JPH11320355A - 面加工装置及び面加工方法 - Google Patents
面加工装置及び面加工方法Info
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- JPH11320355A JPH11320355A JP13994898A JP13994898A JPH11320355A JP H11320355 A JPH11320355 A JP H11320355A JP 13994898 A JP13994898 A JP 13994898A JP 13994898 A JP13994898 A JP 13994898A JP H11320355 A JPH11320355 A JP H11320355A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- processing
- specific surface
- grinding
- swing
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 面形状の制御を簡単にかつ確実に行うことが
でき、小型かつ低コストであるにもかかわらず大型製品
の面加工に好適な面加工装置を提供すること。 【解決手段】 この面加工装置1は、被加工物W1 の特
定面と接触する複数の研削用ペレット3を定盤2の加工
面2aに保持させたものであって、揺動機構11を備え
ている。揺動機構11は、特定面を加工面2aに対して
接触させた状態で、その特定面と水平な方向に被加工物
W1 を揺動させる。
でき、小型かつ低コストであるにもかかわらず大型製品
の面加工に好適な面加工装置を提供すること。 【解決手段】 この面加工装置1は、被加工物W1 の特
定面と接触する複数の研削用ペレット3を定盤2の加工
面2aに保持させたものであって、揺動機構11を備え
ている。揺動機構11は、特定面を加工面2aに対して
接触させた状態で、その特定面と水平な方向に被加工物
W1 を揺動させる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、面加工装置及び面
加工方法に関するものである。
加工方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、大型の円盤状の被加工物W1 (例
えばラップ盤やポリッシュ盤等の定盤等)を製造する
際、その特定の面を所望形状の面(例えば図3(a) のよ
うな平坦面や、図3(b),(c) のような中凹状や中凸状の
アール面)に仕上げたい場合がある。この場合、被加工
物W1 の特定面に対して研削加工を行う必要がある。
えばラップ盤やポリッシュ盤等の定盤等)を製造する
際、その特定の面を所望形状の面(例えば図3(a) のよ
うな平坦面や、図3(b),(c) のような中凹状や中凸状の
アール面)に仕上げたい場合がある。この場合、被加工
物W1 の特定面に対して研削加工を行う必要がある。
【0003】かかる面加工を達成する手法の1つとして
は、平面加工装置の一種であるロータリ方式の平面研削
盤を用いた研削加工がある。その際、回転するロータリ
テーブル上に被加工物W1 をあらかじめ固定しておく。
このような状態で、回転する砥石の一部をその被加工物
W1 の上面に対して接触させる。その結果、当該面の研
削加工が行われるようになっている。
は、平面加工装置の一種であるロータリ方式の平面研削
盤を用いた研削加工がある。その際、回転するロータリ
テーブル上に被加工物W1 をあらかじめ固定しておく。
このような状態で、回転する砥石の一部をその被加工物
W1 の上面に対して接触させる。その結果、当該面の研
削加工が行われるようになっている。
【0004】また、それと別の手法としては、加工面に
ダイヤモンドペレットが貼着された定盤を備える固定砥
粒方式の平面加工装置を用いた研削加工がある。その
際、定盤の加工面にあらかじめ凹部または凸部を形成し
ておく。この状態で定盤を回転させるともに、その回転
する定盤の加工面に対して被加工物W1 の特定面をプッ
シャプレートにより圧接させる。その結果、当該面の研
削加工が行われるようになっている。
ダイヤモンドペレットが貼着された定盤を備える固定砥
粒方式の平面加工装置を用いた研削加工がある。その
際、定盤の加工面にあらかじめ凹部または凸部を形成し
ておく。この状態で定盤を回転させるともに、その回転
する定盤の加工面に対して被加工物W1 の特定面をプッ
