KR100429491B1 - 난연성(難燃性) 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛 - Google Patents

난연성(難燃性) 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR100429491B1
KR100429491B1 KR10-1999-7001093A KR19997001093A KR100429491B1 KR 100429491 B1 KR100429491 B1 KR 100429491B1 KR 19997001093 A KR19997001093 A KR 19997001093A KR 100429491 B1 KR100429491 B1 KR 100429491B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filter
flame retardant
air
flame
filter medium
Prior art date
Application number
KR10-1999-7001093A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20000029908A (ko
Inventor
이노우에오사무
차엔신이치
우라오카노부키
구스미도시오
아사노준
히라노세이이치
하라사토시
Original Assignee
다이킨 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 다이킨 고교 가부시키가이샤 filed Critical 다이킨 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20000029908A publication Critical patent/KR20000029908A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100429491B1 publication Critical patent/KR100429491B1/ko

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/12—Layered products comprising a layer of synthetic resin next to a fibrous or filamentary layer
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/08—Filter cloth, i.e. woven, knitted or interlaced material
    • B01D39/083—Filter cloth, i.e. woven, knitted or interlaced material of organic material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/16—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres
    • B01D39/1607—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres the material being fibrous
    • B01D39/1623—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres the material being fibrous of synthetic origin
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D39/00—Filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D39/14—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material
    • B01D39/16—Other self-supporting filtering material ; Other filtering material of organic material, e.g. synthetic fibres
    • B01D39/1692—Other shaped material, e.g. perforated or porous sheets
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/32—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins
    • B32B27/322—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyolefins comprising halogenated polyolefins, e.g. PTFE
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B33/00—Layered products characterised by particular properties or particular surface features, e.g. particular surface coatings; Layered products designed for particular purposes not covered by another single class
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B5/00—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts
    • B32B5/02—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by structural features of a fibrous or filamentary layer
    • B32B5/022—Non-woven fabric
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B5/00—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts
    • B32B5/22—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by the presence of two or more layers which are next to each other and are fibrous, filamentary, formed of particles or foamed
    • B32B5/24—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by the presence of two or more layers which are next to each other and are fibrous, filamentary, formed of particles or foamed one layer being a fibrous or filamentary layer
    • B32B5/26—Layered products characterised by the non- homogeneity or physical structure, i.e. comprising a fibrous, filamentary, particulate or foam layer; Layered products characterised by having a layer differing constitutionally or physically in different parts characterised by the presence of two or more layers which are next to each other and are fibrous, filamentary, formed of particles or foamed one layer being a fibrous or filamentary layer another layer next to it also being fibrous or filamentary
    • E—FIXED CONSTRUCTIONS
    • E04—BUILDING
    • E04B—GENERAL BUILDING CONSTRUCTIONS; WALLS, e.g. PARTITIONS; ROOFS; FLOORS; CEILINGS; INSULATION OR OTHER PROTECTION OF BUILDINGS
    • E04B9/00—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation
    • E04B9/02—Ceilings; Construction of ceilings, e.g. false ceilings; Ceiling construction with regard to insulation having means for ventilation or vapour discharge
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/02—Types of fibres, filaments or particles, self-supporting or supported materials
    • B01D2239/0216—Bicomponent or multicomponent fibres
    • B01D2239/0233—Island-in-sea
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/04—Additives and treatments of the filtering material
    • B01D2239/0457—Specific fire retardant or heat resistant properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/04—Additives and treatments of the filtering material
    • B01D2239/0471—Surface coating material
    • B01D2239/0492—Surface coating material on fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
    • B01D2239/0604—Arrangement of the fibres in the filtering material
    • B01D2239/0622—Melt-blown
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
    • B01D2239/0604—Arrangement of the fibres in the filtering material
    • B01D2239/0627—Spun-bonded
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
    • B01D2239/0604—Arrangement of the fibres in the filtering material
    • B01D2239/064—The fibres being mixed
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
    • B01D2239/065—More than one layer present in the filtering material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
    • B01D2239/065—More than one layer present in the filtering material
    • B01D2239/0654—Support layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
    • B01D2239/065—More than one layer present in the filtering material
    • B01D2239/0668—The layers being joined by heat or melt-bonding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
    • B01D2239/065—More than one layer present in the filtering material
    • B01D2239/0686—More than one layer present in the filtering material by spot-gluing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/06—Filter cloth, e.g. knitted, woven non-woven; self-supported material
    • B01D2239/069—Special geometry of layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/12—Special parameters characterising the filtering material
    • B01D2239/1216—Pore size
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/12—Special parameters characterising the filtering material
    • B01D2239/1241—Particle diameter
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
    • B01D2239/12—Special parameters characterising the filtering material
    • B01D2239/1291—Other parameters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2262/00—Composition or structural features of fibres which form a fibrous or filamentary layer or are present as additives
    • B32B2262/02—Synthetic macromolecular fibres
    • B32B2262/0276—Polyester fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2305/00—Condition, form or state of the layers or laminate
    • B32B2305/02—Cellular or porous
    • B32B2305/026—Porous
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/30—Properties of the layers or laminate having particular thermal properties
    • B32B2307/306—Resistant to heat
    • B32B2307/3065—Flame resistant or retardant, fire resistant or retardant
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2327/00—Polyvinylhalogenides
    • B32B2327/12—Polyvinylhalogenides containing fluorine
    • B32B2327/18—PTFE, i.e. polytetrafluoroethylene

Landscapes

  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Civil Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Filtering Materials (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Air Filters, Heat-Exchange Apparatuses, And Housings Of Air-Conditioning Units (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Abstract

본 발명은 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 다공막의 적어도 한쪽면에 난연성의 통기성 지지재료를 구비함으로써, 천장부재등에 사용할 수 있는 난연성이 우수한 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛을 제공한다.

