JP3466480B2 - 液体吐出装置用ノズル及びその製造方法 - Google Patents
液体吐出装置用ノズル及びその製造方法Info
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- B28B11/12—Apparatus or processes for treating or working the shaped or preshaped articles for removing parts of the articles by cutting
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、液体吐出装置用
のノズルの製造法に関する。
のノズルの製造法に関する。
【０００２】
【従来の技術】 従来から、液体を微細粒子として吐出
させる装置として液体吐出装置が知られており、例え
ば、特開平６−４００３０号公報等に開示されている。
しかしながら、その使用態様によっては、液体の吐出
孔、即ち、ノズル先端部近傍に於いて、吐出液体の蒸
発、乾燥、同液体に含まれる固体成分の濃縮などを目的
とし、或いは、吐出液体の瞬時の移動を促進するために
強制的に送風することがあり、これらの装置に於いては
ノズルの先端部が、図３に示すように一体成形された装
置の外枠と同一の高さで形成されている為に、該外枠に
沿い吐出した液体が自身の持つ表面張力により薄い皮膜
を形成しやすい。一旦、この様な被膜が形成されると次
に吐出される液体と相互に作用し合い、吐出液体のノズ
ル近傍での気化や、吐出粒子の飛散等により、或いはこ
れらの現象の総合作用として、吐出される粒子が大きく
なったり、小さくなったりして、均一な粒子としての液
体の吐出を妨げたげられることが屡々起こる。場合によ
っては、被膜となった吐出された液体が乾燥し、ノズル
の穴近傍にこびりつくこともある。この様な場合には、
ノズルの口径そのものが本来非常に狭いためにノズル先
端部に乾燥した吐出液体がこびりつき、円滑な液体の吐
出操作が妨げられたり、最悪の場合には、ノズルが完全
な目詰まりしてしまい所望とする作動、例えば、乾燥粉
体を製造する場合には目的とする粒度を有する粉末を製
造することができないなどの障害が発生している。
させる装置として液体吐出装置が知られており、例え
ば、特開平６−４００３０号公報等に開示されている。
しかしながら、その使用態様によっては、液体の吐出
孔、即ち、ノズル先端部近傍に於いて、吐出液体の蒸
発、乾燥、同液体に含まれる固体成分の濃縮などを目的
とし、或いは、吐出液体の瞬時の移動を促進するために
強制的に送風することがあり、これらの装置に於いては
ノズルの先端部が、図３に示すように一体成形された装
置の外枠と同一の高さで形成されている為に、該外枠に
沿い吐出した液体が自身の持つ表面張力により薄い皮膜
を形成しやすい。一旦、この様な被膜が形成されると次
に吐出される液体と相互に作用し合い、吐出液体のノズ
ル近傍での気化や、吐出粒子の飛散等により、或いはこ
れらの現象の総合作用として、吐出される粒子が大きく
なったり、小さくなったりして、均一な粒子としての液
体の吐出を妨げたげられることが屡々起こる。場合によ
っては、被膜となった吐出された液体が乾燥し、ノズル
の穴近傍にこびりつくこともある。この様な場合には、
ノズルの口径そのものが本来非常に狭いためにノズル先
端部に乾燥した吐出液体がこびりつき、円滑な液体の吐
出操作が妨げられたり、最悪の場合には、ノズルが完全
な目詰まりしてしまい所望とする作動、例えば、乾燥粉
体を製造する場合には目的とする粒度を有する粉末を製
造することができないなどの障害が発生している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】 ノズル先端部近傍に
液体が付着することにより、ノズル近傍での気化や、吐
出粒子の飛散等により均一な粒子としての液体の吐出が
妨げられたり、ノズル先端部に乾燥した吐出液体がこび
りつき、円滑な液体の吐出操作が妨げられたり、ノズル
が完全な目詰まりを起こしてしまい所望とする作動がで
きなくなる等の障害を起こさないセラミック製液体吐出
装置用のノズルを提供しようとするものである。
液体が付着することにより、ノズル近傍での気化や、吐
出粒子の飛散等により均一な粒子としての液体の吐出が
妨げられたり、ノズル先端部に乾燥した吐出液体がこび
りつき、円滑な液体の吐出操作が妨げられたり、ノズル
が完全な目詰まりを起こしてしまい所望とする作動がで
