JPH11314030A - 粉末の製造方法 - Google Patents
粉末の製造方法Info
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- JPH11314030A JPH11314030A JP10335858A JP33585898A JPH11314030A JP H11314030 A JPH11314030 A JP H11314030A JP 10335858 A JP10335858 A JP 10335858A JP 33585898 A JP33585898 A JP 33585898A JP H11314030 A JPH11314030 A JP H11314030A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 粒度分布のシャープな粉末を得ることができ
る粉末の製造方法を提供する。 【解決手段】 セラミック材料の前駆体となる液体を吐
出して微小液滴を形成した後、微小液滴を加熱処理す
る。これにより、２次粒子径が１０〜１８０μｍで、そ
の粒度分布が平均粒径に対して±１０％以内に９０％以
上の粒子が存在するセラミック粉末を得る。液体噴射装
置は、液体を噴射させる複数のノズル孔１２が設けられ
たノズル部１１に対して、ノズル孔１２に対応する複数
の液体加圧室１５が設けられたポンプ部２１を接合し、
液体加圧室１５の壁部の一部を圧電／電歪素子２２によ
って変形させて液体加圧室１５に圧力を生じさせること
により、液体加圧室１５に供給される液体を、ノズル孔
１２から噴射させるようにした装置で、ノズル部１１及
びポンプ部２１をジルコニアセラミックスで構成した。
る粉末の製造方法を提供する。 【解決手段】 セラミック材料の前駆体となる液体を吐
出して微小液滴を形成した後、微小液滴を加熱処理す
る。これにより、２次粒子径が１０〜１８０μｍで、そ
の粒度分布が平均粒径に対して±１０％以内に９０％以
上の粒子が存在するセラミック粉末を得る。液体噴射装
置は、液体を噴射させる複数のノズル孔１２が設けられ
たノズル部１１に対して、ノズル孔１２に対応する複数
の液体加圧室１５が設けられたポンプ部２１を接合し、
液体加圧室１５の壁部の一部を圧電／電歪素子２２によ
って変形させて液体加圧室１５に圧力を生じさせること
により、液体加圧室１５に供給される液体を、ノズル孔
１２から噴射させるようにした装置で、ノズル部１１及
びポンプ部２１をジルコニアセラミックスで構成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、いわゆるマイク
ロポンプ方式を利用した液体の精密噴霧により、粒度分
布のシャープな粉末を得ることができる粉末の製造方法
に関する。
ロポンプ方式を利用した液体の精密噴霧により、粒度分
布のシャープな粉末を得ることができる粉末の製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】 従来から、セラミックス、金属などの
粉末が、構造材料など各種用途に用いられており、その
ために種々の粉末製造方法が実施されている。粉末の製
造方法としては、原料を湿式又は乾式で粉砕する方法
や、液体を噴霧してその液滴を熱風によって瞬時に乾燥
して粉末を得る、いわゆるスプレードライ方法などの方
法が知られている。
粉末が、構造材料など各種用途に用いられており、その
ために種々の粉末製造方法が実施されている。粉末の製
造方法としては、原料を湿式又は乾式で粉砕する方法
や、液体を噴霧してその液滴を熱風によって瞬時に乾燥
して粉末を得る、いわゆるスプレードライ方法などの方
法が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】 これらの方法は大量
生産に適しており、工業的に利するところ、大なもので
あるが、粒度分布がブロードに（広く）なり、均一な粉
末粒子を得ることは困難であった。そのため、通常は粉
