JPH11322982A - 透明バリア性フィルム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 プラズマ化学蒸着法を利用し、黄変あるいは
劣化等がなく、かつ、ア−キング孔のなく、更に、優れ
た透明性を有すると共に酸素ガス、水蒸気等に対するバ
リア性に優れた透明バリア性フィルムを提供するもので
ある。 【解決手段】 基材フィルムの一方の面に、蒸着用モノ
マ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、および、その他から
なる蒸着用混合ガス組成物を供給し、プラズマ化学蒸着
法により、無機酸化物の蒸着膜を設けた透明バリア性フ
ィルムにおいて、蒸着用混合ガス組成物における蒸着モ
ノマ−ガスと酸素ガスとのガス流量を、蒸着モノマ−ガ
スと酸素ガスとを後者１に対し前者１〜３の割合、また
は、前者１に対し後者１〜６の割合の範囲内で調整して
供給し、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜
を設けたことを特徴とする透明バリア性フィルムに関す
るものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、透明バリア性フィ
ルムに関し、更に詳しくは、透明性、酸素ガスに対する
バリア性等に優れ、更に、ラミネ−ト適性を有し、飲食
品、医薬品、化粧品、化学品、電子部品、その他等の種
々の物品を充填包装する包装材料として有用な透明バリ
ア性フィルムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア
性等に優れた包装用材料として、種々のものが開発さ
れ、提案されているが、それらの一つとして、近年、プ
ラスチックフィルム等の基材フィルムの一方の面に、物
理気相成長法、あるいは、化学気相成長法等を用いて、
例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機酸化物
の蒸着膜を設けた蒸着フィルムが提案されている。この
ものは、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等に優れ、
かつ、透明性を有し、更に、環境対応に適う包装用材料
として注目され、近年、他のプラスチックフィルム、あ
るいは、紙基材等の包装用材料と積層し、例えば、飲食
品、医薬品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充
填包装に適する包装用容器を製造することかでき、その
需要の拡大が期待されているものである。

【０００３】

【発明が解決しよとする課題】ところで、上記のプラス
チックフィルム等の基材フィルムの一方の面に、物理気
相成長法、あるいは、化学気相成長法等を用いて、例え
ば、酸化ケイ素、酸化アルミニウム等の無機酸化物の蒸
着膜を設けた蒸着フィルムは、確かに、酸素ガス、ある
いは、水蒸気等に対するバリア性を向上させることはで
きるものであるが、具体的に、該蒸着フィルムを使用
し、これに他の樹脂のフィルム等を積層して積層体を製
造し、更に、該積層体を使用して製袋して包装用容器を
製造し、該包装用容器内に、例えば、飲食品、医薬品、
化粧品、化学品、その他等の種々の物品を充填包装して
包装製品を製造しても、全ての包装製品において、酸素
ガス、あるいは、水蒸気等に対するバリア性を充足する
ことは困難であり、場合によっては、酸素ガス、あるい
は、水蒸気等に対するバリア性に欠けることがあり、充
分に満足し得る包装製品を製造することができない場合
がある。例えば、上記のプラスチックフィルム等の基材
フィルムとして、２軸延伸ポリエステル系樹脂フィル
ム、あるいは、２軸延伸ポリアミド系樹脂フィルムを使
用し、その一方の面に、プラズマ化学蒸着法等の化学気
相成長法を用いて、例えば、酸化ケイ素、酸化アルミニ
ウム等の無機酸化物の蒸着膜を設けた蒸着フィルムにお
いては、物理気相成長法を用いて製造した蒸着フィルム
と比較して、その蒸着膜の膜厚を、物理気相成長法を用
いて製造した蒸着フィルムの膜厚よりも薄くしても、酸
素ガスバリア性、水蒸気バリア性等において同等レベル
のバリア性を有する蒸着フィルムを製造することができ
るという利点を有するが、プラズマ化学蒸着法等の化学
気相成長法を用いて蒸着フィルムを製造する場合には、
プラズマ照射により、基材フィルムとしての２軸延伸ポ
リエステル系樹脂フィルム、あるいは、２軸延伸ポリア
ミド系樹脂フィルム自身が、その影響を受け、例えば、
２軸延伸ポリエステル系樹脂フィルム、あるいは、２軸
延伸ポリアミド系樹脂フィルムが、黄変、あるいは、劣
化ないし収縮する等の問題点を引き起し、酸素ガス、あ
るいは、水蒸気等に対するバリア性等に優れた蒸着フィ
ルムを製造することは、極めて困難であるというのが実
状である。具体的には、上記の蒸着フィルムにおいて
は、酸素透過度、あるいは、水蒸気透過度が、１ｃｃ／
ｍ² ／ｄａｙ（２３℃、９０％）、あるいは、１ｇ／ｍ
² ／ｄａｙ（４０℃、１００％）以下のハイバリア性で
ある蒸着膜を有する蒸着フィルムを製造することは不可
能に近いことである。更に、上記のような蒸着フィルム
においては、プラズマ照射中に起こるア−キング現象に
より、２軸延伸ポリエステル系樹脂フィルム、あるい
は、２軸延伸ポリアミド系樹脂フィルム等の基材フィル
ム自身に貫通孔ができてしまうという、いわゆる、ア−
キング孔を形成するという問題点があり、蒸着フィルム
を製造したとしても、その用をなさないという問題点が
ある。また、上記の蒸着フィルムにおいては、上記の２
軸延伸ポリエステル系樹脂フィルム、あるいは、２軸延
伸ポリアミド系樹脂フィルム等の基材フィルムが、縦横
の延伸率にむらがあることから、エボルブ時（蒸着時）
等において、そのフィルムの表面に皺等を発生し、見た
目が非常に悪く、著しく商品価値に劣る蒸着フィルムを
製造し兼ねないという問題点がある。そこで本発明は、
プラズマ化学蒸着法を利用し、黄変あるいは劣化等がな
く、かつ、ア−キング孔のなく、更に、優れた透明性を
有すると共に酸素ガス、水蒸気等に対するバリア性に優
れた透明バリア性フィルムを提供するものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な問題点を解決すべく種々研究の結果、基材フィルムの
一方の面に、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガ
ス、および、その他からなる蒸着用混合ガス組成物を供
給し、プラズマ化学蒸着法により、無機酸化物の蒸着膜
を設けた透明バリア性フィルムにおいて、蒸着用混合ガ
ス組成物における蒸着モノマ−ガスと酸素ガスとのガス
流量を調節して供給することに着目し、まず、蒸着用混
合ガス組成物における蒸着モノマ−ガスと酸素ガスとの
ガス流量を、後者１に対し前者１〜３の割合、または、
前者１に対し後者１〜６の割合の範囲内で調整して蒸着
用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、および、その
他からなる蒸着用混合ガス組成物を生成し、これを原料
供給ノズルから真空チャンバ−内に供給し、プラズマ化
学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜を設けて透明バリア
性フィルムを製造したところ、２軸延伸ポリエステル系
樹脂フィルム、あるいは、２軸延伸ポリアミド系樹脂フ
ィルム等の基材フィルムの黄変、劣化ないし収縮等の発
生を防止し、かつ、いわゆる、ア−キング孔等の発生等
も防止し、更に、酸素ガス、水蒸気等に対するバリア性
に優れ、かつ、優れた透明性を有し、例えば、飲食品、
医薬品、化粧品、洗剤、その他等の種々の物品の充填包
装に適する有用な透明バリア性フィルムを製造し得るこ
とを見出して本発明を完成したものである。