シャプレートにより圧接させる。その結果、当該面の研
削加工が行われるようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記2つの
従来技術には以下のような問題がある。ロータリ方式の
平面研削盤では、加工時に砥石を微妙に上下動させる必
要があるので、被加工物W1 の特定面をミクロン単位で
正確に仕上げることが殆ど不可能である。従って、ロー
タリ方式の平面研削盤を単純に用いたとしても、高精度
のアール面を得ることができなかった。
従来技術には以下のような問題がある。ロータリ方式の
平面研削盤では、加工時に砥石を微妙に上下動させる必
要があるので、被加工物W1 の特定面をミクロン単位で
正確に仕上げることが殆ど不可能である。従って、ロー
タリ方式の平面研削盤を単純に用いたとしても、高精度
のアール面を得ることができなかった。
【0006】なお、ロータリ方式の平面研削盤を用いて
転写加工(定盤の加工面の形状を凹状または凸状にして
おきそれを被加工物W1 に転写する加工法)を行えば、
ある程度はアール面仕上げを達成することができる。し
かしながら、この加工方法ですら、被加工物W1 の面形
状を制御できるまでには至っていなかったので、高精度
のアール面を得るためには依然として高度の技能が必要
とされていた。
転写加工(定盤の加工面の形状を凹状または凸状にして
おきそれを被加工物W1 に転写する加工法)を行えば、
ある程度はアール面仕上げを達成することができる。し
かしながら、この加工方法ですら、被加工物W1 の面形
状を制御できるまでには至っていなかったので、高精度
のアール面を得るためには依然として高度の技能が必要
とされていた。
【0007】同様に固定砥粒方式の平面加工装置を用い
た加工においても、被加工物W1 の面形状を制御できる
までには至っていなかったので、やはり高精度のアール
面を得ることは困難であった。
た加工においても、被加工物W1 の面形状を制御できる
までには至っていなかったので、やはり高精度のアール
面を得ることは困難であった。
【0008】また、上記従来の平面加工装置を用いて大
型製品を面加工しようとすると、それに応じて大きな定
盤や砥石を用いる必要があり、これが装置全体を大型化
したり製造しにくくさせる原因となっていた。勿論、装
置全体の大型化等は高コスト化にもつながる。
型製品を面加工しようとすると、それに応じて大きな定
盤や砥石を用いる必要があり、これが装置全体を大型化
したり製造しにくくさせる原因となっていた。勿論、装
置全体の大型化等は高コスト化にもつながる。
【0009】さらに、以上のような既存かつ汎用の装置
を用いることなく、多軸ロボット等のような専用の平面
加工装置を用いてアール面仕上げを行えばよいとも考え
られる。ところが、この場合には高価な装置が要ること
から設備投資額が増大するため、やはり高コスト化が避
けられない。
を用いることなく、多軸ロボット等のような専用の平面
加工装置を用いてアール面仕上げを行えばよいとも考え
られる。ところが、この場合には高価な装置が要ること
から設備投資額が増大するため、やはり高コスト化が避
けられない。
【0010】本発明は上記の課題を解決するためなされ
たものであり、その目的は、面形状の制御を簡単にかつ
確実に行うことができ、小型かつ低コストであるにもか
かわらず大型製品の面加工に好適な面加工装置を提供す
ることにある。
たものであり、その目的は、面形状の制御を簡単にかつ
確実に行うことができ、小型かつ低コストであるにもか
かわらず大型製品の面加工に好適な面加工装置を提供す
ることにある。
【0011】また、本発明の別の目的は、大型製品の面
加工に好適な面加工方法を提供することにある。
加工に好適な面加工方法を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項1に記載の発明は、被加工物の特定面と接
触する複数の研削用ペレットを定盤の加工面に保持させ
た面加工装置であって、前記特定面を前記加工面に対し
て接触させた状態でその特定面と水平な方向に前記被加
工物を揺動させる揺動機構を備えたことを特徴とする面
加工装置をその要旨とする。
めに、請求項1に記載の発明は、被加工物の特定面と接
触する複数の研削用ペレットを定盤の加工面に保持させ
た面加工装置であって、前記特定面を前記加工面に対し
て接触させた状態でその特定面と水平な方向に前記被加
工物を揺動させる揺動機構を備えたことを特徴とする面
