JPH112548A - 変位量検出装置 - Google Patents
変位量検出装置Info
- Publication number
- JPH112548A JPH112548A JP15334897A JP15334897A JPH112548A JP H112548 A JPH112548 A JP H112548A JP 15334897 A JP15334897 A JP 15334897A JP 15334897 A JP15334897 A JP 15334897A JP H112548 A JPH112548 A JP H112548A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- sampling pulse
- output
- signal
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、検知した信号に含まれる、回路素
子の温度ドリフト、経時変化等の時間的に長いＤＣ変
動、また着磁バラツキ、ギヤ形状バラツキ等の短時間の
ＤＣ変動による中心電圧の変動を削除し、移動体の位置
精度の高い矩形波信号を得ることを目的とする。 【解決手段】 周期が同じで相互に位相差を有する第
１、第２のサンプリングパルス列φ1，φ2で検知増幅信
号をサンプリングしホールドするサンプルホールド回路
３，８からの２つのホールド電圧を第１、第２のサンプ
リングパルス列と同じ周期で、位相差を有する第３のサ
ンプリングパルス列φ3で更にサンプリングしホールド
して得た電圧を差動増幅器５により差動増幅することに
よって、デューティの変動を小さくした矩形波が得ら
れ、特に低速度移動体の位置を検知する場合に位置検知
精度を高めることができる。
子の温度ドリフト、経時変化等の時間的に長いＤＣ変
動、また着磁バラツキ、ギヤ形状バラツキ等の短時間の
ＤＣ変動による中心電圧の変動を削除し、移動体の位置
精度の高い矩形波信号を得ることを目的とする。 【解決手段】 周期が同じで相互に位相差を有する第
１、第２のサンプリングパルス列φ1，φ2で検知増幅信
号をサンプリングしホールドするサンプルホールド回路
３，８からの２つのホールド電圧を第１、第２のサンプ
リングパルス列と同じ周期で、位相差を有する第３のサ
ンプリングパルス列φ3で更にサンプリングしホールド
して得た電圧を差動増幅器５により差動増幅することに
よって、デューティの変動を小さくした矩形波が得ら
れ、特に低速度移動体の位置を検知する場合に位置検知
精度を高めることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気検知素子を利用
して、回転または直線運動に連動して移動する移動体
（多極着磁磁石）で作られる漏洩磁界変化、または磁性
材の移動体（ギヤ）と固定磁石とで作る漏洩磁界の、移
動体の移動に伴う変化を磁気検知素子で検知する変位量
検出装置に関する。
して、回転または直線運動に連動して移動する移動体
（多極着磁磁石）で作られる漏洩磁界変化、または磁性
材の移動体（ギヤ）と固定磁石とで作る漏洩磁界の、移
動体の移動に伴う変化を磁気検知素子で検知する変位量
検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、変位量検出装置の磁気検知素子等
の検知信号を処理する信号処理回路は特開平３−２８２
２１４号に記載されたものが知られている。
の検知信号を処理する信号処理回路は特開平３−２８２
２１４号に記載されたものが知られている。
【０００３】図７は従来の変位量検出装置の回路図を示
す。図７において、１０１，１０２は磁気検知素子とし
ての強磁性磁気抵抗素子であり、直列に接続されて電源
端子１０３と接地間に直列に挿入されている。上記磁気
検知素子１０１，１０２の接続点は抵抗１０４を介して
入出力間に抵抗１０６を有する差動増幅器１０５の反転
入力端子に接続されており、その差動増幅器１０５の出
力はコンパレータ１０７の一方の入力端子に接続される
と共に逆並列接続したダイオード１０８，１０９を介し
てコンパレータ１０７の他方の入力端子に接続されてい
る。そして、上記コンパレータ１０７の他方の入力端子
はコンデンサ１１０を介して接地されている。上記コン
パレータ１０７の出力は出力端子１１１に接続されると
共に抵抗１１２，１１３により分割してトランジスタ１
１４のベースに接続されている。
す。図７において、１０１，１０２は磁気検知素子とし
ての強磁性磁気抵抗素子であり、直列に接続されて電源
端子１０３と接地間に直列に挿入されている。上記磁気
検知素子１０１，１０２の接続点は抵抗１０４を介して
入出力間に抵抗１０６を有する差動増幅器１０５の反転
入力端子に接続されており、その差動増幅器１０５の出
力はコンパレータ１０７の一方の入力端子に接続される
と共に逆並列接続したダイオード１０８，１０９を介し
てコンパレータ１０７の他方の入力端子に接続されてい
る。そして、上記コンパレータ１０７の他方の入力端子
はコンデンサ１１０を介して接地されている。上記コン
パレータ１０７の出力は出力端子１１１に接続されると
共に抵抗１１２，１１３により分割してトランジスタ１
１４のベースに接続されている。
【０００４】一方、上記差動増幅器１０５の非反転入力
端子は電源端子１１５と接地間に挿入した抵抗１１６，
１１７の分割点に接続されており、その分割点を抵抗１
１８および上記トランジスタ１１４を介して接地してい
る。この構成の変位量検出装置においては、磁気検知素
子１０１，１０２の接続点に検出される検知信号を入力
信号とし、この入力信号を差動増幅器１０５で増幅した
後、ダイオード１０８，１０９とコンデンサ１１０によ
り整流して平均化し、この電圧（検知信号の中心電圧）
をコンデンサとハイインピーダンス入力を持つコンパレ
ータ１０７でホールドし、このホールド電圧を基準電圧
として差動増幅器１０５からの出力である増幅した入力
信号をコンパレータ１０７で比較し、矩形波を得るよう
に動作されている。入力信号の中心電圧が２つの磁気検
知素子１０１，１０２の温度ドリフト、経時変化で変動
