JPH1137746A - 測定器 - Google Patents
測定器Info
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- JPH1137746A JPH1137746A JP9192407A JP19240797A JPH1137746A JP H1137746 A JPH1137746 A JP H1137746A JP 9192407 A JP9192407 A JP 9192407A JP 19240797 A JP19240797 A JP 19240797A JP H1137746 A JPH1137746 A JP H1137746A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B3/00—Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
- G01B3/22—Feeler-pin gauges, e.g. dial gauges
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐振動および耐衝撃性能の向上が可能な測定
器を提供する。 【解決手段】 本体ケース１にスピンドル１１を変位可
能に設け、このスピンドル１１の変位量を、本体ケース
１に基板３３を介して固定された固定側検出素子３２と
これにギャップＧを介して対向配置された可動側検出素
子３４（スピンドル１１に固定したスケール３５に形
成）を含む検出手段３１によって検出する。両検出素子
３２，３４間のギャップＧを許容値内に抑えるために、
スピンドル１１側にギャップ拡大制限ピン４１を、固定
側検出素子３２にギャップ縮小制限フィルムを設ける。
器を提供する。 【解決手段】 本体ケース１にスピンドル１１を変位可
能に設け、このスピンドル１１の変位量を、本体ケース
１に基板３３を介して固定された固定側検出素子３２と
これにギャップＧを介して対向配置された可動側検出素
子３４（スピンドル１１に固定したスケール３５に形
成）を含む検出手段３１によって検出する。両検出素子
３２，３４間のギャップＧを許容値内に抑えるために、
スピンドル１１側にギャップ拡大制限ピン４１を、固定
側検出素子３２にギャップ縮小制限フィルムを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定器本体にスピ
ンドルをその軸方向へ移動可能に支持し、このスピンド
ルの軸方向の変位量から被測定物の寸法などを測定する
測定器に関する。詳しくは、スピンドルの軸方向の変位
量を、測定器本体に固定された固定側検出素子およびこ
の固定側検出素子に所定のギャップを隔てて対向配置さ
れかつスピンドルに設けられた可動側検出素子を含む検
出手段によって、電気的信号として検出する構造の測定
器に関する。たとえば、ダイヤルゲージや直線変位測定
器などに利用できる。
ンドルをその軸方向へ移動可能に支持し、このスピンド
ルの軸方向の変位量から被測定物の寸法などを測定する
測定器に関する。詳しくは、スピンドルの軸方向の変位
量を、測定器本体に固定された固定側検出素子およびこ
の固定側検出素子に所定のギャップを隔てて対向配置さ
れかつスピンドルに設けられた可動側検出素子を含む検
出手段によって、電気的信号として検出する構造の測定
器に関する。たとえば、ダイヤルゲージや直線変位測定
器などに利用できる。
【０００２】
【背景技術】測定器本体と、この測定器本体に移動可能
に設けられたスピンドルと、前記測定器本体に固定され
た固定側検出素子およびこの固定側検出素子に所定のギ
ャップを隔てて対向配置されかつスピンドルに設けられ
た可動側検出素子を含み、両検出素子の相対移動変位量
を電気的信号として検出する検出手段とを備えた測定器
が知られている。
に設けられたスピンドルと、前記測定器本体に固定され
た固定側検出素子およびこの固定側検出素子に所定のギ
ャップを隔てて対向配置されかつスピンドルに設けられ
た可動側検出素子を含み、両検出素子の相対移動変位量
を電気的信号として検出する検出手段とを備えた測定器
が知られている。
【０００３】たとえば、測定器本体に移動可能に設けら
れたスピンドルの移動変位量を、測定器本体に設けられ
た固定側検出素子（投受光部や電極など）およびこれと
所定のギャップを隔てて対向配置されかつ前記スピンド
ルに設けられた可動側検出素子（光学格子や電極など）
を有する光学式、静電容量式などの検出手段によって電
気的信号として検出し、これを外部処理装置に送信、あ
るいは、測定器本体に設けられたデジタル表示器にデジ
タル表示するようにしたデジタル表示式ダイヤルゲージ
が知られている。
れたスピンドルの移動変位量を、測定器本体に設けられ
た固定側検出素子（投受光部や電極など）およびこれと
所定のギャップを隔てて対向配置されかつ前記スピンド
ルに設けられた可動側検出素子（光学格子や電極など）
を有する光学式、静電容量式などの検出手段によって電
気的信号として検出し、これを外部処理装置に送信、あ
るいは、測定器本体に設けられたデジタル表示器にデジ
タル表示するようにしたデジタル表示式ダイヤルゲージ
が知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この種の測定器は、イ
ンラインなどでの使用が多いことから、耐久性が要求さ
れている。そこで、耐久性の向上を目的として、スピン
ドルの軸受部にストロークベアリング（複数のボールを
円筒状の保持筒で回転可能に保持したベアリング）が採
用された。しかし、このストロークベアリングの採用に
より、摺動するスピンドルの一箇所をストロークベアリ
ングのみで支持する片持ち構造となり、特に、スピンド
ルの移動ストロークが長い機種では固定側検出素子と可
動側検出素子との検出部での剛性が低くなった。
ンラインなどでの使用が多いことから、耐久性が要求さ
