JPH11252949A - 振動波アクチュエータ - Google Patents
振動波アクチュエータInfo
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- JPH11252949A JPH11252949A JP10073112A JP7311298A JPH11252949A JP H11252949 A JPH11252949 A JP H11252949A JP 10073112 A JP10073112 A JP 10073112A JP 7311298 A JP7311298 A JP 7311298A JP H11252949 A JPH11252949 A JP H11252949A
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Abstract
でき、しかも大きな出力トルクを得ることができる振動
波アクチュエータを提供する。 【解決手段】 ステータ23,24の接触駆動面40に
ロータ25を接触させ、接触駆動面40に励起した振動
波によってロータ25を回転駆動する。接触駆動面40
も球面(凹面)状に形成し、ロータ25の半径をステー
タ23,24の曲率半径よりも小さくする。
Description
た振動波によってロータやスライダ等の移動子を駆動す
る振動波アクチュエータに関する。
1に示す。振動波アクチュエータ1にあっては、4個の
ステータ2,2,3,3を略球面状をしたロータ4の最
大外周円に沿って配置し、これらのステータ2,2,
3,3によって合成樹脂製のロータ4を支持している。
各ステータ2,2,3,3は、図2(a)(b)に示す
ように、金属等の弾性材料によって形成された皿状のス
テータ本体5の裏面にPZT等の圧電素子7を接合した
ものである。ステータ本体5の外周部には、円環状をし
た弾性部材10が設けられており、弾性部材10の表面
には多数の接触子6が一定ピッチ毎に突設され、各接触
子6間はスリット9によって分離されている。圧電素子
7は弾性部材10の裏面に接合されている。ステータ
2,2,3,3は、接触子6をロータ4と接触させるよ
うにしてロータ4を支持しており、そのため接触子6の
表面(接触駆動面8)にはロータ4の半径と同一の曲率
半径を有する凹状のアールが施されている。
波モータの原理によってロータ4を駆動するものであっ
て、圧電素子7を振動させることによって弾性部材10
の接触子6の接触駆動面8にたわみ振動や伸縮振動等の
表面波振動を発生させるものである。各ステータ2,
2,3,3は、ばね(図示せず)の弾性力によってロー
タ4に圧接しているので、ステータ2,2,3,3が駆
動されていない場合には、ロータ4は回転できない。し
かし、圧電素子7を所定の駆動モードで駆動すると、接
触駆動面8で円周方向に進む進行波(たわみ進行波)に
より接触子6の表面の分子が楕円軌道を描いて運動し、
ロータ4の表面がステータ2,2,3,3の円周方向に
沿って移動する。この結果、ロータ4は駆動されている
ステータ2,2,3,3の軸心の回りに回転する。な
お、進行波を発生させないステータ2,2,3,3には
定在波を発生させてロータ4との摩擦を軽減する。
タとしては、円板状のロータを1個のステータ上に接触
配置し、ステータによってロータを回転させるようにし
た1自由度のものも知られている。
の振動波アクチュエータでは、ロータから出力される出
力パワーを向上させるためには、金属等の弾性体よりな
るステータの接触駆動面と合成樹脂等で形成されたロー
タの表面との接触を均一にし、かつ広い面積で密着させ
ることが非常に重要である。
して接触駆動面に進行波を励起させても、ロータが駆動
しないという現象が確認されている。これは、ロータと
ステータの接触駆動面との密着によって摩擦抵抗が増大
するためである。これを解決する方法としては、ステー
タの接触駆動面を狭くして密着面積を小さくすることが
提案されている(特開昭63−136984号公報)。
ためにロータとステータの密着面積を大きくすると、摩
擦が増大してロータを駆動できなくなり、摩擦抵抗を低
減するために密着面積を小さくすると、振動波アクチュ
エータの出力が低下するという相反する問題があり、出
力を向上させ、かつ、安定駆動させることは不可能であ
った。
クチュエータの場合には、ロータを回転駆動している
と、摩擦熱によってロータが熱膨張するので、出力が著
しく低下したり、再起動時にロータが回転しないといっ
た現象が生じている。これは、接触面がロータの凸湾曲
面(表面)とステータの凹湾曲面(接触駆動面)で構成
されるため、駆動による発熱でロータが膨張すると、ロ
ータがステータの接触駆動面に食い込むためである。従
って、ステータとロータの押し付け圧を大きくできず、
出力トルクを効率的に取り出すことができなかった。あ
るいは、押し付け圧を大きくすると、ロータを再起動で
きなくなっていた。しかも、この再起動しないという現
象は、ステータの接触駆動面の幅を狭くすることだけで
は回避できないことが実験により確認されている。
れたものであり、その目的とするところは、ロータ等の
移動子を確実に起動させることができ、しかも大きな出
力トルクを得ることができる振動波アクチュエータを提
供することにある。
ータの接触駆動面に移動子を接触させ、ステータに発生
させた微少振動波で移動子を駆動する振動波アクチュエ
ータであって、前記ステータと前記移動子との接触位置
を通過し、かつ前記接触駆動面に発生する振動波の励起
方向と垂直な断面において、前記接触駆動面と前記移動
子表面とがほぼ相似形状で、かつ同一形状でないことを
特徴としている。ここで、接触駆動面と接触子表面とが
ほぼ相似形状であるとは、例えば、一方が円弧で他方が
直線であるような場合を含まない意味であり、また、一
方が真円弧で他方が楕円弧の場合を含む意味である。
は、接触駆動面と移動子表面とが同一形状ではないが、
ほぼ相似形状となっているので、移動子が駆動されてい
ない場合には、ステータの接触駆動面と移動子との接触
幅が狭く、静止摩擦が小さくなっている。従って、振動
波アクチュエータの起動トルクが小さくて済み、移動子
の起動や再起動を確実に行わせることができる。一方、
振動波アクチュエータの駆動中においては、励起された
振動波のために、ステータの接触駆動面には数ミクロン
の起伏が発生し、ステータの接触駆動面と移動子の接触
幅は広がっている。従って、振動波アクチュエータの駆
動中においては、ステータの接触駆動面と移動子の間の
摩擦抵抗が大きくなり、出力を増大させることができ
る。
半径をステータの接触駆動面の曲率半径よりも小さくす
る場合が多いが、特に、移動子が球面体の場合には、ス
テータの接触駆動面の曲率半径に対する、移動子表面の
曲率半径の比率を0.7以上1未満とするのが望まし
い。ステータの接触駆動面の曲率半径に対する、移動子
表面の曲率半径の比率を0.7よりも小さくすると、振
動波アクチュエータの駆動中においても、ステータの接
触駆動面とロータの接触面の幅が小さく、充分な出力が
得られないからである。
施形態による振動波アクチュエータ21を示す正面側か
らの斜視図、図4はその断面図である。振動波アクチュ
エータ21は、ケーシング22内に取り付けられた4個
のステータ23,23,24,24で球面状をした合成
樹脂製のロータ25を保持した構造となっている。
23,24,24は、ケーシング22内に取り付けら
れ、ロータ25の最大外周円に沿って配置されている。
対向するステータ23,23又は24,24のうち、一
方のステータ23,24はケーシング22内に板バネ2
6を介して取り付けられており、他方のステータ23,
24は皿バネ27とバネ押さえ28を介してケーシング
22内に取り付けられており、板バネ26と皿バネ27
の弾性力によって両ステータ23,23,24,24を
ロータ25に押圧させると共に、調整ネジ29によって
バネ押さえ28を動かすことで皿バネ27の弾性力を変
化させ、ステータ23,23,24,24のロータ25
への圧接力を調整できるようにしている。また、ステー
タ23,23,24,24及びロータ25等をケーシン
グ22内に組み込んだ後、ケーシング22の正面及び背
面にそれぞれカバー30,31を取り付けることによっ
てロータ25等の脱落を防止している。正面のカバー2
9の窓からは、ロータ25と出力軸32等が露出してい
る。なお、33は各ステータ23,23,24,24を
駆動するための信号線を通すための孔である。
斜視図である。ステータ23,24は、金属等の弾性材
料によって形成されたステータ本体34の裏面にPZT
等の圧電素子35を接合したものである。ステータ本体
34は、円環状をした弾性部材36の表面に多数の接触
子37を一定ピッチ毎に突設したものであって、各接触