Description

난연성(難燃性) 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛{FIRE-RETARDANT FILTER MEDIUM AND AIR FILTER UNIT}
클림 룸등의 공기청정에 사용되는 필터로서는, 본 출원인은 이미 폴리테트라플루오로에틸렌(이하 「PTFE」)다공막을 제안하고 있다(예를들면 특개평 5-202217호 공보). 또한, PTFE 다공막을 사용할 경우는, 막 자체가 얇으므로, 손상 방지나 핀 홀의 발생방지를 위해, PTFE 다공막의 양면을 시이스-코어구조의 장섬유를 이용한 스판 본드 부직포등의 열가소성 재료로 적층하고, 보호하는 것을 제안했다(특개평 6-218899호 공보).
그러나, 상기 종래기술은 「공기청정장치용 여과재 연소성 시험법」(JACA-No.11-1977)의 측정법에서 난연성을 만족할 수 없는 것을 본 발명자들은 발견했다.
난연성 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛으로서, 예를들면, 천장 일부(설비)로서 부착하여 이용되는 경우가 있고, 특히, 이와같은 경우는, 화재방지상의 관점에서 난연성이 요구된다.
본 발명은, 클린 룸등의 공기청정에 사용되는 난연성 에어 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 예를들면, 반도체, 액정등의 공기·전자부품등의 제조의 공기청정에 사용되는 난연성 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛에 관한 것이다.
도1은 본 발명의 제1실시형태의 필터 여과재의 단면도,
도2는 본 발명의 일실시형태의 에어 필터 유닛의 사시도,
도3은 도2의 스페이서 부분의 단면도,
도4a는 본 발명에서 사용하는 사단법인 일본공기청정협회(JACA), 여과재 규격 위원회 작성의 「공기청정장치 여과재 연소성 시험법」(JACA-No. 11-1977)에서 사용하는 지지틀의 정면도, 도4B는 동 평면도,
도5는 동 JACA-No.11-1977에서 사용하는 금속틀의 평면도,
도6은 동 JACA-No.11-1977에서 사용하는 시험체를 장착한 상태의 정면도이다.
본 발명은 상기 종래 문제를 해결하기 위해, 난연성이 우수한 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 난연성 필터 여과재는, PTFE 다공막의 적어도 한쪽면에 통기성 지지재료를 구비한 필터 여과재로써, 「공기청정장치용 여과재 난연성 시험법」(JACA-No. 11-1977)에 있어서, 최대 탄화길이가 150mm이하인 것을 특징으로 한다. 여기서, 난연성이란, 사단법인 일본공기청정협회(JACA), 여과재규격 위원회 작성의 「공기청정장치용 여과재 연소성 시험법」(JACA-No. 11-1977)에 의해 측정한다.
본 발명의 난연성 필터 여과재에 있어서는, 통기성 지지재료가 난연성 통기성 지지재료인 것이 바람직하다.
본 발명의 난연성 필터 여과재에 있어서, PTFE 다공막은 1층 혹은 2층 이상으로 이루어지는 것이면 되고, 또한, 난연성 필터 여과재는 PTFE 다공막의 한쪽면에 통기성 지지재료를 구비한 것, PTFE 다공막의 양면에 통기성 지지재료를 구비한 것, PTFE 다공막과 통기성 지지재료를 번갈아 혹은 무작위로 구비한 것을 들 수 있다. 특히 PTFE 다공막의 양면에 통기성 지지재료를 구비한 것이 바람직하다.
상기 난연성 필터 여과재에 있어서, PTFE 다공막은 특별히 한정되지 않고, 공지의 것을 사용할 수 있다. 그 중에서도, 반도체, 액정등의 제조 클린 룸이나 이들 제조장치에 이용되는 필터 유닛에 요구되는 부유 미립자의 포집효율, 압력 손실등의 성능(HEPA 필터, ULPA 필터와 동등 이상의 성능)을 달성 가능한 것이 바람직하다. 예를들면, 5.3㎝/초의 유속으로 공기를 투과시켰을 시의 압력손실은 10∼100mmH2O의 범위이고, 0.10∼0.12㎛의 디옥틸프탈레이트(DOP)의 포집효율이, 99.0%이상인 것이 바람직하다. 이와같은 PTFE 다공막은, 특개평 5-202217호 공보, WO94/16802호 공보등에 상세하게 기재되어 있다.
본 발명에서 이용하는 상기 PTFE 다공막은, 공지의 제법에 의해 용이하게 얻을 수 있다. 예를들면, PTFE 미세 분말을 압출 조제와 함께 페이스트 압출하고, 압연에 의해 테이프를 얻고, 이 테이프를 미소성(未燒成)인 채로, 또는 반소성 한 후, 2축 방향으로 연신함으로써 얻어진다. 상세하게는 특개평 5-202217호 공보,WO94/16802호 공보등에 기재되어 있다.
또한 상기 난연성 필터 여과재에 있어서는, 통기성 지지재료가, 난연성 통기성 지지재료인 것이 바람직하다. 바람직하게는, 유기재료, 특히 수지로 이루어지는 난연성 통기성 지지재료인 것이 바람직하다.
또한 상기 난연성 필터 여과재에 있어서는, 통기성 지지재료가, 부직포, 직포인 것이 바람직하고, 특히 수지로 이루어지는 부직포인 것이 바람직하다. 다만, 통기성 지지재료가 유리섬유로 이루어지는 것, 예를들면, 유리 섬유 부직포, 유리 섬유 페이퍼, 유리 섬유 에어 필터 여과재는, 붕소(B)의 발생원이 되므로, 바람직하지 않다.
또한, 상기 난연성 필터 여과재에 있어서는, 통기성 지지재료가, 실질적으로 폴리에스테르 및 폴리아미드에서 선택되는 적어도 한개의 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 또한 통기성 지지재료가 폴리에스테르 섬유로 형성되며, 또한, 폴리올레핀을 포함하지 않는 통기성 지지재료인 것이 바람직하다. 여기서 폴리에스테르란, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET) 및 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT)등을 말한다.
또한 상기 난연성 필터 여과재에 있어서는, 난연제가 공중합된 것이 바람직하고, 특히 폴리에스테르 섬유에, 난연제가 공중합되어 있는 것이 바람직하다. 예를들면, 유기 인 화합물로 난연성을 부여할 경우, 공중합되어 있으면, 필터 여과재의 사용에 있어서도, 필터 여과재에서 인(P)이 검출되지 않는다.
또한 상기 난연성 필터 여과재에 있어서는, 폴리에스테르 섬유재료가 장섬유 부직포인 것이 바람직하다.
다음에 본 발명의 에어 필터 유닛은, PTFE 다공막의 적어도 한쪽면에 통기성 지지재료를 구비한 필터 여과재를 이용한 에어 필터 유닛으로써, 틀체인 지지체내에 필터 여과재가 물결상으로 절곡된 상태로 수납되며, 또한 주변이 시일되고, 상기 필터 여과재는 「공기청정장치용 여과재 연소성 시험법」(JAKA-No.11-1977)으로부터, 최대 탄화길이가 150mm 이하인 것을 특징으로 한다.
