JPH11352141A - 感熱式フローセンサ - Google Patents
感熱式フローセンサInfo
- Publication number
- JPH11352141A JPH11352141A JP10160300A JP16030098A JPH11352141A JP H11352141 A JPH11352141 A JP H11352141A JP 10160300 A JP10160300 A JP 10160300A JP 16030098 A JP16030098 A JP 16030098A JP H11352141 A JPH11352141 A JP H11352141A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid
- measuring element
- temperature measuring
- temperature
- fluid temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温
体による流体の温度測定を正確に行えるようにする。 【解決手段】 基板２上に絶縁膜３を形成し、この絶縁
膜３上に少なくとも発熱体４，５と流体温度測温体６と
を設けた感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温体
６を設けた部分の絶縁膜３と基板２との間に空洞部１２
を形成し、基板２から流体温度測温体６への熱の伝わり
を防止する。
体による流体の温度測定を正確に行えるようにする。 【解決手段】 基板２上に絶縁膜３を形成し、この絶縁
膜３上に少なくとも発熱体４，５と流体温度測温体６と
を設けた感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温体
６を設けた部分の絶縁膜３と基板２との間に空洞部１２
を形成し、基板２から流体温度測温体６への熱の伝わり
を防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体の流速や流量
を測定する感熱式フローセンサに関する。
を測定する感熱式フローセンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】感熱式フローセンサにおいては、測定対
象である流体の温度による測定感度を補償したり、ある
いは、発熱体を流体温度よりも一定温度高い温度で駆動
させるために流体の温度を測定する必要がある。
象である流体の温度による測定感度を補償したり、ある
いは、発熱体を流体温度よりも一定温度高い温度で駆動
させるために流体の温度を測定する必要がある。
【０００３】このため、半導体技術を利用した感熱式フ
ローセンサの場合は、発熱体を設ける基板上に、流体の
温度を測定するための流体温度測温体を設けている。
ローセンサの場合は、発熱体を設ける基板上に、流体の
温度を測定するための流体温度測温体を設けている。
【０００４】このような感熱式フローセンサは、基板と
して熱伝導率の良いシリコン(Ｓｉ)を用い、その基板の
裏面全体を接着剤でホルダーに固定していることが多
く、基板の温度及び基板上に設けられた流体温度測温体
は周囲の温度と等しくなっている。
して熱伝導率の良いシリコン(Ｓｉ)を用い、その基板の
裏面全体を接着剤でホルダーに固定していることが多
く、基板の温度及び基板上に設けられた流体温度測温体
は周囲の温度と等しくなっている。
【０００５】一方、感熱式フローセンサを用いて流体の
流速又は流量を測定する環境では、周囲の温度と流体の
温度とが異なる場合が多い。例えば、自動車のエンジン
に取り込む空気の流量測定並びにその制御をするために
使用される感熱式フローセンサでは、この感熱式フロー
センサの周囲の温度は取り込む空気の温度より高くなっ
ている。又、感熱式フローセンサを用いたガスメータの
場合、ガスメータの外箱が西日を受けて熱くなったとき
には、感熱式フローセンサの周囲の温度はガスの温度よ
り高くなっている。又、ＬＰＧメータとＬＰＧとでは、
気化熱によってＬＰＧが周囲の温度より低くなることが
多い。
流速又は流量を測定する環境では、周囲の温度と流体の
温度とが異なる場合が多い。例えば、自動車のエンジン
に取り込む空気の流量測定並びにその制御をするために
使用される感熱式フローセンサでは、この感熱式フロー
センサの周囲の温度は取り込む空気の温度より高くなっ
ている。又、感熱式フローセンサを用いたガスメータの
場合、ガスメータの外箱が西日を受けて熱くなったとき
には、感熱式フローセンサの周囲の温度はガスの温度よ
り高くなっている。又、ＬＰＧメータとＬＰＧとでは、
気化熱によってＬＰＧが周囲の温度より低くなることが
