JPH11297633A - 縦型皮膜処理装置におけるヒータの設備構造、および縦型皮膜処理装置の移設方法 - Google Patents
縦型皮膜処理装置におけるヒータの設備構造、および縦型皮膜処理装置の移設方法Info
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- JPH11297633A JPH11297633A JP10514098A JP10514098A JPH11297633A JP H11297633 A JPH11297633 A JP H11297633A JP 10514098 A JP10514098 A JP 10514098A JP 10514098 A JP10514098 A JP 10514098A JP H11297633 A JPH11297633 A JP H11297633A
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Abstract
迅速に行え、さらにヒータが断線したり、寿命低下を来
す恐れのない縦型皮膜処理装置におけるヒータの設備構
造を得る。 【解決手段】 装置本体1の上部に設けられたヒータ2
を、装置本体内に設けられたボートエレベータ8を用い
て上下に可動させるように構成し、装置本体1の移設時
に、装置本体1の下部にヒータ2を降ろした状態に支持
して、装置本体1を運搬し、装置本体1の移設後に、ヒ
ータ2を上部に上げて固定させるようにした。
Description
CVD装置のように、ヒータの熱を利用して搬入された
基板の皮膜処理を行うようにした縦型皮膜処理装置にお
いて、その移設を容易に行えるようにしたヒータの設備
構造および縦型皮膜処理装置の移設方法に関するもので
ある。
散CVD装置の本体部を示す外観斜視図である。図6に
おいて、1は装置本体、1Aは筺体、2はヒータであ
り、このヒータ2は装置本体上部のヒータ室1a内に設
けられ、その上部がヒータ室上部1bで覆われている。
かかる半導体製造装置である縦型拡散CVD装置は、運
搬、搬入などのために装置の全高(H=2800mm)
が規定されている。しかし、ウェーハの処理枚数を多く
するため、その容量を有する反応管を備えた場合は、そ
の反応管を覆うヒータ2上部やヒータ室上部1bが上記
規定寸法をオーバーしてしまう(例えば、H=3100
mm程度となる)。そこで従来、かかる縦型拡散CVD
装置の運搬時には、ヒータ2を取外して装置を運搬する
ようにしている。
運搬時にヒータ2を取外すようにすると、ヒータ2の取
外し及び取付け作業に加え、図7に示すように、ヒータ
2の配線25及びそのダクト26の取外し及び取付け作
業、ヒータ2の取外し及び取付け作業によるユーティリ
ティ27の取付け及び取外し作業、ヒータの梱包及び取
り出し作業、装置本体の運搬の他にヒータの運搬作業等
が必要となり、装置の運搬作業が大掛かりなものとな
り、作業コスト、作業時間がかかる。また、特に拡散ヒ
ータにあっては、図8に示すように、その運搬作業にお
ける素線(ヒータ線)2aのたれによる断線が発生した
り、もしくは寿命低下の要因となるという問題点があっ
た。
るためになされたもので、縦型皮膜処理装置の運搬作業
が容易に、かつ迅速に行え、さらにヒータが断線した
り、寿命低下を来す恐れのない、縦型皮膜処理装置にお
けるヒータの設備構造、および縦型皮膜処理装置の移設
方法を提供することを目的としている。
解決するため、この発明に係る縦型皮膜処理装置は、装
置本体の上部に設けられたヒータの熱を利用して、搬入
された基板の皮膜処理を行うようにした縦型皮膜処理装
置において、前記ヒータを、前記装置本体内において、
前記装置本体の上部からその下方にかけて上下動させる
ヒータ可動手段を備えたものである。
手段は、前記基板を搬入するボートエレベータを用いて
構成されるものである。
移設方法は、装置本体の上部に設けられたヒータの熱を
利用して、搬入された基板の皮膜処理を行うようにした
縦型皮膜処理装置の移設方法において、前記装置の移設
前に、前記ヒータを前記装置本体の上部から下方に移動
させ、前記ヒータを前記下方に支持して前記装置を移設
し、前記装置の移設後に、前記ヒータを前記装置本体の
上部に移動させるようにしたものである。
置の移設時に、そのヒータ部の組立・解体時間の短縮
化、ヒータ関係の梱包作業の省略、ヒータ寿命の低下防
止、運搬容積の縮小化を図ることができる。
として、縦型拡散CVD装置を示す概略図である。図1
において、1は装置本体、1aは装置本体上部に設けら
れたヒータ室、2はヒータ室1a内に配設されるヒー
タ、3はヒータ2を載置するためのヒータベース、4は
ヒータ内に搬入されるウェーハ、5はウェーハ4を載置
するボート、6はボート5を上部に支持して図示しない
反応管下部を閉蓋するキャップ、7はキャップ下部に設
けられ反応管を大気からシールするためのシールキャッ
プ、8はウェーハ4をヒータ2内に搬入するため、ボー
ト5等を上下移動させるためのエレベータ、9はボート
5等を支持し、エレベータ8により上下動されるアーム
(以下、E軸アームという)である。なお、図1におい
て、10はウェーハ4をボート5に移載する移載機、1
1、12はそれぞれ上棚、下棚、13はカセットステー
ジ、14はカセットローダである。
は、エレベータ8によりヒータ2を下げて運び、セット
アップ後、再び上昇させ、規定の高さに固定する。ヒー
タ2を下げるための、ヒータベースの上下移動機構に
は、新たな機構を用いることなく、従来、ウェーハ4を
成膜するためにボート5をヒータ2内に挿入しているエ
レベータの駆動機構を用いるようにする。ここに、構造
的には、従来の縦型拡散装置に比べてヒータベース部分
のみが異なり、他の部分については、同じ機構を用いて
いる。
タ2を下動させる場合について説明する。 (1)ボート5とキャップ6を固定している位置決めピ
ンを取り外し、ボート5を取り外すとともにキャップ6
を取り外す。次にE軸アーム9上の炉口部部品(シール
キャップ7等)を取り外す。 (2)次に、図2に示されるように、E軸アーム9にア
ーム9とヒータベース3を固定するための治具15を取
り付ける。 この治具15は、ヒータベース3の下面の3点を円周上
で支持する3つの位置決めピン16が設けられた支持板
17と、この支持板17の下側に設けられ、E軸アーム
9の取り付け穴9aに挿入されて、治具15をE軸アー
ム9に支持するための支持部18と、支持部18と支持
板17の間に介設され、装置本体の運搬時におけるヒー
タ2への振動を防止して脱落を防止するためのスプリン
グ機構(あるいは防振ゴム等の振動吸収機構)19とか
ら構成されている。
タ2内部に風船状ゴムあるいはビニールを挿入し、エア
を充満させることにより、エアクッション20を設け
る。このエアクッション20は装置本体の運搬時の振動
によりヒータ2の素線2aのずれを防ぐものである。 (4)次に、E軸アーム9を上昇させ、治具15とヒー
タベース3を固定する。ここで、治具15とヒータベー
ス3とを固定させることにより風船状ゴム等の抜けも防
止される。
れるとE軸を下降させ所定の高さまでヒータベース(ヒ
ータ2)を降ろす。ヒータベースの移動量は、略310
0mmの高さから2800mmの高さへの略300mm
程度である。したがって、ヒータ配線や、熱電対配線
は、この移動量を許容できる程度に長く余裕をもって配
線されている。これら配線はセットアップ時にはヒータ
室上部1b内の図示しないメクラパネル内に収納され、
不要なたるみがとられている。なお、ヒータ2はヒータ
ベース3上にその適所(例えば3カ所)が固定部ロック
により固定されて取り付けられている。 (6)ヒータ2が降ろされると、図4に示されるように
ヒータ室上部1bを取り外し、運搬し易いように装置の
全高さを低くする。 (7)降ろされたヒータ2は、その位置でぐらつき防止
が施され、この状態で装置の搬送を行う。 (8)装置の移設けるセットアップ時には上記の逆の動
作を行う。
(装置本体上部)から運搬時の位置(装置本体上部より
下方の位置)に移動させる場合の動作を図示したもので
ある。ヒータ2は運搬時に上下方向に距離Lだけ下降さ
れ、ヒータ室上部1bを取外すことにより、装置の全高
を3100mmから運搬時の規定高さである2800m
mまで減少させることができる。このように、実施の形
態によれば、エレベータ8でヒータ2を降ろし、その位
置でエレベータ8のアーム9に支持させて装置本体を運
搬することができるので、従来のようにヒータを装置本
体より別個に取り外して運搬する場合に比し、その取り
扱いが極めて簡単となり、装置の移設を容易、迅速に行
うことができる。
ば、装置の移設前に、ヒータを装置下部に移動させて装
置を運搬し、装置の移設後に、ヒータを装置上部に移動
させるようにしたため、組立・解体時間の短縮、ヒータ
関係の梱包作業の省略、ヒータ寿命の低下防止、運搬容
積の縮小化を図ることができるという効果を奏する。
置を示す概略斜視図である。
す側面図である。
る。
る。
を示す概略図である。
す概略図である。
ある。
Claims (3)
- 【請求項1】 装置本体の上部に設けられたヒータの熱
を利用して、搬入された基板の皮膜処理を行うようにし
た縦型皮膜処理装置において、 前記ヒータを、前記装置本体内において、前記装置本体
の上部からその下方にかけて上下動させるヒータ可動手
段を備えたことを特徴とする縦型皮膜処理装置における
ヒータの設備構造。 - 【請求項2】 前記ヒータ可動手段は、前記基板を搬入
するボートエレベータを用いて構成されることを特徴と
する請求項1記載の縦型皮膜処理装置におけるヒータの
設備構造。 - 【請求項3】 装置本体の上部に設けられたヒータの熱
を利用して、搬入された基板の皮膜処理を行うようにし
た縦型皮膜処理装置の移設方法において、 前記装置の移設前に、前記ヒータを前記装置本体の上部
から下方に移動させ、前記ヒータを前記下方に支持して
前記装置を移設し、前記装置の移設後に、前記ヒータを
前記装置本体の上部に移動させるようにしたことを特徴
とする縦型皮膜処理装置の移設方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10514098A JP4327916B2 (ja) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | 縦型皮膜処理装置におけるヒータの設備構造、および縦型皮膜処理装置の移設方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10514098A JP4327916B2 (ja) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | 縦型皮膜処理装置におけるヒータの設備構造、および縦型皮膜処理装置の移設方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11297633A true JPH11297633A (ja) | 1999-10-29 |
JP4327916B2 JP4327916B2 (ja) | 2009-09-09 |
Family
ID=14399456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10514098A Expired - Lifetime JP4327916B2 (ja) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | 縦型皮膜処理装置におけるヒータの設備構造、および縦型皮膜処理装置の移設方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4327916B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008078546A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置および反応容器の着脱方法 |
-
1998
- 1998-04-15 JP JP10514098A patent/JP4327916B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008078546A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置および反応容器の着脱方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP4327916B2 (ja) | 2009-09-09 |
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