JP3339053B2 - 難燃性フィルター濾材及びこれを用いたエアフィルターユニット - Google Patents

難燃性フィルター濾材及びこれを用いたエアフィルターユニット

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伸一 茶圓
伸樹 浦岡
智男 楠見
純 浅野
平野　　誠一
聡 原
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、クリーンルーム等の空気清浄に使用される
難燃性エアフィルター濾材及びこれを用いたエアフィル
ターユニットに関する。さらに詳しくは、例えば半導
体、液晶などの電気・電子部品等の製造の空気清浄に使
用される難燃性フィルター濾材及びこれを用いたエアフ
ィルターユニットに関する。
【０００２】
【従来の技術】
クリーンルーム等の空気清浄に使用されるフィルター
としては、本出願人はすでにポリテトラフルオロエチレ
ン（以下「PTFE」）多孔膜を提案している（例えば特開
平５−202217号公報）。また、PTFE多孔膜を使用する場
合は、膜自体が薄いので、傷付き防止やピンホールの発
生防止のため、PTFE多孔膜の両面を芯鞘構造の長繊維を
用いたスパンボンド不織布などの熱可塑性材料で積層
し、保護することも提案した（特開平６−218899号公
報）。
【０００３】 しかしながら、前記従来技術は「空気清浄装置用濾材
燃焼性試験法」（JACA−No.11−1977）の測定法で難燃
性を満足できないことを本発明者らは見い出した。
【０００４】 難燃性フィルター濾材及びこれを用いたエアフィルタ
ーユニットとしては、例えば天井の一部（設備）として
取り付けて用いられる場合があり、特に、このような場
合は防災上の観点から難燃性が要求される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記従来の問題を解決するため、難燃性に
優れたフィルター濾材及びこれを用いたエアフィルター
ユニットを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するため、本発明の難燃性フィルター
濾材は、PTFE多孔膜の少なくとも片面に通気性支持材料
を備えたフィルター濾材であって、「空気清浄装置用濾
材燃焼性試験法」（JACA−No.11−1977）において、最
大炭化長が150mm以下であり、前記通気性支持材料が、
難燃剤が共重合された難燃性通気性支持材料であること
を特徴とする。ここで難燃性とは、社団法人日本空気清
浄協会（JACA）、濾材規格委員会作成の「空気清浄装置
用濾材燃焼性試験法」（JACA−No.11−1977）によって
測定する。
【０００７】 本発明の難燃性フィルター濾材において、PTFE多孔膜
は１層あるいは２層以上からなるものであってよく、ま
た、難燃性フィルター濾材は、PTFE多孔膜の片面に通気
性支持材料を備えたもの、PTFE多孔膜の両面に通気性支
持材料を備えたもの、PTFE多孔膜と通気性支持材料を交
互に、あるいはランダムに備えたもの等を挙げることが
できる。とくにPTFE多孔膜の両面に通気性支持材料を備
えたものが好ましい。
【０００８】 前記難燃性フィルター濾材において、PTFE多孔膜は特
に限定されず、公知のものが使用できる。なかでも、半
導体、液晶等の製造クリーンルームやこれら製造装置に
用いられるフィルターユニットに要求される浮遊微粒子
の捕集効率、圧力損失等の性能（HEPAフィルター、ULPA
フィルターと同等以上の性能）を達成可能なものが好ま
しい。例えば、5.3cm/秒の流速で空気を透過させたとき
の圧力損失が10〜100mmH2Oの範囲であり、0.10〜0.12μ
ｍのジオクチルフタレート（DOP）の捕集効率が、99.0
％以上であることが好ましい。このようなPTFE多孔膜
は、特開平５−202217号公報、WO94/16802号公報等に詳
