JPH11326281A - 雰囲気の変化の検出方法並びにこれを用いた方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 雰囲気に複数種の変化のうちの何らかの変化
が生じたことを高感度で検出する。 【解決手段】 電圧が印加される２つの電極間３，４の
放電の変化により、雰囲気に複数種の変化のうちの何ら
かの変化が生じたことを検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、放電現象を利用し
た検出技術及びその応用技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、半導体製造工程に用いられる
高純度ガスの測定において、電圧が印加される２つの電
極間の放電の変化により測定ガスの不純物濃度を測定す
る技術が提供されている（特開平９−２２６８０号、特
開平９−６１４０２号、特開平９−１６６５７７号、特
開平９−２４３６０３号、特開平９−２４３６０４号、
特開平６−２８１６２４号、特開平６−３１７５６１
号）。このように、従来は、電圧が印加される２つの電
極間の放電の変化を測定ガスの不純物濃度の測定のみに
利用すべきものであると考えられていた。

【０００３】そして、従来は、このような放電現象を利
用した測定技術は、単に、測定ガスの不純物濃度を測定
するに留まり、その特質を生かした応用技術は何ら提供
されていなかった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明者は、研究の結
果、ガス中の不純物濃度の変化のみならず、他の雰囲気
の変化（例えば、圧力変化、温度変化、微粒子量の変
化、荷電粒子の変化、電磁波の変化）によっても、電極
間の放電の状態が変化し、その感度は非常に高いことを
見出した。

【０００５】本発明は、このような知見に基づいて、雰
囲気に複数種の変化のうちの何らかの変化が生じたこと
を高感度で検出することができる雰囲気の変化の検出方
法を提供することを目的とする。

【０００６】また、本発明は、放電現象を利用した測定
技術を用いた種々の応用技術を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１の態様によ
る雰囲気の変化の検出方法は、電圧が印加される２つの
電極間の放電の変化により、雰囲気に複数種の変化のう
ちの何らかの変化が生じたことを検出するものである。
前記雰囲気は、例えば、流路を通流する気体であっても
よいし、通流していないある室内の気体であってもよ
い。また、放電の変化としては、例えば、電位差の変
化、放電電圧値を放電電流値で除算した値の変化、放電
電圧値を放電電流値と電極間距離の積算値で除算した値
の変化などを挙げることができる。この点は、本発明の
後述する態様についても同様である。

【０００８】この第１の態様によれば、前述した知見か
らわかるように、雰囲気に複数種の変化のうちの何らか
の変化が生じたことを高感度で検出することができる。
したがって、この検出方法は、例えば、流路を通流する
ガスの異常を検出する方法や、防犯等のため室内に人が
侵入したことを検出する方法や、ガスが燃焼している際
に不完全燃焼が発生したことを検出する方法などとして
用いたり、後述する第２及び第３の態様などにおいて用
いることができる。

【０００９】本発明の第２の態様によるガス分析装置
は、複数の流路をそれぞれ流れるガスに対してそれぞれ
複数種の分析を行うガス分析装置において、互いに異な
る種類の分析を行う複数のガス分析計と、前記複数の流
路をそれぞれ流れるガスにそれぞれ対応して設けられ当
該ガスの変化をそれぞれ検出する複数のガス変化検出装
置であって、各々が、導入口から導入されたガスが通流
する放電室と、該放電室内に配置され電圧が印加される
２つの電極とを有し、前記２つの電極間の放電の変化に
より前記導入されたガスの変化を検出する複数のガス変
化検出装置と、前記複数のガス変化検出装置により変化
が検出されたガスの流路を前記複数のガス分析計に選択
的に接続させる切替手段と、を備えたものである。前記
複数のガス変化検出装置によりいずれかのガスに変化が
生じたことが検出されない場合には、前記複数のガス分
析計を作動させなくてもよいし、あるいは、前記複数の
流路の各々を順次巡回的に前記複数のガス分析計に接続
して、前記複数のガス分析計により各流路を流れるガス
を順次巡回的に分析してもよい。

【００１０】前記第２の態様によれば、各流路のガスの
変化が各ガス変化検出装置によって検出され、変化が検
出されたガスが、互いに異なる種類の分析を行う複数の
ガス分析計によって選択的に分析されることになる。ガ
スに変化が生ずることは当該ガスに異常等が生じたこと
を意味するので、各流路のガスの異常等が各ガス変化検
出装置によりモニタされ、異常等が生じたガスが互いに
異なる種類の分析を行う複数のガス分析計によって分析
されることになる。したがって、前記第２の態様によれ
ば、各流路のガスが同時にガス分析計によって分析され
るわけではないが、異常等が生じたガスがガス分析計に
よって分析されるので、何ら不都合は生じない。

【００１１】ところで、半導体製造プラントなどにおい
て、複数の流路をそれぞれ流れるガスに対してそれぞれ
複数種の分析を行う従来のガス分析装置は、互いに異な
る種類の分析を行う複数のガス分析計を一組として、こ
の組を前記複数の流路のそれぞれに設けた構成とされて
いた。すなわち、この従来のガス分析装置では、同じ種
類の分析を行うガス分析計が前記流路の数だけ設けられ
ていた。したがって、前記複数のガス分析計は、例えば
パーティクルカウンタや大気圧質量分析計（ＡＰＩＭ
Ｓ）などで高価なものであることから、前記従来のガス
分析装置は極めて高価なものとなっていた。

【００１２】これに対し、前記第２の態様によれば、複
数の流路をそれぞれ流れるガスに対して互いに異なる種
類の分析を行う一組のガス分析計を設けておけばよいの
で、ガス分析計の数を大幅に低減することができる。ま
た、ガス変化検出装置は、放電室内に配置され電圧が印
加される２つの電極を有し、前記２つの電極間の放電の
変化により前記導入されたガスの変化を検出するもので
あるため、高感度でガスの変化を検出することができる
にもかかわらず、通常のガス分析計に比べてかなり安価
なものとなる。したがって、前記第２の態様によるよる
ガス分析装置は、従来のガス分析装置に比べて大幅にコ
ストを低減することができる。

【００１３】本発明の第３の態様によるガス分析方法
は、複数の流路をそれぞれ流れるガスに対してそれぞれ
複数種の分析を行うガス分析方法において、前記複数の
流路をそれぞれ流れるガスを、電圧が印加される２つの
電極を配置したそれぞれ対応する放電室に導入し、前記
各放電室内の前記２つの電極間の放電の変化により前記
導入されたガスの変化を検出し、変化が検出されたガス
を、互いに異なる種類の分析を行う複数のガス分析計に
よって選択的に分析するものである。