加工装置をその要旨とする。
【0013】請求項2に記載の発明は、請求項1におい
て、前記揺動機構は、揺動軸を有する駆動手段と、前記
揺動軸からその径方向に向かって延びるように突設され
た揺動アームと、前記揺動アームの自由端に設けられる
とともに前記被加工物を前記加工面に対向させた状態で
保持する被加工物保持治具とを備えるとした。
て、前記揺動機構は、揺動軸を有する駆動手段と、前記
揺動軸からその径方向に向かって延びるように突設され
た揺動アームと、前記揺動アームの自由端に設けられる
とともに前記被加工物を前記加工面に対向させた状態で
保持する被加工物保持治具とを備えるとした。
【0014】請求項3に記載の発明は、被加工物の特定
面と接触する複数の研削用ペレットを定盤の加工面に保
持させた面加工装置を用いる面加工方法であって、前記
特定面を前記加工面に対して接触させた状態でその特定
面と水平な方向に前記被加工物を揺動させることによ
り、前記特定面の加工を行うことを特徴とする面加工方
法をその要旨とする。
面と接触する複数の研削用ペレットを定盤の加工面に保
持させた面加工装置を用いる面加工方法であって、前記
特定面を前記加工面に対して接触させた状態でその特定
面と水平な方向に前記被加工物を揺動させることによ
り、前記特定面の加工を行うことを特徴とする面加工方
法をその要旨とする。
【0015】以下、本発明の「作用」を説明する。請求
項1に記載の発明によると、回転する定盤の加工面に対
して特定面を接触させた状態で被加工物が所定方向に揺
動する結果、その特定面が各研削用ペレットによって削
り取られる。被加工物の揺動を行うこの面加工装置の場
合、揺動を行わないものに比べて、加工面の広範囲の領
域を有効に利用することができる。従って、あえて定盤
を大きくしなくても大型製品の面加工を行うことが可能
となり、装置の小型化かつ低コスト化が図られる。ま
た、被加工物を揺動させてその位置を変更すれば、外周
部と中心部とで研削速度に差を設けることができるた
め、それにより面形状の制御を比較的簡単にかつ確実に
行うことができる。さらに、上記のような揺動機構であ
れば、既存かつ汎用の装置に付加するだけで足りるの
で、専用の平面加工装置を購入する必要がなく、低コス
ト化に有利となる。また、転写加工のような高度な技能
を要する作業を行わなくても面形状を制御できるので、
高精度のアール面であっても比較的簡単にかつ確実に得
ることができる。
項1に記載の発明によると、回転する定盤の加工面に対
して特定面を接触させた状態で被加工物が所定方向に揺
動する結果、その特定面が各研削用ペレットによって削
り取られる。被加工物の揺動を行うこの面加工装置の場
合、揺動を行わないものに比べて、加工面の広範囲の領
域を有効に利用することができる。従って、あえて定盤
を大きくしなくても大型製品の面加工を行うことが可能
となり、装置の小型化かつ低コスト化が図られる。ま
た、被加工物を揺動させてその位置を変更すれば、外周
部と中心部とで研削速度に差を設けることができるた
め、それにより面形状の制御を比較的簡単にかつ確実に
行うことができる。さらに、上記のような揺動機構であ
れば、既存かつ汎用の装置に付加するだけで足りるの
で、専用の平面加工装置を購入する必要がなく、低コス
ト化に有利となる。また、転写加工のような高度な技能
を要する作業を行わなくても面形状を制御できるので、
高精度のアール面であっても比較的簡単にかつ確実に得
ることができる。
【0016】請求項2に記載の発明によると、駆動手段
によって揺動アームを所定角度範囲で駆動した場合、そ
の自由端に設けられた被加工物保持治具が揺動運動を開
始する。従って、そのような被加工物保持治具に被加工
物を保持させておけば、加工面に対して特定面を接触さ
せた状態で被加工物を揺動させ、これをもって被加工物
の位置を容易に変更することができる。また、このよう
な揺動機構であれば、小型かつ簡単な構造で実現するこ
とが充分可能である。
によって揺動アームを所定角度範囲で駆動した場合、そ
の自由端に設けられた被加工物保持治具が揺動運動を開
始する。従って、そのような被加工物保持治具に被加工
物を保持させておけば、加工面に対して特定面を接触さ
せた状態で被加工物を揺動させ、これをもって被加工物
の位置を容易に変更することができる。また、このよう
な揺動機構であれば、小型かつ簡単な構造で実現するこ
とが充分可能である。
【0017】請求項3に記載の発明によると、被加工物