れている。そこで、耐久性の向上を目的として、スピン
ドルの軸受部にストロークベアリング（複数のボールを
円筒状の保持筒で回転可能に保持したベアリング）が採
用された。しかし、このストロークベアリングの採用に
より、摺動するスピンドルの一箇所をストロークベアリ
ングのみで支持する片持ち構造となり、特に、スピンド
ルの移動ストロークが長い機種では固定側検出素子と可
動側検出素子との検出部での剛性が低くなった。
【０００５】とくに、インラインでの使用では、振動や
衝撃が与えられることが多いことから、これらの振動や
衝撃によって、固定側検出素子と可動側検出素子とのギ
ャップが変動しやすい。固定側検出素子と可動側検出素
子とのギャップが変動すると、信号処理回路などにおい
てミスカウントが発生し、安定した高精度な測定が実現
できないという問題がある。このようなことから、耐振
動／耐衝撃性能が高い測定器が望まれている。
衝撃が与えられることが多いことから、これらの振動や
衝撃によって、固定側検出素子と可動側検出素子とのギ
ャップが変動しやすい。固定側検出素子と可動側検出素
子とのギャップが変動すると、信号処理回路などにおい
てミスカウントが発生し、安定した高精度な測定が実現
できないという問題がある。このようなことから、耐振
動／耐衝撃性能が高い測定器が望まれている。
【０００６】本発明の目的は、このような従来の課題を
解決すべくなされたもので、耐振動および耐衝撃性能の
向上をはかり、信頼性の向上が可能な測定器を提供する
ことにある。
解決すべくなされたもので、耐振動および耐衝撃性能の
向上をはかり、信頼性の向上が可能な測定器を提供する
ことにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の測定器は、測定
器本体と、この測定器本体に移動可能に設けられたスピ
ンドルと、前記測定器本体に固定された固定側検出素子
およびこの固定側検出素子に所定のギャップを介して対
向配置されかつ前記スピンドルに設けられた可動側検出
素子を含み、両検出素子の変位量を電気的信号として検
出する検出手段とを有する測定器において、前記測定器
本体およびスピンドルのいずれか一方には、前記可動側
検出素子が固定側検出素子から離れる方向へ変位したと
き、前記測定器本体およびスピンドルのいずれか他方に
当接して前記ギャップが拡がるのを制限するギャップ拡
大制限部材が設けられていることを特徴とする。
器本体と、この測定器本体に移動可能に設けられたスピ
ンドルと、前記測定器本体に固定された固定側検出素子
およびこの固定側検出素子に所定のギャップを介して対
向配置されかつ前記スピンドルに設けられた可動側検出
素子を含み、両検出素子の変位量を電気的信号として検
出する検出手段とを有する測定器において、前記測定器
本体およびスピンドルのいずれか一方には、前記可動側
検出素子が固定側検出素子から離れる方向へ変位したと
き、前記測定器本体およびスピンドルのいずれか他方に
当接して前記ギャップが拡がるのを制限するギャップ拡
大制限部材が設けられていることを特徴とする。
【０００８】このような構成によれば、振動や衝撃など
によって、たとえば、スピンドルが傾き、可動側検出素
子が固定側検出素子から離れる方向へ変位しようとする
と、ギャップ拡大制限部材が一時的に測定器本体および
スピンドルのいずれか他方に当接してギャップが拡がる
のを制限するから、ギャップを許容値内に保持すること
ができる。よって、振動や衝撃などに対しても、可動側
検出素子と固定側検出素子とのギャップを許容値内に保
持することができるから、つまり、耐振動および耐衝撃
性能を向上させることができるから、信頼性の向上に寄
与できる。
によって、たとえば、スピンドルが傾き、可動側検出素
子が固定側検出素子から離れる方向へ変位しようとする
と、ギャップ拡大制限部材が一時的に測定器本体および
スピンドルのいずれか他方に当接してギャップが拡がる
のを制限するから、ギャップを許容値内に保持すること
ができる。よって、振動や衝撃などに対しても、可動側
検出素子と固定側検出素子とのギャップを許容値内に保
持することができるから、つまり、耐振動および耐衝撃
性能を向上させることができるから、信頼性の向上に寄
与できる。
【０００９】ここで、ギャップ拡大制限部材としては、
測定器本体およびスピンドルのいずれか一方に一体的に
突出成形してもよいが、たとえば、スピンドルにギャッ
プ拡大制限ピンを測定器本体に所定の隙間を隔てて設け
るようにするとよい。このようにすれば、ギャップ拡大
制限ピンをスピンドルや測定器本体とは別体として形成
し、これをスピンドルに接着固定、あるいは、圧入固定
するだけでよいから、簡単に構成できる。
測定器本体およびスピンドルのいずれか一方に一体的に
突出成形してもよいが、たとえば、スピンドルにギャッ
プ拡大制限ピンを測定器本体に所定の隙間を隔てて設け
るようにするとよい。このようにすれば、ギャップ拡大
制限ピンをスピンドルや測定器本体とは別体として形成
し、これをスピンドルに接着固定、あるいは、圧入固定
するだけでよいから、簡単に構成できる。
【００１０】また、本発明の測定器は、測定器本体と、
この測定器本体に移動可能に設けられたスピンドルと、
前記測定器本体に固定された固定側検出素子およびこの
固定側検出素子に所定のギャップを介して対向配置され
かつ前記スピンドルに設けられた可動側検出素子を含
み、両検出素子の変位量を電気的信号として検出する検
出手段とを有する測定器において、前記固定側検出素子
および可動側検出素子のいずれか一方には、前記可動側
検出素子が固定側検出素子に接近する方向へ変位したと
き、いずれか他方に接して前記ギャップが狭まるのを制
限するギャップ縮小制限部材が設けられていることを特
徴とする。
この測定器本体に移動可能に設けられたスピンドルと、
前記測定器本体に固定された固定側検出素子およびこの
固定側検出素子に所定のギャップを介して対向配置され
かつ前記スピンドルに設けられた可動側検出素子を含
