JPH11309325A

JPH11309325A - エアフィルタ装置

Info

Publication number: JPH11309325A
Application number: JP12120298A
Authority: JP
Inventors: Tatsuhiko Matsuo; 辰彦松尾; Sumio Shioji; 純夫塩地
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 1998-04-30
Filing date: 1998-04-30
Publication date: 1999-11-09
Anticipated expiration: 2018-04-30
Also published as: JP3371806B2

Abstract

(57)【要約】【課題】半導体工業のクリーンルーム等で使用されるエ
アフィルタ装置１０において、小型化を図り、かつ吹出
気流の均一性を向上させる。【解決手段】フィルタ濾材として圧力損失の少ないＰＴ
ＦＥを用い、ＰＴＦＥの構成を所定の範囲に特定する。
それにより、フィルタ１２の圧力損失を低減し、圧力損
失が低減した分だけ、フィルタ１２に供給される気流が
導入されるチャンバ１７の容積を小さくする。また、チ
ャンバ１７内に堰２１を設けて、チャンバ１７内で気流
の大きな対流渦が生じるのを防止する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体工業のク
リーンルーム等で使用される空気清浄用のエアフィルタ
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】クリーンルーム内の、たとえば熱処理炉
等に用いられるエアフィルタ装置を例にとると、エアフ
ィルタ装置には、送風装置、風路およびフィルタが含ま
れている。かかるエアフィルタ装置は、小型化および被
送風物（熱処理炉等）への吹出気流の均一化が要求され
ている。

【０００３】従来のエアフィルタ装置では、一般に、フ
ィルタにガラス繊維からなる濾材が使用されていたが、
かかるガラス繊維濾材は、圧力損失が大きいという欠点
があった。このため、送風性能の良い大型の送風装置を
使用することによって圧力損失を補う必要があり、エア
フィルタ装置全体としての小型化が困難であるという課
題があった。

【０００４】そこで最近、フィルタ濾材としてＰＴＦＥ
（ポリテトラフルオロエチレン）を用いることが提案さ
れている（特開平７−２２６３８２号公報参照）。かか
るＰＴＦＥは、ガラス繊維に比べて圧力損失が少ないと
いう利点がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、半導体工業
のクリーンルーム等で使用されるフィルタ濾材に、ＰＴ
ＦＥを採用する場合、従来のガラス繊維の濾材をＰＴＦ
Ｅの濾材に単に置き換えることにより実現できるという
ものではなく、エアフィルタ装置全体の形態や構成を考
え、小型でかつ被送風物への吹出気流の均一化が図れる
ように工夫し、創作する必要があった。

【０００６】この発明はかかる背景のもとになされたも
ので、半導体工業のクリーンルーム等で使用される小型
でかつ吹出気流の均一なエアフィルタ装置を提供するこ
とである。

【０００７】またこの発明は、ファンを含む送風装置を
大型化することなく、吹出気流の均一化が図られたエア
フィルタ装置を提供することである。

【０００８】さらにこの発明は、熱処理炉等への装備に
適した改良された小型のエアフィルタ装置を提供するこ
とである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
送風装置、フィルタおよび送風装置の生じる気流をフィ
ルタに導く風路を有し、フィルタを通過した気流が被送
風物へ吹き出すようにしたエアフィルタ装置であって、
前記フィルタは、ポリテトラフルオロエチレン多孔膜か
らなり、５．３ｃｍ／秒の流速で空気を通過させたとき
の圧力損失が２〜１００ｍｍＨ₂Ｏであり、０．１０〜
０．１２μｍのジオクチルフタレートを用いた捕集効率
から下記式（１）により計算されるＰＦ値が少なくとも
８であるフィルタ濾材を含み、

【００１０】

【数２】前記風路のフィルタに臨む空間は、フィルタに進入する
気流の静圧を増すためのチャンバとされていることを特
徴とするものである。

【００１１】請求項２記載の発明は、請求項１記載のエ
アフィルタ装置において、前記圧力損失が２〜５０ｍｍ
Ｈ₂Ｏであり、前記ＰＦ値が少なくとも１８であること
を特徴とするものである。

【００１２】請求項３記載の発明は、請求項２記載のエ
アフィルタ装置において、前記圧力損失が２〜３５ｍｍ
Ｈ₂Ｏであることを特徴とするものである。

【００１３】請求項４記載の発明は、請求項１〜３のい
ずれかに記載のエアフィルタ装置において、前記ＰＦ値
が少なくとも２２であることを特徴とするものである。

【００１４】請求項１〜４の構成によれば、フィルタの
圧力損失が少ないので、チャンバ容積を小さくでき、全
体として小型のエアフィルタ装置とすることができる。

【００１５】請求項５記載の発明は、請求項１〜４のい
ずれかに記載のエアフィルタ装置において、前記送風装
置によって発生される気流は、チャンバに対して側方中
央から流入するように風路が形成されていることを特徴
とするものである。

【００１６】請求項５の構成によれば、チャンバ内に導
入される気流は、側方中央から導入されるので、チャン
バ内での偏流が低減されて対称な流場が形成され、フィ
ルタを通した吹出気流の均一化に貢献する。

【００１７】請求項６記載の発明は、請求項５記載のフ
ィルタ装置において、前記チャンバ内には、進入する気
流を調整するための堰が配置されていることを特徴とす
るものである。

【００１８】請求項７記載の発明は、請求項６記載のエ
アフィルタ装置において、前記堰は、チャンバ内に入っ
た気流がフィルタに対して均一化して流入するように、
チャンバ内に複数個配置されていることを特徴とするも
のである。

【００１９】請求項８記載の発明は、請求項７記載のエ
アフィルタ装置において、前記複数の堰は、チャンバ内
へ流入する気流の進行方向に対して左右対称な位置に配
置されていることを特徴とするものである。

【００２０】請求項６〜８の構成によれば、堰によって
小さな乱流を発生させ、チャンバ内における大きな対流
渦の形成を阻止することができるので、フィルタを通し
た吹出気流の均一化を図りやすい。

【００２１】請求項９記載の発明は、請求項１〜８のい
ずれかに記載のエアフィルタ装置において、前記フィル
タ濾材は、ポリテトラフルオロエチレン多孔膜の少なく
とも片面に通気性支持材料が備えられていることを特徴
とするものである。

【００２２】請求項９の構成によれば、フィルタ濾材の
強度が向上し、取扱性が優れるようになる。よってエア
フィルタ装置への装着が便利である。請求項１０記載の
発明は、請求項９記載のエアフィルタ装置において、フ
ィルタは、枠体と、枠体内に波状に曲折された状態で収
納された前記フィルタ濾材と、枠体とフィルタ濾材との
間隙をシールするシール材とを含むことを特徴とするも
のである。

【００２３】請求項１０の構成によれば、フィルタ濾材
を含むフィルタがユニット化された構成であるから、取
扱いが便利で、エアフィルタ装置への装着が容易に行え
る。

【００２４】請求項１１記載の発明は、請求項９記載の
エアフィルタ装置において、フィルタ濾材は、検出され
る有機物の検出量の最大値が、フィルタ濾材１ｇ当たり
３ｎｇ以下であることを特徴とするものである。

【００２５】請求項１２記載の発明は、請求項９記載の
エアフィルタ装置において、前記フィルタ濾材は、通気
性支持材料から８０℃の条件で検出される有機物の総量
が通気性支持材料２５０ｍｇ当たり１０００ｎｇ以下で
あることを特徴とするものである。

【００２６】請求項１３記載の発明は、請求項９記載の
エアフィルタ装置において、前記フィルタ濾材の通気性
支持材料は、高温加圧耐久度が０〜１５．０であること
を特徴とするものである。

【００２７】請求項１４記載の発明は、請求項９記載の
エアフィルタ装置において、前記フィルタ濾材の通気性
支持材料は、実質的にポリエステルおよびポリアミドか
ら選ばれた少なくとも１つの材料であることを特徴とす
るものである。

【００２８】請求項１１〜１４の構成によれば、有機物
発生の低いフィルタとすることができ、また、難燃性不
織布を用いた場合は、難燃性に優れたフィルタとするこ
とができる。よって、クリーンルーム等での使用、特に
熱処理炉等への適用に優れたエアフィルタ装置とするこ
とができる。

【００２９】請求項１５記載の発明は、主面および主面
の周囲から主面に対して交差方向に延びる側面で囲まれ
たチャンバと、気流の進入口が前記主面に対向するよう
にチャンバに取り付けられたフィルタとを含み、チャン
バの側面にチャンバ内へ気流を導入する導入口が形成さ
れているエアフィルタ装置において、前記主面には、導
入口からチャンバ内へ導入される気流に対して、その進
行方向に気流を乱し、気流に所定の調整を加えるための
堰が設けられていることを特徴とするものである。

【００３０】請求項１６記載の発明は、請求項１５記載
のエアフィルタ装置において、前記堰は、チャンバ内に
入った気流がフィルタに対して均一化して流入するよう
に、チャンバ内に複数個配置されていることを特徴とす
るものである。

【００３１】請求項１７記載の発明は、請求項１６記載
のエアフィルタ装置において、前記複数の堰は、チャン
バ内へ流入する気流の進行方向に対して左右対称な位置
に配置されていることを特徴とするものである。

【００３２】請求項１５〜１７の構成によれば、被送風
物への吹出気流の均一化の性能が向上したエアフィルタ
装置とすることができる。

【００３３】請求項１８記載の発明は、請求項１〜１７
のいずれかに記載のエアフィルタ装置は、熱処理炉に用
いられることを特徴とするものである。

【００３４】請求項１９記載の発明は、請求項１〜１７
のいずれかに記載のエアフィルタ装置は、拡散炉に用い
られることを特徴とするものである。

【００３５】この発明のエアフィルタ装置は、半導体ク
リーンルームに配置された熱処理炉や拡散炉などの高熱
を発する半導体製造装置に対して特に有益である。

【００３６】

【発明の実施の形態】以下には、図面を参照して、この
発明の実施の一形態にかかるエアフィルタ装置の具体例
について説明をする。

【００３７】図１は、この発明の一実施形態にかかるエ
アフィルタ装置の正面図であり、図２は、その平面図で
ある。図１および図２共に、装置の構成の概要を示して
おり、説明の便宜上、内部構成も図示されている。

