JPH11294627A - サーボバルブ - Google Patents
サーボバルブInfo
- Publication number
- JPH11294627A JPH11294627A JP11149298A JP11149298A JPH11294627A JP H11294627 A JPH11294627 A JP H11294627A JP 11149298 A JP11149298 A JP 11149298A JP 11149298 A JP11149298 A JP 11149298A JP H11294627 A JPH11294627 A JP H11294627A
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- JP
- Japan
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- flapper
- yokes
- coil
- pair
- magnet assembly
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 出力ポートの空気圧が、コイルの通電量に応
じて直線的に変化する、ノズルフラッパ使用のサーボバ
ルブを提供する。 【解決手段】 サーボバルブにおけるマグネットアセン
ブリ３３が、直径方向に対向させて配設した第１ヨーク
１４ａ，１４ｂと、両端がこれらのヨークに固定された
平面視円筒状のマグネット３５ａ，３５ｂと、これらの
第１ヨークに取付けられた第２ヨークとを備え、マグネ
ット３５ａ，３５ｂの高さを、第１ヨーク１４ａから第
１ヨーク１４ｂに向けて直線的に減少させる。
じて直線的に変化する、ノズルフラッパ使用のサーボバ
ルブを提供する。 【解決手段】 サーボバルブにおけるマグネットアセン
ブリ３３が、直径方向に対向させて配設した第１ヨーク
１４ａ，１４ｂと、両端がこれらのヨークに固定された
平面視円筒状のマグネット３５ａ，３５ｂと、これらの
第１ヨークに取付けられた第２ヨークとを備え、マグネ
ット３５ａ，３５ｂの高さを、第１ヨーク１４ａから第
１ヨーク１４ｂに向けて直線的に減少させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ノズルフラッパを
有するサーボバルブに関するものある。
有するサーボバルブに関するものある。
【０００２】
【従来の技術】図７ないし図１２はノズルフラッパを有
する既提案のサーボバルブの一例を示し、このサーボバ
ルブ１は、図８及び図９に詳細を示すように、ボディ２
と、取付ボルト３，３（一方のみ図示）によってボディ
２に組み付けられたフラッパ変位手段４と、該フラッパ
変位手段４の後記するコイル５への通電によって変位す
るフラッパ６とを備えている。
する既提案のサーボバルブの一例を示し、このサーボバ
ルブ１は、図８及び図９に詳細を示すように、ボディ２
と、取付ボルト３，３（一方のみ図示）によってボディ
２に組み付けられたフラッパ変位手段４と、該フラッパ
変位手段４の後記するコイル５への通電によって変位す
るフラッパ６とを備えている。
【０００３】上記ボディ２は、フラッパ変位手段４側の
面に形成した直径方向の凹溝８と、これと反対側の面に
開設した圧縮空気の入力ポートＰ、出力ポートＡ及び排
出ポートＲと、出力ポートＡを上記凹溝８に連通させる
フラッパ挿通孔９と、一端が該フラッパ挿通孔９に開口
して、出力ポートＡを入力ポートＰと排出ポートＲとに
個別に連通させる流路１０ａ，１０ｂと、これらの流路
１０ａ，１０ｂに先端（ノズル部）を対向させて組み付
けられた一対のノズル１１ａ，１１ｂとを備えている。
面に形成した直径方向の凹溝８と、これと反対側の面に
開設した圧縮空気の入力ポートＰ、出力ポートＡ及び排
出ポートＲと、出力ポートＡを上記凹溝８に連通させる
フラッパ挿通孔９と、一端が該フラッパ挿通孔９に開口
して、出力ポートＡを入力ポートＰと排出ポートＲとに
個別に連通させる流路１０ａ，１０ｂと、これらの流路
１０ａ，１０ｂに先端（ノズル部）を対向させて組み付
けられた一対のノズル１１ａ，１１ｂとを備えている。
【０００４】上記フラッパ変位手段４は、マグネットア
センブリ１３と、該マグネットアセンブリ１３内に組み
