JPH11283504A - 真空管の排気装置 - Google Patents
真空管の排気装置Info
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- JPH11283504A JPH11283504A JP10203998A JP10203998A JPH11283504A JP H11283504 A JPH11283504 A JP H11283504A JP 10203998 A JP10203998 A JP 10203998A JP 10203998 A JP10203998 A JP 10203998A JP H11283504 A JPH11283504 A JP H11283504A
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- vacuum tube
- tube
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- elastic deformation
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 弾性変形部材の耐久性を高めると共に、排気
管に均一に力を作用させることによって、排気管の破損
等を防止することができる真空管等の排気装置を提供す
る。 【解決手段】 排気ヘツド１に形成された真空管の排気
管１０が挿入される挿入穴４ｂと、排気ヘツド１中に装
着され、真空管の排気管１０が挿入される挿入穴８ａを
備える弾性変形部材８と、前記挿入穴４ｂ、８ａに対応
して排気ヘツド１に形成された排気通路３ａと、前記弾
性変形部材８を膨張、収縮させるために、前記弾性変形
部材８に対してエア−を導入、排出するエア−入出通路
部７と、前記弾性変形部材８を冷却するために、弾性変
形部材８の外側に形成された冷却部５とを備えたことを
特徴とする。
管に均一に力を作用させることによって、排気管の破損
等を防止することができる真空管等の排気装置を提供す
る。 【解決手段】 排気ヘツド１に形成された真空管の排気
管１０が挿入される挿入穴４ｂと、排気ヘツド１中に装
着され、真空管の排気管１０が挿入される挿入穴８ａを
備える弾性変形部材８と、前記挿入穴４ｂ、８ａに対応
して排気ヘツド１に形成された排気通路３ａと、前記弾
性変形部材８を膨張、収縮させるために、前記弾性変形
部材８に対してエア−を導入、排出するエア−入出通路
部７と、前記弾性変形部材８を冷却するために、弾性変
形部材８の外側に形成された冷却部５とを備えたことを
特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は陰極線管、プラズマ
ディスプレイ等の真空管の排気装置に関し、耐久性に優
れ、しかも排気管を破損することのない真空管の排気装
置に関する。
ディスプレイ等の真空管の排気装置に関し、耐久性に優
れ、しかも排気管を破損することのない真空管の排気装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、陰極線管等の内部を真空にす
るため、真空ポンプを備えた排気装置が用いられてい
る。例えば、この種の装置としては、特開平６−９６６
７５号公報に記載された真空管の排気装置がある。前記
公報に示された排気装置を図４に示し、その図に基づい
て、従来技術を説明する。図に示すように、回転ねじ締
め金具３１の外周部に歯車状凹凸３２が設けられ、排気
ヘッド筒部３３に支持金具３４が取り付けられて、前記
支持金具３４によって、回転軸３５が回転可能に支持さ
れ、回転軸３５に歯車３６が取り付けられ、前記歯車状
凹凸３２と歯車３６とが噛み合っている。
るため、真空ポンプを備えた排気装置が用いられてい
る。例えば、この種の装置としては、特開平６−９６６
７５号公報に記載された真空管の排気装置がある。前記
公報に示された排気装置を図４に示し、その図に基づい
て、従来技術を説明する。図に示すように、回転ねじ締
め金具３１の外周部に歯車状凹凸３２が設けられ、排気
ヘッド筒部３３に支持金具３４が取り付けられて、前記
支持金具３４によって、回転軸３５が回転可能に支持さ
れ、回転軸３５に歯車３６が取り付けられ、前記歯車状
凹凸３２と歯車３６とが噛み合っている。
【０００３】この真空排気装置においては、排気管３７
を挿入穴３８を介して排気ヘッド筒部３３の内部に挿入
した後、往復回転エア−モ−タ（図示せず）を作動すれ
ば回転軸３５、歯車３６が回転して、回転ねじ締め金具
３１が締め方向に回転するから、弾性変形部材３９が突
出部４０と押圧リング４１との間で押しつぶされ、弾性
変形部材３９の内側部が排気管３７に押し付けられ、排
気ヘッド筒部３３の内部が気密となるので、この状態で
真空ポンプを作動すれば、真空管の排気を行うことがで
