JPH11288796A - プラズマ発生用電源装置 - Google Patents
プラズマ発生用電源装置Info
- Publication number
- JPH11288796A JPH11288796A JP10087288A JP8728898A JPH11288796A JP H11288796 A JPH11288796 A JP H11288796A JP 10087288 A JP10087288 A JP 10087288A JP 8728898 A JP8728898 A JP 8728898A JP H11288796 A JPH11288796 A JP H11288796A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inductor
- power supply
- discharge
- inductance
- series
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
- Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 力率が高く、小型で安価な電源システムを提
供する。 【解決手段】 放電負荷５に力率補償用の並列インダク
タ６と力率補償用の直列インダクタ７を接続する。特
に、放電負荷５の合成容量と共振するように並列インダ
クタ６、直列インダクタ７のインダクタンスを設定する
ことにより、力率改善度合いを高く設計することができ
る。
供する。 【解決手段】 放電負荷５に力率補償用の並列インダク
タ６と力率補償用の直列インダクタ７を接続する。特
に、放電負荷５の合成容量と共振するように並列インダ
クタ６、直列インダクタ７のインダクタンスを設定する
ことにより、力率改善度合いを高く設計することができ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、オゾン発生器、
レーザ発振器などのプラズマ発生用電源装置に関するも
のである。
レーザ発振器などのプラズマ発生用電源装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、オゾン発生器、レーザ発振器
などには、プラズマ発生用電源装置が用いられている。
図１６は、オゾナイザハンドブック（２２７頁、図２．
６３、コロナ社、昭和３５年６月１５日発行）に記載さ
れた従来のオゾン発生器用のプラズマ発生用電源装置の
電源回路図である。この図１６において、１は交流の入
力電源、２は整流器、３はインバータ、４はトランス
（変圧器）、５は電極を有する放電負荷、６は放電負荷
５に対して並列に接続された力率改善用の並列インダク
タである。
などには、プラズマ発生用電源装置が用いられている。
図１６は、オゾナイザハンドブック（２２７頁、図２．
６３、コロナ社、昭和３５年６月１５日発行）に記載さ
れた従来のオゾン発生器用のプラズマ発生用電源装置の
電源回路図である。この図１６において、１は交流の入
力電源、２は整流器、３はインバータ、４はトランス
（変圧器）、５は電極を有する放電負荷、６は放電負荷
５に対して並列に接続された力率改善用の並列インダク
タである。
【０００３】次に動作について説明する。入力電源１の
商用の交流電圧は整流器２によって直流に変換され、さ
らにインバータ３によって規定の周波数の交流電圧に変
換される。さらにトランス４により放電開始に至る電圧
に昇圧され、放電負荷５に高電圧が印加される。この印
加された高電圧により放電負荷５で放電が発生し、この
放電によりガス粒子が励起される。ここで、放電電極間
に誘電体を挿入した放電負荷を用いた場合、この放電負
荷５は電気的にはコンデンサとして働き、電圧に対して
電流の位相が進むことが知られている。このため皮相電
力と有効電力との比である力率が低くなり、放電負荷５
にエネルギーを投入するためには、必要以上の電流を流
す必要がある。
商用の交流電圧は整流器２によって直流に変換され、さ
らにインバータ３によって規定の周波数の交流電圧に変
換される。さらにトランス４により放電開始に至る電圧
に昇圧され、放電負荷５に高電圧が印加される。この印
加された高電圧により放電負荷５で放電が発生し、この
放電によりガス粒子が励起される。ここで、放電電極間
に誘電体を挿入した放電負荷を用いた場合、この放電負
荷５は電気的にはコンデンサとして働き、電圧に対して
電流の位相が進むことが知られている。このため皮相電
力と有効電力との比である力率が低くなり、放電負荷５
にエネルギーを投入するためには、必要以上の電流を流
す必要がある。
【０００４】従って、トランス４や入力電源１を構成す
る素子は大きな電流に耐えるオーバースペックのものを
使用しなければならず、電源装置の大型化、コストの増
大要因となる。並列インダクタ６は、放電負荷で電流が
進む分を補償するために放電負荷５と並列に接続された
ものである。並列インダクタ６は電圧に対し電流の位相
を遅らす役目を果たす。放電負荷５での電流の進み分と
並列インダクタ６による電流の遅れ分を等しく設定する
と電流と電圧の位相が合致し、最も小さい電流で放電負
荷５に効率的にエネルギーを注入することができる。こ
のとき力率は１００％となり、いわゆる共振状態とな
る。
る素子は大きな電流に耐えるオーバースペックのものを
使用しなければならず、電源装置の大型化、コストの増
大要因となる。並列インダクタ６は、放電負荷で電流が
進む分を補償するために放電負荷５と並列に接続された
ものである。並列インダクタ６は電圧に対し電流の位相
を遅らす役目を果たす。放電負荷５での電流の進み分と
並列インダクタ６による電流の遅れ分を等しく設定する
と電流と電圧の位相が合致し、最も小さい電流で放電負
荷５に効率的にエネルギーを注入することができる。こ
のとき力率は１００％となり、いわゆる共振状態とな
る。
【０００５】従来のプラズマ発生用電源装置では、この
ように放電負荷５と並列に並列インダクタ６を接続する
ことにより、力率を改善し、小容量で安価な電源素子を
用い、小型で安価な電源装置を構成している。図１６で
は、トランス４の２次側に並列インダクタ６を接続した
場合について示したが、図１７に示すようにトランス４
の１次側に並列に並列インダクタ６２を接続しても同様
の効果がある。但し、この場合、耐圧の低い素子を使え
る反面、トランス４の力率は改善されないという欠点も
ある。図１６に示すように２次側にインダクタを接続し
た場合には、トランス４を含むすべての力率が改善され
るため、有効である。
ように放電負荷５と並列に並列インダクタ６を接続する
ことにより、力率を改善し、小容量で安価な電源素子を
用い、小型で安価な電源装置を構成している。図１６で
は、トランス４の２次側に並列インダクタ６を接続した
場合について示したが、図１７に示すようにトランス４
の１次側に並列に並列インダクタ６２を接続しても同様
の効果がある。但し、この場合、耐圧の低い素子を使え
る反面、トランス４の力率は改善されないという欠点も
ある。図１６に示すように２次側にインダクタを接続し
た場合には、トランス４を含むすべての力率が改善され
るため、有効である。
【０００６】次に図１８はオゾン発生器など電極間に誘
電体を介装した放電負荷５の詳細な等価回路である。こ
の図１８において、５１は容量値Ｃ１を有する電極間の
誘電体静電容量、５２は容量値Ｃ２を有する放電空間の
ガス静電容量，５３はプラズマのオン・オフに伴う非線
形性を示すためのツェナーダイオードとしての特性を有
するプラズマ負荷である。
電体を介装した放電負荷５の詳細な等価回路である。こ
の図１８において、５１は容量値Ｃ１を有する電極間の
誘電体静電容量、５２は容量値Ｃ２を有する放電空間の
ガス静電容量，５３はプラズマのオン・オフに伴う非線
形性を示すためのツェナーダイオードとしての特性を有
するプラズマ負荷である。
【０００７】このプラズマ負荷５３の抵抗値は、放電電
圧Ｖ＊未満では無限大となって非放電状態であることを
示し、放電電圧Ｖ＊以上では、このプラズマ負荷５３は
導通状態となって放電状態であることを示す。このため
放電開始前には、放電負荷５は誘電体静電容量５１の値
Ｃ１とガス静電容量５２の値Ｃ２が直列に結合して式
（６）によって表される値を有する容量性負荷となり、
放電後は容量値Ｃ１単独の容量性負荷となる。 Ｃ=(C1×C2/(C1+C2)) ・・・（６） 但し、Ｃ：合成容量の値
圧Ｖ＊未満では無限大となって非放電状態であることを
示し、放電電圧Ｖ＊以上では、このプラズマ負荷５３は
導通状態となって放電状態であることを示す。このため
放電開始前には、放電負荷５は誘電体静電容量５１の値
Ｃ１とガス静電容量５２の値Ｃ２が直列に結合して式
（６）によって表される値を有する容量性負荷となり、
放電後は容量値Ｃ１単独の容量性負荷となる。 Ｃ=(C1×C2/(C1+C2)) ・・・（６） 但し、Ｃ：合成容量の値
【０００８】従来のオゾン発生器では、ガス静電容量５
２の容量値Ｃ２に比べて誘電体静電容量５１の容量値Ｃ
１が十分大きくなるように設計されているため、放電発
生の有無によらず負荷容量は、常にほぼ値Ｃ１となり、
共振条件を満たすインダクタンスの値は放電の有無に依
存しなかった。
２の容量値Ｃ２に比べて誘電体静電容量５１の容量値Ｃ
１が十分大きくなるように設計されているため、放電発
生の有無によらず負荷容量は、常にほぼ値Ｃ１となり、
共振条件を満たすインダクタンスの値は放電の有無に依
存しなかった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】従来のプラズマ発生用
電源装置は以上のように放電負荷５に対して１種類のイ
ンダクタで放電負荷５の静電容量を補償するように構成
されているので、たとえば放電ギャップ長を小さく設定
した場合のように誘電体静電容量５１の値Ｃ１に比較し
てガス静電容量５２の値Ｃ２が無視できない程度に大き
くなった場合には、放電発生の有無により放電負荷５の
静電容量が大きく変化し、力率補償ができなくなり、必
要以上の容量をもった電気素子を用いる必要が生じる。
しかし、このような大きな容量を有する電気素子を用い
ると電源装置が大きくなり、高価になってしまう。従来
のプラズマ発生用電源装置には、このように解決しなけ
ればならない課題があった。
電源装置は以上のように放電負荷５に対して１種類のイ
ンダクタで放電負荷５の静電容量を補償するように構成