付けられた上記コイル５とを備えている。上記マグネッ
トアセンブリ１３は、図９ないし図１１に詳細を示すよ
うに、直径方向に対向して配設された一対の第１ヨーク
１４ａ，１４ｂと、平面視円筒状で円周方向の両端がこ
れらの第１ヨークに固着された一対のマグネット１５
ａ，１５ｂと、第１ヨーク１４ａ，１４ｂのボディ２と
反対側の面に、取付ボルト１６，１６により先端を対向
させて取付けられた一対の第２ヨーク１７，１７とを備
え、コイル５が巻かれたボビン５ａは、第１ヨーク１４
ａ，１４ｂ間に嵌着等によって取付けられている（図１
参照）。
センブリ１３と、該マグネットアセンブリ１３内に組み
付けられた上記コイル５とを備えている。上記マグネッ
トアセンブリ１３は、図９ないし図１１に詳細を示すよ
うに、直径方向に対向して配設された一対の第１ヨーク
１４ａ，１４ｂと、平面視円筒状で円周方向の両端がこ
れらの第１ヨークに固着された一対のマグネット１５
ａ，１５ｂと、第１ヨーク１４ａ，１４ｂのボディ２と
反対側の面に、取付ボルト１６，１６により先端を対向
させて取付けられた一対の第２ヨーク１７，１７とを備
え、コイル５が巻かれたボビン５ａは、第１ヨーク１４
ａ，１４ｂ間に嵌着等によって取付けられている（図１
参照）。
【０００５】第１ヨーク１４ａ，１４ｂのボディ２側に
は、第２ヨーク１７，１７と直交する方向において中心
を向く突出部１８ａ，１８ｂが一体に形成されており
（図１１及び図１２参照）、第２ヨーク１７，１７の先
端及び突出部１８ａ，１８ｂ側面先端部は、フラッパ６
を介して対向している。上記マグネット１５ａ，１５ｂ
の円周方向端面は、ろー付けまたは接着剤等によって第
１ヨーク１４ａ，１４ｂに固着されており、フラッパ変
位手段４は、第１ヨーク１４ａ，１４ｂの凹み部分に開
口する貫通孔１９，１９を通る上記取付ボルト３，３に
よって、ボディ２に組み付けられている。
は、第２ヨーク１７，１７と直交する方向において中心
を向く突出部１８ａ，１８ｂが一体に形成されており
（図１１及び図１２参照）、第２ヨーク１７，１７の先
端及び突出部１８ａ，１８ｂ側面先端部は、フラッパ６
を介して対向している。上記マグネット１５ａ，１５ｂ
の円周方向端面は、ろー付けまたは接着剤等によって第
１ヨーク１４ａ，１４ｂに固着されており、フラッパ変
位手段４は、第１ヨーク１４ａ，１４ｂの凹み部分に開
口する貫通孔１９，１９を通る上記取付ボルト３，３に
よって、ボディ２に組み付けられている。
【０００６】上記フラッパ６は、ボビン５ａの中心孔及
びフラッパ挿通孔９を通る先端６ａの偏平面がノズル１
１ａ，１１ｂの先端に対向し、第２ヨーク１７，１７と
対向する端部６ｂは二面幅とされている。また、フラッ
パ６の軸方向中間部は、両端がそれぞれ２個の取付ねじ
２１，２１（１個のみ図示）によって凹溝８に取付けら
れた板ばね２０の中心孔に嵌着されており、これによっ
て軸方向の両端６ａ，６ｂが、板ばね２０による取付部
を中心として互いに反対の方向に変位可能とされてい
る。
びフラッパ挿通孔９を通る先端６ａの偏平面がノズル１
１ａ，１１ｂの先端に対向し、第２ヨーク１７，１７と
対向する端部６ｂは二面幅とされている。また、フラッ
パ６の軸方向中間部は、両端がそれぞれ２個の取付ねじ
２１，２１（１個のみ図示）によって凹溝８に取付けら
れた板ばね２０の中心孔に嵌着されており、これによっ
て軸方向の両端６ａ，６ｂが、板ばね２０による取付部
を中心として互いに反対の方向に変位可能とされてい
る。
【０００７】上記流路１０ａ，１０ｂの開口は、それぞ
れプラグ２２によって閉鎖され、フラッパ変位手段４
は、フラッパ６の外周面に嵌着されたＯリング２３によ
ってボディ２からシールされている。また、フラッパ変
位手段４を覆いボディ２に嵌着されたカバー２４は、先
端が止めねじ２５，２５（図８参照）によってボディ２
に取付けられている。図８中の符号２６は、コイル５の
リード線（図示省略）が通るリード線挿通部材である。
れプラグ２２によって閉鎖され、フラッパ変位手段４
は、フラッパ６の外周面に嵌着されたＯリング２３によ
ってボディ２からシールされている。また、フラッパ変
位手段４を覆いボディ２に嵌着されたカバー２４は、先
端が止めねじ２５，２５（図８参照）によってボディ２
に取付けられている。図８中の符号２６は、コイル５の