きる。そして排気が完了したのちに、真空ポンプを停止
し、排気管３７を封着切断し、往復回転エア−モ−タを
反対方向に作動すれば、回転ねじ締め金具３１が緩め方
向に回転するから、弾性変形部材３９が元の形状に戻
り、弾性変形部材３９の内側部が排気管３７から離れ
る。
を挿入穴３８を介して排気ヘッド筒部３３の内部に挿入
した後、往復回転エア−モ−タ（図示せず）を作動すれ
ば回転軸３５、歯車３６が回転して、回転ねじ締め金具
３１が締め方向に回転するから、弾性変形部材３９が突
出部４０と押圧リング４１との間で押しつぶされ、弾性
変形部材３９の内側部が排気管３７に押し付けられ、排
気ヘッド筒部３３の内部が気密となるので、この状態で
真空ポンプを作動すれば、真空管の排気を行うことがで
きる。そして排気が完了したのちに、真空ポンプを停止
し、排気管３７を封着切断し、往復回転エア−モ−タを
反対方向に作動すれば、回転ねじ締め金具３１が緩め方
向に回転するから、弾性変形部材３９が元の形状に戻
り、弾性変形部材３９の内側部が排気管３７から離れ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、特開平６−
９６６７５号公報に記載された真空管の排気装置にあっ
ては、回転ねじ金具を回転することによって、弾性変形
部材を押し潰すように構成されているため、回転ねじ金
具の回転に伴って、弾性変形部材の回転方向の変形（ね
じれ）が生ずる。このように、弾性変形部材にねじれが
生ずると、弾性変形部材の耐久性を弱めることとなり、
長期間の使用に耐えることができず、頻繁に弾性変形部
材を交換しなければならないという技術的課題があっ
た。
９６６７５号公報に記載された真空管の排気装置にあっ
ては、回転ねじ金具を回転することによって、弾性変形
部材を押し潰すように構成されているため、回転ねじ金
具の回転に伴って、弾性変形部材の回転方向の変形（ね
じれ）が生ずる。このように、弾性変形部材にねじれが
生ずると、弾性変形部材の耐久性を弱めることとなり、
長期間の使用に耐えることができず、頻繁に弾性変形部
材を交換しなければならないという技術的課題があっ
た。
【０００５】また、一般的に、前記排気管はガラス管に
よって形成されているため、前述したように回転ねじ金
具の回転に伴って、弾性変形部材の回転方向の変形（ね
じれ）が生ずると、前記排気管の外周部には弾性変形部
材によって不均一な力が作用し、前記ガラス管を破損さ
せしまうことがあった。更に、一般的に、前記排気管は
ガラス管によって形成され、排気が完了したのち、排気
管を溶着切断する。このとき弾性変形部材の近傍のガラ
ス管を溶着するために、その熱が弾性変形部材に伝達さ
れ、弾性変形部材はかなりの高温になる。その結果、弾
性変形部材には熱変形等が発生し、弾性変形部材の耐久
性を弱める原因となっていた。この課題を解決するため
に、弾性変形部材の材質等について検討したが、その費
用などから新たな課題が生じ、満足したものは得られて
いない。
よって形成されているため、前述したように回転ねじ金
具の回転に伴って、弾性変形部材の回転方向の変形（ね
じれ）が生ずると、前記排気管の外周部には弾性変形部
材によって不均一な力が作用し、前記ガラス管を破損さ
せしまうことがあった。更に、一般的に、前記排気管は
ガラス管によって形成され、排気が完了したのち、排気
管を溶着切断する。このとき弾性変形部材の近傍のガラ
ス管を溶着するために、その熱が弾性変形部材に伝達さ
れ、弾性変形部材はかなりの高温になる。その結果、弾
性変形部材には熱変形等が発生し、弾性変形部材の耐久
性を弱める原因となっていた。この課題を解決するため
に、弾性変形部材の材質等について検討したが、その費
用などから新たな課題が生じ、満足したものは得られて
いない。
【０００６】本発明の目的は上記課題を解決するために
なされたものであり、弾性変形部材の耐久性を高めると
共に、排気管に均一に力を作用させることによって、排
気管の破損等を防止することができる真空管等の排気装
置を提供することを目的とするものである。
なされたものであり、弾性変形部材の耐久性を高めると
共に、排気管に均一に力を作用させることによって、排
気管の破損等を防止することができる真空管等の排気装
置を提供することを目的とするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
になされた本発明は、真空管の排気を行う真空管の排気
装置において、排気ヘツドに形成された真空管の排気管
が挿入される挿入穴と、排気ヘツド中に装着され、真空
管の排気管が挿入される挿入穴を備える弾性変形部材
と、前記挿入穴に対応して排気ヘツドに形成された排気
通路と、前記弾性変形部材を膨張、収縮させるために、
前記弾性変形部材に対してエア−を導入、排出するエア