きなくなる等の障害を起こさないセラミック製液体吐出
装置用のノズルを提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】 本発明は、以上の課題
に鑑みてなされたものであり、液体吐出装置用ノズルの
先端部分に突出部を形成させることにより上記の目的を
達成できることを見いだして本発明を完成させたもので
ある。即ち、本発明によれば、ノズルを設ける液体吐出
装置の底部として使用するセラミック製のグリーンシー
ト１１をダイ２と、パンチ４を収納したストリッパー３
との間に配置し、パンチ４を動かしてノズルを構成する
穴部を設け、次いで突出部外形を反転させたキャビテイ
を有するダイ２’と、パンチ５を収納したストリッパー
３’との間に、パンチ５のグリーンシート１１への挿入
方向が上記パンチ４をグリーンシートへ挿入した方向と
逆方向になるようにグリーンシートを配置し、パンチ５
を動かしてノズル外形を得、該グリーンシートを焼成す
ることを特徴とする先端部に突出部を有するノズルの製
造方法が提供される。
に鑑みてなされたものであり、液体吐出装置用ノズルの
先端部分に突出部を形成させることにより上記の目的を
達成できることを見いだして本発明を完成させたもので
ある。即ち、本発明によれば、ノズルを設ける液体吐出
装置の底部として使用するセラミック製のグリーンシー
ト１１をダイ２と、パンチ４を収納したストリッパー３
との間に配置し、パンチ４を動かしてノズルを構成する
穴部を設け、次いで突出部外形を反転させたキャビテイ
を有するダイ２’と、パンチ５を収納したストリッパー
３’との間に、パンチ５のグリーンシート１１への挿入
方向が上記パンチ４をグリーンシートへ挿入した方向と
逆方向になるようにグリーンシートを配置し、パンチ５
を動かしてノズル外形を得、該グリーンシートを焼成す
ることを特徴とする先端部に突出部を有するノズルの製
造方法が提供される。
【０００５】 更に、本発明によれば、ストリッパー３
またはストリッパー３’がグリーンシート１１の直前で
機械的に停止し、次いでパンチ４またはパンチ５のみを
動かしてグリーンシートを加工することを特徴とする先
端部に突出部を有するノズルの製造方法が、更にまた、
グリーンシートが平均粒径約０．２μｍ〜１．０μｍの
セラミック粉末から調製されたものであるノズルの製造
方法が提供される。
またはストリッパー３’がグリーンシート１１の直前で
機械的に停止し、次いでパンチ４またはパンチ５のみを
動かしてグリーンシートを加工することを特徴とする先
端部に突出部を有するノズルの製造方法が、更にまた、
グリーンシートが平均粒径約０．２μｍ〜１．０μｍの
セラミック粉末から調製されたものであるノズルの製造
方法が提供される。
【０００６】
【発明の実施の形態】 本発明に係るノズルの製造方法
により製造される液体吐出装置用のノズル１２は、図１
に示したようにその先端部分が突出部１２ａ、１２ｂを
形成しており、上記突出部の内面は吐出口に向かって絞
りテーパ状の形状を形成している。本発明に係るノズル
の製造方法により製造されるノズルは、ノズルの内口径
ｄ1が２５μｍ〜３００μｍ、グリーンシートの厚さｔ1
が５０μｍ〜２００μｍで、同内口径に対する同厚さの
アスペクト比（ｔ1／ｄ1：以下単にアスペクト比とい
う）が０．５〜２．５である。
により製造される液体吐出装置用のノズル１２は、図１
に示したようにその先端部分が突出部１２ａ、１２ｂを
形成しており、上記突出部の内面は吐出口に向かって絞
りテーパ状の形状を形成している。本発明に係るノズル
の製造方法により製造されるノズルは、ノズルの内口径
ｄ1が２５μｍ〜３００μｍ、グリーンシートの厚さｔ1
が５０μｍ〜２００μｍで、同内口径に対する同厚さの
アスペクト比（ｔ1／ｄ1：以下単にアスペクト比とい
う）が０．５〜２．５である。
【０００７】 本発明に係るノズルの製造方法は、図２
（ａ）に示すようにノズルを設ける液体吐出装置の底部
として使用するセラミック製のグリーンシート１１をダ
イ２と、パンチ４を収納したストリッパー３との間に配
置し、図２（ｂ）に示すようにパンチ４を動かしてノズ
ルを構成する穴部を設け、図２（ｃ）に示すように、突
出部外形を反転させたキャビテイを有するダイ２’と、
パンチ５を収納したストリッパー３’との間に、パンチ
５のグリーンシート１１への挿入方向が上記パンチ４を
グリーンシートへ挿入した方向と逆方向になるようにグ
リーンシートを配置し、パンチ５を動かしてノズル外形
