JPH11277668A

JPH11277668A - 日射遮蔽ガラス

Info

Publication number: JPH11277668A
Application number: JP8160398A
Authority: JP
Inventors: Terufusa Kunisada; 照房國定; Daisuke Arai; 大介新井; Etsuo Ogino; 悦男荻野; Matoshi Nakamura; 真記中村; Kenji Murata; 健治村田
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 1998-03-27
Filing date: 1998-03-27
Publication date: 1999-10-12

Abstract

(57)【要約】【課題】高い可視光透過率を有し、日射遮蔽性能が著
しく高く、かつ、ビル用としての装飾性も兼備する日射
遮蔽ガラスを提供する。【解決手段】ガラス板に第１の誘電体膜／第１のＡｇ
膜／第２の誘電体膜／第２のＡｇ膜／第３の誘電体膜を
積層した日射遮蔽ガラス。可視光透過率が４０％以上７
０％未満、可視光反射率が１５％より大３０％以下。第
１及び第２のＡｇ膜の膜厚の和が２５〜３５ｎｍ。第１
のＡｇ膜の膜厚が第２のＡｇ膜の膜厚の３０％以上５０
％未満。下記式で定義されるＡｇ膜の比抵抗ＳＲが７×
１０^-6Ω・ｃｍ以下。ＳＲ＝Ｒ×（ｄ₁＋ｄ₂）ｄ₁；第１のＡｇを主成分とする膜の膜厚（ｃｍ）ｄ₂；第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚（ｃｍ）Ｒ；日射遮蔽ガラスのシート抵抗（Ω／□）ＳＲ；日射遮蔽ガラスのＡｇを主成分とする膜の比抵抗
（Ω・ｃｍ）

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高い可視光線透過
率を有し、遮熱性能に優れる日射遮蔽ガラスに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、省エネルギーに対する社会の意識
が高まり、ビル用あるいは住宅用ガラスに日射遮蔽性能
に優れた熱線反射ガラスが要求されている。

【０００３】熱線反射ガラスは、室内側のガラス表面上
にＣｒ、Ｔｉ等の金属膜、ＴｉＮ、ＣｒＮ等の金属窒化
物、ＳｎＯ₂、ＴｉＯ₂等の金属酸化物の単層膜又はこれ
らの多層膜を積層した構造であり、太陽光を遮蔽する特
性を有するため、太陽光線の室内への侵入を防止し、室
内の温度上昇を抑制する。

【０００４】一般に、ビルでは発熱源が多く、ビル内を
快適に保つための空調費用の大半を冷房費が占める。従
って、このような熱線反射ガラスをビルの窓ガラス等に
使用することにより、太陽光線による温度上昇を抑制
し、空調費を大幅に削減できる。

【０００５】熱線反射ガラスはまた、鮮やかな色調を有
するため、これをビルに使用することにより装飾的に優
れる外観を付与でき、ビルの存在感を主張する効果も併
せ持つ。

【０００６】一方、住宅用窓ガラスには、誘電体膜とＡ
ｇを主成分とする膜とを交互に積層した多層膜を用いた
低輻射熱膜付きガラスを用いた複層ガラスが普及しつつ
ある。

【０００７】低輻射熱膜付きガラスは、可視光線に対し
て高い透過性を有し、かつ近赤外光に対して高い反射性
を有する特性を有する。この特性により太陽光線に含ま
れる可視光線を透過し、可視光線より長い波長の太陽光
線を反射する。即ち、低輻射熱膜付きガラスには、日射
遮蔽性能に優れ、且つ高い可視光透過率を維持できると
いう選択透過性能に優れるという特徴がある。この特徴
により夏期の太陽光線による室内の温度上昇が抑制で
き、結果的に冷房費削減に効果的である。ただし、可視
光は透過するため、室内が暗くなることはなく、また、
室内から室外を見た場合に、室外が暗く見えることもな
い。

【０００８】前記低輻射熱膜付きガラスを用いた複層ガ
ラスでは、室内の熱を屋外に逃がさない断熱効果も奏さ
れる。これにより冬期においては、暖房による屋内の熱
を屋外に逃がさない効果が得られ、結果として暖房費の
削減が図れる。

【０００９】なお、特公平８−３２４３６号公報には、
ガラス板上に、ＺｎＯ層とＡｇ層とを交互に積層した、
可視光線透過率が７０％以上で赤外線反射率の高い導電
性ガラスが記載されている。この特公平８−３２４３６
号公報では、Ａｇ層の厚さは７０〜２５０Å（７〜２５
ｎｍ）とされているが、実際には、ＺｎＯ層／Ａｇ層／
ＺｎＯ層／Ａｇ層／ＺｎＯ層の５層積層構造において、
各Ａｇ層の厚さは１２０Å、合計で２４０Å（２４ｎ
ｍ）となっている。

【００１０】

【発明の実施の形態】熱線反射ガラスに用いられる材料
には、可視光線を透過し、近赤外光線を反射するという
選択透過性が無いために、日射遮蔽性能を高めた場合、
同時に可視光透過率が低下してしまう。このために、熱
線反射ガラスを用いた建造物の室内から室外を見た場合
に、外の景色が日暮れ時のように暗く見える。あるい
は、日中でも室内が暗いという問題があった。

【００１１】一方、低輻射熱膜付きガラス、例えば、誘
電体膜とＡｇ膜とを交互に５層積層した低輻射膜付きガ
ラスを用いた複層ガラスをビル用に使用することによ
り、高い可視光線透過性と日射遮蔽性を同時に付与でき
る。従って、日中の室内を明るく保ったまま、冷房費の
削減が可能になる。

【００１２】しかし、従来の低輻射熱膜付きガラスを用
いた複層ガラスの日射遮蔽性能は、熱線反射ガラスの日
射遮蔽性よりも劣るために、ビル用としては日射遮蔽性
能が不十分であり、冷房費削減に対する効果も十分とは
言えない。

【００１３】即ち、ビルでは、空調費の大半を冷房費が
占めることから、冷房費の削減が優先課題であり、従来
知られている住宅用低輻射熱膜付きガラスを用いた複層
ガラスでは、冷房費の削減効果が十分でないことから、
ビル用ガラスとして最適なガラスとは言えない。

【００１４】本発明は、上記従来の問題点を解決し、高
い可視光透過率を有しつつ、従来の低輻射熱膜付きガラ
スを用いた複層ガラスの日射遮蔽性を改善し、日射遮蔽
性能を大幅に高め、併せてビル用としての装飾性をも兼
ね備えた日射遮蔽ガラスを提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明の日射遮蔽ガラス
は、透明ガラス板上の一方の板面に、該ガラス板側から
順に、第１の誘電体膜、第１のＡｇを主成分とする膜、
第２の誘電体膜、第２のＡｇを主成分とする膜及び第３
の誘電体膜が積層形成されている日射遮蔽ガラスにおい
て、該日射遮蔽ガラスの可視光透過率が４０％以上７０
％未満、他方の板面側の可視光反射率が１５％より大き
く３０％以下であり、第１及び第２のＡｇを主成分とす
る膜の膜厚の和が２５〜３５ｎｍで、第１のＡｇを主成
分とする膜の膜厚が第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚
の３０％以上５０％未満であり、かつ、下記式で定義さ
れるＡｇを主成分とする膜の比抵抗ＳＲが７×１０^-6Ω
・ｃｍ以下であることを特徴とする。

【００１６】なお、以下において、日射遮蔽ガラスの積
層膜形成面側を「被覆面」と称し、膜を形成していない
面を「非被覆面」と称す場合がある。

【００１７】ＳＲ＝Ｒ×（ｄ₁＋ｄ₂）ｄ₁；第１のＡｇを主成分とする膜の膜厚（ｃｍ）ｄ₂；第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚（ｃｍ）Ｒ；日射遮蔽ガラスのシート抵抗（Ω／□）ＳＲ；日射遮蔽ガラスのＡｇを主成分とする膜の比抵抗
（Ω・ｃｍ）なお、日射遮蔽ガラスのシート抵抗の測定には、図１に
示す如く、日射遮蔽ガラス１を１０ｃｍ×１２ｃｍに切
断し、誘電体膜等の積層膜上に、図１に示す形状にハン
ダで電極２Ａ，２Ｂを取り付け、この電極２Ａ，２Ｂ間
の電気抵抗を測定する。この測定値を日射遮蔽ガラスの
シート抵抗Ｒと定義する。

【００１８】誘電体膜とＡｇを主成分とする膜を交互に
５層積層した日射遮蔽ガラスでは、Ａｇを主成分とする
膜の性質により可視光を透過し、可視光波長領域より長
い波長の光を反射し、可視光波長領域より波長の長い光
の透過率を低減する。この性質を利用して可視光のみ選
択的に透過する選択透過性能を付与している。

【００１９】この選択透過性能を表す指標として、選択
透過指数を、日射透過率／可視光透過率と定義する（即
ち、選択透過指数が小さいほど選択透過性能が優れるこ
とになる。）と、従来から知られている誘電体膜とＡｇ
を主成分とする膜を交互に５層積層した膜付きガラス
は、可視光透過率が７０％以上、非被覆面側の可視光反
射率は１０％以下で、選択透過指数は０．５０〜０．６
５である。

【００２０】本発明者らは、誘電体膜とＡｇを主成分と
する膜を交互に５層積層した日射遮蔽ガラスについて研
究した結果、Ａｇ膜の比抵抗と選択透過指数との間には
図２に示すように相関があることを見出した。即ち、Ａ
ｇ膜の比抵抗が小さくなるほど、選択透過指数は小さく
なる。従って、選択透過指数を小さくして選択透過性能
を向上させ、高い可視光線透過率と高い日射遮蔽性能を
両立するためには、Ａｇ膜の比抵抗が十分に低いことが
重要である。

【００２１】一方で、Ａｇ膜の比抵抗とＡｇ膜厚には、
図３に示すような相関があり、Ａｇ膜厚を厚くすること
により、Ａｇ膜の比抵抗を低くできる。

【００２２】即ち、前述の如く、従来の誘電体膜とＡｇ
膜とを交互に積層した膜付きガラスでは、Ａｇ膜の膜厚
の合計は例えば２４ｎｍであるが、このＡｇ膜厚をより
厚くすることにより、Ａｇ膜の比抵抗を低減せしめ、良
好な選択透過性能を付与することが可能となる。

【００２３】しかし、Ａｇ膜を過度に厚くすると可視光
領域の透過率が低下し、可視光透過率が低くなる。そこ
で、高い可視光透過率と優れた選択透過性能を両立する
ためには、Ａｇ膜厚を所定の範囲に調整することが重要
となる。

【００２４】本発明に従って、Ａｇを主成分とする膜と
誘電体膜を交互に５層積層した日射遮蔽ガラスにおい
て、第１及び第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚の和が
２５〜３５ｎｍであれば、可視光透過率を４０％以上７
０％未満に、また可視光反射率を１５％より大きく３０
％以下に調整でき、その場合において、選択透過指数を
０．６５以下とすることが可能となり、その結果、日射
遮蔽性能に優れた日射遮蔽ガラスを得られる。

【００２５】更に、第１のＡｇを主成分とする膜の膜厚
を第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚の３０％以上５０
％未満とすることにより、選択透過指数を０．５５以下
に低減でき、極めて良好な選択透過性能を付与すること
ができる。

【００２６】本発明の日射遮蔽ガラスは、従来の低輻射
熱膜付きガラスと比較して、可視光反射率を高め、可視
光線透過率を低めている。日射遮蔽性能は、第一近似で
選択透過指数×可視光線透過率であるから、選択透過指
数が０．６５の場合でも、日射遮蔽ガラスの日射遮蔽性
能は、従来の低輻射熱膜付きガラスと比較して、極めて
良好である。このため、この日射遮蔽ガラスの被覆面側
を室内側にして室外側ガラスとして用いた複層ガラスの
日射遮蔽特性は、熱線反射ガラス並みとなる。

【００２７】また、本発明の日射遮蔽ガラスでは、可視
光反射率が１５％以上であるため、鮮やかな色彩を呈
し、従って、この日射遮蔽ガラスの非被覆面を室外側に
配した複層ガラスをビル用窓ガラスに使用した場合、鮮
やかな外観を演出できる。

【００２８】ところで、非被覆面側の反射色の色を無彩
色・ブルー・グリーンの色に調整するためには、ガラス
板面に積層形成する５層の各膜の膜厚をコントロールす
る必要があるが、第１のＡｇを主成分とする膜の膜厚を
第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚の３０％以上５０％
未満とすることにより、各膜厚のバラツキが生じても、
反射色のバラツキを小さくできる。また、ビルの外観色
が見る位置により変化することなく、どの方向からでも
鮮やかな色に見える。

【００２９】なお、以下において、第１のＡｇを主成分
とする膜の膜厚の、第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚
に対する割合を単に「Ａｇ膜厚比」と称す。

【００３０】本発明において、好ましくは可視光透過率
が４０％以上６５％未満で、非被覆面側の可視光反射率
が２０％より大きく３０％以下、より好ましくは可視光
透過率が４０％以上６０％未満で非被覆面側の可視光反
射率が２５％より大きく３０％以下である。

【００３１】また、第１の誘電体膜の膜厚は６０ｎｍ以
下、第２の誘電体膜の膜厚は４０〜１２０ｎｍ、第３の
誘電体膜の膜厚は２０〜６０ｎｍで、第１及び第２のＡ
ｇを主成分とする膜の膜厚はそれぞれ７．５〜２５ｎｍ
であることが好ましい。

【００３２】なお、本発明において、可視光透過率、可
視光反射率、日射透過率、及び日射熱取得率はＪＩＳ
Ｒ３１０６−１９８５で求められる。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。

【００３４】本発明の日射遮蔽ガラスは、ガラス板側か
ら第１の誘電体膜、第１のＡｇを主成分とする膜、第２
の誘電体膜、第２のＡｇを主成分とする膜及び第３の誘
電体膜が順次積層形成されたものである。

【００３５】本発明において、第１，第２及び第３の誘
電体膜は、酸化錫及び酸化亜鉛のいずれか一方又は双方
を主成分とする１又は２以上の層からなり、その誘電体
膜全体としてみたときに酸化錫及び／又は酸化亜鉛を主
成分として好ましくは５０重量％を含有していれば良
い。即ち、酸化錫及び酸化亜鉛以外の金属酸化物、金属
窒化物、金属酸窒化物等が本発明の効果を阻害しない程
度に第１，第２，第３の誘電体膜を構成する層に添加さ
れ、或いは、これらの誘電体膜の一部を構成する層を形
成していても良い。例えば、誘電体膜を構成する金属酸
化物層の酸化錫、酸化亜鉛の一部が窒化珪素で置き換え
られていても良い。

【００３６】誘電体膜を構成する金属酸化物層として
は、酸化錫膜、酸化亜鉛膜、Ａｌ及びＧａのうちの少な
くとも一方をドープした酸化亜鉛膜、Ｓｂ及びＦのうち
の少なくとも一方をドープした酸化錫膜、或いは、これ
らの膜を２層以上に積層した膜が好ましい。なお、Ａｌ
等をドープすることにより、形成される誘電体膜の膜厚
のバラツキを小さくして日射遮蔽ガラス面内での反射色
のムラを防止できるという効果が奏される。即ち、例え
ば、酸素雰囲気中でのＤＣスパッタにより誘電体膜を形
成する場合、Ｚｎターゲットを用いるよりもＺｎＡｌ
（Ａｌ：１〜４重量％）ターゲットを用いる方が放電が
安定する。これによりＺｎＡｌＯ_x膜の成膜レートが安
定し、基板面内でのＺｎＡｌＯ_x膜厚のバラツキが小さ
くなり、基板面内での反射色のムラが防止される。この
場合、そのドープ割合は、１０重量％以下、好ましくは
０．５〜４．０重量％とするのが望ましい。

【００３７】本発明において、第１の誘電体膜の膜厚は
６０ｎｍ以下、第２の誘電体膜の膜厚は４０〜１２０ｎ
ｍ、第３の誘電体膜の膜厚は２０〜６０ｎｍであること
が好ましい。このような膜厚をすることにより、非被覆
面側の可視光反射率を３０％以下に抑えることができ
る。

【００３８】より好ましい誘電体膜の膜厚は、第１の誘
電体膜が２０〜４０ｎｍ、第２の誘電体膜が８０〜１１
０ｎｍ、第３の誘電体膜が３０〜５０ｎｍで、これら第
１〜第３の誘電体膜の膜厚の合計は１３０〜２００ｎｍ
であることが好ましい。

【００３９】一方、第１及び第２のＡｇを主成分とする
膜としては、Ａｇ膜の他、Ａｇに、Ｐｄ，Ａｕ，Ｉｎ，
Ｚｎ，Ｓｎやその他の金属の１種又は２種以上を添加し
たものが挙げられ、この場合において、Ａｇは９８重量
％以上含まれていることが望ましい。

【００４０】本発明において、第１のＡｇを主成分とす
る膜と第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚の合計は２５
〜３５ｎｍとする。この合計膜厚が２５ｎｍ未満では近
赤外線反射率が低くなって日射遮蔽性能が低下する。逆
に、３５ｎｍを超えると可視光線透過率が低下し実用に
供し得なくなる。この膜厚の合計を２５〜３５ｎｍとす
ることにより、可視光透過率４０％以上７０％未満、可
視光反射率１５％より大３０％以下を実現し、前記選択
透過指数の低減（即ち、選択透過性能の向上）を図るこ
とができる。

【００４１】また、本発明においては、Ａｇ膜厚比（第
１のＡｇを主成分とする膜の膜厚の第２のＡｇを主成分
とする膜の膜厚に対する割合）を３０％以上５０％未満
とする。この割合が３０％未満であると選択透過指数が
増加し、５０％以上であると見る角度によって非被覆面
側の反射色調が変化する。このＡｇ膜厚比を３０％以上
５０％未満とすることにより選択透過指数を０．５５以
下に低減でき、極めて良好な選択透過性能を付与できる
と共に、反射色のバラツキを小さくして、日射遮蔽ガラ
スの美観を高めることができる。また、見る角度によっ
て非被覆面の反射色が変化することを防止できる。

【００４２】本発明において、第１及び第２のＡｇを主
成分とする膜の膜厚は好ましくは７．５〜２５ｎｍの範
囲であるが、特に、第１のＡｇを主成分とする膜の膜厚
は７．５〜１１ｎｍ、第２のＡｇを主成分とする膜の膜
厚は１５〜２５ｎｍであることが好ましい。

【００４３】本発明の日射遮蔽ガラスにおいて、日射遮
蔽膜を構成する多層膜は、必ずしも、第１の誘電体膜／
第１のＡｇを主成分とする膜／第２の誘電体膜／第２の
Ａｇを主成分とする膜／第３の誘電体膜の各々の単層膜
を積層形成した５層積層構造である必要はなく、前述の
如く、第１〜第３の誘電体膜自体が多層膜であっても良
く、また、第３の誘電体膜上の最表面層として酸化チタ
ン、窒化珪素等の保護層を５〜３０ｎｍ程度の厚さに形
成しても良い。

【００４４】また、必要に応じて、第１及び／又は第２
のＡｇを主成分とする膜に接するように膜厚１〜５ｎｍ
程度の中間層を設けても良く、この場合、この中間層と
しては、金属又は金属酸化物膜、具体的には、チタン、
ニクロム合金、ステンレス、亜鉛、ニオブ、タンタル又
はこれらの酸化物等の膜を用いることができる。この中
間層は、被膜の耐熱性等の向上に効果があり、特に第１
又は第２のＡｇを主成分とする膜上に接して設けた場合
には、成膜工程における、これらの膜を構成するＡｇの
酸化を防止する効果をも奏する。即ち、第２，第３の誘
電体膜を酸素を含む雰囲気中で形成する場合には、この
中間層は、Ａｇの酸化を防止し、Ａｇを主成分とする膜
の比抵抗を低減させるために必須となる。この場合、中
間層の膜厚はＡｇの酸化防止の観点から極めて重要であ
り、経済性、光透過性、酸化防止効果を考慮した場合、
中間層の膜厚は０．５〜３．０ｎｍとするのが好まし
い。この中間層は、一般的には、この上に誘電体膜を形
成する際に、酸化されて誘電体膜の一部を構成するもの
となる。

【００４５】なお、本発明の日射遮蔽ガラスにおいて
は、下記式で定義されるＡｇを主成分とする膜の比抵抗
ＳＲが７×１０^-6Ω・ｃｍ以下である。

【００４６】ＳＲ＝Ｒ×（ｄ₁＋ｄ₂）ｄ₁；第１のＡｇを主成分とする膜の膜厚（ｃｍ）ｄ₂；第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚（ｃｍ）Ｒ；日射遮蔽ガラスのシート抵抗（Ω／□）ＳＲ；日射遮蔽ガラスのＡｇを主成分とする膜の比抵抗
（Ω・ｃｍ）このＡｇを主成分とする膜の比抵抗ＳＲが７×１０^-6Ω
・ｃｍを超えると、高い可視光線透過率と高い日射遮蔽
性能とを両立することができない。Ａｇを主成分とする
膜の比抵抗ＳＲの好ましい値は５×１０^-6〜６．５×１
０^-6Ω・ｃｍである。

【００４７】このような本発明の日射遮蔽ガラスの日射
遮蔽膜の各層の形成方法については特に制限はないが、
一般的には、後述の実施例に示されるようなスパッタリ
ング法が採用される。

【００４８】

【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。

【００４９】実施例１予備排気室とスパッタ室とからなるインライン式スパッ
タリング装置を用いてガラス基板上に日射遮蔽膜を成膜
した。スパッタ室内の２つのカソードのうちの一方のカ
ソードには金属Ｚｎを、他方のカソードには金属Ａｇを
ターゲットとしてセットした。

【００５０】スパッタ室はロータリーポンプ及びクライ
オポンプで５×１０^-4Ｐａ以下まで排気した。洗浄した
厚さ６ｍｍの無色透明のフロートガラスを予備排気室に
入れて０．３Ｐａ以下に排気し、ガラス基板をスパッタ
室に移した。

【００５１】スパッタ室にＡｒガス１０ＳＣＣＭと酸素
ガス５０ＳＣＣＭを導入し、圧力を０．３Ｐａに調節し
た。Ｚｎターゲットが備えられたカソードに、直流電源
より電力を供給して放電を起こし、電流を３Ａに調節し
た（電圧は約３５０Ｖであった）。このターゲットの上
を、ガラス基板を通過させることにより、３６．４ｎｍ
の厚みの酸化亜鉛膜を第１層として形成した。

【００５２】次いで、スパッタ室を再び５×１０^-4Ｐａ
まで排気した後、Ａｒガス１００ＳＣＣＭを導入し、圧
力を０．３Ｐａに調節した。Ａｇターゲットが備えられ
たカソードに、直流電源より電力を供給して放電を起こ
し、このターゲットの上を、ガラス基板を通過させるこ
とにより、７．７ｎｍの厚みのＡｇ膜を第２層として形
成した。

【００５３】次いで、Ｚｎターゲットが備えられたカソ
ードに、直流電源より電力を供給して放電を起こし、こ
のターゲットの上をガラス基板を通過させて、１．５ｎ
ｍの厚みの金属亜鉛膜を形成した。この非常に薄い金属
亜鉛膜は、次に酸化亜鉛膜を形成する際にＡｇ膜の表面
が酸化するのを防止するために形成した中間層であっ
て、この非常に薄い金属Ｚｎ膜自体も、次に酸化亜鉛膜
を形成する際に、酸化されて酸化亜鉛膜に変化すること
がわかっている。

【００５４】次に、スパッタ室を再び５×１０^-4Ｐａま
で排気した後、Ａｒガス１００ＳＣＣＭと酸素ガス５０
ＳＣＣＭを導入し、圧力を０．３Ｐａに調節した。Ｚｎ
ターゲットが備えられたカソードに、直流電源より電力
を供給して放電を起こし、ターゲットの上をガラス基板
を通過させることにより、９８．６ｎｍの厚みの酸化亜
鉛膜を第３層として形成した。

【００５５】次いで、スパッタ室を再び５×１０^-4Ｐａ
まで排気した後、Ａｒガス１００ＳＣＣＭを導入し、圧
力を０．３Ｐａに調節した。Ａｇターゲットが備えられ
たカソードに、直流電源より電力を供給して放電を起こ
し、このターゲットの上をガラス基板を通過させること
により、２３．９ｎｍの厚みのＡｇ膜を第４層として形
成した。

【００５６】次いで、Ｚｎターゲットが備えられたカソ
ードに、直流電源より電力を供給して放電を起こし、こ
のターゲットの上をガラス基板を通過させて、１．５ｎ
ｍの厚みの金属亜鉛膜を形成した。この非常に薄い金属
亜鉛膜も、次に酸化亜鉛膜を形成する際に、Ａｇ膜表面
が酸化するのを防止するために形成する中間層であっ
て、酸化亜鉛膜を形成する際に、同様に酸化されて酸化
亜鉛膜に変化する。

【００５７】次に、スパッタ室を再び５×１０^-4Ｐａま
で排気した後、Ａｒガス１０ＳＣＣＭと酸素ガス５０Ｓ
ＣＣＭを導入し、圧力を０．３Ｐａに調節した。Ｚｎタ
ーゲットが備えられたカソードに、直流電源より電力を
供給して放電を起こし、このターゲットの上をガラス基
板を通過させることにより、３８．１ｎｍの厚みの酸化
亜鉛膜を第５層として形成した。

【００５８】得られた日射遮蔽ガラスの日射遮蔽膜構成
及びＡｇ膜厚比を表１に示す。

【００５９】この日射遮蔽ガラスの種々の分光透過スペ
クトル、被覆面の分光反射スペクトル、非被覆面の分光
反射スペクトルを分光光度計を用いて測定した。前記測
定結果をＪＩＳＲ３１０６−１９８５に適用し、日
射遮蔽ガラスの可視光透過率、可視光反射率、日射透過
率、選択透過指数を算出し、結果を表２に示した。

【００６０】また、図１に示す方法で日射遮蔽ガラスの
シート抵抗を測定し、この結果からＡｇ膜の比抵抗を算
出し、結果を表２に併記した。

【００６１】この日射遮蔽ガラスを、被覆面側を室内側
とする向きで室外側ガラスに使用し、６ｍｍの乾燥空気
層のスペースを空けて、板厚６ｍｍの透明フロートガラ
スを室内側に使用した複層ガラスの日射熱取得率、可視
光透過率、室外側の可視光反射率を算出し、結果を表２
に示した。

【００６２】実施例２〜４，比較例１〜３実施例１と同様の方法で表１に示す膜構成及びＡｇ膜厚
比の日射遮蔽ガラスを作製し、同様にその特性を調べ、
結果を表２に示した。

【００６３】なお、比較例３においては、第２層のＡｇ
膜に接するように設けた中間層と第４層のＡｇ膜に接す
るように設けた中間層のＺｎ膜の膜厚はそれぞれ０．７
ｎｍとした。

【００６４】比較例４予備排気室とスパッタ室からなるインライン式スパッタ
リング装置を用いてガラス基板上に赤外線反射膜を成膜
した。スパッタ室内の２つのカソードのうちの一方のカ
ソードには金属ステンレスを、他方のカソードには金属
Ｔｉをターゲットとしてセットした。

【００６５】スパッタ室はロータリーポンプ及びクライ
オポンプで５×１０^-4Ｐａ以下まで排気した。洗浄した
厚さ６ｍｍの無色透明のフロートガラスを予備排気室に
入れて０．３Ｐａ以下に排気し、ガラス基板をスパッタ
室に移した。

【００６６】スパッタ室にＡｒガス５０ＳＣＣＭを導入
し、圧力を０．３Ｐａに調節した。ステンレス・ターゲ
ットが備えられたカソードに、直流電源より電力を供給
して放電を起こし、電流を３Ａに調節した（電圧は約４
１０Ｖであった）。このターゲットの上を、ガラス基板
を通過させることにより、６．０ｎｍの厚みのステンレ
ス膜を第１層として形成した。

【００６７】次いで、スパッタ室を再び５×１０^-4Ｐａ
まで排気した後、Ｏ₂ガス５０ＳＣＣＭを導入し、圧力
を０．３Ｐａに調節した。Ｔｉターゲットが備えられた
カソードに、直流電源より電力を供給して放電を起こ
し、このターゲットの上を、ガラス基板を通過させるこ
とにより、１０．０ｎｍの厚みのＴｉＯ₂膜を第２層と
して形成した。

【００６８】この赤外線反射ガラスの膜構成を表１に示
す。

【００６９】この赤外線反射ガラスについて実施例１と
同様にして特性を調べ、結果を表２に示した。

【００７０】

【表１】

【００７１】

【表２】

【００７２】表１，２より明らかなように、本実施例の
日射遮蔽ガラスの可視光透過率は５６〜６７％と十分に
高く、屋内から屋外を見た景色の見栄えも自然な印象で
あり、室内も十分に明るい。一方、屋外から見た外観は
無色又は緑、青色であり、すっきりした外観印象を与え
る。

【００７３】これらの日射遮蔽ガラスのＡｇ膜厚比は３
０％以上５０％未満であり、これらの日射遮蔽ガラスの
選択透過指数（＝日射透過率／可視光透過率）は０．５
５より小さく、選択透過性能に優れる。また、複層ガラ
スの透過率も高く、日射熱取得率も０．４以下と十分に
小さいことが解る。

【００７４】一方、Ａｇ膜の合計膜厚が２５ｎｍより小
さい比較例１の日射遮蔽ガラスの可視光透過率は７７．
５％と非常に高く、可視光反射率は５．６％と低い。こ
の日射遮蔽ガラスを用いた複層ガラスの可視光透過率は
６８．５％と高いが、日射熱取得率は０．４４であり、
従来の熱線反射ガラスよりも劣る。

【００７５】また、Ａｇ膜の合計膜厚は２５〜３５ｎｍ
の範囲であるが、Ａｇ膜厚比が３０％未満の比較例２の
日射遮蔽ガラスの可視光透過率は３２．８％と低く、可
視光反射率は５２．６％と非常に高い。この日射遮蔽ガ
ラスを用いた複層ガラスの日射熱取得率は０．２６と十
分に低いが、可視光透過率も３０．１％と低く、この日
射遮蔽ガラスの非被覆面側を室外側とした複層ガラスの
窓ガラスでは、日中でも室内が暗く、室内から室外を見
た景色が暗く見え、観察者に不自然な印象を与える。し
かも、室外側の反射率が５３．５％と非常に高く、鏡の
ように見え観察者に違和感を与える。

【００７６】また、Ａｇ膜厚が各々１０ｎｍで合計膜厚
が２０ｎｍの比較例３の日射遮蔽ガラスの可視光透過率
は７４．６％と高く、可視光反射率は５．０％と低い。
この日射遮蔽ガラスを用いた複層ガラスの可視光透過率
は６５．９％と高いが、Ａｇ膜の比抵抗は１５．２×１
０^-6Ω・ｃｍと高く、選択透過指数も０．６５と高い。
このため、日射熱取得率は０．４９と高く、日射遮蔽性
能が劣る。この日射遮蔽ガラスの非被覆面側を室外側と
した複層ガラスの窓ガラスでは、日射遮蔽性能が不十分
で、ビルの冷房負荷軽減の目的では不十分である。

【００７７】一方、比較例４の赤外線反射ガラスは、日
射熱取得率は０．３８と低く、日射遮蔽性能に優れる
が、可視光透過率が２８．６％と低い。このため、複層
ガラスを窓ガラスとした場合は、日中でも室内が暗く、
室内から室外を見た景色が暗く見え、観察者に不自然な
印象を与える。

【００７８】

【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の日射遮蔽ガ
ラスによれば、従来の熱線反射ガラスと同程度の日射遮
蔽性能を有し、かつ熱線反射ガラスよりも可視光透過率
を高くできる。これにより、太陽光線による室内の温度
上昇を防止してビル内の冷房費削減を可能にし、同時に
日中の室内を明るく保つと共に、室内から室外を見た場
合に外の景色が日暮れ時のように暗く見えることを防止
することができるようになる。

【００７９】更に、装飾的にも優れた外観を有し、ビル
の窓ガラスとして使用した場合にはビルの存在感を主張
する目的に対しても有効である。

【００８０】特に、請求項４で規定した各膜厚を採用す
ることにより、可視光透過率を高く維持しつつ、非被覆
面側の可視光反射率を所定の値に高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】日射遮蔽ガラスのシート抵抗の測定方法を示す
平面図である。

【図２】Ａｇ膜の比抵抗と選択透過指数との関係を示す
グラフである。

【図３】Ａｇ膜の膜厚と比抵抗との関係を示すグラフで
ある。

【符号の説明】

１日射遮蔽ガラス２Ａ，２Ｂハンダ電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者中村真記大阪府大阪市中央区道修町３丁目５番11号日本板硝子株式会社内 (72)発明者村田健治大阪府大阪市中央区道修町３丁目５番11号日本板硝子株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明ガラス板上の一方の板面に、該ガラ
ス板側から順に、第１の誘電体膜、第１のＡｇを主成分
とする膜、第２の誘電体膜、第２のＡｇを主成分とする
膜及び第３の誘電体膜が積層形成されている日射遮蔽ガ
ラスにおいて、該日射遮蔽ガラスの可視光透過率が４０％以上７０％未
満、他方の板面側の可視光反射率が１５％より大きく３
０％以下であり、第１及び第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚の和が２５
〜３５ｎｍで、第１のＡｇを主成分とする膜の膜厚が第
２のＡｇを主成分とする膜の膜厚の３０％以上５０％未
満であり、かつ、下記式で定義されるＡｇを主成分とする膜の比抵抗ＳＲ
が７×１０^-6Ω・ｃｍ以下であることを特徴とする日射
遮蔽ガラス。ＳＲ＝Ｒ×（ｄ₁＋ｄ₂）ｄ₁；第１のＡｇを主成分とする膜の膜厚（ｃｍ）ｄ₂；第２のＡｇを主成分とする膜の膜厚（ｃｍ）Ｒ；日射遮蔽ガラスのシート抵抗（Ω／□）ＳＲ；日射遮蔽ガラスのＡｇを主成分とする膜の比抵抗
（Ω・ｃｍ）
【請求項２】可視光透過率が４０％以上６５％未満、
他方の板面側の可視光反射率が２０％より大きく３０％
以下である請求項１に記載の日射遮蔽ガラス。
【請求項３】可視光透過率が４０％以上６０％未満、
他方の板面側の可視光反射率が２５％より大きく３０％
以下である請求項２に記載の日射遮蔽ガラス。
【請求項４】第１の誘電体膜の膜厚が６０ｎｍ以下
で、第２の誘電体膜の膜厚が４０〜１２０ｎｍで、第３
の誘電体膜の膜厚が２０〜６０ｎｍであり、第１及び第
２のＡｇを主成分とする膜の膜厚がそれぞれ７．５〜２
５ｎｍであることを特徴とする請求項１ないし３のいず
れか１項に記載の日射遮蔽ガラス。