細に記載されている。
【０００９】 本発明で用いる前記PTFE多孔膜は、公知の製法により
容易に得ることができる。例えば、PTFEファインパウダ
ーを押出助剤とともにペースト押出し、圧延によってテ
ープを得、このテープを未焼成のまま、または半焼成し
た後、二軸方向に延伸することにより得られる。詳細は
特開平５−202217号公報、WO94/16802号公報等に記載さ
れている。
【００１０】 また前記難燃性フィルター濾材においては、通気性支
持材料が、有機材料、特に樹脂からなる難燃性通気性支
持材料であることが好ましい。
【００１１】 また前記難燃性フィルター濾材においては、通気性支
持材料が、不織布、織布であることが好ましく、特に樹
脂からなる不織布であることが好ましい。尚、通気性支
持材料がガラス繊維からなるもの、例えば、ガラス繊維
不織布、ガラス繊維ペーパー、ガラス繊維エアフィルタ
ー濾材は、ボロン（Ｂ）の発生源となるので好ましくな
い。
【００１２】 また前記難燃性フィルター濾材においては、通気性支
持材料が、実質的にポリエステル及びポリアミドから選
ばれる少なくとも一つの材料で形成されていることが好
ましい。また通気性支持材料がポリエステル繊維で形成
され、かつポリオレフィンを含まない通気性支持材料で
あることが好ましい。ここでポリエステルとは、ポリエ
チレンテレフタレート（PET）およびポリブチレンテレ
フタレート（PBT）等をいう。
【００１３】 また前記難燃性フィルター濾材においては、難燃剤が
共重合されたものが好ましく、特にポリエステル繊維
に、難燃剤が共重合されていることが好ましい。例え
ば、有機リン化合物で難燃性を付与する場合、共重合さ
れていれば、フィルター濾材の使用においても、フィル
ター濾材からリン（Ｐ）が検出されない。
【００１４】 また前記難燃性フィルター濾材においては、ポリエス
テル繊維材料が、長繊維不織布であることが好ましい。
【００１５】 次に本発明のエアフィルターユニットは、PTFE多孔膜
の少なくとも片面に通気性支持材料を備えたフィルター
濾材を用いたエアフィルターユニットであって、枠体た
る支持体内にフィルター濾材が波状に折曲された状態で
収納され、かつ周辺がシールされ、前記フィルサー濾材
は「空気清浄装置用濾材燃焼性試験法」（JACA−No.11
−1977）において、最大炭化長が150mm以下であり、前
記通気性支持材料が、難燃剤が共重合された難燃性通気
性支持材料であることを特徴とする。
【００１６】 難燃性を付与する手段としては、難燃性を発揮する化
合物を練り込んだり共重合したり、繊維の表面にコーテ
ィングするなどの公知の手段を採用することができる。
例えば、ポリエステル繊維に難燃剤である有機リン化合
物を共重合、練り込み、またはポリマーブレンド等によ
り難燃化できる。さらに具体的には下記のような難燃化
手段がある。 （１）難燃性素材の使用 素材自体が難燃性のものは例えば次のものがある。芳
香族ポリアミド繊維、モダクリル繊維、ポリクラール繊
維、難燃化ポリノジック、難燃化ビニロン、難燃化ポリ
エステル、アクリル酸化繊維（耐炎化繊維）、レーヨン
炭化繊維（耐炎化繊維）、アラミド繊維、ポリアリレー
ト繊維、フェノール系繊維、ポリブチレンイソシアネー
ト繊維（PBI繊維）、ポリ塩化ビニリデン繊維、アスベ
スト、炭素繊維、金属繊維、シリカ繊維などの無機繊
維、PTFE繊維、テトラフルオロエチレン−パーフルオロ
アルキルビニルエーテル共重合体（PFA）繊維、ポリビ
ニリデンフルオライド（PVdF）繊維 （２）後加工防炎性難燃性 前記（１）の繊維と重複するが、後加工によって防炎
性や難燃性を付与する手段として、繊維を糸や布、不織
布等に加工した後、ディッピングや塗布によって難燃剤
を表面コーティングする方法が用いられる。
【００１７】 また、合成繊維の場合、ポリマーの合成時に難燃化剤
を共重合等の化学結合によって導入する方法や溶融押出
紡糸時にポリマーに練り込んだり、ポリマーブレンドを