リード線（図示省略）が通るリード線挿通部材である。
【０００８】上記サーボバルブ１は、コイル５に通電す
ると、マグネットアセンブリ１３によってフラッパ６が
板ばね２０による支持部を中心として揺動し、これによ
り先端６ａがノズル１１ａ，１１ｂの先端に接離してそ
の間隙が調節されるので、出力ポートＡの空気圧がコイ
ル５への通電量に応じて増減する。しかしながら、上記
サーボバルブ１は、図１３に示すように、フラッパ６は
コイル５の通電量に応じてほぼ直線的に変位するが、空
気の圧縮性のために、通電量と出力空気圧との関係は、
図１４に示すように通電量が少ない部分と多い部分とに
おいて屈曲してＳ字状の曲線となるので、出力ポートＡ
の空気圧がコイル５の通電量に応じて直線的に変化しな
い。このため、既提案のサーボバルブ１は、出力ポート
Ａの空気圧の制御が面倒である。
ると、マグネットアセンブリ１３によってフラッパ６が
板ばね２０による支持部を中心として揺動し、これによ
り先端６ａがノズル１１ａ，１１ｂの先端に接離してそ
の間隙が調節されるので、出力ポートＡの空気圧がコイ
ル５への通電量に応じて増減する。しかしながら、上記
サーボバルブ１は、図１３に示すように、フラッパ６は
コイル５の通電量に応じてほぼ直線的に変位するが、空
気の圧縮性のために、通電量と出力空気圧との関係は、
図１４に示すように通電量が少ない部分と多い部分とに
おいて屈曲してＳ字状の曲線となるので、出力ポートＡ
の空気圧がコイル５の通電量に応じて直線的に変化しな
い。このため、既提案のサーボバルブ１は、出力ポート
Ａの空気圧の制御が面倒である。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、出力ポートの空気圧が、コイルの通電量に
応じてほぼ直線的に変化するノズルフラッパ使用のサー
ボバルブを提供することにある。
する課題は、出力ポートの空気圧が、コイルの通電量に
応じてほぼ直線的に変化するノズルフラッパ使用のサー
ボバルブを提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明のサーボバルブは、圧縮空気の入力ポート、
出力ポート及び排出ポート、出力ポートを入力ポートと
排出ポートに個別に連通させる一対の流路、並びにこれ
らの流路に先端を対向させて設けた一対のノズルを有す
るボディと；軸方向の中間が上記ボディに揺動可能に取
付けられ、先端が上記一対のノズルに対向するフラッパ
と；マグネットアセンブリ、及び該マグネットアセンブ
リ内に組み付けられたコイルを有し、コイルへの通電量
の大小により上記フラッパの先端をこれらのノズルの先
端に接離させて、出力空気圧をコイルの通電量の大小に
応じた圧力に制御するフラッパ変位手段；とを備えたサ
ーボバルブにおいて：上記フラッパ変位手段が、コイル
の通電量にほぼ直線的に比例する空気圧を出力させるた
めの、磁束密度特性が、コイルの通電量と出力空気圧と
の特性における曲線部分と反対向きに屈曲する曲線部分
を有するマグネットアセンブリを備えていることを特徴
としている。
め、本発明のサーボバルブは、圧縮空気の入力ポート、
出力ポート及び排出ポート、出力ポートを入力ポートと
排出ポートに個別に連通させる一対の流路、並びにこれ
らの流路に先端を対向させて設けた一対のノズルを有す
るボディと；軸方向の中間が上記ボディに揺動可能に取
付けられ、先端が上記一対のノズルに対向するフラッパ
と；マグネットアセンブリ、及び該マグネットアセンブ
リ内に組み付けられたコイルを有し、コイルへの通電量
の大小により上記フラッパの先端をこれらのノズルの先
端に接離させて、出力空気圧をコイルの通電量の大小に
応じた圧力に制御するフラッパ変位手段；とを備えたサ
ーボバルブにおいて：上記フラッパ変位手段が、コイル
の通電量にほぼ直線的に比例する空気圧を出力させるた
めの、磁束密度特性が、コイルの通電量と出力空気圧と
の特性における曲線部分と反対向きに屈曲する曲線部分
を有するマグネットアセンブリを備えていることを特徴
としている。
【００１１】また、同様の課題を解決するため、上記サ
ーボバルブにおけるマグネットアセンブリが：対向して
配設された一対の第１ヨークと；平面視円筒状で両端が
これらの第１ヨークに固定され、かつその軸方向高さが
