JPH11304706A - 赤外線ガス分析装置 - Google Patents

赤外線ガス分析装置

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JPH11304706A
JPH11304706A JP13120098A JP13120098A JPH11304706A JP H11304706 A JPH11304706 A JP H11304706A JP 13120098 A JP13120098 A JP 13120098A JP 13120098 A JP13120098 A JP 13120098A JP H11304706 A JPH11304706 A JP H11304706A
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infrared
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gas analyzer
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JP13120098A
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Toshiyuki Sotani
俊之 操谷
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Horiba Ltd
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    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/27Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands using photo-electric detection ; circuits for computing concentration
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 経時的に生ずる濃度出力のシフト分を定期的
に補正することにより、ゼロ点の校正周期を延ばすこと
ができ、長期にわたって安定して連続測定を行うことが
できる赤外線ガス分析装置を提供すること。 【解決手段】 比較用検出部9Rの出力と測定用検出部
9Sの出力との差または比に基づいて測定対象ガスの濃
度を求めるようにした赤外線ガス分析装置において、比
較用検出部9Rの出力を一定の周期でモニターし、予め
設定している値を超えて変化しているときには、さらに
ゼロ点シフト補正関数を用いて付加的に濃度出力の補正
を行うようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、赤外線ガス分析
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、事業所や工場の空調管理におい
て、室内環境の快適性や作業効率の向上を目指して、部
屋ごとに室内のCO2 の量を適切に管理することに関心
が高まってきている。これとともに、従来よりも小型で
安価かつメンテナンス性の優れたガスセンサが要求され
るようになってきている。特に、前記空調制御用ガスセ
ンサなどとして用いられる赤外線ガス分析装置において
は、小型化や低廉化のための構造の簡素化に加えてメン
テナンスフリー化が要求され,長期にわたって安定に動
作するための工夫が必要である。
【0003】このような要求に応えるものとして、例え
ば特開平9−184803号公報に示される小型の赤外
線ガス分析装置がある、図3はこの公報に開示された赤
外線ガス分析装置を概略的に示すもので、この図におい
て、1は金属製の上部ケース2と金属製の下部ケース3
とからなるケースである。4は上部ケース2内面に設け
られた凹面反射鏡で、その下部表面4aは赤外域で高い
反射率を示す金属が蒸着またはコーティングされ、反射
面に形成されている。
【0004】5は上部ケース1aの対向する側面にそれ
ぞれ複数個形成された正面視短冊状の開口部、6はこの
開口部5に設けられるゴミや粉塵の流入防止のためのフ
ィルタであり、被測定ガスはこれらの開口部5およびフ
ィルタ6を経て自然拡散によりケース1内に流入し、流
出する。
【0005】7は凹面反射鏡4の下方に水平に保持され
る回路基板で、この回路基板7には、赤外光源8と赤外
線検出器9とを凹面反射鏡4の反射面4aに対向させる
ように、しかも、赤外光源8を出た赤外光IRが反射面
4aで反射されて赤外線検出器9に入射するように配置
されている。そして、回路基板7には、赤外光源8に電
流を供給する光源駆動回路、赤外線検出器9の出力を増
幅し演算する増幅・演算回路、指示校正回路、電圧安定
化回路、警報信号を出力する外部出力回路などが形成さ
れている。
【0006】そして、前記赤外光源8は、例えばタング
ステンランプよりなり、前記定電流駆動回路によって所
定の周期でオン・オフされる。
【0007】また、前記赤外線検出器9は、例えば焦電