を得、この様にして得られたグリーンシートを焼成する
ことより成る。
（ａ）に示すようにノズルを設ける液体吐出装置の底部
として使用するセラミック製のグリーンシート１１をダ
イ２と、パンチ４を収納したストリッパー３との間に配
置し、図２（ｂ）に示すようにパンチ４を動かしてノズ
ルを構成する穴部を設け、図２（ｃ）に示すように、突
出部外形を反転させたキャビテイを有するダイ２’と、
パンチ５を収納したストリッパー３’との間に、パンチ
５のグリーンシート１１への挿入方向が上記パンチ４を
グリーンシートへ挿入した方向と逆方向になるようにグ
リーンシートを配置し、パンチ５を動かしてノズル外形
を得、この様にして得られたグリーンシートを焼成する
ことより成る。
【０００８】 図２（ｃ）に於いて、パンチ５を最下点
まで移動させたとき、パンチ５の側部とダイ２’のｐ点
との間のクリアランスは、狭ければ狭い程よいが、グリ
ーンシートを形成するセラミック粉末の粒子の最大粒径
の２倍ないし５倍程度の幅、即ち、グリーンシートの強
度が極端な低下を示す厚さの範囲内であればよい。グリ
ーンシート打ち抜き時には、真空吸引すると打ち抜きカ
スが打ち抜かれたグリーンシートの穴に付着したり、グ
リーンシートの上面にまであがることが防止できる。更
にパンチ先端部へのパンチカス付着防止にも効果があ
る。このときのダイの形状は、打ち抜き方向に対してテ
−パ状に広がっていると更に効果的である。ストリッパ
ー３またはストリッパー３’がグリーンシート１１の直
前で機械的に停止し、次いでパンチ４またはパンチ５の
みを動かしてグリンーシートを加工する様に構成すると
よりいっそう精度よく製造することが可能となる。
まで移動させたとき、パンチ５の側部とダイ２’のｐ点
との間のクリアランスは、狭ければ狭い程よいが、グリ
ーンシートを形成するセラミック粉末の粒子の最大粒径
の２倍ないし５倍程度の幅、即ち、グリーンシートの強
度が極端な低下を示す厚さの範囲内であればよい。グリ
ーンシート打ち抜き時には、真空吸引すると打ち抜きカ
スが打ち抜かれたグリーンシートの穴に付着したり、グ
リーンシートの上面にまであがることが防止できる。更
にパンチ先端部へのパンチカス付着防止にも効果があ
る。このときのダイの形状は、打ち抜き方向に対してテ
−パ状に広がっていると更に効果的である。ストリッパ
ー３またはストリッパー３’がグリーンシート１１の直
前で機械的に停止し、次いでパンチ４またはパンチ５の
みを動かしてグリンーシートを加工する様に構成すると
よりいっそう精度よく製造することが可能となる。
【０００９】 上記の方法により製造されたノズルは図
１に示したように、ノズル穴の連通部１２ｄが突出部に
向って絞りテーパ形状を呈しており、突出部１２ａ、１
２ｂは曲率が１０μｍ以下のエッジとなっている。テー
パは１／３０〜１／１０程度である。また、突出部１２
ｂからノズル穴のｒを有する上端液体案内部１２ｃを経
由してノズル穴の逃げ曲部１２ｅに至るノズル穴のｒを
有する突出部外側逃げ部１２ｆは焼成時の応力によるセ
ラミックにクラックが発生するのをを防止するために、
適当な曲率Ｒを有することが好ましい。この様なＲとし
ては、Ｒ＝ｔ1／３〜ｔ1／１０である。突出部の先端部
の突き出し量は、流路抵抗を低減させるために設けた１
２ｃの曲率Ｒに相当する長さであることが好ましい。ノ
ズル部の断面形状は、円形、楕円形、正方形、長方形の
何れでもよいが、加工性の点や、液体の吐出効率の点な
どから円形が好ましい。
１に示したように、ノズル穴の連通部１２ｄが突出部に
向って絞りテーパ形状を呈しており、突出部１２ａ、１
２ｂは曲率が１０μｍ以下のエッジとなっている。テー
パは１／３０〜１／１０程度である。また、突出部１２
ｂからノズル穴のｒを有する上端液体案内部１２ｃを経
由してノズル穴の逃げ曲部１２ｅに至るノズル穴のｒを
有する突出部外側逃げ部１２ｆは焼成時の応力によるセ
ラミックにクラックが発生するのをを防止するために、
適当な曲率Ｒを有することが好ましい。この様なＲとし
ては、Ｒ＝ｔ1／３〜ｔ1／１０である。突出部の先端部
の突き出し量は、流路抵抗を低減させるために設けた１
２ｃの曲率Ｒに相当する長さであることが好ましい。ノ
ズル部の断面形状は、円形、楕円形、正方形、長方形の
何れでもよいが、加工性の点や、液体の吐出効率の点な
どから円形が好ましい。
【００１０】 かくして製造したグリーンシート１１を
用いて、本願に係る突出部を有するノズルを製造するに
は、通常吐出装置として一体焼成する。一体焼成するた