する方法がある。
【００１８】 難燃剤としては、水酸化アルミニウムに代表される無
機系難燃剤や、デカブロモジフェニルオキサイドに代表
されるデカブロ系の臭素系難燃剤、テトラブロモビスフ
ェノールに代表されるノンデカ系の臭素系難燃剤の他、
塩素系難燃剤やリン系難燃剤が使用できる。
【００１９】 特に、合成繊維への難燃化には、重合時に化学結合に
よって繊維に直接難燃剤を導入できることからリン酸エ
ステル系難燃剤や含ハロゲンリン酸エステル系難燃剤が
望ましい。
【００２０】 また、前記においては、難燃繊維と非難燃繊維を混合
（もしくは混紡）する事によって、糸、もしくは布や不
織布全体として難燃性を付与したり、難燃性をより顕著
にしたりすることができる。
【００２１】 例えば、難燃化アクリル系繊維と綿とを混紡した素材
（倉敷紡績製；商品名：デライラ）や炭素化繊維（プレ
カーボン）とアラミド繊維（商品名：ケブラー）とを混
紡した不織布（帝国繊維製；商品名：テイセンパイク）
などが例示できる。
【００２２】 また、ポリ塩化ビニリデン（PVC）とポリエチレン（P
E）の混合による不織布や、ポリフッ化ビニリデン（PVd
F）とポリエステル繊維との混紡による糸が難燃性を付
与できる。
【００２３】 前記フィルター濾材においては、ポリエステル繊維材
料を使用する場合は、不織布であることが好ましく、と
くに長繊維を用いた不織布が好ましい。例えば、リン
（Ｐ）系化合物等の難燃剤が共重合されたPET不織布、
高融点PET（芯部）／前記難燃剤が共重合された低融点P
ET（鞘部）の芯鞘構造繊維の不織布、高融点PET（芯
部）／前記難燃剤が共重合されたPBT（鞘部）の芯鞘構
造繊維の不織布等があげられる。長繊維を用いた不織布
は、溶融紡糸の際に不織布を形成でき（紡糸直結不織
布）、最初から清浄な状態に保つことができるからであ
る。長繊維を用いた不織布としては、例えばスパンボン
ド法、フラッシュ紡糸法、メルトブロー法によるものな
どがある。
【００２４】 短繊維を用いた不織布は、開繊を行うためにカードを
通過させる必要があるが、この工程通過性を保つために
必然的に油剤を付与する。したがって、油剤を除去して
使用する必要がある。短繊維を用いた不織布としては、
ニードルパンチ法、ウォータージェット法、ステッチボ
ンド法によるものなどがある。
【００２５】 このように実質的にポリエステル繊維からなる不織
布、特に長繊維不織布からなる難燃性通気性支持材料を
PTFE多孔膜の少なくとも片面に備えたフィルター濾材
は、濾材自体からトータルオーガニックカーボン（以下
TOC、ここでTOCとは例えばドデカン、トリデカン、ジオ
クチルフタレート、シロキサン等の種々のガス状有機物
の総量である。）の発生が極めて低いものであることが
見出された。クリーンルーム等の空気清浄空間におい
て、TOCおよび無機物（例えば、リン）の検出量が低い
ことは、例えば、半導体、液晶などの製造における品質
向上となる。
【００２６】 また前記フィルター濾材においては、PTFE多孔膜と難
燃性通気性支持材料とは、ホットメルト接着剤により接
着することができる。PTFE多孔膜と難燃性通気性支持材
料との一体化をはかるためである。またホットメルト接
着剤を用いるとTOCの発生も低く押さえられる。
【００２７】 特に、PTFE多孔膜と難燃剤が共重合されたポリエステ
ル繊維からなる不織布、とりわけ長繊維不織布である通
気性支持材料とがポリエステル系ホットメルト接着剤に
より接着されているものが好ましい。
【００２８】 また、ホットメルト接着剤を用いて接着する態様にお
いては、好ましく使用するポリエステル繊維材料は、高
融点PET繊維、低融点PET繊維、高融点PET繊維と低融点P
ET繊維との混合繊維からなる不織布、高融点PET（芯
部）／低融点PET（鞘部）の芯鞘構造繊維の不織布、高
融点PET（芯部）/PBT（鞘部）の芯鞘構造繊維の不織布
などであってもよい。