み、両検出素子の変位量を電気的信号として検出する検
出手段とを有する測定器において、前記固定側検出素子
および可動側検出素子のいずれか一方には、前記可動側
検出素子が固定側検出素子に接近する方向へ変位したと
き、いずれか他方に接して前記ギャップが狭まるのを制
限するギャップ縮小制限部材が設けられていることを特
徴とする。
【００１１】このような構成によれば、振動や衝撃など
によって、たとえば、スピンドルが傾き、可動側検出素
子が固定側検出素子に接近する方向へ変位しようとする
と、ギャップ縮小制限部材が一時的に固定側検出素子お
よび可動側検出素子のいずれか他方に当接してギャップ
が狭まるのを制限するから、ギャップを許容値内に保持
することができる。よって、振動や衝撃などに対して
も、可動側検出素子と固定側検出素子とのギャップを許
容値内に保持することができるから、つまり、耐振動お
よび耐衝撃性能を向上させることができるから、信頼性
の向上に寄与できる。
によって、たとえば、スピンドルが傾き、可動側検出素
子が固定側検出素子に接近する方向へ変位しようとする
と、ギャップ縮小制限部材が一時的に固定側検出素子お
よび可動側検出素子のいずれか他方に当接してギャップ
が狭まるのを制限するから、ギャップを許容値内に保持
することができる。よって、振動や衝撃などに対して
も、可動側検出素子と固定側検出素子とのギャップを許
容値内に保持することができるから、つまり、耐振動お
よび耐衝撃性能を向上させることができるから、信頼性
の向上に寄与できる。
【００１２】ここで、ギャップ縮小制限部材としては、
固定側検出素子および可動側検出素子のいずれか一方に
ピンや突起を一体的、あるいは、別体として設けてもよ
いが、たとえば、固定側検出素子の可動側検出素子と対
向する面の周囲に沿ってギャップ縮小制限フィルムを設
けるようにするとよい。このようにすれば、固定側検出
素子を基板に封止樹脂を介して実装するような場合、ギ
ャップ縮小制限フィルムが封止樹脂のダムとしての機能
をも兼ねることができる。また、固定側検出素子の表面
にカバーガラスを装着するような場合、ギャップ縮小制
限フィルムがカバーガラスと可動側検出素子を有する部
材、たとえば、スケールとの接触を防ぎ、カバーガラス
を保護する役割を果たすことができる。
固定側検出素子および可動側検出素子のいずれか一方に
ピンや突起を一体的、あるいは、別体として設けてもよ
いが、たとえば、固定側検出素子の可動側検出素子と対
向する面の周囲に沿ってギャップ縮小制限フィルムを設
けるようにするとよい。このようにすれば、固定側検出
素子を基板に封止樹脂を介して実装するような場合、ギ
ャップ縮小制限フィルムが封止樹脂のダムとしての機能
をも兼ねることができる。また、固定側検出素子の表面
にカバーガラスを装着するような場合、ギャップ縮小制
限フィルムがカバーガラスと可動側検出素子を有する部
材、たとえば、スケールとの接触を防ぎ、カバーガラス
を保護する役割を果たすことができる。
【００１３】また、本発明の測定器は、測定器本体と、
複数のボールを保持筒で回転可能に保持したストローク
ベアリングを介して前記測定器本体に移動可能に設けら
れたスピンドルと、前記測定器本体に固定された固定側
検出素子およびこの固定側検出素子に所定のギャップを
介して対向配置されかつ前記スピンドルに設けられた可
動側検出素子を含み、両検出素子の変位量を電気的信号
として検出する検出手段とを有する測定器において、前
記スピンドルは、前記ストロークベアリングを複数個直
列配列した支持構造を介して、前記測定器本体に移動可
能に支持されていることを特徴とする。
複数のボールを保持筒で回転可能に保持したストローク
ベアリングを介して前記測定器本体に移動可能に設けら
れたスピンドルと、前記測定器本体に固定された固定側
検出素子およびこの固定側検出素子に所定のギャップを
介して対向配置されかつ前記スピンドルに設けられた可
動側検出素子を含み、両検出素子の変位量を電気的信号
として検出する検出手段とを有する測定器において、前
記スピンドルは、前記ストロークベアリングを複数個直
列配列した支持構造を介して、前記測定器本体に移動可
能に支持されていることを特徴とする。
【００１４】このような構成によれば、スピンドルは、
ストロークベアリングを複数個直列配列した支持構造を
介して、測定器本体に移動可能に支持されているから、
つまり、ベアリングスパンを従来の支持構造に比べ約２
倍にできるから、支持構造の剛性を向上させることがで
きる。よって、耐振動および耐衝撃性能を向上させるこ
とができるから、信頼性の向上に寄与できる。
ストロークベアリングを複数個直列配列した支持構造を
介して、測定器本体に移動可能に支持されているから、
つまり、ベアリングスパンを従来の支持構造に比べ約２
倍にできるから、支持構造の剛性を向上させることがで
きる。よって、耐振動および耐衝撃性能を向上させるこ
とができるから、信頼性の向上に寄与できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図１は本実施形態の直線変位測定
器の正面図、図２は図１の横断面図である。これらの図
に示すように、本実施形態の直線変位測定器は、測定器
本体としての縦長箱状の本体ケース１と、この本体ケー
ス１の下部壁にステム２を介して軸方向（図１の上下方
向）へ移動可能に設けられたスピンドル１１と、このス
ピンドル１１の移動変位量を検出する検出手段３１とか
ら構成されている。
に基づいて説明する。図１は本実施形態の直線変位測定
器の正面図、図２は図１の横断面図である。これらの図
に示すように、本実施形態の直線変位測定器は、測定器
本体としての縦長箱状の本体ケース１と、この本体ケー
ス１の下部壁にステム２を介して軸方向（図１の上下方
向）へ移動可能に設けられたスピンドル１１と、このス
ピンドル１１の移動変位量を検出する検出手段３１とか
ら構成されている。
