JPH11248011A - 高温用仕切弁 - Google Patents
高温用仕切弁Info
- Publication number
- JPH11248011A JPH11248011A JP4608498A JP4608498A JPH11248011A JP H11248011 A JPH11248011 A JP H11248011A JP 4608498 A JP4608498 A JP 4608498A JP 4608498 A JP4608498 A JP 4608498A JP H11248011 A JPH11248011 A JP H11248011A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- outer cylinder
- cylinder
- short pipe
- valve
- inner cylinder
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 弁箱に伝わる熱量を抑制するとともに、弁箱
における温度を均一化して熱応力を低減できる高温用仕
切弁を提供する。 【解決手段】 外筒３３の両端部に内短管３４を内嵌し
て配置するとともに、各内短管３４の一端部を対応する
外筒３３の端部に固定保持し、各内短管３４と内筒９の
間にリング状のバネ１１を配置し、各バネ１１の外周部
１１ｂを対応する内短管３４の他端部に固定し、バネ１
１の内周部１１ａを内筒９の外周部に固定し、内短管３
４と相対向する内筒９の間および外筒３３と相対向する
内筒９の間に第１、第２断熱材１８、１９を介装した構
成により、内短管３４を介して外筒３３の両端部に熱を
伝導することで、外筒３３の中央部と両端部間における
温度勾配を小さくして、外筒３３に生じる熱応力を低減
できる。
における温度を均一化して熱応力を低減できる高温用仕
切弁を提供する。 【解決手段】 外筒３３の両端部に内短管３４を内嵌し
て配置するとともに、各内短管３４の一端部を対応する
外筒３３の端部に固定保持し、各内短管３４と内筒９の
間にリング状のバネ１１を配置し、各バネ１１の外周部
１１ｂを対応する内短管３４の他端部に固定し、バネ１
１の内周部１１ａを内筒９の外周部に固定し、内短管３
４と相対向する内筒９の間および外筒３３と相対向する
内筒９の間に第１、第２断熱材１８、１９を介装した構
成により、内短管３４を介して外筒３３の両端部に熱を
伝導することで、外筒３３の中央部と両端部間における
温度勾配を小さくして、外筒３３に生じる熱応力を低減
できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高温ガス等の高温
流体が流れる配管に使用される高温用仕切弁に関するも
のである。
流体が流れる配管に使用される高温用仕切弁に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の高温用仕切弁としては、
例えば特開平９−４７３２号公報に示すものがある。図
３および図４に示すように、従来の高温用仕切弁におい
ては、弁箱１の内部に配置した弁体２を、弁体収納空間
３を挿通する弁棒４に連結するとともに、弁棒４を、駆
動軸５を介して駆動装置６に連結しており、駆動装置６
の駆動により、弁体２を弁座７に圧接する閉弁位置と弁
体収納空間３に収納する開弁位置との間で開閉移動す
る。
例えば特開平９−４７３２号公報に示すものがある。図
３および図４に示すように、従来の高温用仕切弁におい
ては、弁箱１の内部に配置した弁体２を、弁体収納空間
３を挿通する弁棒４に連結するとともに、弁棒４を、駆
動軸５を介して駆動装置６に連結しており、駆動装置６
の駆動により、弁体２を弁座７に圧接する閉弁位置と弁
体収納空間３に収納する開弁位置との間で開閉移動す
る。
【０００３】弁箱１は、外筒８と、外筒８の内部に遊嵌
して弁箱流路を成す内筒９とで構成している。外筒８は
両端部の外周にフランジ８ａを有し、中央部の外側に弁
体収納空間３を形成する弁体収納部８ｂを有している。
また、外筒８は両端部の内周に円板状の端部壁１０を有
しており、この端部壁１０は外筒８の内周面から内筒９
の外周面へ向かって張り出している。内筒９は外周に円
板状をなす一対の中間部壁９ａを有しており、両中間部
壁９ａは弁体２を介して対称の位置に存在し、外筒８の
内周面に向かって張り出している。
して弁箱流路を成す内筒９とで構成している。外筒８は
両端部の外周にフランジ８ａを有し、中央部の外側に弁