されているので、たとえば放電ギャップ長を小さく設定
した場合のように誘電体静電容量５１の値Ｃ１に比較し
てガス静電容量５２の値Ｃ２が無視できない程度に大き
くなった場合には、放電発生の有無により放電負荷５の
静電容量が大きく変化し、力率補償ができなくなり、必
要以上の容量をもった電気素子を用いる必要が生じる。
しかし、このような大きな容量を有する電気素子を用い
ると電源装置が大きくなり、高価になってしまう。従来
のプラズマ発生用電源装置には、このように解決しなけ
ればならない課題があった。
【００１０】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたもので、放電空間のガスの静電容量が誘電
体の静電容量に比べて無視できないような放電負荷に対
しても、力率が高く、小型で安価なプラズマ発生用電源
装置を得ることを目的とする。
めになされたもので、放電空間のガスの静電容量が誘電
体の静電容量に比べて無視できないような放電負荷に対
しても、力率が高く、小型で安価なプラズマ発生用電源
装置を得ることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明に係るプラズマ
発生用電源装置は、２つの電極間で等価的に誘電体静電
容量とガス静電容量とを有し、放電してガスを励起し、
プラズマを発生させる放電負荷に対し、並列に接続され
た並列インダクタと、直列に接続された直列インダクタ
とを備えたものである。
発生用電源装置は、２つの電極間で等価的に誘電体静電
容量とガス静電容量とを有し、放電してガスを励起し、
プラズマを発生させる放電負荷に対し、並列に接続され
た並列インダクタと、直列に接続された直列インダクタ
とを備えたものである。
【００１２】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、並列インダクタ及び直列インダクタをトランスの２
次側に接続したものである。
は、並列インダクタ及び直列インダクタをトランスの２
次側に接続したものである。
【００１３】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、並列インダクタ及び直列インダクタをトランスの１
次側に接続したものである。
は、並列インダクタ及び直列インダクタをトランスの１
次側に接続したものである。
【００１４】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、直列インダクタ及び並列インダクタが、式（１）を
満足するインダクタンスを有しているものである。 Lp=Ls=(C1+C2)/(C1×C2×(2πf)2) ・・・（１） 但し、Lp：並列インダクタのインダクタンス Ls：直列インダクタのインダクタンス C1：誘電体静電容量の値 C2：ガス静電容量の値 ｆ：交流電力の周波数
は、直列インダクタ及び並列インダクタが、式（１）を
満足するインダクタンスを有しているものである。 Lp=Ls=(C1+C2)/(C1×C2×(2πf)2) ・・・（１） 但し、Lp：並列インダクタのインダクタンス Ls：直列インダクタのインダクタンス C1：誘電体静電容量の値 C2：ガス静電容量の値 ｆ：交流電力の周波数
【００１５】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、トランスの漏れインダクタンスを利用して直列イン
ダクタを構成したものである。
は、トランスの漏れインダクタンスを利用して直列イン
ダクタを構成したものである。
【００１６】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、直列インダクタが式（２）を満足するインダクタン
スを有し、並列インダクタは、当該インダクタンスが非
放電時には式（３）の値を満足し、放電時には、式
（３）の値未満に変化するように構成されたものであ
る。 Ls=1/(C1(2πf)2) ・・・（２） Lp=1/(C2(2πf)2) ・・・（３） 但し、Ls：直列インダクタのインダクタンス Lp：並列インダクタのインダクタンス C1：誘電体静電容量の値 C2：ガス静電容量の値 ｆ：交流電力の周波数
は、直列インダクタが式（２）を満足するインダクタン
スを有し、並列インダクタは、当該インダクタンスが非
放電時には式（３）の値を満足し、放電時には、式
（３）の値未満に変化するように構成されたものであ
る。 Ls=1/(C1(2πf)2) ・・・（２） Lp=1/(C2(2πf)2) ・・・（３） 但し、Ls：直列インダクタのインダクタンス Lp：並列インダクタのインダクタンス C1：誘電体静電容量の値 C2：ガス静電容量の値 ｆ：交流電力の周波数
【００１７】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、並列インダクタと直列に接続され、非放電時に回路
を閉じ、放電時にこの並列インダクタの回路を開くスイ
ッチング手段を備えたものである。
は、並列インダクタと直列に接続され、非放電時に回路
を閉じ、放電時にこの並列インダクタの回路を開くスイ
ッチング手段を備えたものである。
【００１８】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、放電負荷の負荷電圧を検出する電圧検出手段を備
え、スイッチング手段は該電圧検出手段からの信号に基
づいて前記並列インダクタの回路を開閉するものであ
る。
は、放電負荷の負荷電圧を検出する電圧検出手段を備
え、スイッチング手段は該電圧検出手段からの信号に基
づいて前記並列インダクタの回路を開閉するものであ
る。
【００１９】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、放電負荷の負荷電流を検出する電流検出手段を備
え、スイッチング手段は該電流検出手段によって検出さ
れた電流の変化に基づいて前記並列インダクタの回路を
開閉するものである。
は、放電負荷の負荷電流を検出する電流検出手段を備
え、スイッチング手段は該電流検出手段によって検出さ
れた電流の変化に基づいて前記並列インダクタの回路を
開閉するものである。
【００２０】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、放電の発光を検出する光検出手段を備え、スイッチ
ング手段は該光検出手段によって検出された光の変化に
基づいて前記並列インダクタの回路を開閉するものであ
る。
は、放電の発光を検出する光検出手段を備え、スイッチ
ング手段は該光検出手段によって検出された光の変化に
基づいて前記並列インダクタの回路を開閉するものであ
る。
【００２１】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、並列インダクタが式（４）を満足するインダクタン
スを有し、直列インダクタのインダクタンスが非放電時
には式（５）の値を満足し、放電時には、式（５）の値
未満に変化するように直列インダクタが構成されたもの
である。 Lp=1/(C2(2πf)2) ・・・（４） Ls=1/(C1(2πf)2) ・・・（５） 但し、Ls：直列インダクタのインダクタンス Lp：並列インダクタのインダクタンス C1：誘電体静電容量の値 C2：ガス静電容量の値 ｆ：交流電力の周波数
は、並列インダクタが式（４）を満足するインダクタン
スを有し、直列インダクタのインダクタンスが非放電時
には式（５）の値を満足し、放電時には、式（５）の値
未満に変化するように直列インダクタが構成されたもの
である。 Lp=1/(C2(2πf)2) ・・・（４） Ls=1/(C1(2πf)2) ・・・（５） 但し、Ls：直列インダクタのインダクタンス Lp：並列インダクタのインダクタンス C1：誘電体静電容量の値 C2：ガス静電容量の値 ｆ：交流電力の周波数
【００２２】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、直列インダクタに過飽和リアクトルを使用したもの
である。
は、直列インダクタに過飽和リアクトルを使用したもの
である。
【００２３】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、過飽和リアクトルの飽和条件を放電開始条件に合わ
せたものである。
は、過飽和リアクトルの飽和条件を放電開始条件に合わ
せたものである。
【００２４】この発明に係るプラズマ発生用電源装置
は、過飽和リアクトルのコアにフェライトもしくは鉄を
用い、当該過飽和リアクトルの両端電圧と電圧印加時間
との積が放電開始条件に合わせて、設定された所定しき
い値を超えたときに磁束が飽和するように過飽和リアク
トルが構成されているものである。
は、過飽和リアクトルのコアにフェライトもしくは鉄を
用い、当該過飽和リアクトルの両端電圧と電圧印加時間
との積が放電開始条件に合わせて、設定された所定しき
い値を超えたときに磁束が飽和するように過飽和リアク
トルが構成されているものである。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１によるプ
ラズマ発生用電源装置を示す回路図である。図１におい
て、１は交流の入力電源、２は整流器、３はインバー
タ、４はトランス（変圧器）、５は電極を有する放電負
荷、６は放電負荷５、トランス４の２次側巻線に対して
並列に接続され、インダクタンスＬｐを有する力率改善
用の並列インダクタ、７は放電負荷５、トランス４の２
次側巻線に対して直列に接続され、インダクタンスＬｓ
を有する力率補償用の直列インダクタである。
説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１によるプ
ラズマ発生用電源装置を示す回路図である。図１におい
て、１は交流の入力電源、２は整流器、３はインバー
タ、４はトランス（変圧器）、５は電極を有する放電負
荷、６は放電負荷５、トランス４の２次側巻線に対して
並列に接続され、インダクタンスＬｐを有する力率改善
用の並列インダクタ、７は放電負荷５、トランス４の２
次側巻線に対して直列に接続され、インダクタンスＬｓ
を有する力率補償用の直列インダクタである。
【００２６】このプラズマ発生用電源装置は、例えばオ
ゾン発生器用電源に適用される。但し、これに限られる
ものではなく、誘電体を介した放電を用いる装置であれ
ば、例えばレーザ、プラズマディスプレーパネル、ラン