【００１６】前記スピンドル１１は、一端（図１の下
方）に被測定物に当接する球状の測定子１２を有し、か
つ、中間部分が前記ステム２内にストロークベアリング
１３を複数（２個）スピンドル１１の軸方向に沿って直
列に配列した支持構造を介して移動可能に支持されてい
る。従って、ベアリングスパンは１つのストロークベア
リング１３からなる支持構造に比べ、２倍になってい
る。各ストロークベアリング１３は、図３および図４に
示すように、所定長さの円筒状の保持筒１４と、この保
持筒１４の周囲壁に形成された複数の収納孔内に回転可
能に収納保持された複数のボール１５とから構成されて
いる。
方）に被測定物に当接する球状の測定子１２を有し、か
つ、中間部分が前記ステム２内にストロークベアリング
１３を複数（２個）スピンドル１１の軸方向に沿って直
列に配列した支持構造を介して移動可能に支持されてい
る。従って、ベアリングスパンは１つのストロークベア
リング１３からなる支持構造に比べ、２倍になってい
る。各ストロークベアリング１３は、図３および図４に
示すように、所定長さの円筒状の保持筒１４と、この保
持筒１４の周囲壁に形成された複数の収納孔内に回転可
能に収納保持された複数のボール１５とから構成されて
いる。
【００１７】前記スピンドル１１の他端（測定子１２と
は反対側端）には、２本の止めねじ２１を介してスケー
ルホルダ２２が固定されている。前記スケールホルダ２
２には、その略全長に亘って可動側検出素子３４を有す
る板状のスケール３５がスピンドル１１の軸と平行に固
定されているとともに、一端側（スピンドルの支持構造
側）に回り止めピン２３が、他端側（スピンドル１１の
支持構造側とは反対側）にスプリング係止ピン２４がそ
れぞれ突設されている。
は反対側端）には、２本の止めねじ２１を介してスケー
ルホルダ２２が固定されている。前記スケールホルダ２
２には、その略全長に亘って可動側検出素子３４を有す
る板状のスケール３５がスピンドル１１の軸と平行に固
定されているとともに、一端側（スピンドルの支持構造
側）に回り止めピン２３が、他端側（スピンドル１１の
支持構造側とは反対側）にスプリング係止ピン２４がそ
れぞれ突設されている。
【００１８】前記回り止めピン２３は、前記本体ケース
１内の側壁にスピンドル１１の軸方向に沿って形成され
たガイド溝３内に摺動自在に挿入されている。これによ
り、スピンドル１１は、回転規制された状態で、軸方向
へ移動できるようになっている。前記スプリング係止ピ
ン２４には、一端が前記本体ケース１に突設されたスプ
リング係止ピン４に係止されたスプリング５の他端が係
止されている。これにより、スピンドル１１は、図１中
下方（つまり、本体ケース１からスピンドル１１が突出
する方向）へ常時付勢されている。
１内の側壁にスピンドル１１の軸方向に沿って形成され
たガイド溝３内に摺動自在に挿入されている。これによ
り、スピンドル１１は、回転規制された状態で、軸方向
へ移動できるようになっている。前記スプリング係止ピ
ン２４には、一端が前記本体ケース１に突設されたスプ
リング係止ピン４に係止されたスプリング５の他端が係
止されている。これにより、スピンドル１１は、図１中
下方（つまり、本体ケース１からスピンドル１１が突出
する方向）へ常時付勢されている。
【００１９】前記検出手段３１は、前記本体ケース１内
に前記スピンドル１１の軸方向に沿って固定されかつ固
定側検出素子３２を有する基板３３と、この基板３３の
固定側検出素子３２に所定のギャップＧを介して対向配
置された前記可動側検出素子３４を有するスケール３５
とから構成されている。ここでは、固定側検出素子３２
としては投受光ＩＣ、可動側検出素子３４としては光学
格子で、両検出素子３２，３４の相対移動変位量を光電
的に検出する光学式検出手段を構成している。
に前記スピンドル１１の軸方向に沿って固定されかつ固
定側検出素子３２を有する基板３３と、この基板３３の
固定側検出素子３２に所定のギャップＧを介して対向配
置された前記可動側検出素子３４を有するスケール３５
とから構成されている。ここでは、固定側検出素子３２
としては投受光ＩＣ、可動側検出素子３４としては光学
格子で、両検出素子３２，３４の相対移動変位量を光電
的に検出する光学式検出手段を構成している。
【００２０】前記検出手段３１において、固定側検出素
子３２と可動側検出素子３４とのギャップＧが変動する
と、信号処理回路でミスカウントが発生し、安定した高
精度な測定が実現できない。そこで、本実施形態におい
ては、固定側検出素子３２と可動側検出素子３４とのギ
ャップＧを許容値内に保つために、スケールホルダ１７
の他端側（検出手段３１側）にギャップ拡大制限部材と
してのギャップ拡大制限ピン４１が設けられているとと
もに、前記固定側検出素子３２の可動側検出素子３４と
対向する面の周囲に沿ってギャップ縮小制限部材として
のギャップ縮小制限フィルム４２（図５参照）が設けら
れている。
子３２と可動側検出素子３４とのギャップＧが変動する
と、信号処理回路でミスカウントが発生し、安定した高
精度な測定が実現できない。そこで、本実施形態におい
ては、固定側検出素子３２と可動側検出素子３４とのギ
ャップＧを許容値内に保つために、スケールホルダ１７
の他端側（検出手段３１側）にギャップ拡大制限部材と
してのギャップ拡大制限ピン４１が設けられているとと
もに、前記固定側検出素子３２の可動側検出素子３４と
対向する面の周囲に沿ってギャップ縮小制限部材として
のギャップ縮小制限フィルム４２（図５参照）が設けら
れている。
【００２１】前記ギャップ拡大制限ピン４１は、前記可
動側検出素子３４が固定側検出素子３２から離れる方向
へ変位したとき、つまり、スピンドル１１が図２中下方
へ変位したとき、前記本体ケース１の背面壁１Ａに当接
して前記ギャップＧが拡大するのを制限するようになっ
ている。このとき、ギャップＧの変動方向におけるギャ
ップ拡大制限ピン４１と本体ケース１の背面壁１Ａとの
隙間は、通常時、予め設定された所定値、具体的には