【００１４】この第３の態様によるガス分析方法は、前
記第２の態様によるガス分析装置に対応するものであ
り、従来のガス分析方法に比べて大幅にコストを低減す
ることができる。

【００１５】本発明の第４の態様による雰囲気の検出方
法は、電圧が印加される２つの電極間の放電の変化によ
り、雰囲気に変化が生じたこと又は雰囲気の特性値を検
出する雰囲気の検出方法であって、前記電圧を間欠的に
前記２つの電極間に印加するものである。前記特性値と
しては、例えば、不純物濃度を挙げることができる。

【００１６】２つの電極間に電圧を常時印加すると電極
の劣化の進行が早いが、この第４の態様のように電圧を
間欠的に印加すれば、電極の劣化の進行が遅くなり、そ
の寿命を延ばすことができる。

【００１７】本発明の第５の態様によるガス純化器の寿
命モニタ方法は、ガス純化器を完全に又は途中まで通流
したガスを、電圧が印加される２つの電極を配置した放
電室に導入し、前記２つの電極間の放電の状態に応じた
信号を得て、該信号に基づいて前記ガス純化器の寿命を
モニタするものである。

【００１８】ガス純化器が寿命に近づく又は達すると、
ガスの純化の程度が低下してその不純物濃度が高くなる
ので、前記２つの電極間の放電の状態が変化することと
なる。したがって、第５の態様では、２つの電極間の放
電の状態に応じた信号を得て、該信号に基づいて前記ガ
ス純化器の寿命をモニタすることができる。ガス純化器
のエレメント等は、破瓜領域（不純物の除去能力を失っ
た領域）がガス流入口側からガス流出口側へ向けて徐々
に拡大していって全体に至ると寿命が尽きることにな
る。このため、ガス純化器の途中のガスを放電室に導入
すれば、ガス純化器の寿命が尽きる前にその寿命が近い
ことを確実に知ることができ、好ましい。

【００１９】ところで、従来は、ガス純化器の寿命をモ
ニタする方法は全くなく、ガス純化器を定期的に交換し
ていた。このため、交換時期までにガス純化器の寿命が
尽きてしまうと、ガスを十分に純化することができず、
その後の半導体製造工程等に重大な影響を及ぼしてしま
うおそれがあった。そして、これを避けるために、早期
にガス純化器を交換すると、ガス純化器の劣化がほとん
ど進行しておらず未だ十分に使用可能であるのに、当該
ガス純化器を交換することとなり、不経済であった。

【００２０】これに対し、前記第５の態様によれば、ガ
ス純化器の寿命に近づいたこと又は達したことを知るこ
とができるので、適切な時期にガス純化器を交換するこ
とができ、純化したガスを用いる後の工程等に重大な影
響を与えることを未然に防止することができるととも
に、経済的である。

【００２１】本発明の第６の態様による流路のリーク検
出方法は、流路を流れる第１のガスと異なる成分を有す
る第２のガスを前記流路に外側から吹き付け、前記流路
における前記第２のガスの吹き付け箇所に対する下流を
流れるガスを、電圧が印加される２つの電極を配置した
放電室に導入し、前記２つの電極間の放電の状態に応じ
た信号を得て、該信号に基づいて前記流路のリークを検
出するものである。

【００２２】この第６の態様によれば、流路を流れる第
１のガスと異なる成分を有する第２のガスを前記流路に
外側から吹き付けているので、当該流路にリークがあれ
ば、流路内の第１のガスに第２のガスが混入し、吹き付
け箇所に対する下流を流れるガスの成分が変化し、それ
により前記２つの電極の間の放電の状態が変化する。し
たがって、前記２つの電極間の放電の状態に応じた信号
を得て、該信号に基づいて前記流路のリークを検出する
ことができる。

【００２３】ところで、従来のリーク検出方法では、流
路の外側に石鹸水等を塗り、泡が発生するか否かを観察
することにより流路のリークを検出していたが、微少な
リークを検出することは困難であった。

【００２４】これに対し、前記第６の態様によれば、２
つの電極間の放電の変化を検出することによりガスの成
分の変化を高感度で検出することができるので、リーク
を高感度で検出することができ、微少なリークであって
も容易に検出することができる。

【００２５】本発明の第７の態様による流路のリーク検
出方法は、前記第６の態様によるリーク検出方法におい
て、前記第２のガスを前記流路内の圧力よりも所定圧力
だけ陽圧に保つものである。

【００２６】この第７の態様のように、流路に吹き付け
る第２のガスを流路内の第１のガスよりかなり高い圧力
にすれば、通常の状態では生じないリークを検出するこ
とができ、流路のリークに対する耐性を事前に評価する
ことができる。

【００２７】本発明の第８の態様によるガス混合方法
は、複数のガスを複数の流量制御装置により混合して混
合ガスを得るガス混合方法において、前記混合ガスを電
圧が印加される２つの電極を配置した放電室に導入し、
前記２つの電極間の放電の状態に応じた信号を得て、該
信号に基づいて前記混合ガスの濃度が一定となるように
前記複数の流量制御装置のうちの少なくとも１つをフィ
ードバック制御するものである。

【００２８】複数のガスを複数の流量制御装置により混
合して混合ガスを得る従来のガス混合方法では、混合ガ
スの濃度を何ら検出することなく、流量制御装置に対し
てフィードバック制御を行わずに単にオープンループ制
御を行っていた。しかしながら、流量制御装置は、これ
に所望の流量を指令する流量指令信号を与えても、直ち
にガスの流量が所望の流量となるわけではなく、一旦オ
ーバーシュートして所望の流量より大きくなった後に所
望の流量に安定する特性を有している。このため、前記
従来のガス混合方法によれば、ガスの流量を当初から所
望の流量とすることはできず、その結果、混合ガスの濃
度を当初から所望の濃度にすることはできなかった。し
たがって、混合ガスを例えば半導体製造工程に用いる場
合、問題が生ずる場合があった。

【００２９】これに対し、前記第８の態様によれば、混
合ガスの濃度を前記２つの電極間の放電の状態として検
出し、これに基づいて複数の流量制御装置のうちの少な
くとも１つをフィードバック制御しているので、混合ガ
スの濃度を当初から所望の濃度にすることができる。し
かも、電極間の放電の変化によるガスの濃度の検出は高
感度で行うことができるので、混合ガスの濃度を当初か
ら精度良く所望の濃度にすることができる。したがっ
て、混合ガスを、何ら問題が生ずることなく、例えば半
導体製造工程に用いることができる。