末製造後に篩分けを行って、粒径を揃えることをしてい
るが均一性をより高めるには限界があった。
生産に適しており、工業的に利するところ、大なもので
あるが、粒度分布がブロードに（広く）なり、均一な粉
末粒子を得ることは困難であった。そのため、通常は粉
末製造後に篩分けを行って、粒径を揃えることをしてい
るが均一性をより高めるには限界があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】 本発明は、以上の課題
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、粒度分布のシャープな粉末を得ることができる粉末
の製造方法を提供することにある。即ち、本発明によれ
ば、セラミック材料の前駆体となる液体を吐出して微小
液滴を形成した後、該微小液滴を加熱処理することによ
り、２次粒子径が１０〜１８０μｍで、その粒度分布が
平均粒径に対して±１０％以内に９０％以上の粒子が存
在するセラミック粉末を得ることを特徴とする粉末の製
造方法、が提供される。
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、粒度分布のシャープな粉末を得ることができる粉末
の製造方法を提供することにある。即ち、本発明によれ
ば、セラミック材料の前駆体となる液体を吐出して微小
液滴を形成した後、該微小液滴を加熱処理することによ
り、２次粒子径が１０〜１８０μｍで、その粒度分布が
平均粒径に対して±１０％以内に９０％以上の粒子が存
在するセラミック粉末を得ることを特徴とする粉末の製
造方法、が提供される。
【０００５】 本発明においては、セラミック材料の前
駆体となる液体を２種類以上吐出して、飛行・浮遊過程
で液滴同士を衝突合体させ、微小反応生成物を生成させ
た後、加熱処理することが好ましい。また、本発明で
は、液体の吐出をマイクロポンプ方式で行うことが好ま
しく、このマイクロポンプ方式は、圧電体を駆動させて
液を吐出する圧電式液吐出方式であることが望ましい。
さらに、この圧電式液吐出方式としては、具体的には、
液体を噴射させる複数のノズル孔が設けられたノズル部
に対して、該ノズル孔に対応する複数の液体加圧室が設
けられたポンプ部を接合し、該液体加圧室の壁部の一部
を圧電／電歪素子によって変形させて該液体加圧室に圧
力を生じさせることにより、該液体加圧室に供給される
液体を、前記ノズル孔から噴射させるようにした液体噴
射装置であって、前記ノズル部及びポンプ部をジルコニ
アセラミックスで構成してなる液体噴射装置を用いるこ
とが、耐薬品性、耐熱性に優れていることから、好まし
い。
駆体となる液体を２種類以上吐出して、飛行・浮遊過程
で液滴同士を衝突合体させ、微小反応生成物を生成させ
た後、加熱処理することが好ましい。また、本発明で
は、液体の吐出をマイクロポンプ方式で行うことが好ま
しく、このマイクロポンプ方式は、圧電体を駆動させて
液を吐出する圧電式液吐出方式であることが望ましい。
さらに、この圧電式液吐出方式としては、具体的には、
液体を噴射させる複数のノズル孔が設けられたノズル部
に対して、該ノズル孔に対応する複数の液体加圧室が設
けられたポンプ部を接合し、該液体加圧室の壁部の一部
を圧電／電歪素子によって変形させて該液体加圧室に圧
力を生じさせることにより、該液体加圧室に供給される
液体を、前記ノズル孔から噴射させるようにした液体噴
射装置であって、前記ノズル部及びポンプ部をジルコニ
アセラミックスで構成してなる液体噴射装置を用いるこ
とが、耐薬品性、耐熱性に優れていることから、好まし
い。
【０００６】
【発明の実施の形態】 本発明の粉末の製造方法は、セ
ラミック材料の前駆体となる液体を、いわゆるマイクロ
ポンプ方式にて吐出して微小液滴を形成した後、この微
小液滴を加熱処理することで、粒度分布がシャープなセ
ラミック粉末を得るものである。
ラミック材料の前駆体となる液体を、いわゆるマイクロ
ポンプ方式にて吐出して微小液滴を形成した後、この微