난연성을 부여하는 수단으로서는, 난연성을 발휘하는 화합물을 넣거나 공중합하거나, 섬유의 표면에 코팅하는 등의 공지 수단을 채용할 수 있다. 예를들면, 폴리에스테르섬유에 난연제인 유기 인 화합물을 공중합, 혼련 주입, 또는 폴리머 브랜드등에 의해 난연화할 수 있다. 또한 구체적으로는 하기와 같은 난연화 수단이 있다.
(1) 난연성 소재의 사용
소재 자체가 난연성인 것은 예를들면 다음의 것이 있다. 방향족 폴리아미드 섬유, 모다크릴섬유, 폴리크랄 섬유, 난연화 폴리노딕, 난연화 비닐론, 난연화 폴리에스테르, 아크릴산화 섬유(내염화 섬유), 레이온 탄화섬유(내염화 섬유), 아라미드섬유, 폴리아릴레이트섬유, 페놀계 섬유, 폴리부틸렌 이소시아네이트섬유(PBI섬유), 폴리염화 비닐리덴 섬유, 석면, 탄소섬유, 금속섬유, 실리카 섬유 등의 무기섬유, PTFE섬유, 테트라플루오로에틸렌퍼플루오로알킬비닐에태르 공중합체(PFA)섬유, 폴리비닐리덴풀루오라이드(PVdF)섬유
(2) 후가공 방염성 난연성
상기 (1)의 섬유와 중복하는데, 후가공에 의해 방염성이나 난연성을 부여하는 수단으로서, 섬유를 실이나 포, 부직포등으로 가공한 후, 딥핑이나 도포에 의해 난연제를 표면 코팅하는 방법이 이용된다.
또한, 합성섬유의 경우, 폴리머의 합성시에 난연화제를 공중합 등의 화학결합에 의해 도입하는 방법이나 용융압출 방사시에 폴리머에 혼련 주입하거나, 폴리머 블렌드를 하는 방법이 있다.
난연제로서는, 수산화 알루미늄으로 대표되는 무기계 난연제나, 데카브로모디페닐옥사이드로 대표되는 데카브로계의 브롬계 난연제, 테트라브로모비스페놀로 대표되는 논데카계의 브롬계 난연제 이외, 염소계 난연제나 인계 난연제를 사용할 수 있다.
특히, 합성섬유에의 난연화에는, 중합시에 화학결합에 의해 섬유에 직접 난연제를 도입할 수 있으므로 인산 에스테르계 난연제나 할로겐 함유 인산 에스테르계 난연제가 바람직하다.
또한, 상기에 있어서는, 난연섬유와 비난연섬유를 혼합(혹은 혼방)함으로써, 실, 혹은 직물이나 부직포 전체로서 난연성을 부여하거나, 난연성을 보다 현저하게 할 수 있다.
예를들면, 난연화 아크릴계 섬유와 면을 혼방한 소재(倉敷紡績 제; 상품명: 테라이라)나 탄소화 섬유(프리카본)과 아라미드 섬유(상품명: 캐브라)를 혼방하여 부직포(帝國纖維 제; 상품명: 테이센파익)등을 예시할 수 있다.
또한, 폴리염화 비닐리덴(PVC)과 폴리에틸렌(PE)의 혼합에 의한 부직포나, 폴리불화 비닐리덴(PVdF)과 폴리에스테르 섬유의 혼방에 의한 실에 난연성을 부여할 수 있다.
상기 필터 여과재에 있어서는, 폴리에스테르 섬유재료를 사용할 경우는, 부직포인 것이 바람직하고, 특히 장섬유를 이용한 부직포가 바람직하다, 예를들면, 인(P)계 화합물등의 난연제가 공중합된 PET 부직포, 고융점PET(코어부)/ 상기 난연제가 공중합된 저융점 PET(시이스부)의 시이스-코어구조섬유의 부직포, 고융점PET(코어부)/ 상기 섬유제가 공중합된 PBT(시이스부)의 시이스-코어구조섬유의 부직포등을 들 수 있다. 긴섬유를 이용한 부직포는, 융점 방사시에 부직포를 형성할 수 있고(방사직결 부직포), 최초부터 청정한 상태로 유지할 수 있기 때문이다. 장섬유를 이용한 부직포로서는, 예를들면 스판 본드법, 플래시 방사법, 멜트 블로우법에 의한 것등이 있다.
단섬유를 이용한 부직포는, 개섬(開纖)을 행하기 위해 카드를 통과시킬 필요가 있는데, 이 공정 통과성을 유지하기 위해 필연적으로 유제(油劑)를 부여한다. 따라서, 유제를 제거하여 사용할 필요가 있다. 단섬유를 이용한 부직포로서는, 니들 펀치법, 워터 젯법, 스태치 본드법에 의한 것 등이 있다.
이와같이 실질적으로 폴리에스테르 섬유로 이루어지는 부직포, 특히 장섬유 부직포로 이루어지는 난연성 통기성 지지재료를 PTFE 다공막의 적어도 한쪽면에 구비한 필터 여과재는, 여과재 자체에서 총 유기탄소(이하 TOC, 여기서 TOC란 예를들면 도데칸, 트리데칸, 디옥틸프탈레이트, 실록산등의 다양한 가스상태 유기물의 총량이다)의 발생이 매우 낮은 것임이 발견되었다. 클린 룸등의 공기청정공간에 있어서, TOC 및 무기물(예를들면 인)의 검출량이 낮은 것은, 예를들면, 반도체, 액정등의 제조의 품질향상이 된다.
또한, 상기 필터 여과재에 있어서, PTFE 다공막과 난연성 통기성 지지재료란, 핫 멜트 접착제에 의해 접착할 수 있다. PTFE 다공막과 난연성 통기성 지지재료의 일체화를 도모하기 위함이다. 또한 핫 멜트 접착제를 이용하면 TOC의 발생도 낮게 억제된다.
특히, PTFE 다공막과 난연제가 공중합된 폴리에스테르 섬유로 이루어지는 부직포, 특히 장섬유 부직포인 통기성 지지재료가 폴리에스테르계 핫 멜트 접착제에 의해 접착되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 핫 멜트 접착제를 이용하여 접착하는 상태에 있어서, 바람직하게 사용하는 폴리에스테르 섬유재료는, 고융점 PET 섬유, 저융점 PET섬유, 고융점 PET 섬유와 저융점 PET 섬유와의 혼합섬유로 이루어지는 부직포, 고융점 PET(코어부)/ 저융점 PET(시이스부)의 시이스-코어구조섬유의 부직포, 고융점 PET(코어부)/PBT(시이스부)의 시이스-코어구조섬유의 부직포 등이어도 된다.
접착방법은, 공지의 방법, 바람직하게는, 통기성 지지재료의 통기량을 손상하지 않기 위해, 스프레이 도포방식, 스파이럴 스프레이 도포방식, 슬롯 스프레이 도포방식, 멜트 블로운 도포방식, 프린트 휠 도포방식, 리본 립 도포방식 등을 사용하여 접착할 수 있다. 유기물의 발생을 보다 낮게 할 수 있는 점, 저코스트의 점에서 핫 멜트 접착제를 이용하는 방법이 바람직하다.
또한, 난연제(예를들면, 인계 화합물)가 공중합된 폴리에스테르 섬유로 이루어지는 부직포로써, PBT 섬유 부직포, PET(코어부)/PBT(시이스부)의 시이스-코어구조섬유의 부직포, PET섬유 및 PBT 섬유의 혼합 부직포등의 적어도 PBT를 포함하는 부직포는, PTFE 다공막과 통기성 지지재료의 융점을 넘지않는 온도에서의 열융착(예를들면, 열 롤에 의해)도 가능하고, 이 경우, 접착제를 사용하지 않으므로, 그만큼 TOC의 발생이없어, 특히 바람직하다.
상기 에어 필터 유닛에 있어서는, 핫 멜트 접착제로 이루어지는 띠상 또는 리본상의 스페이서를 가지는 미니플리츠식 필터 엘리먼트를 수납하여 이루어지는 것이 바람직하다. 이와같은 형상의 에어 필터 유닛(미니플리츠식)이면, 필터의 전체면적을 유효하게 사용할 수 있고, 반도체, 액정등의 전자 디바이스 제조장치에 바람직하게 사용할 수 있다.
또한 상기 에어 필터 유닛에 있어서는, 틀체인 지지체와 필터 여과재의 시일부가, 핫 멜트 접착제로 시일되어 있는 것이 바람직하다. 핫 멜트 접착제를 이용하면 TOC의 발생도 낮게 억제된다.
이상 설명한 대로, 본 발명에 의하면, 난연성이 우수한 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛을 제공할 수 있다.
다만, 본 발명의 대상으로 하는 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛은 PTFE 다공막을 주로 하여 공기청정작용을 가지는 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛에 이용되는 것이다.
이하, 도면을 이용하여 더욱 상세하게 설명한다.
도1은 본 발명의 일실시형태의 필터 여과재의 단면도를 도시하는 것이다. 도1에서, 1은 필터 여과재, 2는 예를들면 중량이 2g/㎡, 두께가 4㎛의 PTFE층, 3,4는 난연성 폴리에스테르 장섬유 스판 본드 부직포(예를들면, 東洋紡製 하임(상품명), 섬도(단섬유의 두께) ; 2데닐, 중량이 15∼100g/㎡, 적합하게는 20∼70g/㎡)의 층이다. PTFE층(2)과 난연성 스판 본드 부직포층(3), (4)의 접착은 폴리에스테르계 핫 멜트 접착제(예를들면 다이아본드(상품명))를 1∼20g/㎡, 적합하게는 2∼10g/㎡로 도포하고, 온도; 160∼200℃의 범위에서 열융착시킨 것이다. 필터 여과재(1)전체의 두께는 100∼1500㎛ 바람직하게는 100∼700㎛이다. 또한, 필터 여과재(1)의 성능으로서는, 압력손실: 10∼100mmH2O(at 5.3cm/sec), 입자 지름0.10∼0.12㎛의 DOP의 포집효율: 99.0%이상(at 5.3cm/sec, 0.1㎛), 구멍지름: 0.2∼3㎛의 범위가 바람직하다.
다음에 도2는 본 발명의 일실시 형태의 에어 필터 유닛의 사시도를 도시하는 것이다. 도2에 있어서, 1은 상기 필터 여과재, 5는 핫 멜트 접착제(예를들면 다이아본드(상품명))로 이루어지는 띠상 또는 리본상의 스페이서, 6∼9는 외틀재이다. 필터 여과재(1)는 약 40mm의 폭으로 접혀져 있고, 정면에서 봐서 스페이서(5)에 의해 약 2mm의 극간(산과 산의 간격)을 형성하고 있다. 스페이서(5)의 열과 열의 간격은 10∼50mm정도의 범위가 바람직하다. 적합하게는 25mm정도이다. 그리고 필터 여과재(1)의 범위와 외틀재(6∼9)의 내면과는, 주위에서 공기가 새지않도록, 핫 멜트 접착제(예를들면 다이아본드(상품명))에 의해 시일되어 있다.
다음에, 도3은 도2의 스페이서(5)의 부분의 단면도이다. 필터 여과재(1)의 외측에서, 대략 중앙부의 부분까지 약 20mm의 길이로 스페이서(5)가 접착되어 있다. 스페이서(5)의 두께는, 약1mm이다. 이 스페이서(5)의 설치에 의해, 유통공기를 균일하게 필터 여과재(1)에 통과시킬 수 있다.
이하 실시예를 이용하여 더욱 구체적으로 설명한다. 이하 실시예에 있어서, 압력손실, 투과율, 포집효율, 유기물 및 뮤기물의 검출량은 하기 방법으로 측정했다.
(I) 압력손실 측정법
측정 샘플을 직경 47mm의 원형으로 잘라내고, 투과 유효면적 12.6㎠의 홀더에 셋트하고, 풍속 5.3cm/sec일 시의 압력손실을 측정했다.
(II) 투과율
측정 샘플을 직경 100mm의 홀더에 셋트하고, 샘플을 투과하는 공기의 유량을 5.3cm/sec에 맞춘다. 이 상태에서 샘플의 상류측에 농도 107/300㎖의 다분산 DOP(디옥틸프탈레이트)입자를 도입한다. 샘플 상류측, 하류측 각각에서 입자지름 0.1㎛의 입자수를 파티클 카운터(PMS사제, LAS-X-CRT)로 측정하고, 그 비율에서 입자의 투과율(%)을 구했다.
(III) 포집효율(%)
하기 식에서 구했다.
포집효율(%) = 100-투과율(%)
(Ⅳ) 유기물의 측정
필터 여과재 샘플(1.0∼5.0g, 바람직하게는 1.5∼3.0g)을 칭량하여 유리 용기에 봉입하고, 실온(25℃)하에서 순수공기(住友精化株式會社 제; 합성공기, AIR-Zero-A)를 0.1리터/min에서 24시간 통기하여 상기 필터 여과재를 세정한 후, 상기 유리 용기의 가스 출구측에 활성탄 튜브(활성탄 200mg 20∼40메시, 紫田科學器械工業(주)제; 8015)를 설치하고, 실온하에서 순수공기를 0.1리터/min으로 24시간 통기하여 오프가스를 포집하고, 포집후의 활성탄을 탈착 용매인 이황화탄소(1미리리터)로 추출하여, 그 용액을 가스크로마토 그래피 질량 분석장치(GC-MS)를 이용하여 유기물을 측정했다. 사용한 GC-MS장치는, 島津制作所 제 ; QP-1000, 분리 칼럼은 OV-1(1%)의 1m를 사용했다. 가스크로마토 그래피의 오븐 조건은, 유기물성의 가스를 모두 검출할 필요가 있으므로, 50℃에서 5분간 유지한 후, 10℃/min의 속도로 250℃까지 승온시키고, 2분 30초간 유지했다.
검출된 유기물의 동정(同定)에는, 질량분석정보를 1초마다 취해 분석을 행했다. 다만, 본 발명에 있어서 유기물질의 동정 정확도가 문제가 아니라 검출한계 이상의 유기물이 검출된 것이 중요하다.
검출된 유기물의 검출량의 측정치는, 톨루엔으로 작성한 검출선에 의거하는 것이다. 따라서, 필터 여과재 1g당 유기물의 검출량은, 측정치/샘플치(g)로 구할 수 있다. 다만, 상기 측정방법에서는, 블랭크 테스트의 상태에서 검출한계치는 1ng이었다.
(Ⅴ)무기물(P등)의 측정방법
필터 여과재 샘플(4.0g)을 칭량하여 충분히 세정한 테트라플루오로에틸렌퍼플루오로알킬비닐에테르 공중합체(PFA)용기에 넣고, 이에 150cc의 순수물을 가하여봉입했다. 이 PFA 용기를 클린부스내, 실온하에서 72시간 흔들어 씻은 후, 상기 용기내의 용액을 ICP-AES(日立製作所 제, 306 슈퍼 스캔)에 의해 측정했다.
(Ⅵ) 공기청정장치용 납땜재 연소성 시험방법
1.적용
이 시험방법은 공기청정장치에 이용되는 여과재의 연소성 시험방법에 대해 측정한다.
2. 시험체
(1)크기 : 시험체의 크기는 250mm×250mm로 한다.
(2)수량: 시험체의 수량은 5매로 한다.
3. 시험체의 채취
시험체의 채취는 대상이 되는 로트에서 무작위로 채취한다.
4. 시험체의 전처리
시험을 행하기 전에 시험체를 50±2℃의 항온 건조기내에서 24시간 방치한다. 다만, 열에 의한 영향을 받을 염려가 없는 경우에는, 105±2℃의 항온 건조기내에 1시간 방치하여 이에 대신할 수 있다. 다음에 이를 실리카겔을 넣은 데시케이터안에 1시간 이상 방치한다.
5. 시험장치
(1)지지틀
도4A(정면도), 도4B(평면도)에 도시하는 한변이 250mm(내법 200mm)의 정방형으로써, 레그 높이 100mm의 금속제의 것으로, 시험체를 지지하고, 시험체에 충분히통기성을 부여하는 지지틀(11)을 이용한다.
(2)금망
JIS G 3555의 직금망(織金網)으로 규정되어 있는 20메시로 주위를 보강한 250mm×250mm의 크기의 것.
(3)금속틀
도5에 도시하는 한변이 250mm의 정방형 금속판(두께 1.6mm 이상)의 중앙에 직경 200mm의 원형의 구멍을 뚫은 것으로 시험체를 금망상에 밀착시키는 충분한 무게를 가지는 금속틀(14)을 이용한다.
(4)불씨
무게 0.15g 직경 6.4mm 두께 4.3mm의 헥사메틸렌테트라민으로 한다.
(5)스케일
1mm눈금의 것으로 한다.
6. 시험조작
(1)시험체(13)를 1매씩 데시케이터에서 취출하고, 도6에 도시하는 바와같이, 지지틀(11)상에 금망(12)을 얹고, 그 위에 시험체(13)를 놓고, 다시 그위에 금속틀(14)을 얹고, 시험체(13)주위를 누른다. 시험체(13)의 중앙(15)에 불씨를 놓고 성냥에 의해 이에 점화한다. 연소상태를 관찰함과 동시에 시험체(13)의 중앙을 통과하는 선위의 탄화부분의 최대 길이를 측정하고, 시험체 5매의 평균값을 구한다.
(2) 겉과 속에 상태가 다른 시험체에 관해서는, 겉과 속 내면에 대해 개별로행한다.
(3)실외에서 시험을 행할 경우는 바람의 영향을 받지않도록 처리한다.
7. 평가
(1) 최대 탄화 길이 150mm 이하를 난연성 여과재로 한다. 겉과 속 개별로 시험을 행한 경우는 최대 탄화 길이가 긴쪽으로 평가한다.
(2) 다음 상황을 나타내는 것은 기록해 둔다.
① 5매중 특별히 상이한 연소상태를 나타내는 것이 있는 경우
②불씨가 남는 경우
(실시예1)
필터의 구성부재(3) 및 (4)로서 난연화 폴리에스테르 장섬유 스판 본드 부직포(東洋紡製 하임(상품명) : 품명 H6401B, 섬도 2데닐, 중량 40g/㎡)의 한쪽측의 표면에 폴리에스테르계 핫 멜트 접착제(노가와케미컬 제 : 다이아본드 DH598B)를 3g/㎡의 비율로 도포했다.
다음에, 필터의 구성부재(2)로서 PTFE 다공막을 사용하고, 구성부재(3) 및 (4)의 3매를 중합한 후, 라인 속도 10m/min에서 180℃의 열 롤에 접촉시켜 열융착에 의해 일체화함으로써, 평균 구멍지름 0.35㎛, 압력손실 42mmH2O, 투과율 0.0000027%, 포집효율 99.9999973%의 필터 여과재(1)를 얻었다.
이 필터 여과재의 연소성 시험(JACA-No. 11-1977)을 행한 바, 최대 탄화 길이는 105mm로 난연성 여과재의 규격(최대 탄화 길이 150mm 이하)에 합치했다.
또한, 이 필터 여과재의 1.5g의 유기물의 검출량을 측정한바, 필터 여과재 1g당 검출한계치(1ng)이하였다. 또한, 인(P)은 미검출이었다. 각종 무기물의 검출량을 표1에 모아서 표시한다.
(실시예2)
필터의 구성부재(3) 및 (4)로서 PET(코어부)/PBT(시이스부)의 시이스-코어구조의 난연화 장섬유 스판 본드 부직포(東洋紡製: 품명 발콘포 HPH6060G, 섬도 8데닐, 중량 60g/㎡)을 PTFE 다공막(2)의 양면에 중합시킨 후, 라인 속도 10m/분에서 250℃의 열 롤에 접촉시켜 열융착(라미네이트)에 의해 일체화하고, 압력손실 40mmH2O,포집효율 99.99995의 필터 여과재(1)를 얻었다.
이 필터 여과재의 연소성 시험(JACA-No.11-1977)을 행한 바, 최대 탄화길이는 95mm로 난연성 여과재의 규격에 합격했다.
또한, 이 필터 여과재의 1.5g의 유기물의 검출량을 측정한 바, 필터 여과재 1g당 검출한계(1ng)이하였다. 또한, 인(P)은 미검출이었다. 각종 무기물의 검출량을 표1에 모아서 표시한다.
(비교예1)
필터의 구성부재(3)로서 폴리에틸렌과 폴리에스테르의 코어/시이스구조를 가지는 장섬유 스판 본드 부직포(유니티커제:엘베스 T0703WDO, 섬도 3데닐, 중량 70g/㎡)을 사용하고, 필터의 구성부재(4)로서 시이스부분에 폴리에틸렌을 이용하고, 코어부분에 폴리에스테르을 이용한 코어/시이스구조 콘쥬게이트섬유와 시이스부분에 변성 폴리에스테르을 이용하여, 코어부분에 폴리에스테르을 이용한 코어/시이스-코어구조의 콘쥬게이트 섬유의 2종류의 섬유로 이루어지는 2층 구조 스판 본드 부직포(유니티커제: 엘피트 E0303WTO, 섬도 3데닐, 중량 30g/㎡)을 사용했다.
다음에, 필터의 구성부재(2)로서 PTFE 다공막을 사용하고, 구성부재(3) 및 (4)의 3매를 중합한 후, 라인 속도 10m/min에서 200℃의 열 롤에 접촉시켜 열융착에 의해 일체화함으로써 같은 필터 여과재를 얻었다.
이 필터 여과재의 연소성 시험(JACA-No. 11-1977)을 행한 바, 최대 탄화길이는 200mm이상으로 난연성 여과재의 규격(최대 탄화길이 150mm이하)로 합치하지 않았다.
또한, 이 필터 여과재 3g의 유기물의 검출량을 실시예1과 마찬가지로 측정한 결과, 필터 여과재 1g당 3ng의 디데칸, 4ng의 트리데칸등의 유기물을 검출했다.
(실시예3)
필터의 구성부재(3) 및 (4)로서 폴리에스테르제 서멀본드 부직포 난연 가공품(倉敷纖維가공 제 크래본 TRA9037, 중량 90g/㎡, 인계 난연제를 코팅한 부직포)의 한쪽의 표면에 폴리에스테르계 핫 멜트 접착제(노가와케미컬제 : 다이아본드 DH598B)를 3g/㎡의 비율로 도포했다.
다음에, 필터의 구성부재(2)로서 PTFE 다공막을 사용하고, 구성부재(3) 및 (4)의 3매를 중합한 후, 라인 속도 10m/min에서 180℃의 열 롤에 접촉시켜 열융착에 의해 일체화함으로써, 압력손실 45mmH2O, 포집효율 99.9999973%의 필터여과재(1)를 얻었다.
이 필터 여과재의 연소성 시험(JACA-No.11-1977)을 행한 바, 최대 탄화길이는 115mm로 난연성 여과재의 규격에 합치했다. 각종 무기물의 검출량을 표1에 모아 표시한다.
<표1>
(주1) 단위는 ppb이다.
(주2) ND는 필터 여과재 1g당 검출한계치(1ng)이하를 표시한다.
이상 설명한 대로, 본 발명에 의하면, 난연성이 우수한 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛을 제공할 수 있다. 특히, 난연제가 공중합된 통기성 지지재료인 본 발명의 필터 여과재는 인(P)등의 무기물의 발생이 없고, 또한 통기성 지지재료로서 난연제가 공중합된 실질적으로 폴리에스테르로 이루어지는 본 발명의 필터 여과재는, 인(P)등의 무기물 및 TOC의 발생이 없다. 이 결과, 천장의 일부(설비)로서 반도체, 액정등의 전자 디바이스 제조장치에 본 발명의 에어 필터 유닛을 사용해도 난연성의 기준을 패스할 수 있다.

Claims (17)

  1. 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE)다공막의 적어도 한쪽면에 통기성 지지재료를 구비한 필터 여과재로써,「공기청정장치용 여과재 연소성 시험법」(JACA-No. 11-1977)에 있어서 최대 탄화길이가 150mm 이하이고, 상기 통기성 지지재료가 난연제가 공중합된 난연성 통기성 지지재료인 것을 특징으로 하는 난연성 필터 여과재.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서, 상기 난연성 통기성 지지재료가 실질적으로 폴리에스테르 및 폴리아미드에서 선택되는 적어도 한개의 재료인 것을 특징으로 하는 난연성 필터 여과재.
  6. 제5항에 있어서, 상기 폴리에스테르가 폴리에틸렌테레프탈레이트 및 폴리부틸렌테레프탈레이트에서 선택되는 적어도 한개의 수지인 것을 특징으로 하는 난연성 필터 여과재.
  7. 삭제
  8. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 폴리에스테르 섬유재료가 장섬유 부직포인 것을 특징으로 하는 난연성 필터 여과재.
  9. 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 다공막의 적어도 한쪽면에 통기성 지지재료를 구비한 필터 여과재를 이용한 에어 필터 유닛으로써, 틀체인 지지체내에 필터 여과재가 물결상으로 절곡된 상태로 수납되며, 또한 주변이 시일되고, 상기 필터 여과재는 「공기청정장치용 여과재 소성시험법」(JACA-No.11-1977)에 있어서, 최대 탄화길이가 150mm이하이고, 상기 통기성 지지재료는 난연재가 공중합된 난연성 통기성 지지재료인 것을 특징으로 하는 에어 필터 유닛.
  10. 제9항에 있어서, 전자 디바이스 제조장치에 사용하는 것을 특징으로 하는 에어 필터 유닛.
  11. 제10항에 있어서, 전자 디바이스는 반도체 또는 액정인 것을 특징으로 하는 에어 필터 유닛.
  12. 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필터 여과재가 HEPA 필터 또는 ULPA 필터인 것을 특징으로 하는 에어 필터 유닛.
  13. 제1항, 제5항, 제6항, 제9항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 필터 여과재가 5.3 cm/초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때의 압력손실이 10 ~ 100 mmH2O 의 범위이고, 0.10 ~ 0.12 ㎛의 디옥틸프탈레이트(DOP)의 포집효율이 99.0％이상인 것을 특징으로 하는 에어 필터 유닛.
  14. 제1항, 제5항 및 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 전자 디바이스 제조장치에 사용하는 것을 특징으로 하는 난연성 필터 여과재.
  15. 제14항에 있어서, 상기 전자 디바이스는 반도체 또는 액정인 것을 특징으로 하는 난연성 필터 여과재.
  16. 제1항, 제5항 및 제6항 중 어느 한 항에 있어서, HEPA 필터 또는 ULPA 필터로서 사용하는 것을 특징으로 하는 난연성 필터 여과재.
  17. 제1항, 제5항 및 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 5.3 cm/초의 유속으로 공기를 투과시켰을 때의 압력손실이 10 ~ 100 mmH2O의 범위이고, 0.10 ~ 0.12 ㎛의 디옥틸프탈레이트(DOP)의 포집효율이 99.0％이상인 것을 특징으로 하는 난연성 필터 여과재.
KR10-1999-7001093A 1996-08-09 1997-08-06 난연성(難燃性) 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛 KR100429491B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21163796 1996-08-09
JP96-211637 1996-08-09
JP97-021523 1997-02-04
JP2152397 1997-02-04

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20000029908A KR20000029908A (ko) 2000-05-25
KR100429491B1 true KR100429491B1 (ko) 2004-05-03

Family

ID=26358608

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR10-1999-7001093A KR100429491B1 (ko) 1996-08-09 1997-08-06 난연성(難燃性) 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛

Country Status (11)

Country Link
US (1) US6336948B1 (ko)
EP (1) EP0917901B1 (ko)
JP (1) JP3339053B2 (ko)
KR (1) KR100429491B1 (ko)
CN (1) CN1080133C (ko)
AT (1) ATE268207T1 (ko)
AU (1) AU3783797A (ko)
CA (1) CA2262821A1 (ko)
DE (1) DE69729383T2 (ko)
TW (1) TW438678B (ko)
WO (1) WO1998006476A1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101427665B1 (ko) 2012-05-25 2014-08-07 (주)이앤지필터텍 집진필터 제작방법

Families Citing this family (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB9816118D0 (en) * 1998-07-23 1998-09-23 Pall Corp Filter assemblies
JP3852814B2 (ja) * 1999-09-24 2006-12-06 富士通株式会社 プロファイル作成方法及びシステム
JP3584855B2 (ja) * 1999-10-07 2004-11-04 ダイキン工業株式会社 エアフィルター濾材
JP3362730B2 (ja) 2000-08-24 2003-01-07 ダイキン工業株式会社 エアフィルター濾材、それを用いたエアフィルターパック及びエアフィルターユニット並びにエアフィルター濾材の製造方法
JP3595274B2 (ja) * 2001-03-16 2004-12-02 豊田紡織株式会社 内燃機関用エアクリーナ及び吸着フィルタ
KR20020074868A (ko) * 2001-03-22 2002-10-04 크린에어테크놀로지 주식회사 난연 처리된 필터
EP1266681B1 (en) * 2001-06-13 2013-12-25 Nitto Denko Corporation Filter medium for turbine and methods of using and producing the same
US6599343B2 (en) * 2001-10-09 2003-07-29 Carrier Corporation Method and apparatus for assembling an expandable and disposable media filter
JP2003205211A (ja) * 2001-11-09 2003-07-22 Nitto Denko Corp 抗菌性エアフィルタろ材およびこれを用いたフィルタユニット
KR100509645B1 (ko) * 2002-08-08 2005-08-23 김창용 테프론을 사용한 필터
CN1309447C (zh) * 2002-08-15 2007-04-11 丁宏广 油烟空气过滤材料的制备工艺
JP4101100B2 (ja) * 2003-04-02 2008-06-11 宇明泰化工股▲ふん▼有限公司 衣料用非対称性多孔質ポリテトラフルオロエチレン膜
JP3795027B2 (ja) * 2003-04-02 2006-07-12 宇明泰化工股▲ふん▼有限公司 フィルター用非対称性多孔質ポリテトラフルオロエチレン膜
US20080307971A1 (en) * 2005-04-26 2008-12-18 Nitto Denko Corporation Filter Medium, Process for Producing the Same, Method of Use Thereof, and Filter Unit
EP1932575B1 (en) * 2005-10-04 2014-11-26 Toray Industries, Inc. Nonwoven fabric for filters
DE202005019666U1 (de) * 2005-12-14 2007-04-19 Mann + Hummel Gmbh Filtereinrichtung zur Luftfilterung in Brennkraftmaschinen
CN101553358B (zh) * 2006-01-18 2016-09-07 博凯技术公司 粘性过敏原捕集器和过滤介质
US20080022645A1 (en) * 2006-01-18 2008-01-31 Skirius Stephen A Tacky allergen trap and filter medium, and method for containing allergens
WO2007140302A2 (en) * 2006-05-26 2007-12-06 Propex Inc. Hot gas filtration fabrics with silica and flame resistant fibers
EP2035632A4 (en) * 2006-06-30 2014-05-14 Buckeye Technologies Inc FIRE-RESISTANT FILM MATERIAL AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
CN101663076B (zh) * 2006-11-24 2013-08-21 爱克斯崔里斯科技有限公司 过滤器装置
US20090019825A1 (en) * 2007-07-17 2009-01-22 Skirius Stephen A Tacky allergen trap and filter medium, and method for containing allergens
US8673040B2 (en) 2008-06-13 2014-03-18 Donaldson Company, Inc. Filter construction for use with air in-take for gas turbine and methods
US8277530B2 (en) 2008-09-24 2012-10-02 Ellis Fibre Usa Grease removal apparatus, systems and methods
US10167137B2 (en) 2008-09-24 2019-01-01 Efip Holdings Lp Flame resistant viscose filter apparatus and method
US11434068B2 (en) 2008-09-24 2022-09-06 Restaurant Technologies, Inc. Flame resistant filter apparatus and method
US9943796B2 (en) * 2009-03-26 2018-04-17 Columbus Industries, Inc. Multi layer pleatable filter medium
US8262780B2 (en) * 2009-07-22 2012-09-11 Bha Group, Inc High performance gas turbine inlet filter (HEPA) using membrane media
DE102010020240A1 (de) 2010-05-11 2011-11-17 TÜV Rheinland Industrie Service GmbH Luftdurchlässige OP-Decke
JP5012990B2 (ja) * 2010-06-17 2012-08-29 ダイキン工業株式会社 多孔膜を備える濾材、その製造方法、フィルタパック、ならびにフィルタユニット
CA2847706C (en) * 2011-09-07 2017-07-11 Kompoferm Gmbh Flame retardant for filter systems and method for improving flame resistance in filter systems
JP5992050B2 (ja) 2011-10-31 2016-09-14 ルブリゾル アドバンスド マテリアルズ， インコーポレイテッド 繊維ろ過媒体のためのコーティングとしての非ハロゲン難燃剤
JP6209393B2 (ja) * 2013-08-21 2017-10-04 日東電工株式会社 フィルター濾材
CN104424941B (zh) * 2013-09-05 2018-04-03 上海泰瑞电子科技有限公司 一种吸音材料及其制备方法
CN103961937A (zh) * 2014-04-30 2014-08-06 桐乡市健民过滤材料有限公司 一种耐高温、高阻燃性覆膜滤料及其制备方法
US11819792B2 (en) 2014-11-14 2023-11-21 Columbus Industries, Inc. Bidirectional airflow filter
CN104436858A (zh) * 2014-12-17 2015-03-25 上海海凡滤材有限公司 一种三层复合滤布及其制造方法
CN105371399B (zh) * 2015-12-02 2018-07-24 西尼亚（北京）海洋环境科技有限责任公司 空气净化装置
US10252200B2 (en) 2016-02-17 2019-04-09 Hollingsworth & Vose Company Filter media including a filtration layer comprising synthetic fibers
US11014030B2 (en) * 2016-02-17 2021-05-25 Hollingsworth & Vose Company Filter media including flame retardant fibers
EP3519076A4 (en) * 2016-09-30 2020-02-26 Hollingsworth & Vose Company FILTERING MEDIUM COMPRISING FLAME RETARDANT FIBERS
KR102108425B1 (ko) 2018-02-09 2020-05-07 주식회사 나노코 에어필터 바인더용 난연수지 및 이의 제조방법
KR20210013716A (ko) * 2018-06-01 2021-02-05 닛토덴코 가부시키가이샤 필터 여과재와, 이를 구비하는 필터 유닛
US20210316239A1 (en) * 2018-09-07 2021-10-14 3M Innovative Properties Company Fire-resistant filter
KR102080821B1 (ko) 2019-01-08 2020-02-24 주식회사 나노코 난연 특성이 우수한 에어필터 바인더용 난연수지 및 이의 제조방법
EP3946679A4 (en) * 2019-03-25 2022-12-07 3M Innovative Properties Company FILTER ARRANGEMENT
KR102238736B1 (ko) * 2019-08-14 2021-04-13 한국철도기술연구원 살균필터
SE545368C2 (en) * 2021-02-26 2023-07-18 Camfil Ab Heat resistant regenerable air filter assembly

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4753994A (en) * 1986-12-02 1988-06-28 Mobay Corporation Flame retardant polycarbonate compositions
KR900003295A (ko) * 1988-08-25 1990-03-26 리챠드 지,워터맨 내연소성이 개선된 열가소성 조성물 및 이의 제조방법
US5137777A (en) * 1990-12-11 1992-08-11 Ametek Fire-retardant polymer foam composites
WO1995029950A1 (fr) * 1994-04-28 1995-11-09 Daikin Industries, Ltd. Membrane de polytetrafluoroethylene poreuse composite

Family Cites Families (42)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2728407A (en) 1952-04-09 1955-12-27 Specialties Dev Corp Dehydrating apparatus
US3246758A (en) 1963-01-30 1966-04-19 Watsco Inc Hygrometric indicator for desiccants
GB1266958A (ko) 1969-04-29 1972-03-15
SE392582B (sv) 1970-05-21 1977-04-04 Gore & Ass Forfarande vid framstellning av ett porost material, genom expandering och streckning av en tetrafluoretenpolymer framstelld i ett pastabildande strengsprutningsforfarande
US3909489A (en) * 1973-11-07 1975-09-30 Goodyear Tire & Rubber Polyesters and copolyesters having improved flame retardancy
JPS51134475A (en) * 1975-05-19 1976-11-20 Japan Vilene Co Ltd An incombustible and highly efficient air filter material
US4075106A (en) 1976-05-07 1978-02-21 Masahiko Yamazaki Filtering device
US4025679A (en) 1976-08-06 1977-05-24 W. L. Gore & Associates, Inc. Fibrillated polytetrafluoroethylene woven filter fabric
US4488966A (en) 1980-01-24 1984-12-18 Brunswick Corporation Filter pleat support means
US4302496A (en) * 1980-10-21 1981-11-24 Albany International Corp. Composite waterproof and flame resistant fabrics
US4358504A (en) * 1981-06-05 1982-11-09 The Dexter Corporation Flame retardant activated carbon web
US4878930A (en) 1984-03-15 1989-11-07 W. L. Gore & Associates, Inc. Filter cartridge
JPH0657912B2 (ja) * 1984-03-16 1994-08-03 東レ株式会社 難燃性繊維複合体
JPS6261614A (ja) 1985-09-10 1987-03-18 Aoki Kensetsu:Kk 滅菌フイルタ−
EP0246917B1 (en) 1986-05-23 1992-07-22 W.L. Gore & Associates, Inc. High performance gas filter
FR2627399B1 (fr) 1988-02-19 1990-06-15 Poelman Sofiltra Bloc filtrant et equipement de filtration l'incorporant
US5236480A (en) 1989-01-05 1993-08-17 Camfil Ab Air filter for workstations and methods of making and using such air filter
US5098767A (en) 1989-02-15 1992-03-24 Pall Corporation Filter device with micropleats and macropleats
US4983434A (en) 1989-04-07 1991-01-08 W. L. Gore & Associates, Inc. Filter laminates
DE69008723T2 (de) 1989-06-16 1994-12-15 Gore & Ass Gaskissen aufprallschutzvorrichtung und dazugehöriger schichtstoff sowie prozess zur herstellung dieses schichtstoffs.
JPH0796089B2 (ja) * 1989-07-28 1995-10-18 市川毛織株式会社 バグフィルター用▲ろ▼過布
DE69003114T2 (de) 1989-12-18 1994-04-07 Gore & Ass Neues filtermedium zu gebrauchen als chirurgische oder reinraummaske.
US5224974A (en) * 1990-12-17 1993-07-06 Johnson Walter F Filter for use in dry powder spray coating systems
US5096473A (en) * 1991-03-01 1992-03-17 W. L. Gore & Associates, Inc. Filtration fabric laminates
US5143620A (en) * 1991-06-25 1992-09-01 Texaco Inc. Membrane separation process
CA2074349C (en) 1991-07-23 2004-04-20 Shinji Tamaru Polytetrafluoroethylene porous film and preparation and use thereof
JP2792354B2 (ja) 1991-07-23 1998-09-03 ダイキン工業株式会社 ポリテトラフルオロエチレン多孔膜
JPH05184844A (ja) * 1991-07-23 1993-07-27 Daikin Ind Ltd フィルターエレメント
WO1993013849A1 (en) 1992-01-14 1993-07-22 Daikin Industries, Ltd. Filter and filter element
US5207812B1 (en) 1992-05-08 1996-10-01 Gore & Ass Filter cartridge
EP0633053B1 (en) 1993-01-25 1997-07-30 Daikin Industries, Limited Process for preparing a porous polytetrafluoroethylene film
JP3211447B2 (ja) 1993-01-25 2001-09-25 ダイキン工業株式会社 通気性シート状材料の積層方法
US5342673A (en) * 1993-02-23 1994-08-30 W. L. Gore & Associates, Inc. Sterilizable packaging material
US5418054A (en) 1993-03-16 1995-05-23 W. L. Gore & Associates, Inc. Flame-retardant, waterproof and breathable expanded PTFE laminate
DE4407344C1 (de) 1994-03-05 1995-05-11 Freudenberg Carl Fa Luftfiltermaterial, seine Verwendung und Herstellung
US5507847A (en) * 1994-07-29 1996-04-16 W. L. Gore & Associates, Inc. ULPA filter
US5527569A (en) 1994-08-22 1996-06-18 W. L. Gore & Associates, Inc. Conductive filter laminate
JPH08325890A (ja) 1995-06-01 1996-12-10 Gunze Ltd フッ素系繊維織物
US5624478A (en) 1995-09-14 1997-04-29 Patapanian; Edward Ethylene absorption device
US5837040A (en) 1996-09-09 1998-11-17 International Decontamination Systems Llc Room air decontamination device
TW371284B (en) * 1996-12-04 1999-10-01 Daikin Ind Ltd Filtration material of filter and air cleaning device using the filtration material
JP3512100B2 (ja) * 1997-04-11 2004-03-29 ダイキン工業株式会社 エアフィルターユニットおよびその製造方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4753994A (en) * 1986-12-02 1988-06-28 Mobay Corporation Flame retardant polycarbonate compositions
KR900003295A (ko) * 1988-08-25 1990-03-26 리챠드 지,워터맨 내연소성이 개선된 열가소성 조성물 및 이의 제조방법
US5137777A (en) * 1990-12-11 1992-08-11 Ametek Fire-retardant polymer foam composites
WO1995029950A1 (fr) * 1994-04-28 1995-11-09 Daikin Industries, Ltd. Membrane de polytetrafluoroethylene poreuse composite

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101427665B1 (ko) 2012-05-25 2014-08-07 (주)이앤지필터텍 집진필터 제작방법

Also Published As

Publication number Publication date
US6336948B1 (en) 2002-01-08
KR20000029908A (ko) 2000-05-25
EP0917901A4 (en) 2001-04-18
DE69729383D1 (de) 2004-07-08
TW438678B (en) 2001-06-07
DE69729383T2 (de) 2005-06-02
JP3339053B2 (ja) 2002-10-28
EP0917901A1 (en) 1999-05-26
CN1232406A (zh) 1999-10-20
CN1080133C (zh) 2002-03-06
CA2262821A1 (en) 1998-02-19
ATE268207T1 (de) 2004-06-15
WO1998006476A1 (fr) 1998-02-19
AU3783797A (en) 1998-03-06
EP0917901B1 (en) 2004-06-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100429491B1 (ko) 난연성(難燃性) 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛
JP3512100B2 (ja) エアフィルターユニットおよびその製造方法
KR100439412B1 (ko) 필터 여과재 및 이를 이용한 에어 필터 유닛
US8147583B2 (en) Multiple layer filter media
KR100517888B1 (ko) 필터 여과재 및 그것을 이용한 에어 필터 유니트
US20210178304A1 (en) Electret-containing filter media
KR20010049842A (ko) 에어필터 여과재, 그것을 이용한 에어필터 팩과 에어필터유닛 및 에어필터 여과재의 제조방법
US20220054961A1 (en) Electret-containing filter media
KR20010093807A (ko) 다공성 재료, 에어필터 여재, 에어필터 유닛 및 에어필터여재용 지지재료
US20140083066A1 (en) Process for forming a high efficiency nanofiber filter
KR20200033669A (ko) 나노 섬유 시트를 포함하는 정전 필터용 여과재 및 이의 제조방법
JP3371806B2 (ja) エアフィルタ装置
KR20070042729A (ko) 복합 윈도우 스크린 재료
KR20200034518A (ko) 나노 섬유 필터 및 그 제조 방법
US20210162354A1 (en) Filter medium and filter unit including same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130404

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140401

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160318

Year of fee payment: 13