体収納空間３を形成する弁体収納部８ｂを有している。
また、外筒８は両端部の内周に円板状の端部壁１０を有
しており、この端部壁１０は外筒８の内周面から内筒９
の外周面へ向かって張り出している。内筒９は外周に円
板状をなす一対の中間部壁９ａを有しており、両中間部
壁９ａは弁体２を介して対称の位置に存在し、外筒８の
内周面に向かって張り出している。
【０００４】外筒８と内筒９との間には、端部壁１０と
中間部壁９ａとの間に位置して、リング状をなす一対の
バネ１１を嵌入している。各バネ１１の内周部１１ａ
は、内筒９の外周に全周にわたって形成した第１取付部
９ｂに固定し、円環状の第１パッキン１２により第１取
付部９ｂとの間を全周にわたってシールしている。各バ
ネ１１の外周部１１ｂは、外筒８の内周に全周にわたっ
て形成した第２取付部８ｃに固定し、円環状の第２パッ
キン１３により第２取付部８ｃとの間を全周にわたって
シールしている。
中間部壁９ａとの間に位置して、リング状をなす一対の
バネ１１を嵌入している。各バネ１１の内周部１１ａ
は、内筒９の外周に全周にわたって形成した第１取付部
９ｂに固定し、円環状の第１パッキン１２により第１取
付部９ｂとの間を全周にわたってシールしている。各バ
ネ１１の外周部１１ｂは、外筒８の内周に全周にわたっ
て形成した第２取付部８ｃに固定し、円環状の第２パッ
キン１３により第２取付部８ｃとの間を全周にわたって
シールしている。
【０００５】第１パッキン１２は、熱伝導率の低いもの
で、例えば黒鉛系（グラファイト等）のパッキンを使用
しており、第２パッキン１３は、熱伝導率の高いもの
で、例えば金属系等のパッキンを使用している。バネ１
１の内周部１１ａは複数の皿子ねじ１４により第１取付
部９ｂに固定し、バネ１１の外周部１１ｂは複数の皿子
ねじ１５により第２取付部８ｃに固定している。
で、例えば黒鉛系（グラファイト等）のパッキンを使用
しており、第２パッキン１３は、熱伝導率の高いもの
で、例えば金属系等のパッキンを使用している。バネ１
１の内周部１１ａは複数の皿子ねじ１４により第１取付
部９ｂに固定し、バネ１１の外周部１１ｂは複数の皿子
ねじ１５により第２取付部８ｃに固定している。
【０００６】外筒８と内筒９との間には、外筒８の端部
内周面と内筒９の端部外周面と端部壁１０とバネ１１と
に囲まれた第１断熱材収納空間１６を全周にわたり形成
し、外筒８の中央部内周面と内筒９の中央部外周面と中
間部壁９ａとバネ１１とに囲まれた第２断熱材収納空間
１７を全周にわたり形成している。これら第１断熱材収
納空間１６と第２断熱材収納空間１７とに、それぞれ第
１断熱材（グラスウール）１８と第２断熱材（グラスウ
ール）１９とを収納している。
内周面と内筒９の端部外周面と端部壁１０とバネ１１と
に囲まれた第１断熱材収納空間１６を全周にわたり形成
し、外筒８の中央部内周面と内筒９の中央部外周面と中
間部壁９ａとバネ１１とに囲まれた第２断熱材収納空間
１７を全周にわたり形成している。これら第１断熱材収
納空間１６と第２断熱材収納空間１７とに、それぞれ第
１断熱材（グラスウール）１８と第２断熱材（グラスウ
ール）１９とを収納している。
【０００７】上記した従来の構成においては、高温流体
の熱により、内筒９と外筒８との間に径方向および軸心
方向において生じる熱膨張差を、バネ１１の撓みにより
吸収している。また、熱伝導率が低い第１パッキン１２
により、内筒９の熱がバネ１１に伝わることを抑制し、
一方で熱伝導率が高い第２パッキン１３により、バネ１
１の熱が外筒８に伝わることを促進して、バネ１１の温
度の上昇を抑制している。さらに、第１断熱材１８と第
２断熱材１９とにより、内筒９の外周面から放射する熱
が外筒８に伝わることを抑制し、外筒８の温度の上昇を
抑制している。
の熱により、内筒９と外筒８との間に径方向および軸心
方向において生じる熱膨張差を、バネ１１の撓みにより
吸収している。また、熱伝導率が低い第１パッキン１２
により、内筒９の熱がバネ１１に伝わることを抑制し、
一方で熱伝導率が高い第２パッキン１３により、バネ１
１の熱が外筒８に伝わることを促進して、バネ１１の温
度の上昇を抑制している。さらに、第１断熱材１８と第
２断熱材１９とにより、内筒９の外周面から放射する熱
が外筒８に伝わることを抑制し、外筒８の温度の上昇を
抑制している。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の構成に
よると、第１断熱材１８と第２断熱材１９とで、外筒８
における温度上昇の抑制を図る一方で、内筒９の熱がバ
ネ１１を経由して外筒８の第２取付部８ｃへ局所的に流
れるので、この第２取付部８ｃの付近における外筒８の
温度が端部側に比べて局所的に高温となり、外筒８に熱
応力が生じる問題があった。
よると、第１断熱材１８と第２断熱材１９とで、外筒８
における温度上昇の抑制を図る一方で、内筒９の熱がバ
ネ１１を経由して外筒８の第２取付部８ｃへ局所的に流
れるので、この第２取付部８ｃの付近における外筒８の
温度が端部側に比べて局所的に高温となり、外筒８に熱
応力が生じる問題があった。
【０００９】本発明は、弁箱に伝わる熱量を抑制すると
ともに、弁箱における温度を均一化して熱応力を低減で
きる高温用仕切弁を提供することを目的とするものであ
る。
ともに、弁箱における温度を均一化して熱応力を低減で
きる高温用仕切弁を提供することを目的とするものであ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、本発明の高温用仕切弁は、弁箱内に流路を横切
る方向に出退する弁体を配置し、弁箱をなす外筒の内部
に遊嵌して内筒を配置し、弁体に対向する内筒の開口縁
に弁座を設けた仕切弁において、外筒の両端部に内短管
を内嵌して配置するとともに、各内短管の一端部を対応
する外筒の端部に当接して固定保持し、各内短管と内筒
の間にリング状の弾性体を配置し、各弾性体の外周部を
対応する内短管の他端部に固定するとともに、弾性体の
内周部を内筒の外周部に固定し、内短管と相対向する内
筒の間および外筒と相対向する内筒の間に断熱材を介装
した構成とするものである。
ために、本発明の高温用仕切弁は、弁箱内に流路を横切
る方向に出退する弁体を配置し、弁箱をなす外筒の内部
に遊嵌して内筒を配置し、弁体に対向する内筒の開口縁
に弁座を設けた仕切弁において、外筒の両端部に内短管
を内嵌して配置するとともに、各内短管の一端部を対応
する外筒の端部に当接して固定保持し、各内短管と内筒
の間にリング状の弾性体を配置し、各弾性体の外周部を
対応する内短管の他端部に固定するとともに、弾性体の
内周部を内筒の外周部に固定し、内短管と相対向する内
筒の間および外筒と相対向する内筒の間に断熱材を介装
した構成とするものである。
【００１１】上記した構成によると、断熱材が内筒の内
部を流れる流体の熱が外筒および内短管に伝わることを
防止する一方で、流体の熱は内筒の相対向する弁座間の
開口部を通して外筒に伝わるとともに、内筒からリング
状の弾性体を経由して内短管に伝わり、内短管を通して
外筒の端部に伝わる。
部を流れる流体の熱が外筒および内短管に伝わることを
防止する一方で、流体の熱は内筒の相対向する弁座間の
開口部を通して外筒に伝わるとともに、内筒からリング
状の弾性体を経由して内短管に伝わり、内短管を通して
外筒の端部に伝わる。
【００１２】この状態において、外筒における温度勾配
は中央部が高く、両端部において低くなるが、内短管を
固定した外筒の両端部に内短管の熱が伝導することによ
り、外筒の中央部と両端部間における温度勾配が小さく
なり、熱応力が減少する。
は中央部が高く、両端部において低くなるが、内短管を
固定した外筒の両端部に内短管の熱が伝導することによ
り、外筒の中央部と両端部間における温度勾配が小さく
なり、熱応力が減少する。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態にお
ける高温用仕切弁を図面に基づいて説明する。先に図３
および図４において説明したものと同様の作用を行う部
材については同一番号を付して説明を省略する。
ける高温用仕切弁を図面に基づいて説明する。先に図３
および図４において説明したものと同様の作用を行う部
材については同一番号を付して説明を省略する。
【００１４】図１および図２に示すように、高温用仕切
弁３０は、弁箱３１の内部に流体の流れを横切る方向に
出退する弁体２を配置しており、弁体２の基端部に弁棒
４を連結している。弁棒４は駆動軸５を介して駆動装置
６に連結しており、駆動装置６の駆動により弁体２を開
閉する。弁箱３１は、弁体収納空間３を形成する弁体収
納部３２を設けた外筒３３と、外筒３３の内部に遊嵌し
て弁箱流路を形成し、弁体２に対向する開口縁に弁座７
を設けた内筒９とからなり、配管に対する取合部をなす
外筒３３の両端部にはそれぞれフランジ３３ａを設けて
いる。
弁３０は、弁箱３１の内部に流体の流れを横切る方向に
出退する弁体２を配置しており、弁体２の基端部に弁棒
４を連結している。弁棒４は駆動軸５を介して駆動装置
６に連結しており、駆動装置６の駆動により弁体２を開
閉する。弁箱３１は、弁体収納空間３を形成する弁体収
納部３２を設けた外筒３３と、外筒３３の内部に遊嵌し
て弁箱流路を形成し、弁体２に対向する開口縁に弁座７
を設けた内筒９とからなり、配管に対する取合部をなす
外筒３３の両端部にはそれぞれフランジ３３ａを設けて
いる。
【００１５】外筒３３の両端部には内短管３４を内嵌し
て配置しており、内短管３４は外筒３３の両端から中央
部の弁体収納空間３の近傍に至る長さを有している。内
短管３４は、外筒３３の端部側に位置する一端部にフラ
ンジ３４ａを有し、外筒３３の中央部側に位置する他端
部に内フランジ３４ｂを有しており、フランジ３４ａを
ガスケット３５を介して外筒３３の開口端面にボルトで
固定している。この固定は溶接によっても可能である。
て配置しており、内短管３４は外筒３３の両端から中央
部の弁体収納空間３の近傍に至る長さを有している。内
短管３４は、外筒３３の端部側に位置する一端部にフラ
ンジ３４ａを有し、外筒３３の中央部側に位置する他端
部に内フランジ３４ｂを有しており、フランジ３４ａを
ガスケット３５を介して外筒３３の開口端面にボルトで
固定している。この固定は溶接によっても可能である。
【００１６】内短管３４の他端部の内面には円板状の端
部壁１０を設けており、短部壁１０は内短管３４の内周
面から内筒９の外周面に向かって張り出している。内短
管３４の外周面には外筒３３の内周面との間に適当な間
隙を形成する溝部３４ｃを設けており、溝部３４ｃには
断熱材シート３６を挿入している。
部壁１０を設けており、短部壁１０は内短管３４の内周
面から内筒９の外周面に向かって張り出している。内短
管３４の外周面には外筒３３の内周面との間に適当な間
隙を形成する溝部３４ｃを設けており、溝部３４ｃには
断熱材シート３６を挿入している。
【００１７】各内短管３４と内筒９との間には、それぞ
れリング状のバネ１１を配置しており、バネ１１は、内
周部１１ａを内筒９の外周面に設けた第１取付部９ｂに
第１パッキン１２を介してネジ止めし、外周部１１ｂを
内短管３４の内フランジ３４ｂに第２パッキン１３を介
してネジ止めしている。また、内短管３４と内筒９との
間には第１断熱材（グラスウール）１８を介装し、内筒
９と外筒３３の間には第２断熱材（グラスウール）１９
を介装している。
れリング状のバネ１１を配置しており、バネ１１は、内
周部１１ａを内筒９の外周面に設けた第１取付部９ｂに
第１パッキン１２を介してネジ止めし、外周部１１ｂを
内短管３４の内フランジ３４ｂに第２パッキン１３を介
してネジ止めしている。また、内短管３４と内筒９との
間には第１断熱材（グラスウール）１８を介装し、内筒
９と外筒３３の間には第２断熱材（グラスウール）１９
を介装している。
【００１８】以下に、上記した実施の形態における作用
を説明する。第１断熱材１８と第２断熱材１９は、内筒
９の内部を流れる高温流体の熱が外筒３３および内短管
３４に伝わることを防止する。一方、高温流体の熱は、
相対向する弁座７の間の開口部を通して外筒３３の弁体
収納部３２およびその付近に伝わるとともに、内筒９か
らバネ１１を経由して内短管３４に伝わり、内短管３４
を通して外筒９の端部に伝わる。
を説明する。第１断熱材１８と第２断熱材１９は、内筒
９の内部を流れる高温流体の熱が外筒３３および内短管
３４に伝わることを防止する。一方、高温流体の熱は、
相対向する弁座７の間の開口部を通して外筒３３の弁体
収納部３２およびその付近に伝わるとともに、内筒９か
らバネ１１を経由して内短管３４に伝わり、内短管３４
を通して外筒９の端部に伝わる。
【００１９】この状態において、外筒３３における温度
勾配は中央部が高く、両端部において低くなるが、内短
管３４を固定した外筒３３の両端部に内短管３４の熱が
伝導することにより、外筒３３の中央部と両端部間にお
ける温度勾配が小さくなり、外筒３３に生じる熱応力を
低減することができる。
勾配は中央部が高く、両端部において低くなるが、内短
管３４を固定した外筒３３の両端部に内短管３４の熱が
伝導することにより、外筒３３の中央部と両端部間にお
ける温度勾配が小さくなり、外筒３３に生じる熱応力を
低減することができる。
【００２０】上記した実施の形態においては、内短管３
４の外周面と外筒３３の内周面の間を断熱材シート３６
で断熱しているが、内短管３４の外周面おける適当な複
数箇所に外筒３３の内周面に摺接する環状の伝熱部を設
け、内短管３４の熱を流路方向に分散して伝熱すること
も可能である。
４の外周面と外筒３３の内周面の間を断熱材シート３６
で断熱しているが、内短管３４の外周面おける適当な複
数箇所に外筒３３の内周面に摺接する環状の伝熱部を設
け、内短管３４の熱を流路方向に分散して伝熱すること
も可能である。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、内
短管を介して外筒の両端部に熱を伝導することにより、
外筒の中央部と両端部間における温度勾配を小さくし
て、外筒に生じる熱応力を低減することができる。
短管を介して外筒の両端部に熱を伝導することにより、
外筒の中央部と両端部間における温度勾配を小さくし
て、外筒に生じる熱応力を低減することができる。
【図１】本発明の実施の形態における高温用仕切弁の断
面図である。
面図である。
【図２】図１における要部の詳細図である。
【図３】従来の高温用仕切弁の断面図である。
【図４】同高温用仕切弁の外筒と内筒との連結部の詳細
図である。
図である。
２ 弁体 ９ 内筒 １１ バネ １１ａ 内周部 １１ｂ 外周部 １８ 第１断熱材 １９ 第２断熱材 ３０ 高温用仕切弁 ３１ 弁箱 ３３ 外筒 ３４ 内短管 ３４ａ フランジ ３４ｂ 内フランジ ３６ 断熱材シート
Claims (1)
- 【請求項１】 弁箱内に流路を横切る方向に出退する弁
体を配置し、弁箱をなす外筒の内部に遊嵌して内筒を配
置し、弁体に対向する内筒の開口縁に弁座を設けた仕切
弁において、外筒の両端部に内短管を内嵌して配置する
とともに、各内短管の一端部を対応する外筒の端部に当
接して固定保持し、各内短管と内筒の間にリング状の弾
性体を配置し、各弾性体の外周部を対応する内短管の他
端部に固定するとともに、弾性体の内周部を内筒の外周
部に固定し、内短管と相対向する内筒の間および外筒と
相対向する内筒の間に断熱材を介装したことを特徴とす
る高温用仕切弁。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4608498A JPH11248011A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | 高温用仕切弁 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4608498A JPH11248011A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | 高温用仕切弁 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11248011A true JPH11248011A (ja) | 1999-09-14 |
Family
ID=12737133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4608498A Pending JPH11248011A (ja) | 1998-02-27 | 1998-02-27 | 高温用仕切弁 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11248011A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101084493B1 (ko) * | 2008-03-12 | 2011-11-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 게이트 밸브 및 반도체 제조 장치 |
-
1998
- 1998-02-27 JP JP4608498A patent/JPH11248011A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101084493B1 (ko) * | 2008-03-12 | 2011-11-17 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 게이트 밸브 및 반도체 제조 장치 |
| US8091863B2 (en) | 2008-03-12 | 2012-01-10 | Tokyo Electron Limited | Gate valve and semiconductor manufacturing apparatus |
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