小液滴を加熱処理することで、粒度分布がシャープなセ
ラミック粉末を得るものである。
【０００７】 本発明で用いるマイクロポンプ方式とし
ては、従来からインクジェット記録等で知られている方
式が採用できる。具体的には、荷電制御方式、電気機械
変換方式、電気熱変換方式、および静電吸引方式などを
挙げることができる。荷電制御方式は、圧力により、連
続噴射している液滴に、励振・振動周波数を同期させて
微小液滴を形成させる。この液滴を帯電させ、偏向電極
により制御して吐出、非吐出を制御する。電気機械変換
方式は、圧電素子など類似機能をもつ素子を振動させ、
それがもつエネルギーを利用して液滴を微粒子化し、吐
出させるシステムである。
ては、従来からインクジェット記録等で知られている方
式が採用できる。具体的には、荷電制御方式、電気機械
変換方式、電気熱変換方式、および静電吸引方式などを
挙げることができる。荷電制御方式は、圧力により、連
続噴射している液滴に、励振・振動周波数を同期させて
微小液滴を形成させる。この液滴を帯電させ、偏向電極
により制御して吐出、非吐出を制御する。電気機械変換
方式は、圧電素子など類似機能をもつ素子を振動させ、
それがもつエネルギーを利用して液滴を微粒子化し、吐
出させるシステムである。
【０００８】 電気熱変換方式は、発熱素子により液中
に気泡を発生させ、その圧力で液滴を吐出させる。ま
た、静電吸引方式は、液体を静電気力によって吸引し、
吐出させる。
に気泡を発生させ、その圧力で液滴を吐出させる。ま
た、静電吸引方式は、液体を静電気力によって吸引し、
吐出させる。
【０００９】 本発明においては、上記したマイクロポ
ンプ方式のうち、液体を加熱することなしに吐出圧が得
られる電気機械変換方式である圧電式液吐出方式を用い
ることが好ましい。そして、具体的な装置としては、液
体を噴射させる複数のノズル孔が設けられたノズル部に
対して、該ノズル孔に対応する一つまたは複数の液体加
圧室が設けられたポンプ部を接合し、該液体加圧室の壁
部の一部を圧電／電歪素子によって変形させて該液体加
圧室に圧力を生じさせることにより、該液体加圧室に供
給される液体を、前記ノズル孔から噴射させるようにし
た液体噴射装置（液滴吐出装置）であり、これらのノズ
ル部及びポンプ部をジルコニアセラミックスで構成して
なる装置が望ましい。
ンプ方式のうち、液体を加熱することなしに吐出圧が得
られる電気機械変換方式である圧電式液吐出方式を用い
ることが好ましい。そして、具体的な装置としては、液
体を噴射させる複数のノズル孔が設けられたノズル部に
対して、該ノズル孔に対応する一つまたは複数の液体加
圧室が設けられたポンプ部を接合し、該液体加圧室の壁
部の一部を圧電／電歪素子によって変形させて該液体加
圧室に圧力を生じさせることにより、該液体加圧室に供
給される液体を、前記ノズル孔から噴射させるようにし
た液体噴射装置（液滴吐出装置）であり、これらのノズ
ル部及びポンプ部をジルコニアセラミックスで構成して
なる装置が望ましい。
【００１０】 この液体噴射装置の一例を図１に示す。
図１において、ノズル部１１は、複数のノズル孔１２が
設けられた薄肉平板状のノズルプレート１３をジルコニ
アセラミックスのグリーンシートで形成し、一方、ポン
プ部２１は、複数の窓部２８が形成されたスペーサプレ
ート２５と、スペーサプレート２５の一方の側に重ね合
わされて窓部２８を覆蓋する閉塞プレート２３とを、同
じくそれぞれジルコニアセラミックスのグリーンシート
で形成し、全体を積層し、一体焼成して構成されてい
る。なお、閉塞プレート２３には液体流入口１６が設け
られている。そして、閉塞プレート２３の外面上には、
下部電極３１、圧電／電歪層３２および上部電極３３か
らなる圧電／電歪素子２２が形成されている。
図１において、ノズル部１１は、複数のノズル孔１２が
設けられた薄肉平板状のノズルプレート１３をジルコニ
アセラミックスのグリーンシートで形成し、一方、ポン
プ部２１は、複数の窓部２８が形成されたスペーサプレ
ート２５と、スペーサプレート２５の一方の側に重ね合
