JPH11274549A - 半導体リレー - Google Patents

半導体リレー

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JPH11274549A
JPH11274549A JP8000498A JP8000498A JPH11274549A JP H11274549 A JPH11274549 A JP H11274549A JP 8000498 A JP8000498 A JP 8000498A JP 8000498 A JP8000498 A JP 8000498A JP H11274549 A JPH11274549 A JP H11274549A
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智広 井上
Kazunari Kuzuhara
一功 葛原
Yasushi Tanaka
恭史 田中
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Abstract

(57)【要約】 【課題】リードフレームを用いることなく薄型化かつ小
型化することができる半導体リレーを提供する。 【解決手段】スイッチ素子3a,3bは回路基板8に実
装される。発光素子1は受光部品6にビルドアップ素子
として実装されて受光部品6と一体化される。スイッチ
素子3a,3bはバンプ14を用いて受光部品6とフリ
ップチップボンディングにより電気的に接続される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、入力側に設けた発
光素子と光結合されている受光部品の出力によりスイッ
チ素子をオンオフさせる半導体リレーに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来より、図6に示す構成の半導体リレ
ーが提案されている。この半導体リレーは、入力側に発
光ダイオードアレイよりなる発光素子1と、発光素子1
に光結合されたフォトダイオードアレイないし太陽電池
アレイよりなる受光素子2と、受光素子2の光起電力に
よりオンオフされるエンハンスメント形のnチャネルM
OSFETよりなる一対のスイッチ素子3a,3bとを
備える。発光素子1は入力端子ta,ta’間に接続さ
れ、入力端子ta,ta’間に与えられる入力信号に応
じて点灯・消灯する。受光素子2の負極にはバイアス用
の抵抗4が直列接続され、受光素子2と抵抗4との直列
回路にはデプレッション形のnチャネルMOSFETよ
りなる駆動用のスイッチ素子5のゲートが接続される。
抵抗4はスイッチ素子5のゲート−ソース間に接続さ
れ、受光素子2はゲート−ドレイン間に接続される。ス
イッチ素子3a,3bはゲート同士、ソース同士がそれ
ぞれ共通に接続され、ゲートはスイッチ素子5のドレイ
ンに接続され、ソースはスイッチ素子のソースに接続さ
れる。また、各スイッチ素子3a,3bのドレインはそ
れぞれ出力端子tb,tcに接続される。また、両スイ
ッチ素子3a,3bのソースは端子tb’に接続され
る。
【0003】図6に示した半導体リレーはノーマリオフ
形のものであって、入力端子ta,ta’間に入力電流
が流れて発光素子1が点灯すると、発光素子1に光結合
されている受光素子2に光起電力が生じる。この光起電
力により抵抗4に電流が流れてスイッチ素子5のゲート
−ソース間に電圧が印加される。スイッチ素子5はデプ
レッション形であるから、ゲート−ソース間に電圧が印
加されていない状態ではオンであるが、ゲート−ソース
間の印加電圧がスイッチ素子5のしきい値電圧以上にな
るとスイッチ素子5はオフになる。スイッチ素子5のオ
ン時にはスイッチ素子3a,3bのゲート−ソース間に
電圧が印加されないから、エンハンスメント形であるス
イッチ素子3a,3bはオフであるが、スイッチ素子5
がオフになるとスイッチ素子3a,3bのゲート−ソー
ス間に受光素子2と抵抗4との直列回路により電圧が印
加されるから、この印加電圧がスイッチ素子3a,3b
のしきい値電圧以上であれば、スイッチ素子3a,3b
がオンになる。スイッチ素子5がオフになってスイッチ
素子3a,3bがオンになった状態では抵抗4に微小電
流が流れ、この電流で抵抗4の両端間に生じる電圧によ
りスイッチ素子5は高インピーダンスに保たれる。な
お、スイッチ素子3a,3bがオンであるときに抵抗4
を流れる電流は小さいが、抵抗4の値を十分に大きく設
定しておくことによりスイッチ素子5をオフに保つのに
必要なバイアス電圧が得られる。
【0004】一方、入力端子ta,ta’間に電流が流
れなくなると発光素子1は消灯し、受光素子2に光起電
力が生じなくなる。したがって、スイッチ素子5のゲー
ト−ソース間に電圧が印加されなくなり、スイッチ素子