【００３８】図１および図２を参照して説明すると、エ
アフィルタ装置１０には、送風装置１１、フィルタ１２
および風路１３が備えられている。

【００３９】送風装置１１は、モータ１４およびモータ
１４により回転されるファン（たとえばシロッコファ
ン）１５を備え、ファン１５が回転されることにより、
取入口１６から取り込まれた空気を風路１３へ送り出
す。

【００４０】風路１３は、ファン１５により送られてく
る気流をフィルタ１２に導くものである。風路１３のう
ちのフィルタ１２に臨む空間１７は、チャンバとされて
いる。チャンバ１７は、その中に導入された気流の動圧
を静圧に変換し、気流の静圧を増す作用をする空間であ
る。チャンバ１７の容積を小さくすることにより、エア
フィルタ装置１全体としての小型化が達成できるので、
チャンバ１７の形状やフィルタ１２の構成に工夫がされ
ている。

【００４１】具体的に説明すると、チャンバ１７は、主
面１７ａ、主面１７ａの周囲から主面１７ａに対してほ
ぼ直交方向（図１では下方）に延びる左側面１７ｂ、右
側面１７ｃ、前側面１７ｄおよび後側面１７ｅで囲まれ
た空間であり、主面１７ａに対して距離（高さ）Ｈをあ
けて、主面１７ａに対向するようにフィルタ１２が取り
付けられている。

【００４２】また、右側面１７ｃのほぼ中央（平面視に
おいて上下方向にほぼ中央）には、チャンバ１７内へ気
流を導入するための導入口１８が形成されている。送風
装置１１により発生される気流は、この導入口１８から
チャンバ１７内に導かれる。すなわち、チャンバ１７に
対してその側方中央部から気流が矢印Ａ１方向に導入さ
れ、導入された気流はチャンバ１７内で静圧変換作用を
受け、フィルタ１２を通過して矢印Ａ２方向に吹き出
し、被送風物、たとえば熱処理炉内や熱拡散炉内等へ吹
き出される。

【００４３】導入口１８を右側面１７ｃのほぼ中央部に
形成したのは、チャンバ１７内に導入される気流が、側
方中央から入ることにより、チャンバ１７内で気流が大
きく対流し渦を生成することが少なくなると考えたもの
である。

【００４４】この実施形態におけるチャンバ１７の具体
的な寸法を例示すると、次のとおりである。すなわち、
高さＨ＝３０ｍｍ、幅Ｗ＝８７７ｍｍ、奥行きＤ＝２７
４ｍｍである。また導入口１８は、奥行き７５ｍｍ、高
さ８０ｍｍである。このうちの高さＨは、従来のガラス
繊維濾材を用いたフィルタを使用する場合に比べて、約
半分の寸法にすることができた。この点について、この
発明完成までの経過を交えてより具体的に説明する。

【００４５】一般に、チャンバの容積を小さくすると、
チャンバ内の空気の静圧が増す反面、圧力損失が大きく
なり、チャンバ内へ空気を導入するための送風装置の大
型化が必要であると考えられていた。そこで、本願の発
明者は、従来のガラス繊維濾材よりも圧力損失の少ない
ＰＴＦＥ多孔膜濾材を採用することを試み、チャンバ容
積を小さくした場合の気流シミュレーションを行った。
その結果、チャンバ容積を小さくすると、圧力損失は増
すが、チャンバ内の静圧が増加し、チャンバ内の空気流
の速度分布が改善され、吹出気流の均一化が図れること
が見出された。そして圧力損失の増加は、使用するＰＴ
ＦＥ多孔膜濾材の構成を工夫することにより補償できる
ことを見出し、本願発明を創作した。

【００４６】上記説明では、エアフィルタ装置１０が横
方向（チャンバ１７が横長方向）に配置されており、フ
ィルタ１２を介して下向きに空気が吹き出される例を説
明した。しかし、このエアフィルタ装置１０は、送風装
置１１がたとえば上方または下方にくるように配置し、
フィルタ１２を介して吹き出される空気が水平方向に吹
き出される状態で使用することもできる。

【００４７】また、チャンバ１７およびフィルタ１２
は、平面視で長方形状の例を取り上げたが、エアフィル
タ装置が適用される被送風物（熱処理炉や熱拡散炉等）
の形状に合わせて、フィルタ１２およびチャンバ１７の
平面視における形状を変更できる。たとえば正方形や円
形等であっても構わない。さらに、上記実施形態では、
送風装置１１とチャンバ１７との間に位置する風路１３
はごく短いが、送風装置１１がチャンバ１７から離れた
位置に配置されており、その間が比較的長い風路１３で
接続されていてもよい。

【００４８】上記の実施形態では、送風装置１１、風路
１３、チャンバ１７およびフィルタ１２が１つのユニッ
トとして構成されており、このユニット化されたエアフ
ィルタ装置１０が、たとえば半導体工業のクリーンルー
ム内に設けられた熱処理炉や熱拡散炉等の被送風物に装
着される。

【００４９】次に、上記エアフィルタ装置１０における
チャンバ１７の内形状の改良について説明する。

【００５０】前述したようにエアフィルタ装置１０にお
いては、フィルタ１２からの吹出気流を均一にすること
が要求されるが、フィルタ１２からの吹出気流を均一に
するためには、チャンバ１７内に導入された気流が大き
く対流して渦を生じることを防止する必要がある。なぜ
なら渦、特にチャンバ１７の高さＨ方向を中心軸とする
水平方向の対流渦が生じると、その対流渦に対向する部
分のフィルタ１２からの吹出気流が減少するからであ
る。

【００５１】そこで、好ましい実施形態では、図３の
Ａ，ＢおよびＣに示すように、チャンバ１７の主面１７
ａに堰２１を設けた。堰２１を設けると、Ａ１方向に導
入される気流が部分的に阻害されて、縦方向（チャンバ
１７の高さＨ方向）に小さな気流の渦（水平方向を中心
軸とする渦）が発生する。そのために水平方向での大き
な対流渦（高さＨ方向を中心軸とする大きな対流渦）の
形成を防止できることが実験上わかった。

【００５２】その結果、この実施形態では、チャンバ１
７内に、圧力損失を増大しない程度の抵抗体（堰）２１
を設けて、該堰２１により乱流を発生させ、フィルタ１
２から吹き出す空気の風速を均一化するようにした。

【００５３】次に、具体的な堰２１の大きさや配置につ
いて説明する。

【００５４】図３のＡを参照して、堰２１は、Ａ１方向
に流入される気流の進入方向に対して、前方側に位置す
る前方堰２１Ｆと後方側に位置する後方堰２１Ｂとの２
段構成にすることができる。あるいは、図３のＢに示す
ように、後方側の堰２１Ｂだけの１段構成にすることも
できる。

【００５５】さらに、堰２１は、適度な数を配置するこ
とができるが、好ましくは、図３のＣに示すように、導
入口１８からＡ１方向へ流入する気流に対して左右対称
位置に配置されているのがよい。

【００５６】また堰２１は、チャンバ１７の高さＨに比
べてたとえば３分の１程度（Ｈ＝３０ｍｍの場合、１０
ｍｍ程度）の高さの突起にすることが好ましい。

【００５７】堰２１は、前述したように、チャンバ１７
内で水平方向に大きな対流渦が形成しないように、部分
的に小さな縦方向の流れを形成するように、寸法が設定
され、必要数が配置されていればよい。

【００５８】次に、フィルタ１２の好ましい構成につい
て説明する。

【００５９】図４は、フィルタ１２の斜視図である。フ
ィルタ１２は、枠体６，７，８，９と、枠体６，７，
８，９内に収容されたフィルタ濾材１を有している。フ
ィルタ濾材１は、たとえば約４０ｍｍの幅に折り畳まれ
ており、正面から見てスペーサ５によって約２ｍｍの隙
間（山と山の間隔）が形成されている。スペーサ５は、
ホットメルト接着剤（たとえばダイアボンド（商品
名））からなる帯状またはリボン状をしている。スペー
サ５の列と列との間隔は１０〜５０ｍｍ程度の範囲が好
ましい。好適には２５ｍｍ程度である。そしてフィルタ
濾材１の周囲と枠体６，７，８，９の内面とは、周囲か
ら空気が漏れないように、ホットメルト接着剤（たとえ
ばダイアボンド（商品名））によってシールされてい
る。

【００６０】図５は、図４のスペーサ５の部分の断面図
である。フィルタ濾材１の外側から、ほぼ中央部の部分
まで、約２０ｍｍの長さでスペーサ５が接着されてい
る。スペーサ５の太さは、約１ｍｍである。このスペー
サ５の設置により、流通空気を均一にフィルタ濾材１を
通過させることができる。

【００６１】次に、この発明に適用可能な好ましいフィ
ルタ濾材の構成について説明する。

【００６２】上記のフィルタ濾材は、例えば、次のよう
にして製造することができる。

【００６３】まず、ＰＴＦＥファインパウダーを所定の
形状に成型する。前記ＰＴＦＥファインパウダーは、通
常、数平均分子量が５０万以上、好ましくは２００万〜
２０００万のものが用いられる。また、前記ＰＴＦＥフ
ァインパウダーの成型は、例えば、公知のペースト押出
法で行うことができる。この成型の際、通常、ＰＴＦＥ
ファインパウダー１００重量部に対して、液状潤滑剤
が、１５〜４０重量部、好ましくは２０〜３０重量部の
範囲で配合される。液状潤滑剤としては、従来からペー
スト押出法で用いられている公知のものが使用できる。
また、前記ペースト押出に先立って予備成形を行っても
よい。一般には、上記ＰＴＦＥファインパウダーと液状
潤滑剤との混合物を予備成形し、ついでペースト押出機
により押出成形するか、またはカレンダーロールなどに
より圧延し、あるいは押出し後圧延するなどして所定形
状の成形体を製造する。成形体の形状は特に限定され
ず、後述する加熱処理の後、延伸し得るものであればよ
い。好ましい成形体の形状としては、テープ状があげら
れる。

【００６４】つぎに、前記ペースト押出成型により得ら
れた未焼成成形体を、ＰＴＦＥ焼成体の融点以上、好ま
しくはＰＴＦＥ焼成体の融点（約３２７℃）とＰＴＦＥ
未焼成体の融点（約３４７℃）との間の温度において加
熱処理し、０．３未満の焼成度のＰＴＦＥ半焼成成形体
を製造する。前記焼成度の好ましい範囲は、０．１〜
０．２９の焼成度である。