−入出通路部と、前記弾性変形部材を冷却するために、
弾性変形部材の外側に形成された冷却部とを備えたこと
を特徴とする。
になされた本発明は、真空管の排気を行う真空管の排気
装置において、排気ヘツドに形成された真空管の排気管
が挿入される挿入穴と、排気ヘツド中に装着され、真空
管の排気管が挿入される挿入穴を備える弾性変形部材
と、前記挿入穴に対応して排気ヘツドに形成された排気
通路と、前記弾性変形部材を膨張、収縮させるために、
前記弾性変形部材に対してエア−を導入、排出するエア
−入出通路部と、前記弾性変形部材を冷却するために、
弾性変形部材の外側に形成された冷却部とを備えたこと
を特徴とする。
【０００８】本発明は上記のように構成され、排気ヘッ
ドは冷却部によって冷却され、所定温度以上に上昇しな
いようになされるため、弾性変形部材は溶着手段からの
熱の影響を極力抑えることができる。そのため、前記弾
性変形部材を長期間、使用することができる。また、回
転ねじ金具のような回転部材を用いていないため、弾性
変形部材の回転方向の変形（ねじれ）が生ずることはな
く、前記排気管の外周部に対して、より均一な力を作用
させることができ、前記ガラス管からなる排気管を破損
させしまうこともない。
ドは冷却部によって冷却され、所定温度以上に上昇しな
いようになされるため、弾性変形部材は溶着手段からの
熱の影響を極力抑えることができる。そのため、前記弾
性変形部材を長期間、使用することができる。また、回
転ねじ金具のような回転部材を用いていないため、弾性
変形部材の回転方向の変形（ねじれ）が生ずることはな
く、前記排気管の外周部に対して、より均一な力を作用
させることができ、前記ガラス管からなる排気管を破損
させしまうこともない。
【０００９】また、上記課題を解決するためになされた
本発明は、真空管の排気を行う真空管の排気装置におい
て、排気ヘツドに形成された真空管の排気管が挿入され
る挿入穴と、排気ヘツドの中に装着され、真空管の排気
管が挿入される挿入穴を備える弾性変形部材と、前記挿
入穴に対応して排気ヘツドに形成された排気通路と、前
記弾性変形部材を膨張、収縮させるために、前記弾性変
形部材に対してエア−を導入、排出するエア−入出通路
部と、前記弾性変形部材を冷却するために、弾性変形部
材の外側に形成された冷却部と、排気ヘツドの下面と基
台の上面に弾接するスプリングとを備えたことを特徴と
する。
本発明は、真空管の排気を行う真空管の排気装置におい
て、排気ヘツドに形成された真空管の排気管が挿入され
る挿入穴と、排気ヘツドの中に装着され、真空管の排気
管が挿入される挿入穴を備える弾性変形部材と、前記挿
入穴に対応して排気ヘツドに形成された排気通路と、前
記弾性変形部材を膨張、収縮させるために、前記弾性変
形部材に対してエア−を導入、排出するエア−入出通路
部と、前記弾性変形部材を冷却するために、弾性変形部
材の外側に形成された冷却部と、排気ヘツドの下面と基
台の上面に弾接するスプリングとを備えたことを特徴と
する。
【００１０】本発明は上記のように構成され、前記排気
ヘッドが排気装置の基台に対して、揺動自在に形成され
ているため、排気管が所定位置から位置ずれした時に、
その位置ずれを吸収できる。したがって、排気作業を効
率良く行うことができるばかりでなく、前記ガラス管か
らなる排気管の破損を防止することもできる。
ヘッドが排気装置の基台に対して、揺動自在に形成され
ているため、排気管が所定位置から位置ずれした時に、
その位置ずれを吸収できる。したがって、排気作業を効
率良く行うことができるばかりでなく、前記ガラス管か
らなる排気管の破損を防止することもできる。
【００１１】ここで、エア−入出通路部、冷却部、排気
通路に接続される管の少なくとも一部に、フレキシブル
な管が用いられていることが望ましい。このようにフレ
キシブル管が用いられているため、排気ヘッドの揺動を
妨げることはない。また、排気通路にフィルタ−が装着
されていることが望ましい。このように排気通路にフィ
ルタ−が装着されている場合、万一前記ガラス管からな
る排気管が破損しても、その破片は真空ポンプまで達し
ないため、真空ポンプの故障を防止することができる。
また、排気管が破損した場合にもフィルタ−部分の清掃
で済むため、作業能率が向上する。
通路に接続される管の少なくとも一部に、フレキシブル
な管が用いられていることが望ましい。このようにフレ
キシブル管が用いられているため、排気ヘッドの揺動を
妨げることはない。また、排気通路にフィルタ−が装着
されていることが望ましい。このように排気通路にフィ
ルタ−が装着されている場合、万一前記ガラス管からな
る排気管が破損しても、その破片は真空ポンプまで達し
ないため、真空ポンプの故障を防止することができる。
また、排気管が破損した場合にもフィルタ−部分の清掃
で済むため、作業能率が向上する。
【００１２】更に、真空管の排気管が挿入される挿入穴
を備える弾性変形部材は、排気ヘッドに取り付けられた
金属リング体を介して取り付けられていることを特徴と
する。このように金属リング体が設けられているので、
弾性変形部材の変形量は一定の範囲に限られ、長時間の
使用にも耐えることができる。
を備える弾性変形部材は、排気ヘッドに取り付けられた
金属リング体を介して取り付けられていることを特徴と
する。このように金属リング体が設けられているので、
弾性変形部材の変形量は一定の範囲に限られ、長時間の
使用にも耐えることができる。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明にかかる真空管等の排気装
置の実施形態を図１乃至図３に基づいて説明する。な
お、図１は排気装置の排気ヘッド部分の要部拡大図であ
り、図２は弾性変形部材の側面図であり、図３は排気装
置の概略側面図である。図１において、１は排気ヘッド
であり、この排気ヘッド１は排気ヘッド本体２、底壁部
３、締め付けキャップ４とから構成されている。前記排
気ヘッド本体２は円筒状に形成され、その内部には環状
に冷却部５が形成され、また排気ヘッド本体２の底面部
には、冷却水が供給、排出される供給口５ａ、排出口５
ｂが設けられている。したがって、前記供給口５ａから
導入された冷却水は、前記冷却部５を経て、前記排出口
５ｂから排気ヘッド本体２の外に排出される。
置の実施形態を図１乃至図３に基づいて説明する。な
お、図１は排気装置の排気ヘッド部分の要部拡大図であ
り、図２は弾性変形部材の側面図であり、図３は排気装
置の概略側面図である。図１において、１は排気ヘッド
であり、この排気ヘッド１は排気ヘッド本体２、底壁部
３、締め付けキャップ４とから構成されている。前記排
気ヘッド本体２は円筒状に形成され、その内部には環状
に冷却部５が形成され、また排気ヘッド本体２の底面部
には、冷却水が供給、排出される供給口５ａ、排出口５
ｂが設けられている。したがって、前記供給口５ａから
導入された冷却水は、前記冷却部５を経て、前記排出口
５ｂから排気ヘッド本体２の外に排出される。
【００１４】また、円筒状に形成された排気ヘッド本体
２の内周面には、金属リング体６が内側に突出した状態
で取り付けられ、その金属リング体６には側面がエ字状
になされた弾性変形部材８が取り付けられている。前記
金属リング体６の内周面には所定の間隔をもってエア−
入出口６ａが設けられている。
２の内周面には、金属リング体６が内側に突出した状態
で取り付けられ、その金属リング体６には側面がエ字状
になされた弾性変形部材８が取り付けられている。前記
金属リング体６の内周面には所定の間隔をもってエア−
入出口６ａが設けられている。
【００１５】更に、排気ヘッド本体２の内周側にはエア
−入出通路部７が形成され、その上端は前記金属リング
体６の内側に開口し、また下端は排気ヘッド本体２の底
面部において開口している。そのため、排気ヘッド本体
２の底面部の開口７ａからエア−入出通路部７、前記エ
ア−入出通路部７の上記開口７ｂを経て、金属リング体
６の内側にエア−が供給され、また前記金属リング体６
のエア−入出口６ａから前記エア−が弾性変形部材８に
供給され、前記弾性変形部材８は排気ヘッド本体２の内
周側に膨張するように構成されている。
−入出通路部７が形成され、その上端は前記金属リング
体６の内側に開口し、また下端は排気ヘッド本体２の底
面部において開口している。そのため、排気ヘッド本体
２の底面部の開口７ａからエア−入出通路部７、前記エ
ア−入出通路部７の上記開口７ｂを経て、金属リング体
６の内側にエア−が供給され、また前記金属リング体６
のエア−入出口６ａから前記エア−が弾性変形部材８に
供給され、前記弾性変形部材８は排気ヘッド本体２の内
周側に膨張するように構成されている。
【００１６】また、前記排気ヘッド１を構成する締め付
けキャップ４は、中央部分４ａが突出した形状を有し、
前記締め付けキャップ４の中央部分４ａが前記排気ヘツ
ド本体２の中央部分と嵌合、あるいは噛合することによ
り、締め付けキャップ４は前記排気ヘツド本体２の上面
に取り付けられる。この取り付け状態において、締め付
けキャップ４の中央部分４ａの下面は、前記弾性変形部
材８に接した状態となる。なお、締め付けキャップ４の
中央部分４ａの下面に、弾性変形部材８を押える押え部
材を介装し、締め付けキャップ４の中央部分４ａの下面
はその押え部材に接し、押え部材の下面が弾性変形部材
８に接した状態となるように構成しても良い。
けキャップ４は、中央部分４ａが突出した形状を有し、
前記締め付けキャップ４の中央部分４ａが前記排気ヘツ
ド本体２の中央部分と嵌合、あるいは噛合することによ
り、締め付けキャップ４は前記排気ヘツド本体２の上面
に取り付けられる。この取り付け状態において、締め付
けキャップ４の中央部分４ａの下面は、前記弾性変形部
材８に接した状態となる。なお、締め付けキャップ４の
中央部分４ａの下面に、弾性変形部材８を押える押え部
材を介装し、締め付けキャップ４の中央部分４ａの下面
はその押え部材に接し、押え部材の下面が弾性変形部材
８に接した状態となるように構成しても良い。
【００１７】前記排気ヘッド１を構成する締め付けキャ
ップ４の中央部分には、陰極線管等の真空管（図示せ
ず）が導出された排気管１０が挿入される挿入穴４ｂが
形成され、また、その挿入穴４ｂの周囲には円錐形状の
傾斜面４ｃが形成されいる。このように傾斜面４ｃが形
成されているため、排気管１０を前記挿入穴４ｂに挿入
する際、傾斜面４ｃによって案内されるため、容易に排
気管１０を挿入穴４ｂに挿入することができる。
ップ４の中央部分には、陰極線管等の真空管（図示せ
ず）が導出された排気管１０が挿入される挿入穴４ｂが
形成され、また、その挿入穴４ｂの周囲には円錐形状の
傾斜面４ｃが形成されいる。このように傾斜面４ｃが形
成されているため、排気管１０を前記挿入穴４ｂに挿入
する際、傾斜面４ｃによって案内されるため、容易に排
気管１０を挿入穴４ｂに挿入することができる。
【００１８】前記排気ヘッド１を構成する底壁部３は円
柱形を有し、その中心部分には排気通路３ａが形成され
ると共に、その上面にはフィルタ−９を載置部３ｂが形
成されている。この底壁部３は前記排気ヘツド本体２の
中央部分と嵌合、あるいは噛合することにより、底壁部
３は前記排気ヘツド本体２に取り付けられる。この取り
付け状態において、底壁部３の上面は、前記弾性変形部
材８をに接した状態となる。なお、底壁部３上面に、弾
性変形部材８を押える押え部材を介装し、底壁部３上面
はその押え部材に接し、前記押え部材の上面が弾性変形
部材８に接した状態となるように構成しても良い。
柱形を有し、その中心部分には排気通路３ａが形成され
ると共に、その上面にはフィルタ−９を載置部３ｂが形
成されている。この底壁部３は前記排気ヘツド本体２の
中央部分と嵌合、あるいは噛合することにより、底壁部
３は前記排気ヘツド本体２に取り付けられる。この取り
付け状態において、底壁部３の上面は、前記弾性変形部
材８をに接した状態となる。なお、底壁部３上面に、弾
性変形部材８を押える押え部材を介装し、底壁部３上面
はその押え部材に接し、前記押え部材の上面が弾性変形
部材８に接した状態となるように構成しても良い。
【００１９】前記排気ヘッド１の下部には、前記したよ
うに冷却部５に対して、冷却水を供給する冷却水供給管
１１、その冷却水を排出する冷却水排出管１２、排気管
１０から排気するために排気通路３ａに取り付けられた
真空排気用管１３、前記弾性変形部材８に対して、エア
−を入出するエア−管１４が取り付けられている。これ
ら管１１、１２、１３、１４の排気ヘッド１側は金属管
１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａで構成され、その金属
管の１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａの下方にはフレキ
シブル管１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂが接続されて
いる。
うに冷却部５に対して、冷却水を供給する冷却水供給管
１１、その冷却水を排出する冷却水排出管１２、排気管
１０から排気するために排気通路３ａに取り付けられた
真空排気用管１３、前記弾性変形部材８に対して、エア
−を入出するエア−管１４が取り付けられている。これ
ら管１１、１２、１３、１４の排気ヘッド１側は金属管
１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａで構成され、その金属
管の１１ａ、１２ａ、１３ａ、１４ａの下方にはフレキ
シブル管１１ｂ、１２ｂ、１３ｂ、１４ｂが接続されて
いる。
【００２０】また前記排気ヘッド１の下部には、鍔部１
ａが形成され、その下面にはスプリング１５の一端が弾
接している。そして前記スプリング１５の他端は排気装
置の基台１６に対して、弾接している。その結果、前記
排気ヘッド１は排気装置の基台１６に対して、揺動自在
に取り付けられ、排気管１０が所定の位置から位置ずれ
した時に、その位置ずれを吸収できるように構成されて
いる。また上記したように、フレキシブル管１１ｂ、１
２ｂ、１３ｂ、１４ｂが接続されているため、排気ヘッ
ド１の揺動を阻害することもない。
ａが形成され、その下面にはスプリング１５の一端が弾
接している。そして前記スプリング１５の他端は排気装
置の基台１６に対して、弾接している。その結果、前記
排気ヘッド１は排気装置の基台１６に対して、揺動自在