【００２９】 接着方法は、公知の方法、好ましくは、通気性支持材
料の通気量を損なわないために、スプレー塗布方式、ス
パイラルスプレー塗布方式、スロットスプレー塗布方
式、メルトブローン塗布方式、プリントホイール塗布方
式、リボンリップ塗布方式などを使用して接着できる。
より有機物の発生を低く押さえられる点、低コストの点
からホットメルト接着剤を用いる方法が好ましい。
【００３０】 また、難燃剤（例えば、リン系化合物）が共重合され
たポリエステル繊維からなる不織布であって、PBT繊維
不織布、PET（芯部）/PBT（鞘部）の芯鞘構造繊維の不
織布、PET繊維およびPBT繊維の混合不織布等の少なくと
もPBTを含む不織布は、PTFE多孔膜と通気性支持材料の
融点を超えない温度での熱融着（例えば、熱ロールによ
り）も可能であり、この場合、接着剤を使用しないの
で、その分、TOCの発生がなく、特に好ましい。
【００３１】 前記エアフィルターユニットにおいては、ホットメル
ト接着剤からなる帯状又はリボン状のスペーサーを有す
るミニプリーツ式フィルターエレメントを収納してなる
ことが好ましい。このような形状のエアフィルターユニ
ット（ミニプリーツ式）であると、フィルターの全面積
を有効に使用することができ、半導体、液晶等の電子デ
バイス製造装置に好ましく使用できる。
【００３２】 また前記エアフィルターユニットにおいては、枠体た
る支持体とフィルター濾材とのシール部が、ホットメル
ト接着剤でシールされていることが好ましい。ホットメ
ルト接着剤を用いるとTOCの発生も低く押さえられる。
【００３３】 以上説明した通り、本発明によれば難燃性に優れたフ
ィルター濾材及びこれを用いたエアフィルターユニット
を提供することができる。
【００３４】 尚、本発明の対象とするフィルター濾材及びこれを用
いたエアフィルターユニットは、PTFE多孔膜が主として
空気清浄作用を有するフィルター濾材及びこれを用いた
エアフィルターユニットに用いられるものである。
【００３５】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いてさらに詳しく説明する。
【００３６】 図１は本発明の一実施の形態のフィルター濾材の断面
図を示すものである。図１において、１はフィルター濾
材、２は例えば目付が2g/m2、厚さが４μｍのPTFE層、
3,4は難燃性ポリエステル長繊維スパンボンド不織布
（例えば東洋紡製ハイム（商品名）、繊度（単繊維の太
さ）:2デニール、目付が15〜100g/m2、好適には20〜70g
/m2）の層である。PTFE層２と難燃性スパンボンド不織
布層3,4との接着はポリエステル系ホットメルト接着剤
（例えばダイアボンド（商品名））を１〜20g/m2、好適
には２〜10g/m2で塗布し、温度:160〜200℃の範囲で熱
融着させたものである。フィルター濾材１全体の厚さは
100〜1500μｍ好ましくは100〜700μｍである。また、
フィルター濾材１の性能としては、圧損:10〜100mmH2O
（at 5.3cm/sec）、粒子径0.10〜0.12μｍのDOPの捕集
効率:99.0％以上（at 5.3cm/sec,0.1μｍ）、孔径:0.2
〜３μｍの範囲が好ましい。
【００３７】 次に図２は、本発明の一実施の形態のエアフィルター
ユニットの斜視図を示すものである。図２において、１
は前記のフィルター濾材、５はホットメルト接着剤（例
えばダイアボンド（商品名））からなる帯状又はリボン
状のスペーサー、６〜９は外枠材である。フィルター濾
材１は約40mmの幅に折りたたまれており、正面から見て
スペーサー５によって約2mmの隙間（山と山の間隔）を
形成している。スペーサー５の列と列の間隔は10〜50mm
程度の範囲が好ましい。好適には25mm程度である。そし
てフィルター濾材１の周囲と外枠材６〜９の内面とは、
周囲から空気が漏れないように、ホットメルト接着剤
（例えばダイアボンド（商品名））によってシールされ