【０００５】すなわち、本発明は、基材フィルムの一方
の面に、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、
および、その他からなる蒸着用混合ガス組成物を供給
し、プラズマ化学蒸着法により、無機酸化物の蒸着膜を
設けた透明バリア性フィルムにおいて、蒸着用混合ガス
組成物における蒸着モノマ−ガスと酸素ガスとのガス流
量を、蒸着モノマ−ガスと酸素ガスとを後者１に対し前
者１〜３の割合、または、前者１に対し後者１〜６の割
合の範囲内で調整して供給し、プラズマ化学蒸着法によ
る無機酸化物の蒸着膜を設けたことを特徴とする透明バ
リア性フィルムに関するものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】上記の本発明について図面等を用
いて以下に更に詳しく説明する。まず、本発明にかかる
透明バリア性フィルムについてその一二例を例示しその
層構成を示すと、図１および図２は、本発明にかかる透
明バリア性フィルムについてその一例の層構成を示す概
略的断面図であり、図３は、上記の図１に示す本発明に
かかる透明バリア性フィルムを使用した積層体について
その一例の層構成を示す概略的断面図である。

【０００７】まず、本発明にかかる透明バリア性フィル
ム１としては、図１に示すように、基材フィルム２の一
方の面に、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガ
ス、および、その他からなる蒸着用混合ガス組成物を供
給し、プラズマ化学蒸着法により、無機酸化物の蒸着膜
３を設けた透明バリア性フィルムにおいて、蒸着用混合
ガス組成物における蒸着モノマ−ガスと酸素ガスとのガ
ス流量を、蒸着モノマ−ガスと酸素ガスとを後者１に対
し前者１〜３の割合、または、前者１に対し後者１〜６
の割合の範囲内で調整して供給し、プラズマ化学蒸着法
による無機酸化物の蒸着膜３ａを設けた構成からなるも
のである。更に、具体的には、本発明にかかる透明バリ
ア性フィルム１ａは、図２に示すように、基材フィルム
２の一方の面に、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活
性ガス、および、その他からなる蒸着用混合ガス組成物
を供給し、プラズマ化学蒸着法により、無機酸化物の蒸
着膜３を設けた透明バリア性フィルムにおいて、蒸着用
混合ガス組成物における蒸着モノマ−ガスとしての有機
珪素化合物と酸素ガスとのガス流量を、蒸着モノマ−ガ
スとしての有機珪素化合物と酸素ガスとを後者１に対し
前者１〜３の割合、または、前者１に対し後者１〜６の
割合の範囲内で調整して供給し、プラズマ化学蒸着法に
よる酸化珪素の蒸着膜３ｂを設けた構成からなるもので
ある。

【０００８】次に、上記の本発明にかかる透明バリア性
フィルムを使用した積層体について説明すると、かかる
積層体としては、図３に示すように、例えば、上記の図
１に示す透明バリア性フィルム１を使用した例で例示す
ると、まず、前述と同様に、基材フィルム２の一方の面
に、蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、およ
び、その他からなる蒸着用混合ガス組成物を供給し、プ
ラズマ化学蒸着法により、無機酸化物の蒸着膜３を設け
た透明バリア性フィルムにおいて、蒸着用混合ガス組成
物における蒸着モノマ−ガスと酸素ガスとのガス流量
を、蒸着モノマ−ガスと酸素ガスとを後者１に対し前者
１〜３の割合、または、前者１に対し後者１〜６の割合
の範囲内で調整して供給し、プラズマ化学蒸着法による
無機酸化物の蒸着膜３ａを設けて透明バリア性フィルム
１を構成し、更に、該透明バリア性フィルム１を構成す
る該無機酸化物の蒸着膜３（３ａ）の面に、少なくと
も、ヒ−トシ−ル性樹脂層４を設けた構成からなる積層
体１１を挙げることができる。上記の例示は、本発明に
かかる透明バリア性フィルムおよびそれを使用した積層
体についてその一二例を例示するものであり、これによ
って本発明は限定されるものではないことは言うまでも
ないことである。