わされて窓部２８を覆蓋する閉塞プレート２３とを、同
じくそれぞれジルコニアセラミックスのグリーンシート
で形成し、全体を積層し、一体焼成して構成されてい
る。なお、閉塞プレート２３には液体流入口１６が設け
られている。そして、閉塞プレート２３の外面上には、
下部電極３１、圧電／電歪層３２および上部電極３３か
らなる圧電／電歪素子２２が形成されている。
【００１１】 上記のような液体噴射装置によれば、上
部電極３３と下部電極３１との間に電界が生じると、圧
電／電歪層３２が変形し、窓部２８が覆蓋されて形成さ
れたキャビティ（液体加圧室）１５の容積が減少するこ
とにより、キャビティ１５内に充填された液体がキャビ
ティ１５に連通するノズル孔１２から噴射される。
部電極３３と下部電極３１との間に電界が生じると、圧
電／電歪層３２が変形し、窓部２８が覆蓋されて形成さ
れたキャビティ（液体加圧室）１５の容積が減少するこ
とにより、キャビティ１５内に充填された液体がキャビ
ティ１５に連通するノズル孔１２から噴射される。
【００１２】 図２は、液体噴射装置の他の例を示すも
ので、いわゆるポンプ部とノズル部が共用された構成を
示す。すなわち、ポンプ部２１は、複数の窓部２８が形
成されたスペーサプレート２５と、スペーサプレート２
５の一方の側に重ね合わされて窓部２８を覆蓋する閉塞
プレート２３と、スペーサプレート２５の他方の側に重
ね合わされて窓部２８を覆蓋する基板プレート２７と
を、それぞれジルコニアセラミックスのグリーンシート
で形成し、一体焼成して構成される。そして、この実施
例では、スペーサプレート２５の一部にノズル孔１２及
び液体流入口１６を設けることにより、ポンプ部２１自
体がノズル機能をも合わせ持つようにしている。
ので、いわゆるポンプ部とノズル部が共用された構成を
示す。すなわち、ポンプ部２１は、複数の窓部２８が形
成されたスペーサプレート２５と、スペーサプレート２
５の一方の側に重ね合わされて窓部２８を覆蓋する閉塞
プレート２３と、スペーサプレート２５の他方の側に重
ね合わされて窓部２８を覆蓋する基板プレート２７と
を、それぞれジルコニアセラミックスのグリーンシート
で形成し、一体焼成して構成される。そして、この実施
例では、スペーサプレート２５の一部にノズル孔１２及
び液体流入口１６を設けることにより、ポンプ部２１自
体がノズル機能をも合わせ持つようにしている。
【００１３】 以上のように、本発明において、液体噴
射装置はその構成材料がすべてジルコニアセラミックス
で構成されているため、例えば、アセトン系、塩酸系な
どのセラミック材料前駆体の液体を用いる場合であって
も、適用が可能であり、耐薬品性、耐熱性、靭性にも優
れる。
射装置はその構成材料がすべてジルコニアセラミックス
で構成されているため、例えば、アセトン系、塩酸系な
どのセラミック材料前駆体の液体を用いる場合であって
も、適用が可能であり、耐薬品性、耐熱性、靭性にも優
れる。
【００１４】 本発明では、上記のようなマイクロポン
プ方式の液体噴射装置を用いて、セラミックス材料の前
駆体となる液体を吐出して微小液滴を形成し、この微小
液滴を加熱処理して所望のセラミック粉末を得る。この
ように、マイクロポンプ方式の液体噴射装置を用いて液
体を吐出しているため、この微小液滴を加熱すると、微
小粉末で、かつその粒度分布が極めてシャープな均一な
粒径のセラミック粉末を得ることができる。具体的に
は、粒径が１０〜１８０μｍで、粒度分布が平均粒径に
対して±１０％以内に９０％以上の粒子が存在するセラ
ミック粉末を得ることができる。
プ方式の液体噴射装置を用いて、セラミックス材料の前
駆体となる液体を吐出して微小液滴を形成し、この微小
液滴を加熱処理して所望のセラミック粉末を得る。この
ように、マイクロポンプ方式の液体噴射装置を用いて液
体を吐出しているため、この微小液滴を加熱すると、微
小粉末で、かつその粒度分布が極めてシャープな均一な
粒径のセラミック粉末を得ることができる。具体的に
は、粒径が１０〜１８０μｍで、粒度分布が平均粒径に