【００３０】本発明の第９の態様による混合ガス供給方
法は、複数のガスを複数の流量制御装置により混合して
混合ガスを所定箇所に供給する混合ガス供給方法におい
て、前記混合ガスを電圧が印加される２つの電極を配置
した放電室に導入し、前記２つの電極間の放電の状態に
応じた信号を得て、該信号に基づいて前記混合ガスの濃
度が安定した後に前記混合ガスを前記所定箇所に供給す
るものである。

【００３１】前述したように、流量制御装置は、一旦オ
ーバーシュートして所望の流量より大きくなった後に所
望の流量に安定する特性を有しているが、この第９の態
様によれば、混合ガスの濃度を前記２つの電極間の放電
の状態として検出し、これに基づいて混合ガスの濃度が
安定した後に所定箇所に供給しているので、精度良く所
望の濃度となった混合ガスを所定箇所に供給することが
できる。したがって、混合ガスを、何ら問題が生ずるこ
となく、例えば半導体製造工程に用いることができる。

【００３２】本発明の第１０の態様による物品等の出し
入れ方法は、物品又は人を出し入れする室から排気され
るガスを、電圧が印加される２つの電極を配置した放電
室に導入し、前記２つの電極間の放電の状態に応じた信
号を得て、該信号が所定範囲になった後に前記物品又は
人を前記室から出し入れするものである。前記室の例と
しては、半導体製造に関連するものとして、クリーンル
ームの前に設置された人が出入りするエアーシャワー室
や、前記物品としてウエハーを出し入れするロードロッ
ク室又は処理室（プロセスチャンバー）などを挙げるこ
とができる。

【００３３】従来は、これらの室に物品等を出し入れす
る場合、これらの室に滞留させる一定時間を予め定め、
その時間が経過すれば、物品等が清浄化されたものとみ
なしていた。しかしながら、物品等の汚れ具合によって
清浄化に必要な時間は当然に変わってくる。したがっ
て、十分な清浄度を確保しようとすれば、前記一定時間
を長く設定せざるを得ず効率が悪化する一方、効率化を
図るべく前記一定時間を短く設定すれば、十分な清浄度
を確保することができない場合がある。

【００３４】これに対し、前記第１０の態様によれば、
室から排気されるガスの不純物濃度に応じて前記２つの
電極間の放電の状態が変化することから、前記室の清浄
度（すなわち、物品等の汚れのパージ状態）が、電極間
の放電の状態としてモニタされることになる。そして、
電極間の放電の状態に応じた信号が所定の範囲になった
後に物品等を出し入れするので、物品等が前記室内に滞
留する時間に関わらず、所定の清浄度となったとき物品
等を出し入れすることになる。したがって、前記第１０
の態様によれば、物品等を効率良く清浄化することがで
きるとともに、常に十分な清浄度を確保することができ
る。

【００３５】本発明の第１１の態様による昇温脱離ガス
分析方法は、物品が配置された加熱室を通流したガスを
分析する昇温脱離ガス分析方法において、前記加熱室を
通流したガスを、電圧が印加される２つの電極を配置し
た放電室に導入し、前記２つの電極間の放電の状態に応
じた信号を得て、該信号に基づいて脱離ガスの分析を行
うものである。

【００３６】従来の昇温脱離ガス分析方法では、物品が
配置された加熱室を通流したガスを、大気圧質量分析計
（ＡＰＩＭＳ）などの非常に高価なガス分析計により分
析していた。

【００３７】これに対し、前記第１１の態様では、電圧
が印加される２つの電極を配置した放電室に導入し、前
記２つの電極間の放電の状態に応じた信号を得て、該信
号に基づいて脱離ガスの分析を行うので、この放電を利
用した装置は、高感度でガスの変化を検出することがで
きるにもかかわらず、通常のガス分析計に比べてかなり
安価なものとなることから、コストを低減することがで
きる。

【００３８】本発明の第１２の態様による昇温脱離ガス
分析方法は、前記第１１の態様による昇温脱離ガス分析
方法において、前記加熱室を通流したガスを前記放電室
に導入する前に燃焼室で燃焼させ、燃焼後のガスを前記
放電室に導入するものである。

【００３９】この第１２の態様によれば、脱離ガスをそ
のまま測定するのではなく、脱離ガスを燃焼室で燃焼さ
せた後に測定するので、加熱室を通流させるガス（キャ
リアガス）としてＯ₂や空気等を用いれば、脱離成分の
有機物をＣＯ₂ガスに変換して測定することになる。有
機物を含む脱離ガスをそのまま放電室に導けば、有機物
は電極を汚染し易いことから、電極を頻繁にクリーニン
グしなければならないが、前記第１２の態様では有機物
がＣＯ₂ガスに変換されるので、電極の汚染が少なくな
り、電極のクリーニングの頻度が少なくなり、好まし
い。また、有機物をＣＯ₂に変換して測定すると、濃度
計算が容易となり、好ましい。

【００４０】なお、前記第１１及び第１２の態様による
方法は、例えば、ウエハーなどの物品の清浄度や乾燥度
を評価するために使用することができる。また、大気等
の測定ガスを分析する場合、当該測定ガスをフィルタ等
を介して吸引することにより、当該測定ガス中の不純物
等をフィルタ等に付着させ、このフィルタ等を前記物品
として用いることにより、前記第１１及び第１２の態様
による方法によって、当該測定ガスの分析を行うことも
可能である。この場合、測定ガスが分析場所に対して遠
隔地に存在していても、当該測定ガスの分析が可能とな
る。

【００４１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の種々の実施の形態
について、図面を参照して説明する。

【００４２】図１は、本発明において使用し得る検出装
置の一例を示す概略断面図である。図１において、板状
の電極１は、フランジ部２とこれと一体にＬ形に延設さ
れた電極部３とを有し、フランジ部２には、絶縁端子５
を介して放電電極４が取り付けられ、これら電極１と放
電電極４は、外部に露出して設けられている。

【００４３】放電電極４は、筐体６内に設けられた可変
抵抗器７を介して放電の電圧値を測定する電圧測定手段
（電圧モニタ）８と並列接続されるとともに、放電の電
流値を測定する電流測定手段（電流モニタ）９を介して
電源１０と直列接続され、電源１０により電極４と電極
１との間に印加された放電の電圧値と電流値は、電圧測
定手段８と電流測定手段９により測定され、その値はコ
ンピュータ（図示せず）に出力されるようになってい
る。