【０００９】上記の本発明において、本発明にかかる透
明バリア性フィルム、および、積層体等を構成する材
料、製造法等について説明すると、まず、本発明にかか
る透明バリア性フィルム、および、積層体等を構成する
基材フィルムとしては、無色透明な各種の樹脂のフィル
ムないしシ−トを使用することができ、具体的には、例
えば、ポリエチレンあるいはポリプロピレン等のポリオ
レフィン系樹脂、ポリエチレンテレフタレ−トあるいは
ポリエチレンナフタレ−ト等のポリエステル系樹脂、ポ
リアミド系樹脂、ポリカ−ボネ−ト系樹脂、ポリスチレ
ン系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチレン−酢
酸ビニル共重合体のケン化物、ポリアクリロニトリル系
樹脂、アセタ−ル系樹脂、その他等の各種の樹脂のフィ
ルムないしシ−トを使用することができる。而して、上
記の樹脂のフィルムないしシ−トとしては、例えば、テ
ンタ−方式あるいはチュ−ブ方式等を使用し、縦横等の
２方向に２軸延伸してなるフィルムないしシ−トでも使
用することができる。本発明においては、上記のような
樹脂のフィルムないしシ−トの中でも、特に、２軸延伸
ポリエステル系樹脂フィルム、および、２軸延伸ポリア
ミド系樹脂フィルムが、包装用材料を構成する素材とし
て好ましいものである。また、上記の樹脂のフィルムな
いしシ−トとしては、単層、あるいは、２層以上の共押
し出し法等で製膜し、ついで、２軸延伸してなる樹脂の
フィルムないしシ−ト等も使用することができる。ま
た、本発明において、基材フィルムの厚さとしては、そ
のフィルムないしシ−トの製造時の安定性等から適宜に
設定することが可能であるが、約５〜１００μｍ位、好
ましくは、１０〜５０μｍ位が望ましい。なお、本発明
において、上記の基材フィルムは、蒸着膜等との密着性
を高めるために、必要に応じて、その表面に、予め、公
知のプライマ−コ−ト剤によるプライマ−コ−ト剤層等
を設けることもできる。また、上記の基材フィルムは、
その表面に、必要ならば、例えば、コロナ処理、プラズ
マ処理、フレ−ム処理、その他等の表面活性処理を任意
に施すことができる。なお、本発明において、用途に応
じて、例えば、帯電防止剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑
剤、充填剤、その他等の所望の添加剤を、その透明性に
影響しない範囲内で任意に添加し、それらを含有する樹
脂のフィルムないしシ−ト等も使用することができる。

【００１０】次に、本発明において、本発明にかかる透
明バリア性フィルム、および、積層体等を構成するプラ
ズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜について説明
すると、かかるプラズマ化学蒸着法による無機酸化物の
蒸着膜としては、例えば、有機珪素化合物等の蒸着用モ
ノマ−ガスを原料とし、これと、更に、酸素ガス、アル
ゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガス、その他等を含
む蒸着用混合ガス組成物を調整し、該蒸着用混合ガス組
成物を使用して、低温プラズマ発生装置等を利用するプ
ラズマ化学蒸着法（ＣＶＤ法）を用いて酸化珪素等の無
機酸化物の蒸着膜を形成する方法により製造することが
できる。上記において、低温プラズマ発生装置として
は、例えば、高周波プラズマ、パルス波プラズマ、マイ
クロ波プラズマ等の発生装置を使用することがてき、而
して、本発明においては、高活性の安定したプラズマを
得るためには、高周波プラズマ方式による発生装置を使
用することが望ましい。

【００１１】本発明において、具体的に、プラズマ化学
蒸着法による無機酸化物の蒸着膜の形成法についてその
一例を例示して説明すると、図４は、本発明にかかるプ
ラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜の形成法に
ついてその概要を示すプラズマ化学蒸着装置の概略的構
成図である。本発明においては、図４に示すように、ま
ず、プラズマ化学蒸着装置２１の真空チャンバ−２２内
に配置された巻き出しロ−ル２３から、基材フィルム２
を繰り出し、更に、該基材フィルム２を、補助ロ−ル２
４を介して所定の速度で冷却・電極ドラム２５周面上に
搬送する。而して、本発明においては、ガス供給装置２
６、２７、および、原料揮発供給装置２８等から酸素ガ
ス、不活性ガス、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガ
ス、その他等を供給し、それらからなる蒸着用混合ガス
組成物を調整しなから原料供給ノズル２９を通して真空
チャンバ−２２内に該蒸着用混合ガス組成物を導入し、
そして、上記の冷却・電極ドラム２５周面上に搬送され
た上記の基材フィルム２の上に、グロ−放電プラズマ３
０によってプラズマを発生させて、これを照射して、酸
化珪素等の無機酸化物の蒸着膜を形成し、製膜化する。
本発明においては、その際に、冷却・電極ドラム２５
は、真空チャンバ−２２外に配置されている電源３１か
ら所定の電力が印加されており、また、冷却・電極ドラ
ム２５の近傍には、マグネット３２を配置してプラズマ
の発生が促進されており、次いで、上記で酸化珪素等の
無機酸化物の蒸着薄膜を形成した基材フィルム２を補助
ロ−ル３３を介して巻き取りロ−ル３４に巻き取って、
本発明にかかる透明バリア性フィルムを製造することが
できるものである。なお、図中、３５は、真空ポンプを
表す。上記の例示は、本発明にかかる透明バリア性フィ
ルムの製造法の一例を例示するものであり、これによっ
て本発明は限定されるものではないことは言うまでもな
いことである。

【００１２】ところで、上記のようなプラズマ化学蒸着
法（ＣＶＤ法）により製膜化される酸化珪素等の無機酸
化物の蒸着膜は、通常、製膜化スピ−ド、プラズマパワ
−、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガスと酸素ガス
と不活性ガスとその他等からなる蒸着用混合ガス組成物
の各成分のガス流量、および、真空チャンバ−の真空度
等の製膜パラメ−タ−等によって影響を受けるものであ
る。而して、本発明において、製膜化スピ−ド、プラズ
マパワ−、および、真空チャンバの真空度等の製膜条件
を一定にし、有機珪素化合物等の蒸着用モノマ−ガス、
酸素ガス、不活性ガス、および、その他からなる蒸着用
混合ガス組成物を供給するに際し、蒸着用混合ガス組成
物を構成する蒸着モノマ−ガスと酸素ガスとのガス流量
を、蒸着モノマ−ガスと酸素ガスとを後者１に対し前者
１〜３の割合、または、前者１に対し後者１〜６、更に
は、１〜５の割合の範囲内で調整して蒸着用混合ガス組
成物を供給し、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の
蒸着膜を設けることにより、２軸延伸ポリエステル系樹
脂フィルム、あるいは、２軸延伸ポリアミド系樹脂フィ
ルム等の基材フィルムの黄変、劣化ないし収縮等の発生
を防止し、かつ、プラズマ状態の安定性を保持し、いわ
ゆる、ア−キング孔等の発生等も防止し、更に、酸素ガ
ス、水蒸気等に対するバリア性に優れ、かつ、優れた透
明性を有する透明バリア性フィルムを製造し得るもので
ある。

【００１３】而して、本発明において、上記のプラズマ
化学蒸着法によって形成される酸化珪素の蒸着膜の場合
には、該酸化珪素の蒸着膜としては、式ＳｉＯ_X （ただ
し、Ｘは、１〜２の数を表す）で表される酸化珪素を主
体とする連続状の蒸着薄膜であり、更に、透明性等の点
から、式ＳｉＯ_X （ただし、Ｘは、１．３〜１．９の数
を表す。）で表される酸化珪素の蒸着膜を主体とする連
続薄膜であることが好ましいものである。また、上記の
酸化珪素の蒸着膜は、珪素および酸素を構成元素とする
酸化珪素化合物からなり、更に、炭素、水素、珪素、ま
たは、酸素からなる微量構成元素の１種ないし２種以上
からなる化合物の少なくとも１種以上を含有する酸化珪
素の連続蒸着膜からなるものである。更に、上記の酸化
珪素の蒸着膜は、珪素および酸素を構成元素とする酸化
珪素化合物からなり、更に、炭素、水素、珪素、また
は、酸素の１種または２種以上の元素からなる化合物を
少なくとも１種以上含有し、かつ、該化合物が、その膜
表面から深さ方向に向かって減少している酸化珪素の連
続蒸着膜からなるものである。更にまた、上記の酸化珪
素の蒸着膜は、炭素からなる化合物を含有する場合に
は、その膜厚の深さ方向において炭素の含有量が減少し
ていることを特徴とするものである。而して、上記のよ
うな蒸着膜の膜構造は、例えば、Ｘ線光電子分光装置
（Ｘｒａｙ Ｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｓｐｅｃｔ
ｒｏｓｃｏｐｙ、ＸＰＳ）、二次イオン質量分析装置
（Ｓｅｃｏｎｄａｒｙ Ｉｏｎ Ｍａｓｓ Ｓｐｅｃｔ
ｒｏｓｃｏｐｙ、ＳＩＭＳ）等の表面分析装置を用い、
深さ方向にイオンエッチングする等して分析する方法を
利用して、蒸着膜の分析を行うことより確認することが
できるものである。また、本発明において、酸化珪素等
の無機酸化物の蒸着膜の膜厚としては、５０〜２０００
Å位の範囲の膜厚のものを形成することができるもので
ある。しかし、本発明において、酸化珪素等の無機酸化
物の蒸着膜は、薄膜で、屈曲性等に富む膜質であること
が望ましいものであることから、蒸着膜の膜厚として
は、５０〜５００Å位、好ましくは、５０〜３００Å位
であることが望ましいものである。上記において、膜厚
が、３００Å、５００Å、１０００Å、更に、２０００
Å等を越えると、蒸着膜の屈曲性等が劣る傾向にあっ
て、クラック等が発生し易くなるという傾向にあること
から好ましくなく、また、膜厚が、５０Å未満になる
と、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性等、特に、酸素
ガスバリア性に劣る傾向にあることから好ましくないも
のである。

【００１４】上記の本発明にかかるプラズマ化学蒸着法
による無機酸化物の蒸着膜の形成法において、蒸着用混
合ガス組成物を構成する蒸着用モノマ−ガスとしての有
機珪素化合物等としては、例えば、１．１．３．３−テ
トラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、
ビニルトリメチルシラン、メチルトリメチルシラン、ヘ
キサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、
トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、
フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルト
リメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエト
キシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリ
エトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサ
ン、その他等を使用することができる。本発明におい
て、上記のような有機珪素化合物の中でも、１．１．
３．３−テトラメチルジシロキサン、または、ヘキサメ
チルジシロキサンを原料として使用することが、その取
り扱い性、形成された蒸着膜の特性等から、特に、好ま
しい原料である。また、本発明において、キャリア−ガ
スとしての不活性ガスとしては、例えば、アルゴンガ
ス、ヘリウムガス等を使用することができる。

【００１５】次に、本発明において、本発明にかかる透
明バリア性フィルムを使用した積層体を構成するヒ−ト
シ−ル性樹脂層を形成するヒ−トシ−ル性樹脂として
は、熱によって溶融し相互に融着し得る樹脂のフィルム
ないしシ−トを使用することができ、具体的には、例え
ば、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度
ポリエチレン、直鎖状（線状）低密度ポリエチレン、ポ
リプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオ
ノマ−樹脂、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン
−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−メタクリル酸
共重合体、エチレン−メタクリル酸メチル共重合体、エ
チレン−プロピレン共重合体、メチルペンテンポリマ
−、ポリブテンポリマ−、ポリエチレンまたはポリプロ
ピレン等のポリオレフィン系樹脂をアクリル酸、メタク
リル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、フマ−ル酸、イ
タコン酸等の不飽和カルボン酸で変性した酸変性ポリオ
レフィン樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹脂、ポリ（メタ）ア
クリル系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、その他等の樹脂
のフィルムないしシ−トを使用することができる。而し
て、上記のフィルムないしシ−トは、その樹脂を含む組
成物によるコ−ティング膜の状態でも使用することがで
きる。その膜もしくはフィルムないしシ−トの厚さとし
ては、５μｍないし３００μｍ位が好ましくは、更に
は、１０μｍないし１００μｍ位が望ましい。

【００１６】ところで、本発明において、本発明にかか
る積層体としては、上記のようなヒ−トシ−ル性樹脂層
の他に、例えば、各種の樹脂のフィルム、紙基材、金属
素材、合成紙、セロハン、その他等の包装用容器を構成
する包装用素材等と任意に組み合わせて、種々の積層体
を製造し、種々の物品を充填包装するに適した包装材料
を製造可能とするものである。上記の樹脂のフィルムと
しては、具体的には、例えば、低密度ポリエチレン、中
密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、線状低密度ポ
リエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共
重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体、アイオノマ−
樹脂、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン
−アクリル酸またはメタクリル酸共重合体、酸変性ポリ
オレフィン系樹脂、メチルペンテンポリマ−、ポリブテ
ン系樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリ酢酸ビニル系樹
脂、ポリ塩化ビニリデン系樹脂、塩化ビニル−塩化ビニ
リデン共重合体、ポリ（メタ）アクリル系樹脂、ポリア
クリルニトリル系樹脂、ポリスチレン系樹脂、アクリロ
ニトリル−スチレン共重合体（ＡＳ系樹脂）、アクリロ
ニトリル−ブタジェン−スチレン共重合体（ＡＢＳ系樹
脂）、ポリエステル系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリカ
−ボネ−ト系樹脂、ポリビニルアルコ−ル系樹脂、エチ
レン−酢酸ビニル共重合体のケン化物、フッ素系樹脂、
ジエン系樹脂、ポリアセタ−ル系樹脂、ポリウレタン系
樹脂、ニトロセルロ−ス、その他等の公知の樹脂のフィ
ルムないしシ−トから任意に選択して使用することがで
きる。本発明において、上記のフィルムないしシ−ト
は、未延伸、一軸ないし二軸方向に延伸されたもの等の
いずれのものでも使用することができる。また、その厚
さは、任意であるが、数μｍから３００μｍ位の範囲か
ら選択して使用することができる。更に、本発明におい
ては、フィルムないしシ−トとしては、押し出し成膜、
インフレ−ション成膜、コ−ティング膜等のいずれの性
状の膜でもよい。また、上記において、紙基材として
は、例えば、強サイズ性の晒または未晒の紙基材、ある
いは純白ロ−ル紙、クラフト紙、板紙、加工紙等の紙基
材、その他等を使用することができる。上記において、
紙層を構成する紙基材としては、坪量約８０〜６００ｇ
／ｍ²位のもの、好ましくは、坪量約１００〜４５０ｇ
／ｍ² 位のものを使用することが望ましい。また、上記
にといて、金属素材としては、例えば、アルミニウム
箔、あるいは、アルミニウム蒸着膜を有する樹脂のフィ
ルム等を使用することができる。

【００１７】次に、上記の本発明において、上記のよう
な材料を使用して積層体を製造する方法について説明す
ると、かかる方法としては、通常の包装材料をラミネ−
トする方法、例えば、ウエットラミネ−ション法、ドラ
イラミネ−ション法、無溶剤型ドライラミネ−ション
法、押し出しラミネ−ション法、Ｔダイ押し出し成形
法、共押し出しラミネ−ション法、インフレ−ション
法、共押し出しインフレ−ション法、その他等で行うこ
とができる。而して、本発明においては、上記の積層を
行う際に、必要ならば、例えば、コロナ処理、オゾン処
理、フレ−ム処理、その他等の前処理をフィルムに施す
ことができ、また、例えば、ポリエステル系、イソシア
ネ−ト系（ウレタン系）、ポリエチレンイミン系、ポリ
ブタジェン系、有機チタン系等のアンカ−コ−ティング
剤、あるいはポリウレタン系、ポリアクリル系、ポリエ
ステル系、エポキシ系、ポリ酢酸ビニル系、セルロ−ス
系、その他等のラミネ−ト用接着剤等の公知のアンカ−
コ−ト剤、接着剤等を使用することができる。

【００１８】次に、本発明において、上記のような積層
体を使用して製袋ないし製函する方法について説明する
と、例えば、包装用容器がプラスチックフィルム等から
なる軟包装袋の場合、上記のような方法で製造した積層
体を使用し、その内層のヒ−トシ−ル性樹脂層の面を対
向させて、それを折り重ねるか、或いはその二枚を重ね
合わせ、更にその周辺端部をヒ−トシ−ルしてシ−ル部
を設けて袋体を構成することができる。而して、その製
袋方法としては、上記の複合フィルムを、その内層の面
を対向させて折り曲げるか、あるいはその二枚を重ね合
わせ、更にその外周の周辺端部を、例えば、側面シ−ル
型、二方シ−ル型、三方シ−ル型、四方シ−ル型、封筒
貼りシ−ル型、合掌貼りシ−ル型（ピロ−シ−ル型）、
ひだ付シ−ル型、平底シ−ル型、角底シ−ル型、その他
等のヒ−トシ−ル形態によりヒ−トシ−ルして、本発明
にかかる種々の形態の包装用容器を製造することができ
る。その他、例えば、自立性包装袋（スタンディングパ
ウチ）等も製造することが可能であり、更に、本発明に
おいては、上記の複合フィルムを使用してチュ−ブ容器
等も製造することができる。上記において、ヒ−トシ−
ルの方法としては、例えば、バ−シ−ル、回転ロ−ルシ
−ル、ベルトシ−ル、インパルスシ−ル、高周波シ−
ル、超音波シ−ル等の公知の方法で行うことができる。
なお、本発明においては、上記のような包装用容器に
は、例えば、ワンピ−スタイプ、ツウ−ピ−スタイプ、
その他等の注出口、あるいは開閉用ジッパ−等を任意に
取り付けることができる。

【００１９】次にまた、包装用容器として、紙基材を含
む液体充填用紙容器の場合、例えば、積層体として、紙
基材を積層した積層体を製造し、これから所望の紙容器
を製造するブランク板を製造し、しかる後該ブランク板
を使用して胴部、底部、頭部等を製函して、例えば、ブ
リックタイプ、フラットタイプあるいはゲ−ベルトップ
タイプの液体用紙容器等を製造することができる。ま
た、その形状は、角形容器、丸形等の円筒状の紙缶等の
いずれのものでも製造することができる。

【００２０】本発明において、上記のようにして製造し
た包装用容器は、透明性、酸素、水蒸気等に対するガス
バリア性、耐衝撃性等に優れ、特に、酸素ガスニ対する
バリア性に優れ、更に、ラミネ−ト加工、印刷加工、製
袋ないし製函加工等の後加工適性を有し、また、バリア
性膜としての蒸着薄膜の剥離を防止し、かつ、その熱的
クラックの発生を阻止し、その劣化を防止して、バリア
性膜として優れた耐性を発揮し、例えば、飲食品、医薬
品、洗剤、シャンプ−、オイル、歯磨き、接着剤、粘着
剤等の化学品ないし化粧品、その他等の種々の物品の充
填包装適性、保存適性等に優れているものである。

【００２１】

【実施例】次に、上記の本発明について実施例を挙げて
更に詳しく本発明を説明する。 実施例１ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ１５０Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に形成して、
本発明にかかる透明バリア性フィルムを製造した。 （製膜化条件） 製膜化スビ−ド；１００ｍ／ｍｉｎ プラズマパワ−；１０ｋＷ 反応ガス混合比；ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝２：１：３（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５０μｂａｒ （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その酸化珪素の蒸着膜面に接着
剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４
０μｍの線状低密度ポリエチレンフィルムを使用し、こ
れを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者
を下記の条件でドライラミネ−トして、本発明にかかる
積層体を製造した。 （接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用 （主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品
名、タケネ−トＡ−５１５） （硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社
製、商品名、Ａ−５０） （混合比）主剤：硬化剤＝１０：１ （溶剤）酢酸エチル （塗布量）４．０ｇ／ｍ² （ドライ）

【００２２】実施例２ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ１５０Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に形成して、
本発明にかかる透明バリア性フィルムを製造した。 （製膜化条件） 製膜化スビ−ド；１００ｍ／ｍｉｎ プラズマパワ−；１０ｋＷ 反応ガス混合比；ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：３：３（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５０μｂａｒ （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その酸化珪素の蒸着膜面に接着
剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４
０μｍの線状低密度ポリエチレンフィルムを使用し、こ
れを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者
を上記の実施例１に記載した条件と同じ条件でドライラ
ミネ−トして、本発明にかかる積層体を製造した。

【００２３】実施例３ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ１５０Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に形成して、
本発明にかかる透明バリア性フィルムを製造した。 （製膜化条件） 製膜化スビ−ド；１００ｍ／ｍｉｎ プラズマパワ−；１０ｋＷ 反応ガス混合比；ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：５：３（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５０μｂａｒ （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その酸化珪素の蒸着膜面に接着
剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４
０μｍの線状低密度ポリエチレンフィルムを使用し、こ
れを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者
を上記の実施例１に記載した条件と同じ条件でドライラ
ミネ−トして、本発明にかかる積層体を製造した。

【００２４】実施例４ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ１５０Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に形成して、
本発明にかかる透明バリア性フィルムを製造した。 （製膜化条件） 製膜化スビ−ド；１００ｍ／ｍｉｎ プラズマパワ−；１０ｋＷ 反応ガス混合比；ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝３：１：３（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５０μｂａｒ （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その酸化珪素の蒸着膜面に接着
剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４
０μｍの線状低密度ポリエチレンフィルムを使用し、こ
れを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者
を上記の実施例１に記載した条件と同じ条件でドライラ
ミネ−トして、本発明にかかる積層体を製造した。

【００２５】実施例５ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ１５０Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に形成して、
本発明にかかる透明バリア性フィルムを製造した。 （製膜化条件） 製膜化スビ−ド；１００ｍ／ｍｉｎ プラズマパワ−；１０ｋＷ 反応ガス混合比；ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：６：３（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５０μｂａｒ （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その酸化珪素の蒸着膜面に接着
剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４
０μｍの線状低密度ポリエチレンフィルムを使用し、こ
れを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者
を上記の実施例１に記載した条件と同じ条件でドライラ
ミネ−トして、本発明にかかる積層体を製造した。

【００２６】実施例６ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ１５０Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に形成して、
本発明にかかる透明バリア性フィルムを製造した。 （製膜化条件） 製膜化スビ−ド；１００ｍ／ｍｉｎ プラズマパワ−；１０ｋＷ 反応ガス混合比；ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１：３（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５０μｂａｒ （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その酸化珪素の蒸着膜面に接着
剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４
０μｍの線状低密度ポリエチレンフィルムを使用し、こ
れを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者
を上記の実施例１に記載した条件と同じ条件でドライラ
ミネ−トして、本発明にかかる積層体を製造した。

【００２７】比較例１ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ１５０Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に形成して、
透明バリア性フィルムを製造した。 （製膜化条件） 製膜化スビ−ド；１００ｍ／ｍｉｎ プラズマパワ−；１０ｋＷ 反応ガス混合比；ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝４：１：３（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５０μｂａｒ （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その酸化珪素の蒸着膜面に接着
剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４
０μｍの線状低密度ポリエチレンフィルムを使用し、こ
れを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者
を下記の条件でドライラミネ−トして、積層体を製造し
た。 （接着剤層）；ウレタン系接着剤を使用 （主剤）ウレタン系（武田薬品工業株式会社製、商品
名、タケネ−トＡ−５１５） （硬化剤）イソシアネ−ト系（武田薬品工業株式会社
製、商品名、Ａ−５０） （混合比）主剤：硬化剤＝１０：１ （溶剤）酢酸エチル （塗布量）４．０ｇ／ｍ² （ドライ）

【００２８】比較例２ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ１５０Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に形成して、
透明バリア性フィルムを製造した。 （製膜化条件） 製膜化スビ−ド；１００ｍ／ｍｉｎ プラズマパワ−；１０ｋＷ 反応ガス混合比；ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：７：３（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５０μｂａｒ （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その酸化珪素の蒸着膜面に接着
剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４
０μｍの線状低密度ポリエチレンフィルムを使用し、こ
れを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者
を上記の実施例１に記載した条件と同じ条件でドライラ
ミネ−トして、積層体を製造した。

【００２９】比較例３ （１）．基材として、厚さ１２μｍの２軸延伸ポリエチ
レンテレフタレ−トフィルムを使用し、これをプラズマ
化学気相成長装置の送り出しロ−ルに装着し、下記の条
件で厚さ１５０Åの酸化珪素の蒸着膜を上記の２軸延伸
ポリエチレンテレフタレ−トフィルムの上に形成して、
透明バリア性フィルムを製造した。 （製膜化条件） 製膜化スビ−ド；１００ｍ／ｍｉｎ プラズマパワ−；１０ｋＷ 反応ガス混合比；ヘキサメチルジシロキサン：酸素ガ
ス：ヘリウム＝１：１０：３（単位：ｓｌｍ） 真空チャンバ−内の真空度；５０μｂａｒ （２）．次に、上記で製造した透明バリア性フィルムを
使用し、これをドライラミネ−トコ−タ−機の一方の送
り出しロ−ルに装着し、その酸化珪素の蒸着膜面に接着
剤層を形成し、他方、シ−ラントフィルムである厚さ４
０μｍの線状低密度ポリエチレンフィルムを使用し、こ
れを他方の送り出しロ−ルに装着し、しかる後その両者
を上記の実施例１に記載した条件と同じ条件でドライラ
ミネ−トして、積層体を製造した。

【００３０】実験例１ 上記の実施例１〜６、および、比較例１〜３で製造した
各透明バリア性フィルムおよび積層体について、下記の
デ−タを測定した。 （１）．酸素透過度の測定 これは、透明バリア性フィルムと積層体について、温度
２３℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯ
ＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、オクストラン（ＯＸＴ
ＲＡＮ）〕にて測定した。 （２）．水蒸気透過度の測定 これは、透明バリア性フィルムと積層体について、温度
４０℃、湿度９０％ＲＨの条件で、米国、モコン（ＭＯ
ＣＯＮ）社製の測定機〔機種名、パ−マトラン（ＰＥＲ
ＭＡＴＲＡＮ）〕にて測定した。 （３）．プラズマの安定性の測定 これは、プラズマ化学気相成長装置を用いて成膜する際
に、その成膜時に、その装置に設けられている覗き窓か
らプラズマの発生を目視で観察して測定した。上記のの
測定結果について、下記の表１、および、表２に示す。

【００３１】

【表１】 酸素透過度および水蒸気透過度の測定結果 上記の表１において、酸素透過度は、ｃｃ／ｍ² ／ｄａ
ｙ・２３℃・９０％ＲＨの単位であり、また、水蒸気透
過度は、ｇ／ｍ² ／ｄａｙ・４０℃・１００％ＲＨの単
位である。また、（積層後）は、積層体についての酸素
透過度および水蒸気透過度を示すものである。

【００３２】

【表２】 プラズマの安定性の測定結果 上記の表２において、安定は、プラズマの電流電圧が一
定であり、目視でも常に同じ状態を保持していることを
意味するものであり、不安定は、電流電圧がばらつき、
プラズマがチカチカ点滅したり、色が変化したりする状
態を意味するものである。

【００３３】上記の測定結果から明らかなように、実施
例１〜６にかかる透明バリア性フィルム、および、積層
体は、酸素ガスバリア性、水蒸気バリア性について、比
較例１〜３のものよりもはるかに優れいることが確認で
きた。また、プラズマの安定性においても、実施例１〜
６にかかる透明バリア性フィルムは、比較例１〜３にか
かる透明バリア性フィルムよりも優れていることを確認
することができた。

【００３４】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明
は、基材フィルムの一方の面に、蒸着用モノマ−ガス、
酸素ガス、不活性ガス、および、その他からなる蒸着用
混合ガス組成物を供給し、プラズマ化学蒸着法により、
無機酸化物の蒸着膜を設けた透明バリア性フィルムにお
いて、蒸着用混合ガス組成物における蒸着モノマ−ガス
と酸素ガスとのガス流量を調節して供給することに着目
し、まず、蒸着用混合ガス組成物における蒸着モノマ−
ガスと酸素ガスとのガス流量を、後者１に対し前者１〜
３の割合、または、前者１に対し後者１〜６の割合の範
囲内で調整して蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、不活性
ガス、および、その他からなる蒸着用混合ガス組成物を
生成し、これを原料供給ノズルから真空チャンバ−内に
供給し、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜
を設けて透明バリア性フィルムを製造し、而して、２軸
延伸ポリエステル系樹脂フィルム、あるいは、２軸延伸
ポリアミド系樹脂フィルム等の基材フィルムの黄変、劣
化ないし収縮等の発生を防止し、かつ、いわゆる、ア−
キング孔等の発生等も防止し、更に、酸素ガス、水蒸気
等に対するバリア性に優れ、かつ、優れた透明性を有
し、例えば、飲食品、医薬品、化粧品、洗剤、その他等
の種々の物品の充填包装に適する有用な透明バリア性フ
ィルムを製造し得ることができるというものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる透明バリア性フィルムについて
その一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。

【図２】本発明にかかる透明バリア性フィルムについて
その一例の層構成の概略を示す概略的断面図である。

【図３】上記の図１に示す本発明にかかる透明バリア性
フィルムを使用した積層体の一例の層構成の概略を示す
概略的断面図である。

【図４】本発明にかかる透明バリア性フィルムの製造法
についてその概要を示すプラズマ化学蒸着装置の概略的
構成図である。

【符号の説明】

１ 透明バリア性フィルム １ａ 透明バリア性フィルム ２ 基材フィルム ３ 無機酸化物の蒸着膜 ３ａ 無機酸化物の蒸着膜 ３ｂ 無機酸化物の蒸着膜 ４ ヒ−トシ−ル性樹脂層 １１ 積層体 ２１ プラズマ化学蒸着装置 ２２ 真空チャンバ− ２３ 巻き出しロ−ル ２４ 補助ロ−ル ２５ 冷却・電極ドラム ２６ ガス供給装置 ２７ ガス供給装置 ２８ 原料揮発供給装置 ２９ 原料供給ノズル ３０ グロ−放電プラズマ ３１ 電源 ３２ マグネット ３３ 補助ロ−ル ３４ 巻き取りロ−ル ３５ 真空ポンプ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｂ３２Ｂ 18/00 Ｂ３２Ｂ 18/00 Ｃ Ｂ６５Ｄ 65/40 Ｂ６５Ｄ 65/40 Ｄ Ｃ０８Ｊ 7/00 ３０６ Ｃ０８Ｊ 7/00 ３０６ Ｃ２３Ｃ 16/40 Ｃ２３Ｃ 16/40 // Ｂ２９Ｋ 67:00 77:00 Ｂ２９Ｌ 7:00 Ｃ０８Ｌ 67:02 77:00

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基材フィルムの一方の面に、蒸着用モノ
   マ−ガス、酸素ガス、不活性ガス、および、その他から
   なる蒸着用混合ガス組成物を供給し、プラズマ化学蒸着
   法により、無機酸化物の蒸着膜を設けた透明バリア性フ
   ィルムにおいて、蒸着用混合ガス組成物における蒸着モ
   ノマ−ガスと酸素ガスとのガス流量を、蒸着モノマ−ガ
   スと酸素ガスとを後者１に対し前者１〜３の割合、また
   は、前者１に対し後者１〜６の割合の範囲内で調整して
   供給し、プラズマ化学蒸着法による無機酸化物の蒸着膜
   を設けたことを特徴とする透明バリア性フィルム。
2. 【請求項２】 基材フィルムが、２軸延伸ポリエステル
   系樹脂フィルム、または、２軸延伸ポリアミド系樹脂フ
   ィルムであることを特徴とする上記の請求項１に記載す
   る透明バリア性フィルム。
3. 【請求項３】 蒸着用混合ガス組成物が、有機珪素化合
   物からなる蒸着用モノマ−ガス、酸素ガス、および、不
   活性ガスからなる蒸着用混合ガス組成物であることを特
   徴とする上記の請求項１または２に記載する透明バリア
   性フィルム。
4. 【請求項４】無機酸化物の蒸着膜が、酸化珪素の蒸着膜
   であることを特徴とする上記の請求項１、２または３に
   記載する透明バリア性フィルム。