したとしても、原理的には比較するべき基準電圧が追随
して変化するので、良好なデューティ特性が得られるも
のである。
端子は電源端子１１５と接地間に挿入した抵抗１１６，
１１７の分割点に接続されており、その分割点を抵抗１
１８および上記トランジスタ１１４を介して接地してい
る。この構成の変位量検出装置においては、磁気検知素
子１０１，１０２の接続点に検出される検知信号を入力
信号とし、この入力信号を差動増幅器１０５で増幅した
後、ダイオード１０８，１０９とコンデンサ１１０によ
り整流して平均化し、この電圧（検知信号の中心電圧）
をコンデンサとハイインピーダンス入力を持つコンパレ
ータ１０７でホールドし、このホールド電圧を基準電圧
として差動増幅器１０５からの出力である増幅した入力
信号をコンパレータ１０７で比較し、矩形波を得るよう
に動作されている。入力信号の中心電圧が２つの磁気検
知素子１０１，１０２の温度ドリフト、経時変化で変動
したとしても、原理的には比較するべき基準電圧が追随
して変化するので、良好なデューティ特性が得られるも
のである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の変
位量検出装置においては、磁気検知素子で検出した信号
を矩形波に変換し、コンピュータと連動させることによ
って、回転数、回転または移動位置を検知するが、使用
環境（温度、経時変動）での矩形波デューティの変動の
小さい事はもちろん、多極磁石の各極の不均一着磁によ
る再生信号の各周期の中心電圧のバラツキ、ギヤ突起の
形状不均一による再生信号の各周期の中心電圧のバラツ
キが存在する場合、矩形波に変換するときは正確なデュ
ーティを得る事がむずかしくなるという問題を有してい
た。
位量検出装置においては、磁気検知素子で検出した信号
を矩形波に変換し、コンピュータと連動させることによ
って、回転数、回転または移動位置を検知するが、使用
環境（温度、経時変動）での矩形波デューティの変動の
小さい事はもちろん、多極磁石の各極の不均一着磁によ
る再生信号の各周期の中心電圧のバラツキ、ギヤ突起の
形状不均一による再生信号の各周期の中心電圧のバラツ
キが存在する場合、矩形波に変換するときは正確なデュ
ーティを得る事がむずかしくなるという問題を有してい
た。
【０００６】本発明は、検知した信号に含まれる、回路
素子の温度ドリフト、経時変化等の時間的に長いＤＣ変
動、また着磁バラツキ、ギヤ形状バラツキ等の短時間の
ＤＣ変動による中心電圧の変動を削除し、得られた信号
と基準電圧とを比較器で比較し、移動体の位置精度の高
い矩形波信号を得ることを目的とする。
素子の温度ドリフト、経時変化等の時間的に長いＤＣ変
動、また着磁バラツキ、ギヤ形状バラツキ等の短時間の
ＤＣ変動による中心電圧の変動を削除し、得られた信号
と基準電圧とを比較器で比較し、移動体の位置精度の高
い矩形波信号を得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の変位量検出装置は、ハーフブリッジを構成す
る磁気検知素子の中点出力を増幅する増幅回路と、低域
フィルター回路と、第１のサンプリングパルス列で増幅
された中点出力をサンプリングし、ホールドすると共
に、第１のサンプリングパルスとある一定の位相差と同
じ周波数を有した第２のサンプリングパルス列で増幅さ
れた中点出力をサンプリングし、ホールドするサンプル
ホールド回路と、第１、第２のサンプリングパルス列と
一定の位相差と同じ周波数を有する第３のサンプリング
パルス列のタイミングで２つのホールド電圧のタイミン
グを揃えるサンプルホールド回路と、２つのホールド電
圧の差を増幅する差動増幅回路と、差動増幅出力の中心
電圧を零から電源電圧までの任意の値に設定する設定回
路と、差動増幅された階段波状信号波形を波形整形する
フィルター回路と、コンパレータで基準電圧と比較し、
矩形波波形を出力する出力回路と、サンプリングパルス
生成用の発振回路と、サンプリングパルスのタイミング
を調整する論理回路とを具備し、信号に含まれるＤＣ変
動成分を除去し、移動体の高精度の位置検知をするよう
に構成したものである。
に本発明の変位量検出装置は、ハーフブリッジを構成す
る磁気検知素子の中点出力を増幅する増幅回路と、低域
フィルター回路と、第１のサンプリングパルス列で増幅
された中点出力をサンプリングし、ホールドすると共
に、第１のサンプリングパルスとある一定の位相差と同
じ周波数を有した第２のサンプリングパルス列で増幅さ
れた中点出力をサンプリングし、ホールドするサンプル
ホールド回路と、第１、第２のサンプリングパルス列と
一定の位相差と同じ周波数を有する第３のサンプリング
パルス列のタイミングで２つのホールド電圧のタイミン
グを揃えるサンプルホールド回路と、２つのホールド電
圧の差を増幅する差動増幅回路と、差動増幅出力の中心
電圧を零から電源電圧までの任意の値に設定する設定回
路と、差動増幅された階段波状信号波形を波形整形する
フィルター回路と、コンパレータで基準電圧と比較し、
矩形波波形を出力する出力回路と、サンプリングパルス
生成用の発振回路と、サンプリングパルスのタイミング
を調整する論理回路とを具備し、信号に含まれるＤＣ変
動成分を除去し、移動体の高精度の位置検知をするよう
に構成したものである。
【０００８】この構成によると、磁気検知素子で検知し
た信号を矩形波に変換しようとしたとき、磁気検知素子
で検知した検知信号周期に比べ十分に小さく、周期が同
じで相互に位相差を有する第１、第２のサンプリングパ
ルス列で検知増幅信号をサンプリングし、かつホールド
した２つの電圧を第１、第２のサンプリングパルス列と
同じ周期で、位相差を有する第３のサンプリングパルス
列で更にサンプリングしかつホールドして得た電圧を差
動増幅することによって、検知信号に含まれる回路素子
の温度ドリフト、経時変化等の時間的に長いＤＣ変動、
また着磁バラツキ、ギヤ形状バラツキ等の短時間のＤＣ
変動による中心電圧の変動を削除し、中心電圧をあらた
に設定し、得られた階段状信号を低域フィルターで滑ら
かな信号に整形し、コンパレータで基準電圧と比較し、
矩形波を得る。これにより、デューティの変動を小さく
した矩形波が得られ、特に低速度移動体の位置を検知す
る場合に位置検知精度を高めることができる。
た信号を矩形波に変換しようとしたとき、磁気検知素子
で検知した検知信号周期に比べ十分に小さく、周期が同
じで相互に位相差を有する第１、第２のサンプリングパ
ルス列で検知増幅信号をサンプリングし、かつホールド
した２つの電圧を第１、第２のサンプリングパルス列と
同じ周期で、位相差を有する第３のサンプリングパルス
列で更にサンプリングしかつホールドして得た電圧を差
動増幅することによって、検知信号に含まれる回路素子
の温度ドリフト、経時変化等の時間的に長いＤＣ変動、
また着磁バラツキ、ギヤ形状バラツキ等の短時間のＤＣ
変動による中心電圧の変動を削除し、中心電圧をあらた
に設定し、得られた階段状信号を低域フィルターで滑ら
かな信号に整形し、コンパレータで基準電圧と比較し、
矩形波を得る。これにより、デューティの変動を小さく
した矩形波が得られ、特に低速度移動体の位置を検知す
る場合に位置検知精度を高めることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、回転または直線運動を行う移動体に連動する多極着
磁磁石、または連動する磁性移動体のギヤと磁石の組み
合わせの移動に伴う漏洩磁界の変化を磁気検知素子で検
出し、正弦波状または余弦波状出力を検知する変位量検
出装置において、ハーフブリッジを構成する磁気検知素
子の中点出力を増幅する増幅回路と、低域フィルター回
路と、第１のサンプリングパルス列で増幅された中点出
力をサンプリングし、ホールドすると共に、第１のサン
プリングパルスとある一定の位相差と同じ周波数を有し
た第２のサンプリングパルス列で増幅された中点出力を
サンプリングし、ホールドするサンプルホールド回路
と、第１、第２のサンプリングパルス列と一定の位相差
と同じ周波数を有する第３のサンプリングパルス列のタ
イミングで２つのホールド電圧のタイミングを揃えるサ
ンプルホールド回路と、２つのホールド電圧を差動増幅
する差動増幅回路と、差動出力の中心電圧を零から電源
電圧の範囲で設定する設定回路と、階段状信号波形を波
形整形するフィルター回路と、コンパレータで基準電圧
と比較し、矩形波波形を出力する出力回路と、サンプリ
ングパルス生成用の発振回路と、サンプリングパルスの
タイミングを調整する論理回路とを具備する事を特徴と
する変位量検出装置であり、サンプルホールド回路以前
に生成する回路素子の温度ドリフト、経時変動による時
間の長いＤＣ変位と着磁バラツキ、ギヤ形状バラツキに
よる時間の短いＤＣ変動を除去した信号出力が得られ、
矩形波に変換することにより、特に低速移動時の低周波
信号で移動体の位置を検知する場合、位置検知精度の高
い矩形波が得られるという作用を有する。また、２つの
磁気検知素子でハーフブリッジを構成し、中点出力を検
知信号とする場合、通常２つの磁気検知素子は出来るだ
け接近して配置し、２つの抵抗値のアンバランスによる
中点電圧のバラツキを小さくするが、本装置を用いるこ
とにより、２つの磁気検知素子を十分に離して配置した
場合でも、関係なく位置検知精度の高い矩形波が得られ
るという作用を有する。
は、回転または直線運動を行う移動体に連動する多極着
磁磁石、または連動する磁性移動体のギヤと磁石の組み
合わせの移動に伴う漏洩磁界の変化を磁気検知素子で検
出し、正弦波状または余弦波状出力を検知する変位量検
出装置において、ハーフブリッジを構成する磁気検知素
子の中点出力を増幅する増幅回路と、低域フィルター回
路と、第１のサンプリングパルス列で増幅された中点出
力をサンプリングし、ホールドすると共に、第１のサン
プリングパルスとある一定の位相差と同じ周波数を有し
た第２のサンプリングパルス列で増幅された中点出力を
サンプリングし、ホールドするサンプルホールド回路
と、第１、第２のサンプリングパルス列と一定の位相差
と同じ周波数を有する第３のサンプリングパルス列のタ
イミングで２つのホールド電圧のタイミングを揃えるサ
ンプルホールド回路と、２つのホールド電圧を差動増幅
する差動増幅回路と、差動出力の中心電圧を零から電源
電圧の範囲で設定する設定回路と、階段状信号波形を波
形整形するフィルター回路と、コンパレータで基準電圧
と比較し、矩形波波形を出力する出力回路と、サンプリ
ングパルス生成用の発振回路と、サンプリングパルスの
タイミングを調整する論理回路とを具備する事を特徴と
する変位量検出装置であり、サンプルホールド回路以前
に生成する回路素子の温度ドリフト、経時変動による時
間の長いＤＣ変位と着磁バラツキ、ギヤ形状バラツキに
よる時間の短いＤＣ変動を除去した信号出力が得られ、
矩形波に変換することにより、特に低速移動時の低周波
信号で移動体の位置を検知する場合、位置検知精度の高
い矩形波が得られるという作用を有する。また、２つの
磁気検知素子でハーフブリッジを構成し、中点出力を検
知信号とする場合、通常２つの磁気検知素子は出来るだ
け接近して配置し、２つの抵抗値のアンバランスによる
中点電圧のバラツキを小さくするが、本装置を用いるこ
とにより、２つの磁気検知素子を十分に離して配置した
場合でも、関係なく位置検知精度の高い矩形波が得られ
るという作用を有する。
【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１記載の
発明において、磁気検知素子の構成を、数本の磁気抵抗
素片を抵抗体として単体で使用し、定電流駆動時の素子
の抵抗値変化を出力としたものであり、請求項３に記載
の発明は、請求項１記載の発明において、数本の磁気抵
抗素片の抵抗体からなる磁気検知素子と固定抵抗を直列
結線して構成し、その中点電圧変化を出力としたもので
あり、磁気検出素子を任意の位置に配置でき、磁気検知
素子と固定抵抗との中点電位、または定電流駆動した時
の素子単体の検知信号の中心電位が零ボルトから電源電
圧の間でのいかなる電圧であっても、任意に設定した電
圧に信号出力を重畳した出力を得る事が出来るという作
用を有する。
発明において、磁気検知素子の構成を、数本の磁気抵抗
素片を抵抗体として単体で使用し、定電流駆動時の素子
の抵抗値変化を出力としたものであり、請求項３に記載
の発明は、請求項１記載の発明において、数本の磁気抵
抗素片の抵抗体からなる磁気検知素子と固定抵抗を直列
結線して構成し、その中点電圧変化を出力としたもので
あり、磁気検出素子を任意の位置に配置でき、磁気検知
素子と固定抵抗との中点電位、または定電流駆動した時
の素子単体の検知信号の中心電位が零ボルトから電源電
圧の間でのいかなる電圧であっても、任意に設定した電
圧に信号出力を重畳した出力を得る事が出来るという作
用を有する。
【００１１】本発明の請求項４に記載の発明は、回転ま
たは直線運動を行う移動体に連動する多極着磁磁石、ま
たは連動する磁性移動体のギヤと磁石の組み合わせの移
動に伴う漏洩磁界の変化を磁気検知素子で検出し、正弦
波状または余弦波状出力を検知する変位量検出装置にお
いて、ハーフブリッジを構成する磁気検知素子の中点出
力を増幅する増幅回路と、低域フィルター回路と、第１
のサンプリングパルス列で増幅された中点出力をサンプ
リングし、ホールドすると共に、第１のサンプリングパ
ルスとある一定の位相差と同じ周波数を有した第２のサ
ンプリングパルス列で増幅された中点出力をサンプリン
グし、ホールドするサンプルホールド回路と、第１、第
２のサンプリングパルス列と一定の位相差と同じ周波数
を有する第３のサンプリングパルス列のタイミングで２
つのホールド電圧の差電圧を差動増幅する差動増幅回路
と、差動出力の中心電圧を零から電源電圧の範囲で設定
する設定回路と、階段状信号波形を波形整形するフィル
ター回路と、コンパレータで基準電圧と比較し、矩形波
波形を出力する出力回路と、サンプリングパルス生成用
の発振回路と、サンプリングパルスのタイミングを調整
する論理回路とを具備する事を特徴とする変位量検出装
置であり、サンプルホールド回路以前に生成する回路素
子の温度ドリフト、経時変動による時間の長いＤＣ変位
と着磁バラツキ、ギヤ形状バラツキによる時間の短いＤ
Ｃ変動を除去した信号出力が得られ、矩形波に変換する
ことにより、特に低速移動時の低周波信号で移動体の位
置を検知する場合、位置検知精度の高い矩形波が得られ
るという作用を有する。また、２つの磁気検知素子でハ
ーフブリッジを構成し、中点出力を検知信号とする場
合、通常２つの磁気検知素子は出来るだけ接近して配置
し、２つの抵抗値のアンバランスによる中点電圧のバラ
ツキを小さくするが、本装置を用いることにより、２つ
の磁気検知素子を十分に離して配置した場合でも、関係
なく位置検知精度の高い矩形波が得られるという作用を
有する。
たは直線運動を行う移動体に連動する多極着磁磁石、ま
たは連動する磁性移動体のギヤと磁石の組み合わせの移
動に伴う漏洩磁界の変化を磁気検知素子で検出し、正弦
波状または余弦波状出力を検知する変位量検出装置にお
いて、ハーフブリッジを構成する磁気検知素子の中点出
力を増幅する増幅回路と、低域フィルター回路と、第１
のサンプリングパルス列で増幅された中点出力をサンプ
リングし、ホールドすると共に、第１のサンプリングパ
ルスとある一定の位相差と同じ周波数を有した第２のサ
ンプリングパルス列で増幅された中点出力をサンプリン
グし、ホールドするサンプルホールド回路と、第１、第
２のサンプリングパルス列と一定の位相差と同じ周波数
を有する第３のサンプリングパルス列のタイミングで２
つのホールド電圧の差電圧を差動増幅する差動増幅回路
と、差動出力の中心電圧を零から電源電圧の範囲で設定
する設定回路と、階段状信号波形を波形整形するフィル
ター回路と、コンパレータで基準電圧と比較し、矩形波
波形を出力する出力回路と、サンプリングパルス生成用
の発振回路と、サンプリングパルスのタイミングを調整
する論理回路とを具備する事を特徴とする変位量検出装
置であり、サンプルホールド回路以前に生成する回路素
子の温度ドリフト、経時変動による時間の長いＤＣ変位
と着磁バラツキ、ギヤ形状バラツキによる時間の短いＤ
Ｃ変動を除去した信号出力が得られ、矩形波に変換する
ことにより、特に低速移動時の低周波信号で移動体の位
置を検知する場合、位置検知精度の高い矩形波が得られ
るという作用を有する。また、２つの磁気検知素子でハ
ーフブリッジを構成し、中点出力を検知信号とする場
合、通常２つの磁気検知素子は出来るだけ接近して配置
し、２つの抵抗値のアンバランスによる中点電圧のバラ
ツキを小さくするが、本装置を用いることにより、２つ
の磁気検知素子を十分に離して配置した場合でも、関係
なく位置検知精度の高い矩形波が得られるという作用を
有する。
【００１２】請求項５に記載の発明は、請求項４記載の
発明において、磁気検知素子の構成を、数本の磁気抵抗
素片を抵抗体として単体で使用し、定電流駆動時の素子
の抵抗値変化を出力としたものであり、請求項６に記載
の発明は、請求項４記載の発明において、数本の磁気抵
抗素片の抵抗体からなる磁気検知素子と固定抵抗を直列
結線して構成し、その中点電圧変化を出力としたもので
あり、磁気検出素子を任意の位置に配置でき、磁気検知
素子と固定抵抗との中点電位、または定電流駆動した時
の素子単体の検知信号の中心電位が零ボルトから電源電
圧の間でのいかなる電圧であっても、任意設定した電圧
に信号出力を重畳した出力を得る事が出来るという作用
を有する。
発明において、磁気検知素子の構成を、数本の磁気抵抗
素片を抵抗体として単体で使用し、定電流駆動時の素子
の抵抗値変化を出力としたものであり、請求項６に記載
の発明は、請求項４記載の発明において、数本の磁気抵
抗素片の抵抗体からなる磁気検知素子と固定抵抗を直列
結線して構成し、その中点電圧変化を出力としたもので
あり、磁気検出素子を任意の位置に配置でき、磁気検知
素子と固定抵抗との中点電位、または定電流駆動した時
の素子単体の検知信号の中心電位が零ボルトから電源電
圧の間でのいかなる電圧であっても、任意設定した電圧
に信号出力を重畳した出力を得る事が出来るという作用
を有する。
【００１３】以下、本発明の実施の形態について、図を
用いて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明の実施の形態１における
変位量検出装置のブロック図、図２は同装置の具体回路
結線図、図３は同装置の要部の信号波形図である。図１
ないし図３において、１は２つの磁気検知素子Ｒ1，Ｒ2
の中点出力Ｖinを入力信号とし、その入力信号を増幅す
る増幅器であり、差動アンプＩＣ1、入力抵抗Ｒ3、帰還
抵抗Ｒ4、分割抵抗Ｒ5，Ｒ6より構成されている。２は
上記増幅器１からの出力信号に含まれたノイズを低減す
る低域フィルター回路であり、差動アンプＩＣ2、抵抗
Ｒ7,Ｒ8およびコンデンサＣ1，Ｃ2より構成されてい
る。３は上記低域フィルター回路２を通して増幅された
入力信号を第１のサンプリングパルス列φ1でサンプリ
ングし、ホールドする第１のサンプルホールド回路であ
り、電子スイッチＳＷ1、差動アンプＩＣ3、抵抗Ｒ9お
よびコンデンサＣ3より構成されている。８は同じく上
記低域フィルター回路２を通して増幅された入力信号を
第２のサンプリングパルス列φ2でサンプリングし、ホ
ールドする第２のサンプルホールド回路であり、電子ス
イッチＳＷ2、差動アンプＩＣ4、抵抗Ｒ10およびコンデ
ンサＣ4より構成されている。４は上記第１のサンプル
ホールド回路３からのホールド電圧を更に第３のサンプ
リングパルス列φ3でサンプリングし、ホールドする第
３のサンプルホールド回路であり、電子スイッチＳ
Ｗ3、差動アンプＩＣ5、抵抗Ｒ11，Ｒ12，Ｒ16およびコ
ンデンサＣ5より構成されている。９は上記第２のサン
プルホールド回路８からのホールド電圧を更に第３のサ
ンプリングパルス列φ3でサンプリングし、ホールドす
る第４のサンプルホールド回路であり、電子スイッチＳ
Ｗ4、差動アンプＩＣ6、抵抗Ｒ13，Ｒ14，Ｒ17，Ｒ18お
よびコンデンサＣ6より構成されている。５は上記第
３、第４のサンプルホールド回路４，９からのホールド
電圧の差電圧を増幅する差動増幅器であり、差動アンプ
ＩＣ7および抵抗Ｒ15，Ｒ19，Ｒ20，Ｒ21より構成され
ており、上記差動アンプＩＣ7の非反転入力側に設けた
分圧抵抗Ｒ23，Ｒ24による電圧により、上記差動アンプ
ＩＣ7の差動出力の中心電圧を零から電源電圧の範囲で
任意に設定できるように構成されている。６は上記差動
増幅器５からの出力信号を整形する低域フィルター回路
であり、抵抗Ｒ22およびコンデンサＣ7より構成されて
いる。７は上記低域フィルター回路６を通過した信号を
基準信号と比較して矩形波を得る比較回路であり、差動
アンプＩＣ8および抵抗Ｒ25より構成されている。１２
は発振回路、１１は分周回路、１０は論理回路であり、
これらはサンプリングパルス列生成手段をなし、抵抗Ｒ
27，Ｒ28、コンデンサＣ8、インバータＤ1〜Ｄ5、フリ
ップフロップＦＦおよびアンド回路ＡＮＤ1〜ＡＮＤ3よ
り構成されている。このサンプリングパルス列生成手段
からの第１、第２、第３のサンプリングパルス列φ1，
φ2，φ3は磁気検知素子Ｒ1，Ｒ2の中点に得られる正弦
波または余弦波である検知信号より小さい周期で、同じ
周波数を有する。そして、第１のサンプリングパルス列
φ1に対して第２のサンプリングパルス列φ2はある一定
の位相差を有し、第３のサンプリングパルス列φ3は第
１、第２のサンプリングパルス列φ1，φ2に対してある
一定の位相差を有する。上記磁気検知素子Ｒ1，Ｒ2とし
ては強磁性磁気抵抗素子、半導体薄膜磁気抵抗素子、ホ
ール素子等が使用される。
用いて説明する。 （実施の形態１）図１は本発明の実施の形態１における
変位量検出装置のブロック図、図２は同装置の具体回路
結線図、図３は同装置の要部の信号波形図である。図１
ないし図３において、１は２つの磁気検知素子Ｒ1，Ｒ2
の中点出力Ｖinを入力信号とし、その入力信号を増幅す
る増幅器であり、差動アンプＩＣ1、入力抵抗Ｒ3、帰還
抵抗Ｒ4、分割抵抗Ｒ5，Ｒ6より構成されている。２は
上記増幅器１からの出力信号に含まれたノイズを低減す
る低域フィルター回路であり、差動アンプＩＣ2、抵抗
Ｒ7,Ｒ8およびコンデンサＣ1，Ｃ2より構成されてい
る。３は上記低域フィルター回路２を通して増幅された
入力信号を第１のサンプリングパルス列φ1でサンプリ
ングし、ホールドする第１のサンプルホールド回路であ
り、電子スイッチＳＷ1、差動アンプＩＣ3、抵抗Ｒ9お
よびコンデンサＣ3より構成されている。８は同じく上
記低域フィルター回路２を通して増幅された入力信号を
第２のサンプリングパルス列φ2でサンプリングし、ホ
ールドする第２のサンプルホールド回路であり、電子ス
イッチＳＷ2、差動アンプＩＣ4、抵抗Ｒ10およびコンデ
ンサＣ4より構成されている。４は上記第１のサンプル
ホールド回路３からのホールド電圧を更に第３のサンプ
リングパルス列φ3でサンプリングし、ホールドする第
３のサンプルホールド回路であり、電子スイッチＳ
Ｗ3、差動アンプＩＣ5、抵抗Ｒ11，Ｒ12，Ｒ16およびコ
ンデンサＣ5より構成されている。９は上記第２のサン
プルホールド回路８からのホールド電圧を更に第３のサ
ンプリングパルス列φ3でサンプリングし、ホールドす
る第４のサンプルホールド回路であり、電子スイッチＳ
Ｗ4、差動アンプＩＣ6、抵抗Ｒ13，Ｒ14，Ｒ17，Ｒ18お
よびコンデンサＣ6より構成されている。５は上記第
３、第４のサンプルホールド回路４，９からのホールド
電圧の差電圧を増幅する差動増幅器であり、差動アンプ
ＩＣ7および抵抗Ｒ15，Ｒ19，Ｒ20，Ｒ21より構成され
ており、上記差動アンプＩＣ7の非反転入力側に設けた
分圧抵抗Ｒ23，Ｒ24による電圧により、上記差動アンプ
ＩＣ7の差動出力の中心電圧を零から電源電圧の範囲で
任意に設定できるように構成されている。６は上記差動
増幅器５からの出力信号を整形する低域フィルター回路
であり、抵抗Ｒ22およびコンデンサＣ7より構成されて
いる。７は上記低域フィルター回路６を通過した信号を
基準信号と比較して矩形波を得る比較回路であり、差動
アンプＩＣ8および抵抗Ｒ25より構成されている。１２
は発振回路、１１は分周回路、１０は論理回路であり、
これらはサンプリングパルス列生成手段をなし、抵抗Ｒ
27，Ｒ28、コンデンサＣ8、インバータＤ1〜Ｄ5、フリ
ップフロップＦＦおよびアンド回路ＡＮＤ1〜ＡＮＤ3よ
り構成されている。このサンプリングパルス列生成手段
からの第１、第２、第３のサンプリングパルス列φ1，
φ2，φ3は磁気検知素子Ｒ1，Ｒ2の中点に得られる正弦
波または余弦波である検知信号より小さい周期で、同じ
周波数を有する。そして、第１のサンプリングパルス列
φ1に対して第２のサンプリングパルス列φ2はある一定
の位相差を有し、第３のサンプリングパルス列φ3は第
１、第２のサンプリングパルス列φ1，φ2に対してある
一定の位相差を有する。上記磁気検知素子Ｒ1，Ｒ2とし
ては強磁性磁気抵抗素子、半導体薄膜磁気抵抗素子、ホ
ール素子等が使用される。
【００１４】本実施の形態１において、磁気検知素子Ｒ
1，Ｒ2で検知した図３（ａ）に示す入力信号は増幅器１
で増幅し、低域フィルター回路２により増幅後ノイズが
低減されて第１、第２のサンプルホールド回路３，８の
それぞれに入力される。この第１、第２のサンプルホー
ルド回路３，８では図３（ａ）に示す入力信号波形を図
３（ｆ）および図３（ｇ）に示す第１、第２のサンプリ
ングパルス列φ1，φ2でサンプリングし、ホールドし、
図３（ｂ）に示すホールド電圧Ａ，Ｂを第３、第４のサ
ンプルホールド回路４，９にそれぞれ出力する。この第
３、第４のサンプルホールド回路４，９では、上記ホー
ルド電圧Ａ，Ｂを更に図３（ｈ）に示す第３のサンプリ
ングパルス列φ3でサンプリングし、ホールドすること
により、図３（ｃ）に示すように２つのホールド電圧
Ｃ，Ｄとしてそのタイミングを揃える。次に、上記第
３、第４のサンプルホールド回路４，９からのホールド
電圧Ｃ，Ｄは差動増幅器５に加えられ、２つのホールド
電圧Ｃ，Ｄの差電圧を増幅し、その差動増幅器５の差動
出力の中心電圧を零から電源電圧の範囲で任意に設定
し、図３（ｄ）に示す階段波状出力Ｅをフィルター６で
滑らかな信号Ｆに整形し、比較器７で基準信号と比較し
て図３（ｅ）に示す矩形波Ｇを得る。尚、本実施の形態
１においては、２つのホールド電圧Ａ，Ｂを第３のサン
プリングパルス列φ 3でサンプリングホールドすること
により２つのホールド電圧Ｃ，Ｄとしてのタイミングを
揃えたが、他に図４に示すように第３のサンプリングパ
ルス列のタイミングで差動増幅器５を駆動させることに
より、２つのホールド電圧のタイミングを揃えると同時
に差動増幅を行うことでも良い。この場合、サンプルホ
ールド回路４，９が省略される利点を有する。
1，Ｒ2で検知した図３（ａ）に示す入力信号は増幅器１
で増幅し、低域フィルター回路２により増幅後ノイズが
低減されて第１、第２のサンプルホールド回路３，８の
それぞれに入力される。この第１、第２のサンプルホー
ルド回路３，８では図３（ａ）に示す入力信号波形を図
３（ｆ）および図３（ｇ）に示す第１、第２のサンプリ
ングパルス列φ1，φ2でサンプリングし、ホールドし、
図３（ｂ）に示すホールド電圧Ａ，Ｂを第３、第４のサ
ンプルホールド回路４，９にそれぞれ出力する。この第
３、第４のサンプルホールド回路４，９では、上記ホー
ルド電圧Ａ，Ｂを更に図３（ｈ）に示す第３のサンプリ
ングパルス列φ3でサンプリングし、ホールドすること
により、図３（ｃ）に示すように２つのホールド電圧
Ｃ，Ｄとしてそのタイミングを揃える。次に、上記第
３、第４のサンプルホールド回路４，９からのホールド
電圧Ｃ，Ｄは差動増幅器５に加えられ、２つのホールド
電圧Ｃ，Ｄの差電圧を増幅し、その差動増幅器５の差動
出力の中心電圧を零から電源電圧の範囲で任意に設定
し、図３（ｄ）に示す階段波状出力Ｅをフィルター６で
滑らかな信号Ｆに整形し、比較器７で基準信号と比較し
て図３（ｅ）に示す矩形波Ｇを得る。尚、本実施の形態
１においては、２つのホールド電圧Ａ，Ｂを第３のサン
プリングパルス列φ 3でサンプリングホールドすること
により２つのホールド電圧Ｃ，Ｄとしてのタイミングを
揃えたが、他に図４に示すように第３のサンプリングパ
ルス列のタイミングで差動増幅器５を駆動させることに
より、２つのホールド電圧のタイミングを揃えると同時
に差動増幅を行うことでも良い。この場合、サンプルホ
ールド回路４，９が省略される利点を有する。
【００１５】（実施の形態２）図５は、数本の磁気抵抗
素片の抵抗体からなる磁気検知素子を単体で用いた場合
の定電流源による磁気検知素子の駆動例を示し、図５に
おいて、移動体の移動に伴い磁気検知素子の抵抗値変化
による出力で移動体の移動検知を行うもので、定電流源
１３に対し直列に磁気検知素子１４を接続して構成され
ている。
素片の抵抗体からなる磁気検知素子を単体で用いた場合
の定電流源による磁気検知素子の駆動例を示し、図５に
おいて、移動体の移動に伴い磁気検知素子の抵抗値変化
による出力で移動体の移動検知を行うもので、定電流源
１３に対し直列に磁気検知素子１４を接続して構成され
ている。
【００１６】（実施の形態３）図６は、数本の磁気抵抗
素片の単体抵抗体からなる磁気検知素子と固定抵抗器と
の直列結線を行い、移動体の移動に伴う磁気検知素子の
抵抗値変化による中点出力で移動体の移動検知を行うも
ので、固定抵抗器１５に対し直列に磁気検知素子１６を
接続して構成されている。
素片の単体抵抗体からなる磁気検知素子と固定抵抗器と
の直列結線を行い、移動体の移動に伴う磁気検知素子の
抵抗値変化による中点出力で移動体の移動検知を行うも
ので、固定抵抗器１５に対し直列に磁気検知素子１６を
接続して構成されている。
【００１７】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、移動する
移動体に伴い、漏洩磁界の変化を磁気検知素子で検知し
た検知信号に含まれる、回路素子の温度ドリフトによる
ＤＣ変動、経時変動によるＤＣ変動等、また多極磁石の
着磁の不均一性、ギヤ形状の不均一性による検知信号の
平均電圧の不均一によるＤＣ変動をすべて除去される。
また、検知信号の周波数に比して高い周波数のサンプリ
ングパルスを用い、検知信号の入力とほとんど同時にＤ
Ｃ変動成分を除去した信号出力を出すので、移動体の位
置を精度よく、時間遅れなく検知でき、移動体の高精度
な位置検出が可能である。また、磁気検知素子のハーフ
ブリッジの中心電圧のＤＣ変動、回路素子のＤＣ変動を
見込んで、矩形波のデューティ値を許容値の範囲で満足
させるために、磁気検知素子の抵抗値選別や出力向上を
行う必要があったが、本発明によれば、磁気抵抗変化率
が低く、中点電位が抵抗値のアンバランスで大幅に変動
していても、選別等の特殊な工程を経ていない素子の性
能で、高い位置精度を検知するセンサが作成可能であ
る。
移動体に伴い、漏洩磁界の変化を磁気検知素子で検知し
た検知信号に含まれる、回路素子の温度ドリフトによる
ＤＣ変動、経時変動によるＤＣ変動等、また多極磁石の
着磁の不均一性、ギヤ形状の不均一性による検知信号の
平均電圧の不均一によるＤＣ変動をすべて除去される。
また、検知信号の周波数に比して高い周波数のサンプリ
ングパルスを用い、検知信号の入力とほとんど同時にＤ
Ｃ変動成分を除去した信号出力を出すので、移動体の位
置を精度よく、時間遅れなく検知でき、移動体の高精度
な位置検出が可能である。また、磁気検知素子のハーフ
ブリッジの中心電圧のＤＣ変動、回路素子のＤＣ変動を
見込んで、矩形波のデューティ値を許容値の範囲で満足
させるために、磁気検知素子の抵抗値選別や出力向上を
行う必要があったが、本発明によれば、磁気抵抗変化率
が低く、中点電位が抵抗値のアンバランスで大幅に変動
していても、選別等の特殊な工程を経ていない素子の性
能で、高い位置精度を検知するセンサが作成可能であ
る。
【００１８】また本発明に適用可能な磁気検知素子によ
る検知部は、磁気検知素子の出力の中心電圧の温度変動
を抑えるために素子を２つシリーズに接続して使用する
必要がなく、１つの素子を定電流駆動してその両端電圧
を検知出力としても良くまた、素子と固定抵抗とをシリ
ーズに接続してその中点電圧を検知信号としても良く、
任意の値を中心電圧とするアナログ出力が得られ、矩形
波デューティ５０／５０のものが得られる。
る検知部は、磁気検知素子の出力の中心電圧の温度変動
を抑えるために素子を２つシリーズに接続して使用する
必要がなく、１つの素子を定電流駆動してその両端電圧
を検知出力としても良くまた、素子と固定抵抗とをシリ
ーズに接続してその中点電圧を検知信号としても良く、
任意の値を中心電圧とするアナログ出力が得られ、矩形
波デューティ５０／５０のものが得られる。
【図１】本発明の変位量検出装置の実施の形態１におけ
るブロック図
るブロック図
【図２】同装置の具体回路図
【図３】同装置の要部信号波形図
【図４】本発明の変位量検出装置の他の実施の形態にお
けるブロック図
けるブロック図
【図５】本発明に適用可能な検知部の回路図
【図６】本発明に適用可能な検知部の他の例を示す回路
図
図
【図７】従来の変位量検出装置を示す回路図
１ 増幅器 ２，６ フィルター回路 ３，４，８，９ サンプルホールド回路 ５ 差動増幅器 ７ 比較器 １０ 論理回路 １１ 分周回路 １２ 発振回路 １３ 定電流回路 １４，１６ 磁気検知素子 １５ 固定抵抗器
Claims (6)
- 【請求項１】 回転または直線運動を行う移動体に連動
する多極磁石、または連動する磁性移動体と磁石の組み
合わせの移動に伴う漏洩磁界の変化を磁気検知素子で検
出し、正弦波状または余弦波状出力から回転数または移
動量を検知する変位量検出装置において、ハーフブリッ
ジを構成する磁気検知素子の中点出力を増幅する増幅回
路と、低域フィルター回路と、第１のサンプリングパル
ス列で増幅された中点出力をサンプリングし、ホールド
すると共に第１のサンプリングパルスとある一定の位相
差と同じ周波数を有した第２のサンプリングパルス列で
増幅された中点出力をサンプリングし、ホールドするサ
ンプルホールド回路と、第１、第２のサンプリングパル
ス列と一定の位相差と同じ周波数を有する第３のサンプ
リングパルス列のタイミングで２つのホールド電圧のタ
イミングを揃えるサンプルホールド回路と、２つのホー
ルド電圧の差を増幅する差動増幅回路と、差動増幅出力
の中心電圧を零から電源電圧までの任意の値に設定する
設定回路と、差動増幅された階段波状信号波形を波形整
形するフィルター回路と、コンパレータで基準電圧と比
較し、矩形波波形を出力する出力回路と、サンプリング
パルス生成用の発振回路と、サンプリングパルスのタイ
ミングを調整する論理回路とを具備し、信号に含まれる
ＤＣ変動成分を除去し、移動体の高精度の位置検知をす
るように構成した変位量検出装置。 - 【請求項２】 磁気検知素子を数本の磁気抵抗素片から
なる抵抗単体で構成し、定電流駆動時の素子の抵抗値変
化を信号出力するように構成した請求項１記載の変位量
検出装置。 - 【請求項３】 磁気検知素子を数本の磁気抵抗素片から
なる抵抗単体と固定抵抗器を直列結線して構成し、その
中点電圧変化を信号出力するように構成した請求項１記
載の変位量検出装置。 - 【請求項４】 回転、または直線運動を行う移動体に連
動する多極磁石、または連動する磁性移動体と磁石の組
み合わせの移動に伴う漏洩磁界の変化を磁気検知素子で
検出し、正弦波状または余弦波状出力から回転数または
移動量を検知する変位量検出装置において、ハーフブリ
ッジを構成する磁気検知素子の中点出力を増幅する増幅
回路と、低域フィルター回路と、第１のサンプリングパ
ルス列で増幅された中点出力をサンプリングし、ホール
ドすると共に、第１のサンプリングパルスとある一定の
位相差と同じ周波数を有した第２のサンプリングパルス
列で増幅された中点出力をサンプリングし、ホールドす
るサンプルホールド回路と、第１、第２のサンプリング
パルス列と一定の位相差と同じ周波数を有する第３のサ
ンプリングパルス列のタイミングで２つのホールド電圧
の差を増幅する差動増幅回路と、差動増幅出力の中心電
圧を零から電源電圧までの任意の値に設定する設定回路
と、差動増幅された階段波状信号波形を波形整形するフ
ィルター回路と、コンパレータで基準電圧と比較し、矩
形波波形を出力する出力回路と、サンプリングパルス生
成用の発振回路と、サンプリングパルスのタイミングを
調整する論理回路とを具備し、信号に含まれるＤＣ変動
成分を除去し、移動体の高精度の位置検知をするように
構成した変位量検出装置。 - 【請求項５】 磁気検知素子を数本の磁気抵抗素片から
なる抵抗単体で構成し、定電流駆動時の素子の抵抗値変
化を信号出力するように構成した請求項１記載の変位量
検出装置。 - 【請求項６】 磁気検知素子を、数本の磁気抵抗素片か
らなる抵抗単体と固定抵抗器を直列結線して構成し、そ
の中点電圧変化を信号出力するように構成した請求項１
記載の変位量検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15334897A JPH112548A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | 変位量検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15334897A JPH112548A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | 変位量検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH112548A true JPH112548A (ja) | 1999-01-06 |
Family
ID=15560514
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15334897A Pending JPH112548A (ja) | 1997-06-11 | 1997-06-11 | 変位量検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH112548A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005300369A (ja) * | 2004-04-13 | 2005-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転数センサ |
| JP2007071709A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | 回転状態検出装置 |
-
1997
- 1997-06-11 JP JP15334897A patent/JPH112548A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005300369A (ja) * | 2004-04-13 | 2005-10-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 回転数センサ |
| JP2007071709A (ja) * | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Mitsubishi Electric Corp | 回転状態検出装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3307958B2 (ja) | 高いダイナミック範囲のデジタルフラックスゲート磁力計 | |
| JP5385490B1 (ja) | ホール起電力信号検出回路及びその電流センサ | |
| US7301353B2 (en) | Sensor element for providing a sensor signal, and method for operating a sensor element | |
| CN101641608B (zh) | 磁传感器电路和使用该磁传感器电路的电子装置 | |
| EP2997390A1 (en) | Magnetic field sensor for detecting a magnetic field in any direction above thresholds | |
| US20100308815A1 (en) | Magnetic sensor device | |
| US20140028286A1 (en) | Amplifier circuits and methods | |
| JPWO2013168353A1 (ja) | 磁気検出装置及び磁気検出方法 | |
| US20190302196A1 (en) | Magnetic field sensor and associated methods including differential chopping | |
| WO2011021521A1 (ja) | 磁気センサ装置及びこれを用いた電子機器 | |
| JP5116751B2 (ja) | 磁気検出装置 | |
| US5493218A (en) | Magnetic detecting apparatus with a variable voltage power supply | |
| US20020145419A1 (en) | Magnetic sensing device with offset compensation | |
| JP2000009409A (ja) | インダクタンス変化検出回路 | |
| JPH10239411A (ja) | 磁気検出装置 | |
| JPH112548A (ja) | 変位量検出装置 | |
| JP2000162294A (ja) | 磁界センサ | |
| TW201945742A (zh) | 零交叉檢測電路以及感測裝置 | |
| JPH11304416A (ja) | 磁気検出装置 | |
| JP3322726B2 (ja) | 静電容量検出回路 | |
| JPS5868615A (ja) | 磁気式ロ−タリ・エンコ−ダの出力回路 | |
| JPS63133069A (ja) | 直流差電圧の測定装置 | |
| JP2002350186A (ja) | 回転角度検出装置 | |
| JPS6055028B2 (ja) | 表面電位計 | |
| JP2002243816A (ja) | 磁気検出装置 |