の揺動を行わないものに比べて、加工面の広範囲の領域
を有効に利用することができるため、あえて定盤を大き
くしなくても大型製品の面加工を行うことが可能とな
る。また、被加工物を揺動させてその位置を変更すれ
ば、外周部と中心部とで研削速度に差を設けることがで
きるため、それにより面形状の制御を比較的簡単にかつ
確実に行うことができる。また、転写加工のような高度
な技能を要する作業を行わなくても面形状を制御できる
ので、高精度のアール面であっても比較的簡単にかつ確
実に得ることができる。
の揺動を行わないものに比べて、加工面の広範囲の領域
を有効に利用することができるため、あえて定盤を大き
くしなくても大型製品の面加工を行うことが可能とな
る。また、被加工物を揺動させてその位置を変更すれ
ば、外周部と中心部とで研削速度に差を設けることがで
きるため、それにより面形状の制御を比較的簡単にかつ
確実に行うことができる。また、転写加工のような高度
な技能を要する作業を行わなくても面形状を制御できる
ので、高精度のアール面であっても比較的簡単にかつ確
実に得ることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
形態の平面研削装置1を図1,図2に基づき詳細に説明
する。
形態の平面研削装置1を図1,図2に基づき詳細に説明
する。
【0019】図1に示されるように、本実施形態の平面
研削装置1はいわゆる固定砥粒方式の平面研削装置1で
ある。平面研削装置1を構成する図示しない回転駆動装
置は、上方に向かって垂直に延びる回転軸4を備えてい
る。この回転軸4の上端面には、例えば図示しないボル
ト等によって、定盤2が水平にかつ一体回転可能に固定
されている。
研削装置1はいわゆる固定砥粒方式の平面研削装置1で
ある。平面研削装置1を構成する図示しない回転駆動装
置は、上方に向かって垂直に延びる回転軸4を備えてい
る。この回転軸4の上端面には、例えば図示しないボル
ト等によって、定盤2が水平にかつ一体回転可能に固定
されている。
【0020】図1(a)に示されるように、定盤2は円
盤状を呈した金属製部材であって、その上面が加工面2
aとなっている。加工面2aの中央には取付用凹部5が
設けられており、この取付用凹部5を除く領域が加工領
域となっている。加工領域の幅は、ここでは円盤状をし
た被加工物W1 の直径にほぼ等しくなるように設計され
ている。なお、本装置1により研削される被加工物W1
としては、例えば1)工作機械のロータリテーブル、
2)ラップ盤、ポリッシュ盤、ウェハ研磨装置の定盤ま
たはプッシャプレート、3)大型レンズなど、即ち各種
の大型製品が挙げられる。
盤状を呈した金属製部材であって、その上面が加工面2
aとなっている。加工面2aの中央には取付用凹部5が
設けられており、この取付用凹部5を除く領域が加工領
域となっている。加工領域の幅は、ここでは円盤状をし
た被加工物W1 の直径にほぼ等しくなるように設計され
ている。なお、本装置1により研削される被加工物W1
としては、例えば1)工作機械のロータリテーブル、
2)ラップ盤、ポリッシュ盤、ウェハ研磨装置の定盤ま
たはプッシャプレート、3)大型レンズなど、即ち各種
の大型製品が挙げられる。
【0021】定盤2の加工面2aにおける加工領域に
は、多数の研削用ペレット3が取り付けられている。研
削用ペレット3としては、例えばダイヤモンド等の硬質
材料からなる固定砥粒を金属製のマトリクス中に均一に
分散した成形体を焼結してなるもの(ダイヤモンドペレ
ット)が用いられる。本実施形態の研削用ペレット3は
円形状を呈したものとなっている。本実施形態では、加
工領域において研削用ペレット3が粗密なくほぼ均一に
配置されている。
は、多数の研削用ペレット3が取り付けられている。研
削用ペレット3としては、例えばダイヤモンド等の硬質
材料からなる固定砥粒を金属製のマトリクス中に均一に
分散した成形体を焼結してなるもの(ダイヤモンドペレ
ット)が用いられる。本実施形態の研削用ペレット3は
円形状を呈したものとなっている。本実施形態では、加
工領域において研削用ペレット3が粗密なくほぼ均一に
配置されている。
【0022】この装置1は揺動機構11を具備してい
る。図1(a),図1(b)において前記揺動機構11
は、揺動軸12を有する駆動手段13と、揺動アーム1
4と、被加工物保持治具15とを備えたものとして構成
されている。
る。図1(a),図1(b)において前記揺動機構11
は、揺動軸12を有する駆動手段13と、揺動アーム1