に取り付けられ、排気管１０が所定の位置から位置ずれ
した時に、その位置ずれを吸収できるように構成されて
いる。また上記したように、フレキシブル管１１ｂ、１
２ｂ、１３ｂ、１４ｂが接続されているため、排気ヘッ
ド１の揺動を阻害することもない。
【００２１】次に、弾性変形部材８について、図２に基
づいて詳述すると、弾性変形部材８はエ型形状をなし、
その中央部分には、前記排気管１０が挿入される排気管
挿入穴８ａが形成されている。したがって、前述したエ
ア−入出通路部７からのエア−が導入されると、図中２
点鎖線で示すように、排気管挿入穴８ａを狭める方向に
膨張する。その結果、排気管１０と弾性変形部材８は密
着した状態となる。また前述したエア−入出通路部７か
らのエア−が排出されると、弾性変形部材８は元の状態
に復帰する。このとき、弾性変形部材８が過大な変形
（収縮）をすると、弾性変形部材８の側壁は金属リング
体６に当接し、その変形は防止される。その結果、弾性
変形部材８の変形量は、一定の範囲に限られるため、長
期間の使用にも耐えられる。なお、弾性変形部材８の材
質は弾性変形するものであれば、特に限定されないが、
耐熱性に優れた弾性変形部材であることがより好まし
い。
づいて詳述すると、弾性変形部材８はエ型形状をなし、
その中央部分には、前記排気管１０が挿入される排気管
挿入穴８ａが形成されている。したがって、前述したエ
ア−入出通路部７からのエア−が導入されると、図中２
点鎖線で示すように、排気管挿入穴８ａを狭める方向に
膨張する。その結果、排気管１０と弾性変形部材８は密
着した状態となる。また前述したエア−入出通路部７か
らのエア−が排出されると、弾性変形部材８は元の状態
に復帰する。このとき、弾性変形部材８が過大な変形
（収縮）をすると、弾性変形部材８の側壁は金属リング
体６に当接し、その変形は防止される。その結果、弾性
変形部材８の変形量は、一定の範囲に限られるため、長
期間の使用にも耐えられる。なお、弾性変形部材８の材
質は弾性変形するものであれば、特に限定されないが、
耐熱性に優れた弾性変形部材であることがより好まし
い。
【００２２】次に、図３に基づいて、排気装置の概略を
説明する。前記排気ヘッド１はスプリング１５を介し
て、排気装置の基台１６に対して揺動自在に取り付けら
れている。そして、排気装置の基台１６の上面及び真空
管１７の載置台１８の下面には、基台１６と載置台１８
と距離を一定にする突出部１６ａ、１８ａが形成されて
いる。よって、排気装置の基台１６を上昇させ、あるい
は真空管１７の載置台１８を下降させ、排気管１０を排
気ヘッド１の排気管挿入穴４ｂに挿入する際、その挿入
長さを一定にすることができる。
説明する。前記排気ヘッド１はスプリング１５を介し
て、排気装置の基台１６に対して揺動自在に取り付けら
れている。そして、排気装置の基台１６の上面及び真空
管１７の載置台１８の下面には、基台１６と載置台１８
と距離を一定にする突出部１６ａ、１８ａが形成されて
いる。よって、排気装置の基台１６を上昇させ、あるい
は真空管１７の載置台１８を下降させ、排気管１０を排
気ヘッド１の排気管挿入穴４ｂに挿入する際、その挿入
長さを一定にすることができる。
【００２３】次に本発明にかかる真空管の排気装置の動
作について説明する。まず、排気装置の基台１６を上昇
させ、あるいは真空管１７の載置台１８を下降させ、排
気管１０を排気ヘッド１の排気管挿入穴４ｂ、８ａに挿
入する。このとき突出部１６ａ、１８ａが当接するた
め、排気管１０は排気ヘッド１に対して一定の長さ、排
気管挿入穴４ｂ、８ａに挿入される。この排気管１０の
挿入時に、排気装置の基台１６あるいは真空管１７の載
置台１８が位置づれがあっても、排気管１０は、締め付
けキャップ４の傾斜面４ｃによって、挿入穴４ｂに導か
れる。しかも、排気ヘッド１はスプリング１５によって
揺動自在に構成されているため、その位置づれを排気ヘ
ッド１の移動によって吸収することができる。その結
果、排気管１０にはあまり外力が加わらず、その排気管
１０がガラス管等であっても、破損等することはない。
作について説明する。まず、排気装置の基台１６を上昇
させ、あるいは真空管１７の載置台１８を下降させ、排
気管１０を排気ヘッド１の排気管挿入穴４ｂ、８ａに挿
入する。このとき突出部１６ａ、１８ａが当接するた
め、排気管１０は排気ヘッド１に対して一定の長さ、排
気管挿入穴４ｂ、８ａに挿入される。この排気管１０の
挿入時に、排気装置の基台１６あるいは真空管１７の載
置台１８が位置づれがあっても、排気管１０は、締め付
けキャップ４の傾斜面４ｃによって、挿入穴４ｂに導か
れる。しかも、排気ヘッド１はスプリング１５によって
揺動自在に構成されているため、その位置づれを排気ヘ
ッド１の移動によって吸収することができる。その結
果、排気管１０にはあまり外力が加わらず、その排気管
１０がガラス管等であっても、破損等することはない。
【００２４】そして、エア−管１４からエア−を導入
し、前記弾性変形部材８を膨張させ、排気管１０の外周
面と弾性変形部材８の挿入穴８ａの内壁とを密着させ、
気密状態になす。その後、真空ポンプ（図示せず）を用
いて、真空排気用管１３、排気管１０を介して、真空管
１７から排気する。その後、前記真空管１７からの排気
終了後、溶着手段（図示せず）を用いて排気管１０を溶
着封止する。この溶着封止前には、冷却水供給管１１か
ら冷却部５に対して、冷却水を供給する共に、冷却水排
出管１２から冷却水を排出することによって、排気ヘッ
ド１が所定温度以上に上昇しないようになされる。その
結果、弾性変形部材８は溶着手段（図示せず）からの熱
の影響を極力少なくすることができるため、長期間、使
用することができる。
し、前記弾性変形部材８を膨張させ、排気管１０の外周
面と弾性変形部材８の挿入穴８ａの内壁とを密着させ、
気密状態になす。その後、真空ポンプ（図示せず）を用
いて、真空排気用管１３、排気管１０を介して、真空管
１７から排気する。その後、前記真空管１７からの排気
終了後、溶着手段（図示せず）を用いて排気管１０を溶
着封止する。この溶着封止前には、冷却水供給管１１か
ら冷却部５に対して、冷却水を供給する共に、冷却水排
出管１２から冷却水を排出することによって、排気ヘッ
ド１が所定温度以上に上昇しないようになされる。その
結果、弾性変形部材８は溶着手段（図示せず）からの熱
の影響を極力少なくすることができるため、長期間、使
用することができる。
【００２５】溶着手段（図示せず）を用いた排気管１０
の溶着封止後、エア−管１４から弾性変形部材８を膨張
させたエア−が排出されると、弾性変形部材８は元の状
態に復帰する。このとき弾性変形部材８は金属リング体
６に当接し、その変形は防止される。その結果、弾性変
形部材８の変形量は、一定の範囲に限られるため、長期
間の使用にも耐えられる。そして、排気装置の基台１６
を下降させ、あるいは真空管１７の載置台１８を上昇さ
せて、一連の排気装置の動作が終了する。なお、上記実
施形態にあっては、冷却部に供給するものとして、水を
用いたが排気ヘッドを冷却できる媒体であれば、特に水
に限定されない。
の溶着封止後、エア−管１４から弾性変形部材８を膨張
させたエア−が排出されると、弾性変形部材８は元の状
態に復帰する。このとき弾性変形部材８は金属リング体
６に当接し、その変形は防止される。その結果、弾性変
形部材８の変形量は、一定の範囲に限られるため、長期
間の使用にも耐えられる。そして、排気装置の基台１６
を下降させ、あるいは真空管１７の載置台１８を上昇さ
せて、一連の排気装置の動作が終了する。なお、上記実
施形態にあっては、冷却部に供給するものとして、水を
用いたが排気ヘッドを冷却できる媒体であれば、特に水
に限定されない。
【００２６】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
にかかる真空管の排気装置によれば、弾性変形部材の耐
久性を高めると共に、排気管に均一に力を作用させるこ
とによって、排気管の破損等を防止することができる。
にかかる真空管の排気装置によれば、弾性変形部材の耐
久性を高めると共に、排気管に均一に力を作用させるこ
とによって、排気管の破損等を防止することができる。
【図１】図１は本発明にかかる真空管の排気装置におけ
る排気ヘッドの一実施形態を示す要部拡大断面図であ
る。
る排気ヘッドの一実施形態を示す要部拡大断面図であ
る。
【図２】図２は図１において用いられる弾性変形部材の
側面図である。
側面図である。
【図３】図３は本発明にかかる真空管の排気装置の概略
側面図である。
側面図である。
【図４】図４は従来の真空管の排気装置を示す側面断面
図である。
図である。
【符号の説明】 １ 排気ヘッド ２ 排気ヘッド本体 ３ 底壁部 ３ａ 排気通路 ４ 締め付けキャップ ４ｂ 挿入穴 ５ 冷却部 ６ 金属リング体 ７ エア−入出通路部 ８ 弾性変形部材 ８ａ 挿入穴 ９ フィルタ− １０ 排気管 １１ 冷却水供給管 １２ 冷却水排水管 １３ 真空排気用管 １４ エア−管 １５ スプリング １６ 基台 １７ 真空管 １８ 載置台
Claims (5)
- 【請求項１】 真空管の排気を行う真空管の排気装置に
おいて、排気ヘツドに形成された真空管の排気管が挿入
される挿入穴と、排気ヘツド中に装着され、真空管の排
気管が挿入される挿入穴を備える弾性変形部材と、前記
挿入穴に対応して排気ヘツドに形成された排気通路と、
前記弾性変形部材を膨張、収縮させるために、前記弾性
変形部材に対してエア−を導入、排出するエア−入出通
路部と、前記弾性変形部材を冷却するために、弾性変形
部材の外側に形成された冷却部とを備えたことを特徴と
する真空管の排気装置。 - 【請求項２】 真空管の排気を行う真空管の排気装置に
おいて、排気ヘツドに形成された真空管の排気管が挿入
される挿入穴と、排気ヘツドの中に装着され、真空管の
排気管が挿入される挿入穴を備える弾性変形部材と、前
記挿入穴に対応して排気ヘツドに形成された排気通路
と、前記弾性変形部材を膨張、収縮させるために、前記
弾性変形部材に対してエア−を導入、排出するエア−入
出通路部と、前記弾性変形部材を冷却するために、弾性
変形部材の外側に形成された冷却部と、排気ヘツドの下
面と基台の上面に弾接するスプリングとを備えたことを
特徴とする真空管の排気装置。 - 【請求項３】 エア−入出通路部、冷却部、排気通路に
接続される管の少なくとも一部に、フレキシブルな管が
用いられていることを特徴とする請求項２に記載された
真空管の排気装置。 - 【請求項４】 排気通路にフィルタ−が装着されている
ことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記
載された真空管の排気装置。 - 【請求項５】 真空管の排気管が挿入される挿入穴を備
える弾性変形部材は、排気ヘッドに取り付けられた金属
リング体を介して取り付けられていることを特徴とする
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載された真空管の
排気装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10203998A JP3966606B2 (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 真空管の排気装置 |
| TW88114528A TW429388B (en) | 1998-03-30 | 1999-08-25 | Evacuator for vacuum tube |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10203998A JP3966606B2 (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 真空管の排気装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006011145A Division JP3966891B2 (ja) | 2006-01-19 | 2006-01-19 | 排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11283504A true JPH11283504A (ja) | 1999-10-15 |
| JP3966606B2 JP3966606B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=14316641
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10203998A Expired - Lifetime JP3966606B2 (ja) | 1998-03-30 | 1998-03-30 | 真空管の排気装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3966606B2 (ja) |
| TW (1) | TW429388B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009193850A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Chugai Ro Co Ltd | 排気ヘッドおよび真空排気装置 |
-
1998
- 1998-03-30 JP JP10203998A patent/JP3966606B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-08-25 TW TW88114528A patent/TW429388B/zh not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009193850A (ja) * | 2008-02-15 | 2009-08-27 | Chugai Ro Co Ltd | 排気ヘッドおよび真空排気装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3966606B2 (ja) | 2007-08-29 |
| TW429388B (en) | 2001-04-11 |
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