ている。
【００３８】 次に図３は、図２のスペーサー５の部分の断面図であ
る。フィルター濾材１の外側から、ほぼ中央部の部分ま
で、約20mmの長さでスペーサー５が接着されている。ス
ペーサー５の太さは、約1mmである。このスペーサー５
の設置により、流通空気を均一にフィルター濾材１を通
過させることができる。
【００３９】
【実施例】
以下実施例を用いてさらに具体的に説明する。以下の
実施例において、圧力損失、透過率、捕集効率、有機物
及び無機物の検出量は下記の方法で測定した。
【００４０】 （Ｉ） 圧力損失測定法 測定サンプルを直径47mmの円形に切出し、透過有効面
積12.6cm2のホルダーにセットし、風速5.3cm/secの時の
圧力損失を測定した。
【００４１】 （II） 透過率 測定サンプルを直径100mmのホルダーにセットし、サ
ンプルを透過する空気の流量を5.3cm/secに合わせる。
この状態でサンプルの上流側に濃度107/300mlの多分散D
OP（ジオクチルフタレイト）粒子を導入する。サンプル
上流側、下流側各々で粒径0.1μｍの粒子数をパーティ
クルカウンター（PMS社製、LAS−Ｘ−CRT）で測定し、
その比率より粒子の透過率（％）を求めた。
【００４２】 （III） 捕集効率（％） 下記の式より求めた。 捕集効率（％）＝100−透過率（％）
【００４３】 （IV） 有機物の測定 フィルター濾材サンプル（1.0〜5.0g、好ましくは1.5
〜3.0g）を秤取ってガラス容器に封入し、室温（25℃）
下で純空気（住友精化株式会社製；合成空気 AIR−Zer
o−Ａ）を0.1リットル/minで24時間通気して前記フィル
ター濾材を洗浄した後、前記ガラス容器のガス出口側に
活性炭チューブ（活性炭200mg 20〜40メッシュ、柴田
科学器械工業（株）製;8015）を設置し、室温下で純空
気を0.1リットル/minで24時間通気してオフガスを捕集
し、捕集後の活性炭を脱着溶媒である二硫化炭素（１ミ
リリットル）で抽出し、その溶液をガスクロマトグラフ
質量分析装置（GC−MS）を用いて有機物を測定した。使
用したGC−MS装置は、島津製作所製;QP−1000、分離カ
ラムはOV−１（１％）の1mを使用した。ガスクロマトグ
ラフのオーブンの条件は、有機物性のガスを全て検出す
る必要がある為、50℃で５分間保持した後、10℃/minの
速度で250℃まで昇温し、２分30秒間保持した。
【００４４】 検出された有機物の同定には、質量分析情報を１秒毎
に取り込み、解析を行った。但し、本発明に於いて有機
物質の同定確度が問題ではなく、検出限界以上の有機物
が検出された事が重要である。
【００４５】 検出された有機物の検出量の測定値は、トルエンにて
作成した検量線に基づくものである。従って、フィルタ
ー濾材1g当たりの有機物の検出量は、測定値／サンプル
値（ｇ）から求めることができる。尚、上記測定方法で
は、ブランクテストの状態から検出限界値は1ngであっ
た。
【００４６】 （Ｖ） 無機物（Ｐ等）の測定方法 フィルター濾材サンプル（4.0g）を秤取って十分に洗
浄したテトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキル
ビニルエーテル共重合体（PFA）容器に入れ、これに150
ccの超純水を加え封入する。このPFA容器をクリーンブ
ース内、室温下で72時間振盪したのち、前記容器内の溶
液をICP−AES（日立製作所社製、306スーパースキャ
ン）によって測定した。
【００４７】 （VI）空気清浄装置用ろ材燃焼性試験方法 1.適用 この試験方法は空気清浄装置に用いられる濾材の燃焼
性試験方法について規定する。
【００４８】 2.試験体 （１）大きさ：試験体の大きさは250mm×250mmとする。 （２）数 量：試験体の数量は５枚とする。
【００４９】 3.試験体の採取 試験体の採取は対象となるロットより無作為に採取す
る。
