JPH11277780A - サーマルヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
サーマルヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH11277780A JPH11277780A JP8172798A JP8172798A JPH11277780A JP H11277780 A JPH11277780 A JP H11277780A JP 8172798 A JP8172798 A JP 8172798A JP 8172798 A JP8172798 A JP 8172798A JP H11277780 A JPH11277780 A JP H11277780A
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- glaze layer
- thermal head
- heating resistor
- protective film
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 記録媒体の発熱抵抗体通過後の搬送距離をな
るべく短くしつつ、グレーズ層のチッピングを防ぐため
に、切断領域においてはグレーズ層を薄く形成またはグ
レーズ層を形成しない。 【解決手段】 支持基板１上にグレーズ層２を形成する
工程と、グレーズ層２上に発熱抵抗体３を形成する工程
と、発熱抵抗体３に接続された電極を形成する工程と、
グレーズ層２、発熱抵抗体３および電極の形成された支
持基板１をパターニングする工程と、発熱抵抗体３の少
なくとも発熱部分を被覆するように保護膜５を形成する
工程と、保護膜５の形成された支持基板１を切断機で切
断する工程とを具備し、支持基板の端部において保護膜
の形成面を低くする。
るべく短くしつつ、グレーズ層のチッピングを防ぐため
に、切断領域においてはグレーズ層を薄く形成またはグ
レーズ層を形成しない。 【解決手段】 支持基板１上にグレーズ層２を形成する
工程と、グレーズ層２上に発熱抵抗体３を形成する工程
と、発熱抵抗体３に接続された電極を形成する工程と、
グレーズ層２、発熱抵抗体３および電極の形成された支
持基板１をパターニングする工程と、発熱抵抗体３の少
なくとも発熱部分を被覆するように保護膜５を形成する
工程と、保護膜５の形成された支持基板１を切断機で切
断する工程とを具備し、支持基板の端部において保護膜
の形成面を低くする。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ビデオプリンタや
カード印刷機、製版機等に用いられるサーマルヘッドに
関する。
カード印刷機、製版機等に用いられるサーマルヘッドに
関する。
【０００２】
【従来の技術】サーマルヘッドは、低騒音、低メンテナ
ンスコストおよび低ランニングコスト等の利点があるこ
とから、ファクシミリ、ビデオプリンタあるいは製版機
等の各種ΟＡ機器の感熱式記録装置に多用されるように
なってきた。
ンスコストおよび低ランニングコスト等の利点があるこ
とから、ファクシミリ、ビデオプリンタあるいは製版機
等の各種ΟＡ機器の感熱式記録装置に多用されるように
なってきた。
【０００３】一般に、サーマルヘッドは、次のような構
成からなっている。すなわち、アルミナのような支持基
板上に表面円滑性と蓄熱性の向上を主目的とするグレー
ズガラス層が形成され、グレーズガラス層上に発熱抵抗
体層及びアルミニウム等の導電層を形成した後、フォト
エングレービングプロセスにより複数の発熱抵抗体及び
電極パターンを形成する。さらに、この複数の発熱抵抗
体および電極パターンを保護する為の保護膜をスパッタ
法等の薄膜形成方法により形成した構成である。
成からなっている。すなわち、アルミナのような支持基
板上に表面円滑性と蓄熱性の向上を主目的とするグレー
ズガラス層が形成され、グレーズガラス層上に発熱抵抗
体層及びアルミニウム等の導電層を形成した後、フォト
エングレービングプロセスにより複数の発熱抵抗体及び
電極パターンを形成する。さらに、この複数の発熱抵抗
体および電極パターンを保護する為の保護膜をスパッタ
法等の薄膜形成方法により形成した構成である。
【０００４】電極材料には、導電性、密着力、エッチン
グ性、ワイヤーボンディング性、コスト等総合的に優れ
ていることから、アルミニウムが主として用いられてい
る。このようなサーマルヘッドは、感熱転写型プリンタ