めの吐出装置は、例えば、特願平９−３３５２１０号明
細書段落番号００１０〜００１３に記載の方法に準じ
て、製造すればよい。上記のような形状、寸法を有する
ノズルを製造するに当っては、グリンーシート製造に使
用するセラミック材料が、上記のような比較的せん断力
が掛かる加工法を採用するために、グリーンシートのせ
ん断応力が２〜１０ｋｇｆ／ｍｍ２の範囲内にあるもの
が好適に使用できる。
用いて、本願に係る突出部を有するノズルを製造するに
は、通常吐出装置として一体焼成する。一体焼成するた
めの吐出装置は、例えば、特願平９−３３５２１０号明
細書段落番号００１０〜００１３に記載の方法に準じ
て、製造すればよい。上記のような形状、寸法を有する
ノズルを製造するに当っては、グリンーシート製造に使
用するセラミック材料が、上記のような比較的せん断力
が掛かる加工法を採用するために、グリーンシートのせ
ん断応力が２〜１０ｋｇｆ／ｍｍ２の範囲内にあるもの
が好適に使用できる。
【００１１】 この様なせん断応力を有するグリーンシ
ートを調製するための原料として好適なものは、平均粒
径が約０．２μｍ〜１．０μｍのセラミック粉末、例え
ば、ジルコニア、アルミナ、窒化珪素、炭化珪素等が好
適に使用できる。上記の方法により製造されたグリーン
シートを用いて本願発明に係る突出部を有するノズルを
有する液体吐出装置の製造法について、図４を参照しな
がら説明する。
ートを調製するための原料として好適なものは、平均粒
径が約０．２μｍ〜１．０μｍのセラミック粉末、例え
ば、ジルコニア、アルミナ、窒化珪素、炭化珪素等が好
適に使用できる。上記の方法により製造されたグリーン
シートを用いて本願発明に係る突出部を有するノズルを
有する液体吐出装置の製造法について、図４を参照しな
がら説明する。
【００１２】 平均粒径が約０．２μｍ〜１．０μｍの
セラミックスから調製した薄肉平板状のグリーンシート
で形成したノズル部１１であり、上記のようにして作成
したノズル孔１２が設けられているノズルプレート１３
と、同じくセラミックスのグリーンシートで形成され、
且つ、窓部２８が設けられたスペーサプレート２５と、
スペーサプレート２５の一方の側に重ね合わされて窓部
２８を覆蓋する閉塞プレート２３であって、その一部に
液体流入口１６が設けられている、セラミックスのグリ
ーンシートで形成されたプレートとを積層することによ
りポンプ部２１を形成し、かくして得られた構造体を一
体焼成して製造する。
セラミックスから調製した薄肉平板状のグリーンシート
で形成したノズル部１１であり、上記のようにして作成
したノズル孔１２が設けられているノズルプレート１３
と、同じくセラミックスのグリーンシートで形成され、
且つ、窓部２８が設けられたスペーサプレート２５と、
スペーサプレート２５の一方の側に重ね合わされて窓部
２８を覆蓋する閉塞プレート２３であって、その一部に
液体流入口１６が設けられている、セラミックスのグリ
ーンシートで形成されたプレートとを積層することによ
りポンプ部２１を形成し、かくして得られた構造体を一
体焼成して製造する。
【００１３】 かくして焼成、製造した構造体の閉塞プ
レート２３の外面上には、下部電極３１、圧電／電歪層
３２および上部電極３３からなる圧電／電歪素子２２を
配設する。上記のような液体吐出装置によれば、上部電
極３３と下部電極３１との間に電界が生じると、圧電／
電歪層３２が変形し、窓部２８が覆蓋されて形成された
キャビティ（液体加圧室）１５の容積が減少することに
より、キャビティ１５内に充填された液体がキャビティ
１５に連通するノズル孔１２から吐出される。
レート２３の外面上には、下部電極３１、圧電／電歪層
３２および上部電極３３からなる圧電／電歪素子２２を
配設する。上記のような液体吐出装置によれば、上部電
極３３と下部電極３１との間に電界が生じると、圧電／
電歪層３２が変形し、窓部２８が覆蓋されて形成された
キャビティ（液体加圧室）１５の容積が減少することに
より、キャビティ１５内に充填された液体がキャビティ
１５に連通するノズル孔１２から吐出される。
【００１４】 以上のように、本発明において、液体吐
出装置はその原材料として、ジルコニアセラミックスで
構成されていてもよく、この場合には、焼成後の装置そ
のものは耐薬品性、耐熱性、靭性にも優れる為に、例え
ば、被乾燥液体の溶媒が、アセトン系、塩酸系などのセ
ラミック材料前駆体の調製に使用する液体を用いる場合
であっても、また、燃焼用の液体がケロシンやガソリン
であっても適用が可能である。
出装置はその原材料として、ジルコニアセラミックスで