プなど、放電を用いた粒子励起装置にも同じように用い
ることができる。以下の実施の形態についても同様であ
る。
ゾン発生器用電源に適用される。但し、これに限られる
ものではなく、誘電体を介した放電を用いる装置であれ
ば、例えばレーザ、プラズマディスプレーパネル、ラン
プなど、放電を用いた粒子励起装置にも同じように用い
ることができる。以下の実施の形態についても同様であ
る。
【００２７】また、５１は容量値Ｃ１を有する電極間の
誘電体静電容量、５２は容量値Ｃ２を有する放電空間の
ガス静電容量、５３はプラズマのオン・オフに伴う非線
形性のツェナーダイオードとしての特性を有するプラズ
マ負荷である。実施の形態１は、直列インダクタ７を備
えている点で図１６に示す従来の構成と異なっている。
誘電体静電容量、５２は容量値Ｃ２を有する放電空間の
ガス静電容量、５３はプラズマのオン・オフに伴う非線
形性のツェナーダイオードとしての特性を有するプラズ
マ負荷である。実施の形態１は、直列インダクタ７を備
えている点で図１６に示す従来の構成と異なっている。
【００２８】次に動作について説明する。入力電源１の
商用の交流電圧は整流器２によって直流に変換され、さ
らにインバータ３によって規定の周波数の交流電圧に変
換される。さらにトランス４により放電開始に至る電圧
に昇圧され、放電負荷５に高電圧が印加される。この印
加された高電圧により放電負荷５で放電が発生し、この
放電によりガス粒子が励起される。
商用の交流電圧は整流器２によって直流に変換され、さ
らにインバータ３によって規定の周波数の交流電圧に変
換される。さらにトランス４により放電開始に至る電圧
に昇圧され、放電負荷５に高電圧が印加される。この印
加された高電圧により放電負荷５で放電が発生し、この
放電によりガス粒子が励起される。
【００２９】図１において、放電負荷５に対して並列イ
ンダクタ６だけでなく、直列インダクタ７を接続するこ
とにより、並列インダクタ６を単独に接続した場合に比
較して、皮相電力と有効電力との比である力率の改善度
合いが向上する。
ンダクタ６だけでなく、直列インダクタ７を接続するこ
とにより、並列インダクタ６を単独に接続した場合に比
較して、皮相電力と有効電力との比である力率の改善度
合いが向上する。
【００３０】特に並列インダクタ６、直列インダクタ７
のインダクタンスが式（７）をほぼ満足する値である場
合、放電負荷５の合成容量と共振し、９０％程度の力率
が得られることが判明した。 Lp=Ls=(C1+C2)/(C1×C2×(2πf)2) ・・・（７） 但し、Lp：並列インダクタ６のインダクタンス Ls：直列インダクタ７のインダクタンス ｆ：インバータ３の出力周波数（交流電力の周波数、以
下、同じ）
のインダクタンスが式（７）をほぼ満足する値である場
合、放電負荷５の合成容量と共振し、９０％程度の力率
が得られることが判明した。 Lp=Ls=(C1+C2)/(C1×C2×(2πf)2) ・・・（７） 但し、Lp：並列インダクタ６のインダクタンス Ls：直列インダクタ７のインダクタンス ｆ：インバータ３の出力周波数（交流電力の周波数、以
下、同じ）
【００３１】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、放電負荷５に対して並列に力率補償用の並列インダ
クタ６を、直列に力率補償用の直列インダクタ７を接続
したので、並列インダクタ６を単独に接続した場合より
も、放電負荷５の変化に対して安定的に力率を改善する
ことができる。特に、式（７）を満足する値を有し、放
電負荷５の合成容量と共振する２つのインダクタを用い
ることにより、力率改善度合いを高く設計することがで
きるという効果が得られる。
ば、放電負荷５に対して並列に力率補償用の並列インダ
クタ６を、直列に力率補償用の直列インダクタ７を接続
したので、並列インダクタ６を単独に接続した場合より
も、放電負荷５の変化に対して安定的に力率を改善する
ことができる。特に、式（７）を満足する値を有し、放
電負荷５の合成容量と共振する２つのインダクタを用い
ることにより、力率改善度合いを高く設計することがで
きるという効果が得られる。
【００３２】実施の形態２．図２はこの発明の実施の形
態２によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図２において、６１はトランス４の１次側巻線と並
列に接続され、インダクタンスＬｐ１を有する並列イン
ダクタ、７１はトランス４の１次側巻線と直列に接続さ
れ、インダクタンスＬｓ２を有する直列インダクタであ
る。尚、実施の形態１と同一要素については同一符号を
付して説明を省略する。
態２によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図２において、６１はトランス４の１次側巻線と並
列に接続され、インダクタンスＬｐ１を有する並列イン
ダクタ、７１はトランス４の１次側巻線と直列に接続さ
れ、インダクタンスＬｓ２を有する直列インダクタであ
る。尚、実施の形態１と同一要素については同一符号を
付して説明を省略する。
【００３３】次に動作について説明する。トランス４の
１次側巻線と直列に直列インダクタ７１を、並列に並列
インダクタ６１を接続しても、実施の形態１とほぼ同様
の効果が得られる。この場合、トランス４を介すること
になるので、インダクタンスの値を式（３）によって表
される値にすることによって放電負荷５の合成容量と共
振し、インダクタンスの値としては最適となる。 Lp1=Ls1=(C1+C2)/(C1×C2×(2πf)2)/m2 ・・・（８） 但し、ｍ：トランス４の巻数比（以下、同じ）
１次側巻線と直列に直列インダクタ７１を、並列に並列
インダクタ６１を接続しても、実施の形態１とほぼ同様
の効果が得られる。この場合、トランス４を介すること
になるので、インダクタンスの値を式（３）によって表
される値にすることによって放電負荷５の合成容量と共
振し、インダクタンスの値としては最適となる。 Lp1=Ls1=(C1+C2)/(C1×C2×(2πf)2)/m2 ・・・（８） 但し、ｍ：トランス４の巻数比（以下、同じ）
【００３４】以上のように、この実施の形態２によれ
ば、トランスの１次側に直列と並列の力率改善用インダ
クタを配置することにより、耐電圧の低い素子を用いる
ことができるという効果が得られる。
ば、トランスの１次側に直列と並列の力率改善用インダ
クタを配置することにより、耐電圧の低い素子を用いる
ことができるという効果が得られる。
【００３５】実施の形態３．図３はこの発明の実施の形
態３によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図３に示すように、実施の形態３では放電負荷５、
トランス４の２次側巻線に対して直列に直列インダクタ
７を、トランス４の１次側巻線と並列に並列インダクタ
６１を接続している。尚、実施の形態１と同一要素につ
いては同一符号を付して説明を省略する。
態３によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図３に示すように、実施の形態３では放電負荷５、
トランス４の２次側巻線に対して直列に直列インダクタ
７を、トランス４の１次側巻線と並列に並列インダクタ
６１を接続している。尚、実施の形態１と同一要素につ
いては同一符号を付して説明を省略する。
【００３６】次に動作について説明する。この図３に示
すように、トランス４の１次側巻線と並列に接続された
並列インダクタ６１のインダクタンスの値をトランス４
の巻数比で変換すれば、実施の形態１と同じＬＣ直並列
回路となる。また、共振回路にするためには、並列イン
ダクタ６１のインダクタンスの値を式（８）を満足する
値に設定する。
すように、トランス４の１次側巻線と並列に接続された
並列インダクタ６１のインダクタンスの値をトランス４
の巻数比で変換すれば、実施の形態１と同じＬＣ直並列
回路となる。また、共振回路にするためには、並列イン
ダクタ６１のインダクタンスの値を式（８）を満足する
値に設定する。
【００３７】以上のように、この実施の形態３によれ
ば、トランスの１次側と２次側に直並列に、それぞれ並
列インダクタ６１、直列インダクタ７を接続しても実施
の形態１とほぼ同様の効果が得られる。尚、図示しない
がトランス４の１次側巻線に直列インダクタ７１を、２
次側巻線に並列インダクタ６を接続しても同様の効果を
奏することはいうまでもない。
ば、トランスの１次側と２次側に直並列に、それぞれ並
列インダクタ６１、直列インダクタ７を接続しても実施
の形態１とほぼ同様の効果が得られる。尚、図示しない
がトランス４の１次側巻線に直列インダクタ７１を、２
次側巻線に並列インダクタ６を接続しても同様の効果を
奏することはいうまでもない。
【００３８】実施の形態４．図４はこの発明の実施の形
態４によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図４において、７２は放電負荷５、トランス４の２
次側巻線に対して等価的に直列接続されたトランス漏れ
インダクタンスである。尚、実施の形態１と同一要素に
ついては同一符号を付して説明を省略する。
態４によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図４において、７２は放電負荷５、トランス４の２
次側巻線に対して等価的に直列接続されたトランス漏れ
インダクタンスである。尚、実施の形態１と同一要素に
ついては同一符号を付して説明を省略する。
【００３９】次に動作について説明する。実施の形態１
では、トランス４の２次側巻線と直列に直列インダクタ
７を接続するようにしたが、この直列インダクタ７の代
わりにもちろんトランス漏れインダクタンス７２を用い
るようにしても同じように作用する。この場合、トラン
ス４の１次側で力率を改善するには、トランス漏れイン
ダクタンス７２のインダクタンスをＬｒとして、Ｌｓ１
＝Ｌｒとすれば良く、トランス４の２次側で力率を改善
するには、トランス４の巻数比ｍに対して、Ｌｓ＝ｍ2
Ｌｒとすれば良い。
では、トランス４の２次側巻線と直列に直列インダクタ
７を接続するようにしたが、この直列インダクタ７の代
わりにもちろんトランス漏れインダクタンス７２を用い
るようにしても同じように作用する。この場合、トラン
ス４の１次側で力率を改善するには、トランス漏れイン
