JP3339053B2 - 難燃性フィルター濾材及びこれを用いたエアフィルターユニット - Google Patents
難燃性フィルター濾材及びこれを用いたエアフィルターユニットInfo
- Publication number
- JP3339053B2 JP3339053B2 JP50958398A JP50958398A JP3339053B2 JP 3339053 B2 JP3339053 B2 JP 3339053B2 JP 50958398 A JP50958398 A JP 50958398A JP 50958398 A JP50958398 A JP 50958398A JP 3339053 B2 JP3339053 B2 JP 3339053B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filter medium
- air
- flame
- retardant
- filter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/12—Layered products comprising a layer of synthetic resin next to a fibrous or filamentary layer
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D39/08—Filter cloth, i.e. woven, knitted or interlaced material
- B01D39/083—Filter cloth, i.e. woven, knitted or interlaced material of organic material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
- B01D39/16—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres
- B01D39/1607—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres the material being fibrous
- B01D39/1623—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres the material being fibrous of synthetic origin
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
- B01D39/16—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres
- B01D39/1692—Other shaped material, e.g. perforated or porous sheets
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/32—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins
- B32B27/322—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins comprising halogenated polyolefins, e.g. PTFE
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B33/00—Layered products characterised by particular properties or particular surface features, e.g. particular surface coatings; Layered products designed for particular purposes not covered by another single class
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B5/00—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts
- B32B5/02—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by structural features of a fibrous or filamentary layer
- B32B5/022—Non-woven fabric
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B5/00—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts
- B32B5/22—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by the presence of two or more layers which are next to each other and are fibrous, filamentary, formed of particles or foamed
- B32B5/24—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by the presence of two or more layers which are next to each other and are fibrous, filamentary, formed of particles or foamed one layer being a fibrous or filamentary layer
- B32B5/26—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by the presence of two or more layers which are next to each other and are fibrous, filamentary, formed of particles or foamed one layer being a fibrous or filamentary layer another layer next to it also being fibrous or filamentary
-
- E—FIXED CONSTRUCTIONS
- E04—BUILDING
- E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
- E04B9/00—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation
- E04B9/02—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation having means for ventilation or vapour discharge
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/02—Types of fibres, filaments or particles, self-supporting or supported materials
- B01D2239/0216—Bicomponent or multicomponent fibres
- B01D2239/0233—Island-in-sea
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/04—Additives and treatments of the filtering material
- B01D2239/0457—Specific fire retardant or heat resistant properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/04—Additives and treatments of the filtering material
- B01D2239/0471—Surface coating material
- B01D2239/0492—Surface coating material on fibres
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
- B01D2239/0604—Arrangement of the fibres in the filtering material
- B01D2239/0622—Melt-blown