子37間はスリット38によって分離されており、弾性
部材36の内周側には、皿状をした支持部材39が連設
されている。圧電素子35は接着剤によって弾性部材3
6の裏面に接合されている。各接触子37は略台形板状
となっているが、その内周側に位置する面は球面状に加
工された接触駆動面40となっている。
は、図6に示すように、接触駆動面40の曲率半径R
が、球面状をしたロータ25の半径rよりもわずかに大
きくなっている。具体的には、ロ一夕25の半径をr、
ステータ23,24の接触駆動面40の曲率半径をRと
するとき、 0.7≦r/R<1 とするのが望ましい。例えば、半径rが22.4mmの
ロータ25に対しては、ステータ23,24の接触駆動
面40の曲率半径Rは22.5mmとする。
ステータ23,24の接触駆動面40とロータ25の表
面とが、同一ではないが近似した(ほぼ相似な)形状と
なっていると、ステータ23,24及びロータ25が完
全な剛体の場合には、理論上ロータ25とステータ2
3,24とは線接触することになる。しかし、実際には
ステータ23,24及びロータ25は弾性体であるの
で、押し付け圧によってロータ25及びステータ23,
24が弾性変形して面接触となる。しかも、その接触駆
動面40は、全面にわたってロータ25と密着すること
はなく、一部で密着しながらその近傍では軽接触ないし
極く近接し、接触駆動面40とロータ25の間の押圧力
も最大圧の位置から両側へ向かって徐々に小さくなるよ
うに分布する。そして、振動波アクチュエータ21が駆
動されておらず、ロータ25が静止している場合には、
ステータ23,24の接触駆動面40とロータ25との
接触幅が狭く、静止摩擦が小さくなっている。このた
め、振動波アクチュエータ21の起動トルクが小さくて
済み、ロータ25の起動や再起動を確実に行わせること
ができる。一方、振動波アクチュエータ21が駆動され
てロータ25が回転している場合には、接触子37に励
起された振動波のため、ステータ23,24の接触駆動
面40には数ミクロンの起伏(分子の運動)が発生し、
ステータ23,24の接触駆動面40とロータ25の接
触幅は広がっている。さらに、駆動中のロータ25の熱
膨張によっても接触駆動面40とロータ25の接触幅が
広がる。よって、振動波アクチュエータ21の駆動中に
おいては、ステータ23,24の接触駆動面40とロー
タ25の間の摩擦抵抗が大きくなり、出力を増大させる
ことができる。
7以上1未満とするのが望ましい。r/Rが0.7未満
の場合には、ロ一夕25が、完全にステータ23,24
の中心を軸とする円周線上のみで接触駆動面40に線接
触することになり、出力が低下するためである。また、
r=Rにすると、従来例のようにステータの接触駆動面
はロータに全面密着するからである。
21にあっては、ロータ25の熱膨張によって駆動出力
の低下が起きなくなり、常に安定した起動特性が得られ
る。さらに、押し付け圧を高めることができるので、出
力トルクが一層向上する。しかも、起動特性を改善させ
るためにアクチュエータ起動時に印加電圧を大きくする
など、特別な制御回路や制御アルゴリズムを必要としな
い。また、ロ一夕25とステータ23,24の接触駆動
面40の曲率が同一の場合に比べ、ロータ25が摩耗し
た際の接触面積変化が少ないので、振動波アクチュエー
タ21の寿命が向上する。さらに、駆動時の発生音も減
少した。さらに、ロータ製作の際、ロータ25の曲率を
ステータ23,24の接触駆動面40の曲率に一致させ
る必要がなく、接触駆動面40の曲率をロータ25の曲
率に対して変化させるだけであるので、加工精度が要求
されず、コストダウンが可能になる。
面状のロータを回転させる実施例について説明したが、
本発明は、1つのステータにより円板状のロータを回転
させるようにした振動波アクチュエータにも適用でき
る。また、直線状のステータに沿ってスライダを移動さ
せるリニア型の振動波アクチュエータにも適用できる。
する。サンプル1は、半径22.4mmのロータと、接
触駆動面の曲率半径が22.5mmのステータを用い、
両者の接触幅(接触駆動面の幅)を1.0566623
mmとした振動波アクチュエータ(本発明品)である。
サンプル2は、半径22.5mmのロータと、接触駆動
面の曲率半径が22.5mmのステータを用い、両者の
接触幅(接触駆動面の幅)を1.0566623mmと
した振動波アクチュエータ(第1の従来品)である。サ
ンプル3は、半径22.5mmのロータと、接触駆動面
の曲率半径が22.5mmのステータを用い、両者の接
触幅(接触駆動面の幅)を0.41217441mmと
した振動波アクチュエータ(第2の従来品)である。こ
れらのサンプル1〜3を用いて実験を行い、その起動特
性、出力の大小、発生音、出力の変化、耐久性を測定し
た。この結果を表1に示す。ただし、出力の大小は、サ
ンプル2を基準として(この出力の大きさを1とした)
測定した。
駆動面の曲率半径を少し異ならせることにより、起動特
性、出力、発生音、出力の変化、耐久性等が向上してい
るのが確認できる。
いて、それぞれの駆動時間と回転数変化率の関係を測定
した。この結果を図7に示す。ただし、サンプル1〜3
による差異が明確になるよう、この実験では、いずれの
サンプルも摩耗の大きな素材で形成したロータを用い
た。図7に示す曲線C1はサンプル1(本発明品)の場
合、曲線C2はサンプル2又は3(従来品)の場合であ
る。これより、従来品では、当初の回転数の約60%程
度まで回転数が低下していたのが、本発明品では、当初
の回転数の約94%の低下に抑えることができるのが分
かる。
観察からは、サンプル1の振動波アクチュエータは、駆
動中においては接触駆動面は全体でロータに接触してい
ることが確認された。
破断した正面図である。
用いられているステータの正面図及び断面図である。
タの斜視図である。
ステータの斜視図である。
る図である。
転数の変化との関係を示す図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 ステータの接触駆動面に移動子を接触さ
せ、ステータに発生させた微少振動波で移動子を駆動す
る振動波アクチュエータであって、 前記ステータと前記移動子との接触位置を通過し、かつ
前記接触駆動面に発生する振動波の励起方向と垂直な断
面において、前記接触駆動面と前記移動子表面とがほぼ
相似形状で、かつ同一形状でないことを特徴とする振動
波アクチュエータ。 - 【請求項2】 前記移動子と前記ステータの接触位置に
おいて、移動子の曲率半径がステータの曲率半径よりも
小さくなっていることを特徴とする、請求項1に記載の
振動波アクチュエータ - 【請求項3】 前記移動子は球面体で、前記ステータの
接触駆動面も球面によって構成されており、移動子表面
の曲率半径の、ステータの接触駆動面の曲率半径に対す
る比が0.7以上1未満であることを特徴とする、請求
項1に記載の振動波アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07311298A JP3830265B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 振動波アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP07311298A JP3830265B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 振動波アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11252949A true JPH11252949A (ja) | 1999-09-17 |
JP3830265B2 JP3830265B2 (ja) | 2006-10-04 |
Family
ID=13508876
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP07311298A Expired - Lifetime JP3830265B2 (ja) | 1998-03-06 | 1998-03-06 | 振動波アクチュエータ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3830265B2 (ja) |
-
1998
- 1998-03-06 JP JP07311298A patent/JP3830265B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3830265B2 (ja) | 2006-10-04 |
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