多い。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】感熱式フローセンサの
周囲の温度と測定する流体の温度とが異なる場合、流体
温度測温体の温度が感熱式フローセンサの周囲の温度の
影響を受けて測定する流体の温度と異なると、流体の流
速や流量の測定を正確に行えない。
周囲の温度と測定する流体の温度とが異なる場合、流体
温度測温体の温度が感熱式フローセンサの周囲の温度の
影響を受けて測定する流体の温度と異なると、流体の流
速や流量の測定を正確に行えない。
【０００７】そこで本発明は、流体温度測温体が感熱式
フローセンサの周囲の温度の影響をできるだけ受けない
ようにし、流体温度測温体による流体の温度測定を正確
に行えるようにし、流体温度測温体の測定結果を利用し
て行う流体の流速や流量の測定を精度良く行うことがで
きる感熱式フローセンサを提供することを目的とする。
フローセンサの周囲の温度の影響をできるだけ受けない
ようにし、流体温度測温体による流体の温度測定を正確
に行えるようにし、流体温度測温体の測定結果を利用し
て行う流体の流速や流量の測定を精度良く行うことがで
きる感熱式フローセンサを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
基板上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜上に少なくとも発
熱体と流体温度測温体とを設けた感熱式フローセンサに
おいて、前記流体温度測温体を設けた部分の前記絶縁膜
と前記基板との間に空洞部を形成した。
基板上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜上に少なくとも発
熱体と流体温度測温体とを設けた感熱式フローセンサに
おいて、前記流体温度測温体を設けた部分の前記絶縁膜
と前記基板との間に空洞部を形成した。
【０００９】従って、感熱式フローセンサの周囲の熱が
基板まで伝わっても、この基板と絶縁膜における流体温
度測温体が設けられた部分との間に空洞部が形成されて
いるので、基板から流体温度測温体へ熱が伝わりにく
く、流体温度測温体による流体の温度測定を正確に行え
る。そして、流体の温度測定を正確に行えることによ
り、この測定結果を利用して行う流体の流速や流量の測
定を正確に行える。
基板まで伝わっても、この基板と絶縁膜における流体温
度測温体が設けられた部分との間に空洞部が形成されて
いるので、基板から流体温度測温体へ熱が伝わりにく
く、流体温度測温体による流体の温度測定を正確に行え
る。そして、流体の温度測定を正確に行えることによ
り、この測定結果を利用して行う流体の流速や流量の測
定を正確に行える。
【００１０】請求項２記載の発明の感熱式フローセンサ
は、少なくとも発熱体と流体温度測温体とを有するセン
サチップを設け、このセンサチップをホルダとの間に所
定寸法の隙間をもって前記ホルダに固定した。
は、少なくとも発熱体と流体温度測温体とを有するセン
サチップを設け、このセンサチップをホルダとの間に所
定寸法の隙間をもって前記ホルダに固定した。
【００１１】従って、感熱式フローセンサの周囲の熱が
ホルダまで伝わっても、ホルダからセンサチップ及び流
体温度測温体へは伝わりにくく、流体温度測温体による
流体の温度測定を正確に行える。そして、流体の温度測
定を正確に行えることにより、この測定結果を利用して
行う流体の流速や流量の測定を正確に行える。
ホルダまで伝わっても、ホルダからセンサチップ及び流
体温度測温体へは伝わりにくく、流体温度測温体による
流体の温度測定を正確に行える。そして、流体の温度測
定を正確に行えることにより、この測定結果を利用して
行う流体の流速や流量の測定を正確に行える。
【００１２】請求項３記載の発明は、請求項１又は２記
載の感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温体に供
給する電力を１０μＷ以下とした。
載の感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温体に供
給する電力を１０μＷ以下とした。
【００１３】従って、流体温度測温体の自己発熱による
影響をほとんど無視できるようになり、流体温度測温体
による流体の温度測定を正確に行え、この測定結果を利
用して行う流体の流速や流量の測定を正確に行える。
影響をほとんど無視できるようになり、流体温度測温体
による流体の温度測定を正確に行え、この測定結果を利
用して行う流体の流速や流量の測定を正確に行える。
【００１４】請求項４記載の発明は、請求項１又は２記
載の感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温体とし