4と、被加工物保持治具15とを備えたものとして構成
されている。
【0023】駆動手段13は、定盤2を支持している回
転軸4の脇に近接して配設されている。このような駆動
手段13としては、所定角度θの範囲内で回動運動を行
うモータ等が使用される。揺動軸12は、駆動手段13
の上端面から上方に向かって垂直に延びている。
転軸4の脇に近接して配設されている。このような駆動
手段13としては、所定角度θの範囲内で回動運動を行
うモータ等が使用される。揺動軸12は、駆動手段13
の上端面から上方に向かって垂直に延びている。
【0024】揺動アーム14は、揺動軸12からその径
方向に向かって延びるように突設されている。揺動アー
ム14の基端部は、揺動軸12の上端部に対して固定さ
れている。従って、駆動手段13を作動させると、回動
軸12とともに揺動アーム14が駆動され、揺動アーム
14が水平方向に回動運動を行う。本実施形態において
使用される揺動アーム14は、定盤2の直径よりも長
く、加工面2aの上方において定盤2の回転中心を跨ぐ
ようして配設されている。
方向に向かって延びるように突設されている。揺動アー
ム14の基端部は、揺動軸12の上端部に対して固定さ
れている。従って、駆動手段13を作動させると、回動
軸12とともに揺動アーム14が駆動され、揺動アーム
14が水平方向に回動運動を行う。本実施形態において
使用される揺動アーム14は、定盤2の直径よりも長
く、加工面2aの上方において定盤2の回転中心を跨ぐ
ようして配設されている。
【0025】被加工物保持治具15は、揺動アーム14
の自由端に1つ設けられている。この治具15は、先端
部にローラベアリング16を備える3本の爪部17と、
それらの爪部17を水平に支持する支持体18とからな
る。支持体18自身は揺動アーム14に対して回転可能
に軸支されている。そして、3つのローラベアリング1
6間には、1枚の被加工物W1 が特定面を加工面2aに
対向させた状態で把持される。なお、各ローラベアリン
グ16によって把持された被加工物W1 は、定盤2との
摺接により追従して回転可能(連れ回り可能)になって
いる。
の自由端に1つ設けられている。この治具15は、先端
部にローラベアリング16を備える3本の爪部17と、
それらの爪部17を水平に支持する支持体18とからな
る。支持体18自身は揺動アーム14に対して回転可能
に軸支されている。そして、3つのローラベアリング1
6間には、1枚の被加工物W1 が特定面を加工面2aに
対向させた状態で把持される。なお、各ローラベアリン
グ16によって把持された被加工物W1 は、定盤2との
摺接により追従して回転可能(連れ回り可能)になって
いる。
【0026】従って、駆動手段13を作動させた場合、
加工面2aに対して特定面を接触させた状態で被加工物
W1 が前記特定面と水平な方向に揺動される結果、これ
をもって加工面内2aでの被加工物W1 の位置変更を図
ることができる。
加工面2aに対して特定面を接触させた状態で被加工物
W1 が前記特定面と水平な方向に揺動される結果、これ
をもって加工面内2aでの被加工物W1 の位置変更を図
ることができる。
【0027】次に、このような揺動機構11を備える平
面研削装置1を用いた面加工の方法について述べる。加
工面2aに対して被加工物W1 を接触させるべく、被加
工物保持治具15により被加工物W1 を所定圧で定盤2
に押し付ける。その際、揺動アーム14を図1(a)に
示される基準位置に固定して、揺動を行わないものとす
る。この状態で定盤2を矢印a1 の方向に所定回転数で
回転させる。なお、本実施形態では前記回転数を100
rpmに設定している。すると、被加工物W1 の特定面
が各研削用ペレット3によって切り込まれることで一様
に削り取られ、特定面が高精度な平坦面に仕上げられ
る。
面研削装置1を用いた面加工の方法について述べる。加
工面2aに対して被加工物W1 を接触させるべく、被加
工物保持治具15により被加工物W1 を所定圧で定盤2
に押し付ける。その際、揺動アーム14を図1(a)に
示される基準位置に固定して、揺動を行わないものとす
る。この状態で定盤2を矢印a1 の方向に所定回転数で
回転させる。なお、本実施形態では前記回転数を100
rpmに設定している。すると、被加工物W1 の特定面
が各研削用ペレット3によって切り込まれることで一様
に削り取られ、特定面が高精度な平坦面に仕上げられ
る。
【0028】なお、この場合には特定面に加わる摺接力