０．１ｍｍに設定されている。たとえば、ギャップ拡大
制限ピン４１と本体ケース１の背面壁１Ａとの間に０．
１ｍｍのシックネステープを挟んで、ギャップ拡大制限
ピン４１をスケールホルダ２２に接着したのち、シック
ネステープを取り除くことにより、ギャップ拡大制限ピ
ン４１と本体ケース１の背面壁１Ａとの隙間を０．１ｍ
ｍに設定してある。
動側検出素子３４が固定側検出素子３２から離れる方向
へ変位したとき、つまり、スピンドル１１が図２中下方
へ変位したとき、前記本体ケース１の背面壁１Ａに当接
して前記ギャップＧが拡大するのを制限するようになっ
ている。このとき、ギャップＧの変動方向におけるギャ
ップ拡大制限ピン４１と本体ケース１の背面壁１Ａとの
隙間は、通常時、予め設定された所定値、具体的には
０．１ｍｍに設定されている。たとえば、ギャップ拡大
制限ピン４１と本体ケース１の背面壁１Ａとの間に０．
１ｍｍのシックネステープを挟んで、ギャップ拡大制限
ピン４１をスケールホルダ２２に接着したのち、シック
ネステープを取り除くことにより、ギャップ拡大制限ピ
ン４１と本体ケース１の背面壁１Ａとの隙間を０．１ｍ
ｍに設定してある。
【００２２】前記ギャップ縮小制限フィルム４２は、前
記可動側検出素子３４が固定側検出素子３２に接近する
方向へ変位したとき、つまり、スピンドル１１が図２中
上方へ変位したとき、スケール３５の表面に接してギャ
ップＧが縮小するのを制限するようになっている。ま
た、ギャップ縮小制限フィルム４２は、図６に示すよう
に、固定側検出素子３２を基板３３に実装するときの封
止樹脂４３のダムとしての機能（封止樹脂４３が流れ出
ないようにするダムとしての機能）と、固定側検出素子
３２の表面に装着されるカバーガラス４４とスケール３
５とが直接接触するのを防ぐカバーガラスの保護機能と
を備えている。従って、ギャップ縮小制限フィルム４２
の厚みは、カバーガラス４４や封止樹脂４３からスケー
ル３５までの距離に対して、ギャップ縮小制限フィルム
４２からスケール３５までの距離が短くなるように、設
定されている。
記可動側検出素子３４が固定側検出素子３２に接近する
方向へ変位したとき、つまり、スピンドル１１が図２中
上方へ変位したとき、スケール３５の表面に接してギャ
ップＧが縮小するのを制限するようになっている。ま
た、ギャップ縮小制限フィルム４２は、図６に示すよう
に、固定側検出素子３２を基板３３に実装するときの封
止樹脂４３のダムとしての機能（封止樹脂４３が流れ出
ないようにするダムとしての機能）と、固定側検出素子
３２の表面に装着されるカバーガラス４４とスケール３
５とが直接接触するのを防ぐカバーガラスの保護機能と
を備えている。従って、ギャップ縮小制限フィルム４２
の厚みは、カバーガラス４４や封止樹脂４３からスケー
ル３５までの距離に対して、ギャップ縮小制限フィルム
４２からスケール３５までの距離が短くなるように、設
定されている。
【００２３】従って、本実施形態によれば、スケールホ
ルダ２２にギャップ拡大制限ピン４１を設けたので、振
動や衝撃などによってスピンドル１１が一時的に傾き、
可動側検出素子３４が固定側検出素子３２から離れる方
向へ変位しようとすると、ギャップ拡大制限ピン４１が
一時的に本体ケース１の背面壁１Ａに当接してギャップ
Ｇが拡大するのを制限するから、ギャップＧを許容値内
に保持することができる。よって、振動や衝撃などに対
しても、可動側検出素子３４と固定側検出素子３２との
ギャップＧを許容値内に保持することができるから、高
精度測定を実現できる。しかも、ギャップ拡大制限ピン
４１は、スピンドル１１の支持部から最も離れた位置、
つまり、検出手段３１の近傍に設けられているから、可
動側検出素子３４と固定側検出素子３２とのギャップＧ
の変動を許容値内に確実に抑えることができる。
ルダ２２にギャップ拡大制限ピン４１を設けたので、振
動や衝撃などによってスピンドル１１が一時的に傾き、
可動側検出素子３４が固定側検出素子３２から離れる方
向へ変位しようとすると、ギャップ拡大制限ピン４１が
一時的に本体ケース１の背面壁１Ａに当接してギャップ
Ｇが拡大するのを制限するから、ギャップＧを許容値内
に保持することができる。よって、振動や衝撃などに対
しても、可動側検出素子３４と固定側検出素子３２との
ギャップＧを許容値内に保持することができるから、高
精度測定を実現できる。しかも、ギャップ拡大制限ピン
４１は、スピンドル１１の支持部から最も離れた位置、
つまり、検出手段３１の近傍に設けられているから、可
動側検出素子３４と固定側検出素子３２とのギャップＧ
の変動を許容値内に確実に抑えることができる。
【００２４】また、固定側検出素子３２の周囲に沿って
ギャップ縮小制限フィルム４２を設けたので、振動や衝
撃などによってスピンドル１１が一時的に傾き、可動側
検出素子３４が固定側検出素子３２に接近する方向へ変
位しようとすると、可動側検出素子３４がギャップ縮小
制限フィルム４２に接してギャップＧが縮小するのを制
限するから、ギャップＧを許容値内に保持することがで
きる。よって、振動や衝撃などに対しても、可動側検出
素子３４と固定側検出素子３２とのギャップＧを許容値
内に保持することができるから、高精度測定を実現でき
る。しかも、ギャップ縮小制限フィルム４２は、固定側
検出素子３２を基板３３に実装するときの封止樹脂４３
のダムとして利用できるから、別に封止樹脂４３のダム
として機能する部材を設けなくてもよい。さらに、固定
側検出素子３２の表面に装着されるカバーガラス４４と
スケール３５とが直接接触するのを防ぐこともできる。
ギャップ縮小制限フィルム４２を設けたので、振動や衝
撃などによってスピンドル１１が一時的に傾き、可動側
検出素子３４が固定側検出素子３２に接近する方向へ変
位しようとすると、可動側検出素子３４がギャップ縮小
制限フィルム４２に接してギャップＧが縮小するのを制
限するから、ギャップＧを許容値内に保持することがで
きる。よって、振動や衝撃などに対しても、可動側検出
素子３４と固定側検出素子３２とのギャップＧを許容値
内に保持することができるから、高精度測定を実現でき
る。しかも、ギャップ縮小制限フィルム４２は、固定側
検出素子３２を基板３３に実装するときの封止樹脂４３
のダムとして利用できるから、別に封止樹脂４３のダム
として機能する部材を設けなくてもよい。さらに、固定
側検出素子３２の表面に装着されるカバーガラス４４と
スケール３５とが直接接触するのを防ぐこともできる。
【００２５】また、スピンドル１１を、ストロークベア
リング１３を複数個直列配列した支持構造を介して支持
したので、つまり、ベアリングスパンを従来の支持構造
に比べ約２倍にできるから、支持構造の剛性を向上させ
ることができる。よって、耐振動／耐衝撃性能の向上が
はかれるから、高精度測定を実現できる。
リング１３を複数個直列配列した支持構造を介して支持
したので、つまり、ベアリングスパンを従来の支持構造
に比べ約２倍にできるから、支持構造の剛性を向上させ
ることができる。よって、耐振動／耐衝撃性能の向上が
はかれるから、高精度測定を実現できる。
【００２６】なお、上記実施形態では、スケールホルダ
２２の一端側（スピンドルの支持構造側）に回り止めピ
ン２３を、他端側（スピンドル１１の支持構造側とは反
対側）にスプリング係止ピン２４をそれぞれ突設した
が、たとえば、図７および図８に示すように構成しても
よい。これは、回り止めピン２３をスケールホルダ２２
の他端側（スピンドル１１の支持構造側とは反対側）に
突設するとともに、スプリング係止ピン２４を兼ねた構
成とし、その回り止めピン２３をガイドするガイド溝３
を本体ケース１の側壁上方に形成したものである。この
ようにした場合、スピンドル１１の支持構造から最も離
れた端部で回り止めピン２３とガイド溝３とでスピンド
ル１１の摺動がガイドされているから、これによっても
ギャップＧの変動を抑えることができる。この場合、ギ
ャップ拡大制限ピン４１は、スケールホルダ２２の一端
側に設けられている。
２２の一端側（スピンドルの支持構造側）に回り止めピ
ン２３を、他端側（スピンドル１１の支持構造側とは反
対側）にスプリング係止ピン２４をそれぞれ突設した
が、たとえば、図７および図８に示すように構成しても
よい。これは、回り止めピン２３をスケールホルダ２２
の他端側（スピンドル１１の支持構造側とは反対側）に
突設するとともに、スプリング係止ピン２４を兼ねた構
成とし、その回り止めピン２３をガイドするガイド溝３
を本体ケース１の側壁上方に形成したものである。この
ようにした場合、スピンドル１１の支持構造から最も離
れた端部で回り止めピン２３とガイド溝３とでスピンド
ル１１の摺動がガイドされているから、これによっても
ギャップＧの変動を抑えることができる。この場合、ギ
ャップ拡大制限ピン４１は、スケールホルダ２２の一端
側に設けられている。
【００２７】また、上記実施形態では、ギャップ拡大制
限部材として、スピンドル１１や本体ケース１とは別体
として形成したギャップ拡大制限ピン４１をスピンドル
１１側のスケールホルダ２２に突設したが、スケールホ
ルダ２２に一体的に突起などを設けるようにしてもよ
い。さらに、配置についても、上記実施形態で述べたス
ケールホルダ２２に限らず、本体ケース１側に設けるよ
うにしてもよい。
限部材として、スピンドル１１や本体ケース１とは別体
として形成したギャップ拡大制限ピン４１をスピンドル
１１側のスケールホルダ２２に突設したが、スケールホ
ルダ２２に一体的に突起などを設けるようにしてもよ
い。さらに、配置についても、上記実施形態で述べたス
ケールホルダ２２に限らず、本体ケース１側に設けるよ
うにしてもよい。
【００２８】また、上記実施形態では、ギャップ縮小制
限部材として、ギャップ縮小制限フィルム４２を用いた
が、突起やピンなどでもよい。突起やピンなどの場合、
固定側検出素子３２の周囲に沿って設けなくてもよく、
所定間隔おきに設けるようにしてもよい。さらに、配置
についても、上記実施形態で述べた固定側検出素子３２
側に限らず、スケール３４の可動側検出素子３４側であ
ってもよい。
限部材として、ギャップ縮小制限フィルム４２を用いた
が、突起やピンなどでもよい。突起やピンなどの場合、
固定側検出素子３２の周囲に沿って設けなくてもよく、
所定間隔おきに設けるようにしてもよい。さらに、配置
についても、上記実施形態で述べた固定側検出素子３２
側に限らず、スケール３４の可動側検出素子３４側であ
ってもよい。
【００２９】また、上記実施形態では、ストロークベア
リング１３を２個直列配列した支持構造としたが、３個
以上直列配列した支持構造でもよい。また、各ストロー
クベアリング１３の間に隙間をあけて配列してもよい。
リング１３を２個直列配列した支持構造としたが、３個
以上直列配列した支持構造でもよい。また、各ストロー
クベアリング１３の間に隙間をあけて配列してもよい。
【００３０】また、上記実施形態では、光学式の検出手
段３１を用いたが、静電容量式や磁気式などの検出手段
でもよい。また、上記実施形態では、ダイヤルゲージに
適用した例について説明したが、これに限らず、固定側
検出素子３２と可動側検出素子３４とでスピンドル１１
の変位量を検出するタイプの測定器全般に適用すること
ができる。
段３１を用いたが、静電容量式や磁気式などの検出手段
でもよい。また、上記実施形態では、ダイヤルゲージに
適用した例について説明したが、これに限らず、固定側
検出素子３２と可動側検出素子３４とでスピンドル１１
の変位量を検出するタイプの測定器全般に適用すること
ができる。
【００３１】
【発明の効果】本発明の測定器によれば、振動や衝撃が
ある使用環境の中でも、検出手段を構成する固定側検出
素子と可動側検出素子とのギャップを許容値内に抑える
ことができるから、耐振動性および耐衝撃性を向上させ
ることができ、信頼性を向上させることができる。
ある使用環境の中でも、検出手段を構成する固定側検出