【００４４】なお、必要に応じて、電圧に印加された放
電電極４に直接手でさわれないよう、安全上の面から放
電電極４と電極部３を囲繞する金網等の網目状カバー
（図示せず）をフランジ部２に取り付けてもよい。

【００４５】以上の構成において、変化を検出しようと
する雰囲気中で、放電電極４と電極１との間に電源１０
により例えば約１ＫＶ〜３ＫＶ程度の電圧が印加される
と、放電電極４と電極１との間でコロナ放電が起き、該
コロナ放電の電流値は電流測定手段９により測定され、
また、電圧値は電圧測定手段１０により測定され、これ
らの測定値はコンピュータにより処理されて、その得ら
れた数値によって雰囲気の変化が検出される。この数値
としては、例えば、放電電圧値を放電電流値で除算した
値や、放電電圧値を放電電流値と電極間距離の積算値で
除算した値であってもよい。なお、電源１０として定電
流電源を用いた場合には、電流測定手段９を取り除き、
電圧測定手段１０により測定された電圧値によって雰囲
気の変化を検出することができる。雰囲気中の不純物濃
度の変化のみならず、圧力変化、温度変化、微粒子量の
変化、荷電粒子の変化、電磁波の変化などによっても、
コンピュータ処理により得られた数値や定電流電源を用
いた場合における電圧値は変化し、その感度は非常に高
い。

【００４６】したがって、図１に示す検出装置を用いれ
ば、雰囲気に複数種の変化のうちの何らかの変化が生じ
たことを検出することができる。このため、この検出方
法は、例えば、流路を通流するガスの異常を検出する方
法や、防犯等のため室内に人が侵入したことを検出する
方法や、ガスが燃焼している際に不完全燃焼が発生した
ことを検出する方法などとして用いたりすることができ
る。

【００４７】図２は、本発明において使用し得る検出装
置の他の例を示す概略断面図である。図２において、ス
テンレススチール等の金属製ブロック２１は、その中央
を貫通して略Ｈ形の放電室２２を有している。放電室２
２は、その一方に測定ガスの流入口２３と連なるガス流
入室部２４を有するとともに、その他方にはガス流出口
２５と連なるガス流出室部２６を有し、これらの室部２
４，２６は狭い筒状の通路２７で連通され、通路２７の
内周壁面４１が筒状電極となっている。ガス流入室部２
４側には、金属パッキン２８を介してガス流入口２３を
有するフランジ２９が密閉的に固着されるとともに、ガ
ス流出室部２６側にも、金属パッキン３０を介してガス
流出口２５を有するフランジ３１が密閉的に固着されて
いる。ブロック２１とフランジ２９，３１は接地され、
これらにより放電室２２が形成されている。放電室２２
における通路の中央には、放電電極３２としての１本の
ワイヤー電極が設けられている。この電極３２は、その
一端がブロック２１に絶縁端子３３を介して取り付けら
れた端子３４に溶着されるとともに、他端は同じくブロ
ック２１に絶縁端子３５を介して取り付けられた端子３
６に溶着されて、水平に張設されている。また、ガス流
入口２３及びガス流出口２４には、放電室２２内におい
て火炎が発生した場合に当該火炎が外部に出るのを防止
する火炎防止用の金網等のメッシュ４２，４３が設けら
れている。以上の要素２１〜３６，４１〜４３が、当該
検出装置の放電部３７を構成している。

【００４８】放電電極（ワイヤー電極）３２を溶着して
いる端子３４は、放電の電流値を測定する電流測定手段
（電流モニター）３８を介して電源３９と直列接続され
るとともに、放電の電圧値を測定する電圧測定手段（電
圧モニター）４０と並列接続されている。そして、電源
３９により放電電極３２と電極４１との間に印加された
放電の電圧値と電流値は、電圧測定手段４０と電流測定
手段３８により測定され、その値はコンピュータ（図示
せず）に出力されるようになっている。以上の要素３８
〜４０が、当該検出装置の電源部４５を構成している。

【００４９】以上の構成において、ガス流入口２３より
ガス（雰囲気）が放電室２２内に導入されるとともに、
電極３２，４１間に電源３９により例えば約１ＫＶ〜３
ＫＶ程度の電圧が印加されると、電極３２，４１間でコ
ロナ放電が起き、該コロナ放電の電流値は電流測定手段
３８により測定され、また、電圧値は電圧測定手段４０
により測定され、これらの測定値はコンピュータにより
処理されて、その得られた数値によって雰囲気の変化が
検出される。この数値としては、例えば、放電電圧値を
放電電流値で除算した値や、放電電圧値を放電電流値と
電極間距離の積算値で除算した値であってもよい。ま
た、電源４０として定電流電源を用いた場合には、電流
測定手段３８を取り除き、電圧測定手段４０により測定
された電圧値によって雰囲気の変化を検出することがで
きる。放電室２２に導入されたガスの濃度や当該ガス中
の不純物濃度の変化のみならず、圧力変化、温度変化な
どによっても、コンピュータ処理により得られた数値や
定電流電源を用いた場合における電圧値は変化し、その
感度は非常に高い。また、導入されるガスの圧力や温度
を所定値に調整しておくことにより、コンピュータ処理
により得られた数値や定電流電源を用いた場合における
電圧値から、当該ガスの濃度や不純物濃度を測定するこ
とができる。

【００５０】したがって、図２に示す検出装置を用いれ
ば、導入されたガスに複数種の変化のうちの何らかの変
化が生じたことを検出することができ、また、導入され
たガスの濃度や不純物を測定することができる。

【００５１】なお、図１に示すような外部に露出した２
つの電極３，４や図２に示すような放電室内に設けられ
た２つの電極２７，４１は、図示した形態に限定される
ものではない。例えば、電極２７，４１に代えて、針状
の電極とこれに対向する対向電極を用いることができ
る。

【００５２】図３は、本発明の一実施の形態によるガス
分析装置を示す。このガス分析装置は、流路５１〜５３
をそれぞれ流れるＮ₂ガス、Ａｒガス及びＨ₂ガスに対し
て複数種の分析を行う。このガス分析装置は、互いに異
なる種類の分析を行う複数のガス分析計Ａ、Ｂ・・・を
備えている。これらのガス分析計としては、例えば、パ
ーティクルカウンタ、酸素計、露点計、ガスクロマトグ
ラフ、質量分析計、大気圧質量分析計（ＡＰＩＭＳ）な
どを挙げることができる。流路５１〜５３をそれぞれ流
れる各ガスにそれぞれ対応して、各ガスの変化をそれぞ
れ検出するガス変化検出装置５４〜５６が設けられてい
る。本実施の形態では、ガス変化検出装置５４〜５６と
してそれぞれ図２に示した検出装置が用いられている。
流路５１〜５３は、検出装置５４〜５６のガス流入口
（図２中の２３に相当）にそれぞれ接続されるととも
に、ガス分析計Ａ、Ｂ・・・に接続された流路６０に電
磁バルブ５７〜５９を介してそれぞれ接続されている。
検出装置５４〜５６のガス流出口（図２中の２５に相
当）は大気に開放されている。検出装置５４〜５６から
の信号は、バルブ制御部６１に入力されている。バルブ
制御部６１は、バルブ５７〜５９を制御して、検出装置
５４〜５６のいずれかからガスに変化が生じたことを示
す信号が得られた場合には、バルブ５７〜５９のうちの
対応するバルブを開き、他のバルブを閉じる。

【００５３】このガス分析装置によれば、各流路５１〜
５３のガスが各検出装置５４〜５６によってモニタされ
てそのガスの変化が検出され、変化が検出されたガスの
流路が制御部６１Ｎ制御下でバルブ５７〜５９により流
路６０に選択的に接続され、変化が検出されたガスがガ
ス分析計Ａ、Ｂ・・・によって選択的に分析されること
になる。各流路５１〜５３のガスが同時にガス分析計に
よって分析されるわけではないが、変化が検出されたガ
ス（すなわち、異常等が生じたガス）がガス分析計によ
って分析されるので、何ら不都合は生じない。このガス
分析装置では、複数の流路５１〜５３に対して一組のガ
ス分析計Ａ、Ｂ・・・を設けておけばよく、また、検出
装置５４〜５６はガス分析装置に比べてかなり安価であ
るので、このガス分析装置は全体として大幅にコストを
低減することができる。

【００５４】なお、いずれの検出装置５４〜５６からも
ガスが変化したことを示す信号が得られない場合には、
制御部６１により全てのバルブ５７〜５９を閉じて（開
いていてもよい）、ガス分析計Ａ、Ｂ・・・を作動させ
なくてもよいし、あるいは、制御部６１によりバルブ５
７〜５９を制御して、流路５１〜５３の各々を順次巡回
的にガス分析計Ａ、Ｂ・・・に接続して、ガス分析計
Ａ、Ｂ・・・により各流路５１〜５３を流れるガスを順
次巡回的に分析してもよい。

【００５５】ところで、図１や図２に示した検出装置を
使用する際には、電極３，４間又は電極３２，４１間に
印加する電圧は、連続的にではなく、図４に示すように
間欠的に印加して（例えば、１時間当たり１０秒間のみ
印加して）検出又は測定に必要な時にのみ印加すること
が好ましい。これは、電極の劣化の進行を遅らせてその
寿命をのばすことができるからである。なお、図４の横
軸は経過時間を示し、縦軸は２つの電極間への電圧印加
の状態を示している。

【００５６】図５は、図２に示した検出装置の使用方法
の一例を示す。この使用方法は、複数の流路７１〜７３
をそれぞれ流れるガスについて、必要に応じてその変化
やその特性値（濃度や不純物濃度等）の検出を行う場合
の使用方法である。この使用方法では、図２中の放電部
３７にそれぞれ相当する放電部７４〜７６を流路７１〜
７３にそれぞれ常時設けておき、図２中の電源部４５に
相当する電源部７７を１台だけ用意しておく。そして、
各流路７１〜７３のガスについて検出を行う場合には、
１台の電源部７７を放電部７４〜７６に対してつなぎ変
えていく。このようにすれば、電源部７７が１台だけで
すむので、コストを大幅に低減できる。また、放電部７
４〜７６は常時流路７１〜７３に設けられているので、
ガスが常にその放電室を通流することになることから、
電源部７７を接続すれば直ちにガスの変化や特性値の検
出を開始することができる。通常は流路７１〜７３に放
電部を設けておかず、検出時のみ放電部を流路７１〜７
３に接続することとすれば、放電部の数も１つですむ
が、放電室内の不純物等がパージされるまで正確な検出
を行うことができず、迅速な検出を行うことができな
い。

【００５７】図６は、本発明の一実施の形態によるガス
純化器の寿命モニタ方法を示す。この方法では、ガス純
化器８０を設けた流路８１におけるガス純化器８０に対
する下流側に、図２に示した検出装置に相当する検出装
置８２を設けている。これにより、ガス純化器８０を完
全に通流したガスが検出装置８２の放電室に導入され
る。ガス純化器８０が寿命に近づく又は達すると、ガス
の純化の程度が低下するので、検出装置８２の２つの電
極間の放電の状態が変化することとなる。したがって、
検出装置８２から得られるその２つの電極間の放電の状
態に応じた信号に基づいて、ガス純化器８０の寿命をモ
ニタすることができる。なお、図６中、８０ａはガス純
化器８０のガス流入口、８０ｂはガス流出口、９０はガ
ス純化器８０のエレメント等の破瓜領域である。

【００５８】図７は、本発明の他の実施の形態によるガ
ス純化器の寿命モニタ方法を示す。図７において、図６
中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付して
いる。この方法では、検出装置８２のガス流入口をガス
純化器８０の途中に接続して、ガス純化器８０を途中ま
で通流したガスをガス純化器８０の放電室に導入してい
る。検出装置８２のガス流出口は大気に開放されてい
る。ガス純化器８０のエレメント等は、破瓜領域９０が
ガス流入口側８０ａからガス流出口８０ｂ側へ向けて徐
々に拡大していって全体に至ると寿命が尽きることにな
る。したがって、図７に示す方法によれば、図６に示す
方法に比べて早期に寿命が近いことを知ることができ、
ガス純化器８０の寿命が尽きる前にその寿命が近いこと
を確実に知ることができる。

【００５９】なお、前記ガス純化器８０は、吸着剤を用
いたもの、ゲッター式のもの、触媒式のものなど、いず
れのタイプのものでもよい。

【００６０】図８は、ガスの流路における継手部分１０
０の一例を示す縦断面図である。図８において、１０１
は継手本体、１０２はガスケット、１０３はスリーブ、
１０４はスリーブ１０２に溶接されたチューブ、１０５
はユニオンナットである。ユニオンナット１０５を継手
本体１０１に螺合することにより、スリーブ１０３がガ
スケット１０２を介して継手本体１０１に圧接され、こ
れにより流路１００の気密性が保たれている。ガスケッ
ト１０２の付近においてリークが生じ易いことから、ユ
ニオンナット１０５には、その上下の面にリークを検出
するための孔１０５ａ，１０５ｂが形成されている。

【００６１】図９は、本発明の一実施の形態による流路
のリーク検出方法を示す。図９において、第１のガスの
流路１１０は、その途中に、前述した図８に示す継手部
分１００を有している。この方法では、流路１００を流
れる第１のガスと異なる成分を有する第２のガスを貯蔵
するボンベ１１１に接続されたノズル１１２の先端を、
継手部分１００のユニオンナット１０５の孔１０５ａに
挿入し、図示しないバルブを開いて孔１０５ａから第２
のガスを吹き付ける。なお、ノズル１１２の先端の大き
さを孔１０５ａとほぼ同じであることが好ましい。そし
て、流路１１０における継手部分１００に対する下流を
流れるガスを、図２に示した検出装置に相当する検出装
置１１３の放電室にそのガス流入口から導入する。検出
装置１１３のガス流出口は大気に開放されている。な
お、図面には示していないが、ボンベ１１３には圧力調
節器が設けられており、第２のガスの圧力を所望の圧力
に調節することができるようになっている。流路１１０
を流れる第１のガスと異なる成分を有する第２のガスを
流路１１０の継手部分１００に外側から吹き付けている
ので、流路１１０の継手部分１００にリークがあれば、
流路１１０内の第１のガスに第２のガスが混入し、継手
部分１００に対する下流を流れるガスの成分が変化し、
それにより検出装置１１３の２つの電極の間の放電の状
態が変化する。

【００６２】したがって、検出装置１１３から得られる
その２つの電極間の放電の状態に応じた信号に基づい
て、流路１１０の継手部分１００のリークを検出するこ
とができる。

【００６３】図１０は、本発明の他の実施の形態による
流路のリーク検出方法を示す。図１０において、図９中
の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、そ
の重複した説明は省略する。図１０に示す方法が図９に
示す方法と異なる所は、図９ではノズル１１２の先端を
直接に継手部分１００の孔１０５ａに挿入していたのに
対し、図１０では、継手部分１００をカバー１１４で気
密となるように覆い、ノズル１１２の先端がカバー１１
４内に挿入されている点のみである。したがって、この
方法では、カバー１１４内において、ノズル１１２から
の第２のガスが流路１１０内の圧力よりも所定圧力だけ
陽圧に保たれる。流路１１０に吹き付ける第２のガスを
流路１１０内の第１のガスよりかなり高い圧力にすれ
ば、通常の状態では生じないリークを検出することがで
き、流路１１０のリークに対する耐性を事前に評価する
ことができる。

【００６４】図１０において、ノズル１１２、ボンベ１
１１及びカバー１１４に代えて、図１１に示すような治
具１２０及びボンベ１１１を用いることができる。この
治具は、継手部分１００のユニオンナット１０５の上面
及び下面を挟持する一対の挟持部１２２，１２３と、一
対の柄１２４，１２５とを備えている。挟持部１２２と
柄１２４とが一体化され、挟持部１２３と柄１２５とが
一体化され、これらが支点部１２６で回動自在に連結さ
れている。図面には示しないバネによって、支点部１２
６には挟持部１２２，１２３間の距離が狭まる方向に付
勢されている。一方の挟持部１２２には、凹部１２２ａ
が形成されるとともに、外側から凹部１２２ａにかけて
給気路１２３ｂが形成されている。挟持部１２２，１２
３のユニオンナット１０５への当接面には、パッキン１
２７，１２８がそれぞれ設けられている。ボンベ１２１
と給気路１２２ｂとの間は、可撓性を有する管１２９に
よって接続されている。なお、ボンベ１２１には、図９
や図１０の場合と同様に、図面には示しないバルブ及び
圧力調節器が設けられている。この治具１２０によれ
ば、柄１２４，１２５を手に持ってその間隔を狭めて挟
持部１２２，１２３の間隔を広げ、柄１２４，１２５か
ら手を離すだけで、挟持部１２２，１２３をユニオンナ
ット１０５に挟持させることができる。このとき、継手
部分１００のユニオンナット１０５の孔１０５ａが凹部
１２２ａに開口し、孔１０５ｂがパッキン１２８により
閉塞されるようにする。これにより、図１０と実質的に
同じ状況となる。

【００６５】図１２は、本発明の一実施の形態によるガ
ス混合方法を示す。この方法では、ガスａとガスｂとが
流量制御装置１３１，１３２によって混合され、この混
合ガスが流路１３３によって所定箇所に供給される。こ
の混合ガスの一部は、図２に示した検出装置に相当する
検出装置１３４の放電室に導入される。検出装置１３４
のガス流出口は大気に開放されている。混合ガスの濃度
が変化すると、検出装置１３４の２つの電極の間の放電
の状態が変化するので、検出装置１３４から得られる検
出信号（２つの電極の間の放電の状態を示す信号）は混
合ガスの濃度を示すことになる。制御部１３５は、混合
ガスの濃度が所定の値となるように、この信号に基づい
て流量制御装置１３１，１３２をフィードバック制御す
る。制御部１３５がこのようなフィードバック制御を行
わずにオープンループ制御を行うとすれば、検出装置１
３４からの検出信号すなわち混合ガスの濃度は、図１３
（ｂ）に示すように、混合開始当初にオーバーシュート
１３６が生じてしまうが、図１２に示す混合方法によれ
ば、前述したフィードバック制御によって、図１３
（ｂ）に示すように、当初から精度良く所望の濃度にす
ることができる。

【００６６】図１４は、本発明の他の実施の形態による
ガス混合方法を示す。図１４において、図１２中の要素
と同一又は対応する要素には同一符号を付している。こ
の混合方法では、流量制御装置１３１，１３２により得
られた混合ガスの流路１３３は、混合ガスを所定の箇所
に供給する流路１４１に電磁バルブ１４２を介して接続
されるとともに、電磁バルブ１４３を介して大気に開放
されている。この方法では、流量制御装置１３１，１３
２をフィードバック制御していないので、検出装置１３
４からの検出信号すなわち混合ガスの濃度は、図１５
（ａ）に示すように、混合開始当初にオーバーシュート
１３６が生ずる。制御部１４０は、図１５（ｂ）に示す
ように、検出装置１３４からの検出信号すなわち混合ガ
スの濃度が安定した後にバルブ１４１を開いて、混合ガ
スを流路１４１に流して所定の箇所に供給する。また、
制御部１４０は、バルブ１４３を、その開閉がバルブ１
４２の開閉と逆になるように制御する。この方法では、
このように、流路１３３に得られる混合ガスの濃度には
オーバーシュート１３６が生ずるものの、この濃度が安
定するまでは混合ガスはバルブ１４３を介して廃棄して
所定の箇所に供給せず、この濃度が安定した後にバルブ
１４２を介して所定の箇所に供給するので、所定の箇所
に供給される混合ガスの濃度は、図１５（ｃ）に示すよ
うに、精度良く所望の濃度となる。

