JPH11290805A - メタルマスク洗浄装置 - Google Patents
メタルマスク洗浄装置Info
- Publication number
- JPH11290805A JPH11290805A JP10143580A JP14358098A JPH11290805A JP H11290805 A JPH11290805 A JP H11290805A JP 10143580 A JP10143580 A JP 10143580A JP 14358098 A JP14358098 A JP 14358098A JP H11290805 A JPH11290805 A JP H11290805A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- cleaning liquid
- container
- filter
- coil spring
- Prior art date
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- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 １回の洗浄液の投入からその洗浄液を全部交
換する必要が出てくるまでの間に、洗浄回数を従来より
も多く取れ、洗浄装置の洗浄タンクひいては洗浄装置の
外寸をコンパクトにできるメタルマスク洗浄装置を提供
する。 【解決手段】 メタルマスク全体を浸し得る洗浄タンク
３、洗浄液を入れる容器１、前記容器１から前記洗浄タ
ンク３へ洗浄液を送出し得るとともに、前記洗浄タンク
３に溜められた該洗浄液が前記容器１へ戻り得るように
構成された洗浄液循環系を有する超音波洗浄装置におい
て、前記容器１内の洗浄液戻り口は、フィルタを着脱可
能に設け得るような構造とし、前記フィルタは、コイル
ばね５にフィルタ材料からなる袋６を被せた構造であ
り、かつ、前記コイルばね５の伸縮を利用して、前記洗
浄液戻り口に取り付け及び取り外しし得るような構造と
する。
換する必要が出てくるまでの間に、洗浄回数を従来より
も多く取れ、洗浄装置の洗浄タンクひいては洗浄装置の
外寸をコンパクトにできるメタルマスク洗浄装置を提供
する。 【解決手段】 メタルマスク全体を浸し得る洗浄タンク
３、洗浄液を入れる容器１、前記容器１から前記洗浄タ
ンク３へ洗浄液を送出し得るとともに、前記洗浄タンク
３に溜められた該洗浄液が前記容器１へ戻り得るように
構成された洗浄液循環系を有する超音波洗浄装置におい
て、前記容器１内の洗浄液戻り口は、フィルタを着脱可
能に設け得るような構造とし、前記フィルタは、コイル
ばね５にフィルタ材料からなる袋６を被せた構造であ
り、かつ、前記コイルばね５の伸縮を利用して、前記洗
浄液戻り口に取り付け及び取り外しし得るような構造と
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波振動を利用
するメタルマスク洗浄装置に関する。
するメタルマスク洗浄装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、メタルマスク（メタルマスク版）
の洗浄は、洗浄液で満たされている洗浄タンクに１枚の
メタルマスクを入れて洗浄液に浸し、超音波洗浄するこ
とによって行なっていた。当然、メタルマスクを洗浄し
ていくうちに、洗浄液が汚れてくるので、ユーザは、洗
浄液の汚れを見計らって交換する。また、必要に応じて
洗浄液を補充する。洗浄タンクが大きいほど、１回の洗
浄液の交換から次の交換までに、洗浄回数を多く取れる
ので、洗浄タンクは、大きいほど好ましいと言える。し
かし、洗浄タンクを大きくすると、超音波の出力を大き
くしなければならず、コストが掛かる。また、洗浄装置
も大きくなり、設置スペースや輸送に困難さ生じてくる
という問題が出てくる。
の洗浄は、洗浄液で満たされている洗浄タンクに１枚の
メタルマスクを入れて洗浄液に浸し、超音波洗浄するこ
とによって行なっていた。当然、メタルマスクを洗浄し
ていくうちに、洗浄液が汚れてくるので、ユーザは、洗
浄液の汚れを見計らって交換する。また、必要に応じて
洗浄液を補充する。洗浄タンクが大きいほど、１回の洗
浄液の交換から次の交換までに、洗浄回数を多く取れる
ので、洗浄タンクは、大きいほど好ましいと言える。し
かし、洗浄タンクを大きくすると、超音波の出力を大き
くしなければならず、コストが掛かる。また、洗浄装置
も大きくなり、設置スペースや輸送に困難さ生じてくる
という問題が出てくる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、１回
の洗浄液の投入からその洗浄液を全部交換する必要が出
てくるまでの間に、洗浄回数を従来よりも多く取れ、洗
浄装置の洗浄タンクひいては洗浄装置の外寸をコンパク
トにできるメタルマスク洗浄装置を提供することにあ
る。
の洗浄液の投入からその洗浄液を全部交換する必要が出
てくるまでの間に、洗浄回数を従来よりも多く取れ、洗
浄装置の洗浄タンクひいては洗浄装置の外寸をコンパク
トにできるメタルマスク洗浄装置を提供することにあ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明に係わるメタルマ
スク洗浄装置は、メタルマスク全体を浸し得る洗浄タン
ク、洗浄液を入れる容器、前記容器から前記洗浄タンク
へ洗浄液を送出し得るとともに、前記洗浄タンクに溜め