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
- B01D2239/0604—Arrangement of the fibres in the filtering material
- B01D2239/0627—Spun-bonded
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
- B01D2239/0604—Arrangement of the fibres in the filtering material
- B01D2239/064—The fibres being mixed
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
- B01D2239/065—More than one layer present in the filtering material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
- B01D2239/065—More than one layer present in the filtering material
- B01D2239/0654—Support layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
- B01D2239/065—More than one layer present in the filtering material
- B01D2239/0668—The layers being joined by heat or melt-bonding
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
- B01D2239/065—More than one layer present in the filtering material
- B01D2239/0686—More than one layer present in the filtering material by spot-gluing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
- B01D2239/069—Special geometry of layers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/12—Special parameters characterising the filtering material
- B01D2239/1216—Pore size
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/12—Special parameters characterising the filtering material
- B01D2239/1241—Particle diameter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/12—Special parameters characterising the filtering material
- B01D2239/1291—Other parameters
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2262/00—Composition or structural features of fibres which form a fibrous or filamentary layer or are present as additives
- B32B2262/02—Synthetic macromolecular fibres
- B32B2262/0276—Polyester fibres
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2305/00—Condition, form or state of the layers or laminate
- B32B2305/02—Cellular or porous
- B32B2305/026—Porous
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/30—Properties of the layers or laminate having particular thermal properties
- B32B2307/306—Resistant to heat
- B32B2307/3065—Flame resistant or retardant, fire resistant or retardant
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2327/00—Polyvinylhalogenides
- B32B2327/12—Polyvinylhalogenides containing fluorine
- B32B2327/18—PTFE, i.e. polytetrafluoroethylene
Landscapes
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Architecture (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Civil Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Filtering Materials (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Air Filters, Heat-Exchange Apparatuses, And Housings Of Air-Conditioning Units (AREA)
Description
難燃性エアフィルター濾材及びこれを用いたエアフィル
ターユニットに関する。さらに詳しくは、例えば半導
体、液晶などの電気・電子部品等の製造の空気清浄に使
用される難燃性フィルター濾材及びこれを用いたエアフ
ィルターユニットに関する。
としては、本出願人はすでにポリテトラフルオロエチレ
ン(以下「PTFE」)多孔膜を提案している(例えば特開
平5−202217号公報)。また、PTFE多孔膜を使用する場
合は、膜自体が薄いので、傷付き防止やピンホールの発
生防止のため、PTFE多孔膜の両面を芯鞘構造の長繊維を
用いたスパンボンド不織布などの熱可塑性材料で積層
し、保護することも提案した(特開平6−218899号公
報)。
燃焼性試験法」(JACA−No.11−1977)の測定法で難燃
性を満足できないことを本発明者らは見い出した。
ーユニットとしては、例えば天井の一部(設備)として
取り付けて用いられる場合があり、特に、このような場
合は防災上の観点から難燃性が要求される。
優れたフィルター濾材及びこれを用いたエアフィルター
ユニットを提供することを目的とする。
濾材は、PTFE多孔膜の少なくとも片面に通気性支持材料
を備えたフィルター濾材であって、「空気清浄装置用濾
材燃焼性試験法」(JACA−No.11−1977)において、最
大炭化長が150mm以下であり、前記通気性支持材料が、
難燃剤が共重合された難燃性通気性支持材料であること
を特徴とする。ここで難燃性とは、社団法人日本空気清
浄協会(JACA)、濾材規格委員会作成の「空気清浄装置
用濾材燃焼性試験法」(JACA−No.11−1977)によって
測定する。
は1層あるいは2層以上からなるものであってよく、ま
た、難燃性フィルター濾材は、PTFE多孔膜の片面に通気
性支持材料を備えたもの、PTFE多孔膜の両面に通気性支
持材料を備えたもの、PTFE多孔膜と通気性支持材料を交
互に、あるいはランダムに備えたもの等を挙げることが
できる。とくにPTFE多孔膜の両面に通気性支持材料を備
えたものが好ましい。
に限定されず、公知のものが使用できる。なかでも、半
導体、液晶等の製造クリーンルームやこれら製造装置に
用いられるフィルターユニットに要求される浮遊微粒子
の捕集効率、圧力損失等の性能(HEPAフィルター、ULPA
フィルターと同等以上の性能)を達成可能なものが好ま
しい。例えば、5.3cm/秒の流速で空気を透過させたとき
の圧力損失が10〜100mmH2Oの範囲であり、0.10〜0.12μ
mのジオクチルフタレート(DOP)の捕集効率が、99.0
%以上であることが好ましい。このようなPTFE多孔膜
は、特開平5−202217号公報、WO94/16802号公報等に詳
細に記載されている。
容易に得ることができる。例えば、PTFEファインパウダ
ーを押出助剤とともにペースト押出し、圧延によってテ