対して±１０％以内に９０％以上の粒子が存在するセラ
ミック粉末を得ることができる。
【００１５】 微小液滴の加熱処理方法としては、通常
の加熱手段を用いることができ、例えば、微小液滴を加
熱炉中へ噴霧して乾燥、熱処理する方法や、いわゆるス
プレードライ方法のごとく、微小液滴を熱風によって瞬
時に乾燥、微粉化する方法など、用途に応じて適宜の手
段を用いることができる。また、本発明において、対象
となる液体としては、セラミック材料の前駆体となる液
体であるが、これには、例えば、セラミック材料を所定
濃度含有するスラリーを含む。
の加熱手段を用いることができ、例えば、微小液滴を加
熱炉中へ噴霧して乾燥、熱処理する方法や、いわゆるス
プレードライ方法のごとく、微小液滴を熱風によって瞬
時に乾燥、微粉化する方法など、用途に応じて適宜の手
段を用いることができる。また、本発明において、対象
となる液体としては、セラミック材料の前駆体となる液
体であるが、これには、例えば、セラミック材料を所定
濃度含有するスラリーを含む。
【００１６】 以上、本発明に関して、マイクロポンプ
方式により、液体を噴射した後これを加熱することを説
明したが、その他に、マイクロポンプ方式により液体を
噴射する装置を２種類用意し、それぞれの装置から噴射
された微小液滴を互いに衝突させて所望の粒子を形成す
ることも可能である。例えば、互いに反応する２種類の
液体を噴射して衝突させ、両液滴を反応させることによ
り、短い反応時間の反応生成物も安定して得ることがで
きる。また、衝突させる液体量を容易に制御できるの
で、反応量を任意に制御することができる。さらに、２
種類の液体の互いの衝突速度、量を制御できるため、粒
径、粒子形状も任意に設定することも可能となる。
方式により、液体を噴射した後これを加熱することを説
明したが、その他に、マイクロポンプ方式により液体を
噴射する装置を２種類用意し、それぞれの装置から噴射
された微小液滴を互いに衝突させて所望の粒子を形成す
ることも可能である。例えば、互いに反応する２種類の
液体を噴射して衝突させ、両液滴を反応させることによ
り、短い反応時間の反応生成物も安定して得ることがで
きる。また、衝突させる液体量を容易に制御できるの
で、反応量を任意に制御することができる。さらに、２
種類の液体の互いの衝突速度、量を制御できるため、粒
径、粒子形状も任意に設定することも可能となる。
【００１７】
【実施例】 次に、本発明を具体的な実施例により、さ
らに説明する。 （実施例１）図３に示す粉末製造装置を用いた。塩化ジ
ルコニウムのエチルアルコール溶液を、図１に示す構造
の液滴吐出装置４０を用い、電磁シャッター４１により
加熱用外部ヒーター４２を備えた石英製加熱炉４３中に
間欠的に噴霧し、加熱炉４３中で噴霧された液滴を乾
燥、熱分解して、ジルコニアセラミック粉末Ａを得た。
図中、４４はエア導入口、４５は排気口、４６は粒子回
収ボックスである。得られたジルコニアセラミック粉末
Ａは、平均粒径２０μｍで、この平均粒径に対して、粒
子径分布は、９２％の粒子が±１０％の範囲に入る均一
なものであった。
らに説明する。 （実施例１）図３に示す粉末製造装置を用いた。塩化ジ
ルコニウムのエチルアルコール溶液を、図１に示す構造
の液滴吐出装置４０を用い、電磁シャッター４１により
加熱用外部ヒーター４２を備えた石英製加熱炉４３中に
間欠的に噴霧し、加熱炉４３中で噴霧された液滴を乾
燥、熱分解して、ジルコニアセラミック粉末Ａを得た。
図中、４４はエア導入口、４５は排気口、４６は粒子回
収ボックスである。得られたジルコニアセラミック粉末
Ａは、平均粒径２０μｍで、この平均粒径に対して、粒
子径分布は、９２％の粒子が±１０％の範囲に入る均一
なものであった。
【００１８】（実施例２）図４に示す粉末製造装置を用
いた。塩化ジルコニウムのエチルアルコール溶液を液滴
吐出装置４０ａから、また、水酸化ナトリウムのエチル
アルコール溶液を液滴吐出装置４０ｂから、電磁シャッ
ター４１ａ、４１ｂを介し各々浮遊中に衝突合体するよ