一方の第１ヨークから他方の第１ヨークに向けてほぼ直
線的に減少する一対のマグネットと；上記第１ヨークに
取付けられ、先端がフラッパを挟んで対向する一対の第
２ヨーク；とを備えていることを特徴としている。
ーボバルブにおけるマグネットアセンブリが：対向して
配設された一対の第１ヨークと；平面視円筒状で両端が
これらの第１ヨークに固定され、かつその軸方向高さが
一方の第１ヨークから他方の第１ヨークに向けてほぼ直
線的に減少する一対のマグネットと；上記第１ヨークに
取付けられ、先端がフラッパを挟んで対向する一対の第
２ヨーク；とを備えていることを特徴としている。
【００１２】
【作用及び発明の効果】マグネットアセンブリの磁束密
度特性を、コイルの通電量と出力空気圧との特性の曲線
部分と反対向きに屈曲する曲線部分を有するものとした
ことによって、これらの特性の曲線部分の影響が打ち消
されるので、出力ポートの空気圧を、コイルの通電量に
応じてほぼ直線的に変化させることができる。したがっ
て、出力空気圧の制御が極めて簡単である。
度特性を、コイルの通電量と出力空気圧との特性の曲線
部分と反対向きに屈曲する曲線部分を有するものとした
ことによって、これらの特性の曲線部分の影響が打ち消
されるので、出力ポートの空気圧を、コイルの通電量に
応じてほぼ直線的に変化させることができる。したがっ
て、出力空気圧の制御が極めて簡単である。
【００１３】具体的には、マグネットアセンブリを構成
する一対の第１ヨーク間のマグネットの軸方向高さを、
第１ヨークの一方から他方に向けて直線的に減少させた
ことによって、コイルの通電量に応じたフラッパの変位
量が、電流と出力空気圧との特性の曲線部分においてこ
れと反対向きに屈曲する逆Ｓ字状の曲線となるので、出
力ポートの空気圧をコイルの通電量に応じてほぼ直線的
に変化させることができる。
する一対の第１ヨーク間のマグネットの軸方向高さを、
第１ヨークの一方から他方に向けて直線的に減少させた
ことによって、コイルの通電量に応じたフラッパの変位
量が、電流と出力空気圧との特性の曲線部分においてこ
れと反対向きに屈曲する逆Ｓ字状の曲線となるので、出
力ポートの空気圧をコイルの通電量に応じてほぼ直線的
に変化させることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１ないし図４は本発明の実施例
を示し、このサーボバルブ３１は、フラッパ変位手段３
２におけるマグネットアセンブリ３３を構成する後記マ
グネット３５ａ，３５ｂ以外は、図７ないし図１２に示
す上記サーボバルブ１と同一の構成を備えている。した
がって、図における同一の箇所に同一の符号を付して、
マグネットアセンブリ３３以外の詳細な説明は省略す
る。
を示し、このサーボバルブ３１は、フラッパ変位手段３
２におけるマグネットアセンブリ３３を構成する後記マ
グネット３５ａ，３５ｂ以外は、図７ないし図１２に示
す上記サーボバルブ１と同一の構成を備えている。した
がって、図における同一の箇所に同一の符号を付して、
マグネットアセンブリ３３以外の詳細な説明は省略す
る。
【００１５】図３及び図４に詳細を示す上記マグネット
アセンブリ３３は、直径方向に対向して配設された一対
の第１ヨーク１４ａ，１４ｂと、これらの第１ヨーク間
の一対のマグネット３５ａ，３５ｂと、第１ヨーク１４
ａ，１４ｂに取付けられた第２ヨーク１７，１７とを備
えている。上記マグネット３５ａ，３５ｂは、いずれも
平面視円筒状をなし、かつ軸方向の高さが、第１ヨーク
１４ａまたは１４ｂの一方（図示の例は１４ａ）から他
方の第１ヨーク（図示の例は１４ｂ）に向けて、直線的
に減少するものとされている。したがって、上記マグネ
ットアセンブリ３３は、裏面からみると図１２と同じで
ある。
アセンブリ３３は、直径方向に対向して配設された一対
の第１ヨーク１４ａ，１４ｂと、これらの第１ヨーク間
の一対のマグネット３５ａ，３５ｂと、第１ヨーク１４
ａ，１４ｂに取付けられた第２ヨーク１７，１７とを備
えている。上記マグネット３５ａ，３５ｂは、いずれも
平面視円筒状をなし、かつ軸方向の高さが、第１ヨーク
１４ａまたは１４ｂの一方（図示の例は１４ａ）から他
方の第１ヨーク（図示の例は１４ｂ）に向けて、直線的
に減少するものとされている。したがって、上記マグネ