ダクタンス７２のインダクタンスをＬｒとして、Ｌｓ１
＝Ｌｒとすれば良く、トランス４の２次側で力率を改善
するには、トランス４の巻数比ｍに対して、Ｌｓ＝ｍ2
Ｌｒとすれば良い。
【００４０】尚、トランス４の既存の漏れインダクタン
スを利用してもよいが、図５に示すようにトランス４の
コア４１に隙間δを設けて漏れインダクタンスＬｒを形
成してもよい。この図５において、４２はトランス４の
巻線である。
スを利用してもよいが、図５に示すようにトランス４の
コア４１に隙間δを設けて漏れインダクタンスＬｒを形
成してもよい。この図５において、４２はトランス４の
巻線である。
【００４１】以上のように、この実施の形態４によれ
ば、漏れインダクタンスＬｒを利用するようにしたの
で、この漏れインダクタンスが実施の形態１の直列イン
ダクタ７と同じ役割をすることになり、新たに直列にイ
ンダクタを接続する必要がないので、安価な装置を提供
することができ、しかも実施の形態１と同じような効果
を得ることができる。また、トランス４のコア４１に隙
間δを設けることにより、漏れインダクタンスＬｒを設
定することができる。
ば、漏れインダクタンスＬｒを利用するようにしたの
で、この漏れインダクタンスが実施の形態１の直列イン
ダクタ７と同じ役割をすることになり、新たに直列にイ
ンダクタを接続する必要がないので、安価な装置を提供
することができ、しかも実施の形態１と同じような効果
を得ることができる。また、トランス４のコア４１に隙
間δを設けることにより、漏れインダクタンスＬｒを設
定することができる。
【００４２】実施の形態５．図６はこの発明の実施の形
態５によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図６において、並列インダクタ６は、そのインダク
タンスＬｐが可変するように構成されている。
態５によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図６において、並列インダクタ６は、そのインダク
タンスＬｐが可変するように構成されている。
【００４３】次に動作について説明する。放電負荷５は
放電することにより、その容量が変化する。これに合わ
せて並列インダクタ６のインダクタンスＬｐも可変す
る。さらに完全に力率を補償するためには、直列インダ
クタ７のインダクタンスＬｓ、並列インダクタ６のイン
ダクタンスＬｐをそれぞれ式（９）、式（１０）を満足
する値に設定することにより、放電のオン、オフに同期
してインダクタンスＬｐの等価的な値を変化させれば有
効である。 Ls=1/(C1(2πf)2) ・・・（９） Lp=1/(C2(2πf)2) ・・・（１０） インダクタンスＬｐを非放電時に式（１０）を満足する
ような値に設定し、放電時には、Ｌｐ＝∞となるように
設定することが望ましい。
放電することにより、その容量が変化する。これに合わ
せて並列インダクタ６のインダクタンスＬｐも可変す
る。さらに完全に力率を補償するためには、直列インダ
クタ７のインダクタンスＬｓ、並列インダクタ６のイン
ダクタンスＬｐをそれぞれ式（９）、式（１０）を満足
する値に設定することにより、放電のオン、オフに同期
してインダクタンスＬｐの等価的な値を変化させれば有
効である。 Ls=1/(C1(2πf)2) ・・・（９） Lp=1/(C2(2πf)2) ・・・（１０） インダクタンスＬｐを非放電時に式（１０）を満足する
ような値に設定し、放電時には、Ｌｐ＝∞となるように
設定することが望ましい。
【００４４】以上のように、この実施の形態５によれ
ば、放電負荷５の放電に合わせて並列インダクタ６のイ
ンダクタンスＬｐを可変するようにしたので、放電負荷
５の放電に関わらず常に力率を改善することができ、放
電電力によらず高い力率を得ることができるといった効
果が得られる。
ば、放電負荷５の放電に合わせて並列インダクタ６のイ
ンダクタンスＬｐを可変するようにしたので、放電負荷
５の放電に関わらず常に力率を改善することができ、放
電電力によらず高い力率を得ることができるといった効
果が得られる。
【００４５】実施の形態６．図７はこの発明の実施の形
態６によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図７において、８は並列インダクタ６と直列に接続
されたスイッチング素子（スイッチング手段）である。
尚、実施の形態１と同一要素については同一符号を付し
て説明を省略する。
態６によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図７において、８は並列インダクタ６と直列に接続
されたスイッチング素子（スイッチング手段）である。
尚、実施の形態１と同一要素については同一符号を付し
て説明を省略する。
【００４６】次に動作について説明する。実施の形態６
は、実施の形態５をさらに具体的に実現したものであ
り、放電開始前はスイッチング素子８を導通状態に、放
電時には遮断状態に制御する。
は、実施の形態５をさらに具体的に実現したものであ
り、放電開始前はスイッチング素子８を導通状態に、放
電時には遮断状態に制御する。
【００４７】以上のように、この実施の形態６によれ
ば、並列インダクタ６にスイッチング素子８を直列に配
置し、放電発生の有無に従ってスイッチング素子８をオ
ン、オフ制御するようにしたので、放電負荷５の放電発
生の有無に係わらず常に高い力率を得ることができる。
ば、並列インダクタ６にスイッチング素子８を直列に配
置し、放電発生の有無に従ってスイッチング素子８をオ
ン、オフ制御するようにしたので、放電負荷５の放電発
生の有無に係わらず常に高い力率を得ることができる。
【００４８】実施の形態７．図８はこの発明の実施の形
態７によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図８において、９１は放電負荷５の電圧を計測する
電圧検出素子（電圧検出手段）である。尚、実施の形態
１と同一要素については同一符号を付して説明を省略す
る。
態７によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図８において、９１は放電負荷５の電圧を計測する
電圧検出素子（電圧検出手段）である。尚、実施の形態
１と同一要素については同一符号を付して説明を省略す
る。
【００４９】次に動作について説明する。放電負荷５の
電圧を計測することにより放電発生の有無を検出するこ
とができる。そして、電圧検出素子９１により検出され
た放電負荷５の電圧が所定の放電電圧より低ければスイ
ッチング素子８を導通状態に、この放電電圧よりも高け
ればスイッチング素子８を遮断状態に制御する。
電圧を計測することにより放電発生の有無を検出するこ
とができる。そして、電圧検出素子９１により検出され
た放電負荷５の電圧が所定の放電電圧より低ければスイ
ッチング素子８を導通状態に、この放電電圧よりも高け
ればスイッチング素子８を遮断状態に制御する。
【００５０】以上のように、この実施の形態７によれ
ば、電圧検出素子９１で放電負荷５の電圧を計測するこ
とにより放電発生の有無を正確に検出することができる
ので、スイッチング素子８に正確な制御信号を送ること
ができ、精度よく力率を改善することができるといった
効果が得られる。
ば、電圧検出素子９１で放電負荷５の電圧を計測するこ
とにより放電発生の有無を正確に検出することができる
ので、スイッチング素子８に正確な制御信号を送ること
ができ、精度よく力率を改善することができるといった
効果が得られる。
【００５１】実施の形態８．図９はこの発明の実施の形
態８によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図９において、９２は放電負荷５への電流を検出す
る電流検出素子（電流検出手段）である。尚、実施の形
態１と同一要素については同一符号を付して説明を省略
する。
態８によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図９において、９２は放電負荷５への電流を検出す
る電流検出素子（電流検出手段）である。尚、実施の形
態１と同一要素については同一符号を付して説明を省略
する。
【００５２】次に動作について説明する。放電負荷５の
電流の変化を計測することにより放電の発生の有無を検
出することができる。そして、実施の形態７と同様に、
電流検出素子９２により所定値以上の電流変化が検出さ
れたときは放電発生と判断し、スイッチング素子８を導
通状態に、また所定値未満のときはスイッチング素子８
を遮断状態に制御する。
電流の変化を計測することにより放電の発生の有無を検
出することができる。そして、実施の形態７と同様に、
電流検出素子９２により所定値以上の電流変化が検出さ
れたときは放電発生と判断し、スイッチング素子８を導
通状態に、また所定値未満のときはスイッチング素子８
を遮断状態に制御する。
【００５３】以上のように、この実施の形態８によれ
ば、電流検出素子９２で放電負荷５の電流の変化を検出
することにより放電発生の有無を正確に検出することが
できるので、スイッチング素子８に正確な制御信号を送
ることができ、精度よく力率を改善することができると
いった効果が得られる。
ば、電流検出素子９２で放電負荷５の電流の変化を検出
することにより放電発生の有無を正確に検出することが
できるので、スイッチング素子８に正確な制御信号を送
ることができ、精度よく力率を改善することができると
いった効果が得られる。
【００５４】実施の形態９．図１０はこの発明の実施の
形態９によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図１０において、９３は放電負荷５の放電による発
光を検出する光検出素子（光検出手段）である。尚、実
施の形態１と同一要素については同一符号を付して説明
を省略する。
形態９によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図であ
る。図１０において、９３は放電負荷５の放電による発
光を検出する光検出素子（光検出手段）である。尚、実
施の形態１と同一要素については同一符号を付して説明
を省略する。
【００５５】次に動作について説明する。放電による発
光を検出することにより放電発生の有無を確認できる。
そして、実施の形態７、実施の形態８と同様に、光検出
素子９３により放電による発光が検出されたときは、ス
イッチング素子８を導通状態に制御する。
光を検出することにより放電発生の有無を確認できる。
そして、実施の形態７、実施の形態８と同様に、光検出
素子９３により放電による発光が検出されたときは、ス
イッチング素子８を導通状態に制御する。
【００５６】以上のように、この実施の形態９によれ
ば、光検出素子９３で放電による発光を検出することに
より放電発生の有無を正確に検出することができるの
で、スイッチング素子８に正確な制御信号を送ることが
でき、精度よく力率を改善することができるといった効
果が得られる。
ば、光検出素子９３で放電による発光を検出することに
より放電発生の有無を正確に検出することができるの
で、スイッチング素子８に正確な制御信号を送ることが
でき、精度よく力率を改善することができるといった効
果が得られる。
【００５７】実施の形態１０．図１１はこの発明の実施
の形態１０によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図
である。この実施の形態１０は、実施の形態６と同じよ
うに並列インダクタ６と直列にスイッチング素子８を接
続し、実施の形態４と同じように直列インダクタ７とし
てトランス漏れインダクタンス７２を利用するように構
成したものである。
の形態１０によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図
である。この実施の形態１０は、実施の形態６と同じよ
うに並列インダクタ６と直列にスイッチング素子８を接
続し、実施の形態４と同じように直列インダクタ７とし
てトランス漏れインダクタンス７２を利用するように構
成したものである。
【００５８】次に動作について説明する。実施の形態４
と同じようにトランス漏れインダクタンス７２が直列イ
ンダクタ７と同じように作用し、スイッチング素子８を
放電に合わせてオン・オフする。尚、トランス４の１次
側で力率を改善するには、Ｌｓ１＝Ｌｒとすれば良く、
トランス４の２次側で力率を改善するには、トランス４
の巻数比ｍに対して、Ｌｓ＝ｍ2 Ｌｒとすれば良く、図
５に示すようにトランス４のコア４１に隙間δを設けて
漏れインダクタンスＬｒを形成することもできる。
と同じようにトランス漏れインダクタンス７２が直列イ
ンダクタ７と同じように作用し、スイッチング素子８を
放電に合わせてオン・オフする。尚、トランス４の１次
側で力率を改善するには、Ｌｓ１＝Ｌｒとすれば良く、
トランス４の２次側で力率を改善するには、トランス４
の巻数比ｍに対して、Ｌｓ＝ｍ2 Ｌｒとすれば良く、図
５に示すようにトランス４のコア４１に隙間δを設けて
漏れインダクタンスＬｒを形成することもできる。
【００５９】以上のように、この実施の形態１０によれ
ば、スイッチング素子８を備え、さらにトランス漏れイ
ンダクタンス７２を利用することにより、実施の形態
４，６と同様の効果を得ることができる。
ば、スイッチング素子８を備え、さらにトランス漏れイ
ンダクタンス７２を利用することにより、実施の形態
４，６と同様の効果を得ることができる。
【００６０】実施の形態１１．図１２はこの発明の実施
の形態１１によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図
である。図１２に示すように、並列インダクタ６１と直
列インダクタ７１とはトランス４の１次側に配置され、
スイッチング素子８が並列インダクタ６１と直列に接続
されている。尚、実施の形態１と同一要素については同
一符号を付して説明を省略する。
の形態１１によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図
である。図１２に示すように、並列インダクタ６１と直
列インダクタ７１とはトランス４の１次側に配置され、
スイッチング素子８が並列インダクタ６１と直列に接続
されている。尚、実施の形態１と同一要素については同
一符号を付して説明を省略する。
【００６１】次に動作について説明する。実施の形態２
と同様に、力率改善用の直列インダクタ、並列インダク
タをトランス４の２次側に設置する必要はない。この場
合においても、並列インダクタ６１、直列インダクタ７
１には、それぞれ式（１１）、式（１２）で表されるイ
ンダクタンスに設定することにより共振回路を構成する
ことができる。 Ls2＝1/C1(2πf)2)/m2 ・・・（１１） Lp2＝1/C2(2πf)2)/m2 ・・・（１２） 但し、Ls2：直列インダクタ７１のインダクタンス Lp2：並列インダクタ６１のインダクタンス
と同様に、力率改善用の直列インダクタ、並列インダク
タをトランス４の２次側に設置する必要はない。この場
合においても、並列インダクタ６１、直列インダクタ７
１には、それぞれ式（１１）、式（１２）で表されるイ
ンダクタンスに設定することにより共振回路を構成する
ことができる。 Ls2＝1/C1(2πf)2)/m2 ・・・（１１） Lp2＝1/C2(2πf)2)/m2 ・・・（１２） 但し、Ls2：直列インダクタ７１のインダクタンス Lp2：並列インダクタ６１のインダクタンス
【００６２】以上のように、この実施の形態１１によれ
ば、並列インダクタ６１、直列インダクタ７１、スイッ
チング素子８をトランス４の１次側に配置しても実施の
形態１，６と同様の効果を得ることができ、しかも実施
の形態２と同様に耐電圧の低い素子を用いることもでき
る。
ば、並列インダクタ６１、直列インダクタ７１、スイッ
チング素子８をトランス４の１次側に配置しても実施の
形態１，６と同様の効果を得ることができ、しかも実施
の形態２と同様に耐電圧の低い素子を用いることもでき
る。
【００６３】実施の形態１２．図１３はこの発明の実施
の形態１２によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図
である。図１３において、７３は放電負荷５、トランス
４の２次側巻線に対して直列に接続されてインダクタン
スが可変する直列インダクタである。尚、実施の形態１
と同一要素については同一符号を付して説明を省略す
る。
の形態１２によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図
である。図１３において、７３は放電負荷５、トランス
４の２次側巻線に対して直列に接続されてインダクタン
スが可変する直列インダクタである。尚、実施の形態１
と同一要素については同一符号を付して説明を省略す
る。
【００６４】次に動作について説明する。実施の形態５
において説明したように放電負荷５は放電することによ
り、その容量が変化する。実施の形態５では、これに合
わせて並列インダクタ６のインダクタンスＬｐを可変す
るようにしたが、実施の形態１２では、直列インダクタ
７３のインダクタンスを可変するようにする。また、並
列インダクタ６１、直列インダクタ７３にそれぞれ式
（１３）、式（１４）に表されたインダクタンスをほぼ
満足するようにして、放電のオン、オフに同期して直列
インダクタ７３の等価的な値を変化させる方法も有効で
ある。 Lp3=1/(C1(2πf)2) ・・・（１３） Ls3=1/(C2(2πf)2) ・・・（１４） 但し、Ls3：直列インダクタ７３のインダクタンス Lp3：並列インダクタ６１のインダクタンス 理想的には、非放電時に式（１４）を満足し、放電時に
は、Ｌｓ３＝０となることが望ましい。
において説明したように放電負荷５は放電することによ
り、その容量が変化する。実施の形態５では、これに合
わせて並列インダクタ６のインダクタンスＬｐを可変す
るようにしたが、実施の形態１２では、直列インダクタ
７３のインダクタンスを可変するようにする。また、並
列インダクタ６１、直列インダクタ７３にそれぞれ式
（１３）、式（１４）に表されたインダクタンスをほぼ
満足するようにして、放電のオン、オフに同期して直列
インダクタ７３の等価的な値を変化させる方法も有効で
ある。 Lp3=1/(C1(2πf)2) ・・・（１３） Ls3=1/(C2(2πf)2) ・・・（１４） 但し、Ls3：直列インダクタ７３のインダクタンス Lp3：並列インダクタ６１のインダクタンス 理想的には、非放電時に式（１４）を満足し、放電時に
は、Ｌｓ３＝０となることが望ましい。
【００６５】以上のように、この実施の形態１２によれ
ば、放電負荷５に対して直列インダクタ７３の容量を変
化するようにしたので、放電電力によらず高い力率を得
ることができるといった効果を得ることができる。
ば、放電負荷５に対して直列インダクタ７３の容量を変
化するようにしたので、放電電力によらず高い力率を得
ることができるといった効果を得ることができる。
【００６６】実施の形態１３．図１４はこの発明の実施
の形態１３によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図
であり、この実施の形態１３は、直列インダクタを過飽
和リアクトルとして構成したものである。図１４におい
て、７４は放電負荷５、トランス４の２次側巻線に対し
て直列に接続された過飽和リアクトルとしての過飽和イ
ンダクタである。この過飽和インダクタ７４のコアをフ
ェライトもしくは鉄等によって構成する。また、この過
飽和インダクタ７４の磁束の飽和条件を放電の開始条件
と一致させるようにしておく。即ち、図１５に示すよう
に、過飽和インダクタ７４の磁束が飽和する電圧時間積
Ｖｔのしきい値Ｖｔ０を、放電開始と一致するように設
定しておく。尚、実施の形態１と同一要素については同
一符号を付して説明を省略する。
の形態１３によるプラズマ発生用電源装置を示す回路図
であり、この実施の形態１３は、直列インダクタを過飽
和リアクトルとして構成したものである。図１４におい
て、７４は放電負荷５、トランス４の２次側巻線に対し
て直列に接続された過飽和リアクトルとしての過飽和イ
ンダクタである。この過飽和インダクタ７４のコアをフ
ェライトもしくは鉄等によって構成する。また、この過
飽和インダクタ７４の磁束の飽和条件を放電の開始条件
と一致させるようにしておく。即ち、図１５に示すよう
に、過飽和インダクタ７４の磁束が飽和する電圧時間積
Ｖｔのしきい値Ｖｔ０を、放電開始と一致するように設
定しておく。尚、実施の形態１と同一要素については同
一符号を付して説明を省略する。
【００６７】次に動作について説明する。図１５に示す
ように、過飽和インダクタ７４の両端の電圧ｖと時間ｔ