ープを得、このテープを未焼成のまま、または半焼成し
た後、二軸方向に延伸することにより得られる。詳細は
特開平5−202217号公報、WO94/16802号公報等に記載さ
れている。
持材料が、有機材料、特に樹脂からなる難燃性通気性支
持材料であることが好ましい。
持材料が、不織布、織布であることが好ましく、特に樹
脂からなる不織布であることが好ましい。尚、通気性支
持材料がガラス繊維からなるもの、例えば、ガラス繊維
不織布、ガラス繊維ペーパー、ガラス繊維エアフィルタ
ー濾材は、ボロン(B)の発生源となるので好ましくな
い。
持材料が、実質的にポリエステル及びポリアミドから選
ばれる少なくとも一つの材料で形成されていることが好
ましい。また通気性支持材料がポリエステル繊維で形成
され、かつポリオレフィンを含まない通気性支持材料で
あることが好ましい。ここでポリエステルとは、ポリエ
チレンテレフタレート(PET)およびポリブチレンテレ
フタレート(PBT)等をいう。
共重合されたものが好ましく、特にポリエステル繊維
に、難燃剤が共重合されていることが好ましい。例え
ば、有機リン化合物で難燃性を付与する場合、共重合さ
れていれば、フィルター濾材の使用においても、フィル
ター濾材からリン(P)が検出されない。
テル繊維材料が、長繊維不織布であることが好ましい。
の少なくとも片面に通気性支持材料を備えたフィルター
濾材を用いたエアフィルターユニットであって、枠体た
る支持体内にフィルター濾材が波状に折曲された状態で
収納され、かつ周辺がシールされ、前記フィルサー濾材
は「空気清浄装置用濾材燃焼性試験法」(JACA−No.11
−1977)において、最大炭化長が150mm以下であり、前
記通気性支持材料が、難燃剤が共重合された難燃性通気
性支持材料であることを特徴とする。
合物を練り込んだり共重合したり、繊維の表面にコーテ
ィングするなどの公知の手段を採用することができる。
例えば、ポリエステル繊維に難燃剤である有機リン化合
物を共重合、練り込み、またはポリマーブレンド等によ
り難燃化できる。さらに具体的には下記のような難燃化
手段がある。 (1)難燃性素材の使用 素材自体が難燃性のものは例えば次のものがある。芳
香族ポリアミド繊維、モダクリル繊維、ポリクラール繊
維、難燃化ポリノジック、難燃化ビニロン、難燃化ポリ
エステル、アクリル酸化繊維(耐炎化繊維)、レーヨン
炭化繊維(耐炎化繊維)、アラミド繊維、ポリアリレー
ト繊維、フェノール系繊維、ポリブチレンイソシアネー
ト繊維(PBI繊維)、ポリ塩化ビニリデン繊維、アスベ
スト、炭素繊維、金属繊維、シリカ繊維などの無機繊
維、PTFE繊維、テトラフルオロエチレン−パーフルオロ
アルキルビニルエーテル共重合体(PFA)繊維、ポリビ
ニリデンフルオライド(PVdF)繊維 (2)後加工防炎性難燃性 前記(1)の繊維と重複するが、後加工によって防炎
性や難燃性を付与する手段として、繊維を糸や布、不織
布等に加工した後、ディッピングや塗布によって難燃剤
を表面コーティングする方法が用いられる。
を共重合等の化学結合によって導入する方法や溶融押出
紡糸時にポリマーに練り込んだり、ポリマーブレンドを
する方法がある。
機系難燃剤や、デカブロモジフェニルオキサイドに代表
されるデカブロ系の臭素系難燃剤、テトラブロモビスフ
ェノールに代表されるノンデカ系の臭素系難燃剤の他、
塩素系難燃剤やリン系難燃剤が使用できる。
よって繊維に直接難燃剤を導入できることからリン酸エ
ステル系難燃剤や含ハロゲンリン酸エステル系難燃剤が
望ましい。
(もしくは混紡)する事によって、糸、もしくは布や不
織布全体として難燃性を付与したり、難燃性をより顕著
にしたりすることができる。
(倉敷紡績製;商品名:デライラ)や炭素化繊維(プレ
カーボン)とアラミド繊維(商品名:ケブラー)とを混
紡した不織布(帝国繊維製;商品名:テイセンパイク)
などが例示できる。
E)の混合による不織布や、ポリフッ化ビニリデン(PVd
F)とポリエステル繊維との混紡による糸が難燃性を付
与できる。
料を使用する場合は、不織布であることが好ましく、と
くに長繊維を用いた不織布が好ましい。例えば、リン
(P)系化合物等の難燃剤が共重合されたPET不織布、
高融点PET(芯部)/前記難燃剤が共重合された低融点P
ET(鞘部)の芯鞘構造繊維の不織布、高融点PET(芯
部)/前記難燃剤が共重合されたPBT(鞘部)の芯鞘構
造繊維の不織布等があげられる。長繊維を用いた不織布
は、溶融紡糸の際に不織布を形成でき(紡糸直結不織
布)、最初から清浄な状態に保つことができるからであ
る。長繊維を用いた不織布としては、例えばスパンボン
ド法、フラッシュ紡糸法、メルトブロー法によるものな
どがある。
通過させる必要があるが、この工程通過性を保つために
必然的に油剤を付与する。したがって、油剤を除去して
使用する必要がある。短繊維を用いた不織布としては、
ニードルパンチ法、ウォータージェット法、ステッチボ
ンド法によるものなどがある。
布、特に長繊維不織布からなる難燃性通気性支持材料を
PTFE多孔膜の少なくとも片面に備えたフィルター濾材
は、濾材自体からトータルオーガニックカーボン(以下
TOC、ここでTOCとは例えばドデカン、トリデカン、ジオ
クチルフタレート、シロキサン等の種々のガス状有機物
の総量である。)の発生が極めて低いものであることが
見出された。クリーンルーム等の空気清浄空間におい
て、TOCおよび無機物(例えば、リン)の検出量が低い
ことは、例えば、半導体、液晶などの製造における品質
向上となる。
燃性通気性支持材料とは、ホットメルト接着剤により接
着することができる。PTFE多孔膜と難燃性通気性支持材
料との一体化をはかるためである。またホットメルト接
着剤を用いるとTOCの発生も低く押さえられる。
ル繊維からなる不織布、とりわけ長繊維不織布である通
気性支持材料とがポリエステル系ホットメルト接着剤に
より接着されているものが好ましい。
いては、好ましく使用するポリエステル繊維材料は、高
融点PET繊維、低融点PET繊維、高融点PET繊維と低融点P
ET繊維との混合繊維からなる不織布、高融点PET(芯
部)/低融点PET(鞘部)の芯鞘構造繊維の不織布、高
融点PET(芯部)/PBT(鞘部)の芯鞘構造繊維の不織布
などであってもよい。
料の通気量を損なわないために、スプレー塗布方式、ス
パイラルスプレー塗布方式、スロットスプレー塗布方
式、メルトブローン塗布方式、プリントホイール塗布方
式、リボンリップ塗布方式などを使用して接着できる。
より有機物の発生を低く押さえられる点、低コストの点
からホットメルト接着剤を用いる方法が好ましい。
たポリエステル繊維からなる不織布であって、PBT繊維
不織布、PET(芯部)/PBT(鞘部)の芯鞘構造繊維の不
織布、PET繊維およびPBT繊維の混合不織布等の少なくと
もPBTを含む不織布は、PTFE多孔膜と通気性支持材料の
融点を超えない温度での熱融着(例えば、熱ロールによ
り)も可能であり、この場合、接着剤を使用しないの
で、その分、TOCの発生がなく、特に好ましい。
ト接着剤からなる帯状又はリボン状のスペーサーを有す
るミニプリーツ式フィルターエレメントを収納してなる
ことが好ましい。このような形状のエアフィルターユニ
ット(ミニプリーツ式)であると、フィルターの全面積
を有効に使用することができ、半導体、液晶等の電子デ
バイス製造装置に好ましく使用できる。
る支持体とフィルター濾材とのシール部が、ホットメル
ト接着剤でシールされていることが好ましい。ホットメ
ルト接着剤を用いるとTOCの発生も低く押さえられる。
ィルター濾材及びこれを用いたエアフィルターユニット
を提供することができる。
いたエアフィルターユニットは、PTFE多孔膜が主として
空気清浄作用を有するフィルター濾材及びこれを用いた
エアフィルターユニットに用いられるものである。
図を示すものである。図1において、1はフィルター濾
材、2は例えば目付が2g/m2、厚さが4μmのPTFE層、
3,4は難燃性ポリエステル長繊維スパンボンド不織布
(例えば東洋紡製ハイム(商品名)、繊度(単繊維の太
さ):2デニール、目付が15〜100g/m2、好適には20〜70g
/m2)の層である。PTFE層2と難燃性スパンボンド不織
布層3,4との接着はポリエステル系ホットメルト接着剤
(例えばダイアボンド(商品名))を1〜20g/m2、好適
には2〜10g/m2で塗布し、温度:160〜200℃の範囲で熱
融着させたものである。フィルター濾材1全体の厚さは
100〜1500μm好ましくは100〜700μmである。また、
フィルター濾材1の性能としては、圧損:10〜100mmH2O
(at 5.3cm/sec)、粒子径0.10〜0.12μmのDOPの捕集
効率:99.0%以上(at 5.3cm/sec,0.1μm)、孔径:0.2
〜3μmの範囲が好ましい。
ユニットの斜視図を示すものである。図2において、1
は前記のフィルター濾材、5はホットメルト接着剤(例
えばダイアボンド(商品名))からなる帯状又はリボン
状のスペーサー、6〜9は外枠材である。フィルター濾