られた該洗浄液が前記容器へ戻り得るように構成された
洗浄液循環系を有する超音波洗浄装置において、上記し
た課題を解決したもので、次のようなものである。前記
容器内の洗浄液戻り口は、フィルタを着脱可能に設け得
るような構造とする。つまり、前記洗浄タンク内に溜ま
っていた洗浄液は、該フィルタを介して容器へ戻って来
るわけである。前記フィルタは、コイルばねにフィルタ
材料からなる袋を被せた構造であり、かつ、前記コイル
ばねの伸縮を利用して、前記洗浄液戻り口に取り付け及
び取り外しし得るような構造としている。すなわち、残
渣は、袋及びコイルばねの口から入り、コイルばねの
中、袋の中に残される。
スク洗浄装置は、メタルマスク全体を浸し得る洗浄タン
ク、洗浄液を入れる容器、前記容器から前記洗浄タンク
へ洗浄液を送出し得るとともに、前記洗浄タンクに溜め
られた該洗浄液が前記容器へ戻り得るように構成された
洗浄液循環系を有する超音波洗浄装置において、上記し
た課題を解決したもので、次のようなものである。前記
容器内の洗浄液戻り口は、フィルタを着脱可能に設け得
るような構造とする。つまり、前記洗浄タンク内に溜ま
っていた洗浄液は、該フィルタを介して容器へ戻って来
るわけである。前記フィルタは、コイルばねにフィルタ
材料からなる袋を被せた構造であり、かつ、前記コイル
ばねの伸縮を利用して、前記洗浄液戻り口に取り付け及
び取り外しし得るような構造としている。すなわち、残
渣は、袋及びコイルばねの口から入り、コイルばねの
中、袋の中に残される。
【０００５】
【発明の実施の形態】洗浄液循環系は、従来の技術で構
成する。所定サイズの容器及び洗浄タンクの適当なとこ
ろにバルブを設けておき、ポンプで容器内の洗浄液を吸
い上げて洗浄タンクへ排出する。洗浄タンク内に洗浄液
が所定量溜まったことは、例えばフロートなどで検出で
きる。メタルマスクの洗浄が終わると、バルブが開けら
れ、洗浄液は、落下して容器に戻り、（電磁）バルブは
閉じられる。当然、以上の動作は、洗浄装置の制御装置
によって制御されるものである。
成する。所定サイズの容器及び洗浄タンクの適当なとこ
ろにバルブを設けておき、ポンプで容器内の洗浄液を吸
い上げて洗浄タンクへ排出する。洗浄タンク内に洗浄液
が所定量溜まったことは、例えばフロートなどで検出で
きる。メタルマスクの洗浄が終わると、バルブが開けら
れ、洗浄液は、落下して容器に戻り、（電磁）バルブは
閉じられる。当然、以上の動作は、洗浄装置の制御装置
によって制御されるものである。
【０００６】フィルタ材料である袋状の部材を用意し、
（圧縮）コイルばねをその中に入れ、該コイルばねの両
端の開口（口径）の内側へ前記袋状の部材を折り曲げ
て、入れ込む。そして袋の開口側を折り曲げた方を洗浄
液の戻り口に当てて、コイルばね、すなわちフィルタを
容器内にはめ込む。コイルばねが延びようとする力で、
フイルタが容器の洗浄液戻り口に保持・固定される。す
なわち、洗浄液はフィルタで濾されてから、容器へ戻る
ように、コイルばね付きフィルタが設置される。
（圧縮）コイルばねをその中に入れ、該コイルばねの両
端の開口（口径）の内側へ前記袋状の部材を折り曲げ
て、入れ込む。そして袋の開口側を折り曲げた方を洗浄
液の戻り口に当てて、コイルばね、すなわちフィルタを
容器内にはめ込む。コイルばねが延びようとする力で、
フイルタが容器の洗浄液戻り口に保持・固定される。す
なわち、洗浄液はフィルタで濾されてから、容器へ戻る
ように、コイルばね付きフィルタが設置される。
【０００７】
【実施例】図面を参照して本発明の実施例を説明する。
図１は、本発明の一実施例を示す模式図である。図示し
ないが、洗浄タンク３内には、当然、メタルマスクを入
れておく。容器１には、洗浄液を入れる。洗浄液の量
は、メタルマスクを洗浄タンク３内で浸し得る量とす
る。容器１に入れた洗浄液は、ポンプ２で洗浄タンク３
へ送り込む。洗浄タンク３内に所定量の洗浄液が溜まる
と、例えばフロート（図示せず）などで、そのことを検
出して、ポンプ２が停止する。
図１は、本発明の一実施例を示す模式図である。図示し
ないが、洗浄タンク３内には、当然、メタルマスクを入
れておく。容器１には、洗浄液を入れる。洗浄液の量
は、メタルマスクを洗浄タンク３内で浸し得る量とす
る。容器１に入れた洗浄液は、ポンプ２で洗浄タンク３
へ送り込む。洗浄タンク３内に所定量の洗浄液が溜まる
と、例えばフロート（図示せず）などで、そのことを検
出して、ポンプ２が停止する。
【０００８】メタルマスクは、洗浄タンク３内で洗浄液
に満たされて、所定時間、超音波洗浄される。メタルマ
スクの洗浄が終わると、洗浄タンク３の電磁バルブ（図
示せず）が開いて、洗浄液は、容器１へ戻る。メタルマ
スクは、洗浄タンク３から引き出せばよい。
に満たされて、所定時間、超音波洗浄される。メタルマ
スクの洗浄が終わると、洗浄タンク３の電磁バルブ（図
示せず）が開いて、洗浄液は、容器１へ戻る。メタルマ
スクは、洗浄タンク３から引き出せばよい。
【０００９】容器１へ戻る洗浄液は、容器１内部の洗浄
液戻り口に設けられたフィルタ（図示せず）で濾され
る。図２は、フィルタの一実施例を示す模式図である。
フィルタは、コイルばね５の伸縮を利用して着脱可能な
構造である。すなわち、これを取り付けるときは、コイ
ルばね５を縮めてセットし、コイルばね５の伸張力で保
持される。これをはずすときは、コイルばね５を一方の
取り付け口へ押し付けるようにして縮めてはずす。要す
るに、ばねの伸縮を利用してワンタッチで取り付け及び