うに配置、制御して微小液滴として吐出し、空中で衝突
合体させた。その後、加熱炉４３中で乾燥、熱分解して
ジルコニア混合粉末を得た。合体した液滴内部での反応
により、水酸化ジルコニウムの微結晶が生成し、その後
に加熱による脱水反応でジルコニアが生成したため、実
施例１と比較して、より一次粒子の微細で均一な粒子を
得ることができた。
いた。塩化ジルコニウムのエチルアルコール溶液を液滴
吐出装置４０ａから、また、水酸化ナトリウムのエチル
アルコール溶液を液滴吐出装置４０ｂから、電磁シャッ
ター４１ａ、４１ｂを介し各々浮遊中に衝突合体するよ
うに配置、制御して微小液滴として吐出し、空中で衝突
合体させた。その後、加熱炉４３中で乾燥、熱分解して
ジルコニア混合粉末を得た。合体した液滴内部での反応
により、水酸化ジルコニウムの微結晶が生成し、その後
に加熱による脱水反応でジルコニアが生成したため、実
施例１と比較して、より一次粒子の微細で均一な粒子を
得ることができた。
【００１９】（実施例３）図５に示す粉末製造装置を用
いた。この装置では、２種類の液体を噴霧するために２
種の液滴吐出装置５０、５１を用いた。なお、５２はタ
ンクで、５３はタンクへの液の注入口、５４は取り出し
口である。塩化ジルコニウムのエチルアルコール溶液
を、図２に示す構造の液滴吐出装置５０から、アルミニ
ウムエトキシドのエチルアルコール溶液を、図３に示す
構造の液滴吐出装置５１を用いて、タンク５２内に貯留
した水酸化ナトリウムのエチルアルコール溶液中へ噴霧
し、当該液中において反応させた。得られた反応生成物
は、その後、図示しない液／粒子分離装置に移送し、そ
こで反応生成物を分離し、加熱分解させることで、ジル
コニア粒子とアルミナ粒子の混合粉末を得た。
いた。この装置では、２種類の液体を噴霧するために２
種の液滴吐出装置５０、５１を用いた。なお、５２はタ
ンクで、５３はタンクへの液の注入口、５４は取り出し
口である。塩化ジルコニウムのエチルアルコール溶液
を、図２に示す構造の液滴吐出装置５０から、アルミニ
ウムエトキシドのエチルアルコール溶液を、図３に示す
構造の液滴吐出装置５１を用いて、タンク５２内に貯留
した水酸化ナトリウムのエチルアルコール溶液中へ噴霧
し、当該液中において反応させた。得られた反応生成物
は、その後、図示しない液／粒子分離装置に移送し、そ
こで反応生成物を分離し、加熱分解させることで、ジル
コニア粒子とアルミナ粒子の混合粉末を得た。
【００２０】 この実施例においては、液滴吐出装置５
０、５１の吐出量を適宜コントルールすることにより、
所望の混合比で、しかも均一に混合されたジルコニア粒
子とアルミナ粒子の混合粉末を得ることができた。この
粉末は、アルミナ／ジルコニア複合セラミックスを作製
するに際し、均一に分散複合化させる点から極めて好適
である。なお、実施例１、２のように、空中で加熱によ
り固化させる方法は、実施例３のように、液体中で固化
させた後熱処理固化する方法に比較して、液滴形状の維
持が容易になり、分離乾燥工程での合体が生じにくいと
いう利点がある。
０、５１の吐出量を適宜コントルールすることにより、
所望の混合比で、しかも均一に混合されたジルコニア粒
子とアルミナ粒子の混合粉末を得ることができた。この
粉末は、アルミナ／ジルコニア複合セラミックスを作製
するに際し、均一に分散複合化させる点から極めて好適
である。なお、実施例１、２のように、空中で加熱によ
り固化させる方法は、実施例３のように、液体中で固化
させた後熱処理固化する方法に比較して、液滴形状の維
持が容易になり、分離乾燥工程での合体が生じにくいと
いう利点がある。
【００２１】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明の製造方
法によれば、粒度分布のシャープな均一な粒度の粉末を
得ることができる。また、ノズル部及びポンプ部をジル
コニアセラミックスで構成した圧電式液吐出方式の液体
噴射装置を用いると、耐薬品性、耐熱性、靭性にも優れ
る。