材1は約40mmの幅に折りたたまれており、正面から見て
スペーサー5によって約2mmの隙間(山と山の間隔)を
形成している。スペーサー5の列と列の間隔は10〜50mm
程度の範囲が好ましい。好適には25mm程度である。そし
てフィルター濾材1の周囲と外枠材6〜9の内面とは、
周囲から空気が漏れないように、ホットメルト接着剤
(例えばダイアボンド(商品名))によってシールされ
ている。
る。フィルター濾材1の外側から、ほぼ中央部の部分ま
で、約20mmの長さでスペーサー5が接着されている。ス
ペーサー5の太さは、約1mmである。このスペーサー5
の設置により、流通空気を均一にフィルター濾材1を通
過させることができる。
実施例において、圧力損失、透過率、捕集効率、有機物
及び無機物の検出量は下記の方法で測定した。
積12.6cm2のホルダーにセットし、風速5.3cm/secの時の
圧力損失を測定した。
ンプルを透過する空気の流量を5.3cm/secに合わせる。
この状態でサンプルの上流側に濃度107/300mlの多分散D
OP(ジオクチルフタレイト)粒子を導入する。サンプル
上流側、下流側各々で粒径0.1μmの粒子数をパーティ
クルカウンター(PMS社製、LAS−X−CRT)で測定し、
その比率より粒子の透過率(%)を求めた。
〜3.0g)を秤取ってガラス容器に封入し、室温(25℃)
下で純空気(住友精化株式会社製;合成空気 AIR−Zer
o−A)を0.1リットル/minで24時間通気して前記フィル
ター濾材を洗浄した後、前記ガラス容器のガス出口側に
活性炭チューブ(活性炭200mg 20〜40メッシュ、柴田
科学器械工業(株)製;8015)を設置し、室温下で純空
気を0.1リットル/minで24時間通気してオフガスを捕集
し、捕集後の活性炭を脱着溶媒である二硫化炭素(1ミ
リリットル)で抽出し、その溶液をガスクロマトグラフ
質量分析装置(GC−MS)を用いて有機物を測定した。使
用したGC−MS装置は、島津製作所製;QP−1000、分離カ
ラムはOV−1(1%)の1mを使用した。ガスクロマトグ
ラフのオーブンの条件は、有機物性のガスを全て検出す
る必要がある為、50℃で5分間保持した後、10℃/minの
速度で250℃まで昇温し、2分30秒間保持した。
に取り込み、解析を行った。但し、本発明に於いて有機
物質の同定確度が問題ではなく、検出限界以上の有機物
が検出された事が重要である。
作成した検量線に基づくものである。従って、フィルタ
ー濾材1g当たりの有機物の検出量は、測定値/サンプル
値(g)から求めることができる。尚、上記測定方法で
は、ブランクテストの状態から検出限界値は1ngであっ
た。
浄したテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体(PFA)容器に入れ、これに150
ccの超純水を加え封入する。このPFA容器をクリーンブ
ース内、室温下で72時間振盪したのち、前記容器内の溶
液をICP−AES(日立製作所社製、306スーパースキャ
ン)によって測定した。
性試験方法について規定する。
る。
時間放置する。ただし熱による影響を受けるおそれのな
い場合にあっては、105±2℃の恒温乾燥器内に1時間
放置してこれに代えることができる。つぎにこれをシリ
カゲル入りデシケータの中に1時間以上放置する。
(内法200mm)の正方形であって、脚高100mmの金属製の
もので、試験体を保持し、試験体に十分通気性を与える
支持枠11を用いる。 (2)金 網 JIS G 3555織金網に規定される20メッシュで周囲
を補強した250mm×250mmの大きさのもの。 (3)金属枠 図5に示す一辺が250mmの正方形の金属板(厚さ1.6mm
以上)の中央に直径200mmの円形の孔を打ち抜いたもの
で試験体を金網上に密着させる十分な重さを有する金属
枠14を用いる。 (4)火 源 重さ0.15g直径6.4mm厚さ4.3mmのヘキサメチレンテト
ラミンとする。 (5)スケール 1mm目盛のものとする。
6に示すように支持枠11上に金網12をのせ、その上に試
験体13を置き、さらにその上に金属枠14をのせて、試験
体13の周囲をおさえる。試験体13の中央15に火源を置き
マッチによりこれに点火する。燃焼状態を観察するとと
もに試験体13の中央を通る線上の炭化部分の最大の長さ
を測定し、試験体5枚の平均値を求める。 (2)表裏で状態の異なる試験体に関しては、表裏両面
について別個に行う。 (3)屋外で試験を行う場合は風の影響を受けないよう
処理する。
別個に試験を行った場合は最大炭化長の長い方で評価す
る。 (2)次の状況を示すものは記録しておく。 5枚のうち特に異状な燃焼状態を示すものがあった場
合。 火源が残る場合。
テル長繊維スパンボンド不織布(東洋紡製ハイム(商品
名):品名H6401B、繊度2デニール、目付40g/m2)の片
側の表面にポリエステル系ホットメルト接着剤(ノガワ
ケミカル製:ダイアボンドDH598B)を3g/m2の割合で塗
布した。
用し、構成部材3及び4の3枚を重ね合わせた後、ライ
ン速度10m/minで180℃の熱ロールに接触させて熱融着に
よって一体化することにより、平均孔径0.35μm、圧力
損失42mmH2O、透過率0.0000027%、捕集効率99.9999973
%のフィルター濾材1を得た。
7)を行ったところ、最大炭化長は105mmで難燃性濾材の
規格(最大炭化長150mm以下)に合致した。
測定したところ、フィルター濾材1g当たり検出限界値
(1ng)以下であった。また、リン(P)は未検出であ
った。各種無機物の検出量を表1にまとめて示す。
PBT(鞘部)の芯鞘構造の難燃化長繊維スパンボンド不
織布(東洋紡製:品名バルコンポHPH6060G、繊度8デニ
ール、目付60g/m2)をPTFE多孔膜2の両面に重ね合わせ
た後、ライン速度10m/分で250℃の熱ロールに接触させ
て熱融着(ラミネート)により一体化し、圧力損失40mm
H2O、捕集効率99.99995のフィルター濾材1を得た。
7)を行ったところ、最大炭化長は95mmで難燃性濾材の
規格に合格した。
測定したところ、フィルター濾材1g当たり検出限界(1n
g)以下であった。また、リン(P)は未検出であっ
た。各種無機物の検出量を表1にまとめて示す。
ステルの芯/鞘構造を持つ長繊維スパンボンド不織布
(ユニチカ製:エルベスT0703WDO、繊度3デニール、目
付70g/m2)を使用し、フィルターの構成部材4として鞘
部分にポリエチレンを用い、芯部分にポリエステルを用
いた芯/鞘構造コンジュゲート繊維と鞘部分に変成ポリ
エステルを用い、芯部分にポリエステルを用いた芯/鞘
構造コンジュゲート繊維の2種類の繊維からなる2層構
造スパンボンド不織布(ユニチカ製:エルフィットE030
3WTO、繊度3デニール、目付30g/m2)を使用した。
用し、構成部材3及び4の3枚を重ね合わせた後、ライ
ン速度10m/minで200℃の熱ロールに接触させて熱融着に
よって一体化することにより同様のフィルター濾材を得
た。
7)を行ったところ、最大炭化長は200mm以上で難燃性濾
材の規格(最大炭化長150mm以下)に合致しなかった。
1と同様に測定した結果、フィルター濾材1g当たり3ng
のドデカン、4ngのトリデカン等の有機物を検出した。
g)以下を示す。
フィルター濾材及びこれを用いたエアフィルターユニッ
トを提供することができる。特に、難燃剤が共重合され
た通気性支持材料である本発明のフィルター濾材はリン
(P)等の無機物の発生がなく、さらに通気性支持材料
として難燃剤が共重合された実質的にポリエステルから
なる本発明のフィルター濾材は、リン(P)等の無機物
及びTOCの発生がない。この結果、天井の一部(設備)
として半導体、液晶等の電子デバイス製造装置に本発明
のエアフィルターユニットを使用しても、難燃性の基準
をパスすることができる。 [図面の簡単な説明]
す。
視図を示す。
(JACA)、濾材規格委員会作成の「空気清浄装置用濾材
燃焼性試験法」(JACA−No.11−1977)で使用する支持
枠の正面図、図4Bは同平面図を示す。
す。
態の正面図を示す。
Claims (13)
- 【請求項1】ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)の多
孔膜の少なくとも片面に通気性支持材料を備えたフィル
ター濾材であって、「空気清浄装置用濾材燃焼性試験
法」(JACA−No.11−1977)において、最大炭化長が150
mm以下であり、前記通気性支持材料が、難燃剤が共重合
された難燃性通気性支持材料であることを特徴とする難
燃性フィルター濾材。 - 【請求項2】難燃性通気性支持材料が、実質的にポリエ
ステル及びポリアミドから選ばれる少なくとも一つの材
料である請求項1に記載の難燃性フィルター濾材。 - 【請求項3】ポリエステルが、ポリエチレンテレフタレ
ートおよびポリブチレンテレフタレートから選ばれる少
なくとも一つの樹脂である請求項2に記載の難燃性フィ
ルター濾材。 - 【請求項4】ポリエステル繊維材料が、長繊維不織布で
ある請求項2または3に記載の難燃性フィルター濾材。 - 【請求項5】電子デバイス製造装置に使用する請求項1
から4のいずれかに記載の難燃性フィルター濾材。 - 【請求項6】電子デバイスが、半導体または液晶である
請求項5に記載の難燃性フィルター濾材。 - 【請求項7】HEPAフィルターまたはULPAフィルターとし
て使用する請求項1から6のいずれかに記載のフィルタ
ー濾材。 - 【請求項8】5.3cm/秒の流速で空気を透過させたときの
圧力損失が10〜100mmH2Oの範囲であり、0.10〜0.12μm
のジオクチルフタレート(DOP)の捕集効率が、99.0%
以上である請求項1から7のいずれかに記載のフィルタ
ー濾材。 - 【請求項9】ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)多孔
膜の少なくとも片面に通気性支持材料を備えたフィルタ
ー濾材を用いたエアフィルターユニットであって、枠体
たる支持体内にフィルター濾材が波状に折曲された状態
で収納され、かつ周辺がシールされ、前記フィルター濾
材は「空気清浄装置用濾材燃焼性試験法」(JACA−No.1
1−1977)において、最大炭化長が150mm以下であり、前
記通気性支持材料が、難燃剤が共重合された難燃性通気
性支持材料であることを特徴とするエアフィルターユニ
ット。 - 【請求項10】電子デバイス製造装置に使用する請求項
9に記載のエアフィルターユニット。 - 【請求項11】電子デバイスが、半導体または液晶であ
る請求項10に記載のエアフィルターユニット。 - 【請求項12】フィルター濾材が、HEPAフィルターまた
はULPAフィルターである請求項9から11のいずれかに記
載のエアフィルターユニット。 - 【請求項13】フィルター濾材が、5.3cm/秒の流速で空
気を透過させたときの圧力損失が10〜100mmH2Oの範囲で
あり、0.10〜0.12μmのジオクチルフタレート(DOP)
の捕集効率が、99.0%以上である請求項1から12のいず
れかに記載のエアフィルターユニット。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8-211637 | 1996-08-09 | ||
JP21163796 | 1996-08-09 | ||
JP9-21523 | 1997-02-04 | ||
JP2152397 | 1997-02-04 | ||
PCT/JP1997/002755 WO1998006476A1 (fr) | 1996-08-09 | 1997-08-06 | Milieu filtrant resistant au feu et filtre a air |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3339053B2 true JP3339053B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=26358608
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50958398A Expired - Fee Related JP3339053B2 (ja) | 1996-08-09 | 1997-08-06 | 難燃性フィルター濾材及びこれを用いたエアフィルターユニット |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6336948B1 (ja) |
EP (1) | EP0917901B1 (ja) |
JP (1) | JP3339053B2 (ja) |
KR (1) | KR100429491B1 (ja) |
CN (1) | CN1080133C (ja) |
AT (1) | ATE268207T1 (ja) |
AU (1) | AU3783797A (ja) |
CA (1) | CA2262821A1 (ja) |
DE (1) | DE69729383T2 (ja) |
TW (1) | TW438678B (ja) |
WO (1) | WO1998006476A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100603094B1 (ko) * | 2001-11-09 | 2006-07-20 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 항균성 공기 필터 매체 및 이를 사용한 필터 유닛 |
KR20210021174A (ko) * | 2019-08-14 | 2021-02-25 | 한국철도기술연구원 | 살균필터 |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB9816118D0 (en) * | 1998-07-23 | 1998-09-23 | Pall Corp | Filter assemblies |
JP3852814B2 (ja) * | 1999-09-24 | 2006-12-06 | 富士通株式会社 | プロファイル作成方法及びシステム |
JP3584855B2 (ja) * | 1999-10-07 | 2004-11-04 | ダイキン工業株式会社 | エアフィルター濾材 |
JP3362730B2 (ja) * | 2000-08-24 | 2003-01-07 | ダイキン工業株式会社 | エアフィルター濾材、それを用いたエアフィルターパック及びエアフィルターユニット並びにエアフィルター濾材の製造方法 |
JP3595274B2 (ja) * | 2001-03-16 | 2004-12-02 | 豊田紡織株式会社 | 内燃機関用エアクリーナ及び吸着フィルタ |
KR20020074868A (ko) * | 2001-03-22 | 2002-10-04 | 크린에어테크놀로지 주식회사 | 난연 처리된 필터 |
US6808553B2 (en) * | 2001-06-13 | 2004-10-26 | Nitto Denko Corporation | Filter medium for turbine and methods of using and producing the same |
US6599343B2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-07-29 | Carrier Corporation | Method and apparatus for assembling an expandable and disposable media filter |
KR100509645B1 (ko) * | 2002-08-08 | 2005-08-23 | 김창용 | 테프론을 사용한 필터 |
CN1309447C (zh) * | 2002-08-15 | 2007-04-11 | 丁宏广 | 油烟空气过滤材料的制备工艺 |
JP4101100B2 (ja) * | 2003-04-02 | 2008-06-11 | 宇明泰化工股▲ふん▼有限公司 | 衣料用非対称性多孔質ポリテトラフルオロエチレン膜 |
JP3795027B2 (ja) * | 2003-04-02 | 2006-07-12 | 宇明泰化工股▲ふん▼有限公司 | フィルター用非対称性多孔質ポリテトラフルオロエチレン膜 |
US7878301B2 (en) * | 2005-04-01 | 2011-02-01 | Buckeye Technologies Inc. | Fire retardant nonwoven material and process for manufacture |
CN101163533B (zh) * | 2005-04-26 | 2011-06-22 | 日东电工株式会社 | 过滤器滤材及其制造方法和使用方法以及过滤器组件 |
EP1932575B1 (en) * | 2005-10-04 | 2014-11-26 | Toray Industries, Inc. | Nonwoven fabric for filters |
DE202005019666U1 (de) | 2005-12-14 | 2007-04-19 | Mann + Hummel Gmbh | Filtereinrichtung zur Luftfilterung in Brennkraftmaschinen |
US20080022645A1 (en) * | 2006-01-18 | 2008-01-31 | Skirius Stephen A | Tacky allergen trap and filter medium, and method for containing allergens |
CN101553358B (zh) * | 2006-01-18 | 2016-09-07 | 博凯技术公司 | 粘性过敏原捕集器和过滤介质 |
US8211195B2 (en) * | 2006-05-26 | 2012-07-03 | Propex Inc. | Hot gas filtration fabrics with silica and flame resistant fibers |
CN101663076B (zh) * | 2006-11-24 | 2013-08-21 | 爱克斯崔里斯科技有限公司 | 过滤器装置 |
US20090019825A1 (en) * | 2007-07-17 | 2009-01-22 | Skirius Stephen A | Tacky allergen trap and filter medium, and method for containing allergens |
US8673040B2 (en) | 2008-06-13 | 2014-03-18 | Donaldson Company, Inc. | Filter construction for use with air in-take for gas turbine and methods |
US10167137B2 (en) | 2008-09-24 | 2019-01-01 | Efip Holdings Lp | Flame resistant viscose filter apparatus and method |
US11434068B2 (en) | 2008-09-24 | 2022-09-06 | Restaurant Technologies, Inc. | Flame resistant filter apparatus and method |
US8277530B2 (en) | 2008-09-24 | 2012-10-02 | Ellis Fibre Usa | Grease removal apparatus, systems and methods |
US9943796B2 (en) * | 2009-03-26 | 2018-04-17 | Columbus Industries, Inc. | Multi layer pleatable filter medium |
US8262780B2 (en) * | 2009-07-22 | 2012-09-11 | Bha Group, Inc | High performance gas turbine inlet filter (HEPA) using membrane media |
DE102010020240A1 (de) | 2010-05-11 | 2011-11-17 | TÜV Rheinland Industrie Service GmbH | Luftdurchlässige OP-Decke |
JP5012990B2 (ja) * | 2010-06-17 | 2012-08-29 | ダイキン工業株式会社 | 多孔膜を備える濾材、その製造方法、フィルタパック、ならびにフィルタユニット |
US9314728B2 (en) * | 2011-09-07 | 2016-04-19 | Kompoferm Gmbh | Flame retardant for filter systems and method for improving flame resistance in filter systems |
US20150203692A1 (en) | 2011-10-31 | 2015-07-23 | Lubrizol Advanced Materials, Inc. | Non-halogen flame retardant as coatings for fibrous filter media |
KR101427665B1 (ko) | 2012-05-25 | 2014-08-07 | (주)이앤지필터텍 | 집진필터 제작방법 |
JP6209393B2 (ja) * | 2013-08-21 | 2017-10-04 | 日東電工株式会社 | フィルター濾材 |
CN104424941B (zh) * | 2013-09-05 | 2018-04-03 | 上海泰瑞电子科技有限公司 | 一种吸音材料及其制备方法 |
CN103961937A (zh) * | 2014-04-30 | 2014-08-06 | 桐乡市健民过滤材料有限公司 | 一种耐高温、高阻燃性覆膜滤料及其制备方法 |
US11819792B2 (en) | 2014-11-14 | 2023-11-21 | Columbus Industries, Inc. | Bidirectional airflow filter |
CN104436858A (zh) * | 2014-12-17 | 2015-03-25 | 上海海凡滤材有限公司 | 一种三层复合滤布及其制造方法 |
CN105371399B (zh) * | 2015-12-02 | 2018-07-24 | 西尼亚(北京)海洋环境科技有限责任公司 | 空气净化装置 |
US11014030B2 (en) | 2016-02-17 | 2021-05-25 | Hollingsworth & Vose Company | Filter media including flame retardant fibers |
US10252200B2 (en) | 2016-02-17 | 2019-04-09 | Hollingsworth & Vose Company | Filter media including a filtration layer comprising synthetic fibers |
CN109890480A (zh) * | 2016-09-30 | 2019-06-14 | 霍林斯沃思和沃斯有限公司 | 包含阻燃纤维的过滤介质 |
KR102108425B1 (ko) | 2018-02-09 | 2020-05-07 | 주식회사 나노코 | 에어필터 바인더용 난연수지 및 이의 제조방법 |
CN112261980A (zh) * | 2018-06-01 | 2021-01-22 | 日东电工株式会社 | 过滤器滤材和具备该过滤器滤材的过滤器单元 |
US20210316239A1 (en) * | 2018-09-07 | 2021-10-14 | 3M Innovative Properties Company | Fire-resistant filter |
KR102080821B1 (ko) | 2019-01-08 | 2020-02-24 | 주식회사 나노코 | 난연 특성이 우수한 에어필터 바인더용 난연수지 및 이의 제조방법 |
WO2020194137A1 (en) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | 3M Innovative Properties Company | Filter assembly |
SE545368C2 (en) * | 2021-02-26 | 2023-07-18 | Camfil Ab | Heat resistant regenerable air filter assembly |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS584899A (ja) * | 1981-06-05 | 1983-01-12 | ザ・デクスタ−・コ−ポレイシヨン | 活性化された炭素を含有する難燃性繊維ウエブ材 |
JPH05202217A (ja) * | 1991-07-23 | 1993-08-10 | Daikin Ind Ltd | ポリテトラフルオロエチレン多孔膜 |
Family Cites Families (44)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2728407A (en) | 1952-04-09 | 1955-12-27 | Specialties Dev Corp | Dehydrating apparatus |
US3246758A (en) | 1963-01-30 | 1966-04-19 | Watsco Inc | Hygrometric indicator for desiccants |
GB1266958A (ja) | 1969-04-29 | 1972-03-15 | ||
CA962021A (en) | 1970-05-21 | 1975-02-04 | Robert W. Gore | Porous products and process therefor |
US3909489A (en) * | 1973-11-07 | 1975-09-30 | Goodyear Tire & Rubber | Polyesters and copolyesters having improved flame retardancy |
JPS51134475A (en) | 1975-05-19 | 1976-11-20 | Japan Vilene Co Ltd | An incombustible and highly efficient air filter material |
US4075106A (en) | 1976-05-07 | 1978-02-21 | Masahiko Yamazaki | Filtering device |
US4025679A (en) | 1976-08-06 | 1977-05-24 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Fibrillated polytetrafluoroethylene woven filter fabric |
US4488966A (en) | 1980-01-24 | 1984-12-18 | Brunswick Corporation | Filter pleat support means |
US4302496A (en) * | 1980-10-21 | 1981-11-24 | Albany International Corp. | Composite waterproof and flame resistant fabrics |
US4878930A (en) | 1984-03-15 | 1989-11-07 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Filter cartridge |
JPH0657912B2 (ja) * | 1984-03-16 | 1994-08-03 | 東レ株式会社 | 難燃性繊維複合体 |
JPS6261614A (ja) | 1985-09-10 | 1987-03-18 | Aoki Kensetsu:Kk | 滅菌フイルタ− |
DE3780511T2 (de) | 1986-05-23 | 1993-03-04 | Gore & Ass | Hochleistungsgasfilter. |
US4753994A (en) * | 1986-12-02 | 1988-06-28 | Mobay Corporation | Flame retardant polycarbonate compositions |
FR2627399B1 (fr) | 1988-02-19 | 1990-06-15 | Poelman Sofiltra | Bloc filtrant et equipement de filtration l'incorporant |
US4927870A (en) * | 1988-08-25 | 1990-05-22 | The Dow Chemical Company | Ignition resistant modified thermoplastic composition |
US5236480A (en) | 1989-01-05 | 1993-08-17 | Camfil Ab | Air filter for workstations and methods of making and using such air filter |
US5098767A (en) | 1989-02-15 | 1992-03-24 | Pall Corporation | Filter device with micropleats and macropleats |
US4983434A (en) | 1989-04-07 | 1991-01-08 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Filter laminates |
DE69008723T2 (de) | 1989-06-16 | 1994-12-15 | Gore & Ass | Gaskissen aufprallschutzvorrichtung und dazugehöriger schichtstoff sowie prozess zur herstellung dieses schichtstoffs. |
JPH0796089B2 (ja) * | 1989-07-28 | 1995-10-18 | 市川毛織株式会社 | バグフィルター用▲ろ▼過布 |
WO1991008829A1 (en) | 1989-12-18 | 1991-06-27 | W.L. Gore & Associates, Inc. | New filter media for use in surgical and clean room masks |
US5137777A (en) * | 1990-12-11 | 1992-08-11 | Ametek | Fire-retardant polymer foam composites |
US5224974A (en) * | 1990-12-17 | 1993-07-06 | Johnson Walter F | Filter for use in dry powder spray coating systems |
US5096473A (en) * | 1991-03-01 | 1992-03-17 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Filtration fabric laminates |
US5143620A (en) * | 1991-06-25 | 1992-09-01 | Texaco Inc. | Membrane separation process |
CA2074349C (en) | 1991-07-23 | 2004-04-20 | Shinji Tamaru | Polytetrafluoroethylene porous film and preparation and use thereof |
JPH05184844A (ja) | 1991-07-23 | 1993-07-27 | Daikin Ind Ltd | フィルターエレメント |
US5409515A (en) | 1992-01-14 | 1995-04-25 | Daikin Industries, Ltd. | Filter apparatus and filter element |
US5207812B1 (en) | 1992-05-08 | 1996-10-01 | Gore & Ass | Filter cartridge |
DE69424569T2 (de) | 1993-01-25 | 2001-01-18 | Daikin Industries, Ltd. | Poröser Film aus Polytetrafluoroethylen |
JP3211447B2 (ja) | 1993-01-25 | 2001-09-25 | ダイキン工業株式会社 | 通気性シート状材料の積層方法 |
US5342673A (en) * | 1993-02-23 | 1994-08-30 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Sterilizable packaging material |
US5418054A (en) * | 1993-03-16 | 1995-05-23 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Flame-retardant, waterproof and breathable expanded PTFE laminate |
DE4407344C1 (de) | 1994-03-05 | 1995-05-11 | Freudenberg Carl Fa | Luftfiltermaterial, seine Verwendung und Herstellung |
JP3003500B2 (ja) * | 1994-04-28 | 2000-01-31 | ダイキン工業株式会社 | ポリテトラフルオロエチレン複合多孔膜 |
US5507847A (en) * | 1994-07-29 | 1996-04-16 | W. L. Gore & Associates, Inc. | ULPA filter |
US5527569A (en) | 1994-08-22 | 1996-06-18 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Conductive filter laminate |
JPH08325890A (ja) | 1995-06-01 | 1996-12-10 | Gunze Ltd | フッ素系繊維織物 |
US5624478A (en) | 1995-09-14 | 1997-04-29 | Patapanian; Edward | Ethylene absorption device |
US5837040A (en) | 1996-09-09 | 1998-11-17 | International Decontamination Systems Llc | Room air decontamination device |
TW371284B (en) * | 1996-12-04 | 1999-10-01 | Daikin Ind Ltd | Filtration material of filter and air cleaning device using the filtration material |
JP3512100B2 (ja) * | 1997-04-11 | 2004-03-29 | ダイキン工業株式会社 | エアフィルターユニットおよびその製造方法 |
-
1997
- 1997-08-04 TW TW086111099A patent/TW438678B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-08-06 JP JP50958398A patent/JP3339053B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1997-08-06 WO PCT/JP1997/002755 patent/WO1998006476A1/ja active IP Right Grant
- 1997-08-06 AU AU37837/97A patent/AU3783797A/en not_active Abandoned
- 1997-08-06 KR KR10-1999-7001093A patent/KR100429491B1/ko active IP Right Grant
- 1997-08-06 CN CN97198428A patent/CN1080133C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1997-08-06 CA CA002262821A patent/CA2262821A1/en not_active Abandoned
- 1997-08-06 DE DE69729383T patent/DE69729383T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-08-06 AT AT97934724T patent/ATE268207T1/de not_active IP Right Cessation
- 1997-08-06 EP EP97934724A patent/EP0917901B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-08-06 US US09/230,784 patent/US6336948B1/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS584899A (ja) * | 1981-06-05 | 1983-01-12 | ザ・デクスタ−・コ−ポレイシヨン | 活性化された炭素を含有する難燃性繊維ウエブ材 |
JPH05202217A (ja) * | 1991-07-23 | 1993-08-10 | Daikin Ind Ltd | ポリテトラフルオロエチレン多孔膜 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100603094B1 (ko) * | 2001-11-09 | 2006-07-20 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 항균성 공기 필터 매체 및 이를 사용한 필터 유닛 |
KR20210021174A (ko) * | 2019-08-14 | 2021-02-25 | 한국철도기술연구원 | 살균필터 |
KR102238736B1 (ko) * | 2019-08-14 | 2021-04-13 | 한국철도기술연구원 | 살균필터 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO1998006476A1 (fr) | 1998-02-19 |
TW438678B (en) | 2001-06-07 |
KR20000029908A (ko) | 2000-05-25 |
KR100429491B1 (ko) | 2004-05-03 |
EP0917901B1 (en) | 2004-06-02 |
CN1080133C (zh) | 2002-03-06 |
EP0917901A1 (en) | 1999-05-26 |
CA2262821A1 (en) | 1998-02-19 |
EP0917901A4 (en) | 2001-04-18 |
DE69729383D1 (de) | 2004-07-08 |
AU3783797A (en) | 1998-03-06 |
US6336948B1 (en) | 2002-01-08 |
CN1232406A (zh) | 1999-10-20 |
ATE268207T1 (de) | 2004-06-15 |
DE69729383T2 (de) | 2005-06-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3339053B2 (ja) | 難燃性フィルター濾材及びこれを用いたエアフィルターユニット | |
JP3512100B2 (ja) | エアフィルターユニットおよびその製造方法 | |
CA2274078C (en) | Filter medium and air filter unit using the same | |
US7501003B2 (en) | Composite filter media | |
US8147583B2 (en) | Multiple layer filter media | |
KR100439412B1 (ko) | 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛 | |
KR20090031911A (ko) | 고효율 hvac 필터 | |
JP2009501438A (ja) | 電子部品冷却用ファン冷却ユニット | |
WO2011088185A2 (en) | Air filter with sorbent particles | |
KR20010049842A (ko) | 에어필터 여과재, 그것을 이용한 에어필터 팩과 에어필터유닛 및 에어필터 여과재의 제조방법 | |
JP2000176262A (ja) | 多孔性材料、エアフィルター濾材、エアフィルターユニットおよびエアフィルター濾材用支持材料 | |
KR20200033669A (ko) | 나노 섬유 시트를 포함하는 정전 필터용 여과재 및 이의 제조방법 | |
WO2019230983A1 (ja) | フィルタ濾材とこれを備えるフィルタユニット | |
JP3371806B2 (ja) | エアフィルタ装置 | |
JP2000153122A (ja) | フィルタユニット | |
JPH10211409A (ja) | エアフィルタ用濾材並びにエアフィルタ | |
JP2003200013A (ja) | エアフィルタ濾材、それを用いたエアフィルタパック及びエアフィルタユニット並びにエアフィルタ濾材の製造方法 | |
KR20070042729A (ko) | 복합 윈도우 스크린 재료 | |
EP3812026A1 (en) | Filter medium and filter unit provided with same | |
JP2002058974A (ja) | エアフィルター濾材、それを用いたエアフィルターパック及びエアフィルターユニット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090816 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100816 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100816 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110816 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110816 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120816 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120816 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130816 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |