JP3497126B2 - 測定器のスピンドル支持構造 - Google Patents

測定器のスピンドル支持構造

Info

Publication number
JP3497126B2
JP3497126B2 JP2000327532A JP2000327532A JP3497126B2 JP 3497126 B2 JP3497126 B2 JP 3497126B2 JP 2000327532 A JP2000327532 A JP 2000327532A JP 2000327532 A JP2000327532 A JP 2000327532A JP 3497126 B2 JP3497126 B2 JP 3497126B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
spindle
scale
measuring instrument
support structure
holder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000327532A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002131005A (ja
Inventor
和志 埜口
弘志 山城
紀一郎 根本
太 土井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP2000327532A priority Critical patent/JP3497126B2/ja
Publication of JP2002131005A publication Critical patent/JP2002131005A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3497126B2 publication Critical patent/JP3497126B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length-Measuring Instruments Using Mechanical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、測定器本体にスピ
ンドルをその軸方向へ移動可能に支持し、このスピンド
ルの軸方向の変位量から被測定物の寸法などを測定する
測定器のスピンドル支持構造に関する。たとえば、ダイ
ヤルゲージやリニヤゲージなどの直線変位測定器のスピ
ンドルの支持構造に利用できる。
【0002】
【背景技術】ダイヤルゲージやリニヤゲージなどの測定
器では、本体フレームにスピンドルをその軸方向へ移動
可能に支持し、このスピンドルの軸方向の変位量を機械
式、光学式、静電容量式などの検出手段で検出し、この
変位量から被測定物の寸法などを測定している。このう
ち、リニヤゲージ(LG)において、測定範囲の大きい
(100mm程度、以上)ものが求められてきており、
この場合、スピンドルを取り付けてあるスケールの支持
構造をどうするかが問題となる。このスケールの支持構
造として、従来、(1) スケールをゲージの本体側に固定
し、検出器を移動する構造のもの、(2) スケールを移動
する構造のものが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のスピン
ドル支持構造では、次のような課題があった。すなわ
ち、(1) の構造の場合、検出器の移動につれ検出器から
出ているケーブルも伸びたり縮んだりして絡まってしま
い、スムーズな移動が行えなくなる等、引き回し、耐久
性に問題があり、昨今の高信頼性、高耐久性が求められ
ているLGでは、検出器移動タイプの支持構造は、採用
しづらい状況となっている。(2) の構造の場合、スケー
ル下部のスピンドルをストロークベアリングやリニアブ
ッシュで支持しているため、長尺スケール使用時には検
出器位置でのスケールと受光素子間との剛性が弱く、従
って、振動、衝撃への耐性が弱い。また、スケール目盛
面とスピンドル軸心を一致させづらく、アッベオフセッ
トによる誤差が生じる。さらに、スピンドルの回転を止
めるのためのガイドピンがスピンドル側に必要となると
ともに、本体側にも上記ガイドピンが摺動するための溝
加工が必要となる。
【0004】本発明の目的は、このような従来の課題を
解決すべくなされたもので、耐振動性能、耐衝撃性能の
向上を図るとともに、耐久性および精度の向上を図れる
ようになる測定器のスピンドル支持構造を提供すること
にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の測定器
のスピンドル支持構造は、変位量を示す目盛り面を有す
るとともにスピンドルに連結されたスケールと、測定器
本体に固定され前記スケールの変位量を検出する検出器
とを備え、前記スピンドルの軸方向の変位量から被測定
物の寸法などを測定する測定器のスピンドル支持構造で
あって、前記スケールは前記スピンドルの軸方向に延び
たスケールホルダに取り付けられ、前記スケールホルダ
と前記スピンドルとは、それぞれの軸方向に所定間隔を
あけて設けられたベアリングにより支持され、前記スケ
ールホルダを支持するベアリングは、前記スケールホル
ダの両側面の被ガイド部に外周がそれぞれ当接する2組
のベアリング機構で構成され、それぞれの組のベアリン
グ機構は、互いに交差する第1、第2のベアリングで構
成されていることを特徴とするものである。
【0006】このような本発明では、スケールホルダ
は、その両側面が互いにほぼ交差する第1、第2のベア
リングからなる2組のベアリングによって支持されるの
で、スケールホルダの長手方向と交差する両方向、およ
び被ガイド部の中心線を挟んで内角を形成する方向の動
きが規制される。そのため、振動、衝撃を与えた時の剛
性が向上し、耐振動性能、耐衝撃性能の向上を図ること
ができ、耐久性の向上を図れるようになる。
【0007】また、第1、第2のベアリングからなるベ
アリングが2組、スケールホルダの両側の被ガイド部に
沿って配置され、被ガイド部の軸方向にスケールホル
ダ、言い換えればスピンドルを案内する。そのため、ス
ピンドルの回り止めピンおよびそのピンの案内溝が不要
となり、スピンドルの往復運動から摺動箇所がなくなっ
たので、それらに伴う、部材点数の増加、溝加工等の手
間およびスムーズな変位を損なう等の不具合がなくなっ
た。
【0008】以上の本発明において、第1、第2のベア
リングの交差角度は、ほぼ90°が好ましいが、例えば
60°等、90°以下としてもよい。被ガイド部の形状
によっては180°に近いものでもよい。要は、スケー
ルホルダの両側面の被ガイド部を結ぶ線方向、およびそ
の線を挟んで内角を形成する交差方向への被ガイド部の
動きを規制することができる角度であればよい。
【0009】請求項2に記載の測定器のスピンドル支持
構造は、請求項1に記載の測定器のスピンドル支持構造
おいて、前記スケールの目盛り面と前記スピンドルの軸
線とは同一面上に位置されていることを特徴とするもの
である。
【0010】このような本発明では、スケールの目盛り
面とスピンドルの軸線とを同一面上に位置させたので、
アッベ誤差を排除することが可能となり、精度の向上を
図れるようになる。
【0011】請求項3に記載の測定器のスピンドル支持
構造は、請求項1または請求項2に記載の測定器のスピ
ンドル支持構造おいて、前記各組の前記第1、第2のベ
アリングは、それぞれの対向面側を、前記測定器本体に
取り付けられたベアリングホルダに支持されていること
を特徴とするものである。このような本発明では、ベア
リングホルダから直交する取り付け軸を出すことができ
るので、第1、第2のベアリングを1つのベアリングホ
ルダで支持することができ、使用部材を少なくすること
ができる。
【0012】請求項4に記載の測定器のスピンドル支持
構造は、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の測
定器本体のスピンドル支持構造おいて、前記スピンドル
を支持するベアリングは、互いに並設されかつ前記スピ
ンドルを内部に収納する第1、第2のリニアブッシュで
構成されていることを特徴とするものである。このよう
な本発明では、2つのリニアブッシュでスピンドルを支
持することができるので、スピンドルを安定して支持す
ることができ、高精度の測定ができる。
【0013】請求項5に記載の測定器のスピンドル支持
構造は、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の測
定器のスピンドル支持構造おいて、前記スケールホルダ
にはモータ駆動により正逆方向に回動可能にベルトドラ
イブが連結され、このベルトドライブの回動につれて前
記スピンドルがその軸方向に変位することを特徴とする
ものである。このような本発明では、スケールホルダが
モータ駆動により変位できるので、自動化を図れる。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を図面
に基づいて説明する。図1に示すように、本実施形態の
直線変位測定器としてのリニヤゲージ(LG)1は測定
器本体2を備え、この測定器本体2は、縦長の本体フレ
ーム3とこの本体フレーム3に被せられる本体カバー4
とを含み構成されている。本体フレーム3には、その底
壁を貫通して筒状のステム5が、本体フレーム3の長手
方向に沿って設けられている。
【0015】本体フレーム3内には、検出器15からの
ケーブルを取り出す断面L字状のケーブル取出し孔3A
があけられ、さらに、本体フレーム3の外周には、ケー
ブル接続口12が設けられ、このケーブル接続口12に
は、ケーブル取出し孔3Aから取り出したケーブルを保
護する保護ケーブル13が取り付けられるようになって
いる。
【0016】ステム5の内部には、2個並設されたリニ
アブッシュ6,6に支持されてスピンドル7が、その軸
方向(図1で上下方向)へ移動可能に設けられている。
そして、スピンドル7の先端(図1で下端)には測定子
7Aが設けられ、また、スピンドル7の後端(図1で上
端)は、ガイド筒8内に嵌入されている。このようなス
ピンドル7は、例えば、100mm程度移動可能となっ
ている。つまり、その範囲内の測定が可能となってい
る。
【0017】スピンドル7の後端には、スケールホルダ
9が接着等により取り付けられている。この際、ガイド
筒8およびスピンドル7の後端一部を切り欠き、その切
り欠き部に、スケールホルダ9の下部で厚さ方向前面
(後で述べる検出器15側)を当接させ、かつ、接着等
して固着される。
【0018】スケールホルダ9は、ほぼ直方体状に形成
されるとともに、スピンドル7の軸方向に長く延びてお
り、スケールホルダ9の厚さ方向前面(後で述べる検出
器15側)には、表面に目盛りが表示されたスケール1
0が接着等により固着されている。また、スケールホル
ダ9の幅方向両側には、当該スケールホルダ9とほぼ同
じ長さとなった被ガイド部であるガイドシャフト11が
接着等により固着されている。従って、スピンドル7、
スケールホルダ9、スケール10、およびガイドシャフ
ト11が一体構造物となっている。そして、これらの下
部は本体フレーム3の底壁にあけられた貫通孔3B内お
よびステム5内に挿通されている。なお、スケールホル
ダ9は、スピンドル7で、例えば、100mm程度まで
測定できるような長さに形成されている。
【0019】ここで、スピンドル7の軸線7Bとスケー
ル10の表面、つまり目盛り面10Aとは、図1に示す
ように、同一面上に位置するように各部材が配置され、
スケール10の目盛り面と、スピンドル7の軸線との間
のアッベオフセットがゼロとなっている。
【0020】これに対して、本体フレーム3の上部に
は、前記スケールホルダ9の移動、言い換えればスピン
ドル7の移動(変位)を、スケール10の目盛りから検
出し、その変位量を電気的信号として検出する検出器1
5が設けられている。
【0021】また、本体フレーム3には、図2にも示す
ように、2組のベアリング機構20が設けられている。
すなわち、それぞれのベアリング機構20は、互いに交
差する2個のベアリング17,18と、これらのベアリ
ング17,18を、互いが対向する側から支持するベア
リングホルダ19とで構成されており、前記検出器15
とほぼ対向する位置に設けられている。なお、2つのベ
アリング17,18は、ベアリングホルダ19の互いに
直交する面に突出して設けられた軸に支持されている。
なお、本実施例では、2個のベアリング17,18は、
ほぼ90°の角度で交差している。
【0022】2つのベアリング17,18は、スケール
ホルダ9に対してスピンドル7の軸方向にわずかにずれ
て配置されている。また、ベアリング17,18の交わ
る側の側面と、前記スケールホルダ9の両側のガイドシ
ャフト11とは互いに当接されており、ガイドシャフト
11をベアリング17,18に沿わせて案内できるよう
になっている。つまり、スケールホルダ9の長手方向と
直交する方向、および被ガイド部の中心線を挟んで90
°方向の動きが規制されながら、スケールホルダ9が、
その両側でそれぞれ2個のベアリング17,18により
支持されてスピンドル7の軸方向に案内されるようにな
っている。
【0023】スケール10の背面には、略クランク状の
ブラケット26がボルト等により取り付けられ、このブ
ラケット26には、ベルトドライブ27が一体的に取り
付けられている。ベルトドライブ27は、本体フレーム
3のスピンドル7側およびその反対側に設けられた取付
軸28,29間に架けわたされている。このうち、取付
軸29には第1傘歯車30が設けられている。
【0024】このようなベルトドライブ27の取付軸2
9側の延長線上には、支持台3を介してモータ31が設
けられ、このモータ31の主軸には、上記第1傘歯車3
0と噛合可能に第2軸傘歯車32が設けられている。従
って、モータ31を駆動させることにより、第2軸傘歯
車32および第1傘歯車30が回転し、第1傘歯車30
の回転につれて、ベルトドライブ27が回動し、これに
つれてスケールホルダ9が図中上下方向に移動し、スピ
ンドル7が図中上下方向に移動するようになっている。
【0025】なお、モータ31は正逆方向に回転可能と
なっており、これにより、スケールホルダ9をスピンド
ル7の軸方向に進退自在に移動できるようになってい
る。本実施形態では、モータ31を正転方向に回転させ
れば、スピンドル7をステム5から進出させるようにな
っており、逆回転させれば、スピンドル7をステム5側
に後退させるようになっている。
【0026】次に、このような構成の測定器を使用し
て、例えば、被測定物の厚み寸法を測定する場合を説明
する。まず、本体フレーム3を、定盤を有するスタンド
などに固定したのち、モータ31を逆回転させて、ベル
トドライブ27を逆方向に回動させ、スケールホルダ
9、スピンドル7を所定寸法だけ、図中上方へ移動さ
せ、その真下の定盤上に被測定物を載置する。
【0027】次いで、モータ31を正転方向に回転させ
ることにより、スピンドル7を下方へ変位させて、スピ
ンドル7の測定子7Aを被測定物に当接させる。このと
き、スピンドル7は、下方を図中上下2列のリニアブッ
シュ6,6により、スケールホルダ9は、それぞれ2個
のベアリング17,18によって支持されながら軸方向
へ移動される。このようにして、スピンドル7が被測定
物に当接したときの検出器15によるスケール10の移
動量の検出を読み取れば、被測定物の厚みを測定するこ
とができる。
【0028】以上のような本実施形態によれば、次のよ
うな効果を得ることができる。 (1) スケールホルダ9は、その両側面が、ベアリング機
構20を構成する第1、第2のベアリング17,18に
よって支持されるので、振動、衝撃を与えた時の剛性を
向上させることができ、従って、耐振動性能、耐衝撃性
能の向上を図ることができ、耐久性の向上を図れるよう
になる。
【0029】(2) スケールホルダ9は、上記のように第
1、第2のベアリング17,18によって支持されるの
で、従来のように、スピンドルの回り止めピンおよびそ
のピンの案内溝が不要となった。そのため、スピンドル
の往復運動から摺動箇所がなくなり、それらに伴う、部
材点数の増加、溝加工等の手間およびスムーズな変位を
損なう等の不具合がなくなった。
【0030】(3) スケール10の目盛り面と、スピンド
ル7の軸線とが同一面上に位置しており、アッベオフセ
ット量がゼロとなっているので、アッベ誤差を排除する
ことが可能となり、精度の向上を図れるようになる。
【0031】(4) スケールホルダ9を支持する2組のベ
アリング機構20は、検出器15の対向位置に設けられ
ているので、検出器15とスケール10との隙間(間
隔)を、適正に維持することができ、高精度の測定を行
うことができるとともに、検出器15の位置を、スピン
ドル7が、例えば、100mm程度移動可能となるよう
な位置に設けても、検出器15の位置でスケールホルダ
9を支持することができるので、大きな測定範囲を確保
することができる。
【0032】(5) ベアリング17,18を支持するベア
リングホルダ19は、互いが対向する内側から設けら
れ、直交する面から支持軸を出してベアリング17,1
8を支持することができるので、第1、第2のベアリン
グ17,18を1つのベアリングホルダで支持すること
ができ、これにより、使用部材を少なくすることができ
る。
【0033】(6) スピンドル7は、2個並設されたリニ
アブッシュ6,6に支持されて、その軸方向へ移動可能
に設けられているので、スピンドル7を安定して支持す
ることができ、高精度の測定を確保することができる。
【0034】(7) スケールホルダ9には、モータ31の
駆動により正逆方向に回動可能にベルトドライブ27が
連結され、このベルトドライブ27の回動につれてスケ
ールホルダ9、スピンドル7を、その軸方向に移動、変
位させることができ、自動化を図れる。
【0035】なお、本発明は前記実施形態に限定される
ものではなく、本発明の目的を達成することができるも
のであれば、次のような変形形態でもよいものである。
例えば、前記実施形態では、2個のベアリング17,1
8を、互いにほぼ90度の角度で交差させるようにした
が、これに限らず、例えば60°等、90°以下として
もよく、あるいは、180°に近いものでもよい。要
は、スケールホルダ9の両側面のガイドシャフト11を
結ぶ線方向、およびその線を挟んで内角を形成する交差
方向へのガイドシャフト11の動きを規制することがで
きる角度であればよい。
【0036】また、前記実施形態では、2個のベアリン
グ17,18を、互いにほぼ90度の角度で交差させる
とともに、スケールホルダ9に対してスピンドル7の軸
方向にわずかにずれて配置されているが、スケールホル
ダ9に対してのスピンドル7の軸方向のずれはなくても
よく、同一レベルに設けてもよい。
【0037】また、前記実施形態では、モータ31の駆
動によりベルトドライブ27を回動させ、このベルトド
ライブ27の回動につれてスケールホルダ9、スピンド
ル7を、その軸方向に移動、変位させることができるよ
うに構成されていたが、これに限らず、モータ31、ベ
ルトドライブ27等を設けず、手動によるスピンドル7
の駆動方式としてもよい。
【0038】
【発明の効果】本発明の測定器のスピンドル支持構造に
よれば、スケールホルダは、その両側面が互いにほぼ交
差する第1、第2のベアリングからなる2組のベアリン
グによって支持されるので、スケールホルダの長手方向
と交差する両方向、および被ガイド部の中心線を挟んで
内角を形成する方向の動きが規制される。そのため、振
動、衝撃を与えた時の剛性が向上し、耐振動性能、耐衝
撃性能の向上を図ることができ、耐久性の向上を図れる
ようになる。また、上述のような構造なので、従来のよ
うなスピンドルの回り止めピンおよびそのピンの案内溝
が不要となり、スピンドルの往復運動から摺動箇所がな
くなった。その結果、それらに伴う、部材点数の増加、
溝加工等の手間およびスムーズな変位を損なう等の不具
合がなくなった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示す正面図である。
【図2】前記実施形態の要部を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 測定器(リニアゲージ) 2 測定器本体 6 リニアブッシュ 7 スピンドル 9 スケールホルダ 10 スケール 15 検出器 17 第1ベアリング 18 第2ベアリング 20 ベアリング機構
フロントページの続き (72)発明者 土井 太 神奈川県川崎市高津区坂戸1−20−1 株式会社ミツトヨ内 (56)参考文献 特開 平10−318739(JP,A) 特開 平9−287903(JP,A) 実開 平3−115807(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01B 3/00 - 3/56