法によれば、粒度分布のシャープな均一な粒度の粉末を
得ることができる。また、ノズル部及びポンプ部をジル
コニアセラミックスで構成した圧電式液吐出方式の液体
噴射装置を用いると、耐薬品性、耐熱性、靭性にも優れ
る。
【図１】 本発明における圧電式液吐出方式の液体噴射
装置（液滴吐出装置）の一例を示す断面図である。
装置（液滴吐出装置）の一例を示す断面図である。
【図２】 本発明で用いる液体噴射装置（液滴吐出装
置）の他の例を示す断面図である。
置）の他の例を示す断面図である。
【図３】 本発明方法を実施した粉末製造装置の一例を
示す概略図である。
示す概略図である。
【図４】 本発明方法を実施した粉末製造装置の他の例
を示す概略図である。
を示す概略図である。
【図５】 本発明方法を実施した粉末製造装置のさらに
別の例を示す概略図である。
別の例を示す概略図である。
１１…ノズル部、１２…ノズル孔、１３…ノズルプレー
ト、１５…キャビティ、１６…液体流入口、２１…ポン
プ部、２２…圧電／電歪素子、２３…閉塞プレート、２
５…スペーサプレート、２７…基板プレート、２８…窓
部、３１…下部電極、３２…圧電／電歪層、３３…上部
電極、４０…液滴吐出装置、４１…電磁シャッター、４
２…加熱用外部ヒーター、４３…石英製加熱炉、４４…
エア導入口、４５…排気口、４６…粒子回収ボックス、
５０，５１…液滴吐出装置、５３…注入口、５４…取り
出し口。
ト、１５…キャビティ、１６…液体流入口、２１…ポン
プ部、２２…圧電／電歪素子、２３…閉塞プレート、２
５…スペーサプレート、２７…基板プレート、２８…窓
部、３１…下部電極、３２…圧電／電歪層、３３…上部
電極、４０…液滴吐出装置、４１…電磁シャッター、４
２…加熱用外部ヒーター、４３…石英製加熱炉、４４…
エア導入口、４５…排気口、４６…粒子回収ボックス、
５０，５１…液滴吐出装置、５３…注入口、５４…取り
出し口。
Claims (5)
- 【請求項１】 セラミック材料の前駆体となる液体を吐
出して微小液滴を形成した後、該微小液滴を加熱処理す
ることにより、２次粒子径が１０〜１８０μｍで、その
粒度分布が平均粒径に対して±１０％以内に９０％以上
の粒子が存在するセラミック粉末を得ることを特徴とす
る粉末の製造方法。 - 【請求項２】 セラミック材料の前駆体となる液体を２
種類以上吐出して、飛行・浮遊過程で液滴同士を衝突合
体させ、微小反応生成物を生成させた後、加熱処理する
請求項１記載の粉末の製造方法。 - 【請求項３】 液体の吐出をマイクロポンプ方式で行う
請求項１又は２記載の粉末の製造方法。 - 【請求項４】 マイクロポンプ方式が、圧電体を駆動さ
せて液を吐出する圧電式液吐出方式である請求項３記載
の粉末の製造方法。 - 【請求項５】 圧電式液吐出方式が、液体を噴射させる
複数のノズル孔が設けられたノズル部に対して、該ノズ
ル孔に対応する複数の液体加圧室が設けられたポンプ部
を接合し、該液体加圧室の壁部の一部を圧電／電歪素子
によって変形させて該液体加圧室に圧力を生じさせるこ
とにより、該液体加圧室に供給される液体を、前記ノズ
ル孔から噴射させるようにした液体噴射装置であって、
前記ノズル部及びポンプ部をジルコニアセラミックスで
構成してなる液体噴射装置を用いる請求項４記載の粉末
の製造方法。
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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| JP33521097 | 1997-12-05 | ||
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-
1998
- 1998-11-26 JP JP33585898A patent/JP3835942B2/ja not_active Expired - Fee Related
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