【００５０】 4.試験体の前処理 試験を行う前に試験体を50±２℃の恒温乾燥器内で24
時間放置する。ただし熱による影響を受けるおそれのな
い場合にあっては、105±２℃の恒温乾燥器内に１時間
放置してこれに代えることができる。つぎにこれをシリ
カゲル入りデシケータの中に１時間以上放置する。
【００５１】 5.試験装置 （１）支持枠 図4A（正面図）、図4B（平面図）に示す一辺が250mm
（内法200mm）の正方形であって、脚高100mmの金属製の
もので、試験体を保持し、試験体に十分通気性を与える
支持枠11を用いる。 （２）金 網 JIS Ｇ 3555織金網に規定される20メッシュで周囲
を補強した250mm×250mmの大きさのもの。 （３）金属枠 図５に示す一辺が250mmの正方形の金属板（厚さ1.6mm
以上）の中央に直径200mmの円形の孔を打ち抜いたもの
で試験体を金網上に密着させる十分な重さを有する金属
枠14を用いる。 （４）火 源 重さ0.15g直径6.4mm厚さ4.3mmのヘキサメチレンテト
ラミンとする。 （５）スケール 1mm目盛のものとする。
【００５２】 6.試験操作 （１）試験体13を１枚ずつデシケータより取り出し、図
６に示すように支持枠11上に金網12をのせ、その上に試
験体13を置き、さらにその上に金属枠14をのせて、試験
体13の周囲をおさえる。試験体13の中央15に火源を置き
マッチによりこれに点火する。燃焼状態を観察するとと
もに試験体13の中央を通る線上の炭化部分の最大の長さ
を測定し、試験体５枚の平均値を求める。 （２）表裏で状態の異なる試験体に関しては、表裏両面
について別個に行う。 （３）屋外で試験を行う場合は風の影響を受けないよう
処理する。
【００５３】 7.評価 （１）最大炭化長150mm以下を難燃性濾材とする。表裏
別個に試験を行った場合は最大炭化長の長い方で評価す
る。 （２）次の状況を示すものは記録しておく。 ５枚のうち特に異状な燃焼状態を示すものがあった場
合。 火源が残る場合。
【００５４】 （実施例１） フィルターの構成部材３及び４として難燃化ポリエス
テル長繊維スパンボンド不織布（東洋紡製ハイム（商品
名）：品名H6401B、繊度２デニール、目付40g/m2）の片
側の表面にポリエステル系ホットメルト接着剤（ノガワ
ケミカル製：ダイアボンドDH598B）を3g/m2の割合で塗
布した。
【００５５】 次に、フィルターの構成部材２としてPTFE多孔膜を使
用し、構成部材３及び４の３枚を重ね合わせた後、ライ
ン速度10m/minで180℃の熱ロールに接触させて熱融着に
よって一体化することにより、平均孔径0.35μｍ、圧力
損失42mmH2O、透過率0.0000027％、捕集効率99.9999973
％のフィルター濾材１を得た。
【００５６】 このフィルター濾材の燃焼性試験（JACA−No.11−197
7）を行ったところ、最大炭化長は105mmで難燃性濾材の
規格（最大炭化長150mm以下）に合致した。
【００５７】 また、このフィルター濾材の1.5gの有機物の検出量を
測定したところ、フィルター濾材1g当たり検出限界値
（1ng）以下であった。また、リン（Ｐ）は未検出であ
った。各種無機物の検出量を表１にまとめて示す。
【００５８】 （実施例２） フィルターの構成部材３および４としてPET（芯部）/
PBT（鞘部）の芯鞘構造の難燃化長繊維スパンボンド不
織布（東洋紡製：品名バルコンポHPH6060G、繊度８デニ
ール、目付60g/m2）をPTFE多孔膜２の両面に重ね合わせ
た後、ライン速度10m/分で250℃の熱ロールに接触させ
て熱融着（ラミネート）により一体化し、圧力損失40mm
H2O、捕集効率99.99995のフィルター濾材１を得た。
【００５９】 このフィルター濾材の燃焼性試験（JACA−No.11−197
7）を行ったところ、最大炭化長は95mmで難燃性濾材の
規格に合格した。
【００６０】 また、このフィルター濾材の1.5gの有機物の検出量を