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 変位量を示す目盛り面を有するとともに
    スピンドルに連結されたスケールと、測定器本体に固定
    され前記スケールの変位量を検出する検出器とを備え、
    前記スピンドルの軸方向の変位量から被測定物の寸法な
    どを測定する測定器のスピンドル支持構造であって、 前記スケールは前記スピンドルの軸方向に延びたスケー
    ルホルダに取り付けられ、 前記スケールホルダと前記スピンドルとは、それぞれの
    軸方向に所定間隔をあけて設けられたベアリングにより
    支持され、 前記スケールホルダを支持するベアリングは、前記スケ
    ールホルダの両側面の被ガイド部に外周がそれぞれ当接
    する2組のベアリング機構で構成され、それぞれの組の
    ベアリング機構は、互いに交差する第1、第2のベアリ
    ングで構成されていることを特徴とする測定器のスピン
    ドル支持構造。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の測定器のスピンドル支
    持構造おいて、前記スケールの目盛り面と前記スピンド
    ルの軸線とは同一面上に位置されていることを特徴とす
    る測定器のスピンドル支持構造。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の測定器
    のスピンドル支持構造おいて、前記各組の前記第1、第
    2のベアリングは、それぞれの対向面側を、前記測定器
    本体に取り付けられたベアリングホルダに支持されてい
    ることを特徴とする測定器のスピンドル支持構造。
  4. 【請求項4】 請求項1ないし請求項3のいずれかに記
    載の測定器のスピンドル支持構造おいて、前記スピンド
    ルを支持するベアリングは、互いに並設されかつ前記ス
    ピンドルを内部に収納する第1、第2のリニアブッシュ
    で構成されていることを特徴とする測定器のスピンドル
    支持構造。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし請求項4のいずれかに記
    載の測定器のスピンドル支持構造おいて、前記スケール
    ホルダにはモータ駆動により正逆方向に回動可能にベル
    トドライブが連結され、このベルトドライブの回動につ
    れて前記スピンドルがその軸方向に変位することを特徴
    とする測定器のスピンドル支持構造。
JP2000327532A 2000-10-26 2000-10-26 測定器のスピンドル支持構造 Expired - Fee Related JP3497126B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000327532A JP3497126B2 (ja) 2000-10-26 2000-10-26 測定器のスピンドル支持構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000327532A JP3497126B2 (ja) 2000-10-26 2000-10-26 測定器のスピンドル支持構造

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002131005A JP2002131005A (ja) 2002-05-09
JP3497126B2 true JP3497126B2 (ja) 2004-02-16

Family

ID=18804525

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000327532A Expired - Fee Related JP3497126B2 (ja) 2000-10-26 2000-10-26 測定器のスピンドル支持構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3497126B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4795403B2 (ja) * 2008-07-24 2011-10-19 株式会社小野測器 リニアゲージ
JP6242159B2 (ja) * 2013-11-01 2017-12-06 シチズン時計株式会社 測長器
CN110906838B (zh) * 2019-12-13 2021-09-07 中国航发哈尔滨轴承有限公司 一种三瓣波轴承滚道轮廓测量仪

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002131005A (ja) 2002-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5735055A (en) Method and apparatus for measuring the thickness of an article at a plurality of points
US9435645B2 (en) Coordinate measuring machine (CMM) and method of compensating errors in a CMM
EP1467175B1 (en) Reference fixture for roundness measuring instrument
EP0315308B1 (en) Cylindrical coordinate measuring machine
US6546640B2 (en) Traverse linearity compensation method and rotational accuracy compensation method of measuring device
WO1996036847A1 (en) Coordinate measuring machine having articulated arm
US4327493A (en) Method and apparatus for measurement of distance between holes with parallel axes
US20020029488A1 (en) Position transducer
JPH08327344A (ja) 多座標走査ヘッド
JP3497126B2 (ja) 測定器のスピンドル支持構造
US9347761B2 (en) Two-way roundness device
JP2003240503A (ja) 真円測定方法および真円測定装置
US4571838A (en) Direct readout centerline measuring device and process
CN112964169A (zh) 一种柱面母线直线度高精度测量装置及测量方法
JP3035589B2 (ja) 測定子交換式測定ヘッド及びそれを備えた自動寸法測定装置
CN214173239U (zh) 一种柱面母线直线度高精度测量装置
KR20000051001A (ko) 허브 및 드럼의 계측장치
JP2572853B2 (ja) 測定機
JP4072265B2 (ja) 回転軸の傾き測定方法
JP4478278B2 (ja) ボールねじ検査装置
JP2015068740A (ja) 真円度測定装置
JPH1123256A (ja) 真円度測定機
CN217465603U (zh) 一种测量装置
JP2682794B2 (ja) 円筒の精度検査装置
JPS6116484Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20031021

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3497126

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091128

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121128

Year of fee payment: 9

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121128

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151128

Year of fee payment: 12

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees