JPH11322070A - ウェーハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェーハへの裏面パーティクルを低減させ、
ウェーハ支持部の強度の増加を図り、ウェーハが正確な
位置に載置されるウェーハ搬送装置を提供する。 【解決手段】 アーム２２先端に設けたほぼリング状の
支持枠２３と、この支持枠２３の内側に突出してウェー
ハ２１を搭載支持するための複数のウェーハブロック２
４とを備えたウェーハ搬送装置において、前記ウェーハ
ブロック２４は、前記支持枠２３にネジ止めされる本体
部２６と、この本体部に連続して前記支持枠内側に突出
する支持片２５と、この支持片２５上に設けられたウェ
ーハ載置用の突部２９とで形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造用のウ
ェーハ搬送装置に関する。より詳しくは、ウェーハを１
枚ずつ載置するウェーハ搭載支持部の構造に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造プロセスのリソグラフィー工
程において、ウェーハを各ユニットに搬送するためにウ
ェーハ搬送装置が用いられている。図５は従来のウェー
ハ搬送装置の上面図、図６は図５の搬送装置のウェーハ
ブロックの上面図、図７は図６のウェーハブロックの側
面図である。図５に示すようにウェーハ１はアーム２の
先端に設けられたリング状の支持枠３にネジ止めされた
３個のウェーハブロック４の各支持片５上に搭載され搬
送される。この場合、アーム２は相互にスライド可能な
２段に構成され、それぞれウェーハ１を搭載して別々に
搬送処理している。ウェーハブロック４の材質はウェー
ハ１への影響も考慮されＰＴＦＥが用いられている。こ
のウェーハ１を搭載する支持片５は搭載ウェーハ１の安
定性を考慮して支持枠３の内側方向に長く突出してい
る。実際には、突出端部の幅ａは約７ｍｍで、突出長さ
ｂは約１０ｍｍである。

【０００３】また図７に示すように、ウェーハブロック
４は、傾斜面８を有し支持枠３にネジ止めされる本体部
６と、この本体部６から内側に突出するウェーハ搭載用
の支持片５とからなり、ウェーハ搭載時にはウェーハ１
は裏面を支持片５に接触させ、側面を支持壁７に接触し
または近接して支持される。本体部６にはウェーハ１搭
載時に前記ウェーハ１の位置ずれをある程度修正可能と
するためにウェーハを滑らせるための傾斜面８が設けて
ある。これによりウェーハ１が支持片５の上に正しく搭
載されなくてもある程度は修正可能である。この傾斜面
の傾斜角度αは実際には図のようにほぼ６０度以上の緩
やかなものである。また支持壁７の垂直面の高さは１〜
２ｍｍ程度の低いものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、使用期
間が長くなるとウェーハ１との接触面である支持片５表
面へ異物が付着し、クリーニングを実施しても全てを除
去できないためウェーハ１裏面にパーティクルが付着す
る。従来、この支持片５の面積が比較的広く、ウェーハ
との接触面が大きかったため、ウェーハ１裏面へのパー
ティクルの付着量が多くなり、品質低下の原因となる場
合があった。図８は相互にスライド可能な２段アーム構
成のウェーハ搬送装置のウェーハブロック部分の側面図
である。２段のアーム２のそれぞれにウェーハブロック
４が取付けられウェーハ１が支持片５上に搭載される。
この場合、支持片５の長さが長いため、長期使用後やウ
ェーハ１が先端側にずれて搭載された場合等に、図示し
たように支持片５が下に曲って変形することがある。上
側のアーム２の支持片５が図示したように変形すると下
のアーム２に係合して円滑なスライド動作ができなくな
る場合があった。

【０００５】また、従来支持片５の根元部の垂直な支持
壁７の高さが低く、しかも傾斜面８の傾斜角度が緩やか
であるため、アーム２の移動開始直後に、その慣性で図
９に示すように、ウェーハ１が支持壁７を越えて傾斜面
８に乗り上げることがあった。この場合、傾斜面８の傾
斜角度が緩やかであるため、ウェーハ１は傾斜面８に乗
り上げた状態で位置ずれしたまま搬送され、後の位置合
せ工程やウェーハ１吸着時等に支障をきたす場合があっ
た。特にスループットを高めるためにアームの搬送速度
を速くした場合にウェーハ１が傾斜面上に乗り上げた
り、さらにはウェーハブロックから飛びだして落下し破
損するおそれもあった。

【０００６】本発明は上記従来技術を考慮したものであ
って、ウェーハ裏面へのパーティクル付着を低減させ、
ウェーハ支持部の強度の増加を図り、ウェーハが正確な
位置に載置保持されるウェーハ搬送装置の提供を目的と
する。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明では、アーム先端に設けたほぼリング状の支
持枠と、この支持枠の内側に突出してウェーハを搭載支
持するための複数のウェーハブロックとを備えたウェー
ハ搬送装置において、前記ウェーハブロックは、前記支
持枠にネジ止めされる本体部と、この本体部に連続して
前記支持枠内側に突出する支持片と、この支持片上に設
けられたウェーハ載置用の突部とからなることを特徴と
するウェーハ搬送装置を提供する。

【０００８】この構成によれば、ウェーハ裏面の接触は
支持片上に設けられた突部のみとなるので接触面の減少
から裏面パーティクルの減少につながり、ウェーハの品
質の向上となる。

【０００９】好ましい構成例においては、前記支持片
は、支持枠周縁に沿った長さが支持枠内側への突出幅の
約２倍以上であることを特徴としている。

【００１０】この構成によれば、支持片の支持枠周縁長
さが長いので強度が増し、変形を起こすことなく長期使
用が可能となり、常に円滑なアーム動作が達成され生産
性が高まる。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は本発明の実施の形態に係る
ウェーハ搬送装置の全体斜視図である。このウェーハ搬
送装置９は、基台１０上に設けた回転支柱１１と、この
回転支柱１１上に搭載されたアームブロック１２とを備
える。アームブロック１２上には２個のアーム２２が上
下に重ねて配置され、それぞれスライド片１３を介して
アームブロック１２に沿って相互に独立して摺動可能で
ある。各アーム２２の先端にはほぼリング状の支持枠２
３が一体形成される。この支持枠２３の内側に突出する
ようにそれぞれ３個のウェーハブロック２４がネジ１５
で取付けられる。

【００１２】図２は本発明の実施の形態に係るウェーハ
搬送装置のアーム先端部の上面図、図３は図２のウェー
ハブロックの上面図、図４は図２のウェーハブロックの
側面図である。図２から図４に示すように、ウェーハブ
ロック２４は、傾斜面２８を有し支持枠２３にネジ止め
される本体部２６と、この本体部２６から内側に突出し
ウェーハ２１（図２）を任意の回転角度で支持する支持
片２５とを備える。このウェーハブロック２４は取付孔
１５ａ（図３）を介してネジ１５（図１、図２）により
支持枠２３に固定される。

【００１３】支持片２５の内周縁に沿って、突部２９が
形成される。ウェーハ２１はこの突部２９上に載置され
る。このようなウェーハ載置用突部２９が形成された支
持片２５の支持枠２３の内周に沿った幅ｃは突出長さｄ
の約２倍以上である。実際には幅ｃは約２０ｍｍ、突出
長さｄは約５〜７ｍｍ程度である。また突部２９の幅ｅ
は約１ｍｍ、高さは約１ｍｍ〜数ｍｍである。支持片２
５から傾斜面２８までを構成する支持壁２７の高さは、
前述の従来構造に比べて高く約５ｍｍ程度である。ま
た、傾斜面２８の傾斜角度βは図示したように約３０度
程度であり従来と比べ急な傾斜である。

【００１４】支持片２５は、このように支持枠２３周縁
方向の幅を支持枠３内側への突出長さより２倍以上長く
してあるので強度に優れる。このため、長期使用後やア
ームスライド時の支持片２５の変形が防止され他の部分
への接触防止となって円滑なスライド動作が達成され
る。

【００１５】また、前記支持片２５の先端部分に突部２
９を形成し、ウェーハ２１との接触面を減らしているた
め、裏面パーティクルが減少し、他装置でのエラーや露
光装置でのフォーカスズレを低減できる。この場合、突
部９の形成により、ウェーハ２１による荷重が余計にか
かることが考えられるが、前述のように支持片２５の強
度を上げたため、前記支持片２５の変形は阻止できる。
この構成により、ウェーハ搬送装置の長期使用が可能と
なる。

【００１６】また、傾斜面２８においては傾斜角βを従
来よりも小さくし、支持壁２７を高くすることによりウ
ェーハ２１搭載時の位置ずれ補正を確実にし、正確に載
置されるため、アーム２２のスライド時に傾斜面２２上
にウェーハが乗り上げたり支持枠２３から飛び出して落
下し、破損するおそれはない。この構成により、高速搬
送が可能となり、アーム２２のスライド時の速度を上げ
てもウェーハ２１の落下の危険はなく、生産効率の向上
につながる。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、ウェ
ーハ裏面の接触は支持片上に設けられた突部のみとなる
ので接触面の減少から裏面パーティクルの減少につなが
り、ウェーハの品質の向上となる。また、支持片の支持
枠周縁長さが突出長さに比べて２倍以上長いので強度が
増し、変形することなく長期使用が可能となり、常に円
滑なスライド動作が達成され生産性が高まる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施の形態に係るウェーハ搬送装置
の全体斜視図。

【図２】 図１のウェーハ搬送装置のアーム先端部の上
面図。

【図３】 図２のウェーハブロックの上面図。

【図４】 図２のウェーハブロックの側面図。

【図５】 従来のウェーハ搬送装置の上面図。

【図６】 従来のウェーハブロックの上面図。

【図７】 従来のウェーハブロックの側面図。

【図８】 従来のウェーハ搬送装置の変形状態を示す側
面図。

【図９】 従来のウェーハ搬送装置のウェーハ位置ずれ
状態を示す側面図。

【符号の説明】

２１：ウェーハ、２２：アーム、２３：支持枠、２４：
ウェーハブロック、２５：支持片、２６：本体部、２
７：支持壁、２８：傾斜面、２９：突部。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】アーム先端に設けたほぼリング状の支持枠
   と、 この支持枠の内側に突出してウェーハを搭載支持するた
   めの複数のウェーハブロックとを備えたウェーハ搬送装
   置において、 前記ウェーハブロックは、前記支持枠にネジ止めされる
   本体部と、 この本体部に連続して前記支持枠内側に突出する支持片
   と、 この支持片上に設けられたウェーハ載置用の突部とから
   なることを特徴とするウェーハ搬送装置。
2. 【請求項２】前記支持片は、支持枠周縁に沿った長さが
   支持枠内側への突出幅の約２倍以上であることを特徴と
   する請求項１に記載のウェーハ搬送装置。