て薄膜熱電対を用いた。
載の感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温体とし
て薄膜熱電対を用いた。
【００１５】従って、薄膜熱電対は自己発熱が起こら
ず、流体温度測温体による流体の温度測定を正確に行
え、この測定結果を利用して行う流体の流速や流量の測
定を正確に行える。しかも、薄膜熱電対を基板との間に
空洞部を形成した絶縁膜上に設けることにより、薄膜熱
電対の熱容量が小さくなり、流体の温度測定をより一層
正確に行え、この測定結果を利用して行う流体の流速や
流量の測定をより一層正確に行える。
ず、流体温度測温体による流体の温度測定を正確に行
え、この測定結果を利用して行う流体の流速や流量の測
定を正確に行える。しかも、薄膜熱電対を基板との間に
空洞部を形成した絶縁膜上に設けることにより、薄膜熱
電対の熱容量が小さくなり、流体の温度測定をより一層
正確に行え、この測定結果を利用して行う流体の流速や
流量の測定をより一層正確に行える。
【００１６】
【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図１
及び図２に基づいて説明する。図１は感熱式フローセン
サのセンサチップ１の構造を示す平面図、図２は図１に
おけるＡ−Ａ線断面図である。
及び図２に基づいて説明する。図１は感熱式フローセン
サのセンサチップ１の構造を示す平面図、図２は図１に
おけるＡ−Ａ線断面図である。
【００１７】センサチップ１は、単結晶シリコンウエハ
が基板２として用いられ、この基板２の(１００)面にＳ
ｉＯ2 又はＴａ2 Ｏ5 の絶縁膜３がスパッタリングによ
り約１μｍの厚さに形成され、その上に白金の層がスパ
ッタリングにより０．２μｍの厚さに形成されている。
そして、この白金の層に対してフォトリソグラフィー及
び逆スパッタリングを施すことにより発熱体４，５と流
体温度測温体６とが形成されている。発熱体４，５及び
流体温度測温体６の両端部には、通電用のワイヤを接続
するパッド７が形成されている。
が基板２として用いられ、この基板２の(１００)面にＳ
ｉＯ2 又はＴａ2 Ｏ5 の絶縁膜３がスパッタリングによ
り約１μｍの厚さに形成され、その上に白金の層がスパ
ッタリングにより０．２μｍの厚さに形成されている。
そして、この白金の層に対してフォトリソグラフィー及
び逆スパッタリングを施すことにより発熱体４，５と流
体温度測温体６とが形成されている。発熱体４，５及び
流体温度測温体６の両端部には、通電用のワイヤを接続
するパッド７が形成されている。
【００１８】基板２の上面部には、水酸化カリウム(Ｋ
ＯＨ)溶液を用いた異方性エッチングにより、２個の開
口部８とこれらの開口部８をつないだ空洞部９とが形成
されている。空洞部９の上方部分には絶縁膜３がブリッ
ジ状に残された支持部１０が形成され、この支持部１０
の上に発熱体４，５が形成されている。
ＯＨ)溶液を用いた異方性エッチングにより、２個の開
口部８とこれらの開口部８をつないだ空洞部９とが形成
されている。空洞部９の上方部分には絶縁膜３がブリッ
ジ状に残された支持部１０が形成され、この支持部１０
の上に発熱体４，５が形成されている。
【００１９】また、基板２の上面部における流体温度測
温体６が形成されている部分に近傍には、絶縁膜３を切
り欠いた複数個のエッチング用孔１１が形成され、これ
らのエッチング用孔１１から水酸化カリウム(ＫＯＨ)溶
液を用いた異方性エッチングが施されることにより、流
体温度測温体６を設けた部分の絶縁膜３と基板２との間
に空洞部１２が形成されている。
温体６が形成されている部分に近傍には、絶縁膜３を切
り欠いた複数個のエッチング用孔１１が形成され、これ
らのエッチング用孔１１から水酸化カリウム(ＫＯＨ)溶
液を用いた異方性エッチングが施されることにより、流
体温度測温体６を設けた部分の絶縁膜３と基板２との間
に空洞部１２が形成されている。
【００２０】本実施の形態では、流体温度測温体６によ
り流体の温度を正確に測定するためには、温度測定のた
めの電流により流体温度測温体６が発熱する現象をでき
るだけ抑える必要がある。そこで、流体温度測温体６に
流す電流値と抵抗値との関係を調べた。その結果を表１
に示す。
り流体の温度を正確に測定するためには、温度測定のた
めの電流により流体温度測温体６が発熱する現象をでき
るだけ抑える必要がある。そこで、流体温度測温体６に
流す電流値と抵抗値との関係を調べた。その結果を表１
に示す。
【００２１】
【表１】
【００２２】表１から明らかなように、電流値が５０μ
Ａ以上では、自己発熱のために抵抗値が高くなる。従っ
て、自己発熱の影響を取り除くためには、電流値を５０
μＡ以下にすることが望ましい。そのとき、流体温度測
温体６に供給される電力は、１０μＷ程度となる。従っ
て、流体温度測温体６に供給する電力としては、１０μ
Ｗ以下が望ましい。
Ａ以上では、自己発熱のために抵抗値が高くなる。従っ
て、自己発熱の影響を取り除くためには、電流値を５０
μＡ以下にすることが望ましい。そのとき、流体温度測
温体６に供給される電力は、１０μＷ程度となる。従っ
て、流体温度測温体６に供給する電力としては、１０μ
Ｗ以下が望ましい。
【００２３】感熱式フローセンサの発熱体のシミュレー
ションから、白金の抵抗体から空気中への熱伝達係数は
２００Ｗ／ｍ2 °Ｋであることが知られている(岡野、
平野、堀口、：感熱紙フローセンサの熱伝導メカニズム
のシミュレーション、：電気各界物理センサ研究会、：
ＰＳ−９７−６，１９９７年)。従って、流体温度測温
体６の領域を２ｍｍ2 とすると、１０μＷの熱量が与え
られた場合、流体温度測温体の領域は、０．１°Ｋ程度
の温度上昇で、周囲の流体に対して熱平衡になることが
わかる。このときの抵抗値変化は、白金の抵抗温度係数
が３０００ｐｐｍ／°Ｋ程度であるので、０．０３％で
あり、ほとんど無視できる。この結果は、表１の推定上
昇温度とも一致する。即ち、電力が１０μＷ以下であれ
ば、自己発熱は無視してもよい。
ションから、白金の抵抗体から空気中への熱伝達係数は
２００Ｗ／ｍ2 °Ｋであることが知られている(岡野、
平野、堀口、：感熱紙フローセンサの熱伝導メカニズム
のシミュレーション、：電気各界物理センサ研究会、：
ＰＳ−９７−６，１９９７年)。従って、流体温度測温
体６の領域を２ｍｍ2 とすると、１０μＷの熱量が与え
られた場合、流体温度測温体の領域は、０．１°Ｋ程度
の温度上昇で、周囲の流体に対して熱平衡になることが
わかる。このときの抵抗値変化は、白金の抵抗温度係数
が３０００ｐｐｍ／°Ｋ程度であるので、０．０３％で
あり、ほとんど無視できる。この結果は、表１の推定上
昇温度とも一致する。即ち、電力が１０μＷ以下であれ
ば、自己発熱は無視してもよい。
【００２４】このような構成において、センサチップ１
を取り付けた感熱式フローセンサを測定する流体の流路
中に配置し、流体がセンサチップ１に対して矢印ａ方向
へ流れるようにする。そして、発熱体４，５により流体
の流速又は流量を測定し、かつ、流体温度測温体６によ
り流体の温度を測定する。このとき、流体温度測温体６
で測定した流体の温度に応じて、発熱体４，５により測
定した流体の流速又は流量を補正したり、或いは、発熱
体４，５の駆動温度を変更するなどして、流体の流速又
は流量の測定精度を高めるようにしている。
を取り付けた感熱式フローセンサを測定する流体の流路
中に配置し、流体がセンサチップ１に対して矢印ａ方向
へ流れるようにする。そして、発熱体４，５により流体
の流速又は流量を測定し、かつ、流体温度測温体６によ
り流体の温度を測定する。このとき、流体温度測温体６
で測定した流体の温度に応じて、発熱体４，５により測
定した流体の流速又は流量を補正したり、或いは、発熱
体４，５の駆動温度を変更するなどして、流体の流速又
は流量の測定精度を高めるようにしている。
【００２５】ここで、絶縁膜３における流体温度測温体
６を設けた部分と基板２との間に空洞部１２が形成され
ているため、感熱式フローセンサの周囲の温度が基板２
まで伝わっても、基板２から流体温度測温体６へは伝わ
りにくい。従って、流体温度測温体６による流体の温度
測定を正確に行え、その測定結果を利用して行う流体の
流速や流量の測定を正確に行える。
６を設けた部分と基板２との間に空洞部１２が形成され
ているため、感熱式フローセンサの周囲の温度が基板２
まで伝わっても、基板２から流体温度測温体６へは伝わ
りにくい。従って、流体温度測温体６による流体の温度
測定を正確に行え、その測定結果を利用して行う流体の
流速や流量の測定を正確に行える。
【００２６】また、流体温度測温体６に供給する電力を
１０μＷ以下とすることにより、自己発熱による流体温
度測温体６の温度上昇を抑えることができ、流体の温度
測定をより一層正確に行える。
１０μＷ以下とすることにより、自己発熱による流体温
度測温体６の温度上昇を抑えることができ、流体の温度
測定をより一層正確に行える。
【００２７】つぎに、本発明の第二の実施の形態を図３
に基づいて説明する。なお、図１及び図２において説明
した部分と同じ部分は同じ符号で示し、説明も省略す
る。本実施の形態では、発熱体４，５(図１参照)と流体
温度測温体６(図１参照)とを有するセンサチップ１が複
数本の柱状脚部１３によってホルダ１４に取り付けられ
ており、センサチップ１とホルダ１４との間には所定寸
法の隙間が設けられている。
に基づいて説明する。なお、図１及び図２において説明
した部分と同じ部分は同じ符号で示し、説明も省略す
る。本実施の形態では、発熱体４，５(図１参照)と流体
温度測温体６(図１参照)とを有するセンサチップ１が複
数本の柱状脚部１３によってホルダ１４に取り付けられ
ており、センサチップ１とホルダ１４との間には所定寸
法の隙間が設けられている。
【００２８】発熱体４，５及び流体温度測温体６のパッ
ド７(図１参照)とホルダ１４に設けられた電極１５とが
ワイヤ１６により接続されている。
ド７(図１参照)とホルダ１４に設けられた電極１５とが
ワイヤ１６により接続されている。
【００２９】このような構成において、センサチップ１
とホルダ１４との間に所定寸法の隙間が設けられている
ため、感熱式フローセンサの周囲の熱がホルダ１４まで
伝わっても、その熱はホルダ１４からセンサチップ１及
び流体温度測温体６へは伝わりにくい。従って、流体温
度測温体６による流体の温度測定を正確に行え、その測
定結果を利用して行う流体の流速や流量の測定を正確に
行える。
とホルダ１４との間に所定寸法の隙間が設けられている
ため、感熱式フローセンサの周囲の熱がホルダ１４まで
伝わっても、その熱はホルダ１４からセンサチップ１及
び流体温度測温体６へは伝わりにくい。従って、流体温
度測温体６による流体の温度測定を正確に行え、その測
定結果を利用して行う流体の流速や流量の測定を正確に
行える。
【００３０】なお、ここで説明したセンサチップ１は、
図１に示したように流体温度測温体６と基板２との間に
空洞部１２を形成したものを例に挙げたが、このような
空洞部１２を形成しない場合であっても、感熱式フロー
センサの周囲の熱が流体温度測温体６に伝わることを防
止でき、流体温度測温体６による流体の温度測定を正確
に行える。
図１に示したように流体温度測温体６と基板２との間に
空洞部１２を形成したものを例に挙げたが、このような
空洞部１２を形成しない場合であっても、感熱式フロー
センサの周囲の熱が流体温度測温体６に伝わることを防
止でき、流体温度測温体６による流体の温度測定を正確
に行える。
【００３１】つぎに、本発明の第三の実施の形態を説明
する。なお、本実施の形態は、図１に示したセンサチッ
プ１において、流体温度測温体として薄膜熱電対を設け
たものである。他の構成は図１のセンサチップ１と同じ
である。
する。なお、本実施の形態は、図１に示したセンサチッ
プ１において、流体温度測温体として薄膜熱電対を設け
たものである。他の構成は図１のセンサチップ１と同じ
である。
【００３２】このような構成において、薄膜熱電対の場
合には自己発熱が起こらず、流体の温度測定を正確に行
える。さらに、薄膜熱電対を基板２との間に空洞部(図
１，２参照)１２を形成した絶縁膜３上に設けることに
より、薄膜熱電対の熱容量が小さくなり、流体の温度測
定をより一層正確に行える。
合には自己発熱が起こらず、流体の温度測定を正確に行
える。さらに、薄膜熱電対を基板２との間に空洞部(図
１，２参照)１２を形成した絶縁膜３上に設けることに
より、薄膜熱電対の熱容量が小さくなり、流体の温度測
定をより一層正確に行える。
【００３３】
【発明の効果】請求項１記載の発明の感熱式フローセン
サによれば、基板上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜上に
流体温度測温体を設け、流体温度測温体を設けた部分の
絶縁膜と基板との間に空洞部を形成したので、感熱式フ
ローセンサの周囲の熱が基板まで伝わっても、その熱が
流体温度測温体ヘ伝わることを空洞部によって防止する
ことができる。このため、流体温度測温体による流体の
温度測定を正確に行うことができ、この測定結果を利用
して行う流体の流速や流量の測定を正確に行うことがで
きる。
サによれば、基板上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜上に
流体温度測温体を設け、流体温度測温体を設けた部分の
絶縁膜と基板との間に空洞部を形成したので、感熱式フ
ローセンサの周囲の熱が基板まで伝わっても、その熱が
流体温度測温体ヘ伝わることを空洞部によって防止する
ことができる。このため、流体温度測温体による流体の
温度測定を正確に行うことができ、この測定結果を利用
して行う流体の流速や流量の測定を正確に行うことがで
きる。
【００３４】請求項２記載の発明の感熱式フローセンサ
によれば、少なくとも発熱体と流体温度測温体とを有す
るセンサチップを設け、このセンサチップをホルダとの
間に所定寸法の隙間をもってホルダに固定したので、感
熱式フローセンサの周囲の熱がホルダまで伝わっても、
その熱がホルダからセンサチップへ伝わることを防止で
きる。このため、流体温度測温体による流体の温度測定
を正確に行うことができ、この測定結果を利用して行う
流体の流速や流量の測定を正確に行うことができる。
によれば、少なくとも発熱体と流体温度測温体とを有す
るセンサチップを設け、このセンサチップをホルダとの
間に所定寸法の隙間をもってホルダに固定したので、感
熱式フローセンサの周囲の熱がホルダまで伝わっても、
その熱がホルダからセンサチップへ伝わることを防止で
きる。このため、流体温度測温体による流体の温度測定
を正確に行うことができ、この測定結果を利用して行う
流体の流速や流量の測定を正確に行うことができる。
【００３５】請求項３記載の発明によれば、請求項１又
は２記載の感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温
体に供給する電力を１０μＷ以下としたので、流体温度
測温体による流体の温度測定時において流体温度測温体
の自己発熱を無視できる程度の値に抑えることができ
る。このため、流体温度測温体による流体の温度測定を
正確に行うことができ、この測定結果を利用して行う流
体の流速や流量の測定を正確に行うことができる。
は２記載の感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温
体に供給する電力を１０μＷ以下としたので、流体温度
測温体による流体の温度測定時において流体温度測温体
の自己発熱を無視できる程度の値に抑えることができ
る。このため、流体温度測温体による流体の温度測定を
正確に行うことができ、この測定結果を利用して行う流
体の流速や流量の測定を正確に行うことができる。
【００３６】請求項４記載の発明によれば、請求項１又
は２記載の感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温
体として薄膜熱電対を用いたので、薄膜熱電対は自己発
熱が起こらず、薄膜熱電対による流体の温度測定を正確
に行うことができ、この測定結果を利用して行う流体の
流速や流量の測定を正確に行うことができる。さらに、
薄膜熱電対を基板との間に空洞部を形成した絶縁膜上に
設けることにより、薄膜熱電対の熱容量が小さくなって
流体の温度測定をより一層正確に行うことができ、この
測定結果を利用して行う流体の流速や流量の測定をより
一層正確に行うことができる。
は２記載の感熱式フローセンサにおいて、流体温度測温
体として薄膜熱電対を用いたので、薄膜熱電対は自己発
熱が起こらず、薄膜熱電対による流体の温度測定を正確
に行うことができ、この測定結果を利用して行う流体の
流速や流量の測定を正確に行うことができる。さらに、
薄膜熱電対を基板との間に空洞部を形成した絶縁膜上に
設けることにより、薄膜熱電対の熱容量が小さくなって
流体の温度測定をより一層正確に行うことができ、この
測定結果を利用して行う流体の流速や流量の測定をより
一層正確に行うことができる。
【図１】本発明の第一の実施の形態のセンサチップを示
す平面図である。
す平面図である。
【図２】図１におけるＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明の第二の実施の形態におけるセンサチッ
プの取付状態を示す側面図である。
プの取付状態を示す側面図である。
１ センサチップ ２ 基板 ３ 絶縁膜 ４、５ 発熱体 ６ 流体温度測温体 １２ 空洞部 １４ ホルダ
Claims (4)
- 【請求項１】 基板上に絶縁膜を形成し、この絶縁膜上
に少なくとも発熱体と流体温度測温体とを設けた感熱式
フローセンサにおいて、 前記流体温度測温体を設けた部分の前記絶縁膜と前記基
板との間に空洞部を形成したことを特徴とする感熱式フ
ローセンサ。 - 【請求項２】 少なくとも発熱体と流体温度測温体とを
有するセンサチップを設け、このセンサチップをホルダ
との間に所定寸法の隙間をもって前記ホルダに固定した
ことを特徴とする感熱式フローセンサ。 - 【請求項３】 流体温度測温体に供給する電力を１０μ
Ｗ以下としたことを特徴とする請求項１又は２記載の感
熱式フローセンサ。 - 【請求項４】 流体温度測温体として薄膜熱電対を用い
たことを特徴とする請求項１又は２記載の感熱式フロー
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10160300A JPH11352141A (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | 感熱式フローセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10160300A JPH11352141A (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | 感熱式フローセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11352141A true JPH11352141A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15711992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10160300A Pending JPH11352141A (ja) | 1998-06-09 | 1998-06-09 | 感熱式フローセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11352141A (ja) |
-
1998
- 1998-06-09 JP JP10160300A patent/JPH11352141A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR960015067B1 (ko) | 실리콘 베이스 질량 기류 센서 및 그 조립방법 | |
| US8667839B2 (en) | Heat conduction-type sensor for calibrating effects of temperature and type of fluid, and thermal flow sensor and thermal barometric sensor using this sensor | |
| US4733559A (en) | Thermal fluid flow sensing method and apparatus for sensing flow over a wide range of flow rates | |
| US4633578A (en) | Miniature thermal fluid flow sensors and batch methods of making same | |
| EP2339334A2 (en) | Thermal gas sensor | |
| JPH05508915A (ja) | 温度バイアス形抵抗エレメントを用いた薄膜空気流センサ | |
| JPH1123338A (ja) | 感熱式流量検出素子およびそれを用いた流量センサ | |
| JPH10213470A (ja) | 薄膜式抵抗体及びその製造方法、流量センサ、湿度センサ、ガスセンサ、温度センサ | |
| JP2000131112A (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JPH08313318A (ja) | 感熱式流量検出装置 | |
| JP3210530B2 (ja) | サーミスタ流速センサー | |
| JP2005308676A (ja) | ヒータデバイス及びこれを用いた気体センサ装置 | |
| JP2001165731A (ja) | フローセンサおよびこれを用いた流量計 | |
| JPH11352141A (ja) | 感熱式フローセンサ | |
| JP6807005B2 (ja) | 流量センサ | |
| JP2908942B2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JPH0428023Y2 (ja) | ||
| JP2016151472A (ja) | 接触燃焼式ガスセンサ | |
| KR100559129B1 (ko) | 감열식 공기유량센서 | |
| JP2002214014A (ja) | 流量測定装置 | |
| JP3766290B2 (ja) | フローセンサ | |
| US5361634A (en) | Heat-sensitive flow rate sensor | |
| JPH0593732A (ja) | フローセンサ | |
| JPH109922A (ja) | 感熱式マイクロブリッジセンサ | |
| JPH042967A (ja) | フローセンサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040910 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20050620 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20051101 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051221 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060207 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060704 |