WO2007029494A1

WO2007029494A1 - 低放射複層ガラス

Info

Publication number: WO2007029494A1
Application number: PCT/JP2006/316464
Authority: WO
Inventors: Hiromasa Wada; Etsuo Ogino
Original assignee: Nippon Sheet Glass Company, Limited
Priority date: 2005-09-06
Filing date: 2006-08-23
Publication date: 2007-03-15

Abstract

【目的】低放射性膜の特徴である遮熱性能を維持しながら、高い可視光透過率を発現する低放射複層ガラスを提供する。【構成】本発明に係る低放射複層ガラスは、対向する二枚のガラス板の一方のガラス板の表面に、第一の酸化物膜，Ａｇ膜，金属膜，第二の酸化物膜をこの順に積層したものであり、第一の酸化物膜の厚さが３０ｎｍ以上４０ｎｍ以下、Ａｇ膜の厚さが８ｎｍ以上１０ｎｍ以下、金属膜の厚さが１ｎｍ以上８ｎｍ以下、および第二の酸化物膜の厚さが３０ｎｍ以上５０ｎｍ以下である。本発明に係る低放射複層ガラスを室内外境界に設置したときの室外側面において、ＪＩＳＲ３１０６で規定する可視光反射率は８～２５％であり、Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるａ＊は－３．０以上０．０以下、ｂ＊は－９．０以上０．０以下のほぼ中性色の反射色調を呈し、かつ、遮蔽係数が０．５７以下である。

Description

明細書

低放射複層ガラス

技術分野

[0001] 本発明は、熱線遮蔽積層膜を有する低放射 (Low Emission, Low— E)複層ガラスに関する。

背景技術

[0002] 熱線遮蔽積層体 (以下 Low— E膜とも称する）は、熱線 (赤外光)を反射する機能を有することから、夏季の冷房負荷や冬期の暖房負荷の緩和を目的として、住宅ゃビルなどの建築用ガラスの表面に形成されてきた。

[0003] Low— E膜は、ガラス等の基体上に酸ィ匕亜鉛 (ZnO)膜 Z銀 (Ag)等を主成分とする貴金属膜 Z酸ィ匕亜鉛膜をこの順に積層した膜構成を有する積層体である。このうち、銀等を主成分とする貴金属膜は耐湿性、耐酸性などの化学耐久性が劣悪であり、酸ィ匕亜鉛膜被覆によっても十分な改善がなされないという問題があった。そこで、貴金属膜と外気を遮断するため、積層膜は複層ガラスの内側、すなわち、二枚のガラスによって形成される間隙側に配置されていた。しかし、この手段では単板の取り扱！、時の耐久性や保存期間中の耐久性にっ、ては解決されず、依然として問題は残されている。

[0004] 上記問題を解決するため、たとえば特許文献 1では、銀層の直下層に酸化亜鉛層を、銀層の直上層には亜鉛または亜鉛を主成分とした保護金属層がそれぞれ成膜されたものが開示されている。

特許文献 1 :特開平 11 157881号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] し力しながら、 Low— E膜には、その他の問題点も存在している。即ち、前記したように Low— E膜は通常複層ガラスの状態で用いられている力 Low— E膜を使用しなぃ複層ガラスと比較して反射率が高い。したがって複層ガラスに特有の反射像が二重となる現象力 Low— E膜を使用しない複層ガラスと比較してより強く現れ、これが利用者に不快感を与えて、る。

[0006] 二重反射像がより強く現れる原因は、 Low— E膜が反射率の高い銀膜を有するためである。銀膜が厚くなると反射率が高くなり、さらに、反射色が赤みを帯びるようになる。このように、遮熱性能をより高くするためには銀膜を厚くしなければならず、厚くすると二重反射像がより強く現れるという矛盾がある。この矛盾は前記特許文献 1では解決されていない。

課題を解決するための手段

[0007] 上記課題を解決するため本発明は、二枚のガラス板を対向配置した複層ガラスであって、前記二枚のガラス板のうち一方のガラス板の他方のガラス板に対向する表面には、第一の酸ィ匕物膜 ZAg膜 z金属膜 Z第二の酸ィ匕物膜をこの順に積層した熱線遮蔽積層体が形成され、前記第一の酸ィ匕物膜の膜厚は 30nm以上 40nm以下、前記第二の酸ィ匕物膜の膜厚は 30nm以上 50nm以下、前記 Ag膜の厚さは 8nm以上 10以下、前記金属膜の厚さは lnm以上 8nm以下であり、且つ前記第一の酸化物膜と第二の酸ィ匕物膜の膜厚比は 0. 9以上 1. 7以下である構成とした。

[0008] 第一の酸ィ匕物膜と第二の酸ィ匕物膜の膜厚比を上記のようにほぼ等、かまたは第一の酸ィ匕物膜厚を 1とした際の第二の酸ィ匕物膜厚が 1. 7倍以下の厚みとすることで、外観だけ

でなく内観にぉ、ても視感度の最も大き、波長 550nm付近の反射率を低減でき、反射色を中性にすることができる。

[0009] また、本発明に係る複層ガラスは、室内外境界に設置したときの室外側において、 J ISR3106で規定する可視光反射率が 8%以上 25%以下であり、 L*a*b*表色系における a*がー 3. 0以上 0. 0以下、 b*がー 9. 0以上 0. 0以下（ほぼ中性色の反射色調)で、且つ遮蔽係数が 0. 57以下とすることができる。

[0010] また、本発明に係る複層ガラスは、室内外境界に設置したときの室外側において、 J ISR3106で規定する可視光反射率が 8%以上 15%以下であり、 L*a*b*表色系における a*が一 1. 0以上 5. 0以下、 b*が一 20. 0以上 0. 0以下とすることができる。また、 JIS R3106で規定する可視光透過率が 50%以上 75%以下であることも望ましい。 [0011] また、前記第一および第二の酸化物膜が、酸ィ匕錫膜と A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜との積層体であって、 A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜が前記 Ag膜側に配置され、かつ、酸化物膜の全膜厚に対する A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜厚の比率が 10%より大きく 40%以下であることが好ましい。

[0012] 前記 A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜の A1含有量は、 Znに対する原子比で 10%より大きく 25 %以下であることが好ましぐ前記金属膜は Ti膜、または、 A1含有量が Znに対する原子比で 1%以上 25%以下である ZnAl合金膜であることも好ましい。

[0013] 本発明によれば、 Low— E膜として、第一の酸ィ匕物膜と第二の酸ィ匕物膜との間に、薄い Ag膜と少し厚めの金属膜を配置したことにより、可視光反射率を低減し、ぎらつきを抑え、好ましい中間色の複層ガラスとすることができる。し力も、熱遮蔽機能も十分に保持することができる。

[0014] Low— E膜の耐久性は Ag膜上層の誘電体の膜応力と関係しており、 A1を酸ィ匕亜鉛膜中に多くドープすることで、膜応力を低減でき、耐久性が向上する。また膜作製時の放電安定性も一層向上できる力ドープ量が過多であると生産時に材料が酸ィ匕アルミニウムにより被膜されることで成膜速度が遅くなる。よって生産と品質のノ《ランスから、前記 A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜のさらに好ましい A1含有量は、 Znに対する原子比で 10%より大きく 15%以下である。

[0015] また前記 A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜中の A1含有量と Low— E膜の紫外線透過率が比例であり、屈折率と反比例している。 A1含有量が多い場合、屈折率力、さく Low— E膜の反射率を低減できるが、紫外線透過率が増加する。よって紫外線透過率と膜屈折率のバランスに関しても前記 A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜のさらに好まヽ A1含有量は、 Zn に対する原子比で 10%より大きく 15%以下である。

図面の簡単な説明

[0016] [図 1]本発明に係る複層ガラスの断面図

[図 2]実施例 1に係るガラス板の断面図

発明を実施するための最良の形態

[0017] 以下に本発明の好適な実施例を添付図面に基づいて説明する。図 1は本発明に係る複層ガラスの断面図であり、複層ガラス 1は、対向する一方のガラス板 2の表面に、第一の酸化物膜 3、 Ag膜 4、金属膜 5および第二の酸ィ匕物膜 6をこの順に積層し、間隙 7を介して二枚組合せたものである。

[0018] これらガラス板 2は、通常の窓ガラス等に使用する強化ガラスや平板ガラスを使用することができ、その厚さにも制限はないが、例えば 4mm、 6mm, 8mmのものを使用することができる。

[0019] ガラス板 2の上に形成する第一の酸ィ匕物膜 3、および、最外層として形成する第二の酸ィ匕物膜 6の材料としては、酸化錫膜、酸ィ匕亜鉛膜等を使用することができるが、酸ィ匕錫膜 ZA1ドープ酸ィ匕亜鉛膜の積層体を採用し更に酸ィ匕錫膜を最下層及び最上層に形成することで、酸ィ匕錫膜の緻密性より、耐湿性、化学耐久性の点で好ましく、さら〖こは、 A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜が Ag膜 4側に配置され、かつ、酸化物膜の全膜厚に対する A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜厚の比率を 10以上 40%以下とすることが、 Agの結晶性を低減させず、酸ィ匕錫膜による耐久性向上を維持することができる点で好まし、。また、 A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜の A1含有量は、 Znに対する原子比で 10%より大きく 25 %以下とすることが、酸ィ匕亜鉛膜の光学特性を維持しながら、耐久性が悪くなる原因である膜の応力を効果的に低減できる点で望ましい。

[0020] 第一の酸ィ匕物膜 3および第二の酸ィ匕物膜 6の厚さはそれぞれ 30nm以上 40nm以下、 30nm以上 50nm以下とすることが、低反射 ·中性色という点で好ましい。また、第一の酸ィ匕物膜 3の厚みを 1としたとき、第二の酸ィ匕物膜 6の厚みは 0. 9から 1. 7の範囲に設定することが好ましい。このような膜厚比にすることで外気側力もの視感度だけでなぐ室内側力見た際の好感度を阻害する 550nm付近の波長を有する可視光線の反射率をより効率的に低減し、反射色調を中性色にすることができる。同時に、 JIS R3106に規定する可視光透過率を高くする効果も期待できる。なお、本発明において中性色とは、色相、彩度および明度がほぼ中間的、すなわち、中間的な明るさ、濁度のグレーをいう。

[0021] 本発明に係る Ag膜 4の厚さは 8nm以上 lOnm以下であり、従来の Low— E膜に使用する Ag膜よりも薄くしてある。 Ag膜 4をこの範囲に設計することで、赤みのある好ましくない光の反射率を低く抑えながら赤外光は反射させることができる。

[0022] 金属膜 5としては、各種金属膜を使用することができるが、特に、 Ti膜、または、 A1 含有量力 nに対する原子比で 1%以上 25%以下である ZnAl合金膜を使用することが好ましい。また、 ZnAl合金膜の組成を A1含有量が Znに対する原子比で 1%以上 6%以下とすると、 Low— E膜の紫外線透過率を低減できるため、さらに好ましい。金属膜 5の酸化されずに金属として膜構成中に存在する部分の厚みは lnm以上 8nm 以下であり、従来の Low— E膜に使用する金属膜よりも厚くなるようにしている。金属膜 5をこの範囲の厚さで配置すれば、十分に日射吸収を行うことができるため、反射率を上げずに遮熱性能を向上し、遮熱係数を 0. 57以下とすることができる。

[0023] 本発明の複層ガラス 1を図 1の要領で室内外境界に設置したとき、室外側面における JIS R3106に規定の可視光反射率を 8%以上 25%以下の範囲に収めることができる。また、 L*a*b*表色系における a*を— 3. 0以上 0. 0以下、 b*を— 9. 0以上 0. 0以下の範囲とすることが可能となり、ほぼ中性色の反射色調を呈するようにできる。

[0024] また、室内側面においても、可視光反射率を 8%以上 15%以下の範囲に収めることができ、また L*a*b*表色系における a*を— 1. 0以上〜 5. 0以下、 b*を— 20. 0以上一 8. 0以下の範囲とすることが可能となる。さらに、本発明の Low— E複層ガラスの構成をとれば、 JIS R3106に規定の可視光透過率を 50%以上 75%以下の範囲とすることができ、高、可視光透過率を確保することができる。

[0025] 以下に具体的な実施例（図 2)および比較例にもとづいて本発明を詳細に説明する実施例 1

[0026] 寸法 300mm X 300mm,厚さ 6mmのソーダライムガラスを洗浄、乾燥してガラス基体として用いた。前記ガラス基体をスパッタリング成膜装置内に設置し、真空度が 5 X 10^_4Pa以下になるまで排気を行い、以下のようにしてガラス基体表面に熱線反射積層体を成膜した。

[0027] (第 1層の成膜）

装置内に酸素ガスを導入し、真空度を 0. 26Pa以上 0. 8Pa以下に調整した後、錫ターゲットが備えられた力ソードに直流電源より電力を供給してグロ一放電を生じさせ、酸素と Snを反応させて酸ィ匕錫膜を作製できるようにし、電力を 0. 9kWに調節した。その後、力ソード上方を 10. 3 X 10^_3mZsの速度でガラス基体を搬送し、膜厚 32. 2nmの酸ィ匕錫膜を作製した。

[0028] (第 2層の成膜）

次に装置内に酸素ガスを導入し、真空度を 0. 26Pa以上 0. 8Pa以下に調整した後、Znに対する原子比で A1が 13. 1% (Ζηとの合計量に対する原子比で A1が 11. 6% )ドープされた亜鉛ターゲットが備えられた力ソードに直流電源より電力を供給してグロー放電を生じさせ、酸素と亜鉛を反応させて酸ィ匕亜鉛膜を作製できるようにし、電力を lkWに調節した。その後、力ソード上方を 10. 4 X 10^_3m/sの速度でガラス基体を搬送し、第 2層として膜厚 4. 5nmの、 Znに対する原子比で A1が 13. 1%ドープされた酸化亜鉛膜を作製した。

[0029] (第 3層の成膜）

次に装置内にアルゴンガスを導入し、真空度を 0. 26Pa以上 0. 8Pa以下に調整した後、銀ターゲットが備えられた力ソードに直流電源より電力を供給してグロ一放電を生じさせ、電力を 0. 25kWに調節した。その後、力ソード上方を 16. 5 X 10"³m/s の速度でガラス基体を搬送させ、第 3層として膜厚 9. 6nmの銀膜を作製した。

[0030] (第 4層の成膜）

次に装置内にアルゴンガスを導入し、真空度を 0. 26Pa以上 0. 8Pa以下に調整した後、 Znに対する原子比で A1が 3. 5% (Znとの合計量に対する原子比で A1が 3. 4 %)ドープされた亜鉛ターゲットが備えられた力ソードに直流電源より電力を供給してグロ一放電を生じさせ、電力を 0. 2kWに調節した。その後、力ソード上方を 21. 1 X 10^_3m/sの速度でガラス基体を搬送させ、膜厚約 5nmの、 Znに対する原子比で A 1が 3. 5%ドープされた亜鉛アルミ膜を作製した。

[0031] (第 5層の成膜）

次に装置内に酸素ガスを導入し、真空度を 0. 26Pa以上 0. 8Pa以下に調整した後、 Znとの合計量に対し原子比で A1が 11. 6%ドープされた亜鉛ターゲットが備えられた力ソードに直流電源より電力を供給してグロ一放電を生じさせ、酸素と Znを反応させて酸ィ匕亜鉛膜を作製できるようにし、電力を lkWに調節した。その後、力ソード上方を 6. 7 X 10^_3mZsの速度でガラス基体を搬送させ、膜厚 lOnmの、 Znに対する原子比で A1が 13. 1% (Ζηとの合計量に対する原子比で A1が 11. 6%)ドープされた酸化亜鉛膜を作製した。

Znに対する原子比で A1が 13. 1%ドープされた酸ィ匕亜鉛膜の作製時における第四層金属膜の亜鉛アルミ膜が酸化された膜厚は約 3〜5nmであった。

[0032] (第 6層の成膜）

次に装置内に酸素ガスを導入し、真空度を 0. 26Pa以上 0. 8Pa以下に調整した後、錫ターゲットが備えられた力ソードに直流電源より電力を供給してグロ一放電を生じさせ、酸素と錫を反応させて酸ィ匕錫膜を作製できるようにし、電力を lkWに調節したその後、力ソード上方を 8. 5 X 10^_3m/sの速度でガラス基体を搬送させ、膜厚 24. 5nmの酸ィ匕錫膜を作製した。

[0033] 形成した熱線反射積層体の膜構成を表 1に示す。本実施例において、第 1層の酸化錫 (SnO )と第 2層の A1ドープ酸ィ匕亜鉛層を組み合わせたものが前記第一の酸ィ匕

2

物膜に相当し、第 5層の A1ドープ酸ィ匕亜鉛層と第 6層の酸ィ匕錫層を組み合わせたものが前記第二の酸ィ匕物膜に相当する。以下、第一の酸化物層、第二の酸化物層は同様に解釈される。

[0034] 前記の熱線遮蔽積層体を形成したガラス基体と、同じ寸法で同じ厚みのガラス基体を用い、常法により図 1に示す構成の低放射複層ガラスを製造した。ここで、前記低放射複層ガラスのガラス基体の間隔を 12mmとし、その内部（図 1中 7の部分）には乾燥空気を充填した。前記低放射複層ガラスについて、以下の評価を行った。結果を表 2に示す。

[0035] (可視光反射率）

日立製作所製 U— 4000型分光光度計を使用して、実施例 1の低放射複層ガラスの室外側面と室内側面の反射スペクトルを測定し、 JIS R3106に基づいて可視光反射率 (単位％)を算出した。

[0036] (色度）

日立製作所製 U— 4000型分光光度計を使用して、前記低放射複層ガラスの室外側面と室内側面の反射スペクトルを測定し、 JIS Z8722に基づ、て前記低放射複層ガラスのそれぞれの面についての L*a*b*表色系における a*および b*を算出した [0037] (可視光透過率）

日立製作所製 U— 4000型分光光度計を使用して、前記低放射複層ガラスの透過スペクトルを測定し、 JIS R3106に基づいて前記低放射複層ガラスの可視光透過率 (単位％)を算出した。

[0038] (紫外線透過率）

日立製作所製 U— 4000型分光光度計を使用して、前記低放射複層ガラスの透過スペクトルを測定し、 ISO 9050 : 2003に基づいて前記低放射複層ガラスの紫外線透過率 (単位％)を算出した。

[0039] (遮蔽係数）

前記低放射複層ガラスについて、 JIS R3106に基づいて遮蔽係数を測定した。ここで遮蔽係数とは、 3mmの透明板ガラス（単板)の透過、及び再放射による室内流入熱量を 1とした時の流入熱量を表す相対値であり、 JIS R3106で規定される日射熱取得率との間には、遮蔽係数 =日射熱取得率 Z0. 88の関係がある。

[0040] (耐久性）

実施例 1の熱線反射積層体の耐久性を評価するため、前記熱線反射積層体を形成したガラス基体を、環境試験機 (スガ製作所製)を用いて 85°C、湿度 95%の環境に 48時間

保持し、膜の劣化度合いを観察た。ここで劣化とは、銀層が凝集し、膜に白点が生じることをいう。白点を目視で判別した結果を表に示す。凝集数が 2個 Zlcm²以下であれば耐久性が良として〇で示し、 3個 Zlcm²以上であれば耐久性が劣るとして X と表示した。

実施例 2

[0041] 各層の膜厚が異なる以外は実施例 1と同様に、ガラス基体上に熱線反射積層体を形成した。各層の膜厚は放電電力を調整することにより変更した。膜構成は表 1に記載の通りで

あった。また、実施例 1と同様に、低放射複層ガラスを製造した。前記低放射複層ガラスにつ、て実施例 1と同様に評価した結果を表 2に示す。 [0042] (実施例 3〜6)

実施例 2と同様に、膜構成の異なる低放射複層ガラスを製造し、評価した。膜構成は表 1に記載の通りである。評価結果を表 2に示す。

[0043] (比較例 1〜6)

膜構成が異なる以外は実施例 1と同様に、ガラス基体上に熱線反射積層体を形成した。各層の厚みは放電電力を調整することにより変更した。膜構成は表 1に記載の通りであった。また、実施例 1と同様に、低放射複層ガラスを製造した。前記低放射複層ガラスにつ、て実施例 1と同様に評価した結果を表 2に示す。

[0044] [表 1]

[0045] [表 2]

[0046] 実施例 1 6においては、前記第一の酸化物膜に相当する部分と前記第二の酸化物膜に相当する部分の厚さを、それぞれ 30nm以上 40nm以下と 30nm以上 50nm 以下の範囲にしたため、非膜面側の可視光反射率、特に視感度の最も高い 550nm の反射率を低く抑えることができた。これにより、非膜面側の反射によるぎらつき感を抑え、中性反射色を実現することができた。

[0047] また、第 3層の Ag膜の厚さを 8nm以上 10nm以下の範囲にすることにより反射率を低減し、さらに第 4層の金属膜の厚さを lnm以上 8nm以下の範囲にすることによつて遮蔽係数を 0. 57以下に抑えることができ、中性反射色と遮熱性能向上を同時に満たすことができた。

[0048] 実施例 2および 5の結果から、金属膜として、 A1含有量力 nに対する原子比で 1% 以上 6%以下の範囲の ZnAl合金膜を使用することで、紫外線透過率を低減できることがわかる。

[0049] 一方、比較例 1にお、ては酸化物の膜厚が薄!、ため、また比較例 3では酸ィ匕物の膜厚が厚ヽために、非膜面色調が中性色から外れて不快感を与える色合ヽとなった

[0050] また、比較例 2においては、 Ag膜を厚ぐ金属膜を薄くしたが、遮蔽係数を効果的に低減することはできず、非膜面色調が中性色力外れることとなった。

[0051] 比較例 4においては、 Ag膜厚を薄くすることにより色調を中性色として不快感を低減することができたが、遮蔽係数が高くなつた。

[0052] 比較例 5にお、ては、 Ag膜に接するように A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜を作製して、なヽために、耐久性が悪い結果となった。

[0053] 比較例 6においては、 Ag層の上に酸ィ匕錫膜のみを成膜したために、耐久性が悪い結果となった。

[0054] 本発明の低放射複層ガラスによれば、遮熱性能を維持しながら、高、可視光透過率を確保することが可能なため、好適に窓等の室内外境界に設置することができる。

Claims

請求の範囲

[1] 二枚のガラス板を対向配置した複層ガラスであって、前記二枚のガラス板のうち一方のガラス板の他方のガラス板に対向する表面には、第一の酸化物膜 ZAg膜 Z金属膜 Z第二の酸化物膜をこの順に積層した熱線遮蔽積層体が形成され、前記第一の酸ィ匕物膜の膜厚は 30nm以上 40nm以下、前記第二の酸ィ匕物膜の膜厚は 30nm 以上 50nm以下、前記 Ag膜の厚さは 8nm以上 10nm以下、前記金属膜の厚さは In m以上 8nm以下であり、且つ前記第一の酸ィヒ物膜と第二の酸ィヒ物膜の膜厚比は 0. 9以上 1. 7以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。

[2] 請求項 1に記載の低放射複層ガラスにおいて、前記複層ガラスを室内外境界に設置したときの室外側において、 JIS R3106で規定する可視光反射率が 8%以上 25 %以下であり、 L*a*b*表色系における a*が— 3. 0以上 0. 0以下、 b*が— 9. 0以上 0. 0以下であり、遮蔽係数が 0. 57以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。

[3] 請求項 1または請求項 2に記載の低放射複層ガラスにおいて、前記室内外境界に設置したときの室内側において、 JIS R3106で規定する可視光反射率が 8%以上 1 5%以下であり、 L*a*b*表色系における a*が— 1. 0以上 5. 0以下、 b*が— 20. 0 以上 0. 0以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。

[4] 請求項 1乃至請求項 3のいずれかに記載の低放射複層ガラスにおいて、 JIS R31 06で規定する可視光透過率が 50%以上 75%以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。

[5] 請求項 1乃至請求項 4のいずれかに記載の低放射複層ガラスにおいて、前記第一および第二の酸ィ匕物膜が、酸ィ匕錫膜と A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜との積層体であって、 A1 ドープ酸ィ匕亜鉛膜が前記 Ag膜側に配置され、かつ、酸化物膜の全膜厚に対する A1 ドープ酸ィ匕亜鉛膜厚の比率が 10%より大きく 40%以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。

[6] 請求項 1乃至請求項 5の、ずれかに記載の低放射複層ガラスにぉ、て、前記 A1 一プ酸ィ匕亜鉛膜の A1含有量は、 Znに対する原子比で 10%より大きく 25%以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。

[7] 請求項 6に記載の A1ドープ酸ィ匕亜鉛膜の A1含有量は、 Znに対する原子比で 10% より大きく 15%以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。

[8] 請求項 1乃至請求項 6のいずれかに記載の低放射複層ガラスにおいて、前記金属膜は Ti膜、または A1含有量力 ¾nに対する原子比で 1%以上 25%以下である ZnAl 合金膜であることを特徴とする低放射複層ガラス。

[9] 請求項 8に記載の合金金属膜組成は A1含有量力 ¾nに対する原子比で 1%以上 6

%以下であることを特徴とする低放射複層ガラス。