の作用によって、被加工物W1 が矢印a2 の方向に連れ
回りを起こす。このような現象が起こるのは、定盤2の
外周部付近の周速のほうが中心部のそれに比べて速いこ
とに起因する。
の作用によって、被加工物W1 が矢印a2 の方向に連れ
回りを起こす。このような現象が起こるのは、定盤2の
外周部付近の周速のほうが中心部のそれに比べて速いこ
とに起因する。
【0029】一方、被加工物保持治具15により被加工
物W1 を所定圧で定盤2に押し付けるとともに、揺動ア
ーム14を所定周期で揺動させた場合には、次のように
なる。ここでは、揺動アーム14が両方の揺動終端位置
に達したときに、図2にて斜線で示されるような領域
(オーバーハング領域)ができるような揺動の仕方を採
用している。もっとも、前記オーバーハング領域は被加
工物W1 の外周部に対応し、中心部を含まないように設
定されている。また、本実施形態では前記揺動周期を1
0回/分に設定している。
物W1 を所定圧で定盤2に押し付けるとともに、揺動ア
ーム14を所定周期で揺動させた場合には、次のように
なる。ここでは、揺動アーム14が両方の揺動終端位置
に達したときに、図2にて斜線で示されるような領域
(オーバーハング領域)ができるような揺動の仕方を採
用している。もっとも、前記オーバーハング領域は被加
工物W1 の外周部に対応し、中心部を含まないように設
定されている。また、本実施形態では前記揺動周期を1
0回/分に設定している。
【0030】このような状態で研削加工を行うと、被加
工物W1 が回動軸12を中心とする円弧に沿って水平方
向に揺動運動を開始する。その結果、被加工物W1 の特
定面が各研削用ペレット3によって切り込まれて削り取
られる。しかしながら、被加工物W1 の特定面における
中心部は常に定盤2に摺接しているのに対し、外周部に
ついては定盤2に常に摺接しているわけではない。従っ
て、被加工物W1 における外周部と中心部とでは、単位
時間あたりの切り込み量におのずと差が生じる。上記の
場合においては、外周部における切り込み量のほうが相
対的に少なくなるので、被加工物W1 の特定面は中凹状
のアール面に仕上げられる。なお、このような研削方法
によると、平坦度が1μm〜10μm程度のアール面を
得ることが可能である。
工物W1 が回動軸12を中心とする円弧に沿って水平方
向に揺動運動を開始する。その結果、被加工物W1 の特
定面が各研削用ペレット3によって切り込まれて削り取
られる。しかしながら、被加工物W1 の特定面における
中心部は常に定盤2に摺接しているのに対し、外周部に
ついては定盤2に常に摺接しているわけではない。従っ
て、被加工物W1 における外周部と中心部とでは、単位
時間あたりの切り込み量におのずと差が生じる。上記の
場合においては、外周部における切り込み量のほうが相
対的に少なくなるので、被加工物W1 の特定面は中凹状
のアール面に仕上げられる。なお、このような研削方法
によると、平坦度が1μm〜10μm程度のアール面を
得ることが可能である。
【0031】従って、本実施形態によれば以下のような
効果を得ることができる。 (1)本実施形態の平面研削装置1及びそれによる面加
工方法によると、被加工物W1 を揺動させてその位置を
変更することにより、外周部と中心部とで研削速度に差
を設けることができる。このため、面形状の制御を比較
的簡単にかつ確実に行うことができる。さらに、本実施
形態のような揺動機構11であれば、既存かつ汎用の平
面研削装置に付加するだけで足りる。ゆえに、専用の平
面加工装置を購入する必要がなく、低コスト化に有利と
なる。また、転写加工のような高度な技能を要する作業
を行わなくても面形状を制御できるので、高精度のアー
ル面であっても比較的簡単にかつ確実に得ることができ
る。
効果を得ることができる。 (1)本実施形態の平面研削装置1及びそれによる面加
工方法によると、被加工物W1 を揺動させてその位置を
変更することにより、外周部と中心部とで研削速度に差
を設けることができる。このため、面形状の制御を比較
的簡単にかつ確実に行うことができる。さらに、本実施
形態のような揺動機構11であれば、既存かつ汎用の平
面研削装置に付加するだけで足りる。ゆえに、専用の平
面加工装置を購入する必要がなく、低コスト化に有利と
なる。また、転写加工のような高度な技能を要する作業
を行わなくても面形状を制御できるので、高精度のアー
ル面であっても比較的簡単にかつ確実に得ることができ
る。
【0032】(2)本実施形態によると、揺動を行わな
いものに比べて、加工面2aの広範囲の領域を有効に利
用することができる。従って、あえて定盤2を大きくし
なくても大型製品の面加工を行うことが可能となり、装
置1の小型化かつ低コスト化を図ることができる。な
お、この装置1及び方法によれば、図1に示されたもの
よりさらに大径の被加工物W1 を面加工することもでき
る。
いものに比べて、加工面2aの広範囲の領域を有効に利
用することができる。従って、あえて定盤2を大きくし
なくても大型製品の面加工を行うことが可能となり、装
置1の小型化かつ低コスト化を図ることができる。な
お、この装置1及び方法によれば、図1に示されたもの
よりさらに大径の被加工物W1 を面加工することもでき
る。
【0033】(3)本実施形態では、駆動手段13、揺
動アーム14、被加工物保持治具15等を備える揺動機
構11となっている。従って、比較的小型かつ簡単な構
造の揺動機構11とすることができる。
動アーム14、被加工物保持治具15等を備える揺動機
構11となっている。従って、比較的小型かつ簡単な構
造の揺動機構11とすることができる。
【0034】なお、本発明の実施形態は以下のように変
更してもよい。 ・ 研削用ペレット3は、必ずしも加工面2aの加工領
域の全域に配設されていなくてもよく、加工領域にて部
分的に配置されていてもよい。
更してもよい。 ・ 研削用ペレット3は、必ずしも加工面2aの加工領
域の全域に配設されていなくてもよく、加工領域にて部
分的に配置されていてもよい。
【0035】・ また、疎密の殆どない状態で研削用ペ
レット3を配置した前記実施形態に代え、研削用ペレッ
ト3を疎密のある状態で配置しても構わない。例えば、
回転中心領域に近くなるほど研削用ペレット3を密に配
置したり、逆に回転中心領域に近くなるほど前記研削用
ペレットを疎に配置することとしてもよい。
レット3を配置した前記実施形態に代え、研削用ペレッ
ト3を疎密のある状態で配置しても構わない。例えば、
回転中心領域に近くなるほど研削用ペレット3を密に配
置したり、逆に回転中心領域に近くなるほど前記研削用
ペレットを疎に配置することとしてもよい。
【0036】・ 被加工物W1 を1つのみ保持するよう
な前記実施形態の治具15に限定されることはなく、例
えば被加工物W1 を同時に複数個保持できる治具を用い
ても勿論よい。
な前記実施形態の治具15に限定されることはなく、例
えば被加工物W1 を同時に複数個保持できる治具を用い
ても勿論よい。
【0037】・ 前記実施形態と異なる構造を採用する
ことによって揺動機構を構成することも許容される。 ・ なお、本発明は大型製品の面加工のみならず、小型
製品の面加工に適用されても勿論構わない。
ことによって揺動機構を構成することも許容される。 ・ なお、本発明は大型製品の面加工のみならず、小型
製品の面加工に適用されても勿論構わない。
【0038】次に、特許請求の範囲に記載された技術的
思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技
術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 (1) 請求項2において、前記被加工物保持治具は前
記被加工物を回転可能に保持すること。従って、この技
術的思想1に記載の発明によれば、周速の差によって起
こる被加工物の連れ回りを阻害することがない。
思想のほかに、前述した実施形態によって把握される技
術的思想をその効果とともに以下に列挙する。 (1) 請求項2において、前記被加工物保持治具は前
記被加工物を回転可能に保持すること。従って、この技
術的思想1に記載の発明によれば、周速の差によって起
こる被加工物の連れ回りを阻害することがない。
【0039】(2) 請求項2において、前記被加工物
保持治具は前記被加工物を1つのみ保持すること。従っ
て、この技術的思想2に記載の発明によれば、揺動に要
する駆動力が小さくて済む。
保持治具は前記被加工物を1つのみ保持すること。従っ
て、この技術的思想2に記載の発明によれば、揺動に要
する駆動力が小さくて済む。
【0040】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1,2に記
載の発明によれば、面形状の制御を簡単にかつ確実に行
うことができ、小型かつ低コストであるにもかかわらず
大型製品の面加工に好適な面加工装置を提供することが
