JPH11250436A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH11250436A JPH11250436A JP5208298A JP5208298A JPH11250436A JP H11250436 A JPH11250436 A JP H11250436A JP 5208298 A JP5208298 A JP 5208298A JP 5208298 A JP5208298 A JP 5208298A JP H11250436 A JPH11250436 A JP H11250436A
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- magnetic
- magnetic layer
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐食性、走行性に優れ、且つＭＲヘッドを用
いた再生方式において、特に高域での優れた出力特性を
示す金属薄膜型の磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 支持体と、該支持体上に形成され、強磁
性金属を４０〜５５原子％含有する金属薄膜型の磁性層
とを有し、且つ保磁力が２０００（Ｏｅ）以上である磁
気記録媒体。
いた再生方式において、特に高域での優れた出力特性を
示す金属薄膜型の磁気記録媒体を提供する。 【解決手段】 支持体と、該支持体上に形成され、強磁
性金属を４０〜５５原子％含有する金属薄膜型の磁性層
とを有し、且つ保磁力が２０００（Ｏｅ）以上である磁
気記録媒体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に関
し、より詳しくは、ＭＲヘッドを用いた再生に適した磁
気記録媒体に関する。
し、より詳しくは、ＭＲヘッドを用いた再生に適した磁
気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録媒体として、支持体上に真空蒸
着法等により形成した強磁性金属薄膜からなる磁性層を
形成したいわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体が知られて
いる。このタイプの磁気記録媒体は、磁性層にバインダ
ーを含まないことから、単位体積当たりの磁性体の量が
多い（すなわち磁性材料の密度が高い）ため、高密度記
録に有望であるとされている。
着法等により形成した強磁性金属薄膜からなる磁性層を
形成したいわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体が知られて
いる。このタイプの磁気記録媒体は、磁性層にバインダ
ーを含まないことから、単位体積当たりの磁性体の量が
多い（すなわち磁性材料の密度が高い）ため、高密度記
録に有望であるとされている。
【０００３】このような金属薄膜を形成する強磁性金属
としては、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅが代表的なものとして知ら
れており、一般に磁性層中にこれら強磁性金属は６０原
子％以上の割合で存在する。これは、ある程度高い保磁
力を持たせ、且つ高い飽和磁束密度を持たせるためであ
る。
としては、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅが代表的なものとして知ら
れており、一般に磁性層中にこれら強磁性金属は６０原
子％以上の割合で存在する。これは、ある程度高い保磁
力を持たせ、且つ高い飽和磁束密度を持たせるためであ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】一般に蒸着型の磁気記
録媒体では、飽和磁束密度を高くすると保磁力が低下
し、逆に保磁力を高くすると飽和磁束密度は低下する。
通常はこの両者のバランスをとることにより、ある程度
満足の行く出力特性を確保している。しかしその反面、
媒体の剛性（硬さ）、耐食性、走行性などは不十分とな
る。
録媒体では、飽和磁束密度を高くすると保磁力が低下
し、逆に保磁力を高くすると飽和磁束密度は低下する。
通常はこの両者のバランスをとることにより、ある程度
満足の行く出力特性を確保している。しかしその反面、
媒体の剛性（硬さ）、耐食性、走行性などは不十分とな
る。
【０００５】また、一般に良く知られているように、リ
ングヘッドによる再生は、磁気テープからの漏れ磁束を
ヘッドギャップにより拾い上げることにより行われる。
したがってヘッドギャップ長が短くなると、漏れ磁束を
拾い上げる効率が低下し、信号出力が低くなることによ
るＳ／Ｎ比の低下が起こる。そのため近年では、再生専
用ヘッドとしてリングヘッドに比べて感度の高いＭＲ
（磁気抵抗）ヘッドの使用が検討されている。しかし、
ＭＲヘッドを用いたシステムに適した金属薄膜型の磁気
記録媒体については未だ検討は不十分である。
ングヘッドによる再生は、磁気テープからの漏れ磁束を
ヘッドギャップにより拾い上げることにより行われる。
したがってヘッドギャップ長が短くなると、漏れ磁束を
拾い上げる効率が低下し、信号出力が低くなることによ
るＳ／Ｎ比の低下が起こる。そのため近年では、再生専
用ヘッドとしてリングヘッドに比べて感度の高いＭＲ
（磁気抵抗）ヘッドの使用が検討されている。しかし、
ＭＲヘッドを用いたシステムに適した金属薄膜型の磁気
記録媒体については未だ検討は不十分である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記のよ
うな状況に鑑み鋭意研究した結果、耐食性、走行性に優
れ、且つＭＲヘッドを使用した再生方式において、特に
高域において優れた出力特性を示す金属薄膜型の磁気記
録媒体を得るためには、磁性層中の強磁性金属の割合を
特定範囲とし且つ高い保磁力を付与することが有効であ
ることを見出し、本発明を完成するに至った。
うな状況に鑑み鋭意研究した結果、耐食性、走行性に優
れ、且つＭＲヘッドを使用した再生方式において、特に
高域において優れた出力特性を示す金属薄膜型の磁気記
録媒体を得るためには、磁性層中の強磁性金属の割合を
特定範囲とし且つ高い保磁力を付与することが有効であ
ることを見出し、本発明を完成するに至った。
【０００７】すなわち本発明は、支持体と、該支持体上
に形成された金属薄膜型の磁性層とを有する磁気記録媒
体であって、前記磁性層中の強磁性金属の割合が４０〜
５５原子％であり、保磁力（Ｈｃ）が２０００（Ｏｅ）
以上であること特徴とする磁気記録媒体を提供するもの
である。
に形成された金属薄膜型の磁性層とを有する磁気記録媒
体であって、前記磁性層中の強磁性金属の割合が４０〜
５５原子％であり、保磁力（Ｈｃ）が２０００（Ｏｅ）
以上であること特徴とする磁気記録媒体を提供するもの
である。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の磁気記録媒体は、特にＭ
Ｒヘッドを再生ヘッドとする磁気記録再生システムに好
適である。この場合、記録ヘッドは通常のリングヘッド
でよい。このようなシステムに本発明の磁気記録媒体を
用いると特に高域での出力特性が向上する。本発明の磁
気記録媒体は磁気テープが好適である。
Ｒヘッドを再生ヘッドとする磁気記録再生システムに好
適である。この場合、記録ヘッドは通常のリングヘッド
でよい。このようなシステムに本発明の磁気記録媒体を
用いると特に高域での出力特性が向上する。本発明の磁
気記録媒体は磁気テープが好適である。
【０００９】図１に本発明の磁気記録媒体が用いられる
磁気記録再生システムで使用することができるＭＲヘッ
ドの一例を示す。１１はＭＲヘッド、１２はＭＲ素子、
１３はセンス線、１４は磁気テープである。ＭＲ素子１
２はセンス線１３に電気的に接続されている。ＭＲヘッ
ド１１が磁気テープ１４上を走査し、ＭＲ素子１２が変
化する磁場中におかれることにより、その磁場の強弱に
よりＭＲ素子１２の抵抗率が変化し、その変化がセンス
線１３を通して出力される。ＭＲ素子１２を構成する材
料は、従来公知の磁気抵抗効果を示す材料を使用するこ
とができる。例えばNi−Fe鉄合金、Fe−Mn合金、Ni−Mn
合金、NiO 、CoO 、α−Fe2O3 、NiO ／CoO 、Co／Cu／
Co、NiFe／Δ／NiFe（Δ＝Cu、Co／Cu／Co、Ag、Au）、
NiFeCo／Cu／NiFeCo、CoFe／Cu／CoFe等を好ましい材料
として挙げることができる。またセンス線１３を形成す
る材料としては、通常導線として使用される材料を使用
することが可能であるが、特に銅、銀、金、アルミニウ
ム等を好ましい材料として挙げることができる。なお、
記録用ヘッドとしては公知のリングヘッドでよい。
磁気記録再生システムで使用することができるＭＲヘッ
ドの一例を示す。１１はＭＲヘッド、１２はＭＲ素子、
１３はセンス線、１４は磁気テープである。ＭＲ素子１
２はセンス線１３に電気的に接続されている。ＭＲヘッ
ド１１が磁気テープ１４上を走査し、ＭＲ素子１２が変
化する磁場中におかれることにより、その磁場の強弱に
よりＭＲ素子１２の抵抗率が変化し、その変化がセンス
線１３を通して出力される。ＭＲ素子１２を構成する材
料は、従来公知の磁気抵抗効果を示す材料を使用するこ
とができる。例えばNi−Fe鉄合金、Fe−Mn合金、Ni−Mn
合金、NiO 、CoO 、α−Fe2O3 、NiO ／CoO 、Co／Cu／
Co、NiFe／Δ／NiFe（Δ＝Cu、Co／Cu／Co、Ag、Au）、
NiFeCo／Cu／NiFeCo、CoFe／Cu／CoFe等を好ましい材料
として挙げることができる。またセンス線１３を形成す
る材料としては、通常導線として使用される材料を使用
することが可能であるが、特に銅、銀、金、アルミニウ
ム等を好ましい材料として挙げることができる。なお、
記録用ヘッドとしては公知のリングヘッドでよい。
【００１０】本発明の磁気記録媒体において、磁性層は
金属薄膜型のものであり、通常の蒸着やスパッタ等の真
空成膜法により形成される。金属薄膜型の磁性層を形成
する磁性材料としては、通常の金属薄膜型の磁気記録媒
体の製造に用いられる強磁性金属材料が挙げられ、例え
ばＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅ等の強磁性金属、また、Ｆｅ−Ｃ
ｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ
−Ｃｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌ
ａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇｄ、Ｃｏ−Ｓｍ、Ｃｏ−Ｐ
ｔ、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｍｎ−Ｂｉ、Ｍｎ−Ｓｂ、Ｍｎ−Ａ
ｌ、Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ等の強磁性合金が挙げられ
る。また、蒸着中に酸素、窒素、二酸化炭素等のガスや
これらの混合ガスをイオン化して照射する、いわゆるイ
オンアシストによる蒸着法により酸化物系、窒素化物
系、炭化物系の磁性膜を形成してもよい。
金属薄膜型のものであり、通常の蒸着やスパッタ等の真
空成膜法により形成される。金属薄膜型の磁性層を形成
する磁性材料としては、通常の金属薄膜型の磁気記録媒
体の製造に用いられる強磁性金属材料が挙げられ、例え
ばＣｏ、Ｎｉ、Ｆｅ等の強磁性金属、また、Ｆｅ−Ｃ
ｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ
−Ｃｕ、Ｃｏ−Ｃｕ、Ｃｏ−Ａｕ、Ｃｏ−Ｙ、Ｃｏ−Ｌ
ａ、Ｃｏ−Ｐｒ、Ｃｏ−Ｇｄ、Ｃｏ−Ｓｍ、Ｃｏ−Ｐ
ｔ、Ｎｉ−Ｃｕ、Ｍｎ−Ｂｉ、Ｍｎ−Ｓｂ、Ｍｎ−Ａ
ｌ、Ｆｅ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ
−Ｃｒ、Ｎｉ−Ｃｏ−Ｃｒ等の強磁性合金が挙げられ
る。また、蒸着中に酸素、窒素、二酸化炭素等のガスや
これらの混合ガスをイオン化して照射する、いわゆるイ
オンアシストによる蒸着法により酸化物系、窒素化物
系、炭化物系の磁性膜を形成してもよい。
【００１１】高密度記録のためには磁気記録媒体の磁性
層は、斜め蒸着により支持体上に形成することが好まし
い。斜め蒸着の方法は特に限定されず、従来公知の方法
に準ずる。蒸着の際の真空度は１０-3〜１０-7Ｔｏｒｒ
程度である。蒸着による磁性層は単層構造でも多層構造
の何れでも良く、特に、酸素などの酸化性ガスを導入し
て磁性層表面に酸化物を形成することにより、耐久性の
向上を図ることができる。
層は、斜め蒸着により支持体上に形成することが好まし
い。斜め蒸着の方法は特に限定されず、従来公知の方法
に準ずる。蒸着の際の真空度は１０-3〜１０-7Ｔｏｒｒ
程度である。蒸着による磁性層は単層構造でも多層構造
の何れでも良く、特に、酸素などの酸化性ガスを導入し
て磁性層表面に酸化物を形成することにより、耐久性の
向上を図ることができる。
【００１２】磁性層の厚さは限定されないが、５０〜５
００ｎｍが好ましく、特に８０〜３００ｎｍが好まし
い。また磁性層は一層でも多層構造でもよい。
００ｎｍが好ましく、特に８０〜３００ｎｍが好まし
い。また磁性層は一層でも多層構造でもよい。
【００１３】本発明においては、磁性層中の強磁性金属
の比率を４０〜５５原子％とする必要がある。残部は酸
素、炭素、窒素、Ａｌ、Ｚｎ、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｃｒ等の非
磁性の成分である。磁性層は、強磁性金属原子の比率が
上記範囲を満たすよう、金属単体、金属酸化物、金属炭
化物、金属窒化物などが混在して構成される。ここで、
「強磁性金属」とは、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉを言う。本発明
において、磁性層中の強磁性金属の割合は、オージェ分
光分析装置を用いて、磁性層を構成する原子の総和に対
する上記Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉの原子の総和を算出すること
により求められる。磁性層中の強磁性金属の割合は、４
５〜５５原子％がより好ましい。また、磁性層中の強磁
性金属の原子比は、蒸着時の酸素の導入割合、蒸着時の
支持体温度、蒸着源の組成など、成膜条件を変更するこ
とで制御できる。
の比率を４０〜５５原子％とする必要がある。残部は酸
素、炭素、窒素、Ａｌ、Ｚｎ、Ｓｉ、Ｍｎ、Ｃｒ等の非
磁性の成分である。磁性層は、強磁性金属原子の比率が
上記範囲を満たすよう、金属単体、金属酸化物、金属炭
化物、金属窒化物などが混在して構成される。ここで、
「強磁性金属」とは、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉを言う。本発明
において、磁性層中の強磁性金属の割合は、オージェ分
光分析装置を用いて、磁性層を構成する原子の総和に対
する上記Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉの原子の総和を算出すること
により求められる。磁性層中の強磁性金属の割合は、４
５〜５５原子％がより好ましい。また、磁性層中の強磁
性金属の原子比は、蒸着時の酸素の導入割合、蒸着時の
支持体温度、蒸着源の組成など、成膜条件を変更するこ
とで制御できる。
【００１４】本発明の磁気記録媒体の保磁力（Ｈｃ）は
２０００（Ｏｅ）以上であり、好ましくは２１００〜２
６００（Ｏｅ）である。保磁力は、ＶＳＭ（振動試料型
磁力計）により測定された媒体の長手方向のものであ
る。保磁力が２０００（Ｏｅ）以上ないとＭＲヘッドを
用いた再生時に高い出力特性が得られない。
２０００（Ｏｅ）以上であり、好ましくは２１００〜２
６００（Ｏｅ）である。保磁力は、ＶＳＭ（振動試料型
磁力計）により測定された媒体の長手方向のものであ
る。保磁力が２０００（Ｏｅ）以上ないとＭＲヘッドを
用いた再生時に高い出力特性が得られない。
【００１５】保磁力を２０００（Ｏｅ）以上にする方法
としては、 １．蒸着時に酸素ガスを大量に流すことによって、磁性
層中のコラムをきれいに磁気分離する。 ２．蒸着時の最小入射角をできる限り大きくする。 ３．異方性を高めるクロム、マンガン、珪素、窒素など
を混入する。 ４．異方性の向きを長手方向に揃える。 などが挙げられるが、これらは一例であり、その他の方
法も多数存在する。
としては、 １．蒸着時に酸素ガスを大量に流すことによって、磁性
層中のコラムをきれいに磁気分離する。 ２．蒸着時の最小入射角をできる限り大きくする。 ３．異方性を高めるクロム、マンガン、珪素、窒素など
を混入する。 ４．異方性の向きを長手方向に揃える。 などが挙げられるが、これらは一例であり、その他の方
法も多数存在する。
【００１６】磁性層上には厚さが１〜５０ｎｍの保護膜
が設けられる。保護膜を構成する材料として、炭素系薄
膜、Ａｌ等の金属の酸化物、窒化物、あるいは炭化物な
どの他、ＳｉＣ等、及びそれを含む化合物などが考えら
れる。特に、ダイヤモンドライクカーボンからなる保護
膜が好ましい。
が設けられる。保護膜を構成する材料として、炭素系薄
膜、Ａｌ等の金属の酸化物、窒化物、あるいは炭化物な
どの他、ＳｉＣ等、及びそれを含む化合物などが考えら
れる。特に、ダイヤモンドライクカーボンからなる保護
膜が好ましい。
【００１７】磁性層もしくは保護膜の表面には、潤滑
剤、特にパーフルオロポリエーテル等のフッ素系潤滑剤
からなる厚さが０．５〜５ｎｍの潤滑層が設けられる。
潤滑剤としては、例えばカルボキシル基変性パーフルオ
ロポリエーテル、アルコール変性パーフルオロポリエー
テルが挙げられ、その分子量は５００〜５００００のも
のが好ましい。具体的には、モンテカチーニ社の商品名
ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＩＡＣやＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ
ＤＯＬ、ダイキン工業社の商品名デムナムＳＡ等があ
る。本発明の磁気記録媒体を構成する支持体は、磁性あ
るいは非磁性いずれのものでも良い。一般的には非磁性
である。支持体としては、ポリエチレンテレフタレート
（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の
ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォ
ン、ポリカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン
系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂等
の有機材料（樹脂）が用いられる。支持体の厚さとして
は１〜３００μｍ、特に１〜１０μｍが好ましい。尚、
支持体の表面には、磁性層との密着性を向上させる為の
アンダーコート層が適宜設けられる。
剤、特にパーフルオロポリエーテル等のフッ素系潤滑剤
からなる厚さが０．５〜５ｎｍの潤滑層が設けられる。
潤滑剤としては、例えばカルボキシル基変性パーフルオ
ロポリエーテル、アルコール変性パーフルオロポリエー
テルが挙げられ、その分子量は５００〜５００００のも
のが好ましい。具体的には、モンテカチーニ社の商品名
ＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ ＤＩＡＣやＦＯＭＢＬＩＮ Ｚ
ＤＯＬ、ダイキン工業社の商品名デムナムＳＡ等があ
る。本発明の磁気記録媒体を構成する支持体は、磁性あ
るいは非磁性いずれのものでも良い。一般的には非磁性
である。支持体としては、ポリエチレンテレフタレート
（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の
ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォ
ン、ポリカーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン
系の樹脂、セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂等
の有機材料（樹脂）が用いられる。支持体の厚さとして
は１〜３００μｍ、特に１〜１０μｍが好ましい。尚、
支持体の表面には、磁性層との密着性を向上させる為の
アンダーコート層が適宜設けられる。
【００１８】支持体の他面（裏面）には、バックコート
膜が設けられる。例えば、蒸着法、直流スパッタ法、交
流スパッタ法、高周波スパッタ法、直流マグネトロンス
パッタ法、高周波マグネトロンスパッタ法、イオンビー
ムスパッタ法などのメッキ手段によりバックコート膜が
設けられる。又、カーボンブラック及びバインダを含有
する塗料を塗布することによってバックコート膜を設け
ることもできる。
膜が設けられる。例えば、蒸着法、直流スパッタ法、交
流スパッタ法、高周波スパッタ法、直流マグネトロンス
パッタ法、高周波マグネトロンスパッタ法、イオンビー
ムスパッタ法などのメッキ手段によりバックコート膜が
設けられる。又、カーボンブラック及びバインダを含有
する塗料を塗布することによってバックコート膜を設け
ることもできる。
【００１９】
【実施例】以下実施例にて本発明を説明するが、本発明
はこれらの実施例に限定されるものではない。
はこれらの実施例に限定されるものではない。
【００２０】実施例１ （１）磁気テープの製造 厚さ６．３μｍのＰＥＴフィルムを図２の蒸着装置にセ
ットして、蒸着源としてＣｏ−Ｓｉ（９８：２、重量
比）を用いて強磁性金属薄膜型の磁性層を形成した。図
２において、２１はフィルム、２２は巻出ロール、２３
はキャンロール、２４は巻取ロール、２５はボンバード
処理手段、２６は酸素ガス導入管、２７は金属蒸気の領
域を規制する遮蔽板、２８は電子銃、２９はルツボであ
り、これらは図示しない真空チャンバ内に収容されてい
る。このときの蒸着条件は、真空度２×１０-5Ｔｏｒ
ｒ、最小入射角５８°、最大入射角８７°、電子銃出力
１５ｋＷ、フィルムの走行速度１．３ｍ／分、酸素ガス
導入量１５５ＳＣＣＭであった。また、冷却キャンロー
ルによりフィルム表面を０℃に冷却した。また、真空中
の酸素ガス分圧を測定し、９５％になるように酸素ガス
を蒸着装置内部に別のノズルから導入した。更に蒸着装
置内の温度を７５℃に維持した。
ットして、蒸着源としてＣｏ−Ｓｉ（９８：２、重量
比）を用いて強磁性金属薄膜型の磁性層を形成した。図
２において、２１はフィルム、２２は巻出ロール、２３
はキャンロール、２４は巻取ロール、２５はボンバード
処理手段、２６は酸素ガス導入管、２７は金属蒸気の領
域を規制する遮蔽板、２８は電子銃、２９はルツボであ
り、これらは図示しない真空チャンバ内に収容されてい
る。このときの蒸着条件は、真空度２×１０-5Ｔｏｒ
ｒ、最小入射角５８°、最大入射角８７°、電子銃出力
１５ｋＷ、フィルムの走行速度１．３ｍ／分、酸素ガス
導入量１５５ＳＣＣＭであった。また、冷却キャンロー
ルによりフィルム表面を０℃に冷却した。また、真空中
の酸素ガス分圧を測定し、９５％になるように酸素ガス
を蒸着装置内部に別のノズルから導入した。更に蒸着装
置内の温度を７５℃に維持した。
【００２１】次いで、磁性層上にＥＣＲプラズマＣＶＤ
法により厚さが１０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン
薄膜からなる保護層を形成した。更に、この保護層上に
パーフルオロポリエーテル〔デムナムＳＡ：ダイキン工
業製〕を厚さが２ｎｍとなるように付着して潤滑層を形
成した。また、このフィルムの磁性層形成面と反対の面
に、蒸着法により酸化アルミニウム系のバックコート層
を厚さ１５０ｎｍで形成した。
法により厚さが１０ｎｍのダイヤモンドライクカーボン
薄膜からなる保護層を形成した。更に、この保護層上に
パーフルオロポリエーテル〔デムナムＳＡ：ダイキン工
業製〕を厚さが２ｎｍとなるように付着して潤滑層を形
成した。また、このフィルムの磁性層形成面と反対の面
に、蒸着法により酸化アルミニウム系のバックコート層
を厚さ１５０ｎｍで形成した。
【００２２】上記により得られた、磁性層、保護層、潤
滑層及びバックコート層が形成されたフィルムを８ｍｍ
巾に裁断し、カセットケースにローディングしＨｉ−８
型のビデオテープを得た。
滑層及びバックコート層が形成されたフィルムを８ｍｍ
巾に裁断し、カセットケースにローディングしＨｉ−８
型のビデオテープを得た。
【００２３】（２）性能評価 上記で得られたビデオテープについて、耐食性、走行
性、ＭＲヘッドによる出力特性を以下の方法で評価し
た。その結果を表１に示す。また、ビデオテープの保磁
力、磁性層中の強磁性金属の割合も併せて表１に示す。
保磁力は、試料振動型磁力計〔理研電子株式会社製、ｍ
ｏｄｅｌ ＢＨＶ−５０（ＶＳＭ−ＭＨ測定システム、
微分演算機能付き）〕を用いて測定した。
性、ＭＲヘッドによる出力特性を以下の方法で評価し
た。その結果を表１に示す。また、ビデオテープの保磁
力、磁性層中の強磁性金属の割合も併せて表１に示す。
保磁力は、試料振動型磁力計〔理研電子株式会社製、ｍ
ｏｄｅｌ ＢＨＶ−５０（ＶＳＭ−ＭＨ測定システム、
微分演算機能付き）〕を用いて測定した。
【００２４】・耐食性 耐食性は、ビデオテープを６５℃、相対湿度９０％の環
境下に１８０時間放置し、そのときの飽和磁束密度（Ｂ
ｓ）の減少率（ΔＢｓ）で評価した。
境下に１８０時間放置し、そのときの飽和磁束密度（Ｂ
ｓ）の減少率（ΔＢｓ）で評価した。
【００２５】・走行性 市販のＨｉ８−ＶＴＲドライブを改造し、ジッタメータ
ーを接続し、ジッタを求め、その値を走行性の目安とし
た。
ーを接続し、ジッタを求め、その値を走行性の目安とし
た。
【００２６】・出力 ＭＲヘッドを用いた再生出力を評価した。市販のＤＶＣ
カメラデッキのアンプ並びに走行系を改造した評価シス
テムを用いた。記録波長は、シンセサイザーを用いて正
弦波をＤＶＣのリングヘッド（市販デッキに予め装着さ
れていたもの）を介して入力した。次いで市販されてい
るＨＤドライブのＭＲヘッドをこのシステムに装着し、
ＭＲヘッドを用いた時の再生出力を測定した。記録周波
数は１０ＭＨｚ、２０ＭＨｚ、３０ＭＨｚの三点とし
た。なお、出力は後述の比較例１を基準（０ｄＢ）とす
る相対評価とした。
カメラデッキのアンプ並びに走行系を改造した評価シス
テムを用いた。記録波長は、シンセサイザーを用いて正
弦波をＤＶＣのリングヘッド（市販デッキに予め装着さ
れていたもの）を介して入力した。次いで市販されてい
るＨＤドライブのＭＲヘッドをこのシステムに装着し、
ＭＲヘッドを用いた時の再生出力を測定した。記録周波
数は１０ＭＨｚ、２０ＭＨｚ、３０ＭＨｚの三点とし
た。なお、出力は後述の比較例１を基準（０ｄＢ）とす
る相対評価とした。
【００２７】実施例２〜３及び比較例１〜２ 実施例１の方法において蒸着条件を適宜変えて表１に示
すように磁性層中の強磁性金属の割合を変えた以外は同
様にしてビデオテープを作製し、実施例１と同様の評価
を行なった。その結果を表１に示す。
すように磁性層中の強磁性金属の割合を変えた以外は同
様にしてビデオテープを作製し、実施例１と同様の評価
を行なった。その結果を表１に示す。
【００２８】
【表１】
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、ＭＲヘッドを用いた再
生方式において、高域での優れた出力特性を示し、更に
耐食性、走行性に優れた金属薄膜型の磁気記録媒体が得
られる。
生方式において、高域での優れた出力特性を示し、更に
耐食性、走行性に優れた金属薄膜型の磁気記録媒体が得
られる。
【図１】ＭＲヘッドの一例を示す概略図
【図２】本発明の磁気記録媒体を製造するための蒸着装
置の要部を示す概略図
置の要部を示す概略図
１１ ＭＲヘッド １２ ＭＲ素子 ２１ 支持体 ２３ キャンロール ２８ 電子ビーム銃 ２９ ルツボ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮村 猛史 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内 (72)発明者 永井 智 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内
Claims (2)
- 【請求項１】 支持体と、該支持体上に形成された金属
薄膜型の磁性層とを有する磁気記録媒体であって、前記
磁性層中の強磁性金属の割合が４０〜５５原子％であ
り、保磁力（Ｈｃ）が２０００（Ｏｅ）以上であること
特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 ＭＲヘッドを再生ヘッドとして用いる磁
気記録・再生システムに使用される請求項１記載の磁気
記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5208298A JPH11250436A (ja) | 1998-03-04 | 1998-03-04 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5208298A JPH11250436A (ja) | 1998-03-04 | 1998-03-04 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11250436A true JPH11250436A (ja) | 1999-09-17 |
Family
ID=12904914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5208298A Pending JPH11250436A (ja) | 1998-03-04 | 1998-03-04 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11250436A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005109406A1 (en) * | 2004-05-03 | 2005-11-17 | Imation Corp. | Environmentally stable metal-evaporated recording media |
-
1998
- 1998-03-04 JP JP5208298A patent/JPH11250436A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005109406A1 (en) * | 2004-05-03 | 2005-11-17 | Imation Corp. | Environmentally stable metal-evaporated recording media |
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