JPH112714A - カラー表示装置用カラーフイルター基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】複雑な工程を必要とせず、量産適性があるカラ
ー表示装置用カラーフィルター基板の製造方法を提供す
る。 【解決手段】透明基板を有するハロゲン化銀カラー感光
材料から作成したカラーフィルターにネガ型またはポジ
型フォトレジストを塗設し、遮光マスクを介してパター
ン露光した後、透明電極のパターニングを行うか、該カ
ラーフィルター上にポジ型フォトレジストを塗設し、該
カラーフィルターをマスクとしてパターン露光した後、
透明電極のパターニングを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ハロゲン化銀感光
材料を用いて作成したカラー表示装置用カラーフィルタ
ー基板および透明電極の形成方法に関し、特に量産適性
があるカラー表示装置用カラーフィルター基板および位
置合わせを必要とせず、短時間で欠陥のない透明電極を
形成する方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】カラーフィルターはブラウン管表示用カ
ラーフェイスプレート、複写用光電変換素子プレート、
単管式カラーテレビカメラ用フィルター、液晶やエレク
トロルミネッセンス（ＥＬ）等を用いたフラットパネル
ディスプレー、カラー固体撮像素子等に用いられてい
る。通常用いられるカラーフィルターは、赤色、緑色お
よび青色の三原色が規則的に配列して構成されるが、必
要に応じて四色あるいはそれ以外の色相からなるものも
ある。例えば撮像管用カラーフィルターや液晶表示装置
（ＬＣＤ）用カラーフィルターでは、種々の目的で黒色
のパターン（ブラックマトリックス）が必要とされる。
また、反射型ＬＣＤ用カラーフィルターでは、シアン、
マゼンタおよびイエローが使用される場合がある。赤
色、緑色、青色の具体的な配列法にはモザイク、ストラ
イプ、デルタ配列などがあり、必要に応じて選択でき
る。

【０００３】従来から知られているカラーフィルターの
製造方法としては、蒸着法、染着法、印刷法、顔料分散
法、電着法、レジスト電着転写法等がある。しかしなが
ら、これらの方法で得られたカラーフィルターは、複雑
な製造工程を必要としたり、ピンホールや傷が生じやす
い、歩留まりが悪い、精度が出ない等の欠点を持ってい
る。

【０００４】これらの欠点を解消するため、ハロゲン化
銀カラー感光材料を用いた外型現像法（例えば特開昭５
５−６３４２号）および内型現像法（例えば特開昭６２
−１４８９５２号、同６２−７１９５０号）によるカラ
ーフィルターの製造方法が検討された。特に後者の方法
は、ワンショット露光・一回の現像処理でカラーフィル
ターが作成できるため極めて簡易である。

【０００５】一方、ＴＮ型やＳＴＮ型のＬＣＤ等では、
カラーフィルター基板上の透明電極は、カラーフィルタ
ーのパターンに合致させてストライプ状にパターニング
する必要がある。通常、透明電極上にフォトレジストを
設け、遮光マスクを通して電磁波（主として紫外線）で
パターン露光し、現像・エッチング・レジスト剥離の工
程を経て、電極のパターニングを行なっている。しかし
ながら、ハロゲン化銀カラー感光材料を用いて形成した
カラーフィルターは、ゼラチンなどの水溶性バインダー
を有しており、しかも膜厚が一般に１０μｍ以上と厚い
ため、耐水性のオーバーコートを塗設しても上記工程中
にバインダーが膨潤し皺が発生して透明電極に亀裂が入
りやすい問題があることがわかった。また、カラー表示
画面が大きい場合や基板がプラスチックのように可撓性
である場合等には、カラーフィルターと電極のパターン
を合致させるのはかなり困難であることがわかった。

【０００６】特開平９−５５１４号には、カラーフィル
ターの着色層間にあるブラックマトリックス層の遮光性
をレジストパターン露光時のマスクに利用した背面露光
により行なうことによりストライプ状の透明電極付カラ
ーフィルターが作製されることが記載されている。この
方法は、電極パターンとカラーフィルターパターンとの
位置のずれを最小限に抑えることができ好ましい。しか
し、透明電極のパターニング工程中に発生する亀裂に対
する対策や、遮光層（ブラックマトリックス）を金属ク
ロムや着色フォトレジストで作成するため、別工程が必
要となり、さらなる改良が要望されていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の第一の目的
は、複雑な工程を必要とせず、量産適性があるカラーフ
ィルター基板の提供と、亀裂などの欠陥を生ずることの
ない透明電極の形成方法を提供することにある。本発明
の第二の目的は、精密な位置合わせをしなくてもカラー
フィルターのパターンに合致させることのできる、カラ
ー表示装置用カラーフィルター基板および透明電極の形
成方法を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の課題は、下記の
(1) 、(2) 、(3) 、(4) 、(5) の構成によって達成され
た。 (1) 透明基板を有するハロゲン化銀カラー感光材料に、
ストライプ状にパターン露光し、発色現像処理および脱
銀処理して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）またはシアン
（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の画素ストラ
イプ部の他にブラックストライプ（ＢＭ）部を有するカ
ラーフィルターを形成した後、この上に耐水性のオーバ
ーコート層を塗設し、さらにこの上にまたは該透明基板
の反対面にネガ型フォトレジストを設置し、画素ストラ
イプ部が未露光部、ブラックストライプ部が露光部とな
るようなパターンを有する遮光マスクを用いてレジスト
面からフォトレジストに電磁波を照射することによりパ
ターン露光し現像処理することによりカラーフィルター
のパターンに合致させてレジストをパターニングし、そ
の後、レジスト面から透明電極を成膜した後、レジスト
剥離処理することにより、該カラーフィルターの画素ス
トライプ部に透明電極を形成することを特徴とするカラ
ー表示装置用カラーフィルター基板の製造方法。 (2) 透明基板を有するハロゲン化銀カラー感光材料に、
ストライプ状にパターン露光し、発色現像処理および脱
銀処理して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）またはシアン
（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の画素ストラ
イプ部の他にブラックストライプ（ＢＭ）部を有するカ
ラーフィルターを形成した後、この上に耐水性のオーバ
ーコート層を塗設し、さらにこの上にまたは該透明基板
の反対面にポジ型フォトレジストを設置し、画素ストラ
イプ部が露光部、ブラックストライプ部が未露光部とな
るようなパターンを有する遮光マスクを用いてレジスト
面からフォトレジストに電磁波を照射することによりパ
ターン露光し現像処理することによりカラーフィルター
のパターンに合致させてレジストをパターニングし、そ
の後、レジスト面から透明電極を成膜した後、レジスト
剥離処理することにより、該カラーフィルターの画素ス
トライプ部に透明電極を形成することを特徴とするカラ
ー表示装置用カラーフィルター基板の製造方法。 (3) 透明基板を有するハロゲン化銀カラー感光材料に、
ストライプ状にパターン露光し、発色現像処理および脱
銀処理して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）またはシアン
（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の画素ストラ
イプ部の他にブラックストライプ（ＢＭ）部を有するカ
ラーフィルターを形成した後、この上に耐水性のオーバ
ーコート層を塗設し、さらにこの上にまたは該透明基板
の反対面にポジ型フォトレジストを設置し、該カラーフ
ィルターをマスクにして基板のフォトレジスト設置面と
は反対側の面から該フォトレジストに電磁波を照射する
ことにより、画素ストライプ部が露光部、ブラックスト
ライプ部が未露光部となるようにパターン露光し、現像
処理することによりカラーフィルターのパターンに合致
させてレジストをパターニングし、その後、レジスト面
から透明電極を成膜した後、レジスト剥離処理すること
により、該カラーフィルターの画素ストライプ部に透明
電極を形成することを特徴とするカラー表示装置用カラ
ーフィルター基板の製造方法。 (4) 前記ハロゲン化銀カラー感光材料が少なくとも感光
性ハロゲン化銀およびカプラーを含有し、かつ、Ｒ、
Ｇ、ＢまたはＹ、Ｍ、Ｃを発色する感光層の他に、基板
上の全カプラーを反応させたとき、透過濃度２．５以上
の実質的な黒色となるように色補正する感光層を有する
ことを特徴とする（1)、(2) または(3) 記載のカラー表
示装置用カラーフィルター基板の製造方法。 (5) 上記(1) 、(2) 、(3) または(4) に記載の方法によ
って製造されたカラー表示装置用カラーフィルター基
板。

【０００９】本発明においては、前述のようにカラーフ
ィルターのバインダーとしてゼラチン等の水溶性化合物
を使用するため、透明電極のパターニング時に長時間水
溶液にさらされると耐薬品性のオーバーコートを徐々に
水分が透過し、バインダーの膨潤をもたらし、その結
果、皺や、電極の剥がれ、断線等の欠陥を引き起こす。
この現象はカラーフィルター上に透明電極が存在しない
場合には、起こらないことがわかった。従って、カラー
フィルター上に透明電極を塗設してから、水溶液での処
理時間ができるだけ短いことが望ましい。種々検討の結
果、フォトレジストによる光の吸収のため、レジストパ
ターンの壁面がオーバーハング状になる現象を利用し、
エッチング工程なしに電極パターンを形成できるリフト
オフ法が有効であることがわかった。この方法による
と、電極を塗設した状態で水溶液に接触するのは、レジ
スト剥離工程とその後の水洗だけとなり、欠陥が大幅に
減少した。

【００１０】本発明に用いる透明基板としては厚み０．
３〜３mm位のソーダガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカ
リガラス、石英等の剛直な材料の他に各種のプラスチッ
クフィルムが挙げられる。ＳＴＮのような光の複屈折を
利用するＬＣＤにおいては、透明基板は光学的に等方性
である必要がある。

【００１１】本発明に使用するプラスチック・フィルム
基板としては、耐熱性、寸法安定性、耐溶剤性、電気絶
縁性、加工性、低通気性、低吸湿性に優れていることが
必要である。このような材料としては、ポリエチレンテ
レフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチ
レンナフタレート、ポリスチレン、ポリカーボネート、
ポリエーテルスルホン、ポリアリレート、アリルジグリ
コールカーボネート等が挙げられる。これらの素材で構
成される基板の表面は、必要に応じてガス・バリヤ層や
ハード・コート層を塗設してもよい。また、上記素材の
表面あるいはガス・バリヤ層やハード・コート層の上
に、グロー放電、コロナ放電、紫外線（ＵＶ）照射等の
処理を施してもよい。さらに、親水性を付与するために
下塗り処理されてもよい。