【００６７】図１６は、本発明の一実施の形態による物
品の出し入れ方法を示す。図１６において、１５０はウ
エハ、１５１はロードロック室、１５２は半導体製造工
程を行う処理室（プロセスチャンバ）、１５３はロード
ロック室１５１にパージガスを供給する給気路、１５４
はロードロック室１５１からガスの排気を行う排気路、
１５５は処理室１５２にパージガスを供給する給気路、
１５６は処理室１５２からガスの排気を行う排気路であ
る。この方法では、ロードロック室１５１及び処理室１
５６からそれぞれ排気されたガスの一部は、図２に示し
た検出装置に相当する検出装置１５７，１５８の放電室
にそれぞれ導入される。各室１５１，１５２から排気さ
れるガスの不純物濃度に応じて検出装置１５７，１５８
の２つの電極間の放電の状態が変化することから、各室
１５１，１５２の清浄度（すなわち、ウエハ１５０の汚
れのパージ状態）が、各検出装置１５７，１５８の電極
間の放電の状態としてモニタされることになる。そし
て、この方法では、各検出装置１５７，１５８からの電
極間の放電の状態に応じた信号がウエハ１５０の搬送を
行う搬送装置（図示せず）に与えられ、前記信号が所定
の範囲になった（すなわち、所定の清浄度となった）後
に搬送装置によって各室１５１，１５２にウエハ１５０
が出し入れされる。したがって、ウエハ１５０が室１５
１，１５２内に滞留する時間に関わらず、所定の清浄度
となったとき物品等を出し入れすることになる。このた
め、ウエハ１５０を効率良く清浄化することができると
ともに、常に十分な清浄度を確保することができる。

【００６８】図１７は、本発明の一実施の形態による人
の出し入れ方法を示す。図１７において、１６０は人、
１６１はエアシャワー室、１６２は半導体製造等のため
のクリーンルーム、１６３はエアシャワーのためのエア
の給気路、１６４はエアシャワー室１６１からのエアを
排気する排気路である。この方法では、エアシャワー室
１６１から排気されたエアの一部は、図２に示した検出
装置に相当する検出装置１６５の放電室に導入される。
排気されたエアの不純物濃度に応じて検出装置１６５の
２つの電極間の放電の状態が変化することから、エアシ
ャワー室１６５の清浄度（すなわち、人１６０の汚れの
パージ状態）が、検出装置１６５の電極間の放電の状態
としてモニタされることになる。そして、この方法で
は、検出装置１６５からの電極間の放電の状態に応じた
信号がエアシャワー室１６１のドア装置（図示せず）及
び表示装置（図示せず）に与えられ、前記信号が所定の
範囲になった（すなわち、所定の清浄度となった）後に
人１６０がエアシャワー室１６１及び１６２に出入りす
るように、ドア装置及び表示装置によって、ドアの開閉
及びロック状態が制御されるとともに、出入りの可・不
可の表示等を行う。したがって、人１６０が室１６０内
に滞留する時間に関わらず、所定の清浄度となったとき
人１６０が出入りすることになる。このため、人１６０
を効率良く清浄化することができるとともに、常に十分
な清浄度を確保することができる。

【００６９】図１８は、本発明の一実施の形態による昇
温脱離ガス分析方法を示す図である。図１８において、
ボンベ１７０からのガスは、圧力調節器１７１及び流量
制御装置１７２によってその圧力及び流量が所定の値と
された上で、ウエハ等の物品１７３が配置された加熱室
１７４を通過し、更に、前記図２に示した検出装置に相
当する検出装置１７５の放電室に導入される。検出装置
１７５のガス流出口は大気に開放されている。図１８
中、１７６は、加熱室１７４を加熱するための加熱源と
しての赤外線ランプ等である。加熱室１７４を通過した
ガスには、物品１７３から脱離した成分が含まれる。そ
の成分によって検出装置１７５の２つの電極間の放電の
状態が変化するので、検出装置１７５から得られる放電
状態に応じた信号に基づいて脱離成分を分析することが
できる。

【００７０】図１９は、本発明の他の実施の形態による
昇温脱離ガス分析方法を示す図である。図１９におい
て、図１８中の要素と同一又は対応する要素には同一符
号を付している。図１９の方法が図１８の方法と異なる
所は、加熱室１７４と検出装置１７５との間に燃焼室１
８０を設けた点のみである。この方法では、加熱室１７
４を通過した脱離ガスをそのまま測定するのではなく、
脱離ガスを燃焼室１８０で燃焼させた後に測定する。こ
のため、加熱室１７４を通流させるガス（キャリアガ
ス）としてＯ₂や空気等を用いれば、脱離成分の有機物
をＣＯ₂ガスに変換して測定することになる。有機物を
含む脱離ガスをそのまま検出装置１７５の放電室に導け
ば、有機物は電極を汚染し易いことから、電極を頻繁に
クリーニングしなければならないが、図１９の方法によ
れば、有機物がＣＯ₂ガスに変換されるので、電極の汚
染が少なくなり、電極のクリーニングの頻度が少なくな
り、好ましい。また、有機物をＣＯ₂に変換して測定す
ると、濃度計算が容易となり、好ましい。

【００７１】以上、本発明の各実施の形態について説明
したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるもの
ではない。

【００７２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
雰囲気に複数種の変化のうちの何らかの変化が生じたこ
とを高感度で検出することができる雰囲気の変化の検出
方法を提供することができる。また、放電現象を利用し
た測定技術を用いた種々の応用技術を提供することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明において使用し得る検出装置の一例を示
す概略断面図である。

【図２】本発明において使用し得る検出装置の他の例を
示す概略断面図である。

【図３】本発明の一実施の形態によるガス分析装置を示
す概略構成図である。

【図４】放電電極への電圧印加の様子の一例を示す図で
ある。

【図５】図２に示す検出装置の使用方法の一例を示す図
である。

【図６】本発明の一実施の形態によるガス純化器の寿命
モニタ方法を示す図である。

【図７】本発明の他の実施の形態によるガス純化器の寿
命モニタ方法を示す図である。

【図８】ガスの流路における継手部分の一例を示す縦断
面図である。

【図９】本発明の一実施の形態による流路のリーク検出
方法を示す図である。

【図１０】本発明の他の実施の形態による流路のリーク
検出方法を示すである。

【図１１】流路のリーク検出方法において用い得る治具
を示す一部切欠図である。

【図１２】本発明の一実施の形態によるガス混合方法を
示す図である。

【図１３】図１２に示すガス混合方法の動作を説明する
ための図である。

【図１４】本発明の他の実施の形態によるガス混合方法
を示す図である。

【図１５】図１４に示すガス混合方法の動作を説明する
ための図である。

【図１６】本発明の一実施の形態による物品の出し入れ
方法を示す図である。

【図１７】本発明の一実施の形態による人の出し入れ方
法を示す図である。

【図１８】本発明の一実施の形態による昇温脱離ガス分
析方法を示す図である。

【図１９】本発明の他の実施の形態による昇温脱離ガス
分析方法を示す図である。

【符号の説明】

３，４，３２，４１ 電極 ２２ 放電室 １０，３９ 電源 ８，４０ 電圧測定手段 ９，３８ 電流測定手段 ５４，５５，５６，８２，１１３，１３４ 検出装置 ５７，５８，５９，１４２，１４３ バルブ ６１ バルブ制御部 ８０ ガス純化器 １３１，１３２ 流量制御装置 １３５，１４０ 制御部 １５０，１７３ ウエハ １５１ ロードロック室 １５２ 処理室 １５７，１５８，１６５，１７５ 検出装置 １６１ エアシャワー室 １６２ クリーンルーム １７４ 加熱室 １８０ 燃焼室

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電圧が印加される２つの電極間の放電の
   変化により、雰囲気に複数種の変化のうちの何らかの変
   化が生じたことを検出することを特徴とする雰囲気の変
   化の検出方法。
2. 【請求項２】 複数の流路をそれぞれ流れるガスに対し
   てそれぞれ複数種の分析を行うガス分析装置において、 互いに異なる種類の分析を行う複数のガス分析計と、 前記複数の流路をそれぞれ流れるガスにそれぞれ対応し
   て設けられ当該ガスの変化をそれぞれ検出する複数のガ
   ス変化検出装置であって、各々が、導入口から導入され
   たガスが通流する放電室と、該放電室内に配置され電圧
   が印加される２つの電極とを有し、前記２つの電極間の
   放電の変化により前記導入されたガスの変化を検出する
   複数のガス変化検出装置と、 前記複数のガス変化検出装置により変化が検出されたガ
   スの流路を前記複数のガス分析計に選択的に接続させる
   切替手段と、 を備えたことを特徴とするガス分析装置。
3. 【請求項３】 複数の流路をそれぞれ流れるガスに対し
   てそれぞれ複数種の分析を行うガス分析方法において、 前記複数の流路をそれぞれ流れるガスを、電圧が印加さ
   れる２つの電極を配置したそれぞれ対応する放電室に導
   入し、前記各放電室内の前記２つの電極間の放電の変化
   により前記導入されたガスの変化を検出し、変化が検出
   されたガスを、互いに異なる種類の分析を行う複数のガ
   ス分析計によって選択的に分析することを特徴とするガ
   ス分析方法。
4. 【請求項４】 電圧が印加される２つの電極間の放電の
   変化により、雰囲気に変化が生じたこと又は雰囲気の特
   性値を検出する雰囲気の検出方法であって、前記電圧を
   間欠的に前記２つの電極間に印加することを特徴とする
   雰囲気の検出方法。
5. 【請求項５】 ガス純化器を完全に又は途中まで通流し
   たガスを、電圧が印加される２つの電極を配置した放電
   室に導入し、前記２つの電極間の放電の状態に応じた信
   号を得て、該信号に基づいて前記ガス純化器の寿命をモ
   ニタすることを特徴とするガス純化器の寿命モニタ方
   法。
6. 【請求項６】 流路を流れる第１のガスと異なる成分を
   有する第２のガスを前記流路に外側から吹き付け、前記
   流路における前記第２のガスの吹き付け箇所に対する下
   流を流れるガスを、電圧が印加される２つの電極を配置
   した放電室に導入し、前記２つの電極間の放電の状態に
   応じた信号を得て、該信号に基づいて前記流路のリーク
   を検出することを特徴とする流路のリーク検出方法。
7. 【請求項７】 前記第２のガスを前記流路内の圧力より
   も所定圧力だけ陽圧に保つことを特徴とする請求項６記
   載の流路のリーク検出方法。
8. 【請求項８】 複数のガスを複数の流量制御装置により
   混合して混合ガスを得るガス混合方法において、前記混
   合ガスを電圧が印加される２つの電極を配置した放電室
   に導入し、前記２つの電極間の放電の状態に応じた信号
   を得て、該信号に基づいて前記混合ガスの濃度が一定と
   なるように前記複数の流量制御装置のうちの少なくとも
   １つをフィードバック制御することを特徴とするガス混
   合方法。
9. 【請求項９】 複数のガスを複数の流量制御装置により
   混合して混合ガスを所定箇所に供給する混合ガス供給方
   法において、前記混合ガスを電圧が印加される２つの電
   極を配置した放電室に導入し、前記２つの電極間の放電
   の状態に応じた信号を得て、該信号に基づいて前記混合
   ガスの濃度が安定した後に前記混合ガスを前記所定箇所
   に供給することを特徴とする混合ガス供給方法。
10. 【請求項１０】 物品又は人を出し入れする室から排気
    されるガスを、電圧が印加される２つの電極を配置した
    放電室に導入し、前記２つの電極間の放電の状態に応じ
    た信号を得て、該信号が所定範囲になった後に前記物品
    又は人を前記室から出し入れすることを特徴とする物品
    等の出し入れ方法。
11. 【請求項１１】 物品が配置された加熱室を通流したガ
    スを分析する昇温脱離ガス分析方法において、前記加熱
    室を通流したガスを、電圧が印加される２つの電極を配
    置した放電室に導入し、前記２つの電極間の放電の状態
    に応じた信号を得て、該信号に基づいて脱離ガスの分析
    を行うことを特徴とする昇温脱離ガス分析方法。
12. 【請求項１２】 前記加熱室を通流したガスを前記放電
    室に導入する前に燃焼室で燃焼させ、燃焼後のガスを前
    記放電室に導入することを特徴とする請求項１１記載の
    昇温脱離ガス分析方法。