構成されていてもよく、この場合には、焼成後の装置そ
のものは耐薬品性、耐熱性、靭性にも優れる為に、例え
ば、被乾燥液体の溶媒が、アセトン系、塩酸系などのセ
ラミック材料前駆体の調製に使用する液体を用いる場合
であっても、また、燃焼用の液体がケロシンやガソリン
であっても適用が可能である。
【００１５】 次に、本発明に係るノズルの製造方法に
より製造されるノズルを配設した上記のような構成を有
する液体トスと装置を使用して粉末を製造した例により
本発明の具体的な効果を説明する。 （使用例） 特願平９−３３５２１０号の願書に添付の図３に示す構
成から成る粉末製造装置に於いて、本願の図４に示した
液体吐出装置を装着したものを使用した。塩化ジルコニ
ウムのエチルアルコール溶液を、本願の図４に示す構造
の液体吐出装置４０を用い、電磁シャッター４１により
加熱用外部ヒーター４２を備えた石英製加熱炉４３中に
間欠的に噴霧し、加熱炉４３中で噴霧された液滴を乾
燥、熱分解して、ジルコニアセラミック粉末Ａを得た。
より製造されるノズルを配設した上記のような構成を有
する液体トスと装置を使用して粉末を製造した例により
本発明の具体的な効果を説明する。 （使用例） 特願平９−３３５２１０号の願書に添付の図３に示す構
成から成る粉末製造装置に於いて、本願の図４に示した
液体吐出装置を装着したものを使用した。塩化ジルコニ
ウムのエチルアルコール溶液を、本願の図４に示す構造
の液体吐出装置４０を用い、電磁シャッター４１により
加熱用外部ヒーター４２を備えた石英製加熱炉４３中に
間欠的に噴霧し、加熱炉４３中で噴霧された液滴を乾
燥、熱分解して、ジルコニアセラミック粉末Ａを得た。
【００１６】 得られたジルコニアセラミック粉末Ａ
は、平均粒径２０μｍで、この平均粒径に対して、粒子
径分布は、９２％の粒子が±１０％の範囲に入る均一な
ものであった。粉末製造後、ノズルの先端部における固
体成分の付着状況を観察したが、実質的に固体成分の付
着は認められなかった。
は、平均粒径２０μｍで、この平均粒径に対して、粒子
径分布は、９２％の粒子が±１０％の範囲に入る均一な
ものであった。粉末製造後、ノズルの先端部における固
体成分の付着状況を観察したが、実質的に固体成分の付
着は認められなかった。
【００１７】
【発明の効果】 以上説明したように、本発明に係るノ
ズルの製造方法により製造されるノズルは、空気が絶え
ず液体の吐出方向に対して垂直に加えられる例えば乾燥
装置等に置いても、ノズル先端部に於ける吐出された液
体が固体となって付着することが実質的にない。即ち、
本発明に係るノズルの製造方法により製造されるノズル
を使用することにより、ノズル先端部に乾燥した吐出液
体がこびりつき、円滑な液体の吐出操作が妨げられた
り、ノズルが完全な目詰まりを起こしてしまい所望とす
る作動ができなくなる等の障害を起こすことが無いとい
う優れた効果が発揮される。
ズルの製造方法により製造されるノズルは、空気が絶え
ず液体の吐出方向に対して垂直に加えられる例えば乾燥
装置等に置いても、ノズル先端部に於ける吐出された液
体が固体となって付着することが実質的にない。即ち、
本発明に係るノズルの製造方法により製造されるノズル
を使用することにより、ノズル先端部に乾燥した吐出液
体がこびりつき、円滑な液体の吐出操作が妨げられた
り、ノズルが完全な目詰まりを起こしてしまい所望とす
る作動ができなくなる等の障害を起こすことが無いとい
う優れた効果が発揮される。
【００１８】 更に、本発明に係るノズルの製造方法に
より製造される突出部付きノズルを装着した液体吐出装
置に於いては、空気が絶えず液体の吐出方向に対して垂
直に加えられる様な条件下でも、ノズル先端部に於ける
吐出された液体が固体となって付着することが実質的に
ないので装置を使用中に、付着物を取り除くために運転
を中止したりすることもなく長時間連続して運転が可能
となるという優れた効果が発揮される。
より製造される突出部付きノズルを装着した液体吐出装
置に於いては、空気が絶えず液体の吐出方向に対して垂
直に加えられる様な条件下でも、ノズル先端部に於ける
吐出された液体が固体となって付着することが実質的に
ないので装置を使用中に、付着物を取り除くために運転
を中止したりすることもなく長時間連続して運転が可能
となるという優れた効果が発揮される。
【図１】 本発明に係るノズルの製造方法により製造さ
れる突出部を有するノズルの構造を示す為のノズル部の
一部断面図である。
れる突出部を有するノズルの構造を示す為のノズル部の
一部断面図である。
【図２】 本発明に係るノズルの製造方法により製造さ
れる突出部を有するノズルのグリーンシートを製造する
工程を模式的に示す図面である。図２（ａ）は、グリー
ンシート１１をダイ２と、パンチ４を収納したストリッ
パー３との間に配置する工程を、図２（ｂ）はグリーン
シート１１にノズルを構成する穴部を設ける工程を図２
（ｃ）は、ノズルに突出部を設ける工程を、図２（ｄ）
は上記工程終了後の本願に係るノズルが形成されたグリ
ーンシート１１の部分拡大図である。
れる突出部を有するノズルのグリーンシートを製造する
工程を模式的に示す図面である。図２（ａ）は、グリー
ンシート１１をダイ２と、パンチ４を収納したストリッ
パー３との間に配置する工程を、図２（ｂ）はグリーン
シート１１にノズルを構成する穴部を設ける工程を図２
（ｃ）は、ノズルに突出部を設ける工程を、図２（ｄ）
は上記工程終了後の本願に係るノズルが形成されたグリ
ーンシート１１の部分拡大図である。
【図３】 従来例に係るノズルの先端構造を示すための
部分拡大図である。
部分拡大図である。
【図４】 本発明に係るノズルの製造方法により製造さ
れる突出部を有するノズルを装着した液体吐出装置の構
成を示す模式図である。
れる突出部を有するノズルを装着した液体吐出装置の構
成を示す模式図である。
２…ダイ、２’…ダイ、３…ストリッパー、３’…スト
リッパー、４…パンチ、５…パンチ、１１…グリーンシ
ート、１２…ノズル孔、１２ａ…ノズル穴の突出部、１
２ｂ…ノズル穴の突出部、１２ｃ…ノズル穴のｒを有す
る上端液体案内部、１２ｄ…ノズル穴の連通部、１２ｅ
…ノズル穴の逃げ曲部、１２ｆ…ノズル穴のｒを有する
突出部外側逃げ部、１３…ノズルプレート、１５…キャ
ビティ、１６…液体流入口、２１…ポンプ部、２２…圧
電／電歪素子、２３…閉塞プレート、２５…スペーサプ
レート、２７…基板プレート、２８…窓部、３１…下部
電極、３２…圧電／電歪層、３３…上部電極、ｔ1…グ
リーンシートの厚さ、ｄ1…ノズルの内口径、ｄ2…ノズ
ルの外口径、ｐ…ｐ点。
リッパー、４…パンチ、５…パンチ、１１…グリーンシ
ート、１２…ノズル孔、１２ａ…ノズル穴の突出部、１
２ｂ…ノズル穴の突出部、１２ｃ…ノズル穴のｒを有す
る上端液体案内部、１２ｄ…ノズル穴の連通部、１２ｅ
…ノズル穴の逃げ曲部、１２ｆ…ノズル穴のｒを有する
突出部外側逃げ部、１３…ノズルプレート、１５…キャ
ビティ、１６…液体流入口、２１…ポンプ部、２２…圧
電／電歪素子、２３…閉塞プレート、２５…スペーサプ
レート、２７…基板プレート、２８…窓部、３１…下部
電極、３２…圧電／電歪層、３３…上部電極、ｔ1…グ
リーンシートの厚さ、ｄ1…ノズルの内口径、ｄ2…ノズ
ルの外口径、ｐ…ｐ点。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平７−227651（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−205095（ＪＰ，Ａ)
実開 昭64−8953（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B41J 2/135
Claims (3)
- 【請求項１】 ノズルを設ける液体吐出装置の底部とし
て使用するセラミック製のグリーンシート（１１）をダ
イ（２）と、パンチ（４）を収納したストリッパー
（３）との間に配置し、パンチ（４）を動かしてノズル
を構成する穴部を設け、 次いで突出部外形を反転させたキャビテイを有するダイ
（２’）と、パンチ（５）を収納したストリッパー
（３’）との間に、パンチ（５）のグリーンシート（１
１）への挿入方向が上記パンチ（４）をグリーンシート
へ挿入した方向と逆方向になるようにグリーンシートを
配置し、 パンチ（５）を動かしてノズル外形を得、該グリーンシ
ートを焼成することを特徴とする先端部に突出部を有す
るノズルの製造方法。 - 【請求項２】 請求項１に於いて、ストリッパー（３）
またはストリッパー（３’）がグリーンシート（１１）
の直前で機械的に停止し、次いでパンチ（４）またはパ
ンチ（５）のみを動かしてグリンーシートを加工するこ
とを特徴とする先端部に突出部を有するノズルの製造方
法。 - 【請求項３】 該グリンーシートが平均粒径約０．２μ
ｍ〜１．０μｍのセラミック粉末から調製されたもので
ある請求項１又は２に記載のノズルの製造方法。