取り外しができる。
液戻り口に設けられたフィルタ（図示せず）で濾され
る。図２は、フィルタの一実施例を示す模式図である。
フィルタは、コイルばね５の伸縮を利用して着脱可能な
構造である。すなわち、これを取り付けるときは、コイ
ルばね５を縮めてセットし、コイルばね５の伸張力で保
持される。これをはずすときは、コイルばね５を一方の
取り付け口へ押し付けるようにして縮めてはずす。要す
るに、ばねの伸縮を利用してワンタッチで取り付け及び
取り外しができる。
【００１０】フィルタ材料の選択は、当業者の設計上の
選択事項である。例えば、所定の目の粗さの布を使うこ
とができる。袋状のフィルタ材料の中にコイルばね５を
入れ（実際には、コイルばね５は見えないが、見えたと
して図示している）、コイルばね５の一方の口径からそ
の内部へ該袋６の底のほう（袋底部６ｂ）を折り曲げて
入れ、コイルばね５のもう一方の口径のその内部へ該袋
６の口のほう（袋開口部６ａ）を折り曲げて入れる。洗
浄液は、袋６の口ほうから入り、袋６の各所を通り抜け
て濾過される。袋６のコイルばね５の両口径の内部へ折
り曲げて入れた部分は、一点鎖線で示している。
選択事項である。例えば、所定の目の粗さの布を使うこ
とができる。袋状のフィルタ材料の中にコイルばね５を
入れ（実際には、コイルばね５は見えないが、見えたと
して図示している）、コイルばね５の一方の口径からそ
の内部へ該袋６の底のほう（袋底部６ｂ）を折り曲げて
入れ、コイルばね５のもう一方の口径のその内部へ該袋
６の口のほう（袋開口部６ａ）を折り曲げて入れる。洗
浄液は、袋６の口ほうから入り、袋６の各所を通り抜け
て濾過される。袋６のコイルばね５の両口径の内部へ折
り曲げて入れた部分は、一点鎖線で示している。
【００１１】このように、洗浄液が洗浄タンク３から容
器１へ戻るときに洗浄液を濾過するとともに、洗浄液を
濾過するフィルタをコイルばね５と袋６状のフィルタ材
料を使用して着脱可能に構成したことが本発明の特徴で
ある。なお、フィルタを保持固定するための部材である
洗浄液戻り口７とフィルタ取り付け部８の構造は、当業
者の設計上の選択事項である。
器１へ戻るときに洗浄液を濾過するとともに、洗浄液を
濾過するフィルタをコイルばね５と袋６状のフィルタ材
料を使用して着脱可能に構成したことが本発明の特徴で
ある。なお、フィルタを保持固定するための部材である
洗浄液戻り口７とフィルタ取り付け部８の構造は、当業
者の設計上の選択事項である。
【００１２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載される効果を奏する。洗浄液循
環系を持ち、洗浄液を濾してから容器１へ戻す。従っ
て、１回の洗浄液の投入からその洗浄液が汚れたので、
全部交換する必要が出てくるまでの間に、洗浄回数を従
来よりも多く取れ、洗浄装置の洗浄タンク３ひいては洗
浄装置の外寸をコンパクトにできるメタルマスク洗浄装
置を提供することが可能である。
ているので、以下に記載される効果を奏する。洗浄液循
環系を持ち、洗浄液を濾してから容器１へ戻す。従っ
て、１回の洗浄液の投入からその洗浄液が汚れたので、
全部交換する必要が出てくるまでの間に、洗浄回数を従
来よりも多く取れ、洗浄装置の洗浄タンク３ひいては洗
浄装置の外寸をコンパクトにできるメタルマスク洗浄装
置を提供することが可能である。
【図１】本発明の一実施例を示す模式図
【図２】フィルタの一実施例を示す模式図
１ 容器 ２ ポンプ ３ 洗浄タンク ４ ふた ５ コイルばね ６ 袋 ６ａ 袋開口部 ６ｂ 袋底部（内側） ７ 洗浄液戻り口（フィルタ取り付け部の一方の部材） ８ （袋底部側の）フィルタ取り付け部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｂ０１Ｄ 29/12 Ａ
Claims (1)
- 【請求項１】 メタルマスク全体を浸し得る洗浄タン
ク、洗浄液を入れる容器、前記容器から前記洗浄タンク
へ洗浄液を送出し得るとともに、前記洗浄タンクに溜め
られた該洗浄液が前記容器へ戻り得るように構成された
洗浄液循環系を有する超音波洗浄装置において、 前記容器内の洗浄液戻り口は、フィルタを着脱可能に設
け得るような構造とし、 前記フィルタは、コイルばねにフィルタ材料からなる袋
を被せた構造であり、かつ、前記コイルばねの伸縮を利
用して、前記洗浄液戻り口に取り付け及び取り外しし得
るような構造としたことを特徴とするメタルマスク洗浄
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10143580A JPH11290805A (ja) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | メタルマスク洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10143580A JPH11290805A (ja) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | メタルマスク洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11290805A true JPH11290805A (ja) | 1999-10-26 |
Family
ID=15342051