ットアセンブリ３３は、裏面からみると図１２と同じで
ある。
【００１６】上記サーボバルブ３１は、ボディ２の流路
１０ａ，１０ｂにノズル１１ａ，１１ｂとプラグ２２，
２２を取付けるとともに、取付ねじ２１，２１によって
凹溝８に板ばね２０を取付けてその中心孔にフラッパ６
を組み付けると、先端６ａがノズル１１ａ，１１ｂの先
端（ノズル部）に近接して位置する。一方、コイル５を
巻いたボビン５ａを、第２ヨーク１７，１７を取付ける
前のマグネットアセンブリ３３内に組み付けて、ボビン
５ａの中心孔にフラッパ６の端部６ｂを通し、貫通孔１
９，１９を通る取付ボルト３，３によって上記マグネッ
トアセンブリ３３をボディ２に組み付ける。次いで、第
２ヨーク１７，１７を、複数本の取付ボルト１６によっ
て第１ヨーク１４ａ，１４ｂにそれぞれ取付けるとフラ
ッパ変位手段３２が組み立てられ、最後にカバー２４を
フラッパ変位手段４に被冠して、止めねじ２５，２５に
よってボディ２に取付ける。
１０ａ，１０ｂにノズル１１ａ，１１ｂとプラグ２２，
２２を取付けるとともに、取付ねじ２１，２１によって
凹溝８に板ばね２０を取付けてその中心孔にフラッパ６
を組み付けると、先端６ａがノズル１１ａ，１１ｂの先
端（ノズル部）に近接して位置する。一方、コイル５を
巻いたボビン５ａを、第２ヨーク１７，１７を取付ける
前のマグネットアセンブリ３３内に組み付けて、ボビン
５ａの中心孔にフラッパ６の端部６ｂを通し、貫通孔１
９，１９を通る取付ボルト３，３によって上記マグネッ
トアセンブリ３３をボディ２に組み付ける。次いで、第
２ヨーク１７，１７を、複数本の取付ボルト１６によっ
て第１ヨーク１４ａ，１４ｂにそれぞれ取付けるとフラ
ッパ変位手段３２が組み立てられ、最後にカバー２４を
フラッパ変位手段４に被冠して、止めねじ２５，２５に
よってボディ２に取付ける。
【００１７】実験によれば、上記サーボバルブ３１は、
マグネット３５ａ，３５ｂを上記構成としたことによっ
て、コイル５の通電量とフラッパ６の変位量との特性
が、図５に示すように、通電量の小さい部分において上
向きに凹に屈曲し、大きい部分において下向きに凹に屈
曲して逆Ｓ字状の曲線となる。したがって、コイル５へ
の通電によってフラッパ６が変位すると、これらの特性
における曲線部分を互いに逆向きとしたことによって、
コイル５の通電量と出力ポートＡの出力空気圧との関係
が、図６に示すようにほぼ直線的に変化するので、出力
空気圧の制御が極めて容易である。
マグネット３５ａ，３５ｂを上記構成としたことによっ
て、コイル５の通電量とフラッパ６の変位量との特性
が、図５に示すように、通電量の小さい部分において上
向きに凹に屈曲し、大きい部分において下向きに凹に屈
曲して逆Ｓ字状の曲線となる。したがって、コイル５へ
の通電によってフラッパ６が変位すると、これらの特性
における曲線部分を互いに逆向きとしたことによって、
コイル５の通電量と出力ポートＡの出力空気圧との関係
が、図６に示すようにほぼ直線的に変化するので、出力
空気圧の制御が極めて容易である。
【図面の簡単な説明】
【図１】実施例の縦断正面図である。
【図２】同じく縦断側面図である。
【図３】一部を除いたマグネットアセンブリの斜視図で
ある。
ある。
【図４】マグネットアセンブリの正面図である。
【図５】電流とフラッパの変位との特性図である。
【図６】電流と出力空気圧との特性図である。
【図７】既提案のサーボバルブの縦断正面図である。
【図８】同じく縦断側面図である。
【図９】一部を除いたマグネットアセンブリの斜視図で
ある。
ある。
【図１０】マグネットアセンブリの正面図である。
【図１１】同じく平面図である。
【図１２】同じく裏面図である。
【図１３】電流とフラッパの変位との特性図である。
【図１４】電流と出力空気圧との特性図である。
２ ボディ ５ コイル ６ フラッパ １０ａ，１０ｂ 流路 １１ａ，１１ｂ ノズル １４ａ，１４ｂ 第１ヨーク １７ 第２ヨーク ３１ サーボバルブ ３２ フラッパ変位手段 ３３ マグネットアセンブリ ３５ａ，３５ｂ マグネット Ｐ，Ａ，Ｒ ポート
Claims (2)
- 【請求項１】圧縮空気の入力ポート、出力ポート及び排
出ポート、出力ポートを入力ポートと排出ポートに個別
に連通させる一対の流路、並びにこれらの流路に先端を
対向させて設けた一対のノズルを有するボディと；軸方
向の中間が上記ボディに揺動可能に取付けられ、先端が
上記一対のノズルに対向するフラッパと；マグネットア
センブリ、及び該マグネットアセンブリ内に組み付けら
れたコイルを有し、コイルへの通電量の大小により上記
フラッパの先端をこれらのノズルの先端に接離させて、
出力空気圧をコイルの通電量の大小に応じた圧力に制御
するフラッパ変位手段；とを備えたサーボバルブにおい
て：上記フラッパ変位手段が、コイルの通電量にほぼ直
線的に比例する空気圧を出力させるための、磁束密度特
性が、コイルの通電量と出力空気圧との特性における曲
線部分と反対向きに屈曲する曲線部分を有するマグネッ
トアセンブリを備えている、ことを特徴とするサーボバ
ルブ。 - 【請求項２】マグネットアセンブリが：対向して配設さ
れた一対の第１ヨークと；平面視円筒状で両端がこれら
の第１ヨークに固定され、かつその軸方向高さが一方の
第１ヨークから他方の第１ヨークに向けてほぼ直線的に
減少する一対のマグネットと；上記第１ヨークに取付け
られ、先端がフラッパを挟んで対向する一対の第２ヨー
ク；とを備えている、ことを特徴とする請求項１に記載
したサーボバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11149298A JP3972318B2 (ja) | 1998-04-07 | 1998-04-07 | サーボバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11149298A JP3972318B2 (ja) | 1998-04-07 | 1998-04-07 | サーボバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11294627A true JPH11294627A (ja) | 1999-10-29 |
| JP3972318B2 JP3972318B2 (ja) | 2007-09-05 |
Family
ID=14562655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11149298A Expired - Fee Related JP3972318B2 (ja) | 1998-04-07 | 1998-04-07 | サーボバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3972318B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016148373A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 特許機器株式会社 | 流体サーボバルブ及び流体サーボ装置 |
-
1998
- 1998-04-07 JP JP11149298A patent/JP3972318B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2016148373A (ja) * | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 特許機器株式会社 | 流体サーボバルブ及び流体サーボ装置 |
| KR20160098056A (ko) | 2015-02-10 | 2016-08-18 | 독쿄키키 가부시키가이샤 | 유체 서보 밸브 및 유체 서보 장치 |
| US11335491B2 (en) | 2015-02-10 | 2022-05-17 | Tokkyokiki Corporation | Fluid servo valve and fluid servo apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3972318B2 (ja) | 2007-09-05 |
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| A977 | Report on retrieval |
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