できる。
載の発明によれば、面形状の制御を簡単にかつ確実に行
うことができ、小型かつ低コストであるにもかかわらず
大型製品の面加工に好適な面加工装置を提供することが
できる。
【0041】請求項3に記載の発明によれば、大型製品
の面加工に好適な面加工方法を提供することができる。
の面加工に好適な面加工方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明を具体化した一実施形態におけ
る平面研削装置の概略平面図、(b)はその部分概略断
面図。
る平面研削装置の概略平面図、(b)はその部分概略断
面図。
【図2】実施形態の平面研削装置における揺動機構の動
作範囲を説明するための概略平面図。
作範囲を説明するための概略平面図。
【図3】(a)は特定面が平坦状に仕上げられた被加工
物の断面図、(b)は特定面が中凸状にアール仕上げさ
れた被加工物の断面図、(c)は特定面が中凹状にアー
ル仕上げされた被加工物の断面図。
物の断面図、(b)は特定面が中凸状にアール仕上げさ
れた被加工物の断面図、(c)は特定面が中凹状にアー
ル仕上げされた被加工物の断面図。
1…面加工装置としての平面研削装置、2…定盤、2a
…加工面、3…研削用ペレット、11…揺動機構、12
…揺動軸、13…駆動手段、14…揺動アーム、15…
被加工物保持治具、W1 …被加工物。
…加工面、3…研削用ペレット、11…揺動機構、12
…揺動軸、13…駆動手段、14…揺動アーム、15…
被加工物保持治具、W1 …被加工物。
Claims (3)
- 【請求項1】被加工物の特定面と接触する複数の研削用
ペレットを定盤の加工面に保持させた面加工装置であっ
て、前記特定面を前記加工面に対して接触させた状態で
その特定面と水平な方向に前記被加工物を揺動させる揺
動機構を備えたことを特徴とする面加工装置。 - 【請求項2】前記揺動機構は、揺動軸を有する駆動手段
と、前記揺動軸からその径方向に向かって延びるように
突設された揺動アームと、前記揺動アームの自由端に設
けられるとともに前記被加工物を前記加工面に対向させ
た状態で保持する被加工物保持治具とを備えることを特
徴とする請求項1に記載の面加工装置。 - 【請求項3】被加工物の特定面と接触する複数の研削用
ペレットを定盤の加工面に保持させた面加工装置を用い
る面加工方法であって、前記特定面を前記加工面に対し
て接触させた状態でその特定面と水平な方向に前記被加
工物を揺動させることにより、前記特定面の加工を行う
ことを特徴とする面加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13994898A JPH11320355A (ja) | 1998-05-21 | 1998-05-21 | 面加工装置及び面加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13994898A JPH11320355A (ja) | 1998-05-21 | 1998-05-21 | 面加工装置及び面加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11320355A true JPH11320355A (ja) | 1999-11-24 |
Family
ID=15257415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13994898A Pending JPH11320355A (ja) | 1998-05-21 | 1998-05-21 | 面加工装置及び面加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11320355A (ja) |
-
1998
- 1998-05-21 JP JP13994898A patent/JPH11320355A/ja active Pending
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20050406 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060725 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20061121 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |