく理解される。これ らの図に開示される全体的に参照符号１０で示されたスラスト軸受け１０は、ト ップフォイルプレート１２、緩衝用フォイル１４、フォイルプレート１６、フォ イルプレート１８、及び緩衝用フォイル２０を含んでいる。 くさび形状のパッド及びフォイルプレートのばね定数は、それらが使用されるべ き用途の特定のパラメータに依存する。同様に、当業者には理解されるように、 緩衝用フォイルの数も特定の用途に応じて決定される。緩衝用フォイルの上側及 び下側フォイルプレートへの取り付けは、任意の適切な手段によりなされる。よ く知られているように、前縁または後縁のいずれかが、溶接、鑞付けなどの適切 な方法でフォイルプレートに取着され、他方の端部（即ち、前縁または後縁）は 軸方向に自由に動けるように非取着状態のままとされる。本発明のこの側面は公 知であり、その詳細についてはＵＳ−Ａ−４，４６２，７００号を参照されたい 。 本発明に基づき、トップフォイルプレート１２は、フォイルプレート１６の平 坦面２４へと下向きに向いた突起２９をなす径方向の窪み３０を形成するよう押 圧成形された単一の平坦な環状ばね金属材料から形成されている。隣接する窪み ３０はそれらの間に複数のくさび形または扇形の隆起部３２を、緩衝用フォイル ２２の各々の大きさ及び形状と概ね同じように且つ同じ数だけ形成し、運転状態 時、それらとともに協動し補完する作用面３９を画定する。第１図乃至第３図に 示すように、扇形部分は緩衝用フォイル１４の上に位置し、従来知られている個 々のトップフォイルと同じ目的を果たす。ＵＳ−Ａ−４，４６２，７００には、 従来知られているトップフォイルの一例が開示されている。 トップフォイル１２は単一の部材から形成されているため、上述したような従 来知られている個々のトップフォイルをコーティングするのに付随する従来知ら れている問題を効果的に防ぐことができる。トップフォイルプレートの上面は、 回転機の回転部の始動及びコーストダウンにおいて摩擦を低減する働きをする公 知の乾燥フィルム低摩擦潤滑材料によってコーティングされる。始動及びコース トダウン時には、スラストランナの回転速度が空気膜を維持するのに不十分とな りスラストランナ にこのコーティングが接触するため、このことは特に重要である。 第３図に示したように、緩衝用フォイル１４と２０のそれぞれの前縁３１と３ ３及び後縁３５と３７は、互いに周方向に実質的にずらされて配置されている。 本発明は従来知られている動圧型流体膜スラスト軸受けに対し、限定するわけ ではないが、以下に示すような数々の利点を有している： １）トップフォイルが単一の部材から形成されるため、その製造が簡単である ； ２）部材の数が減少されており、従って在庫も同様に減少される； ３）トップフォイルはフォイルプレートに溶接されず、そのためそれらの組立 及び製造がより容易になる；（従来は、トップフォイルと緩衝用フォイルは両方 ともフォイルプレートに溶接されており、この複数の溶接のためしばしばスラス ト軸受けに反りが生じ、その許容荷重が低下することがあった）；及び ４）従来知られているスラスト軸受けの分割されたトップフォイル片と異なり 、トップフォイルのコーティングがトップフォイルの全面に一回で施されるため 、コーティングの厚さ及びその特質がより均一になる。 請求の範囲 １．動圧型流体膜スラスト軸受けであって、 平坦な上面を有する環状部材に形成された単一の部材と、前記平坦面上に周方 向に間隔を置いて配置された相対する側縁（３１、３５）を有する複数の上側緩 衝用フォイル（１４）と、前記上側緩衝用フォイル（１４）の前記相対する側縁 （３１、３５）の一方を前記平坦な上面に取着し且つ前記相対する側縁の他方が 軸方向に動くのを可能とする手段とから形成された上側フォイルプレート（１６ ）と、 前記上側緩衝用フォイル（１４）の上に配置されたトップフォイル手段と、 平坦な下面と、前記平坦な下面上に周方向に間隔を置いて配置された相対する 側縁（３３、３７）を有する前記上側緩衝用フォイル（１４）と同数の下側緩衝 用フォイル（２０）と、前記下側緩衝用フォイル（２０）の前記相対する側縁（ ３３、３７）の一方を前記平坦な下面に取着し且つ前記相対する側縁（３３、３ ７）の他方が軸方向に動くのを可能とする手段とを有する下側フォイルプレート （１８）とを有し、 前記上側緩衝用フォイル（１４）と前記下側緩衝用フォイル（２０）とが周方 向に互いに実質的にずらされて配置され、前記トップフォイル手段が平坦なワッ シャー形部材に形成された単一のトップフォイル（１２）を含んでおり、前記ワ ッシャー形部材には前記上側フォイルプレート（１６）へ向かって突出し且つ前 記ワッシャー部材の内径から前記ワッシャー部材の外径へと延在する周方向に間 隔を置いて配置された半径方向に延在する窪み（３０）が設けられており、前記 単一のトップフォイル（１２）は上面と下面とを有し且つ前記下面上の隣接する 窪み間に平坦面部分が画定され、前記平坦面部分は前記上側緩衝用フォイル（１ ４）の各々を補完してそれらの上に位置するよう構成されており、そう して前記単一のトップフォイル（１２）の上面が一回の塗布により乾燥低摩擦潤 滑剤で被覆され得ることを特徴とする動圧型流体膜スラスト軸受け。 ２．前記上側緩衝用フォイル（１４）及び前記下側緩衝用フォイル（２０）の前 記相対する側縁（３１、３５；３３、３７）が前記スラスト軸受けに流入する流 体の流れに関して前縁及び後縁を含み、前記上側緩衝用フォイル（１４）の前記 前縁（３１）が前記上側フォイルプレート（１６）の前記平坦な上面に取着され 、前記後縁（３５）が軸方向に自由に動くことができることを特徴とする請求項 １または２に記載の動圧型流体膜スラスト軸受け。 ３．前記上側緩衝用フォイル（１４）及び前記下側緩衝用フォイル（２０）の前 記相対する側縁（３１、３５；３３、３７）が前記スラスト軸受けに流入する流 体の流れに関して前縁及び後縁を含み、前記下側緩衝用フォイル（２０）の前記 後縁（３７）が前記下側フォイルプレート（１８）の前記平坦な下面に取着され 、前記前縁（３３）が軸方向に自由に動くことができることを特徴とする請求項 １または２に記載の動圧型流体膜スラスト軸受け。 【図２】

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．動圧型流体膜スラスト軸受けであって、 平坦な上面を有する環状のトロイダル形状の部材に形成された単一の部材と、 前記平坦面上に周方向に間隔を置いて配置された相対する側縁を有する複数の緩 衝用フォイルと、前記相対する側縁の一方を前記平坦な上面に取着し且つ前記相 対する側縁の他方が軸方向に動くのを可能とする手段とから形成されたフォイル プレートと、 前記フォイルプレートの上に配置された平坦なワッシャー形状の部材に形成さ れたトップフォイルであって、前記ワッシャー部材の内径から前記ワッシャー部 材の外径まで延在し且つ前記フォイルプレートへと向かって突出した周方向に間 隔を置いて形成された半径方向窪みを有する該トップフォイルとを有し、 前記トップフォイルは上面と下面とを有し、前記下面上の隣接する窪みの間の 前記平坦面の各々は前記緩衝用フォイルの各々を補完してそれらの上に位置する よう構成されており、そうして前記トップフォイルの前記上面が一回で乾燥低摩 擦潤滑剤で被覆され得ることを特徴とする動圧型流体膜スラスト軸受け。 ２．前記フォイルプレートと同一に構成された平坦な下面と、前記平坦な下面上 に周方向に間隔を置いて配置された相対する側縁を有する前記緩衝用フォイルと 同じ数の複数の下側緩衝用フォイルと、前記相対する側縁の各々の一方を前記平 坦な下面に取着し且つ前記相対する側縁の他方が軸方向に動くのを可能とする手 段とを有するボトム環状平坦フォイルプレートを含み、前記緩衝用フォイルと前 記他方の緩衝用フォイルとが軸方向に整合されていることを特徴とする請求項１ に記載の動圧型流体膜スラスト軸受け。 ３．前記緩衝用フォイル及び前記他方の緩衝用フォイルの前記相対する 側縁が、当該スラスト軸受けに流入する流体の流れに関して前縁と後縁とを含み 、前記上側フォイルの前記前縁は前記フォイルプレートの前記平坦上側面に取着 され、前記後縁は軸方向に自由に動くことができることを特徴とする請求項２に 記載の動圧型流体膜スラスト軸受け。 ４．前記緩衝用フォイル及び前記他方の緩衝用フォイルの前記相対する側縁が、 当該スラスト軸受けに流入する流体の流れに関して前縁と後縁とを含み、前記下 側フォイルの前記後縁が前記フォイルプレートの前記平坦な下面に取着され、前 記前緑は軸方向に自由に動くことができることを特徴とする請求項２に記載の動 圧型流体膜スラスト軸受け。 ５．前記フォイルプレートと同一に構成された平坦な下面と、前記平坦な下面上 に周方向に間隔を置いて配置された相対する側縁を有する前記緩衝用フォイルと 同じ数の複数の下側緩衝用フォイルと、前記相対する側縁の各々の一方を前記平 坦な下面に取着し且つ前記相対する側縁の他方が軸方向に動くのを可能とする手 段とを有するボトム環状平坦フォイルプレートを含み、前記緩衝用フォイルと前 記他方の緩衝用フォイルとが互いにずらされて配置されていることを特徴とする 請求項１に記載の動圧型流体膜スラスト軸受け。 ６．前記緩衝用フォイル及び前記他方の緩衝用フォイルの前記相対する側縁が、 当該スラスト軸受けに流入する流体の流れに関して前縁と後縁とを含み、前記上 側フォイルの前記前縁は前記フォイルプレートの前記平坦上側面に取着され、前 記後縁は軸方向に自由に動くことができることを特徴とする請求項５に記載の動 圧型流体膜スラスト軸受け。 ７．前記緩衝用フォイル及び前記他方の緩衝用フォイルの前記相対する側縁が、 当該スラスト軸受けに流入する流体の流れに関して前縁と後縁とを含み、前記下 側フォイルの前記後縁が前記フォイルプレートの前記平坦な下面に取着され、前 記前縁は軸方向に自由に動くことができるこ とを特徴とする請求項５に記載の動圧型流体膜スラスト軸受け。