素子と可動側検出素子とのギャップを許容値内に抑える
ことができるから、耐振動性および耐衝撃性を向上させ
ることができ、信頼性を向上させることができる。
【図１】本発明の一実施形態を示す図である。
【図２】図１の横断面図である。
【図３】同上実施形態におけるスピンドルの支持構造部
分を示す断面図である。
分を示す断面図である。
【図４】同上実施形態のストロークベアリングを示す斜
視図である。
視図である。
【図５】同上実施形態の検出手段（固定側検出素子）部
分を示す図である。
分を示す図である。
【図６】図５のVI−VI線断面図である。
【図７】本発明の他の実施形態を示す図である。
【図８】図７の横断面図である。
１ 本体ケース（測定器本体） １１ スピンドル １３ ストロークベアリング １４ 保持筒 １５ ボール ３１ 検出手段 ３２ 固定側検出素子 ３４ 可動側検出素子 ４１ ギャップ拡大制限ピン（ギャップ拡大制限部材） ４２ ギャップ縮小制限フィルム（ギャップ縮小制限部
材）
材）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川田 洋明 神奈川県川崎市高津区坂戸１−20−１ 株 式会社ミツトヨ内
Claims (5)
- 【請求項１】 測定器本体と、この測定器本体に移動可
能に設けられたスピンドルと、前記測定器本体に固定さ
れた固定側検出素子およびこの固定側検出素子に所定の
ギャップを介して対向配置されかつ前記スピンドルに設
けられた可動側検出素子を含み、両検出素子の変位量を
電気的信号として検出する検出手段とを有する測定器に
おいて、 前記測定器本体およびスピンドルのいずれか一方には、
前記可動側検出素子が固定側検出素子から離れる方向へ
変位したとき、前記測定器本体およびスピンドルのいず
れか他方に当接して前記ギャップが拡がるのを制限する
ギャップ拡大制限部材が設けられていることを特徴とす
る測定器。 - 【請求項２】 請求項１に記載の測定器において、前記
ギャップ拡大制限部材は、前記スピンドルに前記測定器
本体に所定の隙間を隔てて設けられたギャップ拡大制限
ピンであることを特徴とする測定器。 - 【請求項３】 測定器本体と、この測定器本体に移動可
能に設けられたスピンドルと、前記測定器本体に固定さ
れた固定側検出素子およびこの固定側検出素子に所定の
ギャップを介して対向配置されかつ前記スピンドルに設
けられた可動側検出素子を含み、両検出素子の変位量を
電気的信号として検出する検出手段とを有する測定器に
おいて、 前記固定側検出素子および可動側検出素子のいずれか一
方には、前記可動側検出素子が固定側検出素子に接近す
る方向へ変位したとき、いずれか他方に接して前記ギャ
ップが狭まるのを制限するギャップ縮小制限部材が設け
られていることを特徴とする測定器。 - 【請求項４】 請求項３に記載の測定器において、前記
ギャップ縮小制限部材は、前記固定側検出素子の前記可
動側検出素子と対向する面の周囲に沿って設けられたギ
ャップ縮小制限フィルムであることを特徴とする測定
器。 - 【請求項５】 測定器本体と、複数のボールを保持筒で
回転可能に保持したストロークベアリングを介して前記
測定器本体に移動可能に設けられたスピンドルと、前記
測定器本体に固定された固定側検出素子およびこの固定
側検出素子に所定のギャップを介して対向配置されかつ
前記スピンドルに設けられた可動側検出素子を含み、両
検出素子の変位量を電気的信号として検出する検出手段
とを有する測定器において、 前記スピンドルは、前記ストロークベアリングを複数個
直列配列した支持構造を介して、前記測定器本体に移動
可能に支持されていることを特徴とする測定器。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19240797A JP3474402B2 (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 測定器 |
| US09/110,258 US6154976A (en) | 1997-07-17 | 1998-07-06 | Measuring device |
| CN98116335A CN1129770C (zh) | 1997-07-17 | 1998-07-17 | 测定器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19240797A JP3474402B2 (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 測定器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1137746A true JPH1137746A (ja) | 1999-02-12 |
| JP3474402B2 JP3474402B2 (ja) | 2003-12-08 |
Family
ID=16290812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19240797A Expired - Fee Related JP3474402B2 (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | 測定器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6154976A (ja) |
| JP (1) | JP3474402B2 (ja) |
| CN (1) | CN1129770C (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008190994A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Mitsutoyo Corp | 座標測定用補助具、座標測定用プローブ及び座標測定機 |
| JP2018072174A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 株式会社東京精密 | 光学式測定器の回り止め |
| CN117268309A (zh) * | 2023-11-22 | 2023-12-22 | 四川川航航空发动机维修工程有限责任公司 | 航空发动机涡轮盘销钉位移量的自动测量装置及测量方法 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6519864B1 (en) * | 2001-12-13 | 2003-02-18 | General Electric Company | Article having a located and clamped cylindrical object therein |
| US6834439B2 (en) * | 2002-05-21 | 2004-12-28 | Mitutoyo Corporation | Measuring tool, encoder and producing method of encoder |
| JP3850364B2 (ja) * | 2002-10-25 | 2006-11-29 | 株式会社ミツトヨ | 変位測定器の測定子駆動機構 |
| CN102980481A (zh) * | 2012-12-13 | 2013-03-20 | 徐州工业职业技术学院 | 轴孔键槽的精度测量装置 |
| CN104019731A (zh) * | 2014-06-12 | 2014-09-03 | 国家电网公司 | 螺纹结构组件参数测量装置 |
| JP6820091B2 (ja) * | 2016-08-01 | 2021-01-27 | 株式会社ミツトヨ | 測定器 |
| CN107401969A (zh) * | 2017-08-30 | 2017-11-28 | 山东力得制动科技有限公司 | 一种汽车制动器制动蹄外圆弧面精度测量仪 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3234470C2 (de) * | 1982-09-17 | 1985-11-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
| DE3234471C1 (de) * | 1982-09-17 | 1983-08-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
| GB2192720B (en) * | 1986-06-13 | 1990-04-25 | Mitutoyo Corp | Displacement detecting apparatus |
| JPS6332315A (ja) * | 1986-07-25 | 1988-02-12 | Mitsutoyo Corp | デジタル表示型測定器 |
| JPH087054B2 (ja) * | 1990-10-22 | 1996-01-29 | 株式会社ミツトヨ | 変位検出器 |
| US5172485A (en) * | 1991-10-17 | 1992-12-22 | Mitutoyo Corporation | Precision linear measuring suspension system having sliding contact between the scale and the pick-off |
| JPH1038508A (ja) * | 1996-07-22 | 1998-02-13 | Hewlett Packard Co <Hp> | 位置検出装置及び位置決め装置 |
-
1997
- 1997-07-17 JP JP19240797A patent/JP3474402B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-07-06 US US09/110,258 patent/US6154976A/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-07-17 CN CN98116335A patent/CN1129770C/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008190994A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Mitsutoyo Corp | 座標測定用補助具、座標測定用プローブ及び座標測定機 |
| JP2018072174A (ja) * | 2016-10-31 | 2018-05-10 | 株式会社東京精密 | 光学式測定器の回り止め |
| CN117268309A (zh) * | 2023-11-22 | 2023-12-22 | 四川川航航空发动机维修工程有限责任公司 | 航空发动机涡轮盘销钉位移量的自动测量装置及测量方法 |
| CN117268309B (zh) * | 2023-11-22 | 2024-04-05 | 四川川航航空发动机维修工程有限责任公司 | 航空发动机涡轮盘销钉位移量的自动测量装置及测量方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1210253A (zh) | 1999-03-10 |
| JP3474402B2 (ja) | 2003-12-08 |
| US6154976A (en) | 2000-12-05 |
| CN1129770C (zh) | 2003-12-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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