【００６５】なお、本発明のＰＴＦＥ半焼成成形体の焼
成度は、具体的には以下のようにして決定される。

【００６６】まず、ＰＴＦＥ未焼成体から３．０±０．
１ｍｇの試料を秤量して切り取り、この試料を用いて結
晶融解曲線を求める。同様にＰＴＦＥ半焼成体から３．
０±０．１ｍｇの試料を秤量して切り取り、この試料を
用いて結晶融解曲線を求める。

【００６７】前記結晶融解曲線は、示差走査熱量計（以
下「ＤＳＣ」という。ＤＳＣとしては、例えば、島津製
作所社製のＤＳＣ−５０型があげられる）を用いて得る
ことができる。まず、ＰＴＦＥ未焼成体の試料を、ＤＳ
Ｃのアルミ製パンに仕込み、これの融解熱およびＰＴＦ
Ｅ焼成体の融解熱をつぎの手順で測定する。

【００６８】（１）試料を５０℃／分の加熱速度で２５
０℃まで加熱し、ついで１０℃／分の加熱速度で２５０
℃から３８０℃まで加熱する。この加熱工程において現
れる吸熱カーブのピーク位置を「ＰＴＦＥ未焼成体の融
点」または「ＰＴＦＥファインパウダーの融点」と定義
する。

【００６９】（２）３８０℃まで加熱した直後、試料を
１０℃／分の冷却速度で２５０℃に冷却する。

【００７０】（３）試料を再び１０℃／分の加熱速度で
３８０℃に加熱する。この加熱工程において現れる吸熱
カーブのピーク位置を「ＰＴＦＥ焼成体の融点」と定義
する。

【００７１】続いて、ＰＴＦＥ半焼成体について結晶融
解曲線を前記工程（１）に従って記録する。ＰＴＦＥ未
焼成体、ＰＴＦＥ焼成体およびＰＴＦＥ半焼成体の融解
熱は、吸熱カーブとベースラインとの間の面積に比例
し、前記島津製作所社製ＤＳＣ−５０型では、解析温度
を設定すれば自動的に計算される。

【００７２】そして、ＰＴＦＥの焼成度は、以下の式
（２）により計算できる。

【００７３】焼成度＝（△Ｈ₁−△Ｈ₃）／（△Ｈ₁−△Ｈ₂） …（２）前記式２において、△Ｈ₁はＰＴＦＥ未焼成体の融解
熱、△Ｈ₂はＰＴＦＥ焼成体の融解熱、△Ｈ₃はＰＴＦ
Ｅ半焼成体の融解熱である。

【００７４】なお、ＰＴＦＥ半焼成体については、特開
昭５９−１５２８２５号公報に詳細な記載がある。

【００７５】つぎに、このような加熱処理により得られ
た特定の焼成度を有するＰＴＦＥ半焼成整形体を、二軸
方向（ＭＤ：長手方向、ＴＤ：幅方向）に少なくとも７
００倍、好ましくは７００〜１５００倍の伸張面積倍率
で延伸する。この場合、ＭＤ方向には少なくとも１５
倍、好ましくは１５〜３０倍、かつＴＤ方向に少なくと
も４０倍、好ましくは４０〜６０倍の延伸倍率で延伸す
ることが重量である。すなわち、特定の低い焼成度を有
するＰＴＦＥ半焼成整形体を、ＭＤ方向に比較的高い延
伸倍率で、かつＴＤ方向に極めて高い延伸倍率で、しか
もトータルとして最終的に極めて高い伸張面積倍率とな
るように延伸することにより、本発明の所定の物性を有
するＰＴＦＥ多孔膜が得られるのである。

【００７６】前記ＭＤ方向の延伸およびＴＤ方向への延
伸は、それぞれ延伸装置を用いて行われる。このとき、
ＭＤ方向の延伸は、ＰＴＦＥ焼成体の融点以下の温度で
行うことが好ましい。また、ＴＤ方向の延伸は、通常２
００〜４２０℃の雰囲気温度で行うことができる。

【００７７】延伸したＰＴＦＥ多孔膜は、ＰＴＦＥ未焼
成体の融点（約３４７℃）以上の温度でヒートセットし
てもよい。

【００７８】このようにして得られた延伸ＰＴＦＥ多孔
膜は、ＰＴＦＥ繊維が相互に絡まり合って連結され多孔
質となっている。また、この延伸ＰＴＦＥ多孔膜では、
実質的に結節部が存在しない繊維のみからなる構造であ
る。そして、この延伸ＰＴＦＥ多孔膜は、５．３ｃｍ／
秒の流速で空気を通過させた時の圧力損失が２〜１００
ｍｍＨ₂Ｏであり、粒子径０．１０〜０．１２μｍのＤ
ＯＰを用いた捕集効率から計算される前記ＰＦ値が少な
くとも８である。

【００７９】圧力損失は、好ましくは２〜５０ｍｍＨ₂
Ｏの範囲、さらに好ましくは２〜３５ｍｍＨ₂Ｏの範囲
である。

【００８０】高性能（ＨＥＰＡ、ＵＬＰＡタイプ）のエ
アフィルタ濾材を得たい場合は、前記製法で得られた比
較的低圧力損失を有するＰＴＦＥ多孔膜を適宜何枚か重
ね合わせて、本発明のフィルタ濾材としてもよい。すな
わち、平均孔径、圧力損失およびＰＦ値が前記本発明の
所定の範囲にあるＰＴＦＥ多孔膜を、例えば、２枚重ね
合わせれば、平均孔径は同じで、圧力損失が概ね２倍と
なるが、捕集効率が１枚よりも高いものが得られる。し
たがって、この２枚重ねのフィルタ濾材が、圧力損失を
満足するならば、捕集効率性能がより高いものとなる。

【００８１】次に、前記ＰＦ値について説明する。

【００８２】フィルタ濾材として真に要求される性能
は、使用される目的、場所に応じた捕集効率の向上と圧
力損失の低下を同時に満たすことであると言える。この
性能を、捕集効率と圧力損失とのバランスで数値化した
ものが本発明でいうＰＦ値である。

【００８３】本発明のフィルタ濾材のＰＦ値は、少なく
とも８である。また、好ましくは、ＰＦ値は、少なくと
も１８である。さらに好ましくは、ＰＦ値は少なくとも
２２である。

【００８４】以上をまとめれば、フィルタ濾材は、ＰＴ
ＦＥ多孔膜からなり、５．３ｃｍ／秒の流速で空気を通
過させた時の圧力損失が２〜１００ｍｍＨ₂Ｏであり、
０．１０〜０．１２μｍのジオクチルフタレート（以下
「ＤＯＰ」という）を用いた捕集効率から下記式（１）
により計算されるＰＦ値が少なくとも８であることが好
ましい。

【００８５】

【数３】かかる圧力損失およびＰＦ値を有するフィルタ濾材は、
優れた捕集効率および圧力損失を兼ね備える。

【００８６】また、以下に説明するフィルタ濾材を使用
すると、トータルオーガニックカーボン（ＴＯＣ）の発
生を極めて少なくすることができる。

【００８７】好ましいフィルタ濾材は、（１）フィルタ
濾材から検出される有機物の検出量の最大値が、フィル
タ濾材１ｇ当たり３ｎｇ以下であることが好ましい。

【００８８】また、ポリテトラフルオロエチレン多孔膜
の少なくとも片面に通気性支持材料を備えたフィルタ濾
材であって、フィルタ濾材から検出される有機物の検出
量の最大値が、フィルタ濾材１ｇ当たり３ｎｇ以下であ
ることが好ましい。

【００８９】また、この場合、通気性支持材料は実質的
にポリエステルおよびポリアミドから選ばれる少なくと
も１つの材料で形成されていることが好ましい。

【００９０】また、フィルタ濾材は、（2)ポリテトラフ
ルオロエチレン多孔膜の少なくとも片面に通気性支持材
料を備えたフィルタ濾材であって、前記通気性支持材料
から８０℃の条件で（後の定義された測定方法で）検出
される有機物の総量が通気性支持材料２５０ｍｇ当たり
１０００ｎｇ以下（下限は検出限界値であり、好ましく
は０）であることが好ましい。

【００９１】また、この場合、通気性支持材料は実質的
にポリエステルおよびポリアミドから選ばれる少なくと
も１つの材料で形成されていることが好ましい。特に、
実質的にポリエステル材料からなることが好ましい。

【００９２】また、この場合、通気性支持材料の後で定
義された試験方法で測定される高温加圧耐久度が０〜１
５．０であることが好ましい。さらに前記高温加圧耐久
度は０〜８．０、特に０〜５．０であることが好まし
い。

【００９３】また、フィルタ濾材は、（３）ポリテトラ
フルオロエチレン多孔膜の少なくとも片面に通気性支持
材料を備えたフィルタ濾材であって、前記通気性支持材
料の高温加圧耐久度が０〜１５．０であることが好まし
い。前記高温加圧耐久度が低いとＴＯＣ発生が少ないこ
とが見出された。本発明における通気性支持材料は、後
の定義された試験方法で測定される高温加圧耐久度が０
〜１５．０であり、好ましくは０〜８．０、特に好まし
くは０〜５．０である。

【００９４】また、この場合、通気性支持材料は実質的
にポリエステルおよびポリアミドから選ばれる少なくと
も１つの材料で形成されていることが好ましい。特に、
実質的にポリエステル材料からなることが好ましい。

【００９５】また、フィルタ濾材は、（４）ポリテトラ
フルオロエチレン多孔膜の少なくとも片面に通気性支持
材料を備えたフィルタ濾材であって、前記通気性支持材
料が実質的にポリエステルおよびポリアミドから選ばれ
た少なくとも１つの材料であることが好ましい。さらに
は、通気性支持材料が実質的にポリエステル材料からな
り、特に実質的にポリエステル材料で形成され、かつポ
リオレフィンを含まない材料であることが好ましい。

【００９６】また、この場合、前記高温加圧耐久度が０
〜１５．０であることが好ましい。好ましくは０〜８．
０、特に好ましくは０〜５．０である。

【００９７】すなわち、種々のポリエステル材料、ポリ
アミド材料の中でも、前記高温加圧耐久度が前記の範囲
であればＴＯＣ発生の少ないフィルタ濾材が達成可能と
なることが見出された。

【００９８】なお、前記（１）〜（４）において、実質
的にポリエステルおよびポリアミドから選ばれた少なく
とも１つの材料からなる通気性支持材料の形態として
は、不織布、織布、メッシュ、多孔膜等があり、好まし
くは不織布である。また不織布としては、製法により、
（１）長繊維：スパンボンド不織布、メルトブロー不織
布、（２）短繊維：サーマルボンド不織布、湿式抄紙不
織布があるが、好ましくは長繊維スパンボンド不織布で
あり、これを用いると極めてＴＯＣ発生が少ないことが
見出された。湿式抄紙ＰＥＴ繊維不織布は製法上必然的
に油剤等の添加剤が付与されるため、この油剤等が材料
自身から脱離し、不純物（ＴＯＣ）発生の原因となる場
合があるので、そのまま、すなわち、市販されている状
態のままでの使用は好ましくない。この場合、油剤等を
除去して使用できる。不織布の構成としては単一繊維を
用いた不織布、混紡繊維を用いた不織布、芯鞘繊維を用
いた不織布、積層構造を有する不織布等がある。このう
ち単一繊維を用いた不織布はコストが安いという利点が
あり、芯鞘繊維を用いた不織布は収縮しにくく、加工し
やすいという利点があり、それぞれ好ましい。ポリアミ
ドとしては、ナイロン−６、ナイロン−６，６等が例示
できる。ポリエステルとしては、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン−
２，６，ナフタレート等が例示でき、少なくとも１２０
℃以上の融点を有することが好ましい。単独のポリエス
テルからなる場合（融点が１つ）、少なくとも１２０
℃、好ましくは１８０℃以上の融点を有する。混紡、芯
鞘等少なくとも２つの融点を有する場合、高融点側：２
４０〜２８０℃、低融点側：少なくとも１２０℃、好ま
しくは１８０℃以上の融点を有する繊維である。融点が
１２０℃より低いとＴＯＣ発生が多くなり好ましくな
い。

【００９９】また前記フィルタ濾材においては、通気性
支持材料が、実質的にポリエステルで形成され、かつポ
リオレフィンを含まない通気性支持材料であることが好
ましい。

【０１００】また前記フィルタ濾材においては、ポリエ
ステル材料が、ポリエチレンテレフタレートおよびポリ
ブチレンテレフタレートから選ばれる少なくとも１つの
ポリマーであることが好ましい。

【０１０１】また前記フィルタ濾材においては、ポリエ
ステル材料が、ポリエステル繊維からなる不織布である
ことが好ましい。

【０１０２】また前記フィルタ濾材においては、不織布
が長繊維不織布であることが好ましい。

【０１０３】また前記フィルタ濾材においては、長繊維
不織布がスパンボンド不織布であることが好ましい。

【０１０４】また、前記（１）〜（４）において、フィ
ルタ濾材は、ＰＴＦＥ多孔膜の両面に通気性支持材料を
備えたものが好ましい。

【０１０５】さらに、前記（１）〜（４）のフィルタ濾
材およびフィルタ濾材における通気性支持材料は、後述
のさらなる特徴を有することが好ましい。

【０１０６】フィルタ濾材は、ＰＴＦＥ多孔膜は１層あ
るいは２層以上からなるものであってよく、また、フィ
ルタ濾材は、ＰＴＦＥ多孔膜の片面に通気性支持材料を
備えたもの、ＰＴＦＥ多孔膜の両面に通気性支持材料を
備えたもの、ＰＴＦＥ多孔膜と通気性支持材料を交互
に、あるいはランダムに備えたもの等を挙げることがで
きる。

【０１０７】特にＰＴＦＥ多孔膜の両面に通気性支持材
料を備えたフィルタ濾材は、ＰＴＦＥ多孔膜にピンホー
ル等の傷が付くことを防止できるので好ましい。

【０１０８】また、前記フィルタ濾材において、前記Ｐ
ＴＦＥ多孔膜は特に限定されず、公知のものが使用でき
る。なかでも、半導体、液晶等の製造クリーンルームや
これら製造装置に用いられるフィルタユニット（エアフ
ィルタ装置）に要求される浮遊微粒子の捕集効率、圧力
損失等の性能（ＨＥＰＡフィルタ（High EfficiencyPar
ticulate Airfilter)、ＵＬＰＡフィルタ（Ultra Low P
enetration Airfilter)と同等以上の性能）を達成可能
なＰＴＦＥ延伸多孔膜が好ましい。例えば、５．３ｃｍ
／秒の流速で空気を透過させたときの圧力損失が１０〜
１００ｍｍＨ₂Ｏの範囲であり、０．１０〜０．１２μ
ｍのジオクチルフタレート（ＤＯＰ）の捕集効率が、９
９．０％以上であることが好ましい。このようなＰＴＦ
Ｅ多孔膜は延伸多孔膜であって、特開平５−２０２２１
７号公報、ＷＯ９４／１６８０２号公報等に記載されて
いる。

【０１０９】前記ＰＴＦＥ多孔膜は、公知の製法により
容易に得ることができる。例えば、ＰＴＦＥファインパ
ウダーを押出助剤とともにペースト押出し、圧延によっ
てテープを得、このテープを未焼成のまま、または半焼
成した後、二軸方向に延伸することにより得られる。詳
細は、先に挙げた特開平５−２０２２１７号公報、ＷＯ
９４／１６８０２号公報等に記載されている。

【０１１０】また前記フィルタ濾材においては、通気性
支持材料は、ＰＴＦＥ延伸多孔膜を補強、保護するため
に用いられ、それによりフィルタ濾材の取扱い性が向上
すると共に、プリーツ等の形状のエレメント加工におけ
る加工性が向上する。

【０１１１】通気性支持材料はＰＴＦＥ多孔膜より圧力
損失が小さいものが好ましい。また、通気性支持材料
は、不織布、織布、メッシュ、多孔膜、編物等から構成
されていてもよく、好ましくは不織布である。また、通
気性支持材料は繊維材料からなっていてもよく、この場
合０．１〜１００μｍの平均繊維径を有することが好ま
しい。さらに通気性支持材料は有機高分子からなり、融
点は３００℃以下であることが好ましい。ＰＴＦＥ多孔
膜に通気性支持材料を積層する場合、熱融着することが
好ましい。この時、通気性支持材料の融点が３００℃を
超えるものでは、３００℃を超える温度で熱融着されて
積層されるため、最終的に所望の性能を有するフィルタ
濾材が得られないことがある。

【０１１２】通気性支持材料としては、実質的にポリエ
ステル繊維で形成されている通気性支持材料であること
が好ましい。また通気性支持材料はポリエステル繊維で
形成され、かつポリオレフィンを含まない通気性支持材
料であることが好ましい。また通気性支持材料は、少な
くとも２つの融点を有する通気性支持材料であることが
好ましい。ここでポリエステルとは、ポリエチレンテレ
フタレート（種々の融点を有するＰＥＴ）、ポリブチレ
ンテレフタレート（種々の融点を有するＰＢＴ）等をい
う。

【０１１３】好ましくは、ポリエステルが、ＰＥＴおよ
びＰＢＴから選ばれる少なくとも一方のポリマーである
ことである。また、これらの共重合体であってもよい。
すなわち、フィルタ濾材において、前記通気性支持材料
が、実質的に、ＰＥＴおよびＰＢＴの少なくとも一方の
樹脂で形成されていることが好ましい。

【０１１４】なお、通気性支持材料がガラス繊維からな
るもの、例えばガラス繊維の不織布、ガラス繊維ペーパ
ー、ガラス繊維エアフィルタ濾材等は、ボロン（Ｂ）の
発生の原因となるので好ましくない。前記のフィルタ濾
材からは、ボロン（Ｂ）の発生がない。

【０１１５】また前記フィルタ濾材においては、ポリエ
ステル繊維材料は、不織布であることが好ましく、特に
長繊維を用いた不織布が好ましい。長繊維を用いた不織
布は、溶融紡糸の際に不織布を形成でき（紡糸直結不織
布）、最初から清浄な状態に保つことができるからであ
る。長繊維を用いた不織布としては、例えばスパンボン
ド法、フラッシュ紡糸法、メルトブロー法によるものな
どがある。

【０１１６】特にスパンボンド法が好ましい。不織布に
おいては、目付は１０〜６００ｇ／ｍ²、好ましくは１
５〜３００ｇ／ｍ²、さらに好ましくは１５〜１００ｇ
／ｍ ²である。１００ｇ／ｍ²を超えると、フィルタ濾
材を例えばプリーツ型のエアフィルタに加工する際に加
工がしにくくなり（例えば、折りにくくなり）、また、
コスト高となる傾向がある。

【０１１７】短繊維を用いた不織布は、開繊を行うため
にカードを通過させる必要があり、この工程通過性を保
つために必然的に油剤を付与される。この場合、油剤を
除去して使用することができる。短繊維を用いた不織布
としては、ニードルパンチ法、ウォータージェット法、
ステッチボンド法によるものなどがある。

【０１１８】ポリエステル繊維不織布の種類としては、
例えば、ＰＥＴ繊維不織布、ＰＢＴ繊維不織布、芯成分
がＰＥＴで鞘成分がＰＢＴである芯鞘構造の不織布（Ｐ
ＥＴ／ＰＢＴ芯鞘構造不織布）、芯成分が高融点ＰＥＴ
で鞘成分が低融点ＰＥＴである芯鞘構造の不織布（高融
点ＰＥＴ／低融点ＰＥＴ芯鞘構造不織布）、ＰＥＴ繊維
およびＰＢＴ繊維の複合繊維からなる不織布、高融点Ｐ
ＥＴ繊維および低融点ＰＥＴ繊維の複合繊維からなる不
織布等が挙げられる。

【０１１９】なお、好ましい前記低融点ＰＥＴとして
は、イソフタル酸、アジピン酸、ジエチレングリコー
ル、ポリエチレングリコール等を共重合した共重合ポリ
エチレンテレフタレートであり、好ましい前記高融点Ｐ
ＥＴおよび単にＰＥＴとしては、実質的にテレフタル酸
成分とエチレングリコール成分とからなる融点約２６０
℃のものである。

【０１２０】また、前記ＰＢＴは他の共重合可能な成分
との共重合体であってよい。

【０１２１】また前記フィルタ濾材においては、通気性
支持材料が、難燃性通気性支持材料であることが好まし
い。ここで難燃性とは、社団法人日本空気清浄協会（Ｊ
ＡＣＡ）、濾材規格委員会作成の「空気清浄装置用濾材
燃焼性試験法」（JACA-No.11-1977)において、最大炭化
長が１５０ｍｍ以下のものをいう。

【０１２２】難燃性を付与する手段としては、難燃性を
発揮する化合物を共重合したものが好ましく、特にポリ
エステル繊維に難燃剤である有機リン系化合物を共重合
したものは、有機物の発生が低く押さえられると同時に
リン自体の発生もなくフィルタ濾材全体として難燃性を
備えることが可能となり好ましい。

【０１２３】また前記フィルタ濾材においては、ＰＴＦ
Ｅ多孔膜と通気性支持材料とは、両者の一体化を図るた
め、支持材料の一部を溶融して行う熱融着、ポリエステ
ル、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビ
ニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等の粉末、ホットメル
ト接着剤を用いて接着されていることが好ましい。これ
ら２つの一体化の態様は、通気性支持材料の種類等に応
じ、適宜選択して用いられる。

【０１２４】前記接着による一体化において、特にポリ
エステル系ホットメルト接着剤を用いると有機物の発生
が低く押さえられる。

【０１２５】ＰＢＴ製不織布がＰＴＦＥ多孔膜と接触す
る態様のフィルタ濾材、例えば、前記ＰＥＴ／ＰＢＴ芯
鞘構造不織布では、前記両者を、例えば、熱ロールによ
る熱融着（ラミネート）により一体化することが好まし
い。これは、ＰＢＴは、他のポリエステル樹脂に比べ、
ＰＴＦＥ多孔膜に熱融着しやすく、例えば熱ロールによ
る熱融着を採用すれば、一体化工程を連続工程とするこ
とができ、フィルタ濾材の製造効率が向上するようにな
るからである。

【０１２６】通気性支持材料を支持材料の一部を溶融し
て行う熱融着により一体化する場合は、例えば次の態様
が例示される。

【０１２７】（１）（低融点ＰＥＴ繊維不織布）：
（ＰＴＦＥ多孔膜）：（低融点ＰＥＴ繊維不織布）：
（高融点ＰＥＴ繊維不織布）（２）（低融点ＰＥＴ繊維不織布）：（ＰＴＦＥ多孔
膜）：（高融点ＰＥＴ／低融点ＰＥＴ芯鞘構造不織布）（３）（高融点ＰＥＴ／低融点ＰＥＴ芯鞘構造不織
布）：（ＰＴＦＥ多孔膜）：（高融点ＰＥＴ／低融点Ｐ
ＥＴ芯鞘構造不織布）（４）前記（３）において、（高融点ＰＥＴ／低融点
ＰＥＴ芯鞘構造不織布）に代えて、（高融点ＰＥＴ繊維
と低融点ＰＥＴ繊維との混合繊維からなる不織布）（５）（ＰＥＴ／ＰＢＴ芯鞘構造不織布）：（ＰＴＦ
Ｅ多孔膜）：（ＰＥＴ／ＰＢＴ芯鞘構造不織布）（６）（ＰＥＴ／ＰＢＴ芯鞘構造不織布）：（ＰＴＦ
Ｅ多孔膜）：（低融点ＰＥＴ不織布）（７）（ＰＥＴ／ＰＢＴ芯鞘構造不織布）：（ＰＴＦ
Ｅ多孔膜）：（高融点ＰＥＴ／低融点ＰＥＴ芯鞘構造不
織布）（８）（低融点ＰＥＴ繊維不織布）：（ＰＴＦＥ多孔
膜）：（高融点ＰＥＴ繊維と低融点ＰＥＴ繊維との混合
繊維からなる不織布）（９）（高融点ＰＥＴ繊維と低融点ＰＥＴ繊維との混
合繊維からなる不織布）：（ＰＴＦＥ多孔膜）：（低融
点ＰＥＴ繊維不織布）：（高融点ＰＥＴ繊維不織布）（１０）（高融点ＰＥＴ繊維と低融点ＰＥＴ繊維との
混合繊維からなる不織布）：（ＰＴＦＥ多孔膜）：（Ｐ
ＥＴ／ＰＢＴ芯鞘構造不織布）（１１）（ＰＥＴ／ＰＢＴ芯鞘構造不織布）：（ＰＴ
ＦＥ多孔膜）：（低融点ＰＥＴ不織布）：（高融点ＰＥ
Ｔ繊維不織布）（１２）（ＰＢＴ繊維不織布）：（ＰＴＦＥ多孔
膜）：（ＰＢＴ繊維不織布）（１３）（ＰＢＴ繊維不織布）：（ＰＴＦＥ多孔
膜）：（低融点ＰＥＴ繊維不織布）（１４）（ＰＢＴ繊維不織布）：（ＰＴＦＥ多孔
膜）：（低融点ＰＥＴ繊維不織布）：（高融点ＰＥＴ繊
維不織布）（１５）（ＰＢＴ繊維不織布）：（ＰＴＦＥ多孔
膜）：（高融点ＰＥＴ／低融点ＰＥＴ芯鞘構造不織布）（１６）（ＰＢＴ繊維不織布）：（ＰＴＦＥ多孔
膜）：（高融点ＰＥＴ繊維と低融点ＰＥＴ繊維との混合
繊維からなる不織布）（１７）（ＰＢＴ繊維不織布）：（ＰＴＦＥ多孔
膜）：（ＰＥＴ／ＰＢＴ芯鞘構造不織布）（１８）（低融点ＰＥＴ繊維不織布）：（ＰＴＦＥ多
孔膜）：（低融点ＰＥＴ繊維不織布）（１９）（高融点ＰＥＴ繊維不織布）：（ＰＴＦＥ多
孔膜）：（高融点ＰＥＴ繊維不織布）前記の積層方法における熱ロールでの融着は、ピンチロ
ール方式または特開平６−２１８８９９号公報に記載さ
れているように、積層体の厚さ方向に直接的には加圧し
ない方式で（例えば、ピンチしないで）行うことができ
る。また熱ロールの表面は鏡面でもエンボス面であって
もよい。ロール温度は、例えば、低融点ＰＥＴまたはＰ
ＢＴの軟化点温度以上、高融点ＰＥＴの融点を超えない
温度を使用できる。

【０１２８】ホットメルト接着剤を用いて接着する態様
においては、好ましく使用するポリエステル繊維材料
は、高融点ＰＥＴ繊維、低融点ＰＥＴ繊維、高融点ＰＥ
Ｔ繊維と低融点ＰＥＴ繊維との混合繊維、高融点ＰＥＴ
／低融点ＰＥＴ芯鞘繊維からなる不織布などのようなＰ
ＥＴ製不織布である。

【０１２９】接着方法は、公知の方法、好ましくは、通
気性支持材料の通気量を損なわないために、スプレー塗
布方式、スパイラルスプレー塗布方式、スロットスプレ
ー塗布方式、メルトブローン塗布方式、プリントホイー
ル塗布方式、リボンリップ塗布方式などを使用して接着
できる。有機物の発生を低く押さえられると同時に、低
コストとなるホットメルト接着剤を用いる方法が好まし
い。

【０１３０】前記のフィルタ濾材を使用すれば、有機物
発生の低いフィルタを提供することができる。また、難
燃性不織布を用いた場合は、難燃性に優れたフィルタを
提供することもできる。

【０１３１】図６に、フィルタ濾材の一例の断面図を示
す。図６に示すように、フィルタ濾材１は３層構造をし
ている。図６において２はたとえば目付が２ｇ／ｍ²、
厚さが４μｍのＰＴＦＥ層、３，４はポリエステル長繊
維スパンボンド不織布（たとえば東洋紡製、繊度（単繊
維の太さ）：２デニール、目付が１５〜１００ｇ／
ｍ ²、好適には２０〜７０ｇ／ｍ²）の層である。ＰＴ
ＦＥ層２と難燃性スパンボンド不織布層３，４との接着
はポリエステル系ホットメルト接着剤（たとえばダイア
ボンド（商品名））を１〜２０ｇ／ｍ²、好適には２〜
１０ｇ／ｍ²で塗布し、温度：１６０〜２００℃の範囲
で熱融着させたものである。フィルタ濾材１全体の厚さ
は１００〜１５００μｍ、好ましくは１００〜７００μ
ｍである。また、フィルタ濾材１の性能としては、圧
損：１０〜１００ｍｍＨ₂Ｏ（ａｔ５．３ｃｍ／ｓｅ
ｃ）、粒子径０．１０〜０．１２μｍのＤＯＰの捕集効
率：９９．０％以上（ａｔ５．３ｃｍ／ｓｅｃ，０．１
μｍ）、孔径：０．２〜３μｍの範囲が好ましい。

【０１３２】以下、実験例を用いてさらに具体的に説明
する。以下の実験例において、圧力損失、透過率、捕集
効率およびフィルタ濾材の有機物測定、通気性支持材料
のＴＯＣの測定、通気性支持材料の高温加圧耐久度は下
記の方法で測定した。

【０１３３】Ｉ．圧力損失測定法測定サンプルを直径４７ｍｍの円形に切出し、透過有効
面積１２．６ｃｍ²のホルダにセットし、風速５．３ｃ
ｍ／ｓｅｃの時の圧力損失を測定した。

【０１３４】II. 透過率測定サンプルを直径１００ｍｍのホルダにセットし、サ
ンプルを透過する空気の流量を５．３ｃｍ／ｓｅｃに合
わせる。この状態でサンプルの上流側に濃度１０⁷／３
００ｍｌの多分散ＤＯＰ（ジオクチルフタレート）粒子
を導入する。サンプル上流側、下流側各々で粒径０．１
μｍの粒子数をパーティクルカウンタ（ＰＭＳ社製、Ｌ
ＡＳ−Ｘ−ＣＲＴ）で測定し、その比率より粒子の透過
率（％）を求めた。

【０１３５】III.捕集効率（％）下記の式より求めた。

【０１３６】捕集効率（％）＝１００−透過率（％） IV. フィルタ濾材の有機物の測定フィルタ濾材サンプル（１．０〜５．０ｇ、好ましくは
１．５〜３．０ｇ）を秤取ってガラス容器に封入し、室
温（２５℃）下で純空気（住友精化株式会社製；合成空
気ＡＩＲ−Ｚｅｒｏ−Ａ）を０．１リットル／ｍｉｎ
で２４時間通気して前記フィルタ濾材を洗浄した後、前
記ガラス容器のガス出口側に活性炭チューブ（活性炭２
００ｍｇ２０〜４０メッシュ、柴田科学器械工業
（株）製；８０１５）を設置し、室温下で純空気を０．
１リットル／ｍｉｎで２４時間通気してオフガスを捕集
し、捕集後の活性炭を脱着溶媒である二硫化炭素（１ミ
リリットル）で抽出し、その溶液をガスクロマトグラフ
質量分析装置（ＧＣ−ＭＳ）を用いて有機物を測定し
た。使用したＧＣ−ＭＳ装置は、（株）島津製作所製；
ＱＰ−１０００、分離カラムはＯＶ−１（１％）の１ｍ
を使用した。ガスクロマトグラフのオーブンの条件は、
有機物性のガスを全て検出する必要があるため、５０℃
で５分間保持した後、１０℃／ｍｉｎの速度で２５０℃
まで昇温し、２分３０秒間保持した。

【０１３７】検出された有機物の同定には、質量分析情
報を１秒毎に取り込み、解析を行った。但し、本発明に
おいて有機物質の同定確度が問題ではなく、検出限界以
上の有機物が検出されたことが重要である。

【０１３８】検出された有機物の検出量の測定値は、ト
ルエンにて作成した検量線に基づくものである。

【０１３９】従って、フィルタ濾材１ｇ当たりの有機物
の検出量は、測定値／サンプル値（ｇ）から求めること
ができる。

【０１４０】なお、上記測定方法では、ブランクテスト
の状態から検出限界値は１ｎｇであった。

【０１４１】Ｖ．通気性支持材料の有機物の総量（ＴＯ
Ｃ）測定方法ＴＯＣの測定は、ガスクロマトグラフィーを用いたパー
ジアンドトラップ方式により行った。まず、通気性支持
材料は刃先をアセトンで十分に洗浄したハサミで正確に
６ｃｍ角に切り取る。さらにこれを５ｍｍ角に切り刻
む。このようにしてサンプリングした試料を予め８０℃
に保温したサンプル管に入れ、純ヘリウムガスを８０℃
で流速５０ｍｌ／分で６０分通気して洗浄する（なお、
一般的にエアフィルタユニットの使用温度の上限は８０
℃であるため、この条件に設定する。）。そして引き続
き同条件で１５分通気して試料から発生する揮発成分、
ガス成分をサンプル管から追い出し（パージ）、トラッ
プ管に導入する。このトラップ管において−４０℃に冷
却された吸着剤（石英ウール）に前記揮発成分等を蓄積
濃縮させる。その後、前記吸着剤を３１４℃に瞬間加熱
し、２０秒間吸着剤に吸着した吸着物をガスとして放出
する。そして、前記放出ガスをガスクロマトグラフィー
に導入し、その量（ＴＯＣ）を測定する。測定条件は以
下のとおりである。

【０１４２】ガスクロマトグラフィー；ＧＣ１４Ａ、
（株）島津製作所製カラム；ＦＲＯＮＴＩＥＲＬＡＢＵｌｔｒａＡＬ
ＬＯＹＣａｐｉｌｌａｒｙＣｏｌｏｍｎ，ＵＡ−
５カラム温度；５０℃→２５０℃（１０分）、昇温速度１
０℃／分スプリット比；１：５０（カラム流量１０ｍｌ／分） VI. 通気性支持材料高温加圧耐久度試験法各通気性支持材料を２０ｃｍ角に切出してサンプルとす
る。

【０１４３】試験は以下のような方法で実施した。ま
ず、サンプルを同サイズのポリイミドフィルム（鐘淵化
学製アピカル１２５μｍ厚）で挟み、さらにサンプルに
対し均一に圧力がかかり、また耐熱性のある、例えばフ
ッ素ゴム製シート（３ｍｍ厚）で挟む。

【０１４４】これをヒートプレス機（（株）松田製作所
製形式ＤＡ０５０））にセットして、圧力２５ｋｇ／
ｃｍ、１８０℃、押さえ時間３０秒でプレスする。

【０１４５】高温加圧耐久度は以下の式で求められる。

【０１４６】高温加圧耐久度（ｍｍＨ₂Ｏ／目付）＝プ
レス後圧損値／不織布目付×１００で算出なお、プレス後圧損値測定は試験サンプル中央部の直径
１１０ｍｍ（９５ｃｍ ²）を切り出し、測定風速５．３
ｃｍ／ｓで行う。

【０１４７】VII.空気清浄装置用濾材燃焼性試験方法１．適用この試験方法は空気清浄装置に用いられる濾材の燃焼性
試験方法について規定する。

【０１４８】２．試験体（１）大きさ：試験体の大きさは２５０ｍｍ×２５０ｍ
ｍとする。

【０１４９】（２）数量：試験体の数量は５枚とす
る。

【０１５０】３．試験体の採取試験体の採取は対象となるロットより無作為に採取す
る。

【０１５１】４．試験体の前処理試験を行う前に試験体を５０±２℃の恒温乾燥器内で２
４時間放置する。ただし熱による影響を受けるおそれの
ない場合にあっては、１０５±２℃の恒温乾燥器内に１
時間放置してこれに代えることができる。次にこれをシ
リカゲル入りデシケータの中に１時間以上放置する。

【０１５２】５．試験装置（１）支持枠図７（正面図）、図８（平面図）に示す一辺が２５０ｍ
ｍ（内法２００ｍｍ）の正方形であって、脚高１００ｍ
ｍの金属製のもので、試験体を保持し、試験体に十分通
気性を与える支持枠４１を用いる。

【０１５３】（２）金網ＪＩＳＧ３５５５織金網に規定されている２０メッ
シュで周囲を補強した２５０ｍｍ×２５０ｍｍの大きさ
のもの。

【０１５４】（３）金属枠図９に示す一辺が２５０ｍｍの正方形の金属板（厚さ
１．６ｍｍ以上）の中央に直径２００ｍｍの円形の孔を
打ち抜いたもので試験体を金網上に密着させる十分な重
さを有する金属枠４４を用いる。

【０１５５】（４）火源重さ０．１５ｇ直径６．４ｍｍ厚さ４．３ｍｍのヘキサ
メチレンテトラミンとする。

【０１５６】（５）スケール１ｍｍ目盛のものとする。

【０１５７】６．試験操作（１）試験体４３を１枚ずつデシケータより取り出し、
図１０に示すように支持枠４１上に金網４２をのせ、そ
の上に試験体４３を置き、さらにその上に金属枠４４を
のせて、試験体４３の周囲を押さえる。試験体４３の中
央４５に火源を置きマッチによりこれに点火する。燃焼
状態を観察するとともに試験体４３の中央を通る線上の
炭化部分の最大の長さを測定し、試験体５枚の平均値を
求める。

【０１５８】（２）表裏で状態の異なる試験体に関して
は、表裏両面について別個に行う。

【０１５９】（３）屋外で試験を行う場合は風の影響を
うけないよう処理する。

【０１６０】７．評価（１）最大炭化長１５０ｍｍ以下を難燃性濾材とする。
表裏別個に試験を行った場合は最大炭化長の長い方で評
価する。

【０１６１】（２）次の状況を示すものは記録してお
く。

【０１６２】５枚のうち特に異常な燃焼状態を示すも
のがあった場合。

【０１６３】火源が残る場合。

【０１６４】次に、ＰＴＦＥ多孔膜の製法は下記の通り
であるる本実施例に使用したＰＴＦＥ多孔膜は、ＷＯ９４／１６
８０２号公報に記載された製法に準じて製造された。具
体的には、ＰＴＦＥファインパウダー（ダイキン工業
（株）製：ポリフロン・ファインパウダー（商品名））
を押出助剤と共にペースト押出し、圧延によつて厚さ１
００μｍのフィルム状とした後、温度３００℃で長手方
向に１０倍、温度２００℃で幅方向に２０倍の延伸を行
った結果、厚さ５μｍ、平均孔径０．３５μｍ、圧力損
失４２ｍｍＨ₂Ｏ、透過率０．０００００２７％、捕集
効率９９．９９９９９７３％のＰＴＦＥ多孔膜を得た。

【０１６５】実験例１図６に示すフィルタ濾材１の構成部材３および４として
ポリエステル長繊維スパンボンド不織布（東洋紡製：品
名６６０２Ｂ、繊度２デニール、目付６０ｇ／ｍ²）の
片側の表面にポリエステル系ホットメルト接着剤（ノガ
ワケミカル製：ダイアボンドＤＨ５９８Ｂ）をリボンリ
ップ塗布方式のリボンコーターヘッド（ＩＴＷダイナテ
ック製）を使用して６ｇ／ｍ²の割合で塗布した。

【０１６６】次に、フィルタ濾材１の構成部材２として
ＰＴＦＥ多孔膜を使用し、構成部材３および４の３枚を
重ね合わせた後、ライン速度１０ｍ／ｍｉｎで１８０℃
の熱ロールに接触させて熱融着によって一体化すること
により、平均孔径０．３５μｍ、圧力損失４２ｍｍＨ₂
Ｏ、透過率０．０００００２７％、捕集効率９９．９９
９９９７３％のフィルタ濾材を得た。

【０１６７】このフィルタ濾材（３．０ｇ）をガラス容
器に封入し、前記の測定方法に従って、有機物の検出量
を測定したところ、フィルタ濾材１ｇ当たり検出限界値
（１ｎｇ）以下であった（図１１Ａ参照）。

【０１６８】実験例２フィルタ濾材１の構成部材３および４として難燃剤が共
重合されたポリエステル長繊維スパンボンド不織布（東
洋紡製：品名Ｈ６３０１Ｂ、繊度２デニール、目付３０
ｇ／ｍ²）を使用した他は、実験例１と同様に行いフィ
ルタ濾材を得た。

【０１６９】このフィルタ濾材２ｇの有機物の検出量を
実験例１と同様に測定した結果、フィルタ濾材１ｇ当た
り検出限界値（１ｎｇ）以下であった（図１１Ｂ参
照）。

【０１７０】また、このフィルタ濾材の燃焼性試験（Ｊ
ＡＣＡＮｏ．１１−１９７７）を行ったところ、最大
炭化長は１１０ｍｍで難燃性濾材となった。また、リン
（Ｐ）は検出されなかった。

【０１７１】比較例１フィルタ濾材１の構成部材３としてポリエチレンとポリ
エステルの芯／鞘構造を持つ長繊維スパンボンド不織布
（ユニチカ製：エルベスＴ０７０３ＷＤＯ、繊度３デニ
ール、目付７０ｇ／ｍ²）を使用し、フィルタ濾材１の
構成部材４として鞘部分にポリエチレンを用い、芯部分
にポリエステルを用いた芯／鞘構造コンジュゲート繊維
と鞘部分に変性ポリエステルを用い、芯部分にポリエス
テルを用いた芯／鞘構造コンジュゲート繊維の２種類の
繊維からなる２層構造スパンボンド不織布（ユニチカ
製：エルフィットＥ０３０３ＷＴＯ、繊度３デニール、
目付３０ｇ／ｍ²）を使用した。

【０１７２】次に、フィルタ濾材１の構成部材２として
ＰＴＦＥ多孔膜を使用し、構成部材３および４の３枚を
重ね合わせた後、ライン速度１０ｍ／ｍｉｎで２００℃
の熱ロールに接触させて熱融着によって一体化すること
により同様のフィルタ濾材を得た。このフィルタ濾材
３ｇの有機物の検出量を実験例１と同様に測定した結
果、フィルタ濾材１ｇ当たり３ｎｇのドデカン、４ｎｇ
のトリデカン等の有機物を検出した（図１１Ｃ参照）。
なお図１１Ｃにおいて、９５１秒のピークはドデカンに
相当するものであり、１０５０秒のピークはトリデカン
に相当するものであり、１１４３秒のピークはテトラデ
カンに相当するものであり、１２２８秒のピークはペン
タデカンに相当する。最大炭化長は２００ｍｍを超える
ものであった。

【０１７３】比較例２ポリプロピレン製エレクトレットフィルタ濾材１．５ｇ
（東洋紡製：エリトロン）の有機物の検出量を実験例１
と同様に測定した結果、フィルタ濾材１ｇ当たり４ｎｇ
のドデカン、７ｎｇのトリデカン等の有機物を検出した
（図１１Ｄ参照）。

【０１７４】なお図１１Ｄにおいて、９５１秒のピーク
はドデカンに相当するものであり、１０５０秒のピーク
はトリデカンに相当するものであり、１１４３秒のピー
クはテトラデカンに相当するものであり、１２２８秒の
ピークはペンタデカンに相当する。

【０１７５】実験例３ＰＴＦＥ多孔膜の両面に、ＰＥＴ／ＰＢＴ芯鞘構造の長
繊維スパンボンド不織布（東洋紡製：品名バルコンポ
（ＨＰ６０６０Ｇ）、繊度８デニール、目付６０ｇ／ｍ
²）を重ね合わせた後、ライン速度１０ｍ／分で２５０
℃の熱ロールに接触させて熱融着（ラミネート）により
一体化し、圧力損失４５ｍｍＨ₂Ｏ、捕集効率９９．９
９９９９のフィルタ濾材を得た。このフィルタ濾材
（３．０ｇ）をガラス容器に封入し、前記測定方法に従
って、有機物の検出量を測定したところ、フィルタ濾材
１ｇ当たり検出限界値（１ｎｇ）以下であった。

【０１７６】実験例４ＰＴＦＥ多孔膜の両面に、低融点ＰＥＴ／高融点ＰＥＴ
混紡品の長繊維スパンボンド不織布（ユニチカ製：品名
マリックス、繊度２デニール、目付５０ｇ／ｍ ²）を両
面に重ね合わせた後、ライン速度１０ｍ／ｍｉｎで２５
０℃の熱ロールに接触させて熱融着によって一体化し、
圧力損失４４ｍｍＨ₂Ｏ、捕集効率９９．９９９９９４
％のフィルタ濾材を得た。このフィルタ濾材（３．０
ｇ）をガラス容器に封入し、前記の測定方法に従って、
有機物の検出量を測定したところ、フィルタ濾材１ｇ当
たり検出限界値（１ｎｇ）以下であった。

【０１７７】以上の実験例、比較例から明らかなとお
り、前記実施形態で説明したフィルタ濾材は、有機物の
検出量の最大値が３ｎｇ以下、好ましくは１ｎｇ以下で
あることが確認でき、効率の良い合理的なフィルタ濾材
である。これを用いて優れたフィルタを作成できる。

【０１７８】実験例５〜１０、比較例３〜６実験例１〜４に使用したフィルムを、温度３００℃で長
手方向に１２倍、温度２００℃で幅方向に２５倍の延伸
を行った結果、厚さ３μｍ、平均孔径０．４２μｍ、圧
力損失３０ｍｍＨ₂Ｏ、捕集効率９９．９９９５％のＰ
ＴＦＥ多孔膜を得た。このＰＴＦＥ多孔膜からはＴＯＣ
が検出されなかった。実験例５フィルタ濾材１の構成部材３および４として、通気性支
持材料Ａ（ＰＥＴ長繊維不織布（東洋紡製：品名エクー
レ６６０２Ｂ、繊度２デニール、目付６０ｇ／ｍ²、融
点２６５℃））の片側の表面にポリエステル系ホットメ
ルト接着剤（ノガワケミカル製：ダイアボンドＤＨ５９
８Ｂ）を使用して６ｇ／ｍ²の割合で塗布した。

【０１７９】次にフィルタ濾材１の構成部材２としてＰ
ＴＦＥ多孔膜を使用し、３および４と重ね合わせた後、
ライン速度１０ｍ／ｍｉｎで１８０℃で熱ロールに接触
させて熱融着により一体化し、圧力損失３１ｍｍＨ
₂Ｏ、捕集効率９９．９９９５％のフィルタ濾材を得
た。

【０１８０】実験例６フィルタ濾材１の構成部材３および４として、通気性支
持材料Ｂ（難燃ＰＥＴ長繊維不織布（東洋紡製：品名ハ
イムＨ６３０１Ｂ、繊度２デニール、目付３０ｇ／
ｍ²、融点２５０℃））の片側の表面にポリエステル系
ホットメルト接着剤（ノガワケミカル製：ダイアボンド
ＤＨ５９８Ｂ）を使用して６ｇ／ｍ²の割合で塗布し
た。

【０１８１】次にフィルタ濾材１の構成部材２としてＰ
ＴＦＥ多孔膜を使用し、３および４と重ね合わせた後、
ライン速度１０ｍ／ｍｉｎで１８０℃で熱ロールに接触
させて熱融着により一体化し、圧力損失２８ｍｍＨ
₂Ｏ、捕集効率９９．９９９３％のフィルタ濾材を得
た。

【０１８２】実験例７フィルタ濾材１の構成部材３および４として、通気性支
持材料Ｃ（ＰＥＴ／ＰＢＴ芯／鞘長繊維不織布（東洋紡
製：品名パルコンポＨＰ６０６０Ｇ、繊度８デニール、
目付６０ｇ／ｍ²、融点ＰＥＴ２６５℃、ＰＢＴ２１６
℃））を両面に重ね合わせた後、ライン速度１０ｍ／ｍ
ｉｎで２２０℃で熱ロールに接触させて熱融着により一
体化し、圧力損失３０ｍｍＨ₂Ｏ、捕集効率９９．９９
９９％のフィルタ濾材を得た。

【０１８３】実験例８フィルタ濾材１の構成部材３および４として、通気性支
持材料Ｄ（ＰＥＴ／低融点ＰＥＴ混紡長繊維不織布（ユ
ニチカ製：品名マリックス９０７０３ＷＳＯ、繊度２デ
ニール、目付７０ｇ／ｍ²、融点ＰＥＴ２６４℃、低融
点ＰＥＴ２３８℃））を両面に重ね合わせた後、ライン
速度１０ｍ／ｍｉｎで２４０℃で熱ロールに接触させて
熱融着により一体化し、圧力損失３３ｍｍＨ₂Ｏ、捕集
効率９９．９９９９５％のフィルタ濾材を得た。

【０１８４】実験例９フィルタ濾材１の構成部材３および４として、通気性支
持材料Ｅ（ポリアミド長繊維不織布（旭化成製：品名エ
ルタスＮＯ１０５０、繊度２デニール、目付５０ｇ／ｍ
²、融点２２３℃））の片側の表面にポリエステル系ホ
ットメルト接着剤（ノガワケミカル製：ダイアボンドＤ
Ｈ５９８Ｂ）を使用して６ｇ／ｍ²の割合で塗布した。

【０１８５】次にフィルタ濾材１構成部材２としてＰＴ
ＦＥ多孔膜を使用し、３および４と重ね合わせた後、ラ
イン速度１０ｍ／ｍｉｎで１８０℃で熱ロールに接触さ
せて熱融着により一体化し、圧力損失２８ｍｍＨ₂Ｏ、
捕集効率９９．９９９３％のフィルタ濾材を得た。

【０１８６】実験例１０フィルタ濾材１の構成部材３および４として、通気性支
持材料Ｆ（ＰＥＴ／低融点ＰＥＴ芯／鞘長繊維不織布
（東レ製：品名Ｇ５０４０、繊度２デニール、目付４０
ｇ／ｍ²、融点ＰＥＴ２６４℃、低融点ＰＥＴ２３４
℃））を両面に重ね合わせた後、ライン速度１０ｍ／ｍ
ｉｎで２４０℃で熱ロールに接触させて熱融着により一
体化し、圧力損失２９ｍｍＨ₂Ｏ、捕集効率９９．９９
９８％のフィルタ濾材を得た。

【０１８７】比較例３フィルタ濾材１の構成部材３および４として、通気性支
持材料Ｇ（ＰＥＴ湿式短繊維不織布（伊野紙製：繊度２
デニール、目付２０ｇ／ｍ²、融点ＰＥＴ２６０℃））
の片側の表面にポリエステル系ホットメルト接着剤（ノ
ガワケミカル製：ダイアボンドＤＨ５９８Ｂ）を使用し
て６ｇ／ｍ²の割合で塗布した。

【０１８８】次にフィルタ濾材１の構成部材２としてＰ
ＴＦＥ多孔膜を使用し、３および４と重ね合わせた後、
ライン速度１０ｍ／ｍｉｎで１８０℃で熱ロールに接触
させて熱融着により一体化し、圧力損失３５ｍｍＨ
₂Ｏ、捕集効率９９．９９９９％のフィルタ濾材を得
た。

【０１８９】比較例４フィルタ濾材１の構成部材３および４として、通気性支
持材料Ｈ（ＰＥＴ／ＰＥ芯／鞘長繊維不織布（ユニチカ
製：品名エルペスＴＯ７０３ＷＤＯ、繊度３デニール、
目付７０ｇ／ｍ²、融点ＰＥＴ２６４℃、ＰＥ１３０
℃））を両面に重ね合わせた後、ライン速度１０ｍ／ｍ
ｉｎで２００℃で熱ロールに接触させて熱融着により一
体化し、圧力損失３５ｍｍＨ₂Ｏ、捕集効率９９．９９
９８％のフィルタ濾材を得た。

【０１９０】比較例５フィルタ濾材１の構成部材３および４として、通気性支
持材料Ｉ（ＰＰ長繊維不織布（東レ製：品名トレミクロ
ン、繊度２デニール、目付５０ｇ／ｍ²、融点１６５
℃））の片側の表面にポリエステル系ホットメルト接着
剤（ノガワケミカル製：ダイアボンドＤＨ５９８Ｂ）を
使用して６ｇ／ｍ²の割合で塗布した。

【０１９１】次にフィルタ濾材１構成部材２としてＰＴ
ＦＥ多孔膜を使用し、３および４と重ね合わせた後、ラ
イン速度１０ｍ／ｍｉｎで１８０℃で熱ロールに接触さ
せて熱融着により一体化し、圧力損失５５ｍｍＨ₂Ｏ、
捕集効率９９．９９９９％のフィルタ濾材を得た。

【０１９２】比較例６フィルタ濾材１の構成部材３および４として、通気性支
持材料Ｊ（ホットメルトＰＥＴ不織布（添加材を含
む。）（東洋紡製：品名Ｇ００３０、目付３０ｇ／
ｍ²、融点１１３℃））を両面に重ね合わせた後、ライ
ン速度１５ｍ／ｍｉｎで８０℃で熱ロールに接触させて
熱融着により一体化し、圧力損失４０ｍｍＨ₂Ｏ、捕集
効率９９．９９９９％のフィルタ濾材を得た。

【０１９３】一方、通気性支持材料Ａ〜ＪのＴＯＣ、高
温加圧耐久度を測定したところ、下記の通りであった。

【０１９４】

【表１】以上の結果、実験例５〜１０および比較例３〜６におい
て得られたフィルタ濾材の比較においても、前記実施形
態で説明したフィルタ濾材は、相対的にＴＯＣの発生が
少なく、効率の良い合理的なフィルタ濾材であり、これ
を用いることにより、好ましいフィルタ（プリーツ状フ
ィルタエレメントを含む）を作ることができる。

【０１９５】

【発明の効果】この発明によれば、半導体工業のクリー
ンルーム等で使用される小型でかつ吹出気流の均一なエ
アフィルタ装置とすることができる。特に、熱処理炉や
熱拡散炉等のへの装備に適した小型のエアフィルタ装置
とすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態にかかるエアフィルタ装
置の正面図である。

【図２】この発明の一実施形態にかかるエアフィルタ装
置の平面図である。

【図３】チャンバ内に形成する堰の大きさや配置を説明
するための図である。

【図４】フィルタの具体的な構成例を示す斜視図であ
る。

【図５】図４のスペーサ５部分の断面図である。

【図６】フィルタ濾材の一例の断面図である。

【図７】社団法人日本空気清浄協会（ＪＡＣＡ）、濾材
規格委員会作成の「空気清浄装置用濾材燃焼性試験法」
（JACA-No.11-1977)で使用する支持枠の正面図である。

【図８】図７の支持枠の平面図である。

【図９】上記JACA-No.11-1977 で使用する金属枠の平面
図である。

【図１０】上記JACA-No.11-1977 で使用する試験体を装
着した状態の平面図である。

【図１１】Ａは実験例１のＧＣ−ＭＳの分析チャート、
Ｂは実験例２のＧＣ−ＭＳの分析チャート、Ｃは比較例
１のＧＣ−ＭＳの分析チャート、Ｄは比較例２のＧＣ−
ＭＳの分析チャートを示す。

【符号の説明】

１フィルタ濾材３，４支持材料１０エアフィルタ装置１１送風装置１２フィルタ１３風路１４モータ１５ファン１７チャンバ１８導入口２１堰

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号ＦＩＨ０１Ｌ 21/02 Ｈ０１Ｌ 21/02 Ｄ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】送風装置（１１）、フィルタ（１２）およ
び送風装置（１１）の生じる気流をフィルタ（１２）に
導く風路（１３）を有し、フィルタ（１２）を通過した
気流（Ａ２）が被送風物へ吹き出すようにしたエアフィ
ルタ装置であって、前記フィルタ（１２）は、ポリテトラフルオロエチレン
多孔膜からなり、５．３ｃｍ／秒の流速で空気を通過さ
せたときの圧力損失が２〜１００ｍｍＨ₂Ｏであり、
０．１０〜０．１２μｍのジオクチルフタレートを用い
た捕集効率から下記式（１）により計算されるＰＦ値が
少なくとも８であるフィルタ濾材を含み、【数１】前記風路（１３）のフィルタ（１２）に臨む空間（１
７）は、フィルタ（１２）に進入する気流の静圧を増す
ためのチャンバ（１７）とされていることを特徴とする
エアフィルタ装置。
【請求項２】請求項１記載のエアフィルタ装置におい
て、前記圧力損失が２〜５０ｍｍＨ₂Ｏであり、前記ＰＦ値
が少なくとも１８であることを特徴とするエアフィルタ
装置。
【請求項３】請求項２記載のエアフィルタ装置におい
て、前記圧力損失が２〜３５ｍｍＨ₂Ｏであることを特徴と
するエアフィルタ装置。
【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載のエアフィ
ルタ装置において、前記ＰＦ値が少なくとも２２であることを特徴とするエ
アフィルタ装置。
【請求項５】請求項１〜４のいずれかに記載のエアフィ
ルタ装置（１０）において、前記送風装置（１１）によって発生される気流（Ａ１）
は、チャンバ（１７）に対して側方中央から流入するよ
うに風路（１３，１８）が形成されていることを特徴と
するエアフィルタ装置。
【請求項６】請求項５記載のフィルタ装置において、前記チャンバ（１７）内には、進入する気流を調整する
ための堰（２１）が配置されていることを特徴とするエ
アフィルタ装置。
【請求項７】請求項６記載のエアフィルタ装置におい
て、前記堰（２１）は、チャンバ（１７）内に入った気流が
フィルタ（１２）に対して均一化して流入するように、
チャンバ（１７）内に複数個配置されていることを特徴
とするエアフィルタ装置。
【請求項８】請求項７記載のエアフィルタ装置におい
て、前記複数の堰（２１）は、チャンバ（１７）内へ流入す
る気流の進行方向に対して左右対称な位置に配置されて
いることを特徴とするエアフィルタ装置。
【請求項９】請求項１〜８のいずれかに記載のエアフィ
ルタ装置において、前記フィルタ濾材は、ポリテトラフルオロエチレン多孔
膜（２）の少なくとも片面に通気性支持材料（３，４）
が備えられていることを特徴とするエアフィルタ装置。
【請求項１０】請求項９記載のエアフィルタ装置におい
て、フィルタ（１２）は、枠体（６，７，８，９）と、枠体
（６，７，８，９）内に波状に曲折された状態で収納さ
れたフィルタ濾材（１）と、枠体（６，７，８，９）と
フィルタ濾材（１）との間隙をシールするシール材とを
含むことを特徴とするエアフィルタ装置。
【請求項１１】請求項９記載のエアフィルタ装置におい
て、フィルタ濾材は、検出される有機物の検出量の最大値
が、フィルタ濾材１ｇ当たり３ｎｇ以下であることを特
徴とするエアフィルタ装置。
【請求項１２】請求項９記載のエアフィルタ装置におい
て、前記フィルタ濾材は、通気性支持材料から８０℃の条件
で検出される有機物の総量が通気性支持材料２５０ｍｇ
当たり１０００ｎｇ以下であることを特徴とするエアフ
ィルタ装置。
【請求項１３】請求項９記載のエアフィルタ装置におい
て、前記フィルタ濾材の通気性支持材料は、高温加圧耐久度
が０〜１５．０であることを特徴とするエアフィルタ装
置。
【請求項１４】請求項９記載のエアフィルタ装置におい
て、前記フィルタ濾材の通気性支持材料は、実質的にポリエ
ステルおよびポリアミドから選ばれた少なくとも１つの
材料であることを特徴とするエアフィルタ装置。
【請求項１５】主面（１７ａ）および主面（１７ａ）の
周囲から主面に対して交差方向に延びる側面（１７ｂ，
１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ）で囲まれたチャンバ（１７）
と、気流の進入口が前記主面（１７ａ）に対向するよう
にチャンバ（１７）に取り付けられたフィルタ（１２）
とを含み、チャンバ（１７）の側面（１７ｃ）にチャン
バ（１７）内へ気流を導入する導入口（１８）が形成さ
れているエアフィルタ装置において、前記主面（１７ａ）には、導入口（１８）からチャンバ
（１７）内へ導入される気流（Ａ１）に対して、その進
行方向に気流を乱し、気流に所定の調整を加えるための
堰（２１）が設けられていることを特徴とするエアフィ
ルタ装置。
【請求項１６】請求項１５記載のエアフィルタ装置にお
いて、前記堰（２１）は、チャンバ（１７）内に入った気流が
フィルタ（１２）に対して均一化して流入するように、
チャンバ（１７）内に複数個配置されていることを特徴
とするエアフィルタ装置。
【請求項１７】請求項１６記載のエアフィルタ装置にお
いて、前記複数の堰（２１）は、チャンバ（１７）内へ流入す
る気流（Ａ１）の進行方向に対して左右対称な位置に配
置されていることを特徴とするエアフィルタ装置。
【請求項１８】請求項１〜１７のいずれかに記載のエア
フィルタ装置は、熱処理炉に用いられることを特徴とす
るエアフィルタ装置。
【請求項１９】請求項１〜１７のいずれかに記載のエア
フィルタ装置は、拡散炉に用いられることを特徴とする
エアフィルタ装置。