JPH087054B2 - 変位検出器 - Google Patents

変位検出器

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JPH087054B2
JPH087054B2 JP2285646A JP28564690A JPH087054B2 JP H087054 B2 JPH087054 B2 JP H087054B2 JP 2285646 A JP2285646 A JP 2285646A JP 28564690 A JP28564690 A JP 28564690A JP H087054 B2 JPH087054 B2 JP H087054B2
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    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B3/00Measuring instruments characterised by the use of mechanical techniques
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  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、変位検出器に関する。詳しくは、互いに対
向した状態で相対移動可能なメインスケールおよびグリ
ッドを含む変位検出器において、メインスケールとグリ
ッドとの相対移動を阻害することなく、かつ、両者の隙
間を一定以下に維持するための構造に関する。
〔背景技術〕
互いに対向した状態で相対移動可能なメインスケール
およびグリッドを含み、このメインスケールおよびグリ
ッドの相対移動量を電気信号として検出する変位検出器
は、デジタルゲージ、デジタルノギス、デジタルマイク
ロメータなどに広く利用されている。
例えば、デジタルゲージでは、ゲージ本体にスピンド
ルをその軸方向へ移動自在に設け、このスピンドルにメ
インスケールを一体的に取り付けるとともに、ゲージ本
体にグリッドを前記メインスケールと対向した状態で取
り付け、このメインスケールとグリッドとの相対移動量
からスピンドルの移動量を電気信号として検出するよう
にしている。
ところで、この種の変位検出器では、高精度化を図る
上で、メインスケールとグリッドとの隙間を一定に維持
させることが重要である。
そのため、従来では、グリッドにメインスケールの対
向面を摺動する突起を設けるとともに、その突起がメイ
ンスケールの対向面に接する方向へグリッドを付勢する
ばねを設け、これによって両者の隙間を一定に維持する
ようにしている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、従来の構造では、グリッドをばねによってメ
インスケールに付勢した構造であるから、例えば、測定
作業中に外部から衝撃や振動などが加えられたとき、グ
リッドがばねに抗して瞬間的にメインスケールから大き
く離間してしまう場合がある。すると、メインスケール
とグリッドとの隙間が大きくなるため、ミスカウントや
表示エラーなどの電気的誤動作を招く結果、正確な変位
検出ができないという問題がある。
それでは、ばね圧を強くしてグリッドのメインスケー
ルへの押し付け力を大きくすれば、外部からの衝撃や振
動などに対してグリッドのメインスケールからの離間を
防ぐことが可能である。しかし、このようにすると、突
起がメインスケールの摺動面を必要以上に押圧するた
め、メインスケールの円滑な摺動が阻害されるばかりで
なく、耐久性が低下するという問題がある。
ここに、本発明の目的は、このような従来の問題を解
消し、メインスケールとグリッドとの相対移動を阻害す
ることなく、かつ、外部からの衝撃や振動などに対して
も電気的誤動作を招くことなく両者の相対移動量を常に
正確に検出でき、しかも、安価に製造できる変位検出器
を提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
そのため、本発明では、メインスケールおよびグリッ
ドのいずれか一方を他方に対して付勢する付勢手段の付
勢力を両者の相対移動に支障を与えない程度の強さと
し、かつ、外部からの衝撃などに対して前記一方が他方
に対して離間する方向へ変位したとしても、その変位を
電気的誤動作が生じない範囲内に規制することにより、
上記目的を達成しようとするものである。
具体的には、互いに対向した状態で相対移動可能なメ
インスケールおよびグリッドを含み、このメインスケー
ルおよびグリッドの相対移動量を電気信号として検出す
る変位検出器において、前記メインスケールおよびグリ
ッドのいずれか一方を前記相対移動方向に対して略直交
する方向へ変位可能に支持し、前記メインスケールおよ
びグリッドのいずれか一方を他方に対して接近する方向
へ付勢する付勢手段を設けるとともに、この付勢手段に
よって付勢された前記一方と他方との隙間を所定間隔に
保持する間隔保持手段を設け、前記付勢手段に抗して前
記一方が他方に対して離間する方向への変位を所定許容
変位量内で許容し、かつ、その許容変位量が調整可能な
離間許容手段を設けた、ことを特徴とする。
〔作 用〕
メインスケールおよびグリッドが相対移動すると、そ
の相対移動量が電気信号として検出される。このとき、
外部からの衝撃や振動などによってメインスケールおよ
びグリッドのいずれか一方、例えば、グリッドがメイン
スケールに対して離間する方向へ変位したとしても、そ
の離間方向への変位は離間許容手段によって所定変位量
内に規制されているから、グリッドはメインスケールに
対して所定以上離間することがない。
従って、離間許容手段による離間方向の許容変位量を
予めミスカウントや表示エラーなどが起こらない変位量
内に設定しておけば、これらの電気的誤動作を防止する
ことができるから、正確に両者の相対移動量を検出する
ことができる。また、このことは、付勢手段の付勢力を
必要以上に強くしなくてもよいので、メインスケールお
よびグリッドの円滑な相対移動を阻害することもない。
また、離間許容手段によって、メインスケールおよび
グリッドのいずれか一方が他方に対して離間する方向へ
の変位が許容変位量内で許容されているから、仮に、メ
インスケールおよびグリッドのいずれか他方が相対移動
方向に対して傾いて組み込まれていたとしても、その傾
きによる離間方向への変位を許容変位量によって吸収す
ることができる。従って、各部品の寸法公差や組み立て
精度を厳しく設定しなくてもよいので、安価に製造でき
る。
また、離間許容手段は、付勢手段に抗して一方が他方
に対して離間する方向への許容変位量が調整可能に構成
されているから、一方と他方との隙間が電気的誤動作を
生じない範囲内で各部品の製作上の誤差や組み込み上の
精度誤差を最大限に吸収できる。
〔実施例〕
以下、本発明の変位検出器をデジタルゲージに適用し
た一実施例について、図面を参照しながら説明する。
第1図は(A)(B)は蓋体を外した正面図および断
面図、第2図はその要部を示す拡大断面図、第3図はそ
の分解斜視図、第4図はその外観斜視図である。これら
の図において、ゲージ本体1は、円筒形状の枠体2と、
この枠体2の正面に取り付けられる蓋体3とから構成さ
れている。
前記枠体2には、その外周壁の所定位置に図示しない
演算装置に接続される外部出力端子部4が、内周壁の所
定位置に3つの雌ねじ部5とピン6を有する2つの雌ね
じ部7(1つのみ図示)とがそれぞれ設けられていると
ともに、略中心を通る位置にスピンドル8が枠体2を貫
通してその軸方向へ移動可能に設けられている。なお、
スピンドル8は、スプリング9によって軸方向一端側、
つまり第1図中下方へ常時付勢されている。
前記スピンドル8には、その下端部に球状の測定子11
が取り付けられているとともに、枠体2内の中間部に取
付板12を介してメインスケール13が取り付けられてい
る。メインスケール13の表面には、スピンドル8の移動
方向に沿ってマイクロメータオーダの格子が形成されて
いる。
前記枠体2のピン6を有する2つの雌ねじ部7には、
止めねじ21を介してスライダ22が取り付けられている。
スライダ22は、前記スピンドル8の軸線に対して直角に
配置されかつコ字形に折曲された板ばね23を有する。板
ばね23のコ字形両端部には、前記ピン6に嵌合する嵌合
孔24と、前記止めねじ21が挿通される貫通孔25とがそれ
ぞれ形成されている。
従って、板ばね23の嵌合孔24をピン6に嵌合した後、
止めねじ21を貫通孔25を通して雌ねじ部7に螺合すれ
ば、スライダ22はスピンドル8の移動方向に対して直交
する方向のみ変位可能な状態で組み込まれる。つまり、
スピンドル8の移動方向をZ方向、それに対して直交す
る方向をXおよびY方向とすれば、Y方向のみ変位可能
で、かつ、ZおよびX方向へは変位不能に組み込まれ
る。
前記スライダ22には、第2図の拡大図に示す如く、ホ
ルダ26を介してグリッド27が前記メインスケール13と対
向した状態で取り付けられているとともに、その対向面
側にメインスケール13とグリッド27との隙間28を所定間
隔に保持する間隔保持手段としての半球形状の複数の突
起29が一体形成されている。グリッド27には、前記メイ
ンスケール13と対向する面にそのメインスケール13と同
様にマイクロメータオーダの格子が形成されている。
前記ホルダ26には、前記グリッド27の取り付け面とは
反対側面に大径孔30Aおよび小径孔30Bを有する段付孔30
が形成されている。また、スライダ22の正面側、つまり
グリット27の取り付け面とは反対側面には、前記グリッ
ド27に接続された配線帯31が取り付けられている。配線
帯31の一端31Aは前記枠体2の出力端子部4に接続され
ているとともに、他端31Bは後述する円板42を通って前
記蓋体3内へ導出された後折り曲げられて蓋体3内に設
けられる図示しない演算手段に接続されている。
前記枠体2の3つの雌ねじ部5には、止めねじ41を介
して円板42が前記スライダ22の外側に取り付けられてい
る。円板42の中心位置には雌ねじ部43が形成されてい
る。雌ねじ部43には、前記スライダ22がメインスケール
13に対して離間する方向への変位を所定変位量内で許容
する離間許容手段を構成する隙間調整ねじ44が螺合され
ている。
つまり、隙間調整ねじ44は、その先端が前記ホルダ26
に形成された小径孔30B内に位置し、かつ、その先端面
と小径孔30Bの内底面との間に隙間45を形成することに
よってスライダ22、つまりグリッド27の離間方向への変
位を所定変位量内で許容している。なお、隙間45は、隙
間調整ねじ44の螺合調整によって調整することができる
とともに、外部からの衝撃や振動などによって前記グリ
ッド27がメインスケール13に対して離間した際、隙間28
が電気的誤動作を起こさない範囲内になるように調整さ
れている。
また、前記円板42の裏面と大径孔30Aとの間には、前
記突起29が前記メインスケール13の表面に接する方向へ
前記スライダ22を付勢する付勢手段としてのコイルスプ
リング46が介装されている。コイルスプリング46のばね
圧は、スピンドル8が移動した際にメインスケール13と
スライダ22の突起29とが円滑に摺動できる程度の弱い圧
力に設定されている。
なお、前記蓋体3の正面には、測定値をデジタル表示
する表示部51と、リセットスイッチやオンオフスイッチ
などを有するスイッチ部52とがそれぞれ設けられてい
る。
次に、本実施例の作用を説明する。
測定に当たっては、まず、デジタルゲージを図示しな
いダイ上に固定し、この状態で零点調整を行って表示部
51の表示値を0にリセットしておく。
ここで、スピンドル8を指などで掴み、スプリング9
に抗いて第1図中上方へ移動させてから、図示しない被
測定物をダイ上に載置した後、スピンドル8を第1図中
下方へ移動させて測定子11を被測定物に当接させる。こ
のとき、スピンドル8の移動に伴ってメインスケール13
がグリッド27に対して相対移動されるので、その相対移
動量に基づく信号が配線帯31を通じて演算手段に与えら
れる。その結果、表示部51に被測定物の寸法がデジタル
表示される。
いま、測定作業中において、外部から衝撃や振動など
が加えられ、それによつてスライダ22がコイルスプリン
グ46に抗してメインスケール13から離間する方向へ変位
したとすると、その離間方向への変位は、隙間調整ねじ
44と小径孔30Bの内底面との間の隙間45内に規制されて
いるから、グリッド27はメインスケール13に対して所定
変位量以上離間することがない。その結果、ミスカウン
トや表示エラーなどの電気的誤動作を防止することがで
きる。
また、組み立てに当たって、スピンドル8またはスピ
ンドル8に対してメインスケール13が例えばY1方向(第
2図参照)へ傾いて組み込まれていた場合、グリッド27
を介してスライダ22がY1方向へ変位されるが、その傾き
によるY1方向への変位は隙間調整ねじ44と小径孔30Bの
内底面との間の隙間45によって吸収できるので、部品の
寸法公差や組み立て精度を厳しく設定しなくても済む。
従って、本実施例によれば、メインスケール13を有す
るスピンドル8の移動方向に対して直交する方向へグリ
ッド27を有するスライダ22を変位可能に支持し、このス
ライダ22にメインスケール13とグリッド27との隙間28を
所定間隔に保持する突起29を設けるとともに、この突起
29がメインスケール13に接する方向へスライダ22を付勢
するコイルスプリング46を設け、スライダ22がメインス
ケール13から離間する方向への変位を所定変位量内で許
容する隙間調整ねじ44を設けたので、外部からの衝撃や
振動などによってスライダ22がメインスケール13から離
間する方向へ変位したとしても、その変位は隙間調整ね
じ44と小径孔30Bの内底面との隙間45の寸法内に規制さ
れているから、グリッド27がメインスケール13に対して
所定以上離間することがない。
従って、予め、隙間調整ねじ44と小径孔30Bの内底面
との隙間45をミスカウントや表示エラーが起こらない寸
法内に設定しておけば、これらの電気的誤動作を防止す
ることができる。また、このことは、コイルスプリング
46の付勢力を必要以上に強くしなくてもよいので、メイ
ンスケール13およびグリッド27の円滑な相対移動を阻害
することもない。
また、隙間調整ねじ44と小径孔30Bの内底面との間に
隙間45を形成したので、例えば、スピンドル8またはス
ピンドル8に対してメインスケール13が例えばY1方向へ
傾いて組み込まれていた場合、グリッド27を介してスラ
イダ22がY1方向へ変位されるが、その傾きによるY1方向
への変位を隙間45によって吸収できる。従って、各部品
の寸法公差や組み立て精度を厳格に設定しなくてもよい
ので、コストダウンが図れる。
また、隙間調整ねじ44の螺合調整によって隙間45の間
隔を調整できるようにしたので、隙間28が電気的誤動作
を生じない範囲内で各部品の製作上の誤差や組み込み上
の精度誤差を最大限に吸収できる。
また、グリッド27を有するスライダ22は、板ばね23に
よってY方向のみ変位可能であるから、つまり、他のZ
およびX方向へは変位不能であるから、グリッド27のメ
インスケール13に対する位置ずれを防止できる。よっ
て、この点からも、ミスカウントや表示エラーなどの電
気的誤動作を防止できる。また、グリッド27を有するス
ライダ22はコイルスプリング46によってメインスケール
13側へ常時付勢されているから、つまり、姿勢変更して
も両者の対向関係が保たれているから、測定姿勢を変え
て測定を行っても常に正確な測定を確保できる。
以上、本発明について好適な実施例を挙げて説明した
が、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本
発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに
設計の変更が可能なことは勿論である。
例えば、上記実施例では、スピンドル8にメインスケ
ール13を取り付け、このメインスケール13に対してグリ
ッド27をスピンドル8の移動方向つまり相対移動方向に
対して略直交する方向へ変位可能に支持したが、逆にグ
リッド27に対してメインスケール13を相対移動方向に対
して略直交する方向へ変位可能に支持するようにしても
よい。
また、これらのグリッド27またはメインスケール13を
相対移動方向に対して略直交する方向へ変位可能に支持
する手段としては、上記実施例で述べた板ばね23に限ら
れるものでなく、ガイドなどによって変位可能に支持す
るようにしてもよい。
また、突起29についても、メインスケール13側に設け
るようにしてもよい。
また、本発明は、上述したデジタルゲージに限定され
ず、デジタルノギスやデジタルマイクロメータなどにも
適用できることは勿論である。
〔発明の効果〕
以上の通り、本発明によれば、メインスケールとグリ
ッドとの相対移動を阻害することなく、かつ、外部から
の衝撃や振動などに対しても電気的誤動作を招くことな
く両者の相対移動量を常に正確に検出でき、しかも、安
価に製造できる。
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例を示すもので、第1図(A)
(B)は蓋体を外した状態の正面図および断面図、第2
図はその要部を示す拡大断面図、第3図はその分解斜視
図、第4図はその外観斜視図である。 13……メインスケール、28……グリッド、29……突起
(間隔保持手段)、44……隙間調整ねじ(離間許容手
段)、45……隙間、46……コイルスプリング(付勢手
段)。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】互いに対向した状態で相対移動可能なメイ
    ンスケールおよびグリッドを含み、このメインスケール
    およびグリッドの相対移動量を電気信号として検出する
    変位検出器において、 前記メインスケールおよびグリッドのいずれか一方を前
    記相対移動方向に対して略直交する方向へ変位可能に支
    持し、 前記メインスケールおよびグリッドのいずれか一方を他
    方に対して接近する方向へ付勢する付勢手段を設けると
    ともに、 この付勢手段によって付勢された前記一方と他方との隙
    間を所定間隔に保持する間隔保持手段を設け、 前記付勢手段に抗して前記一方が他方に対して離間する
    方向への変位を所定許容変位量内で許容し、かつ、その
    許容変位量が調整可能な離間許容手段を設けた、 ことを特徴とする変位検出器。
JP2285646A 1990-10-22 1990-10-22 変位検出器 Expired - Fee Related JPH087054B2 (ja)

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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3121289B2 (ja) * 1997-06-10 2000-12-25 株式会社ミツトヨ 測定器
JP3474402B2 (ja) * 1997-07-17 2003-12-08 株式会社ミツトヨ 測定器
CN100365390C (zh) * 2005-10-14 2008-01-30 清华大学 用于开关式数字位移传感器的计数器式栅格带
NL1029982C2 (nl) * 2005-09-19 2007-03-20 Fei Co Werkwijze voor het instellen van de werkingssfeer van een toestelcomponent op een vooraf vastgesteld element.