等に用いられている。感熱転写型プリンタである熱溶融
型カラープリンタは、リボンに塗布されたインクをサー
マルヘッドで溶融し印刷紙に転写する記録機構を有して
いる。この機構においては、印刷後、即時にリボンと印
刷紙を剥離することが重要である。というのは、剥離時
間の遅延に伴い、印字により溶融されたインクが凝固し
リボン側に再付着しやすくなり、この結果、印刷紙側へ
の転写が不十分となり、転写性が劣化してしまうためで
ある。特に、平滑性の悪いラフ印刷紙ではもともと転写
性が画質の優劣を決し易いため、短時間での剥離は大き
な課題となっている。
グ性、ワイヤーボンディング性、コスト等総合的に優れ
ていることから、アルミニウムが主として用いられてい
る。このようなサーマルヘッドは、感熱転写型プリンタ
等に用いられている。感熱転写型プリンタである熱溶融
型カラープリンタは、リボンに塗布されたインクをサー
マルヘッドで溶融し印刷紙に転写する記録機構を有して
いる。この機構においては、印刷後、即時にリボンと印
刷紙を剥離することが重要である。というのは、剥離時
間の遅延に伴い、印字により溶融されたインクが凝固し
リボン側に再付着しやすくなり、この結果、印刷紙側へ
の転写が不十分となり、転写性が劣化してしまうためで
ある。特に、平滑性の悪いラフ印刷紙ではもともと転写
性が画質の優劣を決し易いため、短時間での剥離は大き
な課題となっている。
【０００５】このように、転写性を向上するには、短時
間剥離を達成することが重要である。
間剥離を達成することが重要である。
【０００６】図４は、従来のサーマルヘッドの断面図で
ある。発熱抵抗体３が発熱して、その熱がインクリボン
８のベースフィルムに伝播され、さらにインクが溶融さ
れる。この溶融したインクは記録媒体７に転写されて、
１ライン分の印刷が完了する。さらに、次ライン分の印
刷をするために、プラテンローラ６が矢印方向に回転し
て記録媒体７とインクリボン８を搬送する。
ある。発熱抵抗体３が発熱して、その熱がインクリボン
８のベースフィルムに伝播され、さらにインクが溶融さ
れる。この溶融したインクは記録媒体７に転写されて、
１ライン分の印刷が完了する。さらに、次ライン分の印
刷をするために、プラテンローラ６が矢印方向に回転し
て記録媒体７とインクリボン８を搬送する。
【０００７】以上の印刷、搬送工程を繰り返す一方で、
当初の１ライン分の印刷列は端部９に到達する。この時
点より記録媒体７とインクリボン８は剥離可能となり、
インクリボン８のベースフィルムと記録媒体７についた
インクが分離されることになる。
当初の１ライン分の印刷列は端部９に到達する。この時
点より記録媒体７とインクリボン８は剥離可能となり、
インクリボン８のベースフィルムと記録媒体７についた
インクが分離されることになる。
【０００８】この搬送距離（ＲＥ）に要する時間だけ剥
離は遅延することになる。従って、短時間剥離を達成す
るためには距離ＲＥを小さくすることが必要となる。一
般に、距離ＲＥは数十ミクロン程度であることが短時間
剥離に必要とされる。すなわち、ＲＥを短くするにはま
ず、発熱抵抗体３が基板１の端部９のより近くに形成さ
れていることが必要となる。
離は遅延することになる。従って、短時間剥離を達成す
るためには距離ＲＥを小さくすることが必要となる。一
般に、距離ＲＥは数十ミクロン程度であることが短時間
剥離に必要とされる。すなわち、ＲＥを短くするにはま
ず、発熱抵抗体３が基板１の端部９のより近くに形成さ
れていることが必要となる。
【０００９】発熱抵抗体３を端部９近くに配置すると、
製造上次のような問題があった。すなわち、通常、グレ
ーズ層、発熱抵抗体、電極および保護膜が形成された支
持基板を切断して加工する際、切断部、つまり端部の保
護膜、電極およびグレーズ層が欠けてしまい、端部近く
にある発熱抵抗体にその損傷がひびいて、サーマルヘッ
ドとしては致命的に損傷を受けることになる。切断は、
精密維持の必要性よりダイシングにより行われることが
多く、このダイシングにおいては数十ミクロン程のグレ
ーズチッピングが生じ易い。数十ミクロン程度であって
も、チッピングが発熱抵抗体３に達し不良製品となるな
ど歩留まりが著しく低いという問題があった。さらに、
保護膜にチッピングが生じると、電極まで欠損してしま
う可能性があり、性能上問題があった。
製造上次のような問題があった。すなわち、通常、グレ
ーズ層、発熱抵抗体、電極および保護膜が形成された支
持基板を切断して加工する際、切断部、つまり端部の保
護膜、電極およびグレーズ層が欠けてしまい、端部近く
にある発熱抵抗体にその損傷がひびいて、サーマルヘッ
ドとしては致命的に損傷を受けることになる。切断は、
精密維持の必要性よりダイシングにより行われることが
多く、このダイシングにおいては数十ミクロン程のグレ
ーズチッピングが生じ易い。数十ミクロン程度であって
も、チッピングが発熱抵抗体３に達し不良製品となるな
ど歩留まりが著しく低いという問題があった。さらに、
保護膜にチッピングが生じると、電極まで欠損してしま
う可能性があり、性能上問題があった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、記録
媒体への良好な転写性を得るには、記録媒体と、それに
印字されたインクとインクリボンのベースフィルムが発
熱抵抗体通過後即時に剥離されることが望ましいが、発
熱抵抗体通過後、記録媒体とインクリボンが剥離される
までの距離を短くするために、発熱抵抗体をなるべく基
板の端部近くに形成すると、ダイシングの際にグレーズ
層にチッピングが生じて不良品となりやすいという問題
があった。
媒体への良好な転写性を得るには、記録媒体と、それに
印字されたインクとインクリボンのベースフィルムが発
熱抵抗体通過後即時に剥離されることが望ましいが、発
熱抵抗体通過後、記録媒体とインクリボンが剥離される
までの距離を短くするために、発熱抵抗体をなるべく基
板の端部近くに形成すると、ダイシングの際にグレーズ
層にチッピングが生じて不良品となりやすいという問題
があった。
【００１１】本発明はこれを解決するためになされたも
ので、記録媒体の発熱抵抗体通過後の搬送距離をなるべ
く短くしつつ、同時にグレーズ層のチッピングを防ぐた
めに、切断領域においてはグレーズ層を薄く形成または
グレーズ層を形成しないサーマルヘッドおよびその製造
方法を提供することを目的とする。
ので、記録媒体の発熱抵抗体通過後の搬送距離をなるべ
く短くしつつ、同時にグレーズ層のチッピングを防ぐた
めに、切断領域においてはグレーズ層を薄く形成または
グレーズ層を形成しないサーマルヘッドおよびその製造
方法を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明のサーマルヘッド
は、支持基板と、支持体上に形成されたグレーズ層と、
グレーズ層上に形成された発熱抵抗体と、発熱抵抗体に
接続された電極層と、発熱抵抗体の発熱部分を少なくと
も被覆するように設けられた保護膜とを具備し、支持基
板の端部において保護膜の形成面が低くなっていること
を特徴としている。 本発明に係るサーマルヘッドは、
支持基板の端部において、発熱抵抗体形成面と保護膜と
が、具体的には、１５μｍ以上、好ましくは１０μｍ以
上の段差を有している。本発明によれば、チッピングな
どの歩留まり悪化要因を抑え、かつ数十ミクロン程度の
記録媒体の搬送距離を達成することが可能となる。
は、支持基板と、支持体上に形成されたグレーズ層と、
グレーズ層上に形成された発熱抵抗体と、発熱抵抗体に
接続された電極層と、発熱抵抗体の発熱部分を少なくと
も被覆するように設けられた保護膜とを具備し、支持基
板の端部において保護膜の形成面が低くなっていること
を特徴としている。 本発明に係るサーマルヘッドは、
支持基板の端部において、発熱抵抗体形成面と保護膜と
が、具体的には、１５μｍ以上、好ましくは１０μｍ以
上の段差を有している。本発明によれば、チッピングな
どの歩留まり悪化要因を抑え、かつ数十ミクロン程度の
記録媒体の搬送距離を達成することが可能となる。
【００１３】本発明のサーマルヘッドにおいて、発熱抵
抗体は端部に近接した位置にあることを特徴としてい
る。発熱抵抗体の中心から端部までの距離は、数十ミク
ロン程度であり、これが記録媒体の搬送距離となる。搬
送距離を短くすることによって、特に熱溶融型プリンタ
において優れた転写性を実現することができる。
抗体は端部に近接した位置にあることを特徴としてい
る。発熱抵抗体の中心から端部までの距離は、数十ミク
ロン程度であり、これが記録媒体の搬送距離となる。搬
送距離を短くすることによって、特に熱溶融型プリンタ
において優れた転写性を実現することができる。
【００１４】本発明のサーマルヘッドにおけるグレーズ
層の形成厚さは、０．０１〜０．１０ｍｍであって、端
部においては０〜１０μｍであることを特徴としてい
る。グレーズ層の端部における厚さは、好ましくは０．
０３〜０．０８μｍ、最も好ましくは０．０６μｍであ
る。グレーズ層を端部においてごく薄くまたは全くグレ
ーズ層のない状態とすることによって、端部が切断され
る際のグレーズ層のチッピングを効果的に防止すること
ができる。
層の形成厚さは、０．０１〜０．１０ｍｍであって、端
部においては０〜１０μｍであることを特徴としてい
る。グレーズ層の端部における厚さは、好ましくは０．
０３〜０．０８μｍ、最も好ましくは０．０６μｍであ
る。グレーズ層を端部においてごく薄くまたは全くグレ
ーズ層のない状態とすることによって、端部が切断され
る際のグレーズ層のチッピングを効果的に防止すること
ができる。
【００１５】本発明のサーマルヘッドにおいて、グレー
ズ層は端部から５０〜１００μｍ手前においては形成さ
れていないことを特徴としている。好ましくは、グレー
ズ層は端部から１０〜７０μｍ、より好ましくは３０〜
５０μｍ手前において形成されていない。端部周辺にお
いてグレーズ層のない状態とすることによって、端部が
切断される際のグレーズ層のチッピングを効果的に防止
することができる。
ズ層は端部から５０〜１００μｍ手前においては形成さ
れていないことを特徴としている。好ましくは、グレー
ズ層は端部から１０〜７０μｍ、より好ましくは３０〜
５０μｍ手前において形成されていない。端部周辺にお
いてグレーズ層のない状態とすることによって、端部が
切断される際のグレーズ層のチッピングを効果的に防止
することができる。
【００１６】本発明のサーマルヘッドの製造方法は、支
持基板上にグレーズ層を形成する工程と、グレーズ層上
に発熱抵抗体を形成する工程と、発熱抵抗体に接続され
た電極を形成する工程と、グレーズ層、発熱抵抗体およ
び電極の形成された支持基板をパターニングする工程
と、発熱抵抗体の少なくとも発熱部分を被覆するように
保護膜を形成する工程と、保護膜の形成された支持基板
を切断機で切断する工程とを具備し、支持基板の端部に
おいて保護膜の形成面を低くすることを特徴としてい
る。
持基板上にグレーズ層を形成する工程と、グレーズ層上
に発熱抵抗体を形成する工程と、発熱抵抗体に接続され
た電極を形成する工程と、グレーズ層、発熱抵抗体およ
び電極の形成された支持基板をパターニングする工程
と、発熱抵抗体の少なくとも発熱部分を被覆するように
保護膜を形成する工程と、保護膜の形成された支持基板
を切断機で切断する工程とを具備し、支持基板の端部に
おいて保護膜の形成面を低くすることを特徴としてい
る。
【００１７】本発明に係るサーマルヘッドの製造方法に
よれば、支持基板の端部において、発熱抵抗体形成面と
保護膜とが、具体的には、１５μｍ以上、好ましくは１
０μｍ以上の段差を有するように形成されている。本発
明によれば、チッピングなどの歩留まり悪化要因を抑
え、かつ数十ミクロン程度の記録媒体の搬送距離を達成
することが可能となる。
よれば、支持基板の端部において、発熱抵抗体形成面と
保護膜とが、具体的には、１５μｍ以上、好ましくは１
０μｍ以上の段差を有するように形成されている。本発
明によれば、チッピングなどの歩留まり悪化要因を抑
え、かつ数十ミクロン程度の記録媒体の搬送距離を達成
することが可能となる。
【００１８】本発明のサーマルヘッドの製造方法におい
て、発熱抵抗体は端部に近接した位置にあることを特徴
としている。発熱抵抗体の中心から端部までの距離は、
数十ミクロン程度であり、これが記録媒体の搬送距離と
なる。搬送距離を短くすることによって、特に熱溶融型
プリンタにおいて優れた転写性を実現することができ
る。
て、発熱抵抗体は端部に近接した位置にあることを特徴
としている。発熱抵抗体の中心から端部までの距離は、
数十ミクロン程度であり、これが記録媒体の搬送距離と
なる。搬送距離を短くすることによって、特に熱溶融型
プリンタにおいて優れた転写性を実現することができ
る。
【００１９】本発明のサーマルヘッドの製造方法におい
て、グレーズ層の形成厚さは、０．０１〜０．１０ｍｍ
であって、端部においては０〜１０μｍであることを特
徴としている。グレーズ層の端部における厚さは、好ま
しくは０．０３〜０．０８μｍ、最も好ましくは０．０
６μｍである。グレーズ層を端部においてごく薄くまた
は全くグレーズ層のない状態とすることによって、端部
が切断される際のグレーズ層のチッピングを効果的に防
止することができる。
て、グレーズ層の形成厚さは、０．０１〜０．１０ｍｍ
であって、端部においては０〜１０μｍであることを特
徴としている。グレーズ層の端部における厚さは、好ま
しくは０．０３〜０．０８μｍ、最も好ましくは０．０
６μｍである。グレーズ層を端部においてごく薄くまた
は全くグレーズ層のない状態とすることによって、端部
が切断される際のグレーズ層のチッピングを効果的に防
止することができる。
【００２０】本発明のサーマルヘッドの製造方法におい
て、グレーズ層を、端部から５０〜１００μｍ手前にお
いては形成しないことを特徴としている。好ましくは、
グレーズ層は端部から１０〜７０μｍ、より好ましくは
３０〜５０μｍ手前において形成されていない。端部周
辺においてグレーズ層のない状態とすることによって、
端部が切断される際のグレーズ層のチッピングを効果的
に防止することができる。
て、グレーズ層を、端部から５０〜１００μｍ手前にお
いては形成しないことを特徴としている。好ましくは、
グレーズ層は端部から１０〜７０μｍ、より好ましくは
３０〜５０μｍ手前において形成されていない。端部周
辺においてグレーズ層のない状態とすることによって、
端部が切断される際のグレーズ層のチッピングを効果的
に防止することができる。
【００２１】本発明のサーマルヘッドの製造方法におい
て、グレーズ層は、所定の間隔をおいてパターン化さ
れ、電極はグレーズ層の前記所定の間隔よりも広い間隔
をおいてパターン化されることを特徴としている。ま
た、本発明のサーマルヘッドの製造方法において、所定
の間隔とは、切断機の刃の幅に合わせたものである。切
断機の刃に合わせてグレーズ層をパターン化すること
で、切断される保護膜の下にはグレーズ層がなくなり、
グレーズ層が切断機により欠損する恐れがなくなる。ま
た、電極はグレーズ層よりさらに内側にあるため、同様
に切断機により欠損する恐れはない。従って、グレーズ
層および電極のチッピングを効果的に防止することがで
きる。
て、グレーズ層は、所定の間隔をおいてパターン化さ
れ、電極はグレーズ層の前記所定の間隔よりも広い間隔
をおいてパターン化されることを特徴としている。ま
た、本発明のサーマルヘッドの製造方法において、所定
の間隔とは、切断機の刃の幅に合わせたものである。切
断機の刃に合わせてグレーズ層をパターン化すること
で、切断される保護膜の下にはグレーズ層がなくなり、
グレーズ層が切断機により欠損する恐れがなくなる。ま
た、電極はグレーズ層よりさらに内側にあるため、同様
に切断機により欠損する恐れはない。従って、グレーズ
層および電極のチッピングを効果的に防止することがで
きる。
【００２２】本発明のサーマルヘッドの製造方法におい
て、グレーズ層のパターン化はエッチングにより行われ
る。具体的にはフォトリソグラフィプロセスによりエッ
チングが行われる。これにより、簡便にかつ正確にグレ
ーズ層がパターニングすることができる。
て、グレーズ層のパターン化はエッチングにより行われ
る。具体的にはフォトリソグラフィプロセスによりエッ
チングが行われる。これにより、簡便にかつ正確にグレ
ーズ層がパターニングすることができる。
【００２３】本発明において用いる支持基板としては、
通常、アルミナセラミックス等の基板が使用されるが、
特に限定されるものではない。基板の厚さは例えば０．
８〜１．０ｍｍとする。
通常、アルミナセラミックス等の基板が使用されるが、
特に限定されるものではない。基板の厚さは例えば０．
８〜１．０ｍｍとする。
【００２４】支持基板上に形成される発熱抵抗体として
は、ニッケル、クロム、タンタル等の安定性の高い金属
材料の窒化物や、Ｔａ−ＳｉＯ2 、Νｂ−ＳｉＯ2 、Ｔ
ｉ−ＳｉＯ2 等の各種サーメット材料を適宜用いること
ができる。発熱抵抗体の厚さは１００ｎｍ程度である。
は、ニッケル、クロム、タンタル等の安定性の高い金属
材料の窒化物や、Ｔａ−ＳｉＯ2 、Νｂ−ＳｉＯ2 、Ｔ
ｉ−ＳｉＯ2 等の各種サーメット材料を適宜用いること
ができる。発熱抵抗体の厚さは１００ｎｍ程度である。
【００２５】また、グレーズガラス層としては、例え
ば、二酸化珪素あるいは二酸化珪素にカルシウム、バリ
ウム、アルミニウム、ストロンチウム等が混合したもの
が使用されるが、特に限定されるものではない。ただ
し、サーマルプリントヘッドの抵抗値の上昇を防止する
ことから、グレーズガラス層のガラス転移点は、６７０
℃以上であることが望ましい。
ば、二酸化珪素あるいは二酸化珪素にカルシウム、バリ
ウム、アルミニウム、ストロンチウム等が混合したもの
が使用されるが、特に限定されるものではない。ただ
し、サーマルプリントヘッドの抵抗値の上昇を防止する
ことから、グレーズガラス層のガラス転移点は、６７０
℃以上であることが望ましい。
【００２６】発熱抵抗体に接続される電極としては、一
般的に用いられているＡｌ、Ａｌ−Ｓｉ、Ａｌ−Ｓｉ−
Ｃｕ等が用いられるが、特に限定はされない。この電極
の膜厚は０．００１ｍｍ程度である。
般的に用いられているＡｌ、Ａｌ−Ｓｉ、Ａｌ−Ｓｉ−
Ｃｕ等が用いられるが、特に限定はされない。この電極
の膜厚は０．００１ｍｍ程度である。
【００２７】さらに、発熱抵抗体の少なくとも発熱部分
を被覆するように形成される保護膜は通常、Ｓｉ−Ｏ−
Ｎ系の保護膜であり、通常の構成成分である窒化珪素お
よび二酸化珪素からなる粉体の焼結体をターゲットとし
たスパッタ法によって形成される。この保護膜の膜厚は
０．００５ｍｍ程度である。
を被覆するように形成される保護膜は通常、Ｓｉ−Ｏ−
Ｎ系の保護膜であり、通常の構成成分である窒化珪素お
よび二酸化珪素からなる粉体の焼結体をターゲットとし
たスパッタ法によって形成される。この保護膜の膜厚は
０．００５ｍｍ程度である。
【００２８】また、本発明のサーマルヘッドの製造にあ
たっては、基板上に、グレーズ層、発熱抵抗体、電極層
および保護膜を形成してからダイシングされるが、この
ダイシングで用いられる円盤状カッターブレードの幅は
通常０．１〜３ｍｍ程度である。
たっては、基板上に、グレーズ層、発熱抵抗体、電極層
および保護膜を形成してからダイシングされるが、この
ダイシングで用いられる円盤状カッターブレードの幅は
通常０．１〜３ｍｍ程度である。
【００２９】本発明のサーマルヘッドは、特に熱転写溶
融型プリンタに好適に用いられる。本発明のサーマルヘ
ッドが対象とする記録媒体は特に限られるものではない
が、感熱紙や製版フィルム、印画紙等が例示される。
融型プリンタに好適に用いられる。本発明のサーマルヘ
ッドが対象とする記録媒体は特に限られるものではない
が、感熱紙や製版フィルム、印画紙等が例示される。
【００３０】
【発明の実施の形態】本発明のサーマルヘッドおよびサ
ーマルヘッドの製造方法を以下に詳しく説明する。
ーマルヘッドの製造方法を以下に詳しく説明する。
【００３１】図１は、本発明のサーマルヘッドの一実施
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
【００３２】支持基板１上にグレーズ層２を焼き付け又
は印刷により形成し、このグレーズ層２上に発熱抵抗体
３を形成し、さらに発熱抵抗体３に接続された電極４を
形成した後、グレーズ層２、発熱抵抗体３および電極４
の形成された支持基板１をパターニングする。このパタ
ーニングの際、サーマルヘッドの端部におけるグレーズ
層は、フォトエッチングプロセスによる化学的除去、も
しくはサンドブラストによる機械的除去により除去す
る。グレーズ印刷時に除去予定部を予め非グレージング
部とする手法は望ましくない。これは、グレーズ印刷後
の焼成によりグレーズエッジがだれるためであり、形状
制御が困難となるためである。さらに、発熱抵抗体３の
少なくとも発熱部分を被覆するように保護膜５を形成
し、保護膜５が形成された支持基板を切断機で切断して
複数のサーマルヘッドが形成される。
は印刷により形成し、このグレーズ層２上に発熱抵抗体
３を形成し、さらに発熱抵抗体３に接続された電極４を
形成した後、グレーズ層２、発熱抵抗体３および電極４
の形成された支持基板１をパターニングする。このパタ
ーニングの際、サーマルヘッドの端部におけるグレーズ
層は、フォトエッチングプロセスによる化学的除去、も
しくはサンドブラストによる機械的除去により除去す
る。グレーズ印刷時に除去予定部を予め非グレージング
部とする手法は望ましくない。これは、グレーズ印刷後
の焼成によりグレーズエッジがだれるためであり、形状
制御が困難となるためである。さらに、発熱抵抗体３の
少なくとも発熱部分を被覆するように保護膜５を形成
し、保護膜５が形成された支持基板を切断機で切断して
複数のサーマルヘッドが形成される。
【００３３】端部９において保護膜５が距離ｃ（１０μ
ｍ程度）だけ低くなっている。この段差があることによ
り、発熱抵抗体３位置においてプラテンローラ６からの
圧力が加わることにより記録媒体７にインクリボン８の
インクが付着して印字がなされた後、インクリボン８の
インクとベースフィルムとを即時に剥離させることがで
きる。このように本発明によれば、従来の搬送距離ＲＥ
に比べてｗ１（５０〜１００μｍ程度）分だけ搬送距離
を短くすることができ、数十ミクロン程のＲＥ距離を達
成することが可能となる。
ｍ程度）だけ低くなっている。この段差があることによ
り、発熱抵抗体３位置においてプラテンローラ６からの
圧力が加わることにより記録媒体７にインクリボン８の
インクが付着して印字がなされた後、インクリボン８の
インクとベースフィルムとを即時に剥離させることがで
きる。このように本発明によれば、従来の搬送距離ＲＥ
に比べてｗ１（５０〜１００μｍ程度）分だけ搬送距離
を短くすることができ、数十ミクロン程のＲＥ距離を達
成することが可能となる。
【００３４】なお、図１では一例としてグレーズの全く
無い例を示したが、チッピングを防上するという観点か
らは、グレーズの総厚すべてを削除する必要は無く、距
離ｃの除去深ささえ確保できれば、図２に示すようにグ
レーズ層が保護膜の下に残っていてもよい。
無い例を示したが、チッピングを防上するという観点か
らは、グレーズの総厚すべてを削除する必要は無く、距
離ｃの除去深ささえ確保できれば、図２に示すようにグ
レーズ層が保護膜の下に残っていてもよい。
【００３５】図３（ａ）および（ｂ）に、パターニング
後、保護膜を形成された基板を円盤状カッターで切断さ
れる部位を示してある。サーマルヘッドの端部におい
て、（ａ）はグレーズ層のない例、（ｂ）はグレーズ層
を薄く残した例である。これらの図において、距離ｃは
前述の通り１０μｍ程度、ｗ２はｗ１の倍、すなわち１
００〜２００μｍ程度である。
後、保護膜を形成された基板を円盤状カッターで切断さ
れる部位を示してある。サーマルヘッドの端部におい
て、（ａ）はグレーズ層のない例、（ｂ）はグレーズ層
を薄く残した例である。これらの図において、距離ｃは
前述の通り１０μｍ程度、ｗ２はｗ１の倍、すなわち１
００〜２００μｍ程度である。
【００３６】
【発明の効果】本発明のサーマルヘッドおよびその製造
方法によれば、端部においてグレーズ層を薄く形成また
はグレーズ層を形成しないことによって保護膜の形成面
を低くした構造とすることにより、チッピング発生要因
が回避され歩留まりを悪化させることなく、記録媒体の
発熱抵抗体通過後の搬送距離をなるべく短くして良好な
転写性を実現することができる。
方法によれば、端部においてグレーズ層を薄く形成また
はグレーズ層を形成しないことによって保護膜の形成面
を低くした構造とすることにより、チッピング発生要因
が回避され歩留まりを悪化させることなく、記録媒体の
発熱抵抗体通過後の搬送距離をなるべく短くして良好な
転写性を実現することができる。
【図１】 本発明の一実施例によるサーマルヘッドの断
面図。
面図。
【図２】 本発明の他の実施例によるサーマルヘッドの
断面図。
断面図。
【図３】 本発明のサーマルヘッドの切断前の加工の状
態を示す断面図。
態を示す断面図。
【図４】 従来のサーマルヘッドの断面図。
１……発熱基板 ２……グレーズ層 ３……アルミニウム電極 ４……保護膜 ５……発熱抵抗体 ６…プラテンローラ ７……記録媒体 ８……インクリボン ９……端部
Claims (11)
- 【請求項１】 支持基板と、前記支持体上に形成された
グレーズ層と、前記グレーズ層上に形成された発熱抵抗
体と、前記発熱抵抗体に接続された電極層と、前記発熱
抵抗体の発熱部分を少なくとも被覆するように設けられ
た保護膜とを具備するサーマルヘッドにおいて、 前記支持基板の端部において前記保護膜の形成面が低く
なっていることを特徴とするサーマルヘッド。 - 【請求項２】 前記発熱抵抗体は、前記端部に近接した
位置にあることを特徴とする請求項１記載のサーマルヘ
ッド。 - 【請求項３】 前記グレーズ層の形成厚さは、０．０１
〜０．１０ｍｍであって、前記端部においては０〜１０
μｍであることを特徴とする請求項１記載のサーマルヘ
ッド。 - 【請求項４】 前記グレーズ層は、前記端部から５０〜
１００μｍ手前においては形成されていないことを特徴
とする請求項１記載のサーマルヘッド。 - 【請求項５】 支持基板上にグレーズ層を形成する工程
と、前記グレーズ層上に発熱抵抗体を形成する工程と、
前記発熱抵抗体に接続された電極を形成する工程と、前
記グレーズ層、前記発熱抵抗体および前記電極の形成さ
れた前記支持基板をパターニングする工程と、前記発熱
抵抗体の少なくとも発熱部分を被覆するように保護膜を
形成する工程と、前記保護膜の形成された前記支持基板
を切断機で切断する工程とを具備するサーマルヘッドの
製造方法において、 前記支持基板の端部において前記保護膜の形成面を低く
することを特徴とするサーマルヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 前記発熱抵抗体は、前記端部に近接した
位置にあることを特徴とする請求項５記載のサーマルヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項７】 前記グレーズ層の形成厚さは、０．０１
〜０．１０ｍｍであって、前記端部においては０〜１０
μｍであることを特徴とする請求項５記載のサーマルヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項８】 前記グレーズ層を、前記端部から５０〜
１００μｍ手前においては形成しないことを特徴とする
請求項５記載のサーマルヘッドの製造方法。 - 【請求項９】 前記グレーズ層は、所定の間隔をおいて
パターン化され、前記電極は前記グレーズ層の前記所定
の間隔よりも広い間隔をおいてパターン化されることを
特徴とする請求項８記載のサーマルヘッドの製造方法。 - 【請求項１０】 前記所定の間隔とは、前記切断機の刃
の幅に合わせたものであることを特徴とする請求項９記
載のサーマルヘッドの製造方法。 - 【請求項１１】 前記グレーズ層のパターン化はエッチ
ングにより行われることを特徴とする請求項５記載のサ
ーマルヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8172798A JPH11277780A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | サーマルヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8172798A JPH11277780A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | サーマルヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11277780A true JPH11277780A (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=13754457
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8172798A Withdrawn JPH11277780A (ja) | 1998-03-27 | 1998-03-27 | サーマルヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11277780A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010000599A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッド |
| JP2010253739A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
| JP2013071355A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
| JP2021084426A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッド及びサーマルプリンタ |
-
1998
- 1998-03-27 JP JP8172798A patent/JPH11277780A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010000599A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッド |
| JP2010253739A (ja) * | 2009-04-23 | 2010-11-11 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
| JP2013071355A (ja) * | 2011-09-28 | 2013-04-22 | Toshiba Hokuto Electronics Corp | サーマルプリントヘッドおよびその製造方法 |
| JP2021084426A (ja) * | 2019-11-29 | 2021-06-03 | 京セラ株式会社 | サーマルヘッド及びサーマルプリンタ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050607 |