5がオンになる。つまり、スイッチ素子3a,3bのゲ
ート−ソース間の容量成分に蓄積されていた電荷がスイ
ッチ素子5を通して急速に放電され、スイッチ素子3
a,3bはオフになり、出力端子tb,tc間が遮断さ
れる。ここで、2個のスイッチ素子3a,3bのドレイ
ン−ソース間を逆直列に接続しているからスイッチ素子
3a,3bのボディダイオードが逆直列に接続され、出
力端子tb,tc間が遮断されている状態ではボディダ
イオードを通して電流が流れることはない。つまり、上
記構成では交流用としても直流用としても用いることが
できる。また、出力用のスイッチ素子を1個にすればボ
ディダイオードを通して電流が流れるから、直流用にの
み用いることができる。上述のものはノーマリオフ形の
半導体リレーであるが、スイッチ素子3a,3bとして
デプレッション形のものを用いるなどして、ノーマリオ
ン形の半導体リレーも提案されている。
【0005】ところで、上述した構成の半導体リレー
は、図7に示す形でパッケージ10に収納されている。
図示するパッケージ10は表面実装形であるSO(smal
l outline )形のパッケージであって、2枚のリードフ
レーム11,12に部品を実装している。一方のリード
フレーム11には、受光部品6とスイッチ素子3a,3
bとが銀ペーストなどを用いたダイボンディングにより
固定される。受光部品6は受光素子2と抵抗4とスイッ
チ素子5とをワンチップ化した素子である。また、受光
部品6とスイッチ素子3a,3bとリードフレーム11
とは金線であるワイヤ7を用いたワイヤボンディングに
より接続される。他方のリードフレーム12には、発光
素子1が銀ペーストなどを用いてダイボンディングによ
り固定され、発光素子1とリードフレーム12とがワイ
ヤ7を用いて接続される。両リードフレーム11,12
は発光素子1と受光部品6とが対向するように配置さ
れ、発光素子1と受光部品6との間には両者を光結合さ
せるための透明樹脂よりなるカプリング部材13が充填
される。さらに、全体が不透明樹脂のトランスファ成形
により封止されパッケージ10が形成される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上述した構成では、2
枚のリードフレーム11,12でそれぞれワイヤ7を用
いたワイヤボンディングを行ない、しかも両リードフレ
ーム11,12が対向して配置されるから、リードフレ
ーム11,12の厚み方向におけるパッケージ10の寸
法が大きくなり、薄型化や小型化の実現が難しいという
問題がある。また、トランスファ成形によりパッケージ
10を形成するから、樹脂の流れによってリードフレー
ム11,12が曲がることがあり、発光素子1と受光素
子(受光部品6)2との距離にばらつきが生じることが
ある。
【0007】本発明は上記事由に鑑みて為されたもので
あり、その目的は、リードフレームを用いることなく薄
型化かつ小型化することができる半導体リレーを提供す
ることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、発光
素子に光結合された受光部品の出力によりスイッチ素子
がオンオフされる半導体リレーであって、スイッチ素子
が回路基板に実装され、発光素子が受光部品にビルドア
ップ素子として実装されて受光部品と一体化され、前記
スイッチ素子と受光部品とがフリップチップボンディン
グにより電気的に接続されたものである。この構成によ
れば、発光素子と受光素子とをビルドアップ素子として
一体化するから、発光素子と受光素子との位置合わせの
精度が高くなる。また、1枚の回路基板の上に部品を載
せているから、2枚のリードフレームを用いる場合に比
較すると、薄型化が可能になり、表面実装用の端子を設
けている従来構成に比較すると小面積化も可能になる。
さらに、リードフレームを用いていないことによって、
リードフレームの曲がりによる不良品の発生が少なくな
り、歩留りが向上する。
【0009】請求項2の発明は、請求項1の発明におい
て、回路基板において発光素子を挟んで受光部品と対向
する部位に反射板が接着されたものである。この構成に
よれば、請求項1の発明の作用に加えて、反射板によっ
て発光素子から受光部品への光の伝達効率が高まり、高
感度化が可能になる。請求項3の発明は、請求項1の発
明において、回路基板において発光素子を挟んで受光部
品と対向する部位に反射板がメッキされたものである。
請求項2の発明と同様の作用を有する。
【0010】請求項4の発明は、請求項1の発明におい
て、回路基板において発光素子を挟んで受光部品と対向
する部位に凹曲面の反射板が設けられたものである。請
求項3の発明と同様の作用を持つとともに、反射板が凹
面鏡になるから、発光素子から受光部品への光の伝達効
率を一層高くすることができる。請求項5の発明は、発