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| EP99926919A EP1010467A1 (en) | 1998-07-06 | 1999-07-02 | Nozzle for liquid injection device and method of manufacturing the nozzle |
| US09/516,106 US6256884B1 (en) | 1998-07-06 | 2000-03-01 | Nozzle for liquid injection device and method of producing the same |
| US09/863,107 US6585175B2 (en) | 1998-07-06 | 2001-05-22 | Nozzle for liquid injection device and method of producing the same |
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| US3978705A (en) * | 1975-03-14 | 1976-09-07 | Cotton Incorporated | Method and apparatus for the manufacture of a thin sheet orifice plate |
| US4010298A (en) * | 1975-12-03 | 1977-03-01 | Angle William M | Underground irrigation devices and methods of making and using the same |
| JPS5549162A (en) * | 1978-10-03 | 1980-04-09 | Ikeuchi:Kk | Mist producting device |
| JPS648953A (en) | 1987-06-30 | 1989-01-12 | Yokogawa Medical Syst | Mti pulse doppler apparatus |
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| IL100224A (en) * | 1990-12-04 | 1994-10-21 | Dmw Tech Ltd | Spray nozzle |
| JP2500225B2 (ja) * | 1993-01-26 | 1996-05-29 | テーデーエフ株式会社 | ピアシング成形方法および装置 |
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| DE19541174C2 (de) * | 1995-11-04 | 1998-11-26 | Spraying Systems Deutschland G | Hochleistungsstrahldüse |
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- 1998-07-06 JP JP19088698A patent/JP3466480B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-07-02 EP EP99926919A patent/EP1010467A1/en not_active Withdrawn
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-
2000
- 2000-03-01 US US09/516,106 patent/US6256884B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-05-22 US US09/863,107 patent/US6585175B2/en not_active Expired - Fee Related
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| WO2000001492A1 (fr) | 2000-01-13 |
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| US20010022024A1 (en) | 2001-09-20 |
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