【００１２】プラスチック・フィルム基板は、シート状
あるいはロール状の形態で使用することができる。フィ
ルム基板の厚みは、用途および材質にあわせて適当に設
定できるが、一般的には０．０５〜０．３mmである。

【００１３】本発明に用いるハロゲン化銀感光材料およ
び処理方法について述べる。本発明に用いることのでき
る感光材料は、以下のものが好ましい。カラー反転処理
によりポジ像を得ることのできる外型カラーリバーサル
フィルム、内型カラーリバーサルフィルム、カラーネガ
処理によるカラーネガフィルム、ディスプレイ用カラー
フィルム、オートポジカラーフィルム等である。これら
については、科学写真便覧（上）（丸善）５５９頁〜５
６４頁、５６９頁、ザ・セオリー・オブ・ザ・フォトグ
ラフィック・プロセス（The Theory of the Photograph
ic Process) 第４版、T.H.James 編などに記載されてい
る。その他、特開昭６３−２６１３６１号記載のように
同一の感光性ハロゲン化銀乳剤層中に発色現像によって
得られる色相が異なる二種類以上のカプラーを含有する
内型カラー感光材料や、同６４−７９７０１号記載のよ
うに同一の感光性ハロゲン化銀に対し異なる発色を示す
二種類以上のカプラーおよび一種の現像主薬を含有する
現像液を用いて現像する外型カラー感光材料を用いるこ
ともできる。さらに特開平７−２９４７１４号、同８−
２２１０８号、特願平７−１２２７３３号、同７−１８
１５７５号等に記載のカラーフィルター用感光材料を用
いることもできる。

【００１４】本発明の感光材料のハロゲン化銀乳剤層や
中間層、保護層に用いることができるバインダーまたは
保護コロイドとしては、ゼラチンを用いるのが有利であ
るが、それ以外の親水性ポリマーも用いることができ
る。親水性ポリマーとして、例えばポリビニルアルコー
ル、ポリビニルアルコール部分アセタール、ポリビニル
ブチラール、ポリ−Ｎ−ビニルピロリドン、ポリアクリ
ル酸、ポリアクリルアミド、ポリビニルイミダゾール、
ポリビニルピラゾール、カラギーナン、アラビアゴム、
更にヒドロキシアルキルセルロース、カルボキシメチル
セルロース、セルロース硫酸エステル、セルロースアセ
テート水素フタレートおよびアルギン酸ナトリウムなど
のセルロース誘導体等の単一あるいは共重合体を挙げら
れる。また、ゼラチンと他の高分子とのグラフトポリマ
ーでもよく、ゼラチン−グラフトポリマーとしては、ゼ
ラチンにアクリル酸、メタアクリル酸、それらのエステ
ル、アミドなどの誘導体、アクリロニトリル、スチレン
などのビニル系モノマーの単一または共重合体をグラフ
トさせたものを用いることができる。ことにゼラチンと
ある程度相溶性のあるポリマーたとえばアクリル酸、メ
タアクリル酸、アクリルアミド、メタアクリルアミド、
ヒドロキシアルキルメタアクリレート等の重合体とのグ
ラフトポリマーが好ましい。これらの例は米国特許２，
７６３，６２５号、同２，８３１，７６７号、同２，９
５６，８８４号、特開昭５６−６５１３３号等に記載が
ある。代表的な合成親水性高分子物質として、例えば西
独特許出願（ＯＬＳ）２，３１２，７０８号、米国特許
３，６２０，７５１号、同３，８７９，２０５号、特公
昭４３−７５６１号等に記載のものも使用できる。上記
の親水性ポリマーは単独で使用してもよいし、２種類以
上を併用してもよい。

【００１５】ゼラチンとしてはアルカリ処理、酸処理、
酵素処理のいずれかを施したもの、あるいはこれらの混
合物を用いてもよい。またゼラチンに例えば酸ハライ
ド、酸無水物、イソシアネート類、ブロモ酢酸、アルカ
ンサルトン酸、ビニルスルホンアミド類、マレインイミ
ド化合物類、ポリアルキレンオキシド類、エポキシ化合
物類等種々の化合物を反応させて得られるゼラチン誘導
体も用いられる。ゼラチン誘導体の具体例は米国特許
２，６１４，９２８号、同３，１３２，９４５号、同
３，１８６，８４６号、同３，３１２，５５３号、英国
特許８６１，４１４号、同１，０３３，１８９号、同
１，００５，７８４号、特公昭４２−２６８４５号等に
記載されている。本発明においては、上記バインダーが
耐通気性の役目を果たしているのでガス・バリヤ層は必
ずしも別途設置する必要はない。

【００１６】本発明に用いる感光材料における全バイン
ダー量は、カラーフィルターの膜厚をできるだけ薄くす
る必要から３〜２０ｇ／m²が好ましく、特に３．５〜１
０ｇ／m²が好ましい。各ハロゲン化銀乳剤層中のバイン
ダー量は０．１〜３ｇ／m²が好ましく、特に０．２〜２
ｇ／m²が好ましい。各中間層や保護層中のバインダー量
は０．１〜２ｇ／m²が好ましく、特に０．２〜１．０ｇ
／m²が好ましい。

【００１７】本発明の感光材料に使用できるハロゲン化
銀粒子は、塩化銀、臭化銀、沃塩化銀、塩臭化銀、沃臭
化銀である。沃化銀含有率は、２モル％以下が好ましい
が、より好ましくは１モル％以下である。さらに好まし
くは、０．５モル％以下である。また、塩化銀含有率は
５０モル％以上、さらに好ましくは８０モル％以上であ
る。本発明で使用されるハロゲン化銀乳剤は、表面潜像
型であっても、内部潜像型であってもよい。内部潜像型
乳剤は、造核剤や光カブラセとを組み合わせて直接反転
乳剤として使用される。また、結晶構造は一様なもので
も、粒子内部と粒子表面て異なるハロゲン組成を持って
いる多重構造粒子であってもよい。また、エピタキシャ
ル接合によって組成の異なるハロゲン化銀が接合されて
いてもよく、さらに例えばロダン銀、酸化鉛などのハロ
ゲン化銀以外の化合物と接合されていてもよい。特に、
本発明で使用される高塩化銀乳剤においては、臭化銀局
在相を、先に述べたように、層状もしくは非層状にハロ
ゲン化銀内部および／または表面に有する構造のものも
使用できる。上記局在相のハロゲン組成は、臭化銀含有
率が少なくとも２０モル％のものが好ましく、３０モル
％を越えるものが好ましい。臭化銀局在相の臭化銀含有
率は、Ｘ線回折法等で分析される。例えば、シー アー
ルベリイ、エス ジェイ マリノ（C. R. Berry, S. J.
Marino)著フォトグラフィックサイエンス アンド、テ
クノロジー（Photographic Science and Technology)２
巻１４９頁（１９５５）および同４巻２２頁（１９５
７）にＸ線回折法のハロゲン化銀粒子への適用法が記載
されている。臭化銀局在相は、粒子内部、粒子表面のエ
ッジ、コーナー、あるいは面上にあることができるが、
好ましい例として、粒子のコーナー部にエピタキシャル
接合したものがあげられる。

【００１８】本発明に使用するハロゲン化銀粒子の平均
粒径は、できるだけ低銀量で比表面積が大きく、高い現
像活性を得るために、０．０５〜０．９μｍが好まし
く、特に０．１〜０．５μｍが好ましい。平板粒子の場
合は厚みが０．０５〜０．９μｍが好ましく、特に０．
１〜０．５μｍが好ましい。狭い粒子サイズ分布を有す
る単分散乳剤を用いてもよい。単分散乳剤は、例えば、
粒子数あるいは重量で平均粒子サイズの±３０％以内に
全粒子の８０％以上が入るような粒子サイズ分布を有す
るハロゲン化銀乳剤である。また変動係数で２０％以
下、特に１５％以下の単分散ハロゲン化銀乳剤の使用が
好ましい。広い粒子サイズ分布を有する多分散乳剤を用
いてもよい。

【００１９】本発明に使用できるハロゲン化銀乳剤は、
例えばリサーチ・ディスクロージャー（ＲＤ）誌、１７
６巻 No.１７６４３（１９７８年１２月）、２２〜２３
頁、“Ｉ．乳剤製造（Emulsion Preparation and type
s) ”、および同 No.１８７１６（１９７９年１１
月）、６４８頁、グラフキデ著「写真の物理と化学」、
ポールモンテル社刊（P.Glafkides,Chemic et Phisique
Photographique,(Paul Montel, １９６７））、ダフィ
ン著「写真乳剤化学」、フォーカルプレス社刊（G.F.Du
ffin, Photographic Emulsion Chemistry,(Focal Pres
e, １９６６））、ゼリクマンら著「写真乳剤の製造と
塗布」、フォーカルプレス社刊（V.L.Zelikman et al,
Making and Coating Photographic Emulsion,(Focal Pr
ess,１９６４））などに記載された方法を用いて調製す
ることができる。また、本発明のオートポジカラーフィ
ルム等の直接ポジ感光材料に用いることのできる内部潜
像型乳剤及びハロゲン化銀粒子に関しては特開昭６３−
８１３３７号、特開平１−２８２５４５号等に記載され
ている。内部潜像型乳剤はコア／シェル型でもコンバー
ジョン型でもよいが、コア／シェル型乳剤の方が好まし
い。

【００２０】米国特許第３，５７４，６２８号、同３，
６５５，３９４号および英国特許第１，４１３，７４８
号などに記載された単分散乳剤も好ましい。また、アス
ペクト比が約５以上であるような平板状粒子も本発明に
使用できる。平板状粒子はガトフ著、フォトグラフィッ
ク・サイエンス・アンド・エンジニアリング（Gutoff,
Photographic Science and Engineering) 、第１４巻、
２４８〜２５７頁（１９７０年）：米国特許第４，４３
４，２２６号、同４，４１４，３１０号、同４，４３
３，０４８号、同４，４３９，５２０号および英国特許
第２，１１２，１５７号などに記載の方法により簡単に
調製することができる。また種々の結晶形の粒子の混合
物を用いてもよい。

【００２１】感光性ハロゲン化銀乳剤は通常は化学増感
されたハロゲン化銀乳剤である。本発明の感光性ハロゲ
ン化銀乳剤の化学増感には、通常型感光材料用乳剤で公
知の硫黄増感層、セレン増感法、テルル増感法などのカ
ルコゲン増感法、金、白金、パラヂウムなどを用いる貴
金属増感法および還元増感法などを単独または組合わせ
て用いることもできる（例えば特開平３−１１０，５５
５号、特願平４−７５，７９４号など）。これらの化学
増感を含窒素複素環化合物を存在下で行うこともできる
（特開昭６２−２５３，１５９号）。また後掲するかぶ
り防止剤を化学増感終了後に添加することができる。具
体的には、特開平５−４５，８３３号、特開昭６２−４
０，４４６号記載の方法を用いることができる。化学増
感時のｐＨは好ましくは５．３〜１０．５、より好まし
くは５．５〜８．５であり、ｐＡｇは好ましくは６．０
〜１０．５、より好ましくは６．８〜９．０である。本
発明において使用される感光性ハロゲン化銀乳剤の塗設
量は、銀換算１mgないし１０ｇ／m²の範囲である。さら
に好ましくは、０．１〜３ｇ／m²の範囲である。

【００２２】本発明に用いられる感光性ハロゲン化銀に
緑感性、赤感性、赤外感性の感色性を持たせるために
は、感光性ハロゲン化銀乳剤をメチン色素類その他によ
って分光増感する。また、必要に応じて青感性乳剤に青
色領域の分光増感を施してもよい。用いられる色素に
は、シアニン色素、メロシアニン色素、複合シアニン色
素、複合メロシアニン色素、ホロポーラーシアニン色
素、ヘミシアニン色素、スチリル色素およびヘミオキソ
ノール色素が包含される。具体的には、米国特許第４，
６１７，２５７号、特開昭５９−１８０，５５０号、同
６４−１３，５４６号、特開平５−４５，８２８号、同
５−４５，８３４号などに記載の増感色素が挙げられ
る。これらの増感色素は単独に用いてもよいが、それら
の組合わせを用いてもよく、増感色素の組合わせは特
に、強色増感や分光感度の波長調節の目的でしばしば用
いられる。増感色素とともに、それ自身分光増感作用を
持たない色素あるいは可視光を実質的に吸収しない化合
物であって、強色増感を示す化合物を乳剤中に含んでも
よい（例えば米国特許第３，６１５，６４１号、特開昭
６３−２３，１４５号等に記載のもの）。これらの増感
色素を乳剤中に添加する時期は化学熟成時もしくはその
前後でもよいし、米国特許第４，１８３，７５６号、同
４，２２５，６６６号に従ってハロゲン化銀粒子の核形
成前後でもよい。またこれらの増感色素や強色増感剤
は、メタノールなどの有機溶媒の溶液、ゼラチンなどの
分散物あるいは界面活性剤の溶液で添加すればよい。添
加量は一般にハロゲン化銀１モル当り１０^-8ないし１０
^-2モル程度である。

【００２３】このような工程で使用される添加剤は、前
記のＲＤ No.１７，６４３、同 No.１８，７１６および
同 No.３０７，１０５に記載されており、その該当箇所
を下記の表にまとめる。 添加剤の種類 ＲＤ１７６４３ ＲＤ１８７１６ ＲＤ３０７１０５ １ 化学増感剤 ２３頁 ６４８頁右欄 ８６６頁 ２ 感度上昇剤 ６４８頁右欄 ３ 分光増感剤、 ２３〜２４頁 ６４８頁右欄〜 ８６６〜８６８頁 強色増感剤 ６４９頁右欄 ４ 蛍光増白剤 ２４頁 ６４８頁右欄 ８６８頁 ５ かぶり防止剤、 ２４〜２５頁 ６４９頁右欄 ８６８〜８７０頁 安定剤 ６ 光吸収剤、フ ２５〜２６頁 ６４９頁右欄〜 ８７３頁 ィルター染料、 ６５０頁左欄 紫外線吸収剤 ７ 色素画像安定剤 ２５頁 ６５０頁左欄 ８７２頁 ８ 硬 膜 剤 ２６頁 ６５１頁左欄 ８７４〜８７５頁 ９ バインダー ２６頁 ６５１頁左欄 ８７３〜８７５頁 10 可塑剤・潤滑剤 ２７頁 ６５０頁右欄 ８７６頁 11 塗布助剤、表面 ２６〜２７頁 ６５０頁右欄 ８７５〜８７６頁 活性剤 12 スタチック ２７頁 ６５０頁右欄 ８７６〜８７７頁 防止剤

【００２４】本発明で使用しうるカラー現像薬は、ハロ
ゲン化銀を現像することにより生成した現像薬の酸化体
がカプラーとカップリング反応してシアン、マゼンタ、
イエロー、赤、緑、青などの色素を形成するものであれ
ばよく、写真業界で公知のものである。カラー現像薬の
具体例は T.H.James「The Theory of the Photographic
Process」第４版２９１〜３３４頁および３５３〜３６
１頁、ＲＤ No.１７６４３（１９７８年１２月）、２８
〜２９頁、同 No.１８７１６（１９７９年１１月）、６
５１頁等に記載されている。特に好ましいカラー現像薬
はｐ−フェニレンジアミン誘導体である。特開平８−２
５４６１０号、同７−３３３１０７号等に記載のカラー
現像薬を用いることもできる。

【００２５】本発明に使用できるカプラーは、上記現像
薬と一緒に発色現像液に溶解して用いる外型カプラーで
あっても、耐拡散性基を有し感光層中に含有させて用い
る内型カプラーであっても良い。外型カプラーの具体例
は前述の特開昭５５−６３４２号や同６４−７９７０１
号等に記載されている。本発明においては、現像処理の
簡便さから感光材料中にカプラーを内蔵（すなわち内型
カプラー）させて内型現像法で処理するのが好ましい。
本発明に用いる内型カプラーとしては、活性位が水素原
子の４当量カラーカプラーよりも離脱基で置換された２
当量カラーカプラーの方が塗布銀量を低減できる点で好
ましい。

【００２６】本発明に使用できるイエローカプラーとし
ては、オイルプロテクト型のアシルアセトアミド系カプ
ラーが代表例として挙げられる。その具体例は、米国特
許第２，４０７，２１０号、同第２，８７５，０５７号
および同第３，２６５，５０６号などに記載されてい
る。本発明には、二当量イエローカプラーの使用が好ま
しく、米国特許第３，４０８，１９４号、同第３，４４
７，９２８号、同第３，９３５，５０１号および同第
４，０２２，６２０号などに記載された酸素原子離脱型
のイエローカプラーあるいは特公昭５８−１０７３９
号、米国特許第４，４０１，７５２号、同第４，３２
６，０２４号、ＲＤ１８０５３（１９７９年４月）、英
国特許第１，４２５，０２０号、西独出願公開第２，２
１９，９１７号、同第２，２６１，３６１号、同第２，
３２９，５８７号および同第２，４３３，８１２号など
に記載された窒素原子離脱型のイエローカプラーがその
代表例として挙げられる。α−ピバロイルアセトアニリ
ド系カプラーは発色色素の堅牢性、特に光堅牢性が優れ
ており、一方、α−ベンゾイルアセトアニリド系カプラ
ーは高い発色濃度が得られる。

【００２７】本発明に使用できるマゼンタカプラーとし
ては、オイルプロテクト型の、好ましくは５−ピラゾロ
ン系およびピラゾロトリアゾール類などピラゾロアゾー
ル系のカプラーが挙げられる。５−ピラゾロン系カプラ
ーは３−位がアリールアミノ基もしくはアシルアミノ基
で置換されたカプラーが、発色色素の色相や発色濃度の
観点で好ましく、その代表例は、米国特許第２，３１
１，０８２号、同第２，３４３，７０３号、同第２，６
００，７８８号、同第２，９０８，５７３号、同第３，
０６２，６５３号、同第３，１５２，８９６号および同
第３，９３６，０１５号などに記載されている。二当量
の５−ピラゾロン系カプラーの離脱基として、米国特許
第４，３１０，６１９号に記載された窒素原子離脱基ま
たは米国特許第４，３５１，８９７号に記載されたアリ
ールチオ基が特に好ましい。また欧州特許第７３，６３
６号に記載のバラスト基を有する５−ピラゾロン系カプ
ラーは高い発色濃度が得られる。

【００２８】ピラゾロアゾール系カプラーとしては、米
国特許第３，３６９，８７９号記載のピラゾロベンズイ
ミダゾール類、好ましくは米国特許第３，７２５，０６
７号に記載されたピラゾロ〔５，１−ｃ〕〔１，２，
４〕トリアゾール類、リサーチ・ディスクロージャー２
４２２０（１９８４年６月）に記載のピラゾロテトラゾ
ール類およびリサーチ・ディスクロージャー２４２３０
（１９８４年６月）に記載のピラゾロピラゾール類が挙
げられる。発色色素のイエローおよび近紫外部の副吸収
の少なさおよび光堅牢性の点で欧州特許第１１９，７４
１号に記載のイミダゾ〔１，２−ｂ〕ピラゾール類は好
ましく、欧州特許第１１９，８６０号に記載のピラゾロ
〔１，５−ｂ〕〔１，２，４〕トリアゾールは特に好ま
しい。

【００２９】本発明に使用できるシアンカプラーとして
は、米国特許第２，４７４，２９３号、同第４，０５
２，２１２号、同第４，１４６，３９６号、同第４，２
２８，２３３号および同第４，２９６，２００号などに
記載されたナフトール系カプラー、米国特許第３，７７
２，００２号に記載されたフェノール核のメタ−位にエ
チル基以上のアルキル基を有するフェノール系シアンカ
プラー、米国特許第２，７７２，１６２号、同第３，７
５８，３０８号、同第４，１２６，３９６号、同第４，
３３４，０１１号、同第４，３２７，１７３号、西独特
許公開第３，３２９，７２９号および特公平３−１８１
７５号などに記載された２，５−ジアシルアミノ置換フ
ェノール系カプラーおよび米国特許第３，４４６，６２
２号、同第４，３３３，９９９号、同第４，４５１，５
５９号および同第４，４２７，７６７号などに記載され
た２−位にフェニルウレイド基を有しかつ５−位にアシ
ルアミノ基を有するフェノール系カプラーなどである。
特に青色用の耐熱性、耐光性に優れたカプラーとしては
特開平７−２９４７１４号に記載されたカルボスチリル
系カプラーが好ましく、本発明に使用できる。また、緑
色用のシアンカプラーとては、特開平８−１７９１２２
号、同８−１３６７２２号等に記載のピロロトリアゾー
ル系カプラーが特に有用である。

【００３０】本発明には前述のカプラー以外にも下記の
ような種々のカプラーを使用することができる。ポリマ
ー化された色素形成カプラーの典型例は、米国特許第
３，４５１，８２０号、同第４，０８０，２１１号、同
第４，３６７，２８２号、英国特許２，１０２，１７３
号等に記載されている。また、特開平７−３２６２５８
号、同７−３２６２５２号等に記載のシアン成分とイエ
ロー成分、マゼンタ成分とイエロー成分、マゼンタ成分
とシアン成分等が共重合した混合ポリマーカプラーも使
用できる。カップリングに伴って写真的に有用な残基を
放出するカプラーもまた本発明で好ましく使用できる。
現像抑制剤を放出するＤＩＲカプラーは、前述のＲＤ１
７６４３、 VII〜Ｆ項に記載された特許、特開昭５７−
１５１９４４号、同５７−１５４２３４号、同６０−１
８４２４８号、米国特許第４，２４８，９６２号に記載
されたものが好ましい。現像時に画像状に造核剤もしく
は現像促進剤を放出するカプラーとしては、英国特許第
２，０９７，１４０号、同第２，１３１，１８８号、特
開昭５９−１５７６３８号、同５９−１７０８４０号に
記載のものが好ましい。

【００３１】その他、本発明の感光材料に用いることの
できるカプラーとしては、米国特許第４，１３０，４２
７号等に記載の競争カプラー、米国特許第４，２８３，
４７２号、同４，３３８，３９３号、同第４，３１０，
６１８号等に記載の多当量カプラー、特開昭６０−１８
５９５０号等に記載のＤＩＲレドックス化合物放出カプ
ラー、欧州特許第１７３，３０２Ａ号に記載の離脱後復
色する色素を放出するカプラー等が挙げられる。また特
開平８−２２１０８号記載の感光材料を本発明に適用す
る場合、黒色補正用のカプラーはイエロー、マゼンタ、
シアンに発色するものでなくても、例えば褐色、オレン
ジ色、紫色、黒色等に発色するものでもよい。

【００３２】本発明において各ハロゲン化銀乳剤層中の
ハロゲン化銀対カプラーの当量比は１以上３以下が好ま
しい。特に平均粒子サイズ（平板粒子の場合は厚みで規
定）が０．９μｍ以下、特に０．５μｍ以下のハロゲン
化銀乳剤を用いる場合は１以上２以下がより好ましい。
ここでいう当量比とは、カプラーをすべて発色させるの
に必要なハロゲン化銀の理論量を当量比１とし、例えば
理論量の２倍量ハロゲン化銀を塗布する場合、当量比２
である。すなわち２当量カプラーを使用する場合、カプ
ラー１モルに対して塗布銀量が２モルであるとき、当量
比１であり、塗布銀量が４モルのとき、当量比２であ
る。

【００３３】本発明に使用する上記カプラーは、種々の
公知分散方法により感光材料に導入できる。水中油滴分
散法に用いられる高沸点溶媒の例は米国特許第２，３２
２，０２７号などに記載されている。高沸点溶媒の量は
カプラー１ｇに対して１０ｇ以下、好ましくは５ｇ以
下、より好ましくは１ｇ〜０．１ｇである。また、バイ
ンダー１ｇに対しては２ｇ以下、好ましくは１ｇ以下、
より好ましくは０．５ｇ以下である。水中油滴分散法で
得られるカプラー分散物（カプラー乳化物）のサイズは
０．０５μｍ〜０．９μｍ、好ましくは０．１μｍ〜
０．５μｍである。

【００３４】ラテックス分散法の工程、効果、および含
浸用のラテックスの具体例は、米国特許第４，１９９，
３６３号、西独特許出願（ＯＬＳ）第２，５４１，２７
４号および同第２，５４１，２３０号などに記載されて
いる。本発明に係わる感光材料には、カプラーを含有す
る層に欧州公開特許ＥＰ０，２７７，５８９Ａ２号に記
載のような色像保存性改良化合物を使用するのが好まし
い。特にピラゾロアゾール系マゼンタカプラーとの併用
が好ましい。

【００３５】即ち、発色現像処理後に残存する芳香族ア
ミン系現像主薬と反応して、化学的に不活性でかつ実質
的に無色の化合物を生成する化合物（Ｆ）及び／又は発
色現像処理後に残存する芳香族アミン系現像主薬の酸化
体と反応して、化学的に不活性でかつ実質的に無色の化
合物を生成する化合物（Ｇ）を同時に又は単独に用いる
ことが、例えば処理後の保存における膜中残存発色現像
主薬ないしその酸化体とカプラーとの反応による発色色
素生成によるステイン発生その他の副作用を防止する上
で好ましい。

【００３６】本発明のカラーフィルター用感光材料に用
いる色素画像形成化合物としては、前記のカラーカプラ
ーの他に、ハロゲン化銀が銀に還元される反応に対応も
しくは逆対応して拡散性の色素を放出する耐拡散性の色
素供与性化合物が挙げられる。かかる色素供与性化合物
の具体例は特開昭５９−１８５３３３号、同６３−２０
１６５３号、欧州特許ＥＰ２２０，７４６Ｂ号、米国特
許第４，５００、６２６号、同４，６３９，４０８号、
同４，７８３，３９６号、同４，２３２，１０７号、同
４，６１９，８８４号、同４，４５０，２２３号、同
４，５０３，１３７号、同４，５５９，２９０号等に記
載されている。本発明においてかかる色素供与性化合物
を含有する感光材料は、米国特許第３，９２３，５１０
号、西独特許ＯＬＳ−２，９１６，５８２号、特開昭５
４−１４３２３０号、特願平５−２０５５５４号等に記
載された方法に従って処理され、感光材料に残存する色
素供与性化合物でカラーフィルターを形成することがで
きる。

【００３７】本発明に係わる感光材料のハロゲン化銀乳
剤層や中間層等には、色カブリ防止剤または混色防止剤
として、ヒドロキノン誘導体、アミノフェノール誘導
体、没食子酸誘導体、アスコルビン酸誘導体等を含有し
てもよい。これらの化合物の中で、１６０〜２００℃に
加熱してもステインを発生しにくいものが好ましい。

【００３８】また、シアン色素像の熱および特に光によ
る劣化を防止するためには、シアン発色層及びそれに隣
接する両側の層に紫外線吸収剤を導入することがより効
果的である。紫外線吸収剤としては、アリール基で置換
されたベンゾトリアゾール化合物（例えば、米国特許第
３，５３３，７９４号に記載のもの）、４−チアゾリド
ン化合物（例えば、米国特許第３，３１４，７９４号や
同３，３５２，６８１号に記載のもの）、ベンゾフェノ
ン化合物（例えば、特開昭４６−２７８４号に記載のも
の）、ケイ皮酸エステル化合物（例えば、米国特許第
３，７０５，８０５号や同３，７０７，３９５号に記載
のもの）、ブタジエン化合物（例えば、米国特許第４，
０４５，２２９号に記載のもの）あるいはベンズオキサ
ゾール化合物（例えば、米国特許第３，４０６，０７０
号や同４，２７１，３０７号に記載のもの）を用いるこ
とができる。紫外線吸収性のカプラー（例えば、α−ナ
フトール系のシアン色素形成カプラー）や紫外線吸収性
のポリマー等を用いてもよい。これらの紫外線吸収剤は
特定の層に媒染されていてもよい。中でも前記のアリー
ル基で置換されたベンゾトリアゾール化合物が好まし
い。

【００３９】また、本発明に係わる感光材料には、親水
性コロイド層中に繁殖して画像を劣化させる各種の黴や
細菌を防ぐために、特開昭６３−２７１２４７号に記載
のような防菌防黴剤を添加するのが好ましい。

【００４０】本発明に用いる感光材料は、前述のＲＤ．
No. １７６４３の２８〜２９頁、および同 No.１８７１
６の６５１左欄〜右欄等に記載された通常の方法により
発色現像処理することによりマイクロカラーフィルター
を得る。さらに前硬膜処理または後硬膜処理を施しても
よい。

【００４１】例えば、発色現像処理工程、脱銀処理工
程、水洗処理工程が行なわれる。脱銀処理工程では、漂
白液を用いた漂白工程と定着液を用いた定着工程の代わ
りに、漂白定着液を用いた漂白定着処理工程を行なうこ
ともできるし、漂白処理工程、定着処理工程、漂白定着
処理工程を任意の順に組み合わせてもよい。水洗処理工
程の代わりに安定化工程を行なってもよいし、水洗処理
工程の後に安定化工程を行なってもよい。また、発色現
像、漂白、定着を１浴中で行なう１浴現像漂白定着処理
液を用いたモノバス処理工程を行なうこともできる。こ
れらの処理工程に組み合わせて、前硬膜処理工程、その
中和工程、停止定着処理工程、後硬膜処理工程、調整工
程、補力工程等を行なってもよい。これらの処理におい
て、発色現像処理工程の代わりに、いわゆるアクチベー
ター処理工程を行なってもよい。

【００４２】本発明において直接ポジ型カラー感光材料
を用いる場合には、像様露光の後、光又は造核剤による
かぶり処理を施した後又は施しながら、芳香族第一級ア
ミン系発色現像薬を含む、好ましくはｐＨ１２以下の、
表面現像液で発色現像、漂白・定着処理することにより
直接ポジカラー画像を形成するのが好ましい。この現像
液のｐＨは、１１．０〜１０．０の範囲であるのが更に
好ましい。

【００４３】本発明の感光材料に用いうるかぶり処理
は、いわゆる「光かぶり法」と呼ばれる感光層の全面に
第二の露光を与える方法及び「化学的かぶり法」と呼ば
れる造核剤の存在下にて現像処理する方法のうちのどち
らを用いてもよい。造核剤およびかぶりの光の存在下で
現像処理してもよい。また、造核剤を含有する感光材料
をかぶり露光してもよい。

【００４４】光かぶり法に関しては、前記の特開昭６３
−８１３３７号明細書第３３頁１７行〜３５頁末行に記
載されており、本発明に用いうる造核剤に関しては同明
細書第５０頁〜５３頁に記載されており、特に同明細書
中一般式〔Ｎ−１〕と〔Ｎ−２〕で表される化合物の使
用が好ましい。

【００４５】本発明の感光材料に用いうる造核促進剤に
関しては、同明細書第５４頁〜５７頁に記載されてお
り、特にこの具体例としては、同第５５〜５７頁に記載
の（Ａ−１）〜（Ａ−１３）の使用が好ましい。

【００４６】現像処理装置としては、可撓性基板である
場合には、通常の写真処理に使用する現像処理機を用い
ることができる。またガラス等のハードな基板の場合に
は、ガラス乾板用の現像処理機もしくは、特開平７−５
６０１５号記載のような現像装置を用いることができ
る。

【００４７】本発明の感光材料に適用される露光法とし
ては、マスクを通した面露光方式やスキャンニング露光
方式がある。スキャンニング方式としては、ライン（ス
リット）スキャンニングやレーザー露光などによるポイ
ントスキャンニング方式が適用できる。 光源として
は、タングステン灯、ハロゲン灯、ケイ光灯、（３波長
型ケイ光灯など）水銀灯、レーザー光、発光ダイオート
などが用いられる。特に、ハロゲン灯、ケイ光灯、レー
ザー光が好ましい。

【００４８】本発明においてハロゲン化銀感光材料をパ
ターン露光するための露光装置（方法）としては、特開
平２−１２９６２５号、同５−１７６１４４号、同５−
１９９３７２号、同６−１２７０２１号、同８−２０１
６１６号、特願平６−４０１６４号、同６−４００１２
号、同６−４２７３２号、同６−８６９１９号、同６−
８６９２０号、同６−９３４２１号、同６−９４８２０
号、同６−９６６２８号、同６−１４９６０９号、同８
−３３７３７１号、同９−２４７５１号等に記載のもの
が利用できる。

【００４９】本発明に用いるカラーフィルター用ハロゲ
ン化銀感光材料の好ましい一例として第１図に示す特性
曲線を有する材料を使用し、青感性乳剤層にはシアンカ
プラーとマゼンタカプラー（またはブルーカプラー）を
含有させ、緑感性乳剤層にはイエローカプラーとシアン
カプラーを含有させ、赤感性乳剤層にはイエローカプラ
ーとマゼンタカプラー（またはレッドカプラー）を含有
させ、さらに赤外感性乳剤層にはイエローカプラー、マ
ゼンタカプラーおよびシアンカプラーを、支持体上の全
カプラーを反応させた時、透過濃度２．５以上の実質的
な黒色（ＥＮＤ≧２．５）となるように含有させる。そ
して第１図のＡ点とＢ点の位置の露光を与えることので
きる濃度を持ったパターンを有する第２図のようなマス
ターカラーフィルターを用いて、青色、緑色、赤色およ
び白色光（必要とする赤外光も含む）で露光する。その
後発色現像、漂白、定着、水洗処理を施すことにより第
３図に示すような青色（Ｂ）、緑色（Ｇ）、赤色（赤）
および高濃度の黒色（ＢＭ）に発色したカラーフィルタ
ーが得られた。

【００５０】本発明に用いるカラーフィルター用ハロゲ
ン化銀感光材料の層構成の別の好ましい一例を第４図に
示す。第４図より各ハロゲン化銀乳剤層の隣接する層に
同系統のカプラーを添加し得るので中間層がなくても各
乳剤層間の色素の混色が低減され、カラーフィルターの
膜厚を薄くすることができる。もちろん、異なる感色性
の乳剤層の間に中間層を配置することも可能で、この場
合混色防止剤の添加量が低減できる。本ハロゲン化銀感
光材料を用いてカラーフィルターを作製するには、上記
の場合と同様に第２図のようなマスターカラーフィルタ
ーを用いて露光したのち、発色現像、漂白・定着、水洗
処理を施す。このハロゲン化銀感光材料はＲ、Ｇ、Ｂの
感色性を持つハロゲン化銀乳剤層がそれぞれ２つの単位
層で構成されているが、これら同一の感色性を有する単
位層は、それぞれ感度の異なる層であっても、感度の等
しい層であってもよい。そして上記２つの単位層に、そ
れぞれ形成する色相を互いに異にするカプラーを少なく
とも１種ずつ含有する。

【００５１】また、黒色補正用の赤外感色性のハロゲン
化銀乳剤層は２つ以上の単位層で構成してもよい。この
各単位層には実質的に異なる色素を形成するカプラーを
それぞれ別に含有させることも、複数のカプラーを共存
させることもできる。この場合、各単位層の層構成と含
有カプラーを適当に選択することにより、隣接する他の
ハロゲン化銀乳剤層との間の中間層を除去することもで
きる。上記ハロゲン化銀感光材料において、異なる感色
性を持つ４つのハロゲン化銀乳剤層の塗設の順序は必ず
しも上記の順のみでなく任意に設定できる。さらに上記
の層構成に加えて、必要に応じて下引き層、中間層、漂
白可能な黄色フィルター層、保護層あるいは紫外線吸収
層などを設けてもよい。

【００５２】本発明においては、上記方法により得られ
たカラーフィルターをマスクにして後述のフォトレジス
トを紫外線に富んだ光で露光するため、ＢＭ部のこの光
に対する透過率がＲ、Ｇ、ＢまたはＣ、Ｍ、Ｙの画素ス
トライプ部より低いことが必要である。鋭意検討の結
果、Ｒ、Ｇ、Ｂ（またはＣ、Ｍ、Ｙ）の画素部およびＢ
Ｍ部がいずれも基本的にＣ、Ｍ、Ｙの色素から形成さ
れ、かつＢＭ部を形成するＣ、Ｍ、Ｙの色素量が各画素
部を形成する色素量より少なくとも２倍多いときに、フ
ォトレジスト（すなわち透明電極のパターニング）のデ
ィスクリミネーションが良好であることがわかった。こ
れを実現するために本発明においては、前述のように
Ｒ、Ｇ、Ｂ（またはＣ、Ｍ、Ｙ）を発色する感光層の他
に基板上の全カプラーを反応させたとき、透過濃度２．
５以上の実質的な黒色となるように色補正する感光層を
有するハロゲン化銀感光材料を用いるのが好ましい。

【００５３】本発明の方法により製造されたカラーフィ
ルターは、最外層に、耐熱性、耐水性、高比電気抵抗率
を有する樹脂を保護層（オーバーコート層）として塗設
することができる。かかる樹脂の例は米国特許４，１７
１，９７９号、同４，０４９，８６１号、同４，３３
３，９９８号、同４，６９８，２９５号、同４，６６
８，６０１号、欧州特許出願ＥＰ−１７９，６３６Ａ
号、同５５６，８１０Ａ号、特開平３−１６３４１６
号、同３−１８８１５３号、同５−７８４４３号、同１
−２７６１０１号、同２−１７９６２８号、同５−１９
１１５号、同５−１７３０１２号、同５−２６４８１１
号、特開昭６０−２１６３０７号、同６３−２１８７７
１号、同５２−２２０９９号、同５２−２２１００号、
同５３−１４２４４７号、同５４−１３７０７２号、同
５４−８３９９９号、同５５−１２５１０４号、同５３
−５７０２３号、同５３−１２１１００号、同５６−９
１２３３号、同５７−９０４８９号、同６２−２１１５
０号、同６２−２３０４２号、同６２−２３０４３号、
同６２−２４２５６号、同６２−２５７５８号、同６２
−２２９１３３号、特願平８−２３５６２１号、同８−
２３８１５４号、同８−２７６０２７号等に記載されて
いる。

【００５４】上記方法により作製されたカラーフィルタ
ーの上または基板の反対面に、フォトレジストを塗布、
または貼付（ラミネート）する。フォトレジストには液
体状のものとフィルム状のものとがあり、いずれも市販
されている水溶性コロイド系、ポリ桂皮酸系、環化ゴム
系（芳香族ビスアジド系）等のネガ型、およびノボラッ
ク系（キノン・ジアジド系）等のポジ型が利用できる。
乾燥、プレベーク後、遮光マスクを用い（この場合はネ
ガ型フォトレジストを使用）フォトレジスト面から、ま
たはカラーフィルターをマスクにして（この場合はポジ
型フォトレジストを使用）、透明基板のフォトレジスト
面とは反対側の面から電磁波（紫外線に富んだ光）、例
えば、キセノン灯、高圧および超高圧水銀灯、メタルハ
ライドランプ、カーボンアーク灯等を照射することによ
り、遮光マスクまたはカラーフィルターのパターンと合
致した露光を与える。前述のようにカラーフィルターの
ＢＭ部の色素量はＲＧＢ（またはＣＭＹ）の画素ストラ
イプ部に比べて少なくとも２倍多いため、照射量を調整
することにより、画素部は露光、ＢＭは実質的に未露光
となりパターン露光できる。

【００５５】その後、現像、水洗、乾燥、ポストベーク
を行なった後、通常のスパッタ法やイオン・プレーティ
ング法、真空蒸着法等により透明電極（ＩＴＯや特開平
９−５５１４号等に記載の非晶質酸化インジウム／酸化
亜鉛等）を成膜する。その電気抵抗値は５００Ω／cm²
以下、好ましくは５０Ω／cm² 以下である。続いてレジ
スト剥離、水洗、乾燥を経て画素ストライプ部に電極パ
ターンを形成する。フォトレジストやフォトリソグラフ
ィーについては、山岡亜夫、永松元太郎編「フォトポリ
マー・テクノロジー」（１９８８年 日刊工業新聞社発
行）、橋本貴夫著「図解・フォトファブリケーション」
（１９８６年 総合電子出版社発行）、特開平８−２１
７５７８号等に記載されている。透明電極の上には、必
要に応じて、ポリイミド樹脂等の配向膜を設け、これを
ラビング処理することができる。

【００５６】本発明は、透明基板上にハロゲン化銀カラ
ー感光材料を用いて形成したカラーフルターの上に、透
明電極パターンを有する部材を使用する各種カラー表示
装置に適用することができる。具体的には、ＴＮ型、Ｓ
ＴＮ型、強誘電性液晶（ＦＬＣ）型等のカラーＬＣＤ、
特願平９−６６９８６号に記載の白色発光にカラーフィ
ルターを組み合わせた有機ＥＬ等に適用できる。カラー
ＬＣＤやその製造法についての詳細は、松本正一・角田
市良共著「液晶の基礎と応用」（１９９１年 工業調査
会発行）、日経マイクロデバイス編「フラットパネル・
ディスプレイ １９９７」（１９９６年 日経ＢＰ社発
行）、液晶若手研究会編「液晶ディスプレイの最先端」
（１９９６年 シグマ出版発行）等に記載されている。
また有機ＥＬについては、「有機ＥＬ素子開発戦略」
（１９９２年 SCIENCEFORUM 社発行）、「日経エレク
トロニクス １９９６．１．２９（６５４号）８５頁」
（日経ＢＰ社発行）、「月刊ディスプレイ '９６ ７
月号７２頁」（テクノタイムズ社発行）等に記載されて
いる。

【００５７】

【実施例】

実施例１ バック層としてカーボンブラックをポリ塩化ビニルに分
散させて塗布した厚さ１００μm のポリエチレンテレフ
タレート支持体にゼラチン下引きを施し、その上に以下
に示す構成の第１層から第１０層を多層同時塗布しカラ
ー感光材料ＣＦ−１を作成した。以下に成分と塗布量
（ｇ／m²単位）を示す。なおハロゲン化銀乳剤について
は銀換算の塗布量を示す。

【００５８】 第１層（剥離層） ヒドロキシエチルセルロース（ＨＥＣ−ＳＰ５００； ダイセル化学工業（株）製） ・・・・０．３５ 末端アルキル変性ポリビニルアルコール（平均重合度３００）・・０．０８ 帯電防止剤（Ｃｐｄ−１） ・・・・０．０３

【００５９】 第２層（ゼラチン隣接層） ゼラチン ・・・・０．６０

【００６０】 第３層（青感層） 青色増感色素（ＥｘＳ−１、２）で分光増感したハロゲン化銀乳剤 （ＡｇＢｒ₃₀Ｃｌ₇₀；平均粒径０．３５μm ） ・・・・０．３３ ゼラチン ・・・・１．００ シアンカプラー（ＥｘＣ−３） ・・・・０．５７ マゼンタカプラー（ＥｘＭ−２） ・・・・０．０５ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−６） ・・・・０．０３ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−７） ・・・・０．０８ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−１） ・・・・０．２３

【００６１】 第４層（中間層） ゼラチン ・・・・０．３８ 混色防止剤（Ｃｐｄ−２） ・・・・０．０２ 混色防止剤（Ｃｐｄ−１０） ・・・・０．０９ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−１） ・・・・０．０３ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−３） ・・・・０．０１ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−８） ・・・・０．０２ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−７） ・・・・０．０２ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−６） ・・・・０．０１ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−９） ・・・・０．０２ ポリマー（Ｃｐｄ−１１） ・・・・０．０４ イエロー染料（ＹＦ−１） ・・・・０．１７

【００６２】 第５層（緑感層） 緑色増感色素（ＥｘＳ−３）で分光増感したハロゲン化銀乳剤 （ＡｇＣｌ；平均粒径０．１８μm ） ・・・・０．７１ ゼラチン ・・・・１．３９ シアンカプラー（ＥｘＣ−１） ・・・・０．３４ イエローカプラー（ＥｘＹ−２） ・・・・０．４７ 退色防止剤（Ｃｐｄ−５） ・・・・０．０１ ステイン防止剤（Ｃｐｄ−１３） ・・・・０．０１ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−１） ・・・・０．２７ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−２） ・・・・０．３９ ポリマー（Ｃｐｄ−１４） ・・・・０．０３

【００６３】 第６層（中間層） ゼラチン ・・・・０．３８ 混色防止剤（Ｃｐｄ−２） ・・・・０．０２ 混色防止剤（Ｃｐｄ−１０） ・・・・０．０９ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−１） ・・・・０．０３ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−３） ・・・・０．０１ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−８） ・・・・０．０２ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−７） ・・・・０．０２ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−６） ・・・・０．０１ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−９） ・・・・０．０２ ポリマー（Ｃｐｄ−１１） ・・・・０．０４ イラジエーション防止染料（Ｄｙｅ−１） ・・・・０．００５ イラジエーション防止染料（Ｄｙｅ−２） ・・・・０．０２

【００６４】 第７層（赤感層） 赤色増感色素（ＥｘＳ−４、５）で分光増感したハロゲン化銀乳剤 （ＡｇＣｌ；平均粒径０．１８μm ） ・・・・０．３６ ゼラチン ・・・・１．３３ イエローカプラー（ＥｘＹ−１） ・・・・０．６１ マゼンタカプラー（ＥｘＭ−１） ・・・・０．１５ 退色防止剤（Ｃｐｄ−３） ・・・・０．１１ 退色防止剤（Ｃｐｄ−４） ・・・・０．００５ 混色防止剤（Ｃｐｄ−５） ・・・・０．０１ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−４） ・・・・０．２６ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−５） ・・・・０．１４ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−６） ・・・・０．２４ ポリマー（Ｃｐｄ−１４） ・・・・０．０３

【００６５】 第８層（中間層） ゼラチン ・・・・０．３８ 混色防止剤（Ｃｐｄ−２） ・・・・０．０２ 混色防止剤（Ｃｐｄ−１０） ・・・・０．０９ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−１） ・・・・０．０３ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−３） ・・・・０．０１ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−８） ・・・・０．０２ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−７） ・・・・０．０２ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−６） ・・・・０．０１ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−９） ・・・・０．０２ ポリマー（Ｃｐｄ−１１） ・・・・０．０４

【００６６】 第９層（赤外感層） 赤外増感色素（ＥｘＳ−６）で分光増感したハロゲン化銀乳剤 （ＡｇＢｒ₃₀Ｃｌ₇₀；平均粒径０．２μm ） ・・・・０．４４ 安定化剤（Ｃｐｄ−１２） ・・・・０．００５ ゼラチン ・・・・１．４２ シアンカプラー（ＥｘＣ−２） ・・・・０．１０ イエローカプラー（ＥｘＹ−１） ・・・・０．４５ マゼンタカプラー（ＥｘＭ−１） ・・・・０．２２ 退色防止剤（Ｃｐｄ−３） ・・・・０．０５ 退色防止剤（Ｃｐｄ−４） ・・・・０．００５ 退色防止剤（Ｃｐｄ−５） ・・・・０．０２ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−１） ・・・・０．２８ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−２） ・・・・０．０６ ステイン防止剤（Ｃｐｄ−１３） ・・・・０．０１ ポリマー（Ｃｐｄ−１４） ・・・・０．０３

【００６７】 第１０層（保護層） ゼラチン ・・・・０．７０ ハレーション防止染料（微粒子分散） ・・・・０．１７ カルボキシメチルセルロース ・・・・０．０５ ポリマー（Ｃｐｄ−１５） ・・・・０．１４ 界面活性剤（Ｃｐｄ−１６） ・・・・０．０３ 硬膜剤（Ｈ−１） ・・・・０．１２

【００６８】各層には乳化分散助剤としてドデシルベン
ゼンスルホン酸ナトリウム、補助溶媒として酢酸エチ
ル、塗布助剤として界面活性剤（Ｃｐｄ−１７）を、更
に増粘剤としてポリスチレンスルホン酸カリウムを用い
た。

【００６９】

【化１】

【００７０】

【化２】

【００７１】

【化３】

【００７２】

【化４】

【００７３】

【化５】

【００７４】

【化６】

【００７５】光透過性基板として厚さ０．７mmの透明な
無アルカリガラス（２４cm×３２cm）を用い、その表面
にゼラチンとコロイダルシリカ（平均粒子サイズ７〜９
ｍμ）を重量比で１：３に混合し、界面活性剤としてサ
ポニンを加えて塗布した。乾膜の塗布厚みは０．２μで
あった。

【００７６】光透過性基板の塗膜面に前述のカラー感光
材料ＣＦ−１の保護層とを密着させた。その後密着面の
温度が約１３０℃になるように温度設定したラミネータ
ーを用い、線速０．４５ｍ／分で通過させた。ほぼ室温
に冷えた後、感光材料の支持体を剥離層と共に乳剤面か
ら引き剥がした。基板上に第２層から上の乳剤面が一様
に密着しており白抜けはみられなかった。

【００７７】以上のようにして作成した乳剤層を有する
基板の乳剤面側に、第２図に示すようなマスターカラー
フィルターを密着させて等倍率でワンショット露光し
た。露光済基板を下記の工程に従い現像処理し、１回の
操作で第３図に示すようにＢ、Ｇ、Ｒ三色および黒に発
色したカラーフィルターを作成した。 （処理工程） （温 度） （時 間） 前硬膜処理 ２５℃ ３分 水洗−１ ２５℃ １分 発色現像 ３８℃ ８０秒 漂白定着 ３８℃ ９０秒 水洗−２ ２５℃ ４０秒 後硬膜処理 ２５℃ ３分 水洗−３ ２５℃ １分 水洗−４ ２５℃ ２分 乾 燥 ８０℃ ２分

【００７８】 前硬膜処理液 硫酸ナトリウム（無水） １６０．０ｇ 炭酸ナトリウム（無水） ４．６ｇ ホルマリン（３７％） ２０．０ml 水を加えて１リットル、ｐＨ（２５℃）＝９．５

【００７９】 発色現像液 水 ８００ml Ｄ−ソルビット ０．１５ｇ ナフタレンスルホン酸ナトリウム・ホルマリン縮合物 ０．１５ｇ ニトリロトリス（メチレンホスホン酸）５ナトリウム塩 １．８ｇ ジエチレントリアミン５酢酸 ０．５ｇ １−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸 ０．１５ｇ ジエチレングリコール １２．０ml ベンジルアルコール １３．５ml 塩化カリウム ６．５ｇ 臭化カリウム ０．１ｇ 炭酸カリウム ３０．０ｇ 亜硫酸ナトリウム ２．４ｇ ジナトリウム−Ｎ，Ｎ−ビス（スルホナートエチル）ヒドロキシル アミン ８．０ｇ トリエタノールアミン ６．０ｇ ベンゾトリアゾール ０．０１ｇ Ｎ−エチル−Ｎ−（β−メタンスルホンアミドエチル）−３− メチル−４−アミノアニリン・３／２硫酸・１水塩 ６．０ｇ 水を加えて１リットル、ｐＨ（２５℃）＝１０．６

【００８０】 漂白定着液 水 ６００ml チオ硫酸アンモニウム（７５０ｇ／リットル） １６０ml 亜硫酸アンモニウム ４０．０ｇ エチレンジアミン４酢酸・第二鉄アンモニウム ５５．０ｇ エチレンジアミン４酢酸 ５．０ｇ 硝酸アンモニウム １０．０ｇ 臭化アンモニウム ２５．０ｇ 水を加えて１リットル、ｐＨ（２５℃）＝６．０

【００８１】後硬膜処理液 ４％グルタルアルデヒド水溶液（ｐＨ４．５） 水洗水 導電率５μＳ以下の脱イオン水

【００８２】得られたカラーフィルター層の上に下記の
組成物を乾膜で２．５μm となるように塗布、乾燥、紫
外線硬化して保護膜とした。得られたカラーフィルター
はカラーフィルター層と保護膜との密着性、耐薬品性は
良好であった。

【００８３】 （オーバーコート組成物処方） モノマー（１） ７７．４wt％ モノマー（２） ７．７ ポリマーＣＡＢ５３１（Eastman Chemical社製） １１．７ 光重合開始剤 ２．４ 増感剤 ０．８ 塗布用希釈溶媒（ＭＥＫ） −

【００８４】

【化７】

【００８５】上記保護膜を設けたカラーフィルターの上
に、紫外線硬化ネガ型ＶＡＮＸドライフィルムレジスト
ＨＬ−０２０（富士フイルムオーリン社製）を用い、１
０５℃で１ｍ／分の速度でラミネートした。支持フィル
ムを剥離除去後、ＢＭ部が露光部となる遮光マスクを用
い、レジスト面からフォトレジストを紫外線露光した。
露光は５Kwの高圧水銀灯を用い、プロキシミティギャッ
プ７０μｍ、１５０mJ／cm² で行なった。そして、１％
炭酸ナトリウム水溶液を用いて現像し、水洗、乾燥、１
２０℃で２０分ポストベークした。次に、表面抵抗４０
Ω／□（膜厚１５００Å）のITO(SnO₂を５wt％含有）を
成膜した。その後、５％NaOH水溶液でレジストを剥離、
純水で洗浄、乾燥することにより、カラーフィルターの
パターンに合致させて透明電極を形成した。このように
して得られた透明電極のパターンを反射顕微鏡で観察し
たところ、カラーフィルターのパターンに合致したもの
が得られていることがわかった。

【００８６】実施例２ 裏面にポリプロピレンの保護膜（２０μm ）をラミネー
トした光学的に等方な厚さ１００μm のポリエーテルス
ルホン基板にコロナ放電処理を施し、写真乳剤層との接
着を良くするために、ＳＢＲラテックス層およびゼラチ
ン層の２層を塗工した。この上に以下に示す構成の第１
層から第１１層を多層同時塗布しカラーフィルター用カ
ラー感光材料ＣＦ−２を作成した。以下に成分と塗布量
（ｇ／m²単位）を示す。なおハロゲン化銀については銀
換算の塗布層を示す。なお、特記しない限り、カプラー
添加剤等は実施例１と同じ化合物を使用した。

【００８７】 第１層（ハレーション防止層） ゼラチン ・・・０．７０ ハレーション防止染料（微粒子分散） ・・・０．１７ カルボキシメチルセルロース ・・・０．０５ 界面活性剤（Ｃｐｄ−１６） ・・・０．０３ 硬膜剤（Ｈ−１） ・・・０．０５

【００８８】 第２層（赤外感層） 赤外増感色素（ＥｘＳ−６）で分光増感したハロゲン化銀乳剤 （ＡｇＢｒ₃₀Ｃｌ₇₀；平均粒径０．２μm ） ・・・０．４４ 安定化剤（Ｃｐｄ−１２） ・・・０．００５ ゼラチン ・・・１．４２ シアンカプラー（ＥｘＣ−３） ・・・０．１０ イエローカプラー（ＥｘＹ−１） ・・・０．４５ マゼンタカプラー（ＥｘＭ−１） ・・・０．２２ 退色防止剤（Ｃｐｄ−３） ・・・０．０５ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−１） ・・・０．２８ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−２） ・・・０．６ ポリマー（Ｃｐｄ−１４） ・・・０．０３

【００８９】 第３層（中間層） ゼラチン ・・・０．３８ 退色防止剤（Ｃｐｄ−２） ・・・０．０２ 退色防止剤（Ｃｐｄ−１０） ・・・０．０９ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−１） ・・・０．０３ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−３） ・・・０．０１ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−８） ・・・０．０２ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−７） ・・・０．０２ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−６） ・・・０．０１ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−９） ・・・０．０２ ポリマー（Ｃｐｄ−１１） ・・・０．０４ イラジエーション防止染料（Ｄｙｅ−３） ・・・０．０４

【００９０】 第４層（第１赤感層） 赤色増感色素（ＥｘＳ−４、５）で分光増感したハロゲン化銀乳剤 （ＡｇＣｌ；平均粒径０．１８μm ） ・・・０．１１ ゼラチン ・・・０．７０ マゼンタカプラー（ＥｘＭ−１） ・・・０．１５ 退色防止剤（Ｃｐｄ−３） ・・・０．０８ 退色防止剤（Ｃｐｄ−５） ・・・０．０１ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−４） ・・・０．２８ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−５） ・・・０．１４ ポリマー（Ｃｐｄ−１１） ・・・０．０８

【００９１】 第５層（第２赤感層） 赤色増感色素（ＥｘＳ−４、５）で分光増感したハロゲン化銀乳剤 （ＡｇＣｌ；平均粒径０．１８μm ） ・・・０．２６ ゼラチン ・・・０．６４ イエローカプラー（ＥｘＹ−１） ・・・０．６１ ステイン防止剤（Ｃｐｄ−１３） ・・・０．０８ 退色防止剤（Ｃｐｄ−５） ・・・０．０４ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−６） ・・・０．２４ ポリマー（Ｃｐｄ−１４） ・・・０．０８

【００９２】 第６層（中間層） ゼラチン ・・・０．３８ イラジエーション防止染料（Ｄｙｅ−１） ・・・０．００５ イラジエーション防止染料（Ｄｙｅ−２） ・・・０．０２

【００９３】 第７層（第１緑感層） 緑色増感色素（ＥｘＳ−３）で分光増感したハロゲン化銀乳剤 （ＡｇＣｌ；平均粒径０．１８μm ） ・・・０．２３ ゼラチン ・・・０．６２ イエローカプラー（ＥｘＹ−１） ・・・０．５４ 退色防止剤（Ｃｐｄ−５） ・・・０．０３ ステイン防止剤（Ｃｐｄ−１３） ・・・０．０７ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−６） ・・・０．２２ ポリマー（Ｃｐｄ−１４） ・・・０．０７

【００９４】 第８層（第２緑感層） 緑色増感色素（ＥｘＳ−３）で分光増感したハロゲン化銀乳剤 （ＡｇＣｌ；平均粒径０．１８μm ） ・・・０．１９ ゼラチン ・・・０．６８ シアンカプラー（ＥｘＣ−４） ・・・０．２０ シアンカプラー（ＥｘＣ−２） ・・・０．０３ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−７） ・・・０．５１ ポリマー（Ｃｐｄ−１４） ・・・０．０２

【００９５】 第９層（中間層） ゼラチン ・・・０．３８ 混色防止剤（Ｃｐｄ−２） ・・・０．０２ 混色防止剤（Ｃｐｄ−１０） ・・・０．０９ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−１） ・・・０．０３ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−３） ・・・０．０１ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−８） ・・・０．０２ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−７） ・・・０．０２ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−６） ・・・０．０１ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−９） ・・・０．０２ ポリマー（Ｃｐｄ−１１） ・・・０．０４ イエロー染料（ＹＦ−１） ・・・０．１７

【００９６】 第１０層（青感層） 青色増感色素（ＥｘＳ−１、２）で分光増感したハロゲン化銀乳剤 （ＡｇＢｒ₃₀Ｃｌ₇₀；平均粒径０．３５μm ） ・・・０．３３ ゼラチン ・・・０．９８ シアンカプラー（ＥｘＣ−３） ・・・０．５７ マゼンタカプラー（ＥｘＭ−２） ・・・０．０５ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−６） ・・・０．０３ 紫外線吸収剤（Ｃｐｄ−７） ・・・０．０８ 高沸点溶媒（Ｓｏｌｖ−１） ・・・０．２３ 硬膜剤（Ｈ−１） ・・・０．０８

【００９７】 第１１層（保護層） ゼラチン（酸処理） ・・・・０．６５ 帯電防止剤（Ｃｐｄ−１） ・・・・０．０１ スノーテックス−Ｏ（日産化学工業（株）製） ・・・・０．１９

【００９８】各層には乳化分散助剤としてドデシルベン
ゼンスルホン酸ナトリウム、補助溶媒として酢酸エチ
ル、塗布助剤として界面活性剤（Ｃｐｄ−１７）を、更
に増粘剤としてポリスチレンスルホン酸カリウムを用い
た。

【００９９】

【化８】

【０１００】次にカラーフィルター用カラー感光材料Ｃ
Ｆ−２における第２層（赤外感層）を除いた以外は全く
同じ構成のカラーフィルター用カラー感光材料ＣＦ−３
を作成した。上記カラー感光材料ＣＦ−２およびＣＦ−
３を特願平８−３３７３７１号図８に記載の露光装置を
用いて連続露光した。

【０１０１】その後、下記の工程に従い自動現像機を用
いてロール状で現像処理し、一回の操作でＲ、Ｇ、Ｂ三
色および黒に発色したカラーフィルターを作成した。黒
発色部の透過濃度はＣＦ−２ではＹ２．８、Ｍ２．５、
Ｃ３．１、そしてＣＦ−３ではＹ２．３、Ｍ１．９、Ｃ
２．９であった。処理液は実施例１と同じものを用い
た。 （処理工程） （温度） （時間） 発色現像 38℃ 80秒 漂白定着 38℃ 90秒 水洗−１ 25℃ １分 後硬膜処理 25℃ ３分 水洗−２ 25℃ ２分 水洗−３ 25℃ ２分 乾燥 80℃ ２分 得られたカラーフィルター層の上に実施例１と同じ組成
物を乾膜で３μｍとなるように連続塗布、乾燥、紫外線
硬化して保護膜を形成した。

【０１０２】上記保護膜を設けたカラーフィルターの上
に、紫外線硬化ポジ型フォトレジストＦＨ−２１３０
（富士フイルムオーリン社製）をローラーコートし、９
５℃で１２分プリベークした。その後、プラスチック基
板のカラーフィルター（すなわちレジスト）塗設面とは
反対面から、カラーフィルターのＢＭ部をマスクにして
フォトレジストを紫外線露光した。露光は５Kwの高圧水
銀灯を用い、プロキシミティギャップ７０μｍ、３００
mJ／cm² で行なった。そして、０．５％NaOH水溶液を用
いて室温で１分現像し、水洗、乾燥、１２０℃で２０分
ポストベークした。次に、実施例１と同様にITO を成膜
した。その後５％NaOH水溶液でレジストを剥離、純水で
洗浄、乾燥することにより、カラーフィルターのパター
ンに合致させて透明電極を形成した。

【０１０３】このようにして得られたカラーフィルター
基板ＣＦ−２およびＣＦ−３の透明電極のパターンを反
射顕微鏡で比較観察したところ、ＣＦ−２ではカラーフ
ィルターのパターンに合致したものが得られているが、
ＣＦ−３では部分的にエッチング不良が発生し、電極の
線幅がカラーフィルターのパターンより広くなっている
ことがわかった。ＣＦ−３ではフォトレジストの紫外線
露光量を変えても透明電極のパターンのディスクリミネ
ーションは改善されなかった。

【０１０４】

【発明の効果】以上のように本発明のハロゲン化銀感光
材料を用いて作成したカラー表示用カラーフィルター基
板は、複雑な工程を必要とせず、量産適性があり、しか
も精密な位置合わせをしなくてもカラーフィルターと透
明電極のパターンを簡単に合致させることができる透明
電極の形成方法を提供する。したがって、本発明のカラ
ーフィルター基板およびこの上に形成される透明電極の
形成方法を採用することにより、信頼性の高いカラー表
示装置が効率良く製造できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルター用ハロゲン化銀感光
材料の特性曲線の一例である。

【図２】本発明のマスターカラーフィルターの一例であ
る。

【図３】本発明のカラーフィルターの一例である。

【図４】本発明のカラーフィルター用ハロゲン化銀感光
材料の層構成の一例である。

【手続補正書】

【提出日】平成９年１０月２日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正内容】

【特許請求の範囲】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００８

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の課題は、下記の
（１）、（２）、（３）、（４）の構成によって達成さ
れた。 （１）透明基板を有するハロゲン化銀カラー感光材料
に、ストライプ状にパターン露光し、発色現像処理およ
び脱銀処理して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）またはシ
アン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の画素ス
トライプ部の他にブラックストライプ（ＢＭ）部を有す
るカラーフィルターを形成した後、この上に耐水性のオ
ーバーコート層を塗設し、さらにこの上にまたは該透明
基板の反対面にネガ型フォトレジストを設置し、画素ス
トライプ部が未露光部、ブラックストライプ部が露光部
となるようなパターンを有する遮光マスクを用いてレジ
スト面からフォトレジストに電磁波を照射することによ
りパターン露光し現像処理することによりカラーフィル
ターのパターンに合致させてレジストをパターニング
し、その後、レジスト面から透明電極を成膜した後、レ
ジスト剥離処理することにより、該カラーフィルターの
画素ストライプ部に透明電極を形成することを特徴とす
るカラー表示装置用カラーフィルター基板の製造方法。 （２）透明基板を有するハロゲン化銀カラー感光材料
に、ストライプ状にパターン露光し、発色現像処理およ
び脱銀処理して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）またはシ
アン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の画素ス
トライプ部の他にブラックストライプ（ＢＭ）部を有す
るカラーフィルターを形成した後、この上に耐水性のオ
ーバーコート層を塗設し、さらにこの上にまたは該透明
基板の反対面にポジ型フォトレジストを設置し、該カラ
ーフィルターをマスクにして基板のフォトレジスト設置
面とは反対側の面から該フォトレジストに電磁波を照射
することにより、画素ストライプ部が露光部、ブラック
ストライプ部が未露光部となるようにパターン露光し、
現像処理することによりカラーフィルターのパターンに
合致させてレジストをパターニングし、その後、レジス
ト面から透明電極を成膜した後、レジスト剥離処理する
ことにより、該カラーフィルターの画素ストライプ部に
透明電極を形成することを特徴とするカラー表示装置用
カラーフィルター基板の製造方法。 （３）前記ハロゲン化銀カラー感光材料が少なくとも感
光性ハロゲン化銀およびカプラーを含有し、かつ、Ｒ、
Ｇ、ＢまたはＹ、Ｍ、Ｃを発色する感光層の他に、基板
上の全カプラーを反応させたとき、透過濃度２．５以上
の実質的な黒色となるように色補正する感光層を有する
ことを特徴とする（１）または（２）記載のカラー表示
装置用カラーフィルター基板の製造方法。 （４）上記（１）、（２）または（３）に記載の方法に
よって製造されたカラー表示装置用カラーフィルター基
板。

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００９９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００９９】

【化８】

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０１０３

【補正方法】変更

【補正内容】

【０１０３】このようにして得られたカラーフィルター
基板ＣＦ−２およびＣＦ−３の透明電極のパターンを反
射顕微鏡で比較観察したところ、ＣＦ−２ではカラーフ
ィルターのパターンに合致したものが得られているが、
ＣＦ−３では部分的に不良が発生し、電極の線幅がカラ
ーフィルターのパターンより広くなっていることがわか
った。ＣＦ−３ではフォトレジストの紫外線露光量を変
えても透明電極のパターンのディスクリミネーションは
改善されなかった。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板を有するハロゲン化銀カラー感
   光材料に、ストライプ状にパターン露光し、発色現像処
   理および脱銀処理して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）ま
   たはシアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の
   画素ストライプ部の他にブラックストライプ（ＢＭ）部
   を有するカラーフィルターを形成した後、この上に耐水
   性のオーバーコート層を塗設し、さらにこの上にまたは
   該透明基板の反対面にネガ型フォトレジストを設置し、
   画素ストライプ部が未露光部、ブラックストライプ部が
   露光部となるようなパターンを有する遮光マスクを用い
   てレジスト面からフォトレジストに電磁波を照射するこ
   とによりパターン露光し現像処理することによりカラー
   フィルターのパターンに合致させてレジストをパターニ
   ングし、その後、レジスト面から透明電極を成膜した
   後、レジスト剥離処理することにより、該カラーフィル
   ターの画素ストライプ部に透明電極を形成することを特
   徴とするカラー表示装置用カラーフィルター基板の製造
   方法。
2. 【請求項２】 透明基板を有するハロゲン化銀カラー感
   光材料に、ストライプ状にパターン露光し、発色現像処
   理および脱銀処理して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）ま
   たはシアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の
   画素ストライプ部の他にブラックストライプ（ＢＭ）部
   を有するカラーフィルターを形成した後、この上に耐水
   性のオーバーコート層を塗設し、さらにこの上にまたは
   該透明基板の反対面にポジ型フォトレジストを設置し、
   画素ストライプ部が露光部、ブラックストライプ部が未
   露光部となるようなパターンを有する遮光マスクを用い
   てレジスト面からフォトレジストに電磁波を照射するこ
   とによりパターン露光し現像処理することによりカラー
   フィルターのパターンに合致させてレジストをパターニ
   ングし、その後、レジスト面から透明電極を成膜した
   後、レジスト剥離処理することにより、該カラーフィル
   ターの画素ストライプ部に透明電極を形成することを特
   徴とするカラー表示装置用カラーフィルター基板の製造
   方法。
3. 【請求項３】 透明基板を有するハロゲン化銀カラー感
   光材料に、ストライプ状にパターン露光し、発色現像処
   理および脱銀処理して赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）ま
   たはシアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の
   画素ストライプ部の他にブラックストライプ（ＢＭ）部
   を有するカラーフィルターを形成した後、この上に耐水
   性のオーバーコート層を塗設し、さらにこの上にまたは
   該透明基板の反対面にポジ型フォトレジストを設置し、
   該カラーフィルターをマスクにして基板のフォトレジス
   ト設置面とは反対側の面から該フォトレジストに電磁波
   を照射することにより、画素ストライプ部が露光部、ブ
   ラックストライプ部が未露光部となるようにパターン露
   光し、現像処理することによりカラーフィルターのパタ
   ーンに合致させてレジストをパターニングし、その後、
   レジスト面から透明電極を成膜した後、レジスト剥離処
   理することにより、該カラーフィルターの画素ストライ
   プ部に透明電極を形成することを特徴とするカラー表示
   装置用カラーフィルター基板の製造方法。
4. 【請求項４】 前記ハロゲン化銀カラー感光材料が少な
   くとも感光性ハロゲン化銀およびカプラーを含有し、か
   つ、Ｒ、Ｇ、ＢまたはＹ、Ｍ、Ｃを発色する感光層の他
   に、基板上の全カプラーを反応させたとき、透過濃度
   ２．５以上の実質的な黒色となるように色補正する感光
   層を有することを特徴とする請求項１、２または３記載
   のカラー表示装置用カラーフィルター基板の製造方法。
5. 【請求項５】 請求項１、２、３または４に記載の方法
   によって製造されたカラー表示装置用カラーフィルター
   基板。