の積がしきい値Ｖｔ０以下であるときは、過飽和インダ
クタ７４の磁束は非飽和となる。非飽和状態でのインダ
クタンスは式（１１）によって表される。過飽和インダ
クタ７４の磁束の飽和条件を放電の開始条件と一致して
いるので、放電負荷５の放電が開始すると過飽和インダ
クタ７４の両端の電圧ｖと時間ｔの積がしきい値Ｖｔ０
を超え、過飽和インダクタ７４の磁束が飽和する。飽和
状態では過飽和インダクタ７４のインダクタンスが変化
してＬｓ３≒０となる。
ように、過飽和インダクタ７４の両端の電圧ｖと時間ｔ
の積がしきい値Ｖｔ０以下であるときは、過飽和インダ
クタ７４の磁束は非飽和となる。非飽和状態でのインダ
クタンスは式（１１）によって表される。過飽和インダ
クタ７４の磁束の飽和条件を放電の開始条件と一致して
いるので、放電負荷５の放電が開始すると過飽和インダ
クタ７４の両端の電圧ｖと時間ｔの積がしきい値Ｖｔ０
を超え、過飽和インダクタ７４の磁束が飽和する。飽和
状態では過飽和インダクタ７４のインダクタンスが変化
してＬｓ３≒０となる。
【００６８】以上のように、この実施の形態１３によれ
ば、過飽和リアクトルを用いてインダクタンスを変化さ
せることができ、スイッチング素子８を設ける必要がな
くなり、安価な電源システムを供給できるといった効果
が得られる。また、放電の開始条件と磁束の飽和条件が
一致しているため、放電が開始すると、電圧と時間の積
で自然に磁束が飽和し、効率の高い電源システムを供給
できる。
ば、過飽和リアクトルを用いてインダクタンスを変化さ
せることができ、スイッチング素子８を設ける必要がな
くなり、安価な電源システムを供給できるといった効果
が得られる。また、放電の開始条件と磁束の飽和条件が
一致しているため、放電が開始すると、電圧と時間の積
で自然に磁束が飽和し、効率の高い電源システムを供給
できる。
【００６９】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、放電
負荷に対して並列に接続された並列インダクタと、前記
放電負荷に対して直列に接続された直列インダクタとを
備えて構成したので、並列インダクタ単独の場合より
も、放電負荷の変化に対して安定な力率改善が可能にな
り、誘電体の静電容量に対してガスの静電容量が無視で
きないような装置においても、力率を高くすることがで
き、小型で安価な電源装置を得ることができるといった
効果を得ることができる。
負荷に対して並列に接続された並列インダクタと、前記
放電負荷に対して直列に接続された直列インダクタとを
備えて構成したので、並列インダクタ単独の場合より
も、放電負荷の変化に対して安定な力率改善が可能にな
り、誘電体の静電容量に対してガスの静電容量が無視で
きないような装置においても、力率を高くすることがで
き、小型で安価な電源装置を得ることができるといった
効果を得ることができる。
【００７０】この発明によれば、並列インダクタ及び直
列インダクタをトランスの２次側に接続するように構成
したので、トランスの２次側に配置された放電負荷との
間で直接作用し、力率を向上させることができる効果が
ある。
列インダクタをトランスの２次側に接続するように構成
したので、トランスの２次側に配置された放電負荷との
間で直接作用し、力率を向上させることができる効果が
ある。
【００７１】この発明によれば、並列インダクタ及び直
列インダクタをトランスの１次側に接続したように構成
したので、耐電圧の低い素子を用いることができる効果
がある。
列インダクタをトランスの１次側に接続したように構成
したので、耐電圧の低い素子を用いることができる効果
がある。
【００７２】この発明によれば、直列インダクタ及び並
列インダクタは、式（１）を満足するインダクタンスを
有し、放電負荷の合成容量と共振するように構成したの
で、力率の改善度合いを高く設計することができる効果
がある。
列インダクタは、式（１）を満足するインダクタンスを
有し、放電負荷の合成容量と共振するように構成したの
で、力率の改善度合いを高く設計することができる効果
がある。
【００７３】この発明によれば、直列インダクタはトラ
ンスの漏れインダクタンスを利用するように構成したの
で、新たに直列にインダクタを入れる必要がなく、安価
な装置を提供することができる効果がある。
ンスの漏れインダクタンスを利用するように構成したの
で、新たに直列にインダクタを入れる必要がなく、安価
な装置を提供することができる効果がある。
【００７４】この発明によれば、直列インダクタ式
（２）を満足するインダクタンスを有し、並列インダク
タは、当該インダクタンスが非放電時には式（３）の値
を満足し、放電時には、式（３）の値未満に変化するよ
うに構成したので、放電電力によらず高い力率を得るこ
とができる効果がある。
（２）を満足するインダクタンスを有し、並列インダク
タは、当該インダクタンスが非放電時には式（３）の値
を満足し、放電時には、式（３）の値未満に変化するよ
うに構成したので、放電電力によらず高い力率を得るこ
とができる効果がある。
【００７５】この発明によれば、並列インダクタと直列
に接続され、非放電時にこの並列インダクタの回路を閉
じ、放電時に回路を開くスイッチング手段を備えるよう
に構成したので、放電発生の有無に係わらず常に高い力
率を得ることができる効果がある。
に接続され、非放電時にこの並列インダクタの回路を閉
じ、放電時に回路を開くスイッチング手段を備えるよう
に構成したので、放電発生の有無に係わらず常に高い力
率を得ることができる効果がある。
【００７６】この発明によれば、放電負荷の負荷電圧を
検出する電圧検出手段を備え、スイッチング手段は該電
圧検出手段からの信号に基づいて前記並列インダクタの
回路を開閉するように構成したので、放電発生の有無を
正確に検出することができる。従って、スイッチング手
段に正確な制御信号を送ることができ、精度よく力率を
改善することができるといった効果が得られる。
検出する電圧検出手段を備え、スイッチング手段は該電
圧検出手段からの信号に基づいて前記並列インダクタの
回路を開閉するように構成したので、放電発生の有無を
正確に検出することができる。従って、スイッチング手
段に正確な制御信号を送ることができ、精度よく力率を
改善することができるといった効果が得られる。
【００７７】この発明によれば、放電負荷の負荷電流を
検出する電流検出手段を備え、スイッチング手段は該電
流検出手段によって検出された電流の変化に基づいて前
記並列インダクタの回路を開閉するように構成したの
で、放電発生の有無を正確に検出してスイッチング手段
に正確な制御信号を送ることができ、精度よく力率を改
善することができるといった効果が得られる。
検出する電流検出手段を備え、スイッチング手段は該電
流検出手段によって検出された電流の変化に基づいて前
記並列インダクタの回路を開閉するように構成したの
で、放電発生の有無を正確に検出してスイッチング手段
に正確な制御信号を送ることができ、精度よく力率を改
善することができるといった効果が得られる。
【００７８】この発明によれば、放電の発光を検出する
光検出手段を備え、スイッチング手段は該光検出手段に
よって検出された光の変化に基づいて前記並列インダク
タの回路を開閉するように構成したので、放電発生の有
無を正確に検出してスイッチング手段に正確な制御信号
を送ることができ、精度よく力率を改善することができ
るといった効果が得られる。
光検出手段を備え、スイッチング手段は該光検出手段に
よって検出された光の変化に基づいて前記並列インダク
タの回路を開閉するように構成したので、放電発生の有
無を正確に検出してスイッチング手段に正確な制御信号
を送ることができ、精度よく力率を改善することができ
るといった効果が得られる。
【００７９】この発明によれば、並列インダクタは式
（４）を満足するインダクタンスを有し、直列インダク
タは、当該インダクタンスが非放電時には式（５）の値
を満足し、放電時には、式（５）の値未満に変化するよ
うに構成したので、放電電力によらず高い力率を得るこ
とができる効果がある。
（４）を満足するインダクタンスを有し、直列インダク
タは、当該インダクタンスが非放電時には式（５）の値
を満足し、放電時には、式（５）の値未満に変化するよ
うに構成したので、放電電力によらず高い力率を得るこ
とができる効果がある。
【００８０】この発明によれば、直列インダクタに過飽
和リアクトルを使用するように構成したので、安価な電
源装置を供給することができる効果がある。
和リアクトルを使用するように構成したので、安価な電
源装置を供給することができる効果がある。
【００８１】この発明によれば、過飽和リアクトルの飽
和条件を放電開始条件に合わせるように構成したので、
効率の高い電源システムを供給することができる効果が
ある。
和条件を放電開始条件に合わせるように構成したので、
効率の高い電源システムを供給することができる効果が
ある。
【００８２】この発明によれば、過飽和リアクトルのコ
アにフェライトもしくは鉄を用い、当該過飽和リアクト
ルの両端電圧と電圧印加時間との積が放電開始条件に合
わせて、設定された所定しきい値を超えたときに磁束が
飽和するように過飽和リアクトルが構成されているの
で、電圧と時間の積で自然に磁束が飽和し、スイッチン
グ手段を用いないでもインダクタンスを変化させること
ができ、安価な電源システムを供給できる効果がある。
アにフェライトもしくは鉄を用い、当該過飽和リアクト
ルの両端電圧と電圧印加時間との積が放電開始条件に合
わせて、設定された所定しきい値を超えたときに磁束が
飽和するように過飽和リアクトルが構成されているの
で、電圧と時間の積で自然に磁束が飽和し、スイッチン
グ手段を用いないでもインダクタンスを変化させること
ができ、安価な電源システムを供給できる効果がある。
【図１】 この発明の実施の形態１によるプラズマ発生
用電源装置を示す回路図である。
用電源装置を示す回路図である。
【図２】 この発明の実施の形態２によるプラズマ発生
用電源装置を示す回路図である。
用電源装置を示す回路図である。
【図３】 この発明の実施の形態３によるプラズマ発生
用電源装置を示す回路図である。
用電源装置を示す回路図である。
【図４】 この発明の実施の形態４によるプラズマ発生
用電源装置を示す回路図である。
用電源装置を示す回路図である。
【図５】 図４のトランスを示す模式図である。
【図６】 この発明の実施の形態５によるプラズマ発生
用電源装置を示す回路図である。
用電源装置を示す回路図である。
【図７】 この発明の実施の形態６によるプラズマ発生
用電源装置を示す回路図である。
用電源装置を示す回路図である。
【図８】 この発明の実施の形態７によるプラズマ発生
用電源装置を示す回路図である。
用電源装置を示す回路図である。
【図９】 この発明の実施の形態８によるプラズマ発生
用電源装置を示す回路図である。
用電源装置を示す回路図である。
【図１０】 この発明の実施の形態９によるプラズマ発
生用電源装置を示す回路図である。
生用電源装置を示す回路図である。
【図１１】 この発明の実施の形態１０によるプラズマ
発生用電源装置を示す回路図である。
発生用電源装置を示す回路図である。
【図１２】 この発明の実施の形態１１によるプラズマ
発生用電源装置を示す電源回路図である。
発生用電源装置を示す電源回路図である。
【図１３】 この発明の実施の形態１２によるプラズマ
発生用電源装置を示す回路図である。
発生用電源装置を示す回路図である。
【図１４】 この発明の実施の形態１３によるプラズマ
発生用電源装置を示す回路図である。
発生用電源装置を示す回路図である。
【図１５】 図１４の過飽和インダクタの磁束の非飽
和、飽和状態を示す説明図である。
和、飽和状態を示す説明図である。
【図１６】 従来のプラズマ発生用電源装置を示す回路
図である。
図である。
【図１７】 従来の別のプラズマ発生用電源装置を示す
回路図である。
回路図である。
【図１８】 放電負荷の等価回路を示す図である。
４ トランス、５ 放電負荷、６，６１ 並列インダク
タ、７，７１，７３直列インダクタ、８ スイッチング
素子（スイッチング手段）、７４ 過飽和インダクタ
（過飽和リアクトル）、９１ 電圧検出素子（電圧検出
手段）、９２電流検出素子（電流検出手段）、９３ 光
検出素子（光検出手段）。
タ、７，７１，７３直列インダクタ、８ スイッチング
素子（スイッチング手段）、７４ 過飽和インダクタ
（過飽和リアクトル）、９１ 電圧検出素子（電圧検出
手段）、９２電流検出素子（電流検出手段）、９３ 光
検出素子（光検出手段）。
Claims (14)
- 【請求項１】 ２つの電極間で等価的に誘電体静電容量
とガス静電容量とを有し、放電してガスを励起し、プラ
ズマを発生させる放電負荷に対し、トランスを介して交
流電力を供給するプラズマ発生用電源装置において、 前記放電負荷に対して並列に接続された並列インダクタ
と、 前記放電負荷に対して直列に接続された直列インダクタ
とを備えたことを特徴とするプラズマ発生用電源装置。 - 【請求項２】 並列インダクタ及び直列インダクタをト
ランスの２次側に接続したことを特徴とする請求項１記
載のプラズマ発生用電源装置。 - 【請求項３】 並列インダクタ及び直列インダクタをト
ランスの１次側に接続したことを特徴とする請求項１記
載のプラズマ発生用電源装置。 - 【請求項４】 直列インダクタ及び並列インダクタは、
式（１）を満足するインダクタンスを有していることを
特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれか１項
記載のプラズマ発生用電源装置。 Lp=Ls=(C1+C2)/(C1×C2×(2πf)2) ・・・（１） 但し、Lp：並列インダクタのインダクタンス Ls：直列インダクタのインダクタンス C1：誘電体静電容量の値 C2：ガス静電容量の値 ｆ：交流電力の周波数 - 【請求項５】 直列インダクタはトランスの漏れインダ
クタンスを利用したものであることを特徴とする請求項
１から請求項４のうちのいずれか１項記載のプラズマ発
生用電源装置。 - 【請求項６】 直列インダクタが式（２）を満足するイ
ンダクタンスを有し、並列インダクタは、当該インダク
タンスが非放電時には式（３）の値を満足し、放電時に
は、式（３）の値未満に変化するように構成されたこと
を特徴とする請求項１から請求項５のうちのいずれか１
項記載のプラズマ発生用電源装置。 Ls=1/(C1(2πf)2) ・・・（２） Lp=1/(C2(2πf)2) ・・・（３） 但し、Ls：直列インダクタのインダクタンス Lp：並列インダクタのインダクタンス C1：誘電体静電容量の値 C2：ガス静電容量の値 ｆ：交流電力の周波数 - 【請求項７】 並列インダクタと直列に接続され、非放
電時にこの並列インダクタの回路を閉じ、放電時にこの
並列インダクタの回路を開くスイッチング手段を備えた
ことを特徴とする請求項６記載のプラズマ発生用電源装
置。 - 【請求項８】 放電負荷の負荷電圧を検出する電圧検出
手段を備え、スイッチング手段は該電圧検出手段からの
信号に基づいて前記並列インダクタの回路を開閉するこ
とを特徴とする請求項７記載のプラズマ発生用電源装
置。 - 【請求項９】 放電負荷の負荷電流を検出する電流検出
手段を備え、スイッチング手段は該電流検出手段によっ
て検出された電流の変化に基づいて前記並列インダクタ
の回路を開閉することを特徴とする請求項７記載のプラ
ズマ発生用電源装置。 - 【請求項１０】 放電の発光を検出する光検出手段を備
え、スイッチング手段は該光検出手段によって検出され
た光の変化に基づいて前記並列インダクタの回路を開閉
することを特徴とする請求項７記載のプラズマ発生用電
源装置。 - 【請求項１１】 並列インダクタは式（４）を満足する
インダクタンスを有し、直列インダクタは、当該インダ
クタンスが非放電時には式（５）の値を満足し、放電時
には、式（５）の値未満に変化するように構成されたこ
とを特徴とする請求項１から請求項５のうちのいずれか
１項記載のプラズマ発生用電源装置。 Lp=1/(C2(2πf)2) ・・・（４） Ls=1/(C1(2πf)2) ・・・（５） 但し、Ls：直列インダクタのインダクタンス Lp：並列インダクタのインダクタンス C1：誘電体静電容量の値 C2：ガス静電容量の値 ｆ：交流電力の周波数 - 【請求項１２】 直列インダクタに過飽和リアクトルを
使用したことを特徴とする請求項１１記載のプラズマ発
生用電源装置。 - 【請求項１３】 過飽和リアクトルの飽和条件を放電開
始条件に合わせたことを特徴とする請求項１２記載のプ
ラズマ発生用電源装置。 - 【請求項１４】 過飽和リアクトルのコアにフェライト
もしくは鉄を用い、過飽和リアクトルが、当該過飽和リ
アクトルの両端電圧と電圧印加時間との積が放電開始条
件に合わせて、設定された所定しきい値を超えたときに
磁束が飽和するように構成されていることを特徴とする
請求項１３記載のプラズマ発生用電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08728898A JP3868624B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | プラズマ発生用電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08728898A JP3868624B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | プラズマ発生用電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11288796A true JPH11288796A (ja) | 1999-10-19 |
| JP3868624B2 JP3868624B2 (ja) | 2007-01-17 |
Family
ID=13910624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08728898A Expired - Lifetime JP3868624B2 (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | プラズマ発生用電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3868624B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004134376A (ja) * | 2002-07-11 | 2004-04-30 | Fuji Photo Film Bv | 大気圧条件下でグロー放電プラズマを生成して維持するための改良された装置 |
| WO2005094138A1 (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | プラズマ発生用電源装置 |
| JP2007181295A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Ngk Insulators Ltd | 放電装置 |
| JP2007209155A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Ngk Insulators Ltd | 放電装置 |
| JP2008043034A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Sharp Corp | 高電圧出力装置およびこれを用いたイオン発生器 |
| JP2008154441A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-07-03 | Sharp Corp | 高電圧出力装置およびこれを用いたイオン発生器 |
| JP2010168241A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Mitsubishi Electric Corp | オゾン発生装置 |
| JP2011528165A (ja) * | 2008-07-16 | 2011-11-10 | エージーシー グラス ユーロップ | 誘電バリヤー放電による表面調製のための方法及び設備 |
| US8226900B2 (en) * | 2005-08-16 | 2012-07-24 | Mks Instruments, Inc. | Power supply including transformer-less high voltage power oscillators for ozone generation |
| KR101881536B1 (ko) * | 2017-02-24 | 2018-07-24 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 출력전류 제어가 가능한 전력공급장치 및 이를 이용한 전력공급방법 |
| KR101881535B1 (ko) * | 2017-02-24 | 2018-07-24 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 수동소자를 구비한 전력공급장치 및 이를 이용한 플라즈마 점화를 위한 전력제공방법 |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP08728898A patent/JP3868624B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004134376A (ja) * | 2002-07-11 | 2004-04-30 | Fuji Photo Film Bv | 大気圧条件下でグロー放電プラズマを生成して維持するための改良された装置 |
| WO2005094138A1 (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | プラズマ発生用電源装置 |
| US7312584B2 (en) | 2004-03-29 | 2007-12-25 | Mitsubishi Electric Corporation | Plasma-generation power-supply device |
| TWI393338B (zh) * | 2005-08-16 | 2013-04-11 | Mks Instr Inc | 用以產生臭氧之包含無變壓器式高電壓電源振盪器的電源供應器以及為臭氧產生供應電源之方法 |
| US8641978B2 (en) | 2005-08-16 | 2014-02-04 | Mks Instruments, Inc. | Power supply including transformer-less high voltage power oscillators for ozone generation |
| US8226900B2 (en) * | 2005-08-16 | 2012-07-24 | Mks Instruments, Inc. | Power supply including transformer-less high voltage power oscillators for ozone generation |
| JP2007181295A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Ngk Insulators Ltd | 放電装置 |
| JP2007209155A (ja) * | 2006-02-03 | 2007-08-16 | Ngk Insulators Ltd | 放電装置 |
| JP2008154441A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-07-03 | Sharp Corp | 高電圧出力装置およびこれを用いたイオン発生器 |
| JP2008043034A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Sharp Corp | 高電圧出力装置およびこれを用いたイオン発生器 |
| JP2011528165A (ja) * | 2008-07-16 | 2011-11-10 | エージーシー グラス ユーロップ | 誘電バリヤー放電による表面調製のための方法及び設備 |
| JP2010168241A (ja) * | 2009-01-22 | 2010-08-05 | Mitsubishi Electric Corp | オゾン発生装置 |
| KR101881536B1 (ko) * | 2017-02-24 | 2018-07-24 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 출력전류 제어가 가능한 전력공급장치 및 이를 이용한 전력공급방법 |
| KR101881535B1 (ko) * | 2017-02-24 | 2018-07-24 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 수동소자를 구비한 전력공급장치 및 이를 이용한 플라즈마 점화를 위한 전력제공방법 |
| CN108511310A (zh) * | 2017-02-24 | 2018-09-07 | 株式会社新动力等离子体 | 具有无源器件的供电装置及利用其的用于等离子体点火供电方法 |
| US10276344B2 (en) | 2017-02-24 | 2019-04-30 | New Power Plasma Co., Ltd. | Power supply apparatus able to control output current and power supply method using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3868624B2 (ja) | 2007-01-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6550463B1 (en) | Method and switching system for the ignition of an internal combustion engine | |
| US4060752A (en) | Discharge lamp auxiliary circuit with dI/dt switching control | |
| US9537422B2 (en) | High-frequency power supply apparatus for supplying high-frequency power | |
| JP4261628B2 (ja) | 低圧放電ランプの点灯回路 | |
| JP3719352B2 (ja) | プラズマ発生用電源装置及びその製造方法 | |
| JP3868624B2 (ja) | プラズマ発生用電源装置 | |
| US20090039798A1 (en) | Pulsed igniting device comprising a piezoelectric transformer for a high-pressure discharge lamp | |
| JP2005094827A (ja) | 高電圧電源パルス電源 | |
| GB2204751A (en) | Discharge lamp circuits | |
| US10122155B2 (en) | Corona ignition system for an internal combustion engine | |
| US6362576B1 (en) | Circuit arrangement for igniting a lamp | |
| US5962985A (en) | DC/AC converter with improved starter circuit | |
| JP4049164B2 (ja) | プラズマ発生用電源装置の製造方法 | |
| JP6775281B2 (ja) | 電源および電源を制御するための方法 | |
| JP3737677B2 (ja) | 圧電トランスの駆動回路、及び、圧電トランスを用いた冷陰極管駆動装置 | |
| JP2006228676A (ja) | 放電灯点灯装置 | |
| US6075327A (en) | Power supply apparatus for a discharge lamp, especially for a motor vehicle headlight | |
| CN115313881B (zh) | 一种变流器故障保护装置 | |
| EP0078864A1 (en) | Transistor inverter device | |
| JP3419034B2 (ja) | 無電極放電ランプ点灯装置 | |
| Roux et al. | A series resonant converter for arc striking applications | |
| JPH0629884A (ja) | 高周波電力注入装置 | |
| JP5143187B2 (ja) | 放電灯始動回路および放電灯点灯装置 | |
| JP3508348B2 (ja) | 高圧放電灯点灯装置 | |
| JPH11317203A (ja) | 誘電体バリア放電ランプ光源装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041110 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060530 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060606 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060724 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060912 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061011 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091020 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101020 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111020 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121020 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131020 Year of fee payment: 7 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |