JPH11270701A - スロットルバルブ - Google Patents
スロットルバルブInfo
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- JPH11270701A JPH11270701A JP9060298A JP9060298A JPH11270701A JP H11270701 A JPH11270701 A JP H11270701A JP 9060298 A JP9060298 A JP 9060298A JP 9060298 A JP9060298 A JP 9060298A JP H11270701 A JPH11270701 A JP H11270701A
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- hole
- valve body
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 組立作業能率の向上、ミニマム流量制御性の
向上、マキシマム流量制御性の向上等を図り、ボディと
弁体の加熱温度分布の向上により排ガス中の副生成物の
付着防止等を図る。 【解決手段】 ボディ１に流路２と直交方向の円筒状の
穴３を形成する。ボディ１に穴３を塞ぐボンネット８を
取付ける。方形板状の弁体１３を一体に設けた軸部１４
により穴３内で回転可能に支持する。ボディ１の穴３の
内壁に穴３の軸方向に沿って弁体１３とで流路２を制御
し得る仕切体２２を対向して設ける。ボディ１における
弁体１３を囲む部分を被覆するように外部加熱用ヒータ
２３を設ける。弁体１３の穴１８に内部加熱用ヒータ２
７を接触状態で内蔵させる。
向上、マキシマム流量制御性の向上等を図り、ボディと
弁体の加熱温度分布の向上により排ガス中の副生成物の
付着防止等を図る。 【解決手段】 ボディ１に流路２と直交方向の円筒状の
穴３を形成する。ボディ１に穴３を塞ぐボンネット８を
取付ける。方形板状の弁体１３を一体に設けた軸部１４
により穴３内で回転可能に支持する。ボディ１の穴３の
内壁に穴３の軸方向に沿って弁体１３とで流路２を制御
し得る仕切体２２を対向して設ける。ボディ１における
弁体１３を囲む部分を被覆するように外部加熱用ヒータ
２３を設ける。弁体１３の穴１８に内部加熱用ヒータ２
７を接触状態で内蔵させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、流体の流れを調節
するために用い、特に、半導体製造装置のプロセスチャ
ンバーの真空排気系に用いるのに適するスロットルバル
ブに関する。
するために用い、特に、半導体製造装置のプロセスチャ
ンバーの真空排気系に用いるのに適するスロットルバル
ブに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造プロセスにおいては、例え
ば、メタルＣＶＤのように析出される材料を構成する元
素から成る一種、またはそれ以上の化合物・単体のガス
をチャンバー内に供給し、気相、または基板表面での化
学反応により基板上に所望の薄膜を形成し、また、シリ
コンナイトライドのようにエッチングガスをチャンバー
内に供給し、基板上の薄膜をエッチングする。このよう
な真空排気系でプロセスチャンバーの圧力制御を行うス
ロットルバルブとしては、一般的にバタフライバルブ構
造が採用されている。
ば、メタルＣＶＤのように析出される材料を構成する元
素から成る一種、またはそれ以上の化合物・単体のガス
をチャンバー内に供給し、気相、または基板表面での化
学反応により基板上に所望の薄膜を形成し、また、シリ
コンナイトライドのようにエッチングガスをチャンバー
内に供給し、基板上の薄膜をエッチングする。このよう
な真空排気系でプロセスチャンバーの圧力制御を行うス
ロットルバルブとしては、一般的にバタフライバルブ構
造が採用されている。
【０００３】上記のようなスロットルバルブにおいて
は、ガス中に含まれる副生成物（微粒子）がボディの内
面や弁体の外面等に付着し、この副生成物の付着量が増
加するのに伴って適切な開度調整を行うことができなく
なる。このようなスロットルバルブにおいてはボディお
よび弁体を１８０℃程度に加熱することにより、副生成
物がボディや弁体に付着し難いことが知られている。
は、ガス中に含まれる副生成物（微粒子）がボディの内
面や弁体の外面等に付着し、この副生成物の付着量が増
加するのに伴って適切な開度調整を行うことができなく
なる。このようなスロットルバルブにおいてはボディお
よび弁体を１８０℃程度に加熱することにより、副生成
物がボディや弁体に付着し難いことが知られている。
【０００４】従来におけるバタフライバルブ構造のスロ
ットルバルブとしては、例えば、特開平６−１８５６７
１号公報に記載されているように、ボディの溝に半円板
状ヒータを挿入し、弁体の回転中心部にロッド状ヒータ
を内蔵させ、半円板状ヒータによりボディを加熱し、ロ
ッド状ヒータにより弁体を加熱するようにした構成が提
案されている。
ットルバルブとしては、例えば、特開平６−１８５６７
１号公報に記載されているように、ボディの溝に半円板
状ヒータを挿入し、弁体の回転中心部にロッド状ヒータ
を内蔵させ、半円板状ヒータによりボディを加熱し、ロ
ッド状ヒータにより弁体を加熱するようにした構成が提
案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来例のバタフライバルブ構造のスロットルバル
ブでは、弁体と駆動軸とを別々に形成し、弁体の穴に駆
動軸の一側部を挿入し、これら弁体と駆動軸とをピンに
より固定するようになっているため、ボディに弁体を組
み込む際にボディの軸心と弁体の回転中心が一致するよ
うに調整する必要があり、その作業は煩わしく、組立作
業能率に劣る。また、上記弁体と駆動軸の組立て、ボデ
ィと弁体の中心の調整等が不良である場合には、弁体が
ボディとこすれてかじりを生じ、動作不良を起こすこと
があった。そのため、ボディと弁体との隙間を微小とな
るように設定することができず、嵌め合い公差が大きく
なるため、ミニマム流量制御特性が良くなかった。
ような従来例のバタフライバルブ構造のスロットルバル
ブでは、弁体と駆動軸とを別々に形成し、弁体の穴に駆
動軸の一側部を挿入し、これら弁体と駆動軸とをピンに
より固定するようになっているため、ボディに弁体を組
み込む際にボディの軸心と弁体の回転中心が一致するよ
うに調整する必要があり、その作業は煩わしく、組立作
業能率に劣る。また、上記弁体と駆動軸の組立て、ボデ
ィと弁体の中心の調整等が不良である場合には、弁体が
ボディとこすれてかじりを生じ、動作不良を起こすこと
があった。そのため、ボディと弁体との隙間を微小とな
るように設定することができず、嵌め合い公差が大きく
なるため、ミニマム流量制御特性が良くなかった。
【０００６】また、上記のような従来例のスロットルバ
ルブでは、半円板状ヒータにおけるボディとの接触面積
が狭いため、熱伝導効率に劣り、また、ロッド状ヒータ
は導線の断線を防止するように弁体の回転中心の穴内に
穴壁とに隙間をあけて挿入し、弁体のみを回転させるよ
うに構成しているため、熱伝導効率に劣る。その結果、
接ガス面、特に、弁体の温度分布が均一とならず、悪い
ために依然として副生成物の付着を防止することができ
ず、動作不良を起こすおそれがあった。
ルブでは、半円板状ヒータにおけるボディとの接触面積
が狭いため、熱伝導効率に劣り、また、ロッド状ヒータ
は導線の断線を防止するように弁体の回転中心の穴内に
穴壁とに隙間をあけて挿入し、弁体のみを回転させるよ
うに構成しているため、熱伝導効率に劣る。その結果、
接ガス面、特に、弁体の温度分布が均一とならず、悪い
ために依然として副生成物の付着を防止することができ
ず、動作不良を起こすおそれがあった。
【０００７】本発明の目的は、上記のような従来例の問
題を解決しようとするもので、弁体をボディに組み込む
際の調整を不要とすることができ、しかも、弁体の回転
時にボディとこすれないようにしてボディと弁体との隙
間を最小にすることができ、したがって、組立作業能率
を向上させることができ、しかも、、ミニマム流量制御
性を向上させることができ、更に、弁体の開放時に長方
形の開口を得ることができて流体の通過開口面積を大き
くすることができ、したがって、マキシマム流量制御性
を向上させることができるようにしたスロットルバルブ
を提供するにある。
題を解決しようとするもので、弁体をボディに組み込む
際の調整を不要とすることができ、しかも、弁体の回転
時にボディとこすれないようにしてボディと弁体との隙
間を最小にすることができ、したがって、組立作業能率
を向上させることができ、しかも、、ミニマム流量制御
性を向上させることができ、更に、弁体の開放時に長方
形の開口を得ることができて流体の通過開口面積を大き
くすることができ、したがって、マキシマム流量制御性
を向上させることができるようにしたスロットルバルブ
を提供するにある。
【０００８】本発明の他の目的は、ボディと弁体との加
熱温度分布を良好にすることができ、したがって、副生
成物が付着し難く、動作不良を防止することができるよ
うにしたスロットルバルブを提供するにある。
熱温度分布を良好にすることができ、したがって、副生
成物が付着し難く、動作不良を防止することができるよ
うにしたスロットルバルブを提供するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のスロットルバルブは、流体の流れ方向と直交
方向に軸を有する円筒状の穴が形成されたボディと、こ
のボディにおける上記穴を塞ぐボンネットと、方形板状
に形成された弁体と、この弁体と一体的に設けられ、上
記ボディの穴内で上記弁体が回転し得るように上記ボン
ネットに支持された軸部と、上記ボディの穴の内壁に沿
うように突設され、上記弁体とで流体の流れを制御し得
る仕切体とを備えたものである。
に本発明のスロットルバルブは、流体の流れ方向と直交
方向に軸を有する円筒状の穴が形成されたボディと、こ
のボディにおける上記穴を塞ぐボンネットと、方形板状
に形成された弁体と、この弁体と一体的に設けられ、上
記ボディの穴内で上記弁体が回転し得るように上記ボン
ネットに支持された軸部と、上記ボディの穴の内壁に沿
うように突設され、上記弁体とで流体の流れを制御し得
る仕切体とを備えたものである。
【００１０】上記課題を解決するために本発明の他のス
ロットルバルブは、上記構成において、上記ボディにお
ける弁体を囲む部分の外面を被覆するように外部加熱用
ヒータを備え、上記弁体に接触状態で内蔵するように内
部加熱用ヒータを備え、上記内部加熱用ヒータの導線を
一方の軸部からボンネットの外方へ導き、この導線の外
方へ導いた部分を上記弁体と内部加熱用ヒータの一体的
な９０度の角度範囲での正逆回転を許すようにコイル状
に取り出したものである。
ロットルバルブは、上記構成において、上記ボディにお
ける弁体を囲む部分の外面を被覆するように外部加熱用
ヒータを備え、上記弁体に接触状態で内蔵するように内
部加熱用ヒータを備え、上記内部加熱用ヒータの導線を
一方の軸部からボンネットの外方へ導き、この導線の外
方へ導いた部分を上記弁体と内部加熱用ヒータの一体的
な９０度の角度範囲での正逆回転を許すようにコイル状
に取り出したものである。
【００１１】上記構成において、上記仕切体をボディに
リブ状に一体的に設け、または上記仕切体を棒状に形成
し、各仕棒状切体の両端部をボンネット間に組み込むこ
とができ、または上記仕切体を棒状に形成し、一方のボ
ンネットから一体的に突設させることができる。
リブ状に一体的に設け、または上記仕切体を棒状に形成
し、各仕棒状切体の両端部をボンネット間に組み込むこ
とができ、または上記仕切体を棒状に形成し、一方のボ
ンネットから一体的に突設させることができる。
【００１２】また、上記弁体の方形板状部の角部を面取
り状に切欠き、この切欠き部の隣接部が、流路を閉じた
状態で仕切体における弁体の開放側回転方向の端部に対
応するように構成することができる。
り状に切欠き、この切欠き部の隣接部が、流路を閉じた
状態で仕切体における弁体の開放側回転方向の端部に対
応するように構成することができる。
【００１３】上記のように構成された本発明によれば、
弁体と軸部とを一体的に設けているので、弁体をボディ
に組み込む際の調整を不要とすることができ、しかも、
弁体の回転時にボディとこすれないようにしてボディと
弁体との隙間を最小に設定することができ、更に、弁体
を方形板状に形成し、ボディにおける流体の流れ方向と
直交方向の円筒状の穴壁に仕切体を設けているので、弁
体の開放時に長方形状の流路開口を得ることができて流
体の通過開口面積を大きくとることができる。
弁体と軸部とを一体的に設けているので、弁体をボディ
に組み込む際の調整を不要とすることができ、しかも、
弁体の回転時にボディとこすれないようにしてボディと
弁体との隙間を最小に設定することができ、更に、弁体
を方形板状に形成し、ボディにおける流体の流れ方向と
直交方向の円筒状の穴壁に仕切体を設けているので、弁
体の開放時に長方形状の流路開口を得ることができて流
体の通過開口面積を大きくとることができる。
【００１４】また、ボディにおける弁体を囲む部分の外
面を被覆するように外部加熱用ヒータを備えることによ
り、接ガス面の温度分布を良好にすることができ、更
に、弁体に内部加熱用ヒータを接触状態で内蔵させるこ
とにより、接ガス面の温度分布を一層良好にすることが
できる。
面を被覆するように外部加熱用ヒータを備えることによ
り、接ガス面の温度分布を良好にすることができ、更
に、弁体に内部加熱用ヒータを接触状態で内蔵させるこ
とにより、接ガス面の温度分布を一層良好にすることが
できる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら説明する。まず、本発明の第１の
実施形態について説明する。図１ないし図４は本発明の
第１の実施形態によるスロットルバルブを示し、図１は
縦断面図、図２は図１のＡ−Ａ矢視断面図、図３は図１
のＢ−Ｂ矢視断面図、図４は要部の分解斜視図である。
て図面を参照しながら説明する。まず、本発明の第１の
実施形態について説明する。図１ないし図４は本発明の
第１の実施形態によるスロットルバルブを示し、図１は
縦断面図、図２は図１のＡ−Ａ矢視断面図、図３は図１
のＢ−Ｂ矢視断面図、図４は要部の分解斜視図である。
【００１６】図１ないし図４に示すように、ボディ１は
流体の流路２と、この流路２と直交方向に軸が向けられ
た円筒状の穴３を有している。ボディ１の穴３の両端部
外周の端壁４は外形が四隅を面取りされた正方形状に形
成され、両端壁４の内周には環状溝５が形成され、両端
壁４の四隅部にはねじ穴６が形成されている。両端壁４
の環状溝５にＯリング７が挿入され、両端壁４にはボン
ネット８の板状部９が重ねられるとともに、ボンネット
８の短い円筒状部１０が穴３内に挿入されている。ボン
ネット８の板状部９の四隅には取付け穴１１が形成さ
れ、この取付け穴１１から端壁４のねじ穴６にねじ１２
が螺入されてボンネット８がボディ１に対してＯリング
７によりシールされた状態で取外し可能に固定され、穴
３の両端開放部が閉塞されている。
流体の流路２と、この流路２と直交方向に軸が向けられ
た円筒状の穴３を有している。ボディ１の穴３の両端部
外周の端壁４は外形が四隅を面取りされた正方形状に形
成され、両端壁４の内周には環状溝５が形成され、両端
壁４の四隅部にはねじ穴６が形成されている。両端壁４
の環状溝５にＯリング７が挿入され、両端壁４にはボン
ネット８の板状部９が重ねられるとともに、ボンネット
８の短い円筒状部１０が穴３内に挿入されている。ボン
ネット８の板状部９の四隅には取付け穴１１が形成さ
れ、この取付け穴１１から端壁４のねじ穴６にねじ１２
が螺入されてボンネット８がボディ１に対してＯリング
７によりシールされた状態で取外し可能に固定され、穴
３の両端開放部が閉塞されている。
【００１７】弁体（フラッパー）１３は方形板状に形成
され、この弁体１３の両端に軸部１４が一体に設けられ
ている。各軸部１４は弁体１３の両端に一体的に設けら
れた大径の円板状部１５と各円板状部１５の外面に同一
軸心上で一体的に設けられた小径部１６とから構成され
ている。方形板状の弁体１３の厚さ方向の両側面は円弧
状に形成され、弁体１３の一角部には面取り状に切欠き
部１７が形成されている。切欠き部１７は弁体１３の肉
厚方向の中央部から一方の扁平面側へ向かって約４５度
の傾斜角度に形成されている。一方の軸部１４から弁体
１３の中央部を貫通して他の軸部１４の中間部に至る穴
１８が形成され、他方の軸部１４の先端部には長円形状
の連結用穴１９が形成されている。弁体１３と軸部１４
とはステンレス、アルミニウム等の円柱体から切削加工
により形成され、若しくはダイカスト成形されて一体的
に設けられている。そして、各円板状部１５がボンネッ
ト８の円筒状部１０により形成された円形の凹所に回転
可能に挿入されるとともに、各小径部１６がボンネット
８の中央部に形成された貫通穴２０に軸受２１を介して
回転可能に支持され、弁体１３が穴３内で回転されるよ
うになっている。
され、この弁体１３の両端に軸部１４が一体に設けられ
ている。各軸部１４は弁体１３の両端に一体的に設けら
れた大径の円板状部１５と各円板状部１５の外面に同一
軸心上で一体的に設けられた小径部１６とから構成され
ている。方形板状の弁体１３の厚さ方向の両側面は円弧
状に形成され、弁体１３の一角部には面取り状に切欠き
部１７が形成されている。切欠き部１７は弁体１３の肉
厚方向の中央部から一方の扁平面側へ向かって約４５度
の傾斜角度に形成されている。一方の軸部１４から弁体
１３の中央部を貫通して他の軸部１４の中間部に至る穴
１８が形成され、他方の軸部１４の先端部には長円形状
の連結用穴１９が形成されている。弁体１３と軸部１４
とはステンレス、アルミニウム等の円柱体から切削加工
により形成され、若しくはダイカスト成形されて一体的
に設けられている。そして、各円板状部１５がボンネッ
ト８の円筒状部１０により形成された円形の凹所に回転
可能に挿入されるとともに、各小径部１６がボンネット
８の中央部に形成された貫通穴２０に軸受２１を介して
回転可能に支持され、弁体１３が穴３内で回転されるよ
うになっている。
【００１８】ボディ１の流路２の流体の流れ方向に沿う
両側で円筒状の穴３の内壁に軸方向に沿って２本のリブ
状の仕切体２２が対向して一体的に設けられている。各
仕切体２２は弁体１３と協力して流路２を閉塞し、若し
くは弁体１３の９０度の角度範囲での回転（図３の実線
矢印および点線矢印参照）により開口面積、すなわち、
流体の流量を調整することができ、対向面が弁体１３の
円弧状面に対応する円弧状面に形成されている。そし
て、弁体１３の切欠き部１７に隣接する円弧状面が弁体
１３の回転により流路３を閉じた状態で仕切体２２にお
ける弁体１３の開放側回転方向（図３における実線矢印
方向）の下流側の端部に対応するように構成されてい
る。したがって、弁体１３が開放側へ少し回転すること
により、その円弧状面が仕切体２２の円弧状面から離脱
し、切欠き部１７により仕切体２２と弁体１３とに隙間
が形成されて流体の流れを開始させることができるよう
になっている。
両側で円筒状の穴３の内壁に軸方向に沿って２本のリブ
状の仕切体２２が対向して一体的に設けられている。各
仕切体２２は弁体１３と協力して流路２を閉塞し、若し
くは弁体１３の９０度の角度範囲での回転（図３の実線
矢印および点線矢印参照）により開口面積、すなわち、
流体の流量を調整することができ、対向面が弁体１３の
円弧状面に対応する円弧状面に形成されている。そし
て、弁体１３の切欠き部１７に隣接する円弧状面が弁体
１３の回転により流路３を閉じた状態で仕切体２２にお
ける弁体１３の開放側回転方向（図３における実線矢印
方向）の下流側の端部に対応するように構成されてい
る。したがって、弁体１３が開放側へ少し回転すること
により、その円弧状面が仕切体２２の円弧状面から離脱
し、切欠き部１７により仕切体２２と弁体１３とに隙間
が形成されて流体の流れを開始させることができるよう
になっている。
【００１９】ボディ１における穴３を囲む外面を被覆す
るように外部加熱用ヒータ２３が設けられている。この
外部加熱用ヒータ２３は面状ヒータ（シリコンゴムヒー
タ）２４とその外側を覆うシリコンスポンジ製の保温カ
バー２５とを有し、面状ヒータ２４がボディ１における
穴３を囲む外面に接触状態に設けられ、面状ヒータ２４
の発熱線（図示省略）に接続された導線２６が保温カバ
ー２５に挿通され、電源（図示省略）に接続されるよう
になっている。
るように外部加熱用ヒータ２３が設けられている。この
外部加熱用ヒータ２３は面状ヒータ（シリコンゴムヒー
タ）２４とその外側を覆うシリコンスポンジ製の保温カ
バー２５とを有し、面状ヒータ２４がボディ１における
穴３を囲む外面に接触状態に設けられ、面状ヒータ２４
の発熱線（図示省略）に接続された導線２６が保温カバ
ー２５に挿通され、電源（図示省略）に接続されるよう
になっている。
【００２０】一方の軸部１６から弁体１３を通って他方
の軸部１６の中間部に至る穴１８に内部加熱用ヒータ２
７として丸棒状のカートリッジヒータが内蔵されてい
る。この内部加熱用ヒータ１７の導線２８は内部加熱用
ヒータ２７の端部に設けられたカバー２９の側方に形成
された穴３０から外方へ導かれ、カバー２９およびカバ
ー２９側のボンネット８の筒状部３１の外周でコイル状
にされている。導線２８のコイル状部はボンネット８の
下側に取外し可能に取付けられた保護カバー３２により
被覆されている。導線２８のコイル状部の先方は保護カ
バー３２の基部側の穴３３からボンネット８の板状部９
の外面に沿って外部へ導かれ、電源（図示省略）に接続
されるようになっている。そして、導線２８のコイル状
部により内部加熱用ヒータ２７が弁体１３等と一体に回
転するのを許すようになっており、これにより内部加熱
用ヒータ２７を弁体１３の穴１８の内壁面に密接させた
状態に内蔵させることができる。また、高価なスリップ
リングを不要とすることができる。
の軸部１６の中間部に至る穴１８に内部加熱用ヒータ２
７として丸棒状のカートリッジヒータが内蔵されてい
る。この内部加熱用ヒータ１７の導線２８は内部加熱用
ヒータ２７の端部に設けられたカバー２９の側方に形成
された穴３０から外方へ導かれ、カバー２９およびカバ
ー２９側のボンネット８の筒状部３１の外周でコイル状
にされている。導線２８のコイル状部はボンネット８の
下側に取外し可能に取付けられた保護カバー３２により
被覆されている。導線２８のコイル状部の先方は保護カ
バー３２の基部側の穴３３からボンネット８の板状部９
の外面に沿って外部へ導かれ、電源（図示省略）に接続
されるようになっている。そして、導線２８のコイル状
部により内部加熱用ヒータ２７が弁体１３等と一体に回
転するのを許すようになっており、これにより内部加熱
用ヒータ２７を弁体１３の穴１８の内壁面に密接させた
状態に内蔵させることができる。また、高価なスリップ
リングを不要とすることができる。
【００２１】小径部１６の長穴１９を有する軸部１４側
のボンネット８の外側には接続筒３４を介してアクチュ
エータ３５が取り付けられ、アクチュエータ３５の出力
軸（図示省略）に連係された動力伝達軸３６の長円形突
出部３７が小径部１６の長穴１９に挿入され、一体的に
回転し得るように連係されている。そして、アクチュエ
ータ３５の駆動により動力伝達軸３６を介して軸部１４
および弁体１３が図３に実線矢印、点線矢印で示すよう
に９０度の角度範囲で正逆回転されるようになってい
る。
のボンネット８の外側には接続筒３４を介してアクチュ
エータ３５が取り付けられ、アクチュエータ３５の出力
軸（図示省略）に連係された動力伝達軸３６の長円形突
出部３７が小径部１６の長穴１９に挿入され、一体的に
回転し得るように連係されている。そして、アクチュエ
ータ３５の駆動により動力伝達軸３６を介して軸部１４
および弁体１３が図３に実線矢印、点線矢印で示すよう
に９０度の角度範囲で正逆回転されるようになってい
る。
【００２２】以上の構成において、以下、その動作につ
いて説明する。上記のように弁体１３と軸部１４とを一
体的に設けているので、ボディ１の仕切体２２と弁体１
３との嵌め合い公差はボンネット８の円筒状部１０に対
する円板状部１５の嵌め合い公差だけであるので、ボデ
ィ１、ボンネット８、軸受２１の組立てがたにより弁体
１３が軸部１４の軸方向にずれても弁体１３はボディ１
の仕切体２２とこすれない。また、上記のように弁体１
３と軸部１４とは一体的に設けているので、組立て作業
が容易であることは勿論のこと、組立時の調整が不要で
あり、しかも、ボディ１、ボンネット８、弁体１３、仕
切体２２の嵌め合い部は旋盤加工等により高精度に仕上
げることができる。したがって、弁体１３と仕切体２２
との隙間を最小にすることができる。
いて説明する。上記のように弁体１３と軸部１４とを一
体的に設けているので、ボディ１の仕切体２２と弁体１
３との嵌め合い公差はボンネット８の円筒状部１０に対
する円板状部１５の嵌め合い公差だけであるので、ボデ
ィ１、ボンネット８、軸受２１の組立てがたにより弁体
１３が軸部１４の軸方向にずれても弁体１３はボディ１
の仕切体２２とこすれない。また、上記のように弁体１
３と軸部１４とは一体的に設けているので、組立て作業
が容易であることは勿論のこと、組立時の調整が不要で
あり、しかも、ボディ１、ボンネット８、弁体１３、仕
切体２２の嵌め合い部は旋盤加工等により高精度に仕上
げることができる。したがって、弁体１３と仕切体２２
との隙間を最小にすることができる。
【００２３】そして、アクチュエータ３５の駆動により
上記のように動力伝達軸３６を介して軸部１４および弁
体１３を９０度の角度範囲で正逆回転させ、仕切体２２
と弁体１３とで流路２の開口面積を制御することによ
り、流体の流量を制御することができる。このとき、上
記のように弁体１３と仕切体２２の隙間を最小にするこ
とができるので、ミニマム流量制御性を向上させること
ができる。また、上記のように弁体１３を方形板状に形
成し、ボディ１における流体の流れ方向と直交方向の円
筒状の穴３の壁面に穴３の軸に沿って仕切体２２を設け
ているので、弁体１３の開放時に長方形状の流路開口を
得ることができて流体の通過開口面積を大きくとること
ができ、したがって、マキシマム流量制御性を向上させ
ることができる。しかも、上記従来例におけるバタフラ
イバルブ構造のスロットルバルブと流体の通過面積を同
じに設定する場合には、弁体１３の外形を上記従来例の
弁体の外形よりも小さくすることができ、全体の小型化
を図ることができる。
上記のように動力伝達軸３６を介して軸部１４および弁
体１３を９０度の角度範囲で正逆回転させ、仕切体２２
と弁体１３とで流路２の開口面積を制御することによ
り、流体の流量を制御することができる。このとき、上
記のように弁体１３と仕切体２２の隙間を最小にするこ
とができるので、ミニマム流量制御性を向上させること
ができる。また、上記のように弁体１３を方形板状に形
成し、ボディ１における流体の流れ方向と直交方向の円
筒状の穴３の壁面に穴３の軸に沿って仕切体２２を設け
ているので、弁体１３の開放時に長方形状の流路開口を
得ることができて流体の通過開口面積を大きくとること
ができ、したがって、マキシマム流量制御性を向上させ
ることができる。しかも、上記従来例におけるバタフラ
イバルブ構造のスロットルバルブと流体の通過面積を同
じに設定する場合には、弁体１３の外形を上記従来例の
弁体の外形よりも小さくすることができ、全体の小型化
を図ることができる。
【００２４】また、ボディ１が弁体１３を囲む形状に形
成され、この弁体１３を囲む部分に外部加熱用ヒータ２
３を設けることにより、外部加熱用ヒータ２３の加熱面
積を大きくとって弁体１３を囲むことができるので、ボ
ディ１および弁体１３の温度分布が良好となる。しか
も、上記のように弁体１３の外形を小さくすることによ
り、弁体１３の温度分布が更に良好となる。また、弁体
１３に内部加熱用ヒータ２７を内蔵させているので、弁
体１３の温度分布が一層良好となり、更に、この内部加
熱用ヒータ２７の導線２８を弁体１３の外方にコイル状
に取り出して弁体１３と内部加熱用ヒータ２７とを一体
的に回転させるのを可能とすることにより、内部加熱用
ヒータ２７を弁体１３の穴１８の内周面に密接させて熱
伝達効率を向上させることができ、弁体１３の温度分布
が更に一層良好となる。このように接ガス面の温度分布
に優れているので、排ガス中に含まれる副生成物がボデ
ィ１の内面、仕切体２２の外面および弁体１３の外面等
に付着し難く、弁体１３を円滑に回転動作させることが
できる。
成され、この弁体１３を囲む部分に外部加熱用ヒータ２
３を設けることにより、外部加熱用ヒータ２３の加熱面
積を大きくとって弁体１３を囲むことができるので、ボ
ディ１および弁体１３の温度分布が良好となる。しか
も、上記のように弁体１３の外形を小さくすることによ
り、弁体１３の温度分布が更に良好となる。また、弁体
１３に内部加熱用ヒータ２７を内蔵させているので、弁
体１３の温度分布が一層良好となり、更に、この内部加
熱用ヒータ２７の導線２８を弁体１３の外方にコイル状
に取り出して弁体１３と内部加熱用ヒータ２７とを一体
的に回転させるのを可能とすることにより、内部加熱用
ヒータ２７を弁体１３の穴１８の内周面に密接させて熱
伝達効率を向上させることができ、弁体１３の温度分布
が更に一層良好となる。このように接ガス面の温度分布
に優れているので、排ガス中に含まれる副生成物がボデ
ィ１の内面、仕切体２２の外面および弁体１３の外面等
に付着し難く、弁体１３を円滑に回転動作させることが
できる。
【００２５】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。図５ないし図７は本発明の第２の実施形態にお
けるスロットルバルブを示し、図５は図３と同様の断面
図、図６は図２と同様の断面図、図７は要部の分解斜視
図である。
明する。図５ないし図７は本発明の第２の実施形態にお
けるスロットルバルブを示し、図５は図３と同様の断面
図、図６は図２と同様の断面図、図７は要部の分解斜視
図である。
【００２６】本実施形態においては、主として、上記第
１の実施形態とは異なる構成について説明し、上記第１
の実施形態と同一部分については同一符号を付してその
説明を省略する。
１の実施形態とは異なる構成について説明し、上記第１
の実施形態と同一部分については同一符号を付してその
説明を省略する。
【００２７】本実施形態の特徴とするところは、図５な
いし図７に示すように、ボディ１内の流路２の開口面積
を弁体１３との協力により調整する仕切体として２本の
丸棒３８が用いられ、各丸棒状仕切体３８の両端に係合
用突部３９が一体的に設けられ、これらの係合用突部３
９がボンネット８の円筒状部１０に形成された係合用凹
部４０に係合され、丸棒状仕切体３８がボディ１の穴３
の内壁に沿うように突設される点にある。
いし図７に示すように、ボディ１内の流路２の開口面積
を弁体１３との協力により調整する仕切体として２本の
丸棒３８が用いられ、各丸棒状仕切体３８の両端に係合
用突部３９が一体的に設けられ、これらの係合用突部３
９がボンネット８の円筒状部１０に形成された係合用凹
部４０に係合され、丸棒状仕切体３８がボディ１の穴３
の内壁に沿うように突設される点にある。
【００２８】次に、本発明の第３の実施形態について説
明する。図８は本発明の第３の実施形態におけるスロッ
トルバルブを示す要部の分解斜視図である。
明する。図８は本発明の第３の実施形態におけるスロッ
トルバルブを示す要部の分解斜視図である。
【００２９】本実施形態においては、主として、上記第
１の実施形態とは異なる構成について説明し、上記第１
の実施形態と同一部分については同一符号を付してその
説明を省略する。
１の実施形態とは異なる構成について説明し、上記第１
の実施形態と同一部分については同一符号を付してその
説明を省略する。
【００３０】本実施形態の特徴とするところは、図８に
示すように、ボディ１内の流路２の開口面積を弁体１３
との協力により調整する仕切体として２本の丸棒４１が
用いられ、各丸棒状仕切体４１が一方のボンネット８の
円筒状部１０と一体的に設けられ、各丸棒状仕切体４１
の先端に係合用突部４２が一体的に設けられ、これらの
係合用突部４２が他方のボンネット８の円筒状部１０に
形成された係合用凹部４３に係合され、丸棒状仕切体４
１がボディ１の穴３の内壁に沿うように突設される点に
ある。
示すように、ボディ１内の流路２の開口面積を弁体１３
との協力により調整する仕切体として２本の丸棒４１が
用いられ、各丸棒状仕切体４１が一方のボンネット８の
円筒状部１０と一体的に設けられ、各丸棒状仕切体４１
の先端に係合用突部４２が一体的に設けられ、これらの
係合用突部４２が他方のボンネット８の円筒状部１０に
形成された係合用凹部４３に係合され、丸棒状仕切体４
１がボディ１の穴３の内壁に沿うように突設される点に
ある。
【００３１】なお、上記実施形態においては、弁体１３
に内蔵させる内部加熱用ヒータ２７として丸棒状のカー
トリッジヒータを用いているが、弁体１３と軸部１４と
を一体的に成形しているので、各種のヒータを内蔵させ
ることができる。このほか、本発明は、その基本的技術
思想を逸脱しない範囲で種々設計変更することができ
る。
に内蔵させる内部加熱用ヒータ２７として丸棒状のカー
トリッジヒータを用いているが、弁体１３と軸部１４と
を一体的に成形しているので、各種のヒータを内蔵させ
ることができる。このほか、本発明は、その基本的技術
思想を逸脱しない範囲で種々設計変更することができ
る。
【００３２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、弁
体と軸部とを一体的に設けているので、弁体をボディに
組み込む際の調整を不要とすることができ、しかも、弁
体の回転時にボディとこすれないようにしてボディと弁
体との隙間を最小に設定することができ、したがって、
組立作業能率を向上させ、ミニマム流量制御性を向上さ
せることができる。更に、弁体を方形板状に形成し、ボ
ディにおける流体の流れ方向と直交方向の円筒状の穴壁
に仕切体を設けているので、弁体の開放時に長方形状の
流路開口を得ることができて流体の通過開口面積を大き
くとることができる。したがって、マキシマム流量制御
性を向上させることができる。
体と軸部とを一体的に設けているので、弁体をボディに
組み込む際の調整を不要とすることができ、しかも、弁
体の回転時にボディとこすれないようにしてボディと弁
体との隙間を最小に設定することができ、したがって、
組立作業能率を向上させ、ミニマム流量制御性を向上さ
せることができる。更に、弁体を方形板状に形成し、ボ
ディにおける流体の流れ方向と直交方向の円筒状の穴壁
に仕切体を設けているので、弁体の開放時に長方形状の
流路開口を得ることができて流体の通過開口面積を大き
くとることができる。したがって、マキシマム流量制御
性を向上させることができる。
【００３３】また、ボディにおける弁体を囲む部分の外
面を被覆するように外部加熱用ヒータを備えることによ
り、接ガス面の温度分布を良好にすることができ、更
に、弁体に内部加熱用ヒータを接触状態で内蔵させるこ
とにより、接ガス面の温度分布を一層良好にすることが
できる。したがって、副生成物がボディの内面、弁体の
外面等に付着し難く、動作不良を防止することができ
る。
面を被覆するように外部加熱用ヒータを備えることによ
り、接ガス面の温度分布を良好にすることができ、更
に、弁体に内部加熱用ヒータを接触状態で内蔵させるこ
とにより、接ガス面の温度分布を一層良好にすることが
できる。したがって、副生成物がボディの内面、弁体の
外面等に付着し難く、動作不良を防止することができ
る。
【図１】本発明の第１の実施形態におけるスロットルバ
ルブを示す縦断面図である。
ルブを示す縦断面図である。
【図２】同スロットルバルブを示し、図１のＡ−Ａ矢視
断面図である。
断面図である。
【図３】同スロットルバルブを示し、図１のＢ−Ｂ矢視
断面図である。
断面図である。
【図４】同スロットルバルブを示す要部の分解斜視図で
ある。
ある。
【図５】本発明の第２の実施形態によけるスロットルバ
ルブを示し、図３と同様の断面図である。
ルブを示し、図３と同様の断面図である。
【図６】同スロットルバルブを示し、図２と同様の断面
図である。
図である。
【図７】同スロットルバルブを示す要部の分解斜視図で
ある。
ある。
【図８】本発明の第３の実施形態によけるスロットルバ
ルブを示す要部の分解斜視図である。
ルブを示す要部の分解斜視図である。
１ ボディ ２ 流路 ３ 円筒状の穴 ８ ボンネット １３ 弁体 １４ 軸部 １７ 切欠き部 ２２ 仕切体 ２３ 外部加熱用ヒータ ２７ 内部加熱用ヒータ ３５ アクチュエータ ３８ 仕切体 ４１ 仕切体
Claims (4)
- 【請求項１】 流体の流れ方向と直交方向に軸を有する
円筒状の穴が形成されたボディと、このボディにおける
上記穴を塞ぐボンネットと、方形板状に形成された弁体
と、この弁体と一体的に設けられ、上記ボディの穴内で
上記弁体が回転し得るように上記ボンネットに支持され
た軸部と、上記ボディの穴の内壁に沿うように突設さ
れ、上記弁体とで流体の流れを制御し得る仕切体とを備
えたスロットルバルブ。 - 【請求項２】 ボディにおける弁体を囲む部分の外面を
被覆するように外部加熱用ヒータを備え、上記弁体に接
触状態で内蔵するように内部加熱用ヒータを備え、上記
内部加熱用ヒータの導線が一方の軸部からボンネットの
外方へ導かれ、この導線の外方へ導かれた部分が上記弁
体と内部加熱用ヒータの一体的な９０度の角度範囲での
正逆回転を許すようにコイル状に取り出された請求項１
記載のスロットルバルブ。 - 【請求項３】 仕切体がボディにリブ状に一体的に設け
られた請求項１または２記載のスロットルバルブ。 - 【請求項４】 仕切体が棒状に形成され、各棒状仕切体
の両端部がボンネット間に組み込まれた請求項１または
２記載のスロットルバルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09060298A JP3966986B2 (ja) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | スロットルバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09060298A JP3966986B2 (ja) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | スロットルバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11270701A true JPH11270701A (ja) | 1999-10-05 |
| JP3966986B2 JP3966986B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=14003029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09060298A Expired - Lifetime JP3966986B2 (ja) | 1998-03-20 | 1998-03-20 | スロットルバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3966986B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005028937A1 (ja) * | 2003-09-24 | 2005-03-31 | Fujikin Incorporated | 流体制御器の加熱方法 |
| WO2012086778A1 (ja) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | 旭硝子株式会社 | 高温用バルブ装置 |
| WO2018029889A1 (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | アイシン精機 株式会社 | 内燃機関の吸気装置 |
| KR101835394B1 (ko) * | 2017-12-05 | 2018-03-08 | 동주에이피 주식회사 | 밸브 히팅 시스템 |
| KR20230076522A (ko) * | 2021-11-24 | 2023-05-31 | 주식회사 에스브이에스 | 이중 실링 구조의 탑 엔트리 버터플라이 밸브 |
| KR102570229B1 (ko) * | 2023-04-20 | 2023-08-25 | 동주에이피 주식회사 | 히팅형 초저온 밸브 |
-
1998
- 1998-03-20 JP JP09060298A patent/JP3966986B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005028937A1 (ja) * | 2003-09-24 | 2005-03-31 | Fujikin Incorporated | 流体制御器の加熱方法 |
| WO2012086778A1 (ja) * | 2010-12-22 | 2012-06-28 | 旭硝子株式会社 | 高温用バルブ装置 |
| WO2018029889A1 (ja) * | 2016-08-09 | 2018-02-15 | アイシン精機 株式会社 | 内燃機関の吸気装置 |
| KR101835394B1 (ko) * | 2017-12-05 | 2018-03-08 | 동주에이피 주식회사 | 밸브 히팅 시스템 |
| KR20230076522A (ko) * | 2021-11-24 | 2023-05-31 | 주식회사 에스브이에스 | 이중 실링 구조의 탑 엔트리 버터플라이 밸브 |
| KR102570229B1 (ko) * | 2023-04-20 | 2023-08-25 | 동주에이피 주식회사 | 히팅형 초저온 밸브 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3966986B2 (ja) | 2007-08-29 |
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