光素子に光結合された受光部品の出力によりスイッチ素
子がオンオフされる半導体リレーであって、回路基板に
設けた凹所内に受光部品と回路基板との表面を揃える形
で受光部品が収納され、発光素子が受光部品に実装され
てビルドアップ素子として受光部品と一体化され、スイ
ッチ素子が受光部品と回路基板とに跨がる形でフリップ
チップボンディングにより電気的に接続されたものであ
る。この構成によれば、請求項1の発明と同様の作用に
加えて、受光部品が凹所に収納されていることによっ
て、請求項1の発明よりも一層の薄型化が可能になる。
また、スイッチ素子が受光部品と回路基板とにフリップ
チップボンディングにより接続されるから、ワイヤボン
ディングを施す必要がなく、作業工数の低減につなが
る。
【0011】
【発明の実施の形態】以下に説明する実施形態は、2枚
のリードフレームに代えて1枚の回路基板に部品を実装
するとともに、ワイヤボンディングを施す箇所を低減し
てフリップチップボンディングを適用する構成としたも
のであり、この構成を実現するために、発光素子1を受
光部品6と積み重ねて一体化し(ビルドアップ素子とい
う)、またスイッチ素子3a,3bの間に形成される間
隙に発光素子1を配置している。なお、以下の説明では
図6に示した回路構成を想定しているが、他の回路構成
でも同様の技術思想を適用することが可能である。
【0012】(実施形態1)本実施形態は、図1に示す
ように、導電パターンを形成したセラミック基板のよう
な回路基板8の上に出力用の一対のスイッチ素子3a,
3bが実装される。両スイッチ素子3a,3bのチップ
は回路基板8に銀ペーストを用いてダイボンディングが
施され、金線であるワイヤ7を用いてワイヤボンディン
グが施されることにより回路基板8上の回路パターンに
接続される。また、両スイッチ素子3a,3bは離間し
て配設される。
【0013】一方、発光素子1は受光部品6に積層さ
れ、銀ペーストよりなる接続部材9を介して受光部品6
に一体に結合されるとともに、受光部品6の表面に形成
した導電パターン(図示せず)に電気的に接続される。
このような発光素子1と受光部品6との積層体をビルド
アップ素子と呼んでいる。ビルドアップ素子についてさ
らに詳しく説明する。図2に示すように、受光部品6の
上面に受光素子2の受光部6aが一対設けられ、両受光
部6aの間には発光素子1を接続する一対のパッド6b
が形成される。また、受光部品6の上面の四隅にはそれ
ぞれ電極6c,6dが形成される。電極6cは受光部品
6の出力端であってスイッチ素子5のドレインとソース
とにそれぞれ接続されている。また、パッド6bと電極
6dとは受光部品6の上面に形成された導電パターンを
介して接続される。発光素子1は両パッド6bに跨がる
形で受光部品6の上面に重ねられ、発光素子1の一対の
電極1aが銀ペーストよりなる接続部材9によりパッド
6bに接続される。本実施形態では、このように受光部
品6と発光素子1とを積み重ねて一体化したものをビル
ドアップ素子と称している。なお、電極6c,6dは後
述するようにフリップチップボンディングによりスイッ
チ素子3a,3bに接続される。
【0014】ビルドアップ素子は上述のように構成され
ているから、発光素子1の発光面と受光部品6の受光部
6aとは対向していない。そこで、発光素子1と受光部
品6との間の光結合を良好にするために透明樹脂よりな
るカプリング部材を発光素子1と受光部品6との間に設
けてもよい。ここに、回路基板8の表面に平行な面内で
発光素子1の面積は受光部品6よりも小さく、受光部品
6に固定された発光素子1が両スイッチ素子3a,3b
の間に形成されている間隙内に挿入され、受光部品6の
両側部がスイッチ素子3a,3bの一部に重なるように
寸法関係が設定してある。受光部品6の電極6c,6d
はスイッチ素子3a,3bに形成したバンプ14を介し
てフリップチップボンディングの技術を用いて接続され
る。また、発光素子1は電極6dを介してスイッチ素子
3a,3bの表面に形成された導電パターン(図示せ
ず)に接続される。
【0015】スイッチ素子3a,3bの導電パターンお
よびスイッチ素子3a,3bの電極はワイヤ7を用いて
回路基板8に接続される。すなわち、スイッチ素子3
a,3bは回路基板8の導電パターンを通して出力端子
tb,tcに接続され、発光素子1は受光部品6の導電
パターン、バンプ14、スイッチ素子3a,3bの導電
パターン、ワイヤ7、回路基板8の導電パターンを介し
て入力端子ta,ta’に接続される。
【0016】上述のように部品を配置し電気的に接続し
た状態で、エポキシ樹脂を用いたアンダフィル部材15
により全体を覆う。スイッチ素子3a,3bへの発光素
子1からの光や外光の影響を低減するためにアンダフィ
ル部材15は不透明樹脂であるのが望ましい。なお、カ
プリング部材を用いないときには、発光素子1と受光部
6aとの間にアンダフィル部材15が充填されないよう
にしておく。
【0017】上述した構成によって、1枚の回路基板8
の一面にすべての部品が配置されるから、従来構成に比
較して厚み寸法(図1の上下方向の寸法)を小さくする
ことが可能になる。また、発光素子1と受光部品6とは
ビルドアップ素子として一体化されており、リードフレ
ームを用いないからアンダフィル部材15を適用する際
に発光素子1と受光部品6との位置ずれが生じることが
ない。しかも、ワイヤ7を用いている箇所がスイッチ素
子3a,3bと回路基板8との接続部分だけになり、こ
のことによっても薄型化かつ小型化が可能になる。
【0018】(実施形態2)本実施形態は、図3に示す
ように、回路基板8に受光部品6を収納する凹所8aを
形成し、受光部品6の一面と回路基板8の一面とがほぼ
同一平面上に位置するように配置したものである。実施
形態1と同様に受光部品6の上には発光素子1が重ねら
れて受光部品6と発光素子1とによりビルドアップ素子
が形成されている。また、スイッチ素子3a,3bは回
路基板8と受光部品6とに対してバンプ14を介してフ
リップチップボンディングにより接続されている。つま
り、スイッチ素子3a,3bと回路基板8とをワイヤボ
ンディングを用いずに接続している。本実施形態では、
回路基板8に凹所8aを形成しているから、回路基板8
の厚みが実施形態1と同じであるとすれば、実施形態1
よりもさらに厚み寸法を低減することが可能である。図
3より明らかなように、本実施形態ではスイッチ素子3
a,3bの一面にバンプ14が配置されているから、ス
イッチ素子3a,3bとしてはゲート、ソース、ドレイ
ンが一面に形成されたLDMOSを用いるのが望まし
い。他の構成は実施形態1と同様である。
【0019】(実施形態3)本実施形態は、図4に示す
ように、実施形態1の構成とほぼ同様であるが、回路基
板8において受光部品6の対向部位に反射板16を配置
したものである。つまり、発光素子1からの光の一部を
反射板16により反射させて受光部品6に入射させてい
るから、発光素子1から出射された光の利用効率が高く
なり、動作電圧を低減して感度を高めることができる。
【0020】反射板16は、回路基板8に接着したり、
メッキにより形成したりすることができる。また、この
構成の場合には発光素子1からの光を反射板16で反射
させるから、受光部品6と回路基板8との間にはアンダ
フィル部材15を充填しないか、あるいは充填しても透
明樹脂としておくのが望ましい。他の構成および動作は
実施形態1と同様である。
【0021】(実施形態4)本実施形態は、図5に示す
ように、回路基板8において受光部品6との対向部位に
内周面が凹曲面となった凹部17を形成し、この凹部1
7の内周面に反射板16aを設けたものである。反射板
16aはメッキにより形成される。この反射板16aは
凹面鏡として機能するから、発光素子1からの光の集光
量を実施形態3よりもさらに大きくして、発光素子1か
ら出射された光の利用効率をさらに高めることができ
る。また、この構成では発光素子1からの光を反射板1
6aで反射させるから、受光部品6と回路基板8との間
にはアンダフィル部材15を充填しないか、あるいは充
填しても透明樹脂としておくのが望ましい。他の構成お
よび動作は実施形態1と同様である。
【0022】上述した各実施形態では、図6に示した回
路構成に対応した構造を示したが、従来構成としても説
明したように、直流用であれば出力用のスイッチ素子を
1個だけ設けてもよい。また、発光素子1と受光部品6
とを一体化したビルドアップ素子における発光素子1の
周囲を透明樹脂のカプリング部材で覆うようにすれば、
カプリング部材の界面での反射により発光素子1から出
射された光の受光部品6への伝達効率を高めることがで
きる。
【0023】
【発明の効果】請求項1の発明は、発光素子に光結合さ
れた受光部品の出力によりスイッチ素子がオンオフされ
る半導体リレーであって、スイッチ素子が回路基板に実
装され、発光素子が受光部品にビルドアップ素子として
実装されて受光部品と一体化され、前記スイッチ素子と
受光部品とがフリップチップボンディングにより電気的
に接続されたものであり、発光素子と受光素子とをビル
ドアップ素子として一体化するから、発光素子と受光素
子との位置合わせの精度が高くなるという利点がある。
また、1枚の回路基板の上に部品を載せているから、2
枚のリードフレームを用いる場合に比較すると、薄型化
が可能になり、表面実装用のリードを設けている従来構
成に比較すると小面積化も可能になるという利点があ
る。さらに、リードフレームを用いていないことによっ
て、リードフレームの曲がりによる不良品の発生が少な
くなり、歩留りが向上するという利点がある。
【0024】請求項2の発明のように、回路基板におい
て発光素子を挟んで受光部品と対向する部位に反射板が
接着されたものや、請求項3の発明のように、回路基板
において発光素子を挟んで受光部品と対向する部位に反
射板がメッキされたものでは、請求項1の発明の効果に
加えて、反射板によって発光素子から受光部品への光の
伝達効率が高まり、高感度化が可能になるという利点が
ある。
【0025】請求項4の発明のように、回路基板におい
て発光素子を挟んで受光部品と対向する部位に凹曲面の
反射板が設けられたものでは、請求項1の発明と効果を
奏するととともに、反射板が凹面鏡になるから、発光素
子から受光部品への光の伝達効率が一層高くなる可能性
がある。請求項5の発明は、発光素子に光結合された受
光部品の出力によりスイッチ素子がオンオフされる半導
体リレーであって、回路基板に設けた凹所内に受光部品
と回路基板との表面を揃える形で受光部品が収納され、
発光素子が受光部品に実装されてビルドアップ素子とし
て受光部品と一体化され、スイッチ素子が受光部品と回
路基板とに跨がる形でフリップチップボンディングによ
り電気的に接続されたものであり、請求項1の発明と同
様の作用に加えて、受光部品が凹所に収納されているこ
とによって、請求項1の発明よりも一層の薄型化が可能
になるという利点がある。また、スイッチ素子が受光部
品と回路基板とにフリップチップボンディングにより接
続されるから、ワイヤボンディングを施す必要がなく、
作業工数の低減につながるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1を示す断面図である。
【図2】同上に用いるビルドアップ素子を示し、(a)
は分解斜視図、(b)は斜視図である。
【図3】本発明の実施形態2を示す断面図である。
【図4】本発明の実施形態3を示し、(a)は断面図、
(b)は発光素子と受光部品とを積層したビルドアップ
素子の下面図である。
【図5】本発明の実施形態4を示す断面図である。
【図6】従来例を示す回路図である。
【図7】従来例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 発光素子 2 受光素子 3a,3b スイッチ素子 4 抵抗 5 スイッチ素子 6 受光部品 7 ワイヤ 8 回路基板 8a 凹所 9 接続部材 10 パッケージ 11,12 リードフレーム 13 カプリング部材 14 バンプ 15 アンダフィル部材 16 反射板 16a 反射板 17 凹部

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発光素子に光結合された受光部品の出力
    によりスイッチ素子がオンオフされる半導体リレーであ
    って、スイッチ素子が回路基板に実装され、発光素子が
    受光部品にビルドアップ素子として実装されて受光部品
    と一体化され、前記スイッチ素子と受光部品とがフリッ
    プチップボンディングにより電気的に接続されて成るこ
    とを特徴とする半導体リレー。
  2. 【請求項2】 回路基板において発光素子を挟んで受光
    部品と対向する部位に反射板が接着されて成ることを特
    徴とする請求項1記載の半導体リレー。
  3. 【請求項3】 回路基板において発光素子を挟んで受光
    部品と対向する部位に反射板がメッキされて成ることを
    特徴とする請求項1記載の半導体リレー。
  4. 【請求項4】 回路基板において発光素子を挟んで受光
    部品と対向する部位に凹曲面の反射板が設けられて成る
    ことを特徴とする請求項1記載の半導体リレー。
  5. 【請求項5】 発光素子に光結合された受光部品の出力
    によりスイッチ素子がオンオフされる半導体リレーであ
    って、回路基板に設けた凹所内に受光部品と回路基板と
    の表面を揃える形で受光部品が収納され、発光素子が受
    光部品に実装されてビルドアップ素子として受光部品と
    一体化され、スイッチ素子が受光部品と回路基板とに跨
    がる形でフリップチップボンディングにより電気的に接
    続されて成ることを特徴とする半導体リレー。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2005123894A (ja) * 2003-10-16 2005-05-12 Matsushita Electric Works Ltd 高周波用マルチチップモジュール基板
JP2015050281A (ja) * 2013-08-30 2015-03-16 株式会社東芝 光結合装置
JP2016219823A (ja) * 2016-07-22 2016-12-22 株式会社東芝 半導体装置

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