JPH11271816A - レーザ光制御装置及び方法 - Google Patents
レーザ光制御装置及び方法Info
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- JPH11271816A JPH11271816A JP7573698A JP7573698A JPH11271816A JP H11271816 A JPH11271816 A JP H11271816A JP 7573698 A JP7573698 A JP 7573698A JP 7573698 A JP7573698 A JP 7573698A JP H11271816 A JPH11271816 A JP H11271816A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気光学素子を用いることにより、大きな角
度でレーザ光を偏向させるとともに、高い変調周波数で
レーザ光を偏向させる。 【解決手段】 レーザ光を出射する光源と、光源からの
レーザ光が入射され、偏向させる電気光学素子と、電気
光学素子のレーザ光入射面及び出射面に対向して配設さ
れた反射部とを備え、電気光学素子の内部でレーザ光を
多重反射させてレーザ光を偏向する。
度でレーザ光を偏向させるとともに、高い変調周波数で
レーザ光を偏向させる。 【解決手段】 レーザ光を出射する光源と、光源からの
レーザ光が入射され、偏向させる電気光学素子と、電気
光学素子のレーザ光入射面及び出射面に対向して配設さ
れた反射部とを備え、電気光学素子の内部でレーザ光を
多重反射させてレーザ光を偏向する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ光を偏向さ
せるレーザ光制御装置及び方法に関する。
せるレーザ光制御装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、レーザ光を偏向させる手法として
は、例えば音響光学素子や、電気光学素子を用いて行う
のが一般的である。
は、例えば音響光学素子や、電気光学素子を用いて行う
のが一般的である。
【０００３】音響光学素子でレーザ光を偏向させるとき
には、音響光学素子に電圧を印加することで内部に音波
を発生させることにより、入射したレーザ光を偏向す
る。一方、電気光学素子でレーザ光を偏向させるとき
も、上述と同様に、電気光学素子に電圧を印加して内部
を通過したレーザ光を偏向させる。
には、音響光学素子に電圧を印加することで内部に音波
を発生させることにより、入射したレーザ光を偏向す
る。一方、電気光学素子でレーザ光を偏向させるとき
も、上述と同様に、電気光学素子に電圧を印加して内部
を通過したレーザ光を偏向させる。
【０００４】ところで、例えば材料の表面物性等を測定
する顕微鏡の分野においては、光学的に高分解能で測定
する走査型顕微鏡が知られている。この走査型顕微鏡
は、測定対象となる材料の表面にレーザ光をスキャンさ
せることで、表面物性等を測定する。このとき、走査型
顕微鏡は、より広い範囲でスキャンするために、大きな
偏向角度でレーザ光をスキャンさせることが望ましい。
また、この光学顕微鏡は、高速で表面物性を測定するた
めに、より高い周波数でレーザ光をスキャンさせること
が望ましい。
する顕微鏡の分野においては、光学的に高分解能で測定
する走査型顕微鏡が知られている。この走査型顕微鏡
は、測定対象となる材料の表面にレーザ光をスキャンさ
せることで、表面物性等を測定する。このとき、走査型
顕微鏡は、より広い範囲でスキャンするために、大きな
偏向角度でレーザ光をスキャンさせることが望ましい。
また、この光学顕微鏡は、高速で表面物性を測定するた
めに、より高い周波数でレーザ光をスキャンさせること
が望ましい。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の音響光
学素子を用いてレーザ光を偏向させる手法では、印加さ
れる電圧に対する音響光学素子の応答速度が遅いため
に、高い周波数で変調して偏向させることが困難であ
る。
学素子を用いてレーザ光を偏向させる手法では、印加さ
れる電圧に対する音響光学素子の応答速度が遅いため
に、高い周波数で変調して偏向させることが困難であ
る。
【０００６】また、電気光学素子を用いてレーザ光を偏
向させる手法では、印加される電圧に対する応答速度は
速いが、偏向角度が小さいために、大きな偏向角度を得
ることが困難である。
向させる手法では、印加される電圧に対する応答速度は
速いが、偏向角度が小さいために、大きな偏向角度を得
ることが困難である。
【０００７】また、上述の電気光学素子は、主としてレ
ーザ光の位相や強度を変化させるときに用いられてお
り、上述の顕微鏡の分野や、光記録の分野では、電気光
学素子を用いてレーザ光を偏向させるということはほと
んどなされていなかった。
ーザ光の位相や強度を変化させるときに用いられてお
り、上述の顕微鏡の分野や、光記録の分野では、電気光
学素子を用いてレーザ光を偏向させるということはほと
んどなされていなかった。
【０００８】そこで、本発明は、上述したような実情に
鑑みて提案されたものであり、電気光学素子を用いるこ
とにより、大きな角度でレーザ光を偏向させるととも
に、高い変調周波数でレーザ光を偏向させることができ
るレーザ光制御装置及び方法を提供することを目的とす
る。
鑑みて提案されたものであり、電気光学素子を用いるこ
とにより、大きな角度でレーザ光を偏向させるととも
に、高い変調周波数でレーザ光を偏向させることができ
るレーザ光制御装置及び方法を提供することを目的とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決する本
発明に係るレーザ光制御装置は、レーザ光を出射する光
源と、光源からのレーザ光を偏向させる電気光学素子
と、電気光学素子のレーザ光入射面及び出射面に対向し
て配設された反射部とを備えることを特徴とするもので
ある。
発明に係るレーザ光制御装置は、レーザ光を出射する光
源と、光源からのレーザ光を偏向させる電気光学素子
と、電気光学素子のレーザ光入射面及び出射面に対向し
て配設された反射部とを備えることを特徴とするもので
ある。
【００１０】このようなレーザ光制御装置は、電気光学
素子のレーザ光入射面及び出射面に対向して配設された
反射部とを備えるので、電気光学素子に入射されたレー
ザ光を再び反射して電気光学素子に入射することを繰り
返して出射する。
素子のレーザ光入射面及び出射面に対向して配設された
反射部とを備えるので、電気光学素子に入射されたレー
ザ光を再び反射して電気光学素子に入射することを繰り
返して出射する。
【００１１】また、本発明に係るレーザ光制御方法によ
れば、レーザ光を電気光学素子のレーザ光入射面に入射
し、電気光学素子のレーザ光入射面及び出射面に対向し
て配設させた反射部によりレーザ光を上記電気光学素子
を複数回通過させ、レーザ光を偏向させる。
れば、レーザ光を電気光学素子のレーザ光入射面に入射
し、電気光学素子のレーザ光入射面及び出射面に対向し
て配設させた反射部によりレーザ光を上記電気光学素子
を複数回通過させ、レーザ光を偏向させる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。
て図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１３】図１に本実施の形態に係るレーザ光制御装
置１を示す。このレーザ光制御装置１は、レーザ光を出
射する光源２と、光源２からのレーザ光を入射して偏向
する偏向素子３と、偏向素子３に信号を供給する信号生
成回路４とを備える。
置１を示す。このレーザ光制御装置１は、レーザ光を出
射する光源２と、光源２からのレーザ光を入射して偏向
する偏向素子３と、偏向素子３に信号を供給する信号生
成回路４とを備える。
【００１４】光源２は、レーザ光Ｌ1を偏向素子３に出
射する。この光源２から出射されるレーザ光Ｌ1は、偏
向素子３の入射面３ａに対して所定の角度を有して入射
される。
射する。この光源２から出射されるレーザ光Ｌ1は、偏
向素子３の入射面３ａに対して所定の角度を有して入射
される。
【００１５】偏向素子３は、電気的信号に応じて内部に
電界を発生させる板形状の結晶である電気光学素子５を
備える。この偏向素子３は、図２及び図３に示すよう
に、電気光学素子５の入射面３ａ側に配された入射部６
ａと、第１の反射部７ａと、電気光学素子５の出射面３
ｂ側に配された出射部６ｂと、第２の反射部７ｂとを備
える。
電界を発生させる板形状の結晶である電気光学素子５を
備える。この偏向素子３は、図２及び図３に示すよう
に、電気光学素子５の入射面３ａ側に配された入射部６
ａと、第１の反射部７ａと、電気光学素子５の出射面３
ｂ側に配された出射部６ｂと、第２の反射部７ｂとを備
える。
【００１６】入射部６ａは、電気光学素子５の入射面３
ａ側に無反射コートをすることにより形成され、光源２
からレーザ光Ｌ1が入射される。この入射部６ａは、入
射されたレーザ光Ｌ1を低損失で電気光学素子５の内部
に導く。
ａ側に無反射コートをすることにより形成され、光源２
からレーザ光Ｌ1が入射される。この入射部６ａは、入
射されたレーザ光Ｌ1を低損失で電気光学素子５の内部
に導く。
【００１７】第１の反射部７ａは、電気光学素子５の入
射面３ａのうち、入射部６ａが形成されてない部分以外
の部分に形成される。この第１の反射部７ａは、電気光
学素子５内を通過して入射されたレーザ光を出射面３ｂ
に向かって反射する。また、第２の反射部７ｂは、電気
光学素子５の出射面３ｂのうち、出射部６ｂが形成され
てない部分以外の部分に形成される。この第２の反射部
７ｂは、電気光学素子５内を通過して入射されたレーザ
光Ｌ2を入射面３ａに向かって反射する。
射面３ａのうち、入射部６ａが形成されてない部分以外
の部分に形成される。この第１の反射部７ａは、電気光
学素子５内を通過して入射されたレーザ光を出射面３ｂ
に向かって反射する。また、第２の反射部７ｂは、電気
光学素子５の出射面３ｂのうち、出射部６ｂが形成され
てない部分以外の部分に形成される。この第２の反射部
７ｂは、電気光学素子５内を通過して入射されたレーザ
光Ｌ2を入射面３ａに向かって反射する。
【００１８】出射部６ｂは、電気光学素子５の出射面３
ｂ側に無反射コートをすることにより形成され、電気光
学素子５内を通過したレーザ光Ｌ2が入射される。この
入射部６ａは、入射されたレーザ光Ｌ2を低損失で偏向
素子３の外部に導く。
ｂ側に無反射コートをすることにより形成され、電気光
学素子５内を通過したレーザ光Ｌ2が入射される。この
入射部６ａは、入射されたレーザ光Ｌ2を低損失で偏向
素子３の外部に導く。
【００１９】この電気光学素子５は、例えば屈折率が異
なる２つの領域８，９に分割される。この電気光学素子
５は、例えば所定の屈折率ｎ1を有する第１の領域８
と、上記所定の屈折率ｎ1よりも低い屈折率ｎ2の第２の
領域９に分割される。このように、電気光学素子５は、
屈折率が異なる第１の領域８，第２の領域９に分割され
ることで、内部を通過するレーザ光Ｌ2を屈折させるこ
とができ、入射されたレーザ光Ｌ1の進行方向を変化さ
せることができる。
なる２つの領域８，９に分割される。この電気光学素子
５は、例えば所定の屈折率ｎ1を有する第１の領域８
と、上記所定の屈折率ｎ1よりも低い屈折率ｎ2の第２の
領域９に分割される。このように、電気光学素子５は、
屈折率が異なる第１の領域８，第２の領域９に分割され
ることで、内部を通過するレーザ光Ｌ2を屈折させるこ
とができ、入射されたレーザ光Ｌ1の進行方向を変化さ
せることができる。
【００２０】電気光学素子５は、電圧が印加される前は
全体で均一の屈折率を有し、電圧が印加されることによ
り、電場勾配により上記第１の領域８及び第２の領域９
を形成しても良く、さらには、本来屈折率が異なる結晶
を貼り合わせたものであっても良い。
全体で均一の屈折率を有し、電圧が印加されることによ
り、電場勾配により上記第１の領域８及び第２の領域９
を形成しても良く、さらには、本来屈折率が異なる結晶
を貼り合わせたものであっても良い。
【００２１】また、電気光学素子５は、図２中の信号供
給面１０ａから供給される電気信号に応じて屈折率が変
化される。例えば、この電気光学素子５は、信号供給面
１０ａから信号供給面１０ａと対向する接地面１０ｂに
向かって電界が発生しているときには、第１の屈折率ｎ
1よりも第２の屈折率ｎ2の方が小さくなる。一方、この
電気光学素子５は、接地面１０ｂから信号供給面１０ａ
に向かって電界が発生しているときには、第２の屈折率
ｎ2よりも第１の屈折率ｎ1が小さくなる。
給面１０ａから供給される電気信号に応じて屈折率が変
化される。例えば、この電気光学素子５は、信号供給面
１０ａから信号供給面１０ａと対向する接地面１０ｂに
向かって電界が発生しているときには、第１の屈折率ｎ
1よりも第２の屈折率ｎ2の方が小さくなる。一方、この
電気光学素子５は、接地面１０ｂから信号供給面１０ａ
に向かって電界が発生しているときには、第２の屈折率
ｎ2よりも第１の屈折率ｎ1が小さくなる。
【００２２】なお、この電気光学素子５は、内部が複数
の領域に分割され、隣接する各領域の屈折率が異なるも
のであっても良い。
の領域に分割され、隣接する各領域の屈折率が異なるも
のであっても良い。
【００２３】このような偏向素子３は、電気光学素子５
の入射面３ａ及び出射面３ｂに第１の反射部７ａ及び第
２の反射部７ｂを備えているので、入射部６ａで入射し
たレーザ光Ｌ1を電気光学素子５の内部で屈折させるこ
とで偏向させながら、図２中のレーザ光Ｌ2で示すよう
に、数百回以上多重反射させることができ、結果的に複
数回電気光学素子５の内部を通過させることとなる。そ
して、この偏向素子３は、入射されたレーザ光Ｌ2を多
重反射させて、出射面６ｂからレーザ光Ｌ3を出射させ
る。
の入射面３ａ及び出射面３ｂに第１の反射部７ａ及び第
２の反射部７ｂを備えているので、入射部６ａで入射し
たレーザ光Ｌ1を電気光学素子５の内部で屈折させるこ
とで偏向させながら、図２中のレーザ光Ｌ2で示すよう
に、数百回以上多重反射させることができ、結果的に複
数回電気光学素子５の内部を通過させることとなる。そ
して、この偏向素子３は、入射されたレーザ光Ｌ2を多
重反射させて、出射面６ｂからレーザ光Ｌ3を出射させ
る。
【００２４】したがって、この偏向素子３は、電気光学
素子５の内部でレーザ光Ｌ2を多重反射させることによ
り、図１に示すように、入射部６ａに入射されたレーザ
光Ｌ 1に対して偏向角度θを以て出射面６ｂからレーザ
光Ｌ3，Ｌ4出射させる。
素子５の内部でレーザ光Ｌ2を多重反射させることによ
り、図１に示すように、入射部６ａに入射されたレーザ
光Ｌ 1に対して偏向角度θを以て出射面６ｂからレーザ
光Ｌ3，Ｌ4出射させる。
【００２５】信号生成回路４は、電気光学素子５の内部
に電界を発生させるような電気信号を生成し、電気光学
素子５の信号供給面１０ａに電気信号を供給する。この
信号生成回路４は、電気光学素子５の第１の領域８と第
２の領域９との屈折率ｎ1，ｎ2を所定の周波数で変化さ
せるような電気信号を電気光学素子５に供給する。信号
生成回路４は、所定の周波数で第１の領域８及び第２の
領域９の屈折率ｎ1，ｎ2を変化させる電気信号を電気光
学素子５に供給することでレーザ光Ｌ2の偏光方向を変
化させる。また、この信号生成回路４は、出射部６ｂか
ら出射するレーザ光を変調して出射させるときには、交
流の電気信号を電気光学素子５に供給する。
に電界を発生させるような電気信号を生成し、電気光学
素子５の信号供給面１０ａに電気信号を供給する。この
信号生成回路４は、電気光学素子５の第１の領域８と第
２の領域９との屈折率ｎ1，ｎ2を所定の周波数で変化さ
せるような電気信号を電気光学素子５に供給する。信号
生成回路４は、所定の周波数で第１の領域８及び第２の
領域９の屈折率ｎ1，ｎ2を変化させる電気信号を電気光
学素子５に供給することでレーザ光Ｌ2の偏光方向を変
化させる。また、この信号生成回路４は、出射部６ｂか
ら出射するレーザ光を変調して出射させるときには、交
流の電気信号を電気光学素子５に供給する。
【００２６】上述したように、レーザ光制御装置１によ
れば、所定の周波数で第１の領域８及び第２の領域９の
屈折率ｎ1，ｎ2を変化させるように電気信号を電気光学
素子５に供給し、レーザ光を電気光学素子５の内部で多
重反射させることにより、図１中のレーザ光Ｌ3からレ
ーザ光Ｌ4で示す範囲内においてレーザ光Ｌ1を偏向して
変調することができる。したがって、このレーザ光制御
装置１によれば、電気光学素子５の内部でレーザ光を多
重反射させることにより、レーザ光を屈折させる回数を
多くすることができ、出射部６ｂから出射するレーザ光
Ｌ3，Ｌ4のレーザ光Ｌ1に対する偏向角度θを大きくす
ることができる。また、このレーザ光制御装置１は、レ
ーザ光Ｌ1を偏向させる素子として、電気光学素子５を
用いているので、信号生成回路４からの電気信号に対す
る応答性が速く、高い変調周波数のレーザ光Ｌ3，Ｌ4を
生成することができる。
れば、所定の周波数で第１の領域８及び第２の領域９の
屈折率ｎ1，ｎ2を変化させるように電気信号を電気光学
素子５に供給し、レーザ光を電気光学素子５の内部で多
重反射させることにより、図１中のレーザ光Ｌ3からレ
ーザ光Ｌ4で示す範囲内においてレーザ光Ｌ1を偏向して
変調することができる。したがって、このレーザ光制御
装置１によれば、電気光学素子５の内部でレーザ光を多
重反射させることにより、レーザ光を屈折させる回数を
多くすることができ、出射部６ｂから出射するレーザ光
Ｌ3，Ｌ4のレーザ光Ｌ1に対する偏向角度θを大きくす
ることができる。また、このレーザ光制御装置１は、レ
ーザ光Ｌ1を偏向させる素子として、電気光学素子５を
用いているので、信号生成回路４からの電気信号に対す
る応答性が速く、高い変調周波数のレーザ光Ｌ3，Ｌ4を
生成することができる。
【００２７】したがって、このようなレーザ光制御装置
１によれば、例えば光学顕微鏡の光源として用いられた
とき、偏向角度θを大きくして、より広い範囲でレーザ
光をスキャンさせることができる。さらに、このレーザ
光制御装置１によれば、より高い変調周波数でレーザ光
をスキャンさせることができ、高速で表面物性を測定さ
せることができる。
１によれば、例えば光学顕微鏡の光源として用いられた
とき、偏向角度θを大きくして、より広い範囲でレーザ
光をスキャンさせることができる。さらに、このレーザ
光制御装置１によれば、より高い変調周波数でレーザ光
をスキャンさせることができ、高速で表面物性を測定さ
せることができる。
【００２８】また、このレーザ光制御装置１によれば、
例えばディスクにレーザ光を用いて信号を記録する光記
録方式において、高い変調周波数で、かつ、大きな偏向
角度θでレーザ光をディスク上に走査させることでき、
ディスク上の所定の位置にレーザ光を集光させることも
できる。
例えばディスクにレーザ光を用いて信号を記録する光記
録方式において、高い変調周波数で、かつ、大きな偏向
角度θでレーザ光をディスク上に走査させることでき、
ディスク上の所定の位置にレーザ光を集光させることも
できる。
【００２９】なお、上述の実施の形態では、第１の反射
部７ａ及び第２の反射部７ｂを電気光学素子５の入射面
３ａ及び出射面３ｂに薄膜として形成した一例について
説明したが、例えば第１の反射部７ａ及び第２の反射部
７ｂを凹面状に形成しても良い。
部７ａ及び第２の反射部７ｂを電気光学素子５の入射面
３ａ及び出射面３ｂに薄膜として形成した一例について
説明したが、例えば第１の反射部７ａ及び第２の反射部
７ｂを凹面状に形成しても良い。
【００３０】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るレーザ光制御装置は、電気光学素子のレーザ光入射面
及び出射面に対向して配設された反射部とを備えている
ので、電気光学素子に入射されたレーザ光を内部で多重
反射させることでき、入射されたレーザ光に対して大き
な偏向角度を有するレーザ光とすることができる。ま
た、このレーザ光制御装置は、レーザ光を偏向させるも
のとして、電気光学素子を備えているので、電気光学素
子に供給される信号に対して応答性を速くして変調させ
ることができ、高い変調周波数でレーザ光を偏向させる
ことができる。
るレーザ光制御装置は、電気光学素子のレーザ光入射面
及び出射面に対向して配設された反射部とを備えている
ので、電気光学素子に入射されたレーザ光を内部で多重
反射させることでき、入射されたレーザ光に対して大き
な偏向角度を有するレーザ光とすることができる。ま
た、このレーザ光制御装置は、レーザ光を偏向させるも
のとして、電気光学素子を備えているので、電気光学素
子に供給される信号に対して応答性を速くして変調させ
ることができ、高い変調周波数でレーザ光を偏向させる
ことができる。
【００３１】また、本発明に係るレーザ光制御方法は、
レーザ光を電気光学素子のレーザ光入射面に入射し、電
気光学素子のレーザ光入射面及び出射面に対向して配設
させた反射部によりレーザ光を電気光学素子を複数回通
過させるので、電気光学素子に入射されたレーザ光を内
部で多重反射させることでき、入射されたレーザ光に対
して大きな偏向角度を有するレーザ光とすることができ
る。また、このレーザ光制御方法によれば、電気光学素
子によりレーザ光を偏向させているので、電気光学素子
に供給される信号に対して応答性を速くして変調するこ
とができ、高い変調周波数でレーザ光を偏向することが
できる。
レーザ光を電気光学素子のレーザ光入射面に入射し、電
気光学素子のレーザ光入射面及び出射面に対向して配設
させた反射部によりレーザ光を電気光学素子を複数回通
過させるので、電気光学素子に入射されたレーザ光を内
部で多重反射させることでき、入射されたレーザ光に対
して大きな偏向角度を有するレーザ光とすることができ
る。また、このレーザ光制御方法によれば、電気光学素
子によりレーザ光を偏向させているので、電気光学素子
に供給される信号に対して応答性を速くして変調するこ
とができ、高い変調周波数でレーザ光を偏向することが
できる。
【図１】本実施の形態に係るレーザ光制御装置を示す構
成図である。
成図である。
【図２】本実施の形態に係るレーザ光制御装置に備えら
れる偏向素子を説明するための図である。
れる偏向素子を説明するための図である。
【図３】本実施の形態に係るレーザ光制御装置に備えら
れる偏向素子を説明するための図である。
れる偏向素子を説明するための図である。
１ レーザ光制御装置、２ 光源、３ 偏向素子、３ａ
出射面、３ｂ 出射面、４ 信号生成回路、５ 電気
光学素子、６ａ 入射部、６ｂ 出射部、７ａ第１の反
射部、７ｂ 第２の反射部、８ 第１の領域、９ 第２
の領域
出射面、３ｂ 出射面、４ 信号生成回路、５ 電気
光学素子、６ａ 入射部、６ｂ 出射部、７ａ第１の反
射部、７ｂ 第２の反射部、８ 第１の領域、９ 第２
の領域
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年３月１５日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決する本
発明に係るレーザ光制御装置は、レーザ光を出射する光
源と、板形状となされ一方の面から電圧が印加されるこ
とで表面から裏面に向かって対角線状に第１の屈折率を
有する領域と第２の屈折率を有する領域との界面が形成
されてなり、上記表面及び裏面に平行する方向を進行方
向とするレーザ光を上記界面を通過させて上記光源から
のレーザ光を偏向させる電気光学素子と、上記電気光学
素子のレーザ光入射面及びレーザ光出射面に対向して配
設された反射部とを備えることを特徴とするものであ
る。
発明に係るレーザ光制御装置は、レーザ光を出射する光
源と、板形状となされ一方の面から電圧が印加されるこ
とで表面から裏面に向かって対角線状に第１の屈折率を
有する領域と第２の屈折率を有する領域との界面が形成
されてなり、上記表面及び裏面に平行する方向を進行方
向とするレーザ光を上記界面を通過させて上記光源から
のレーザ光を偏向させる電気光学素子と、上記電気光学
素子のレーザ光入射面及びレーザ光出射面に対向して配
設された反射部とを備えることを特徴とするものであ
る。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】また、本発明に係るレーザ光制御方法は、
板形状となされ一方の面から電圧が印加されることで表
面から裏面に向かって対角線状に第１の屈折率を有する
領域と第２の屈折率を有する領域との界面が形成されて
なる電気光学素子のレーザ光入射部にレーザ光を入射
し、上記電気光学素子のレーザ光入射部が形成された面
及びレーザ光出射部が形成された面に対向して配設させ
た反射部によりレーザ光を上記電気光学素子を複数回通
過させて、上記表面及び裏面に平行する方向を進行方向
とするレーザ光を上記界面を複数回通過させて上記レー
ザ光を偏向させてレーザ光出射部からレーザ光を出射す
ることを特徴とする。
板形状となされ一方の面から電圧が印加されることで表
面から裏面に向かって対角線状に第１の屈折率を有する
領域と第２の屈折率を有する領域との界面が形成されて
なる電気光学素子のレーザ光入射部にレーザ光を入射
し、上記電気光学素子のレーザ光入射部が形成された面
及びレーザ光出射部が形成された面に対向して配設させ
た反射部によりレーザ光を上記電気光学素子を複数回通
過させて、上記表面及び裏面に平行する方向を進行方向
とするレーザ光を上記界面を複数回通過させて上記レー
ザ光を偏向させてレーザ光出射部からレーザ光を出射す
ることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】この電気光学素子５は、例えば屈折率が異
なる２つの領域８，９を表面から裏面に向かって対角線
状に形成した界面で分割されてなる。この電気光学素子
５は、例えば所定の屈折率ｎ1を有する第１の領域８
と、上記所定の屈折率ｎ1よりも低い屈折率ｎ2の第２の
領域９に分割される。このように、電気光学素子５は、
屈折率が異なる第１の領域８，第２の領域９に分割され
ることで、内部を通過するレーザ光Ｌ2を屈折させるこ
とができ、入射されたレーザ光Ｌ1の進行方向を変化さ
せることができる。
なる２つの領域８，９を表面から裏面に向かって対角線
状に形成した界面で分割されてなる。この電気光学素子
５は、例えば所定の屈折率ｎ1を有する第１の領域８
と、上記所定の屈折率ｎ1よりも低い屈折率ｎ2の第２の
領域９に分割される。このように、電気光学素子５は、
屈折率が異なる第１の領域８，第２の領域９に分割され
ることで、内部を通過するレーザ光Ｌ2を屈折させるこ
とができ、入射されたレーザ光Ｌ1の進行方向を変化さ
せることができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３０】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るレーザ光制御装置は、レーザ光を出射する光源と、板
形状となされ一方の面から電圧が印加されることで表面
から裏面に向かって対角線状に第１の屈折率を有する領
域と第２の屈折率を有する領域との界面が形成されてな
り、上記表面及び裏面に平行する方向を進行方向とする
レーザ光を上記界面を通過させて上記光源からのレーザ
光を偏向させる電気光学素子と、上記電気光学素子のレ
ーザ光入射面及びレーザ光出射面に対向して配設された
反射部とを備えるので、電気光学素子に入射されたレー
ザ光を内部で多重反射させることでき、入射されたレー
ザ光に対して大きな偏向角度を有するレーザ光とするこ
とができる。また、このレーザ光制御装置は、レーザ光
を偏向させるものとして、電気光学素子を備えているの
で、電気光学素子に供給される信号に対して応答性を速
くして変調させることができ、高い変調周波数でレーザ
光を偏向させることができる。更に、本発明に係るレー
ザ光制御装置は、無反射部からレーザ光を入射するとと
もにレーザ光を出射させるので、偏向角が大きなレーザ
光を低損失で出射することができる。
るレーザ光制御装置は、レーザ光を出射する光源と、板
形状となされ一方の面から電圧が印加されることで表面
から裏面に向かって対角線状に第１の屈折率を有する領
域と第２の屈折率を有する領域との界面が形成されてな
り、上記表面及び裏面に平行する方向を進行方向とする
レーザ光を上記界面を通過させて上記光源からのレーザ
光を偏向させる電気光学素子と、上記電気光学素子のレ
ーザ光入射面及びレーザ光出射面に対向して配設された
反射部とを備えるので、電気光学素子に入射されたレー
ザ光を内部で多重反射させることでき、入射されたレー
ザ光に対して大きな偏向角度を有するレーザ光とするこ
とができる。また、このレーザ光制御装置は、レーザ光
を偏向させるものとして、電気光学素子を備えているの
で、電気光学素子に供給される信号に対して応答性を速
くして変調させることができ、高い変調周波数でレーザ
光を偏向させることができる。更に、本発明に係るレー
ザ光制御装置は、無反射部からレーザ光を入射するとと
もにレーザ光を出射させるので、偏向角が大きなレーザ
光を低損失で出射することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３１】また、本発明に係るレーザ光制御方法は、
板形状となされ一方の面から電圧が印加されることで表
面から裏面に向かって対角線状に第１の屈折率を有する
領域と第２の屈折率を有する領域との界面が形成されて
なる電気光学素子のレーザ光入射部にレーザ光を入射
し、上記電気光学素子のレーザ光入射部が形成された面
及びレーザ光出射部が形成された面に対向して配設させ
た反射部によりレーザ光を上記電気光学素子を複数回通
過させて、上記表面及び裏面に平行する方向を進行方向
とするレーザ光を上記界面を複数回通過させて上記レー
ザ光を偏向させてレーザ光出射部からレーザ光を出射す
るので、電気光学素子に入射されたレーザ光を内部で多
重反射させることでき、入射されたレーザ光に対して大
きな偏向角度を有するレーザ光とすることができる。ま
た、このレーザ光制御方法によれば、電気光学素子によ
りレーザ光を偏向させているので、電気光学素子に供給
される信号に対して応答性を速くして変調することがで
き、高い変調周波数でレーザ光を偏向することができ
る。更に、本発明に係るレーザ光制御方法は、無反射加
工がされたレーザ光入射部からレーザ光を入射するとと
もに無反射加工がされたレーザ光出射部からレーザ光を
出射させるので、偏向角が大きなレーザ光を低損失で出
射することができる。
板形状となされ一方の面から電圧が印加されることで表
面から裏面に向かって対角線状に第１の屈折率を有する
領域と第２の屈折率を有する領域との界面が形成されて
なる電気光学素子のレーザ光入射部にレーザ光を入射
し、上記電気光学素子のレーザ光入射部が形成された面
及びレーザ光出射部が形成された面に対向して配設させ
た反射部によりレーザ光を上記電気光学素子を複数回通
過させて、上記表面及び裏面に平行する方向を進行方向
とするレーザ光を上記界面を複数回通過させて上記レー
ザ光を偏向させてレーザ光出射部からレーザ光を出射す
るので、電気光学素子に入射されたレーザ光を内部で多
重反射させることでき、入射されたレーザ光に対して大
きな偏向角度を有するレーザ光とすることができる。ま
た、このレーザ光制御方法によれば、電気光学素子によ
りレーザ光を偏向させているので、電気光学素子に供給
される信号に対して応答性を速くして変調することがで
き、高い変調周波数でレーザ光を偏向することができ
る。更に、本発明に係るレーザ光制御方法は、無反射加
工がされたレーザ光入射部からレーザ光を入射するとと
もに無反射加工がされたレーザ光出射部からレーザ光を
出射させるので、偏向角が大きなレーザ光を低損失で出
射することができる。
Claims (6)
- 【請求項１】 レーザ光を出射する光源と、 上記光源からのレーザ光を偏向させる電気光学素子と、 上記電気光学素子のレーザ光入射面及び出射面に対向し
て配設された反射部とを備えることを特徴とするレーザ
光制御装置。 - 【請求項２】 上記電気光学素子は、屈折率が異なる結
晶を結合してなることを特徴とする請求項１記載のレー
ザ光制御装置。 - 【請求項３】 上記電気光学素子は、電気的信号が供給
されることで、屈折率が異なる領域が形成されてなるこ
とを特徴とする請求項１記載のレーザ光制御装置。 - 【請求項４】 上記電気光学素子に制御信号を供給する
制御手段を備え、 上記電気光学素子は、上記制御手段からの制御信号に応
じて入射されたレーザ光の偏向方向が制御されることを
特徴とする請求項１記載のレーザ光制御装置。 - 【請求項５】 レーザ光を電気光学素子のレーザ光入射
面に入射し、 上記電気光学素子のレーザ光入射面及び出射面に対向し
て配設させた反射部によりレーザ光を上記電気光学素子
を複数回通過させ、 上記レーザ光を偏向させることを特徴とするレーザ光制
御方法。 - 【請求項６】 上記電気光学素子に供給する電気信号を
制御し、 上記電気光学素子に入射されたレーザ光の偏向角度を制
御することを特徴とする請求項５記載のレーザ光制御方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7573698A JPH11271816A (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | レーザ光制御装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7573698A JPH11271816A (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | レーザ光制御装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11271816A true JPH11271816A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13584873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7573698A Pending JPH11271816A (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | レーザ光制御装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11271816A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004003652A1 (ja) * | 2002-06-28 | 2004-01-08 | Fujitsu Limited | 反射型可変光偏向器及びそれを用いた光デバイス |
| JP2011059341A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光偏向器 |
| WO2012140843A1 (ja) * | 2011-04-15 | 2012-10-18 | パナソニック株式会社 | 光偏向器、光偏向装置及びそれらを用いた液晶表示装置 |
| CN103941431A (zh) * | 2014-03-26 | 2014-07-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 可调偏振装置及其方法、显示装置 |
| CN104155776A (zh) * | 2014-07-22 | 2014-11-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 电子窗及其控制方法 |
-
1998
- 1998-03-24 JP JP7573698A patent/JPH11271816A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004003652A1 (ja) * | 2002-06-28 | 2004-01-08 | Fujitsu Limited | 反射型可変光偏向器及びそれを用いた光デバイス |
| US7280718B2 (en) | 2002-06-28 | 2007-10-09 | Fujitsu Limited | Reflective adjustable optical deflector and optical device employing the same |
| JP2011059341A (ja) * | 2009-09-09 | 2011-03-24 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光偏向器 |
| WO2012140843A1 (ja) * | 2011-04-15 | 2012-10-18 | パナソニック株式会社 | 光偏向器、光偏向装置及びそれらを用いた液晶表示装置 |
| CN102959464A (zh) * | 2011-04-15 | 2013-03-06 | 松下电器产业株式会社 | 光偏转器、光偏转装置以及使用这些的液晶显示装置 |
| JPWO2012140843A1 (ja) * | 2011-04-15 | 2014-07-28 | パナソニック株式会社 | 光偏向器、光偏向装置及びそれらを用いた液晶表示装置 |
| JP5896909B2 (ja) * | 2011-04-15 | 2016-03-30 | パナソニック株式会社 | 液晶表示装置 |
| US9581859B2 (en) | 2011-04-15 | 2017-02-28 | Panasonic Corporation | Optical deflector, optical deflection apparatus, and liquid crystal display apparatus using the optical deflector and the optical deflection apparatus |
| CN103941431A (zh) * | 2014-03-26 | 2014-07-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 可调偏振装置及其方法、显示装置 |
| CN104155776A (zh) * | 2014-07-22 | 2014-11-19 | 京东方科技集团股份有限公司 | 电子窗及其控制方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19991109 |