US8448596B2 (en) * 2010-06-02 2013-05-28 Valentine International Ltd. Device for sensing gap variation
CN103411526B (zh) * 2013-08-01 2016-06-08 国电南京自动化股份有限公司 断路器在线检测传感器
CN103438918B (zh) * 2013-09-16 2015-12-30 无锡华尔圣科技有限公司 一种编码器及其装配方法
JP6820091B2 (ja) * 2016-08-01 2021-01-27 株式会社ミツトヨ 測定器
CN109186440B (zh) * 2018-09-26 2020-03-31 江南造船(集团)有限责任公司 一种垫片厚度预测工装及其使用方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1135192B (de) * 1956-12-07 1962-08-23 Smith & Sons Ltd S Anordnung zur Messwertuebertragung
DE1949034A1 (de) * 1969-09-27 1971-04-29 Rambold Kg Friedr Laengenmessgeraet
US3668782A (en) * 1970-10-20 1972-06-13 Herbert Hanft Slide ruler to adjust length of typewritten line
GB1550185A (en) * 1975-04-10 1979-08-08 Neil Holdings Ltd James Distance measuring gauge
US4024767A (en) * 1975-06-02 1977-05-24 Beckman Instruments, Inc. Set point adjust mechanism for process controllers
US4075478A (en) * 1976-06-03 1978-02-21 Litton Systems, Inc. Floating head encoder
US4114280A (en) * 1977-04-27 1978-09-19 Quality Measurement Systems, Inc. Digital electronic indicator
US4129039A (en) * 1977-11-03 1978-12-12 Gaetano Pignato Dual gauge indicating device
IT1107822B (it) * 1978-04-03 1985-12-02 Olivetti & Co Spa Generatore segnali di strobe
SU881526A1 (ru) * 1980-01-22 1981-11-15 Уфимский авиационный институт им.Орджоникидзе Преобразователь перемещени и скорости объекта в дискретный электрический сигнал
JPS5915903U (ja) * 1982-07-21 1984-01-31 河口湖精密株式会社 デジタル測長器
US4578868A (en) * 1983-04-01 1986-04-01 Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. Digital display measuring apparatus
AT393737B (de) * 1984-12-05 1991-12-10 Emr Elektronische Mess Und Reg Inkrementales messsystem zum messen von laengen und winkeln
GB2192720B (en) * 1986-06-13 1990-04-25 Mitutoyo Corp Displacement detecting apparatus
JPS6332315A (ja) * 1986-07-25 1988-02-12 Mitsutoyo Corp デジタル表示型測定器
US4892416A (en) * 1988-07-08 1990-01-09 Parker Hannifin Corporation Precision carriage and housing for relative position sensing device

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