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10143580A Pending JPH11290805A (ja) | 1998-04-15 | 1998-04-15 | メタルマスク洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11290805A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005010947A3 (en) * | 2003-07-24 | 2005-08-18 | Chemtrace Prec Cleaning Inc | Cleaning masks |
| US7045072B2 (en) | 2003-07-24 | 2006-05-16 | Tan Samantha S H | Cleaning process and apparatus for silicate materials |
| US7091132B2 (en) | 2003-07-24 | 2006-08-15 | Applied Materials, Inc. | Ultrasonic assisted etch using corrosive liquids |
| US7754609B1 (en) | 2003-10-28 | 2010-07-13 | Applied Materials, Inc. | Cleaning processes for silicon carbide materials |
| US7789969B2 (en) | 2006-11-01 | 2010-09-07 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for cleaning chamber components |
| CN102284448A (zh) * | 2011-08-17 | 2011-12-21 | 玉溪玉杯金属制品有限公司 | 镀锌钢丝用超声波清洗循环系统 |
| CN102836841A (zh) * | 2011-06-23 | 2012-12-26 | 苏州五方光电科技有限公司 | 循环清洗机 |
| CN103506346A (zh) * | 2013-09-26 | 2014-01-15 | 长兴埃克森科技有限公司 | 一种链板式超声波清洗机 |
| CN103657201A (zh) * | 2012-09-20 | 2014-03-26 | 天津润道油液监测有限责任公司 | 一种机器润滑油过滤器滤芯清洗机 |
| CN104550104A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-29 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种金属掩模版清洗装置 |
| CN108772366A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-11-09 | 苏州林信源自动化科技有限公司 | 一种便于更换清洗液的超声波清洗槽 |
| CN108787615A (zh) * | 2018-04-18 | 2018-11-13 | 谢娟 | 一种用于医疗器械的清洗装置 |
| CN111495847A (zh) * | 2020-05-08 | 2020-08-07 | 宁波引智信息科技有限公司 | 一种具有环保性高的模具及清洗方法 |
-
1998
- 1998-04-15 JP JP10143580A patent/JPH11290805A/ja active Pending
Cited By (15)
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|---|---|---|---|---|
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| CN102836841A (zh) * | 2011-06-23 | 2012-12-26 | 苏州五方光电科技有限公司 | 循环清洗机 |
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| CN104550104A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-29 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种金属掩模版清洗装置 |
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| CN111495847A (zh) * | 2020-05-08 | 2020-08-07 | 宁波引智信息科技有限公司 | 一种具有环保性高的模具及清洗方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050729 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050809 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050916 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060314 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060711 |