型赤外線検出器よりなり、その詳細な説明および図示は
省略するが、内部には測定用検出部と比較用検出部とが
それぞれ独立して設けられ、所謂デュアルツインタイプ
の検出器に構成されている。このデュアルツインタイプ
の焦電型赤外線検出器としては、例えば特開平7−30
1559号公報に開示されるものがある。
【0008】10は赤外光源8および赤外線検出器9の
上方に水平に保持される赤外光を遮蔽する板で、その赤
外光源8および赤外線検出器9に対応する位置には、孔
11,12が形成されている。そして、赤外光源8に対
応する孔11には、赤外線透過性材料よりなる赤外線透
過窓(図示していない)が取り付けられている。また、
赤外線検出器9に対応する孔12には、2種類の狭帯域
透過型の光学フィルタ(図示していない)が設けられて
いる。すなわち、赤外線検出器9の測定用検出部に対応
する位置には、CO2 のみの特性吸収帯域の赤外光を通
過させる光学フィルタが設けられ、赤外線検出器9の比
較用検出部に対応する位置には、CO2に対して吸収帯
域のないところの波長の赤外光を通過させる光学フィル
タが設けられている。なお、図中、9Rは比較用検出
部、9SはCO2 測定用検出部である。また、13は室
温補正用温度センサである。
【0009】上記構成の赤外線ガス分析装置において
は、赤外光源8を出た赤外光IRは、凹面反射鏡4の反
射面4aにおいて赤外線検出器9に入射するが、このと
き、前記赤外光IRは、ケース1内のサンプルガスとし
ての空気に含まれるCO2 の濃度に応じた吸収を受け
る。そして、比較用検出部9Rの出力と測定用検出部9
Sの出力とが増幅・演算回路に入力され、これらの出力
の差または比に基づいて、空気中のCO2 の濃度が得ら
れ、室温の影響が補正された濃度出力が得られる。
【0010】そして、赤外光源8と赤外線検出器9とが
凹面反射鏡4の反射面4aに対向するようにして設けら
れているので、赤外吸収に係る光路の開き角を大きくで
きるとともに、折り返し光路を形成できる。したがっ
て、小型でも十分な光路長および赤外吸収を得ることが
できる。したがって、小型で安価かつメンテナンス性の
優れた例えば空調制御用ガスセンサとして好適に使用す
ることができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図3に示し
た赤外線ガス分析装置においては、赤外光源8のフィラ
メントの劣化や凹面反射鏡4の反射面4aの汚れなどに
起因して、その出力が経時的にシフトしてくることがあ
る。図7は図3に示した赤外線ガス分析装置にゼロガス
を流し、その周囲温度を0℃−20℃−40℃というよ
うに変化させて所謂加速試験を行ったときのゼロ点の推
移を調べたもので、前記周囲温度を0℃−20℃−40
℃というように変化させて1サイクルとし、この1サイ
クル終了ごとにゼロガスに対する比較用検出部9Rの出
力(図中、−△−で示す)AとCO2 測定用検出部9S
の出力(図中、−×−で示す)Bと、濃度出力(図中、
−□−で示す)Cを測定したものである。
【0012】前記図7から次のことがわかる。すなわ
ち、温度サイクル3、180時間経過して、濃度出力C
は−1.5%(スパン2000ppmに対し)、比較用
検出部9Rの出力Aは−5%シフトしている。つまり、
赤外線ガス分析装置の濃度出力Cは、時間の経過ととも
に少しずつ一方向にシフトしていく傾向があることがわ
かる。このような濃度出力Cの経時的シフトは、図3に
示した赤外線ガス分析装置に限られるものではなく、他
の一般的な赤外線ガス分析装置においても生じていると
ころである。
【0013】このため、一般的に、赤外線ガス分析装置
において、常に正しい測定値を得るには、ゼロ点が精度
許容範囲を超えないように、ゼロ点の指示校正を定期的
に行う必要がある。この点は、赤外線ガス分析装置のメ
ンテナンス周期を定める上で大きな要素である。特に、
空調用などに用いられる小型で簡易な赤外線ガス分析装
置においては、連続測定を行うため、メンテナンスのた
めの経費を極力抑えることが要求されており、メンテナ
ンス周期を可及的に延ばすことが要望されている。
【0014】そして、上記図3に示したような赤外線ガ
ス分析装置においては、濃度出力の演算に際しては、上
述したように、赤外線検出器9における比較用検出部の
出力(以下、Ref出力という)とCO2 測定用検出部
の出力(以下、CO2 出力という)をそれぞれ演算する
が、前記ゼロ点の経時的シフトの傾向が濃度出力とRe
f出力とにおいて比較的似通っていることが実験により
わかっている。
【0015】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、経時的に生ずる濃度出力のシフ
ト分を定期的に補正することにより、ゼロ点の校正周期
を延ばすことができ、長期にわたって安定して連続測定
を行うことができる赤外線ガス分析装置を提供すること
である。
【0016】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明では、比較用検出部の出力と測定用検出部
の出力との差または比に基づいて測定対象ガスの濃度を
求めるようにした赤外線ガス分析装置において、比較用
検出部の出力を一定の周期でモニターし、予め設定して
いる値を超えて変化しているときには、さらにゼロ点シ
フト補正関数を用いて付加的に濃度出力の補正を行うよ
うにしている。
【0017】例えば、空気中のCO2 濃度を測定する赤
外線ガス分析装置においては、空気中のCO2 の濃度影
響を受けないRef出力を一定時間ごとにモニターし、
Ref出力が予め設定した値よりも許容範囲を超えて変
化していれば、この超えている分に相当する補正を行う
のである。
【0018】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を図面を参照し
ながら説明する。この発明の赤外線ガス分析装置の一例
としての小型CO2 センサは、その機械的構成において
は図3に示したものと変わるところがなく、その信号系
統の構成は、例えば図1に示すようになっている。すな
わち、図1において、9R,9Sは赤外線検出器9にお
ける比較用検出部、測定用検出部を示している。14,
15,16は比較用検出部9Rの出力、測定用検出部9
Sの出力、室温補正用温度センサ13からの出力をそれ
ぞれ波形整形して出力するプリアンプ、17はプリアン
プ14〜16の出力をマイクロコンピュータユニット
(MCU)18に順次出力するマルチプレクサである。
なお、vR ,vCO2 はそれぞれプリアンプ14,15を
経た比較用検出部9Rの出力、測定用検出部9Sの出力
である。
【0019】そして、前記MCU18は、赤外線ガス分
析装置全体を制御したり、濃度演算などを行うもので、
マルチプレクサ17からの信号に基づいて濃度演算を行
ったり温度補正を行ったりするとともに、ゼロ点シフト
補正を行う演算部19や光源駆動回路20に所定の制御
信号を出力する光源駆動用パルス発生部21などが設け
られており、濃度出力22を出力する。
【0020】上記構成の小型CO2 センサの動作を、図
2および図4をも参照しながら説明する。すなわち、赤
外光源8を出た赤外光IRは、凹面反射鏡4の反射面4
aにおいて赤外線検出器9に入射するが、このとき、前
記赤外光IRは、ケース1内のサンプルガスとしての空
気に含まれるCO2 の濃度に応じた吸収を受け、このと
き、比較用検出部9Rの出力vR とCO2 測定用検出部
9Sの出力vCO2 がMCU18に入力される。
【0021】そして、MCU18においては、図2に示
すようなアルゴリズムで濃度演算が行われる。すなわ
ち、比較用出力vR とCO2 出力vCO2 とが読み込まれ
る(ステップS1)。
【0022】前記出力vR と出力vCO2 との差を求める
演算が行われ、CO2 による吸収のレベルに相当する電
圧(vR −vCO2 )が求められる(ステップS2)。
【0023】前記吸収のレベルに相当する電圧(vR
CO2 )を用いてCO2 濃度への変換式g(vR −v
CO2 )の演算を行う(ステップS3)。
【0024】一方、周囲温度による影響を補正するた
め、周囲温度補正関数h(t)を読み込んで(ステップ
S4)、前記g(vR −vCO2 )と周囲温度補正関数h
(t)とを用いて、〔g(vR −vCO2 )+h(t)〕
なる演算を行って(ステップS5)、温度補正された濃
度値を得る。
【0025】ここまでのステップは、従来の赤外線ガス
分析装置において一般的に行われている濃度演算手法で
あり、この手法によって得られる濃度出力は、赤外光源
8のフィラメントの劣化や凹面反射鏡4の反射面4aの
汚れやケース1の機械的変形や赤外線検出器9の感度変
化など種々の要因によって、経時的に変化する。
【0026】そこで、この発明においては、ゼロ点の経
時的シフトの傾向が濃度出力とRef出力vR とにおい
て比較的似通っていることに着目し、Ref出力vR
MCU18によって一定時間ごとにモニターし、Ref
出力vR に基づいて得られるゼロ点シフト補正関数j
(vR ,t)を読み込んで(ステップS6)、〔g(v
R −vCO2 )+h(t)−j(vR ,t)〕なる演算を
行って(ステップS7)、濃度出力の補正を行い、さら
に、濃度変換関数k(x)を用いて濃度値に変換する
(ステップS8)ようにしている。
【0027】図4は上述した補正を行ったときの濃度出
力を、補正を行わないときの濃度出力Cなどとともに示
したもので、この図において、符号Dは補正後の濃度出
力を示し、Eは補正を行うための出力で、ゼロ点シフト
補正関数j(vR ,t)によって得られる。
【0028】そして、既に説明したように、補正を行わ
ないときは、濃度出力は、曲線A(この曲線Aは図7に
示したものと同じである)で示すように、時間の経過と
ともに一方向にシフトしていく。
【0029】しかし、この発明のように、一定時間ごと
にRef出力vR に基づいてゼロ点シフト補正関数j
(vR ,t)を演算し、これによって得られる補正用出
力Eを用いて濃度出力の補正を行うようにしているの
で、図3において符号Dで示すように濃度出力のシフト
幅が一定の範囲に納まるようになる。
【0030】なお、上記図4においては、濃度出力の補
正は、その補正時、濃度がゼロになるようにしている
が、必ずしもこのようにする必要がない。また、前記補
正を行うときのRef出力vR の大きさは、例えばMC
U18のメモリ内に記憶され、次回の補正を行う際の比
較信号として用い、この値との差が許容範囲を超えたと
きに濃度演算の補正が行われる。
【0031】以上説明したように、この発明の小型CO
2 センサにおいては、CO2 濃度を求める際、測定対象
成分であるCO2 の濃度の影響を受けないRef出力v
R を用いて、CO2 濃度を補正するようにしているの
で、ゼロ点校正の周期を延ばすことができ、長期にわた
ってメンテナンスを行う必要がなく、連続測定を長期間
ノーメンテナンスで行うことができる。
【0032】この発明は、上述の実施の形態に限られる
ものではなく、種々に変形して実施することができる。
例えば、小型CO2 センサにおけるCO2 の濃度出力を
得る場合、前記引算法に代えて割算法を用いるようにし
てもよい。すなわち、濃度出力を、Ref出力vR とC
2 出力vCO2 との比に基づいて求めるようにしてもよ
い。
【0033】図5に示すように、割算法によって濃度演
算を行うものFは、引算法によって濃度演算を行うもの
Gに比べて出力のドリフトは小さいが、時間の経過に伴
ってゼロ点のシフトが生ずることは、引算法によるもの
と同じである。したがって、この割算法によって濃度演
算を行う場合にも、上述と同様に、補正を定期的に行う
ことにより、校正周期を延ばすことができる。なお、図
5において、符号Hは参照出力を示している。
【0034】また、赤外線検出器9としては、比較用検
出部9RとCO2 測定用検出部9Sが単一の容器内に収
容されているものであったが、これに限られるものでは
ないことはいうまでもない。
【0035】そして、上述の実施の形態においては、赤
外線ガス分析装置が凹面反射鏡4に対向させて赤外光源
8と赤外線検出器9とを設け、赤外光源8および赤外線
検出器9と凹面反射鏡4との間の空間にガスを流入させ
るようにしていたが、この発明はこれに限られるもので
はなく、赤外線ガス分析装置として、例えば図6に示す
ように、筒状のセル30の両端に赤外線透過窓31,3
2を有するとともに、セル30にサンプルガスの導入口
33、導出口34を設け、一方の窓31に対応するよう
にして赤外光源35(赤外光源8と同様構成)を設け、
他方の窓33に対応するようにして光学フィルタ36,
37を介して赤外線検出器38(赤外線検出器9と同様
構成)を設けたものであってもよい。なお、光学フィル
タ36は、CO2 に対して吸収帯域のないところの波長
の赤外光を通過させる光学フィルタであり、光学フィル
タ37は、CO2 のみの特性吸収帯域の赤外光を通過さ
せる光学フィルタである。
【0036】さらに、赤外線検出器9、38としてはサ
ーモパイルを用いたものにも構成することができる。
【0037】また、上述の実施の形態においては、測定
対象ガスがCO2 であったが、この発明は、CO2 以外
のガス、例えばCOやHCなどの成分を検出する赤外線
ガス分析装置にも広く適用することができる。
【0038】
【発明の効果】この発明の赤外線ガス分析装置において
は、比較用検出器の出力を一定の周期でモニターし、予
め設定している値を超えて変化しているときには、さら
にゼロ点シフト補正関数を用いて付加的に濃度出力の補
正を行うようにしているので、ゼロ点の校正周期を延ば
すことができ、メンテナンス周期を長くすることができ
る。したがって、空調用などメンテナンス性が重視され
る赤外線ガス分析装置において大いなる効果を発揮す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の赤外線ガス分析装置における信号系
統を概略的に示す図である。
【図2】前記赤外線ガス分析装置において濃度出力を求
めるためのアルゴリズムの一例を示す図である。
【図3】前記赤外線ガス分析装置の構成を示す縦断面図
である。
【図4】前記赤外線ガス分析装置の動作を説明するため
の図である。
【図5】出力のドリフトを説明するための図である。
【図6】赤外線ガス分析装置の他の構成例を示す図であ
る。
【図7】従来技術の問題点を説明するための図である。
【符号の説明】
9R…比較用検出部、9S…測定用検出部。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 比較用検出部の出力と測定用検出部の出
    力との差または比に基づいて測定対象ガスの濃度を求め
    るようにした赤外線ガス分析装置において、比較用検出
    部の出力を一定の周期でモニターし、予め設定している
    値を超えて変化しているときには、さらにゼロ点シフト
    補正関数を用いて付加的に濃度出力の補正を行うように
    したことを特徴とする赤外線ガス分析装置。
JP13120098A 1998-04-24 1998-04-24 赤外線ガス分析装置 Pending JPH11304706A (ja)

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