JPH11351856A - シート厚さ測定装置 - Google Patents
シート厚さ測定装置Info
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- JPH11351856A JPH11351856A JP16164198A JP16164198A JPH11351856A JP H11351856 A JPH11351856 A JP H11351856A JP 16164198 A JP16164198 A JP 16164198A JP 16164198 A JP16164198 A JP 16164198A JP H11351856 A JPH11351856 A JP H11351856A
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、レーザービームの正確な遮光幅を
捕らえると共に、計測ローラの長手方向と回転角位置毎
に計測ローラ表面の導電率や透磁率の変動及び雰囲気温
度の変化に対応する変動要因を予め予知し総合的に補正
して計測精度を向上させる手段を提案する。 【解決手段】 被検査物のシート２を回転可能な計測ロ
ーラ１に密着させ、前記計測ローラ１の両側端にレーザ
測定装置３を、上方に渦流式変位計８を配置し、前記レ
ーザ測定装置３の投光器５側のレーザービーム７上に前
記渦流式変位計８と一体に移動する遮光体９を設け、前
記渦流式変位計８の先端と前記計測ローラ１表面の距離
αから、前記渦流式変位計８の先端から伸びる前記遮光
体９の先端までの距離γと前記レーザ測定装置３の受光
器６側の受光幅βの合計を減算して前記シート厚さＴを
計測する。
捕らえると共に、計測ローラの長手方向と回転角位置毎
に計測ローラ表面の導電率や透磁率の変動及び雰囲気温
度の変化に対応する変動要因を予め予知し総合的に補正
して計測精度を向上させる手段を提案する。 【解決手段】 被検査物のシート２を回転可能な計測ロ
ーラ１に密着させ、前記計測ローラ１の両側端にレーザ
測定装置３を、上方に渦流式変位計８を配置し、前記レ
ーザ測定装置３の投光器５側のレーザービーム７上に前
記渦流式変位計８と一体に移動する遮光体９を設け、前
記渦流式変位計８の先端と前記計測ローラ１表面の距離
αから、前記渦流式変位計８の先端から伸びる前記遮光
体９の先端までの距離γと前記レーザ測定装置３の受光
器６側の受光幅βの合計を減算して前記シート厚さＴを
計測する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、幅広のシート状製
品の厚さを磁界を利用した渦流式変位計と光を利用した
レーザ測定装置を併用するシート厚さ測定装置に関す
る。
品の厚さを磁界を利用した渦流式変位計と光を利用した
レーザ測定装置を併用するシート厚さ測定装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に合成樹脂のシートの製造は、ホッ
パ内に投入された合成樹脂ペレットをスクリューフィー
ダで圧送する間にヒータで加熱して溶融させ、Ｔダイス
のスリットからエアナイフ上に未硬化のシートとして送
出した後、冷却硬化させつつ巻取りローラ上に巻き取ら
れる。この巻取りローラ上のシートを製造工程中に計測
する装置として、特公平８−３０６４７号公報には図３
に示すシート厚さ測定装置が提案されている。
パ内に投入された合成樹脂ペレットをスクリューフィー
ダで圧送する間にヒータで加熱して溶融させ、Ｔダイス
のスリットからエアナイフ上に未硬化のシートとして送
出した後、冷却硬化させつつ巻取りローラ上に巻き取ら
れる。この巻取りローラ上のシートを製造工程中に計測
する装置として、特公平８−３０６４７号公報には図３
に示すシート厚さ測定装置が提案されている。
【０００３】図３において、シート１０１の走行方向に
直交して配置された計測ロール１０２の上面にシート１
０１を接触走行させ、この計測ロール１０２を跨いで両
側に対設された投光器１０３ａと受光器１０３ｂからな
るレーザ測定装置１０３により、シート１０１厚さを計
測する際、レーザ測定装置１０３の投光器１０３ａと受
光器１０３ｂ間の計測ロール１０２の軸線上方に、計測
ロール１０２の上面との距離の変化を検出する渦流式変
位計１０４を設置し、且つ、この渦流式変位計１０４の
下面をレーザービーム１０５の上端として遮光するナイ
フエッジとして使い、渦流式変位計１０４が検出した距
離Ａからレーザービーム１０５の遮光量Ｂを減算してシ
ート厚さを計測する。
直交して配置された計測ロール１０２の上面にシート１
０１を接触走行させ、この計測ロール１０２を跨いで両
側に対設された投光器１０３ａと受光器１０３ｂからな
るレーザ測定装置１０３により、シート１０１厚さを計
測する際、レーザ測定装置１０３の投光器１０３ａと受
光器１０３ｂ間の計測ロール１０２の軸線上方に、計測
ロール１０２の上面との距離の変化を検出する渦流式変
位計１０４を設置し、且つ、この渦流式変位計１０４の
下面をレーザービーム１０５の上端として遮光するナイ
フエッジとして使い、渦流式変位計１０４が検出した距
離Ａからレーザービーム１０５の遮光量Ｂを減算してシ
ート厚さを計測する。
【０００４】この様に構成することにより、渦流式変位
計１０４の下面と計測ロール１０２の上面との距離Ａ
と、レーザ測定装置１０３による渦流式変位計１０４の
下面とシート１０１の上面の距離Ｂの計測を同時に同一
位置で実施することによりレーザ測定装置１０３の移動
ガイドレールや計測ロール１０２等がうねりや撓み等を
持っていたとしても、これら計測値への影響が少なく、
装置全体の加工精度や組付け精度がラフであっても問題
ないと説明している。
計１０４の下面と計測ロール１０２の上面との距離Ａ
と、レーザ測定装置１０３による渦流式変位計１０４の
下面とシート１０１の上面の距離Ｂの計測を同時に同一
位置で実施することによりレーザ測定装置１０３の移動
ガイドレールや計測ロール１０２等がうねりや撓み等を
持っていたとしても、これら計測値への影響が少なく、
装置全体の加工精度や組付け精度がラフであっても問題
ないと説明している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】合成樹脂から成るシー
トより更に薄い４弗化エチレン樹脂等から成る薄いシー
トは、一段と厳密な寸法測定精度を要求される。４弗化
エチレン樹脂は、多孔質の生地を持ち抜群の耐薬品性や
電気絶縁性を有するので、電線の絶縁テープや薬品の濾
過フィルター等に多用されている。４弗化エチレン樹脂
のシートは、４弗化エチレン樹脂粉末とテフロンやシリ
コーンオイル等の液状潤滑剤を混入した密閉容器中で攪
拌し、得られた混和物を押出機にて厚さ６ｍｍ程度のス
トリップとした後、カレンダーロールにて０．０５〜
０．５ｍｍのシート厚さに圧延する。因みに、本製造方
法は、本出願人の出願する特公昭４２−１３５６０号公
報に詳しく記載されている。
トより更に薄い４弗化エチレン樹脂等から成る薄いシー
トは、一段と厳密な寸法測定精度を要求される。４弗化
エチレン樹脂は、多孔質の生地を持ち抜群の耐薬品性や
電気絶縁性を有するので、電線の絶縁テープや薬品の濾
過フィルター等に多用されている。４弗化エチレン樹脂
のシートは、４弗化エチレン樹脂粉末とテフロンやシリ
コーンオイル等の液状潤滑剤を混入した密閉容器中で攪
拌し、得られた混和物を押出機にて厚さ６ｍｍ程度のス
トリップとした後、カレンダーロールにて０．０５〜
０．５ｍｍのシート厚さに圧延する。因みに、本製造方
法は、本出願人の出願する特公昭４２−１３５６０号公
報に詳しく記載されている。
【０００６】この様な極薄のシート厚さを測定する際、
図３で説明した投光器側のレーザービームを渦流式変位
計の幅広の下面で遮光すると、図４に示すように渦流式
変位計１０４の僅かな傾きθにより回折光１０６が発生
し遮光境界がボケる。本発明では、レーザービームの正
確な遮光幅を捕らえる手段を提案する。
図３で説明した投光器側のレーザービームを渦流式変位
計の幅広の下面で遮光すると、図４に示すように渦流式
変位計１０４の僅かな傾きθにより回折光１０６が発生
し遮光境界がボケる。本発明では、レーザービームの正
確な遮光幅を捕らえる手段を提案する。
【０００７】原理的には、図３の構成にて計測ローラの
偏心やうねりが存在していても、渦流式変位計によって
計測ローラの表面と渦流式変位計までの距離は計測でき
るが、厳密には計測ローラの長手方向と回転角位置毎に
計測ローラ表面の導電率や透磁率は変動する。さらに、
雰囲気温度の変化に対応して変動する。本発明では、こ
れ等変動要因を予め予知し総合的に補正して計測精度を
向上させる手段を提案する。
偏心やうねりが存在していても、渦流式変位計によって
計測ローラの表面と渦流式変位計までの距離は計測でき
るが、厳密には計測ローラの長手方向と回転角位置毎に
計測ローラ表面の導電率や透磁率は変動する。さらに、
雰囲気温度の変化に対応して変動する。本発明では、こ
れ等変動要因を予め予知し総合的に補正して計測精度を
向上させる手段を提案する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】被検査物としての絶縁体
から成るシートを回転可能な導電体から成る計測ローラ
に密着させ、前記計測ローラの両側端にレーザ測定装置
を、上方に渦流式変位計を配置し、前記シート幅をよぎ
って水平方向に駆動される共通のフレームに前記レーザ
測定装置と前記渦流式変位計は固定され、前記渦流式変
位計の先端と前記計測ローラ表面の距離から、前記レー
ザ測定装置の受光器側の受光幅を減算して前記シート厚
さを計測する装置において、前記レーザ測定装置の投光
器側のレーザービーム上に前記渦流式変位計と一体に移
動する遮光体を設け、前記渦流式変位計の先端と前記計
測ローラ表面の距離から、前記渦流式変位計の先端から
伸びる前記遮光体の先端までの距離と前記レーザ測定装
置の受光器側の受光幅の合計を減算して前記シート厚さ
を計測する際、前記計測ローラ表面全域の導電性及び磁
気的特性を、別途設ける演算装置に予め記憶させて補正
することによりシート厚さを正確に測定する。
から成るシートを回転可能な導電体から成る計測ローラ
に密着させ、前記計測ローラの両側端にレーザ測定装置
を、上方に渦流式変位計を配置し、前記シート幅をよぎ
って水平方向に駆動される共通のフレームに前記レーザ
測定装置と前記渦流式変位計は固定され、前記渦流式変
位計の先端と前記計測ローラ表面の距離から、前記レー
ザ測定装置の受光器側の受光幅を減算して前記シート厚
さを計測する装置において、前記レーザ測定装置の投光
器側のレーザービーム上に前記渦流式変位計と一体に移
動する遮光体を設け、前記渦流式変位計の先端と前記計
測ローラ表面の距離から、前記渦流式変位計の先端から
伸びる前記遮光体の先端までの距離と前記レーザ測定装
置の受光器側の受光幅の合計を減算して前記シート厚さ
を計測する際、前記計測ローラ表面全域の導電性及び磁
気的特性を、別途設ける演算装置に予め記憶させて補正
することによりシート厚さを正確に測定する。
【０００９】レーザ測定装置の投光器側の光路を遮る遮
光体の先端を、シャープエッジに形成すればレーザービ
ームの正確な遮光幅を捕らえることができる。
光体の先端を、シャープエッジに形成すればレーザービ
ームの正確な遮光幅を捕らえることができる。
【００１０】レーザ測定装置と渦流式変位計の計測デー
タは、雰囲気温度に対応する校正値が別途設ける演算装
置に入力されていて、前記渦流式変位計に隣接して設置
する温度計のデータにより補正すれば、より信頼度の高
い計測値が得られる。
タは、雰囲気温度に対応する校正値が別途設ける演算装
置に入力されていて、前記渦流式変位計に隣接して設置
する温度計のデータにより補正すれば、より信頼度の高
い計測値が得られる。
【００１１】計測データは、シート横幅方向の任意の幅
の切り分け数を入力することで任意の区分毎に表示すれ
ば、別途用意する切断装置に用途別のシート幅に裁断す
るシートの品質管理に有効である。
の切り分け数を入力することで任意の区分毎に表示すれ
ば、別途用意する切断装置に用途別のシート幅に裁断す
るシートの品質管理に有効である。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に、本発明を具体化した好適
の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、被
検査物のシート側方断面に対する各計測ユニットの配置
関係図である。図２は、計測ローラの長手方向の正面か
ら見た各計測ユニットの配置関係図である。
の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。図１は、被
検査物のシート側方断面に対する各計測ユニットの配置
関係図である。図２は、計測ローラの長手方向の正面か
ら見た各計測ユニットの配置関係図である。
【００１３】図１において導電体から成る計測ローラ１
は、被検査物であるシート２を計測ローラ１の外周表面
に密着させながら矢印Ａ方向に回転する。レーザ測定装
置３のフレーム４の両端には、レーザービーム７の投光
器５と受光器６が配置されている。計測ローラ１の軸心
上のフレーム４の中央には、渦流式変位計８が投光器５
側のレーザービーム７を遮光する遮光体９と一体に固定
されている。遮光体９の先端は、従来技術の図４で説明
したように、渦流式変位計１０４の僅かな傾きθにより
回折光１０６が発生し遮光境界がボケるので、遮光境界
を鮮明にするため遮光体９の傾きの影響をキャンセルす
るだけのシャープエッジに形成されていることが好まし
い。
は、被検査物であるシート２を計測ローラ１の外周表面
に密着させながら矢印Ａ方向に回転する。レーザ測定装
置３のフレーム４の両端には、レーザービーム７の投光
器５と受光器６が配置されている。計測ローラ１の軸心
上のフレーム４の中央には、渦流式変位計８が投光器５
側のレーザービーム７を遮光する遮光体９と一体に固定
されている。遮光体９の先端は、従来技術の図４で説明
したように、渦流式変位計１０４の僅かな傾きθにより
回折光１０６が発生し遮光境界がボケるので、遮光境界
を鮮明にするため遮光体９の傾きの影響をキャンセルす
るだけのシャープエッジに形成されていることが好まし
い。
【００１４】渦流式変位計８は、計測ローラ１側に向け
高周波磁界を発生させ、この高周波磁界内に導電体から
成る金属製の計測ローラ１が存在すると、電磁誘導によ
り計測ローラ１の上面との間の距離に応じた渦電流が発
生し、もとの磁界が相殺されて弱くなり、この磁界の変
化を計測することにより距離を検出することができる。
従って、計測ローラ１の全外周表面の導電率や透磁率の
くせを予め予知し、補正値によって真の距離を算出すれ
ば精度の高い計測値が得られる。
高周波磁界を発生させ、この高周波磁界内に導電体から
成る金属製の計測ローラ１が存在すると、電磁誘導によ
り計測ローラ１の上面との間の距離に応じた渦電流が発
生し、もとの磁界が相殺されて弱くなり、この磁界の変
化を計測することにより距離を検出することができる。
従って、計測ローラ１の全外周表面の導電率や透磁率の
くせを予め予知し、補正値によって真の距離を算出すれ
ば精度の高い計測値が得られる。
【００１５】シート厚さＴは、渦流式変位計８の下端か
ら計測ローラ１の表面までの距離をα、遮光体９の先端
からシート２上面までの距離をβとし、渦流式変位計８
の下端から遮光体９の先端までの距離をγとした場合、
Ｔ＝α−β−γにて計測できる。
ら計測ローラ１の表面までの距離をα、遮光体９の先端
からシート２上面までの距離をβとし、渦流式変位計８
の下端から遮光体９の先端までの距離をγとした場合、
Ｔ＝α−β−γにて計測できる。
【００１６】図２においてフレーム４は、矢印Ｂの如く
左右水平方向にステップモータ１０にて移動ガイドレー
ル１１上をスライドする。一方、計測ローラ１に内蔵す
るエンコーダ１２から発信する計測ローラ１の任意の回
転角度の信号及びフレーム４の水平方向位置の信号は、
ステップモータ１０を介して別途設ける演算装置１３に
入力される。さらに、所定の位置に雰囲気温度を検出す
る温度計１４が設置され、そのデータも演算装置１に入
力される。
左右水平方向にステップモータ１０にて移動ガイドレー
ル１１上をスライドする。一方、計測ローラ１に内蔵す
るエンコーダ１２から発信する計測ローラ１の任意の回
転角度の信号及びフレーム４の水平方向位置の信号は、
ステップモータ１０を介して別途設ける演算装置１３に
入力される。さらに、所定の位置に雰囲気温度を検出す
る温度計１４が設置され、そのデータも演算装置１に入
力される。
【００１７】従来技術の図３で説明したシート厚さ測定
装置においては、レーザ測定装置１０３の左右移動と計
測ロール１０２の回転に伴うスパイラル状の軌道上しか
距離Ａのゼロ点補正が行われないのに対して、図１、２
のように構成した本発明のシート厚さ測定装置は、計測
開始前に計測ローラ１表面全域の固有の導電率や透磁率
を、長手方向と円周方向にメッシュ分割した補正値を演
算装置１３に記憶させて置く。同時に、計測ローラ１の
長手方向寸法が３００ｍｍ近傍の場合、雰囲気温度１℃
の変化により０．５〜１μｍ程度の寸法変化が存在する
ので、温度計１４のデータも演算装置１３に記憶させて
測定結果を総合的に補正する。
装置においては、レーザ測定装置１０３の左右移動と計
測ロール１０２の回転に伴うスパイラル状の軌道上しか
距離Ａのゼロ点補正が行われないのに対して、図１、２
のように構成した本発明のシート厚さ測定装置は、計測
開始前に計測ローラ１表面全域の固有の導電率や透磁率
を、長手方向と円周方向にメッシュ分割した補正値を演
算装置１３に記憶させて置く。同時に、計測ローラ１の
長手方向寸法が３００ｍｍ近傍の場合、雰囲気温度１℃
の変化により０．５〜１μｍ程度の寸法変化が存在する
ので、温度計１４のデータも演算装置１３に記憶させて
測定結果を総合的に補正する。
【００１８】測定結果は、数値化してモニタ画面１５に
出力し、規格値に照らして外れていれば赤字で表示する
とか警告ランプ１６を点灯してもよい。また、製品用途
別にシート２の幅を切り分ける場合は、演算装置１３に
切り分け数を入力し各最終製品幅毎に測定結果を表示し
てもよい。
出力し、規格値に照らして外れていれば赤字で表示する
とか警告ランプ１６を点灯してもよい。また、製品用途
別にシート２の幅を切り分ける場合は、演算装置１３に
切り分け数を入力し各最終製品幅毎に測定結果を表示し
てもよい。
【００１９】
【発明の効果】高周波磁界内で渦電流を発生する渦流式
変位計とレーザービームを利用したレーザ測定装置を併
用した従来のシート厚さ測定装置では、渦流式変位計の
下面を投光器側から発射されるレーザービームの遮光体
と兼用していたため、渦流式変位計の僅かな傾きにより
回折光が発生し遮光境界がボケるので、測定精度に問題
があったが、本発明では、レーザ測定装置の投光器側の
レーザービーム上に渦流式変位計と一体に移動する先端
がシャープエッジを成す遮光体を設け、渦流式変位計の
先端と計測ローラ表面の距離を正確に捕らえることによ
り、極薄のシート厚さの厳密な測定を可能とした。
変位計とレーザービームを利用したレーザ測定装置を併
用した従来のシート厚さ測定装置では、渦流式変位計の
下面を投光器側から発射されるレーザービームの遮光体
と兼用していたため、渦流式変位計の僅かな傾きにより
回折光が発生し遮光境界がボケるので、測定精度に問題
があったが、本発明では、レーザ測定装置の投光器側の
レーザービーム上に渦流式変位計と一体に移動する先端
がシャープエッジを成す遮光体を設け、渦流式変位計の
先端と計測ローラ表面の距離を正確に捕らえることによ
り、極薄のシート厚さの厳密な測定を可能とした。
【００２０】さらに、計測ローラの長手方向と回転角位
置毎に計測ローラ表面の導電率や透磁率は厳密には変動
するし、雰囲気温度の変化よっても変動する。本発明で
は、これ等変動要因を計測ローラ表面の長手方向と円周
方向にメッシュ分割した補正値を演算装置に記憶させ
て、予め予知し総合的に補正して計測精度を向上させ
た。
置毎に計測ローラ表面の導電率や透磁率は厳密には変動
するし、雰囲気温度の変化よっても変動する。本発明で
は、これ等変動要因を計測ローラ表面の長手方向と円周
方向にメッシュ分割した補正値を演算装置に記憶させ
て、予め予知し総合的に補正して計測精度を向上させ
た。
【図１】本発明の被検査物のシート側方断面に対する各
計測ユニットの配置関係図である。
計測ユニットの配置関係図である。
【図２】本発明の計測ローラの長手方向の正面から見た
各計測ユニットの配置関係図である。
各計測ユニットの配置関係図である。
【図３】従来のシート厚さ測定装置の各ユニットの配置
関係図である。
関係図である。
【図４】従来の渦流式変位計の遮光状態を示す説明図で
ある。
ある。
１：計測ローラ ２：シート ３：レーザ測定装置 ４：フレーム ５：投光器 ６：受光器 ７：レーザービーム ８：渦流式変位計 ９：遮光体 １０：ステップモータ １１：移動ガイドレール １２：エンコーダ １３：演算装置 １４：温度計 １５：モニタ画面 １６：警告ランプ
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査物としての絶縁体から成るシート
を回転可能な導電体から成る計測ローラに密着させ、前
記計測ローラの両側端にレーザ測定装置を、上方に渦流
式変位計を配置し、前記シート幅をよぎって水平方向に
駆動される共通のフレームに前記レーザ測定装置と前記
渦流式変位計は固定され、前記渦流式変位計の先端と前
記計測ローラ表面の距離から、前記レーザ測定装置の受
光器側の受光幅を減算して前記シート厚さを計測する装
置において、前記レーザ測定装置の投光器側のレーザー
ビーム上に前記渦流式変位計と一体に移動する遮光体を
設け、前記渦流式変位計の先端と前記計測ローラ表面の
距離から、前記渦流式変位計の先端から伸びる前記遮光
体の先端までの距離と前記レーザ測定装置の受光器側の
受光幅の合計を減算して前記シート厚さを計測する際、
前記計測ローラ表面全域の導電性及び磁気的特性を、別
途設ける演算装置に予め記憶させて補正することを特徴
とするシート厚さ測定装置。 - 【請求項２】 レーザ測定装置の投光器側の光路を遮る
遮光体の先端が、シャープエッジに形成されていること
を特徴とする請求項１に記載のシート厚さ測定装置。 - 【請求項３】 レーザ測定装置と渦流式変位計の計測デ
ータは、雰囲気温度に対応する校正値が別途設ける演算
装置に入力されていて、前記渦流式変位計に隣接して設
置する温度計のデータにより補正されることを特徴とす
る請求項１または２に記載のシート厚さ測定装置。 - 【請求項４】 計測データは、シート横幅方向の任意の
幅の切り分け数を入力することで任意の区分毎に表示さ
れることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載
のシート厚さ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16164198A JPH11351856A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | シート厚さ測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16164198A JPH11351856A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | シート厚さ測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11351856A true JPH11351856A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15739053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16164198A Pending JPH11351856A (ja) | 1998-06-10 | 1998-06-10 | シート厚さ測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11351856A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101229408B1 (ko) | 2010-08-25 | 2013-02-15 | 주식회사 씨텍 | 두께 측정 장치 |
| KR101654641B1 (ko) * | 2016-04-14 | 2016-09-22 | 씨아이에스(주) | 이차전지용 전극의 코팅부 두께 측정장치 |
| CN109458906A (zh) * | 2018-12-12 | 2019-03-12 | 淄博朗斯光电有限公司 | 一种光学镜片检测设备及检测方法 |
| CN110455238A (zh) * | 2019-08-12 | 2019-11-15 | 佛山市景旭机电设备有限公司 | 橡塑卷材在线自动检测厚度的装置及方法 |
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1998
- 1998-06-10 JP JP16164198A patent/JPH11351856A/ja active Pending
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