測定したところ、フィルター濾材1g当たり検出限界（1n
g）以下であった。また、リン（Ｐ）は未検出であっ
た。各種無機物の検出量を表１にまとめて示す。
【００６１】 （比較例１） フィルターの構成部材３としてポリエチレンとポリエ
ステルの芯／鞘構造を持つ長繊維スパンボンド不織布
（ユニチカ製：エルベスT0703WDO、繊度３デニール、目
付70g/m2）を使用し、フィルターの構成部材４として鞘
部分にポリエチレンを用い、芯部分にポリエステルを用
いた芯／鞘構造コンジュゲート繊維と鞘部分に変成ポリ
エステルを用い、芯部分にポリエステルを用いた芯／鞘
構造コンジュゲート繊維の２種類の繊維からなる２層構
造スパンボンド不織布（ユニチカ製：エルフィットE030
3WTO、繊度３デニール、目付30g/m2）を使用した。
【００６２】 次に、フィルターの構成部材２としてPTFE多孔膜を使
用し、構成部材３及び４の３枚を重ね合わせた後、ライ
ン速度10m/minで200℃の熱ロールに接触させて熱融着に
よって一体化することにより同様のフィルター濾材を得
た。
【００６３】 このフィルター濾材の燃焼性試験（JACA−No.11−197
7）を行ったところ、最大炭化長は200mm以上で難燃性濾
材の規格（最大炭化長150mm以下）に合致しなかった。
【００６４】 又、このフィルター濾材3gの有機物の検出量を実施例
１と同様に測定した結果、フィルター濾材1g当たり3ng
のドデカン、4ngのトリデカン等の有機物を検出した。
【００６５】 （表１）無機物名 実施例１ 実施例２ P ND ND Ca ND 0.2 Mg 0.7 ND Al ND ND Fe ND ND Cu ND ND Zn ND ND （注１）単位はppbである。 （注２）NDはフィルター濾材1g当たり検出限界値（1n
g）以下を示す。
【００６６】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、難燃性に優れた
フィルター濾材及びこれを用いたエアフィルターユニッ
トを提供することができる。特に、難燃剤が共重合され
た通気性支持材料である本発明のフィルター濾材はリン
（Ｐ）等の無機物の発生がなく、さらに通気性支持材料
として難燃剤が共重合された実質的にポリエステルから
なる本発明のフィルター濾材は、リン（Ｐ）等の無機物
及びTOCの発生がない。この結果、天井の一部（設備）
として半導体、液晶等の電子デバイス製造装置に本発明
のエアフィルターユニットを使用しても、難燃性の基準
をパスすることができる。 ［図面の簡単な説明］
【図１】 本発明の一実施の形態のフィルター濾材の断面図を示
す。
【図２】 本発明の一実施の形態のエアフィルターユニットの斜
視図を示す。
【図３】 図２のスペーサーの部分の断面図を示す。
【図４】 図4Aは、本発明で使用する社団法人日本空気清浄協会
（JACA）、濾材規格委員会作成の「空気清浄装置用濾材
燃焼性試験法」（JACA−No.11−1977）で使用する支持
枠の正面図、図4Bは同平面図を示す。
【図５】 同JACA−No.11−1977で使用する金属枠の平面図を示
す。
【図６】 同JACA−No.11−1977で使用する試験体を装着した状
態の正面図を示す。
【符号の説明】
１ フィルター濾材 ２ PTFE層 3,4 難燃性スパンボンド不織布層 ５ スペーサー ６〜９ 外枠材 11 支持枠 12 金網 13 試験体 14 金属枠 15 試験体13の中央
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 楠見 智男 大阪府摂津市西一津屋１番１号 ダイキ ン工業株式会社淀川製作所内 (72)発明者 浅野 純 大阪府摂津市西一津屋１番１号 ダイキ ン工業株式会社淀川製作所内 (72)発明者 平野 誠一 大阪府摂津市西一津屋１番１号 ダイキ ン工業株式会社淀川製作所内 (72)発明者 原 聡 大阪府摂津市西一津屋１番１号 ダイキ ン工業株式会社淀川製作所内 (56)参考文献 特開 平５−202217（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−4899（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B01D 39/00 - 39/20

Claims (13)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）の多
    孔膜の少なくとも片面に通気性支持材料を備えたフィル
    ター濾材であって、「空気清浄装置用濾材燃焼性試験
    法」（JACA−No.11−1977）において、最大炭化長が150
    mm以下であり、前記通気性支持材料が、難燃剤が共重合
    された難燃性通気性支持材料であることを特徴とする難
    燃性フィルター濾材。
  2. 【請求項２】難燃性通気性支持材料が、実質的にポリエ
    ステル及びポリアミドから選ばれる少なくとも一つの材
    料である請求項１に記載の難燃性フィルター濾材。
  3. 【請求項３】ポリエステルが、ポリエチレンテレフタレ
    ートおよびポリブチレンテレフタレートから選ばれる少
    なくとも一つの樹脂である請求項２に記載の難燃性フィ
    ルター濾材。
  4. 【請求項４】ポリエステル繊維材料が、長繊維不織布で
    ある請求項２または３に記載の難燃性フィルター濾材。
  5. 【請求項５】電子デバイス製造装置に使用する請求項１
    から４のいずれかに記載の難燃性フィルター濾材。
  6. 【請求項６】電子デバイスが、半導体または液晶である
    請求項５に記載の難燃性フィルター濾材。
  7. 【請求項７】HEPAフィルターまたはULPAフィルターとし
    て使用する請求項１から６のいずれかに記載のフィルタ
    ー濾材。
  8. 【請求項８】5.3cm/秒の流速で空気を透過させたときの
    圧力損失が10〜100mmH2Oの範囲であり、0.10〜0.12μｍ
    のジオクチルフタレート（DOP）の捕集効率が、99.0％
    以上である請求項１から７のいずれかに記載のフィルタ
    ー濾材。
  9. 【請求項９】ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）多孔
    膜の少なくとも片面に通気性支持材料を備えたフィルタ
    ー濾材を用いたエアフィルターユニットであって、枠体
    たる支持体内にフィルター濾材が波状に折曲された状態
    で収納され、かつ周辺がシールされ、前記フィルター濾
    材は「空気清浄装置用濾材燃焼性試験法」（JACA−No.1
    1−1977）において、最大炭化長が150mm以下であり、前
    記通気性支持材料が、難燃剤が共重合された難燃性通気
    性支持材料であることを特徴とするエアフィルターユニ
    ット。
  10. 【請求項１０】電子デバイス製造装置に使用する請求項
    ９に記載のエアフィルターユニット。
  11. 【請求項１１】電子デバイスが、半導体または液晶であ
    る請求項10に記載のエアフィルターユニット。
  12. 【請求項１２】フィルター濾材が、HEPAフィルターまた
    はULPAフィルターである請求項９から11のいずれかに記
    載のエアフィルターユニット。
  13. 【請求項１３】フィルター濾材が、5.3cm/秒の流速で空
    気を透過させたときの圧力損失が10〜100mmH2Oの範囲で
    あり、0.10〜0.12μｍのジオクチルフタレート（DOP）
    の捕集効率が、99.0％以上である請求項１から12のいず
    れかに記載のエアフィルターユニット。
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